JPH03137615A - 光アイソレータの製造方法 - Google Patents
光アイソレータの製造方法Info
- Publication number
- JPH03137615A JPH03137615A JP27631489A JP27631489A JPH03137615A JP H03137615 A JPH03137615 A JP H03137615A JP 27631489 A JP27631489 A JP 27631489A JP 27631489 A JP27631489 A JP 27631489A JP H03137615 A JPH03137615 A JP H03137615A
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- faraday rotator
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ファラデー回転子の両側に偏光子を配置した
光アイソレータの製造方法に関するものである。光アイ
ソレータは、一方向への光の通過は許容するが逆方向へ
の光の通過は阻止するａ＃１を持つ非相反光デバイスで
あり、光通信や光計測等の分野で用いられる０本発明は
特に小型の光アイソレータの量産に適した方法である。
光アイソレータの製造方法に関するものである。光アイ
ソレータは、一方向への光の通過は許容するが逆方向へ
の光の通過は阻止するａ＃１を持つ非相反光デバイスで
あり、光通信や光計測等の分野で用いられる０本発明は
特に小型の光アイソレータの量産に適した方法である。
［従来の技術］
光アイソレータの代表的な構造としては、永久磁石内に
磁気光学結晶を装着したファラデー回転子の両側に、プ
リズムホルダ内にプリズムを装着した偏光子を配置した
ものがある。ファラデー回転子は、入射光の偏波面を４
５度回転させるものであり、その両側に位置する偏光子
はそれぞれ通過偏波面が４５度異なる向きで組み合わせ
られる。
磁気光学結晶を装着したファラデー回転子の両側に、プ
リズムホルダ内にプリズムを装着した偏光子を配置した
ものがある。ファラデー回転子は、入射光の偏波面を４
５度回転させるものであり、その両側に位置する偏光子
はそれぞれ通過偏波面が４５度異なる向きで組み合わせ
られる。
ファラデー回転子としてＹＩＧ （インドリウム−鉄ガ
ーネット）単結晶のブロックが用いられているが、近年
、ＬＰＥ （液相エピタキシャル）法によるビスマス置
換ガーネット単結晶の厚膜が実用化されている。
ーネット）単結晶のブロックが用いられているが、近年
、ＬＰＥ （液相エピタキシャル）法によるビスマス置
換ガーネット単結晶の厚膜が実用化されている。
［発明が解決しようとする課題］
従来技術では偏光子やファラデー回転子等の部品を、−
合一台その相対的な角度や寸法を調節しながら組み立て
ており、生産効率が非常に悪い欠点があった。特に光ア
イソレータを組み込む機器を小型化するのに伴い、光ア
イソレータも一層の小型化が要求されるが、従来構造で
はそれが難しかった。
合一台その相対的な角度や寸法を調節しながら組み立て
ており、生産効率が非常に悪い欠点があった。特に光ア
イソレータを組み込む機器を小型化するのに伴い、光ア
イソレータも一層の小型化が要求されるが、従来構造で
はそれが難しかった。
本発明の目的は、光アイソレータを効率良く安価に大量
生産でき、特に小型化に適した製造方法を提供すること
にある。
生産でき、特に小型化に適した製造方法を提供すること
にある。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成できる本発明は、基板上に磁気光学結
晶を成膜したウェハ状のファラデー回転子の両面に接着
剤の層を介してウェハ状の偏光子を配置し、それを磁界
中に設置して一方からレーザ光を入力し、透過光の光量
が最小になるように偏光子角度を調整した状態で前記接
着剤により結合一体化し、次いでその結合体を切断して
チップ状の非相反素子部を得、その非相反素子部をそれ
ぞれ筒状の永久磁石内に挿入固定する光アイソレータの
製造方法である。
晶を成膜したウェハ状のファラデー回転子の両面に接着
剤の層を介してウェハ状の偏光子を配置し、それを磁界
中に設置して一方からレーザ光を入力し、透過光の光量
が最小になるように偏光子角度を調整した状態で前記接
着剤により結合一体化し、次いでその結合体を切断して
チップ状の非相反素子部を得、その非相反素子部をそれ
ぞれ筒状の永久磁石内に挿入固定する光アイソレータの
製造方法である。
磁気光学結晶としては例えばビスマス置換ガーネット厚
膜などがある。偏光子としては金属格子偏光子等を用い
うる。
膜などがある。偏光子としては金属格子偏光子等を用い
うる。
［作用〕
本発明ではウェハ状のファラデー回転子と偏光子とを用
い、それらを組み合わせて偏光子の角度を調節する。そ
のため角度調節が完了し固定した後では、ウェハ結合体
を切断して得られる個々の非相反素子部は、既にそれぞ
れ角度調節が完了したものとなる。つまり本発明によれ
ば、非相反素子部を個々に角度調整しなくても既に角度
調節できたものが得られるためｌウェハ当たり１回の角
度調節で済み、その工程を著しく簡素化できる。従って
切断して得られたチップ状の非相反素子部を永久磁石内
に挿入固定するだけで良好なアイソレーシッン特性を持
つ光アイソレータが得られることになる。
い、それらを組み合わせて偏光子の角度を調節する。そ
のため角度調節が完了し固定した後では、ウェハ結合体
を切断して得られる個々の非相反素子部は、既にそれぞ
れ角度調節が完了したものとなる。つまり本発明によれ
ば、非相反素子部を個々に角度調整しなくても既に角度
調節できたものが得られるためｌウェハ当たり１回の角
度調節で済み、その工程を著しく簡素化できる。従って
切断して得られたチップ状の非相反素子部を永久磁石内
に挿入固定するだけで良好なアイソレーシッン特性を持
つ光アイソレータが得られることになる。
〔実施例］
第１図Ａ−Ｇは本発明に係る光アイソレータの製造工程
の一実施例を示している。先ず同図Ａに示すように基板
上に磁気光学結晶を成膜したウェハ状のファラデー回転
子ｌＯと、同じくウェハ状の偏光子１２．１４とを用意
する。それらは間に接着剤の層が介在するように、ファ
ラデー回転子ＩＯの両面に偏光子１２．１４を配置する
（同図Ｂ参照）、ここでファラデー回転子ｌＯとして基
板上に成膜する磁気光学結晶はＬＰＥ法により得られる
ビスマス置換ガーネット単結晶厚膜である。最近、この
種のウェハは、直径数インチの大きさのものが容易に入
手できるようになった。偏光子１２．１４としては同じ
く直径数インチの金属格子偏光子を用いる。この金属格
子偏光子は板厚数百μｍで４０ｄＢ程度の消光比があり
、光アイソレータとして十分使用可能である。接着剤は
塗布など任意の方法により層を作る。この状態では未だ
接着剤の層は硬化していない。
の一実施例を示している。先ず同図Ａに示すように基板
上に磁気光学結晶を成膜したウェハ状のファラデー回転
子ｌＯと、同じくウェハ状の偏光子１２．１４とを用意
する。それらは間に接着剤の層が介在するように、ファ
ラデー回転子ＩＯの両面に偏光子１２．１４を配置する
（同図Ｂ参照）、ここでファラデー回転子ｌＯとして基
板上に成膜する磁気光学結晶はＬＰＥ法により得られる
ビスマス置換ガーネット単結晶厚膜である。最近、この
種のウェハは、直径数インチの大きさのものが容易に入
手できるようになった。偏光子１２．１４としては同じ
く直径数インチの金属格子偏光子を用いる。この金属格
子偏光子は板厚数百μｍで４０ｄＢ程度の消光比があり
、光アイソレータとして十分使用可能である。接着剤は
塗布など任意の方法により層を作る。この状態では未だ
接着剤の層は硬化していない。
このようにして組み合わせた部材を同図Ｃに示すように
コイル１６内に配置する。そして同図りに示すようにコ
イル１６に電流！を流して磁界をかけ、一方からレーザ
光を入力し、その透過光を検出する。そしてその透過光
量が最小になるように偏光子１２．１４の相対角度を調
節する。透過光量が最小になった状態で接着剤を硬化さ
せて一体化する。
コイル１６内に配置する。そして同図りに示すようにコ
イル１６に電流！を流して磁界をかけ、一方からレーザ
光を入力し、その透過光を検出する。そしてその透過光
量が最小になるように偏光子１２．１４の相対角度を調
節する。透過光量が最小になった状態で接着剤を硬化さ
せて一体化する。
次いで同図已に示すようにその結合体を所定寸法で賽の
目状に切断しチップ状の非相反素子部１８を得る。そし
て最後に同図Ｆ、Ｇに示すように筒状の永久磁石２０内
にその非相反素子部１８を挿入し接着剤により固定する
。そのため永久磁石２０内には非相反素子部１８が丁度
嵌入するような角穴２２を設けておく、このようにして
光アイソレータが完成する。
目状に切断しチップ状の非相反素子部１８を得る。そし
て最後に同図Ｆ、Ｇに示すように筒状の永久磁石２０内
にその非相反素子部１８を挿入し接着剤により固定する
。そのため永久磁石２０内には非相反素子部１８が丁度
嵌入するような角穴２２を設けておく、このようにして
光アイソレータが完成する。
ファラデー回転子を構成する磁気光学結晶やウェハ状の
偏光子は上記の材料に限定されるものではない、金属格
子偏光子に代えて例えばルチル結晶板等を用いることも
可能である。
偏光子は上記の材料に限定されるものではない、金属格
子偏光子に代えて例えばルチル結晶板等を用いることも
可能である。
〔発明の効果］
本発明は上記のように多数の非相反素子部を切り出すこ
とができるウェハ結合体について、それら全体で一度に
ウェハ状偏光子間の角度調節を行うため、光アイソレー
ター台毎に調整を行う必要がなく、そのため生産効率が
極めて高くなり大量に且つ安価に製作することが可能と
なる。また生産設備や作業工数が必要以上に増大するこ
ともない。
とができるウェハ結合体について、それら全体で一度に
ウェハ状偏光子間の角度調節を行うため、光アイソレー
ター台毎に調整を行う必要がなく、そのため生産効率が
極めて高くなり大量に且つ安価に製作することが可能と
なる。また生産設備や作業工数が必要以上に増大するこ
ともない。
更に角度調節した非相反素子部が切断によって得られる
ため、その寸法を小さくでき、小型の光アイソレータを
容易に製作することが可能となる。
ため、その寸法を小さくでき、小型の光アイソレータを
容易に製作することが可能となる。
第１図Ａ−Ｇは本発明に係る光アイソレータの製造方法
の一実施例の工程説明図である。 ＩＯ・・・ウェハ状のファラデー回転子、１２゜１４・
・・ウェハ状の偏光子、１６・・・コイル、１８・・・
チップ状の非相反素子部、２０・・・筒状の永久磁石。
の一実施例の工程説明図である。 ＩＯ・・・ウェハ状のファラデー回転子、１２゜１４・
・・ウェハ状の偏光子、１６・・・コイル、１８・・・
チップ状の非相反素子部、２０・・・筒状の永久磁石。
Claims (1)
- １、基板上に磁気光学結晶を成膜したウェハ状のファラ
デー回転子の両面に接着剤の層を介してウェハ状の偏光
子を配置し、それを磁界中に設置して一方からレーザ光
を入力し、透過光の光量が最小になるように偏光子角度
を調整した状態で前記接着剤により結合一体化し、次い
でその結合体を切断してチップ状の非相反素子部を得、
その非相反素子部をそれぞれ筒状の永久磁石内に挿入固
定することを特徴とする光アイソレータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27631489A JP2757045B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 光アイソレータの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27631489A JP2757045B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 光アイソレータの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03137615A true JPH03137615A (ja) | 1991-06-12 |
| JP2757045B2 JP2757045B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=17567728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27631489A Expired - Fee Related JP2757045B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 光アイソレータの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2757045B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03171029A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-24 | Tokin Corp | 光アイソレータの製造方法 |
| JPH05241102A (ja) * | 1992-03-03 | 1993-09-21 | Tokin Corp | ３端子光サーキュレータ |
-
1989
- 1989-10-23 JP JP27631489A patent/JP2757045B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03171029A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-24 | Tokin Corp | 光アイソレータの製造方法 |
| JPH05241102A (ja) * | 1992-03-03 | 1993-09-21 | Tokin Corp | ３端子光サーキュレータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2757045B2 (ja) | 1998-05-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |