JPH03222249A

JPH03222249A - イメージ管

Info

Publication number: JPH03222249A
Application number: JP1729890A
Authority: JP
Inventors: Akitoshi Fujita; 藤田　晃年; Yoshikazu Kamimura; 上邑　芳和
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-01-26
Filing date: 1990-01-26
Publication date: 1991-10-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的コ（産業上の利用分野）この発明は低エネルギ輻射線像用のイメージ管に係り、
特にその入力窓の改良に関する。

（従来の技術）一般に、蛍光面を内蔵する低エネルギ輻射線像用のイメ
ージ管は、種々の分野で広範囲に応用されている。

この種のイメージ管は第３図に示すように構成され、金
属・ガラス等からなる真空外囲器１の入力端内部に、真
空外囲器１の一部を構成する入力窓２に対向して入力面
３が配設されている。一方、真空外囲器１の出力側内部
には、陽極４が配設されると共に出力面５が設けられ、
更に真空外囲器１内部の側壁に沿って集束電極６が配設
されている。

入力面３は、第４図から明らかなように、球面状のＡｆ
Ｉからなる基板７の出力側（凹面側）にＣｓｌの入力蛍
光体層８が形成され、この入力蛍光体層８の上に更に光
電面９が形成されている。

又、出力面５は、図示しないが、基板に出力蛍光体層が
形成されてなっている。

このようなイメージ管の使用時には、第４図に示すよう
に、低エネルギ輻射線源１０から放射された低エネルギ
輻射線１１を検体１２に照射し、反射又は回折された低
エネルギ輻射線１３の角度或いは強度をイメージ管１４
によって調査することにより、検体１２の性質を知るこ
とか出来る。

（発明か解決しようとする課８）ところか、検体１２に照射し反射又は回折された低エネ
ルギ輻射線１３が、イメージ管１４に検出される迄の過
程（人力蛍光体層８に低エネルギ輻射線１３が吸収され
る迄の過程）において、入力窓２及び基板７により散乱
・吸収される結果、低エネルギ輻射線１３及び低強度の
輻射線は検出することか困難となる。

低エネルギ輻射線１３及び低強度の輻射線の検出効率を
高めるためには、基板７を設けないで入力窓２内表面に
入力蛍光体層８及び光電面９を形成し、更に入力窓２を
薄くすることが効果的である。

しかし、真空外囲器１の入力窓２は、耐大気圧性を高め
るため、例えばガラスを用いた場合は２〜５ｍｍ、アル
ミニウムて０．５〜１．　ｍ　ｍ　、チタニウムで０．
２〜０．５ｍｍの厚さがそれぞれ必要である。

この問題を解決するために、例えば特開昭５５２１８０
５号公報に開示されたイメージ管がある。これは、入力
窓か輻射線透過性材料で形成され、この入力窓の内表面
に直接入力面が密着して設けられている。そして、入力
面は隔壁によって区画されて複数の開口部を有する重金
属材料からなる蜂の巣状保持板と、この保持板の開口部
に蛍光物質を充填してなる人力蛍光体層と、この入力蛍
光体層上に設けられた光電面とからなっている。

ところか、上記の公知例は、物体の内部構造を物体に輻
射した輻射線の透過濃度分布から調べるために、有効な
手段であるが、３０ＫｅＶ以下の低エネルギの単色輻射
線を用いて物体の物理的性質を調べるためには、検出レ
ベルが低いため問題点が多い。

又、その製造方法は、多工程からなるため高コストとな
り、更に蒸着による蛍光体付着も行なうことが出来ない
。

更に、上記の公知例では、蜂の巣状保持板の開口部の大
きさが、検出し得る分解能を決定する。

このため、分解能を向上させるためには、開口部を小さ
くし、緻密に形成しなければならない。

しかし、このような微細な開口部を有する蜂の巣状保持
板を製造するには、技術的に困難さがあり、高コストと
なる。

又、上記の公知例では、蜂の巣状保持板は重金属材料か
らなり、低エネルギ輻射線を吸収してしまうため、低エ
ネルギ輻射線の検出効率は著しく低い。

更に、蜂の巣状保持板の構造体部分に入射した輻射線は
、蛍光体が存在しないため、全く検出出来ない。

この発明は、上記事情に鑑みなされたもので、容易に而
も低コストで製造可能であり、分解能が高く、低エネル
ギ輻射線及び低強度輻射線の検出効率が高いイメージ管
を提供することを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）この発明は、真空外囲器の一部をなし輻射線透過性材料
からなる入力窓の内表面に、少なくとも人力蛍光体層、
光電面からなる入力面が密着して設けられてなる低エネ
ルギ輻射線像用のイメージ管において、上記入力窓は湾
曲状を形成しその外表面が凹凸状にして内表面が平坦に
形成されてなるイメージ管であり、上記凹凸状入力窓は
、その凹部の厚さが５０〜５００μｍの範囲に設定され
、その凸部の厚さが２００〜１０００μｍの範囲に設定
されている。

（作用）この発明によれば、真空外囲器の一部をなす入力窓は外
表面が凹凸状にして、その四部の厚さを従来より薄く出
来るので、低エネルギ輻射線の検出効率が向上する。

又、人力蛍光体層は周知の方法により柱状結晶に形成す
れば、高い分解能か得られる。

（実施例）以下、図面を参照して、この発明の一実施例に係るＸ線
イメージ管を詳細に説明する。

この発明のＸ線イメージ管は第１図に示すように構成さ
れ、真空外囲器２１は筒状の金属製胴体２２と、この胴
体２２の一端にリング状封着部材２３を介して気密封着
された入力窓２４と、胴体２２の他端に接合されたガラ
スからなる出力部２５とからなっている。

そして、入力窓２４内面には、入力面２６が密着して設
けられている。出力部２５の後部には、陽極２７か配設
されると共に出力蛍光面２８が設けられている。又、真
空外囲器２１内には胴体２２から出力部２５に沿って、
集束電極２９が設けられている。

ところで、この発明では、入力窓２４及び入力面２６付
近を拡大して示すと、第２図のようになり、入力窓２４
は外表面（低エネルギ輻射線入力側）が凹凸状にして凹
部２４ａと凸部２４ｂからなり、内表面（出力側）が平
坦に形成されている。

そして、入力窓２４の材料は輻射線透過性材料、例えば
チタニウム、アルミニウム、ベリリウムの金属、又はガ
ラス、或いは合成樹脂等である。

具体的には、アルミニウムを使用した場合、入力窓２４
の大きさ及び湾曲形状によってその厚さか変わり、凹部
２４ａの厚さは５０〜５００μｍの範囲に、凸部２４ｂ
の厚さは２００〜１０００μｍの範囲にそれぞれ設定さ
れている。

このような入力窓２４の内表面には、入力面２６が密着
して形成されている訳で、先ず入力窓２４の内表面に、
直接、入力蛍光体層３０が形成され、この入力蛍光体層
３０上に光電面３１が形成されている。従って、この発
明では、上記公知例のような入力面の基板は存在しない
。

さて上記の入力窓２４を製造するには、例えば厚さ５０
０μｍ程度のアルミニウム板を用いて、片面に格子状の
マスクを貼り、エツチングを行なう。そして、格子状マ
スクの開口部のアルミニウムの厚さ、即ち凹部の厚さが
１００μｍ程度になったら、エツチングを終了する。そ
の後、球面状に加工すれば、入力窓２４か得られる。

この入力窓２４の内表面に、Ｃｓｌを真空蒸着して人力
蛍光体層３０を形成する。この人力蛍光体層３０を備え
た入力窓２４は真空外囲器の胴体２２、出力部２５に組
立て、その後、人力蛍光体層３０上に光電面３１を形成
すると、入力面２６が得られる。

この発明のイメージ管は上記のように構成されているの
で、入力窓２４はその凸部２４ｂにより機械的強度が向
上する。又、凹部２４ａの厚さを従来より薄く出来るの
で、低エネルギ輻射線の検出効率が高い。更に、人力蛍
光体層３０を周知の方法により柱状結晶に形成すれば、
高い分解能が得られる。そして、凸部２４ｂに入射した
輻射線に対しても、その内表面に人力蛍光体層３０及び
光電面３１が形成されているので、強度は低いか検出さ
れる。

又、公知例のような重金属材料からなる蜂の巣状保持板
が存在しないので、斜めに入射した輻射線も検出するこ
とが出来る。更に、この発明の入力窓２４は、エツチン
グ等の方法により容易に形成することが出来、又、人力
蛍光体層３０及び光電面３１の形成に当っては、周知の
方法を用いることも出来るので、従来の製造方法に直ぐ
応用出来る。

［発明の効果］この発明によれば、入力窓の外表面の凹部の厚さを従来
より薄く出来るので、低エネルギ輻射線及び低強度輻射
線の検出効率が向上する。

又、入力蛍光体層は周知の方法により柱状結晶に形成す
れば、高い分解能が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るイメージ管の全体を
示す概略断面図、第２図はこの発明のイメージ管におけ
る入力窓と入力面付近を拡大して示す断面図、第３図は
従来のイメージ管の全体を示す概略断面図、第４図は従
来のイメージ管の使用状態を示す構成図である。２１・・・真空外囲器、２４・・・入力窓、２４ａ・・
・凹部、２４ｂ・・・凸部、２６・・・入力面、３０・
・・人力蛍光体層、３・・・光電面。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）真空外囲器の一部をなし輻射線透過性材料からな
る入力窓の内表面に、少なくとも入力蛍光体層、光電面
からなる入力面が密着して設けられてなる低エネルギ輻
射線像用のイメージ管において、上記入力窓は、湾曲状を形成しその外表面が凹凸状にし
て内表面が平坦に形成されてなることを特徴とするイメ
ージ管。
（２）上記凹凸状入力窓は、その凹部の厚さが５０〜５
００μｍの範囲に設定され、その凸部の厚さが２００〜
１０００μｍの範囲に設定されてなることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のイメージ管。