JPH03127307A - マルチトラック磁気ヘッドおよび製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、フレキシブル磁気ディスク装置等の記録再生
を行なうところの磁気記録用ヘッドに係り、特にマルチ
トラック磁気ヘッドおよびその製造方法に関するもので
ある。

［従来の技術］ 半導体製造技術や磁気記録システムの発達により、高画
質ビデオやＤＡＴ、　　スチルビデオシステム等が相次
いで商品化されている。スチルビデオシステムは、超小
型磁気ディスクに高画質の静止画像を記録・再生するも
のであり、フィールド記録時は１画面あたり磁気ディス
クの１トラツクを使用し、磁気ディスク１枚では５０画
面の記録を行なえるが、１本ずつ走査線を飛び越す「飛
び越し走査」を行なうため解像度が低く１画質に不満が
残った。フレーム記録時は１画面あたり磁気ディスクの
２トラツクを使用し、磁気ディスク１枚では２５画面の
記録となるが、走査線を順番に走査する「順次走査」を
行なうため、高画質な画像が得られる。フレーム記録で
は２トラツク磁気ヘツドを必要とするが、現在は第３図
、第４図に示すような半導体製造技術を応用した薄膜磁
気ヘッドを用いることが多い。

スチルビデオシステムでは従来の写真並の高画質が求め
られる一場合があり、１トラツクの情報量を増すべく記
録周波数のハイバンド化、すなわち線記録密度の向上が
試みられている。しかし、基本的に面内長手記録媒体を
用いたシステムのため。

線記録密度の向上には記録減磁の問題から限界があった
。

一方、単波長記録領域において減磁作用の小さくなる垂
直磁気記録方式は、従来の面内長手記録方式よりも本質
的に高密度記録に適していることが知られている。特に
第５図に示す主磁極励磁型単磁極ヘッドと軟磁性裏打ち
層を有する二層膜媒体の組合せでは、実験的に６００ｋ
ＦＲＰ　１以上の高密度記録さえ可能となっており、ス
チルビデオシステムの高画質化にきわめて効果的である
。

〔発明が解決しようとする課題］ しかし、垂直磁気記録用主磁極励磁型ｉｌｌ磁極ヘッド
を従来のバルク構造のままスチルビデオ規格に合わせて
マルチトラック化すると、コイル在線スペース等の制約
から形状が制限され、記録再生効率が低いという問題点
があった。また、第６図に示すような薄膜タイプの垂直
磁気記録用ヘッドでは、コイル巻線がスパイラル状に形
成されるため構造的には簡単であるが、コイル椹線と主
磁極先端の距離が遠いこと、厚膜を形成する工程が必要
なため製造条件に制約が生じ磁束リターン部の面積をあ
まり大きくとれないこと等から、記録再生感度が低下す
るという問題があった。

本発明は、主磁極励磁型単磁極ヘッドでありながら高い
記録再生効率が得られるマルチトラック磁気ヘッド及び
その製造方法を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、磁束リターン部を有する２つの軟磁性
材料補助磁極コアを非磁性材料を介して互いに接合し、
該補助磁極コアに非磁性材料部を境としてトラック数分
のヘリカル状薄膜コイルとトラック数分の軟磁性主磁極
膜とを形成し、さらに該薄膜コイルの電極部分が露出す
るように、下部を切断したもう一つの補助磁極コアを接
合一体化してなることを特徴とするマルチトラック磁気
ヘッドが得られる。

また本発明によれば、軟磁性材料と非磁性材料とを交互
に積み重ねて接合した基板材に溝加工を施し、該溝に非
磁性ガラスを溶融・充填して磁束リターン部を有するコ
アブロックを形成する工程と、該コアブロックに薄膜形
成プロセスとフォトリソグラフィによってヘリカル状薄
膜コイルと主磁極を形成する工程と、薄膜コイルの電極
部分が露出するように下部を切断したもう一つのコアブ
ロックと接合一体化した後２個々に切断して磁気ヘッド
を形成する工程とを含むことを特徴とするマルチトラッ
ク磁気ヘッドの製造方法が得られる。

［作用］ 本発明による磁気ヘッドでは、磁束リターン部をバルク
構造としたために製造が容易で１面積が大きくとれるた
めに磁束リターンの効率が高い。

また、主磁極先端部とコイル巻線を近づけたため。

磁束の漏洩が小さくなり、高い記録再生効率が得られる
。

［実施例］ 以下１本発明の実施例についてスチルビデオ用２トラツ
ク磁気ヘツドへの適用を例にして説明する。第１図は本
発明によるマルチトラック垂直磁気ヘッドの２トラツク
構成を示す外観斜視図であり、第２図は主磁極、コイル
巻線を形成した磁気ヘッドコアブロック半休を示す外観
斜視図である。

スパッタリングにより形成したＣｏＺｒＮｂの軟磁性厚
膜からなる主磁極１は、スチルビデオ規格に準じてトラ
ック幅６０μｍ、　　トラック間隔４０ｌｔ　ｍにエツ
チングする。この主磁極の膜Ｉｖは記録１１ｉ生に用い
られる帯域によって変わるが、現行スチルビデオの画質
を改善するためには０．３μｍ以下とする必要かある。

主磁極１には　ヘリカル状に薄膜コイル６か巻線きれて
いる。薄膜コイル６はＣｕからなり、膜厚３μｍ、Ｎｊ
５μｍ１間隔３μｍで形成した。主磁極１および薄膜コ
イル６は、補助磁極コア４に磁束リターン部を形成する
ための非磁性ガラス２上に形１戊される。補助！ＩＢ、
ｂコア４は軟磁性フェライトからなり　各トラックごと
に非磁性スペーサ３で磁電的に分離されている。非磁性
スペーサ３の＋４質は、軟磁性フェライトとの適合性を
考應してチタン酸カルシウムを用い、ガラスで接合する
。

次に上記（１４逍の本発明による磁気ヘッドの製逍工楳
について説明する。

まず、第７図に示すように軟磁性材２つと非磁性スペー
サ３０を交互に市ね、軟化点７００°Ｃ程度の、ｅ＋融
１点ガラス接着により一体化した後、　ｔｉ’＋’；加
工を施し、第８図に示すように溝に上記高融点ガラスが
軟化しないよう５００℃程度の軟化点を有するガラス３
１を溶を独、充ｊ＋）　Ｌ　、図中破線に従って切１析
することにより第９図に示すようなコアブロックを？１
７る。コアブロックの薄膜形成面を鏡面研助し、薄膜コ
イルとなる導電材料Ｃｕを成膜後。

第１０図に示すようなパターンにエツチングする。

その後、　Ａ’ｊ膜コイル３８の凹凸をフォトレジスト
によってル坦化し、第１１図のように主磁極３９を形成
する。主磁極３９上に絶縁材料Ｓ　ＩＯ２を成膜後、薄
膜コイル４０を形成して更に絶縁材料保護膜を成膜し、
第１３図のように薄膜コイルの電極４３が露出するほど
下部を切１折したもう一つのコアブロックを、非磁性ス
ペーサ同士の位置かａうように接合一体化する。この場
合の接合は。

この工程までに使用したガラスか軟化しない、磁性膜の
特性が劣化しない、薄膜コイルと絶縁膜か反応しない等
の条件が求められるため、エポキシ系のＧ機接着剤を用
いた。そして、研磨加工により主ｒＪ！１極を露出させ
、第１３図中破線に従い切断し、記録媒体摺動面を曲面
加工することて第１図のような磁気ヘッドが１４られる
。

このように構成された磁気ヘッドであれば、磁束リター
ン部の面積を大きくとれ、かつ製造も容易であり、主磁
極先端とコイル巻線を近づけられるために記録再生効率
を高めることができる。

尚１本発明は上記実施例にのみ限定されるものではない
。例えばトラック数は２トラツクに限らす１川途に応し
て設定すればよい。また、主磁極１の一ζｊ法は磁気ヘ
ッドの仕様によって異なり、材質もパーマロイ、センダ
スト、ＦｅＳｉ等を要求条件によって選定することがで
きる。薄膜コイルの（イ質や寸法１巻数等は仕様に応じ
て適宜定めれｆよく、平担化の工程も、ｓｉｏ　　、Ａ
ｐ２０３等の非磁性材を蒸着、スパッタリング等の方法
で成膜してちよい。非磁性スペーサ３の材質は非磁性フ
ェライト、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、結晶
化ガラス等を用いることができる。コアブロック同士の
接合においても、前記条件を満足するものであれば３０
０℃以下の軟化点をｎするガラスを用いることもできる
。要するに本発明は１　その要旨を逸脱しない範囲で種
々変形して実施することができる。

［発明の効果］ 本発明によれば、磁束リターン部の面積を大きくとれ、
かつ製逍も容易であり、主磁極先端とコイル巻線を近づ
けられるために記録再生効率か高いマルチトラック垂直
磁気ヘッドおよび製造方広の提供が可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す２トラツク型垂直磁気
ヘツドの外観斜視図、第２図は主磁極および薄膜コイル
を形成した補助磁極コアの半休を示す外観斜現図、第３
図はリング型ｌ’、ｖ膜ヘッドの構造を示した平面図、
第４図は第３図のヘッドの１、！、ｉ造を示した断面図
、第５図は垂直磁電記タフＡ用主磁極励磁型単磁極ヘッ
ドと二層膜媒体の組合せを示す外観斜視図、第６図は、
従来の垂直磁気記録用主磁極励ｒａ型１１′＠極薄膜ヘ
ッドの構造を示す断面図、第７図以下は本発明の一実施
例を説明するものて、第７図は軟磁性材と非磁性スペー
サを接合後、満加工を施した複合体を示す外観斜視図。 第８図は第７図の複合体にガラス充項した後の外観斜現
図、第９図は第８図の複合体を切断したコアブロックの
外観斜視図、第１０図は薄膜コイル−層目を形成したコ
アブロックの一部拡大平面図。 第１１図は第１０図に主磁極を形成したコアブロックの
一部拡大平面図、第１２図は第１１図に薄膜コイル二層
目を形成したコアブロックの一部拡大ＩＬ面図、第１３
図は補助磁極コアブロック接合後、媒体摺動面を研磨加
工した磁気ヘッドコアブロックの外観斜視図である。図
中において１．２５．３９・・・主磁極、２，３１，３
４，３７．４２・・・ガラス、３，３０．３３，３６．
４４・・・非磁性スペーサ、４．１７・・・補助磁極コ
ア、５４３・・パ市極、６，９，１４，２７，３８．４
０・・・薄膜コイル、７．１１・・・上部磁極、１０・
・・下部磁極、８，１５．１６．２４・・・非磁性載板
、１２゜１３．２８・・・非磁性絶縁膜、１８・・・コ
イル巻線。 １９・・・非磁性スライダ、２０・・・記録層、２１・
・・軟磁性裏打ち層、２２・・・ベースフィルム、２３
・・・媒体走行方向、２６・・・補助磁極、２９，３２
．３５・・・軟磁性材、４１・・・補助磁極コアブロッ
ク。 第３図 Ｎ４図 ４ ／ Ｍ７巴 ｊＩ９図 ３ ｊＩ８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁束リターン部を有する２つの軟磁性材料補助磁極
   コアを非磁性材料を介して互いに接合し、該補助磁極コ
   アに非磁性材料部を境としてトラック数分のヘリカル状
   薄膜コイルとトラック数分の軟磁性主磁極膜とを形成し
   、さらに該薄膜コイルの電極部分が露出するように、下
   部を切断したもう一つの補助磁極コアを接合一体化して
   なることを特徴とするマルチトラック磁気ヘッド。 ２、軟磁性材料と非磁性材料とを交互に積み重ねて接合
   した基板材に溝加工を施し、該溝に非磁性ガラスを溶融
   ・充填して磁束リターン部を有するコアブロックを形成
   する工程と、該コアブロックに薄膜形成プロセスとフォ
   トリソグラフィによってヘリカル状薄膜コイルと主磁極
   を形成する工程と、薄膜コイルの電極部分が露出するよ
   うに下部を切断したもう一つのコアブロックと接合一体
   化した後、個々に切断して磁気ヘッドを形成する工程と
   を含むことを特徴とするマルチトラック磁気ヘッドの製
   造方法。