JPH03118459A - Exhaust gas sensor - Google Patents

Exhaust gas sensor

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JPH03118459A
JPH03118459A JP25542989A JP25542989A JPH03118459A JP H03118459 A JPH03118459 A JP H03118459A JP 25542989 A JP25542989 A JP 25542989A JP 25542989 A JP25542989 A JP 25542989A JP H03118459 A JPH03118459 A JP H03118459A
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JP
Japan
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oxide
exhaust gas
metal
resistance value
titanium oxide
Prior art date
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Pending
Application number
JP25542989A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinya Morishita
真也 森下
Hatsuhiko Oikawa
初彦 及川
Shigetaka Wada
重孝 和田
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Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Toyota Central R&D Labs Inc
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To broaden the range of usable temperature by providing a gas sensitive layer part comprising a metallic oxide indicating gas sensitivity and a metallic oxide at least a part of which undergoes the formation of solid solution and which has the valence larger than that of the above described metallic oxide. CONSTITUTION:A part of a metal oxide whose valence is larger than a metal oxide indicating gas sensitivity undergoes the formation of solid solution. Then, the metal elements of the metallic oxide having the larger valence readily substitutes for the elements in the crystal structure of the metallic oxide indicating the gas sensitivity and readily undergoes the formation of the solid solution. The metal elements having the larger valence act as electron doners for the metallic oxide indicating the gas sensitivity in a gas sensitive layer. Thus, the variation in resistance value in lean and rich atmospheres can be sufficiently secured, and the temperature changing rate of the resistance value in both atmospheres can be decreased. Therefore, the air-fuel ratio can be detected over a broad temperature range without using a heater, a switching circuit for a reference resistor and the like.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、自動車等の内燃機関などから排気される排気
ガス中の酸素濃度を検出するための排ガスセンサに関し
、さらに詳しくは、金属酸化物からなる感ガス層部を有
する排ガスセンサであって使用温度範囲の広い排ガスセ
ンサに関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to an exhaust gas sensor for detecting oxygen concentration in exhaust gas exhausted from internal combustion engines of automobiles, etc. The present invention relates to an exhaust gas sensor having a gas-sensitive layer portion consisting of a gas-sensitive layer portion, which can be used over a wide temperature range.

〔従来技術およびその問題点〕[Prior art and its problems]

従来より、自動車等の内燃機関などから排気される排気
ガスを浄化する目的で、該排気ガス中の酸素濃度を測定
し、この測定結果をもとに該排気ガスの組成を所望の範
囲に保つような排気ガス浄化システムが開発され、実用
に供されている。
Conventionally, in order to purify exhaust gas emitted from internal combustion engines such as automobiles, the oxygen concentration in the exhaust gas is measured and the composition of the exhaust gas is maintained within a desired range based on the measurement results. Such exhaust gas purification systems have been developed and put into practical use.

この排気ガス浄化システムに用いられる酸素濃度検出セ
ンサとしては、抵抗値が酸素濃度によって変化する酸化
チタンを用いた排ガスセンサが実用化されている。この
排ガスセンサは、第3図に示すように、定電圧電源11
に対し、基準抵抗12と該酸化チタン13とを直列に接
続した構成からなり、該酸化チタン13の抵抗値が理論
空燃比を境に大きく変化することを利用し、回路上の電
圧降下が主に該基準抵抗12でおきているか、該酸化チ
タン13でおきているのかを出力端子14から読み取り
空燃比を検出するものである。この排ガスセンサの酸化
チタンのリーン雰囲気およびリッチ雰囲気での抵抗値と
温度との関係を、第4図に示す。同図に示されるように
、リーン雰囲気における抵抗値15、リッチ雰囲気にお
ける抵抗値16はともに温度上昇とともに低下する。前
述のように、空燃比は電圧降下が基準抵抗12と酸化チ
タン13のどちらで起きるかによって検出されるもので
ある。そのため、基準抵抗12の抵抗値17は、リーン
雰囲気における抵抗値15とリッチ雰囲気における抵抗
値16との間にあることが必要であり、排ガスセンサと
しての使用温度範囲は400〜700℃と狭いものであ
る。
As an oxygen concentration detection sensor used in this exhaust gas purification system, an exhaust gas sensor using titanium oxide whose resistance value changes depending on the oxygen concentration has been put into practical use. This exhaust gas sensor has a constant voltage power supply 11 as shown in FIG.
On the other hand, it consists of a configuration in which a reference resistor 12 and the titanium oxide 13 are connected in series, and the voltage drop on the circuit is mainly The air-fuel ratio is detected by reading from the output terminal 14 whether it is occurring due to the reference resistor 12 or the titanium oxide 13. FIG. 4 shows the relationship between the resistance value and temperature of titanium oxide in this exhaust gas sensor in a lean atmosphere and a rich atmosphere. As shown in the figure, the resistance value 15 in a lean atmosphere and the resistance value 16 in a rich atmosphere both decrease as the temperature increases. As described above, the air-fuel ratio is detected depending on whether the voltage drop occurs at the reference resistor 12 or the titanium oxide 13. Therefore, the resistance value 17 of the reference resistor 12 must be between the resistance value 15 in a lean atmosphere and the resistance value 16 in a rich atmosphere, and the operating temperature range as an exhaust gas sensor is narrow, 400 to 700 degrees Celsius. It is.

この従来の排ガスセンサの使用温度範囲が狭いという問
題点を解決するために、技術開発が活発に行われ、これ
ら不具合を解決する方法がいくつか提案されている。そ
の一つに、電気回路により酸化チタンの抵抗値あるいは
出力から基準抵抗値を切り換える方法あるいは比較電圧
を補正する方法として、「ガス検出装置」 (特開昭5
4−85097号)、「チタニア式02センサの信号処
理回路」(特開昭56−22944号)、「空燃比検出
装置」 (特開昭56−42132号)がある。しかし
ながら、これら電気回路によって補正するタイプの排ガ
スセンサでは、検出回路が複雑なものとなり、故障等を
生じやすいという欠点があった。
In order to solve the problem that the conventional exhaust gas sensor has a narrow operating temperature range, technical development is actively being carried out, and several methods have been proposed to solve these problems. One of them is a "gas detection device" (Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 5-118), which uses an electric circuit to switch the reference resistance value from the resistance value or output of titanium oxide, or to correct the comparison voltage.
4-85097), ``Signal processing circuit for titania type 02 sensor'' (Japanese Patent Laid-open No. 56-22944), and ``Air-fuel ratio detection device'' (Japanese Patent Laid-Open No. 56-42132). However, these types of exhaust gas sensors that are corrected using electric circuits have a drawback that the detection circuit is complicated and is prone to malfunctions.

また、その他の方法として、基準抵抗にNTCサーミス
タを用いて酸化チタンの温度依存性を補償する方法「ガ
ス中の酸素検知装置」 (特開昭53−61396号)
がある。しかしながら、この方法では、所望の抵抗値を
持つNTCサーミスタが得られにくいとともに、温度補
償をする上でNTCサーミスタを必ず酸化チタン近傍に
配置しなくてはならないという問題点があった。さらに
、酸化チタンをヒーター加熱によって所定の温度に保持
する方法「空燃比センサ」 (特開昭53−84797
号)がある。
In addition, as another method, a method for compensating for the temperature dependence of titanium oxide using an NTC thermistor as a reference resistance, ``Oxygen Detector in Gas'' (Japanese Unexamined Patent Publication No. 53-61396)
There is. However, this method has problems in that it is difficult to obtain an NTC thermistor with a desired resistance value, and the NTC thermistor must be placed near titanium oxide for temperature compensation. Furthermore, we have developed an ``air-fuel ratio sensor'' (Japanese Unexamined Patent Publication No. 53-84797) that maintains titanium oxide at a predetermined temperature by heating it with a heater.
No.).

しかしながら、このヒータによって温度コントロールす
る排ガスセンサは、新たにヒータ用電源が必要になると
ともに排ガスセンサとしての製作工程が増加するという
問題があった。
However, this exhaust gas sensor whose temperature is controlled by a heater has the problem that a new power source for the heater is required and the manufacturing process for the exhaust gas sensor is increased.

そこで、本発明者らは、上述の如き従来技術の問題点を
解決すべく鋭意研究し、各種の系統的実験を重ねた結果
、本発明を成すに至ったものである。
Therefore, the present inventors conducted intensive research to solve the problems of the prior art as described above, and as a result of conducting various systematic experiments, they came up with the present invention.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、使用温度範囲の広い排ガスセンサを提
供するにある。
An object of the present invention is to provide an exhaust gas sensor that can be used over a wide temperature range.

本発明者らは、上述の従来技術の問題に関し、以下のこ
とに着眼した。すなわち、リーン雰囲気とリッチ雰囲気
とにおける3〜4桁に及ぶ感ガス層の抵抗値の変化を損
なうことなく、リーン雰囲気とリッチ雰囲気とにおける
感ガス層の抵抗値の温度変化率を低下させることにより
、第3図に示されるような従来タイプの排ガスセンサで
も、リーン雰囲気とリッチ雰囲気とを十分に広い温度範
囲で検出できる排ガスセンサとして提供できることに着
眼した。
The present inventors have focused on the following regarding the problems of the prior art described above. That is, by reducing the rate of temperature change in the resistance value of the gas-sensitive layer between a lean atmosphere and a rich atmosphere without impairing the change in the resistance value of the gas-sensitive layer that ranges over 3 to 4 orders of magnitude between lean and rich atmospheres. We have focused on the fact that even a conventional type of exhaust gas sensor as shown in FIG. 3 can be provided as an exhaust gas sensor that can detect lean atmospheres and rich atmospheres in a sufficiently wide temperature range.

〔第1発明の説明〕 第1発明の構成 本第1発明の排ガスセンサは、一対の電極と。[Description of the first invention] Configuration of the first invention The exhaust gas sensor of the first invention includes a pair of electrodes.

該電極間に配設された感ガス層部とからなる排ガスセン
サにおいて、感ガス層部が、感ガス性を示す金属酸化物
と、該金属酸化物に少なくとも一部固溶した前記金属酸
化物よりも原子価の大きい金属の酸化物とからなること
を特徴とする。
In an exhaust gas sensor comprising a gas-sensitive layer disposed between the electrodes, the gas-sensitive layer includes a metal oxide exhibiting gas-sensitivity and the metal oxide at least partially dissolved in the metal oxide. It is characterized by being composed of an oxide of a metal with a higher valence than that of the metal oxide.

!土産団Ω作里 本第1発明の排ガスセンサが奏する効果を発揮するメカ
ニズムについては、未だ必ずしも明らかではないが、次
のように考えられる。
! The mechanism by which the exhaust gas sensor of the first invention exerts its effects is not yet clear, but it is thought to be as follows.

すなわち、本第1発明の排ガスセンサの感ガス層は、感
ガス性を示す金属酸化物と、該金属酸化物に少なくとも
一部固溶した前記金属酸化物よりも原子価の大きい金属
の酸化物とからなる。この前記金属酸化物よりも原子価
の大きい金属元素は、該排ガスセンサ製造途中の焼成過
程において前記感ガス性を示す金属酸化物の結晶格子中
に置換固溶し易い。そして、これら元素は、感ガス層中
の感ガス性を示す金属酸化物に対し、電子ドナーとして
作用する。そのため、感ガス層中の感ガス性を示す金属
酸化物の伝導帯内の熱励起電子生成の活性化エネルギー
は低下され、その結果、感ガス層の抵抗値の温度変化率
を低減することができる。
That is, the gas-sensitive layer of the exhaust gas sensor of the first invention comprises a metal oxide exhibiting gas-sensitivity and an oxide of a metal having a higher valence than the metal oxide, which is at least partially dissolved in the metal oxide. It consists of. A metal element having a higher valence than the metal oxide is likely to be substituted into a solid solution in the crystal lattice of the gas-sensitive metal oxide during the firing process during the manufacture of the exhaust gas sensor. These elements act as electron donors to the gas-sensitive metal oxide in the gas-sensitive layer. Therefore, the activation energy for generating thermally excited electrons in the conduction band of the gas-sensitive metal oxide in the gas-sensitive layer is lowered, and as a result, the rate of temperature change in the resistance value of the gas-sensitive layer can be reduced. can.

第1発明の効果 本第1発明の排ガスセンサは、使用温度範囲の広い排ガ
スセンサである。
Effects of the First Invention The exhaust gas sensor of the first invention is an exhaust gas sensor that can be used over a wide temperature range.

すなわち、感ガス層をなす金属酸化物に対し、電子ドナ
ーとして作用する前記金属酸化物より原子価の大きい金
属元素を固溶させることにより、リーン雰囲気とリッチ
雰囲気とにおける抵抗値変化を十分に確保でき、さらに
、両雰囲気における抵抗値の温度変化率を低減できるた
め、ヒータあるいは基準抵抗等の切り換え回路等を使用
することなく、従来よりも広い温度範囲において空燃比
を検出する排ガスセンサとして作動する。
That is, by dissolving a metal element having a higher valence than the metal oxide that acts as an electron donor into the metal oxide forming the gas-sensitive layer, a sufficient change in resistance value between lean and rich atmospheres is ensured. Furthermore, since the temperature change rate of the resistance value in both atmospheres can be reduced, it can operate as an exhaust gas sensor that detects the air-fuel ratio over a wider temperature range than conventional methods without using a switching circuit such as a heater or reference resistance. .

〔第1発明のその他の発明の説明〕 以下に、前記第1発明のその他の発明について説明する
[Description of other inventions of the first invention] Other inventions of the first invention will be described below.

本発明の排ガスセンサにおいて、電極は、耐熱性の導電
体であれば特に限定されるものではなく、通常は金ある
いは白金族を主成分とするものが使用される。
In the exhaust gas sensor of the present invention, the electrode is not particularly limited as long as it is a heat-resistant conductor, and usually one whose main component is gold or a platinum group metal is used.

また、感ガス層部は、感ガス性を示す金属酸化物と、該
金属酸化物に少なくとも一部固溶した前記金属酸化物よ
りも原子価の大きい金属の酸化物とからなる。
Further, the gas-sensitive layer portion is composed of a metal oxide exhibiting gas-sensitivity and an oxide of a metal having a higher valence than the metal oxide, which is at least partially dissolved in the metal oxide.

金属酸化物は、感ガス性を示す物質からなり、酸素濃度
に対して抵抗値変化として応答する酸化物半導体を用い
る。具体的には、酸化チタン(Ti0z)、酸化スズ(
S n Ot )、酸化亜鉛(ZnO)、酸化ニオブ(
Nb205)、酸化タンタル(Ta2nt)、酸化セリ
ウム(CeOz)、等が挙げられる。これら酸化物半導
体は、非化学量論組成であり、例えば酸化チタンでは、
酸素との間に化学平衡 ←         2 が成立する。酸素濃度に対して伝導帯内の電子数が増減
するため理論空燃比を境にしてその抵抗値が急激に変化
する。
The metal oxide is made of a gas-sensitive substance, and an oxide semiconductor is used that responds to oxygen concentration as a change in resistance. Specifically, titanium oxide (Ti0z), tin oxide (
S n Ot ), zinc oxide (ZnO), niobium oxide (
Nb205), tantalum oxide (Ta2nt), cerium oxide (CeOz), and the like. These oxide semiconductors have non-stoichiometric compositions; for example, titanium oxide has a non-stoichiometric composition.
A chemical equilibrium ← 2 is established with oxygen. Because the number of electrons in the conduction band increases or decreases with respect to the oxygen concentration, the resistance value changes rapidly when the stoichiometric air-fuel ratio is reached.

金属酸化物よりも原子価の大きい金属の酸化物は、金属
酸化物が酸化チタンの場合、5価の原子価を持つ金属の
酸化物が挙げられ、例えばニオブ、タンタル等の酸化物
を挙げることができる。また、酸化スズの場合はアンチ
モン等の酸化物が、酸化亜鉛の場合はアルミニウム、ク
ロム等の酸化物が、酸化ニオブの場合はタングステン、
モリブデン等の酸化物が、酸化タンタルの場合はタング
ステン、モリブデン等の酸化物が、酸化セリウムの場合
はタンタル等の酸化物が挙げられる。
When the metal oxide is titanium oxide, examples of metal oxides with a higher valence than metal oxides include oxides of metals with a pentavalent valence, such as oxides of niobium, tantalum, etc. I can do it. In addition, in the case of tin oxide, oxides such as antimony, in the case of zinc oxide, oxides such as aluminum and chromium, and in the case of niobium oxide, oxides such as tungsten,
When the oxide such as molybdenum is tantalum oxide, examples include oxides such as tungsten and molybdenum, and when cerium oxide, examples include oxides such as tantalum.

この金属酸化物よりも原子価の大きい金属の酸化物は、
前記感ガス性を示す物質である金属酸化物に少なくとも
その一部が固溶している。なお、該金属の酸化物の固溶
体は、少なくとも前記感ガス層の電流通過部に均一に分
散されてなることが好ましい。これは、前記金属酸化物
よりも原子価の大きい金属の酸化物の添加効果を得るに
は、該金属の酸化物の固溶体よりなる電導経路が電流通
過部内に形成されることが必要だからである。
The oxide of a metal with a higher valence than this metal oxide is
At least a portion thereof is dissolved in the metal oxide, which is the gas-sensitive substance. The solid solution of the metal oxide is preferably uniformly dispersed at least in the current passing portion of the gas-sensitive layer. This is because in order to obtain the effect of adding an oxide of a metal with a higher valence than the metal oxide, it is necessary to form a conductive path made of a solid solution of the oxide of the metal in the current passing section. .

本発明の感ガス層部は、前記金属酸化物と該金属酸化物
よりも原子価の大きい前記金属の酸化物とからなる。な
お、この感ガス層部は、多孔性焼結体であることが好ま
しい。これは、電導度が伝導帯内の電子数と必ずしも一
致しないという多孔性焼結体固有の特性によって、酸素
濃度に対する応答性の低下を抑制するためである。
The gas-sensitive layer portion of the present invention comprises the metal oxide and an oxide of the metal having a higher valence than the metal oxide. Note that this gas-sensitive layer portion is preferably a porous sintered body. This is to suppress a decrease in responsiveness to oxygen concentration due to the inherent characteristic of porous sintered bodies that the electrical conductivity does not necessarily match the number of electrons in the conduction band.

また、感ガス層部の金属酸化物よりも原子価の大きい金
属の酸化物の割合が、感ガス性を示す金属酸化物に対し
て0.02〜0.5モル%であることが好ましい。これ
は、金属酸化物の抵抗特性に及ぼす感ガス層部の金属酸
化物よりも原子価の大きい金属の酸化物の前記添加効果
を得るためには、すなわち、金属酸化物の抵抗値の温度
変化率を低下させるとともに酸素濃度に対する応答性を
保つためには、0.02モル%以上添加することが必要
だからである。また、添加量が0.5モル%を越えると
、伝導帯内の電子が多くなりすぎ、リーン雰囲気とリッ
チ雰囲気とにおける金属酸化物の抵抗値変化が小さくな
って排ガスセンサとしての特性が低下するとともに、空
燃比変化に対するセンサ出力の応答速度が低下するよう
になるからである。
Further, it is preferable that the proportion of the oxide of a metal having a higher valence than the metal oxide in the gas-sensitive layer portion is 0.02 to 0.5 mol% with respect to the metal oxide exhibiting gas-sensitivity. In order to obtain the effect of addition of a metal oxide having a higher valence than the metal oxide in the gas-sensitive layer on the resistance characteristics of the metal oxide, it is necessary to This is because it is necessary to add 0.02 mol % or more in order to reduce the oxygen concentration and maintain responsiveness to oxygen concentration. Furthermore, if the amount added exceeds 0.5 mol%, there will be too many electrons in the conduction band, and the change in resistance of the metal oxide between lean and rich atmospheres will become small, resulting in poor performance as an exhaust gas sensor. At the same time, the response speed of the sensor output to changes in the air-fuel ratio also decreases.

ここで、感ガス層部の金属酸化物よりも原子価の大きい
金属の酸化物の固溶効果について、金属酸化物として酸
化チタンを例に説明する。
Here, the solid solution effect of the oxide of a metal having a higher valence than the metal oxide of the gas-sensitive layer will be explained using titanium oxide as an example of the metal oxide.

すなわち、酸化チタンに対する5価の原子価を持つN 
b 20 s 、T a 20 sの固溶効果は、次ノ
ヨうである。
In other words, N with a pentavalent valence relative to titanium oxide
The solid solution effects of b 20 s and Ta 20 s are as follows.

N b 20 S 、T a 20 sは、酸化チタン
に対しTi’+の格子位置がNb”、Ta5+と置き換
わって固溶する。そして、全体としての電気的中性を保
つため、置換固溶したNb5“或いはTa’+量と同量
の格子位置のTi4+がTi3+となる。このTi3+
は、 T i”     Ti”  +  eの平衡反応によ
り酸化チタンの伝導帯に電子を与えるドナーとして作用
するため、酸化チタンの伝導帯内の熱励起電子生成の活
性化エネルギーを低下させることができ、その結果、酸
化チタンの抵抗値の温度変化率を低減することができる
N b 20 S and Ta 20 s form a solid solution in titanium oxide by replacing the lattice position of Ti'+ with Nb'' and Ta5+.In order to maintain the electrical neutrality as a whole, they form a solid solution by substitution. Ti4+ at a lattice position with the same amount as Nb5'' or Ta'+ becomes Ti3+. This Ti3+
acts as a donor that provides electrons to the conduction band of titanium oxide through the equilibrium reaction of Ti"Ti"+e, so it is possible to lower the activation energy of thermally excited electron generation in the conduction band of titanium oxide, As a result, the temperature change rate of the resistance value of titanium oxide can be reduced.

なお、感ガス層部が酸化チタン、該金属酸化物よりも原
子価の大きい金属の酸化物が酸化ニオブまたは酸化タン
タルの場合は、Nb”(イオン半径:0.69人)、T
a5+(イオン半径:0.68人)が酸化チタンの格子
位置のTi”(イオン半径=0゜68人)とイオン半径
がほぼ等しいので、酸化ニオブまたは酸化タンタルは酸
化チタンに対して置換固溶し易く、前記添加効果を一層
奏することができ、また酸化チタンに対し比較的少量の
酸化ニオブ、酸化タンタルによって前記添加効果を十分
に得ることができる。また、酸化チタンに対する酸化ニ
オブ、酸化タンタルの固溶限界も大きく、固溶した状態
が熱力学的にも安定な状態であるため、高温条件下で長
時間使用しても偏析など生ずることがなく、前記添加効
果を持続することができ、センサとしての耐久性に大変
優れている。
In addition, when the gas-sensitive layer part is titanium oxide and the oxide of a metal with a higher valence than the metal oxide is niobium oxide or tantalum oxide, Nb" (ion radius: 0.69 people), T
Since the ionic radius of a5+ (ion radius: 0.68 people) is almost equal to that of Ti'' (ion radius = 0°68 people) at the lattice position of titanium oxide, niobium oxide or tantalum oxide is a substituted solid solution for titanium oxide. It is easy to add niobium oxide and tantalum oxide to titanium oxide, and the above-mentioned addition effect can be achieved even more, and the above-mentioned addition effect can be sufficiently obtained with a relatively small amount of niobium oxide and tantalum oxide compared to titanium oxide. The solid solution limit is also large, and the solid solution state is thermodynamically stable, so segregation does not occur even when used for a long time under high temperature conditions, and the added effect can be maintained. It has excellent durability as a sensor.

次に、本発明の感ガス層の製造方法について、その具体
的な例を簡単に説明すると以下のようである。
Next, a specific example of the method for producing a gas-sensitive layer of the present invention will be briefly described below.

なお、ここでは、金属酸化物としての酸化チタンと金属
酸化物よりも原子価の大きい金属の酸化物として酸化ニ
オブまたは酸化タンタルを用いた例として述べる。
Here, an example will be described in which titanium oxide is used as a metal oxide and niobium oxide or tantalum oxide is used as an oxide of a metal having a higher valence than the metal oxide.

先ず、酸化チタンと酸化ニオブまたは酸化タンタルとか
らなる感ガス層の調整方法について述べる。
First, a method for preparing a gas-sensitive layer made of titanium oxide and niobium oxide or tantalum oxide will be described.

第1の方法は、酸化チタン粉末ならびに所定量の酸化ニ
オブ(N b 20 s )、あるいは酸化タンタル(
Ta20s)の粉末をボールミルを用いて機械的に粉砕
混合するものである。機械的な混合方法であるため、よ
り均一な混合を図るには出発原料の粒径が小さいことが
必要であり、5μm以下であることが望ましい。また、
該出発原料の純度も所期の添加効果を得るには3N以上
であることが好ましい。使用するボールミルは、不純物
等の混入を極力防止するためナイロン等のプラスッチク
製が望ましく、混合時間も6時間以上であることが好ま
しい。
The first method uses titanium oxide powder and a predetermined amount of niobium oxide (N b 20 s ) or tantalum oxide (
The powder of Ta20s) is mechanically pulverized and mixed using a ball mill. Since this is a mechanical mixing method, in order to achieve more uniform mixing, the particle size of the starting materials must be small, preferably 5 μm or less. Also,
The purity of the starting material is also preferably 3N or higher in order to obtain the desired addition effect. The ball mill used is preferably made of plastic such as nylon in order to prevent contamination with impurities as much as possible, and the mixing time is preferably 6 hours or more.

第2の方法は、所定量のニオブあるいはタンタルのアル
コキシドを溶解したアルコール溶液に酸化チタン粉末を
添加して混合乾燥させるものである。該方法では、ニオ
ブあるいはタンタルのアルコキシドは乾燥過程中に空気
中の水分によって加水分解され、酸化ニオブあるいは酸
化タンタルとして酸化チタン粉末表面を均一に被覆する
。そのため、酸化チタン粉末に対するニオブ、タンタル
の分散状態は機械的な混合方法よりも均一性が高い。ま
た、使用する酸化チタン粉末の粒径は小さいことが必要
で、5μm以下であることが望ましく、その純度も所期
の添加効果を得るには3N以上であることが好ましい。
The second method is to add titanium oxide powder to an alcohol solution in which a predetermined amount of niobium or tantalum alkoxide is dissolved, and to mix and dry the mixture. In this method, niobium or tantalum alkoxide is hydrolyzed by moisture in the air during the drying process, and the surface of the titanium oxide powder is uniformly coated as niobium oxide or tantalum oxide. Therefore, the state of dispersion of niobium and tantalum in the titanium oxide powder is more uniform than in the mechanical mixing method. Further, the particle size of the titanium oxide powder used needs to be small, preferably 5 μm or less, and its purity is preferably 3N or more in order to obtain the desired addition effect.

第3の方法は、チタンのアルコキシドを溶解したアルコ
ール溶液に所定量のニオブあるいはタンタルのアルコキ
シドを添加し、混合乾燥させるものである。この方法で
は、出発原料が全て溶液であるため、加水分解後に生成
する酸化チタンに対するニオブあるいはタンタルの分散
状態は最も均一である。また、出発原料として5N以上
のニオブ、タンタルあるいはチタンのアルコキシドの人
手が容易であり、0.1モル%以下の添加を行うのに好
ましい手法である。
The third method is to add a predetermined amount of niobium or tantalum alkoxide to an alcohol solution in which titanium alkoxide is dissolved, and to mix and dry the mixture. In this method, since all starting materials are solutions, the state of dispersion of niobium or tantalum in the titanium oxide produced after hydrolysis is the most uniform. Furthermore, it is easy to use 5N or more niobium, tantalum, or titanium alkoxide as a starting material, and is a preferred method for adding 0.1 mol % or less.

次いで、以上のようにニオブあるいはタンタルを添加し
た酸化チタン粉末は、排ガスセンサとしての機械的強度
を付与するため成形した後、温度1000〜1400°
Cで焼成し、本発明の排ガスセンサを得る。なお、焼成
は、電気炉を用いた炉中加熱でも、マイクロ波加熱で行
ってもよい。このとき、焼成時間は、焼成温度が高いほ
ど短くすることができ、焼成温度が1200℃の炉中加
熱の場合、焼成時間は約4時間である。この焼成過程に
おいて添加したニオブ、タンタルは酸化チタン中に置換
固溶する。
Next, the titanium oxide powder to which niobium or tantalum has been added as described above is molded to give it mechanical strength as an exhaust gas sensor, and then heated at a temperature of 1000 to 1400°C.
C. to obtain the exhaust gas sensor of the present invention. Note that the firing may be performed by heating in an electric furnace or by microwave heating. At this time, the firing time can be shortened as the firing temperature is higher, and in the case of heating in a furnace at a firing temperature of 1200° C., the firing time is about 4 hours. During this firing process, the added niobium and tantalum are substituted and dissolved in the titanium oxide.

本発明の排ガスセンサは、酸化チタン感ガス部をディス
ク状に形成し、白金電極対で挟み込む形状としてもよい
The exhaust gas sensor of the present invention may have a titanium oxide gas sensing portion formed into a disk shape and sandwiched between a pair of platinum electrodes.

また、厚膜技術等のハイブリッド技術を用い、セラミッ
クス基板上に形成してもよい。
Alternatively, it may be formed on a ceramic substrate using a hybrid technology such as a thick film technology.

〔実施例〕〔Example〕

以下に、本発明の詳細な説明する。 The present invention will be explained in detail below.

第1実施例 金属酸化物として酸化チタンを、金属酸化物よりも原子
価の大きい金属の酸化物としてニオブおよびタンタルを
用いて排ガスセンサを作製し、該センサの性能評価試験
を行った。
First Example An exhaust gas sensor was prepared using titanium oxide as a metal oxide and niobium and tantalum as oxides of metals having a higher valence than the metal oxide, and a performance evaluation test of the sensor was conducted.

先ず、純度3N、粒径2μmの酸化チタン、酸化ニオブ
(NbzOs)の粉末を用意し、酸化チタン2gに対し
酸化ニオブを酸化物として0.1モル%、0.2モル%
、0.5モル%、ならびに1.0モル%秤量し、試薬特
級のエタノールを100mA’加えたナイロンとポリプ
ロピレン製のボールミル(内容量250m1)を用い、
24時間機械的に混合後、乾燥して酸化ニオブを所定量
添加した酸化チタン粉末を調整した。
First, powders of titanium oxide and niobium oxide (NbzOs) with a purity of 3N and a particle size of 2 μm are prepared, and niobium oxide is 0.1 mol% and 0.2 mol% as an oxide for 2 g of titanium oxide.
, 0.5 mol%, and 1.0 mol% using a nylon and polypropylene ball mill (inner capacity 250 m1) to which 100 mA' of reagent grade ethanol was added.
After mechanically mixing for 24 hours, the mixture was dried to prepare a titanium oxide powder to which a predetermined amount of niobium oxide was added.

また、純度3N、粒径2μmの酸化チタンならびに純度
5Nのペンタ−1−プロポキシタンタル〔Ta(Oi 
 Pr)s)を用意し、酸化チタン2gに対しペンタ−
1−プロポキシタンタルを加水分解後の酸化物として0
.1モル%、0.2モル%、0.5モル%、ならびに1
.0モル%秤量し、試薬特級のエタノール100m17
を加えた容量500mlのパイレックス製のビーカーの
中で十分に撹拌混合後、室温において1週間放置してペ
ンタ−1−プロポキシタンタルを加水分解し、酸化チタ
ン粉末表面にゲルとして固化させた。その後、電気炉中
で大気雰囲気下で500°Cに6時間保持して残存アル
コールならびにアルコキシドを完全に燃焼させ、酸化タ
ンタルを所定量添加した酸化チタン粉末を調整した。
In addition, titanium oxide with a purity of 3N and a particle size of 2 μm and penta-1-propoxy tantalum [Ta(Oi
Prepare Pr)s) and add penta-oxide to 2g of titanium oxide.
1-propoxytantalum as an oxide after hydrolysis 0
.. 1 mol%, 0.2 mol%, 0.5 mol%, and 1
.. Weighed 0 mol%, reagent grade ethanol 100ml17
After thorough stirring and mixing in a Pyrex beaker with a capacity of 500 ml, penta-1-propoxytantalum was hydrolyzed and solidified as a gel on the surface of the titanium oxide powder by being left at room temperature for one week. Thereafter, the mixture was maintained at 500° C. for 6 hours in an electric furnace in an air atmosphere to completely burn off residual alcohol and alkoxide, thereby preparing titanium oxide powder to which a predetermined amount of tantalum oxide was added.

次に、純度5Nのテトラ−1−プロポキシチタンI:T
 i  (−0−i −Pr ) 4 〕、〕ペンター
1−プロポキシニオブNb(Oi  Pr)s)ならび
にペンタ−1−プロポキシタンタル〔Ta(−0−i 
−Pr ) 5]を用意し、テトラ−i−プロポキシチ
タン70gに対し、ペンタ−1−プロポキシニオブなら
びにペンタ−1−プロポキシタンタルを加水分解の後の
酸化物として0.02モル%、0.05モル%秤量し、
試薬特級のエタノールloOmlを加えた容量500m
1のパイレックス製のビーカー内にて充分に攪拌混合後
、室温にて1週間放置して出発原料である各アルコキシ
ドを加水分解し、ゲルとして固化させた。その後、電気
炉中で、大気雰囲気下で500℃に6時間保持し、残存
アルコールならびにアルコキシド基を完全に燃焼させた
。そして、試薬特級のエタノール100m1を加えたナ
イロンとポリプロピレン製のボールミル(内容量250
m1)を用いて24時間機械的に破砕後乾燥し、メツシ
ュ幅5μmのナイロン製のネットを用いて酸化ニオブな
らびに酸化タンタルを所定量添加した粒径5μm以下の
酸化チタン粉末を調整した。
Next, 5N purity tetra-1-propoxy titanium I:T
i (-0-i -Pr ) 4 ],] penta-1-propoxyniobium Nb(Oi Pr)s) and penta-1-propoxytantalum [Ta(-0-i
-Pr) 5] was prepared, and 0.02 mol% of penta-1-propoxyniobium and penta-1-propoxytantalum were added as oxides after hydrolysis to 70 g of tetra-i-propoxytitanium. Weigh the mole%,
Capacity 500m including reagent grade ethanol 10ml
After thorough stirring and mixing in a Pyrex beaker (No. 1), the mixture was left at room temperature for one week to hydrolyze each alkoxide as a starting material and solidify as a gel. Thereafter, the mixture was held at 500° C. for 6 hours in an electric furnace in an air atmosphere to completely burn off the remaining alcohol and alkoxide groups. Then, a ball mill made of nylon and polypropylene (inner capacity 250ml) was added with 100ml of reagent grade ethanol.
ml) for 24 hours, and then dried using a nylon net with a mesh width of 5 μm to prepare titanium oxide powder with a particle size of 5 μm or less to which predetermined amounts of niobium oxide and tantalum oxide were added.

以上のように調整した酸化チタン粉末ならびに出発原料
とした純度3N、粒径2μmの酸化チタン粉末について
、錠剤成形器を用い、減圧下で約350 kg/cJの
圧力で直径13mm、厚さ約2mmの錠剤に成形後、大
気雰囲気下、電気炉中で1200℃にて4時間焼成した
。酸化チタンのみの焼結体の気孔率は17.7%、酸化
ニオブおよび酸化タンタルを添加した酸化チタン焼結体
の気孔率は第1表に示すように添加量が0.02〜0.
5モル%の範囲では20%を越えていた。
The titanium oxide powder prepared as described above and the titanium oxide powder with a purity of 3N and a particle size of 2 μm as starting materials were molded into a tablet with a diameter of 13 mm and a thickness of about 2 mm at a pressure of about 350 kg/cJ under reduced pressure using a tablet molding machine. After molding into tablets, the mixture was calcined in an electric furnace at 1200° C. for 4 hours in an air atmosphere. The porosity of the sintered body containing only titanium oxide is 17.7%, and the porosity of the sintered titanium oxide body containing niobium oxide and tantalum oxide is 0.02 to 0.0% as shown in Table 1.
In the range of 5 mol%, it exceeded 20%.

以上により得られたディスク状焼結体2に、第1図およ
び第2図に示すように両面に白金3aを厚さ300人イ
オンコーテイング後、機械的に押しつけた直径0.1m
mの白金線3bを介し、50〜第 1 表 70℃に維持した白金10 g/lに相当する[Pt(
NH3)4 E ci2を含むアンモニア性めっき液(
200ml)中で、白金対極に対し20分間−1,OV
の電圧を印加して、イオンブレーティングした白金層上
に白金をめっきして白金電極3を形成した。この時、押
しつけた白金線を巻き込むようにめっきされるため、酸
化チタン焼結体2に対し白金線3bが接続した白金電極
3が形成された。これより、本発明にかかる本実施例の
排ガスセンサlを得た。
The disk-shaped sintered body 2 obtained above was ion-coated with platinum 3a on both sides to a thickness of 300 mm, as shown in FIGS. 1 and 2, and then mechanically pressed to a diameter of 0.1 m.
[Pt(
Ammonia plating solution containing NH3)4E ci2 (
-1,OV for 20 min against platinum counter electrode in 200 ml)
The platinum electrode 3 was formed by plating platinum on the ion-bladed platinum layer by applying a voltage of . At this time, the platinum electrode 3 with the platinum wire 3b connected to the titanium oxide sintered body 2 was formed because plating was performed so as to wrap around the pressed platinum wire. As a result, an exhaust gas sensor 1 according to this embodiment of the present invention was obtained.

次に、この排ガスセンサの性能評価試験を行った。先ず
、300〜900℃にかけて排気ガス温を変えることが
できるとともに、空燃比(λ)が燃料過剰(リッチ雰囲
気:λ=0.9)と燃料不足(リーン雰囲気:λ=1.
1)との間で制御できるプロパンガスバーナー試験機内
に上記工程にて作製した排ガスセンサ試料を保持し、定
常状態における抵抗値を測定した。その結果を、第5図
ないし第10図に示す。また、酸化ニオブの添加量が0
.02モル%、0.5モル%、1.0モル%のものにつ
いて、600℃にてリッチ雰囲気あるいはり一ン雰囲気
において定常状態における抵抗値を測定した後、それぞ
れ逆雰囲気に切り換え、対数抵抗値変化として50%応
答するまでの時間を測定し応答速度として評価した。リ
ーン雰囲気からリッチ雰囲気に切り換えた時の応答時間
をTI、リッチ雰囲気からリーン雰囲気に切り換えた時
の時間をT2として第2表に示す。
Next, a performance evaluation test of this exhaust gas sensor was conducted. First, the exhaust gas temperature can be changed from 300 to 900 degrees Celsius, and the air-fuel ratio (λ) can vary between excess fuel (rich atmosphere: λ=0.9) and fuel shortage (lean atmosphere: λ=1.
The exhaust gas sensor sample produced in the above process was held in a propane gas burner tester that could be controlled between 1) and the resistance value in a steady state was measured. The results are shown in FIGS. 5 to 10. In addition, the amount of niobium oxide added is 0.
.. For 02 mol%, 0.5 mol%, and 1.0 mol%, the resistance values in a steady state were measured at 600°C in a rich atmosphere or a 1.0 mol% atmosphere, and then switched to the opposite atmosphere, and the logarithmic resistance values were measured. As a change, the time required for 50% response was measured and evaluated as response speed. Table 2 shows the response time when switching from a lean atmosphere to a rich atmosphere as TI, and the time when switching from a rich atmosphere to a lean atmosphere as T2.

第2表 第5図において、酸化チタンのみの試料のリーン雰囲気
の抵抗値15およびリッチ雰囲気の抵抗値16に比べて
、0.02モル%酸化ニオブを添加した試料のリーン雰
囲気の抵抗値5Aおよびリッチ雰囲気の抵抗値5Bはと
もに温度変化率が低下している。この温度変化率の低下
は、酸化ニオブの添加量が0.02モル%以上の場合に
認められる。
In Table 2, Figure 5, the lean atmosphere resistance value of the sample containing only titanium oxide is 15, and the resistance value of the rich atmosphere resistance value is 16, while the lean atmosphere resistance value of the sample with 0.02 mol% niobium oxide added is 5A and 16. For both resistance values 5B in the rich atmosphere, the rate of temperature change is reduced. This decrease in temperature change rate is observed when the amount of niobium oxide added is 0.02 mol% or more.

第6図ないし第9図においても酸化チタンのみの試料の
リーン雰囲気の抵抗値15およびリッチ雰囲気の抵抗値
16に比べ、0.05モル%、0.1モル%、0.2モ
ル%、0.5モル%の酸化ニオブをそれぞれ添加した試
料のリーン雰囲気の抵抗値6A、7A、8A、9Aおよ
びリッチ雰囲気の抵抗値6B、7B、8B、9Bは、と
もに温度変化率が低下している。
In FIGS. 6 to 9, compared to the resistance value 15 in a lean atmosphere and the resistance value 16 in a rich atmosphere for samples containing only titanium oxide, the resistance values are 0.05 mol%, 0.1 mol%, 0.2 mol%, 0. For the lean atmosphere resistance values 6A, 7A, 8A, and 9A and the rich atmosphere resistance values 6B, 7B, 8B, and 9B of the samples to which 0.5 mol % of niobium oxide was added, the rate of temperature change is reduced.

第1θ図において、酸化チタンのみの試料のリーン雰囲
気の抵抗値15がリッチ雰囲気の抵抗値16に対して3
〜4桁大きいのに比べ、1モル%酸化ニオブを添加した
試料では抵抗値の温度変化率は低下しているものの、リ
ーン雰囲気の抵抗値10Aはリッチ雰囲気の抵抗値10
Bに対して1〜2桁しか増加していない。このことは、
試料の酸素濃度に対する応答性が低下したことを示すも
ので、排ガスセンサとしての特性が損なわれていること
を意味する。この現象は、酸化ニオブの添加量が0.5
モル%を越える場合に認められる。
In Fig. 1θ, the resistance value 15 in the lean atmosphere of the sample containing only titanium oxide is 3 compared to the resistance value 16 in the rich atmosphere.
Although it is ~4 orders of magnitude larger, the temperature change rate of resistance value in the sample with 1 mol% niobium oxide is lower, but the resistance value of 10A in a lean atmosphere is higher than the resistance value of 10A in a rich atmosphere.
It increases by only 1 to 2 orders of magnitude compared to B. This means that
This indicates that the sample's responsiveness to oxygen concentration has decreased, meaning that its characteristics as an exhaust gas sensor have been impaired. This phenomenon occurs when the amount of niobium oxide added is 0.5
Permitted if it exceeds mol%.

以上の結果より、酸化チタンの抵抗値の変化率を低下さ
せるための酸化ニオブの添加量は、0.02〜0.5モ
ル%が有効であることが分る。
From the above results, it can be seen that 0.02 to 0.5 mol % of niobium oxide is effective in reducing the rate of change in the resistance value of titanium oxide.

第2表より、酸化ニオブの添加量が0.5モル%以下に
おいては、応答時間はセンサとしての応答性を満足する
ものであるが、0.5モル%を越える場合には応答時間
が1秒を越えセンサとしての応答性を低下させているこ
とが分る。
From Table 2, when the amount of niobium oxide added is 0.5 mol% or less, the response time satisfies the responsiveness as a sensor, but when it exceeds 0.5 mol%, the response time is 1. It can be seen that the response time as a sensor is reduced beyond seconds.

以上の本実施例の結果より、排ガスセンサとしての特性
を改善するために酸化チタンに対して添加する酸化ニオ
ブの添加量は、0.02〜0.5モル%が有効であるこ
とがわかる。
From the above results of this example, it can be seen that an effective amount of niobium oxide to be added to titanium oxide in order to improve the characteristics as an exhaust gas sensor is 0.02 to 0.5 mol %.

また、本実施例の酸化チタンに対し酸化タンタルを添加
した試料についてもプロパンガスバーナー試験機にて抵
抗特性を測定した。酸化タンタルを0.02モル%、0
.5モル%、1.0モル%添加した酸化チタンの抵抗値
の温度特性を、第11図ないし第13図に示す。これよ
り、酸化チタンの抵抗値の変化率を低下させるための酸
化タンタルの添加量は0.02〜0.5モル%が有効で
あることが確認された。
Further, the resistance characteristics of the sample obtained by adding tantalum oxide to the titanium oxide of this example were also measured using a propane gas burner tester. 0.02 mol% of tantalum oxide, 0
.. The temperature characteristics of the resistance value of titanium oxide added at 5 mol % and 1.0 mol % are shown in FIGS. 11 to 13. From this, it was confirmed that 0.02 to 0.5 mol% of tantalum oxide is effective for reducing the rate of change in the resistance value of titanium oxide.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図は本発明の第1実施例の排ガスセン
サを示し、第1図はその概略斜視図、第2図は第1図の
A−A’断面図、第3図および第4図は従来技術を示し
、第3図はその空燃比検出装置の回路図、第4図はその
装置の酸素センサ素子の抵抗と温度の関係を示す線図、
第5図ないし第13図は本発明の第1実施例の排ガスセ
ンサを用いて行った性能評価試験の結果を示す線図(感
ガス層の抵抗−温度特性の変化を示す線図)である。 l・・・排ガスセンサ、 2・・・感ガス層部、 3・・・電極、 5A、6A、7A、8A、9A、10A。 1 lA、l 2A、13A ・・・リーン雰囲気の抵抗−温度特性の変化5B、6B
、7B、8B、9B、l0B11B、12B、13B
1 and 2 show an exhaust gas sensor according to a first embodiment of the present invention, FIG. 1 is a schematic perspective view thereof, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA' in FIG. 1, and FIGS. 4 shows the prior art, FIG. 3 is a circuit diagram of the air-fuel ratio detection device, and FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the resistance and temperature of the oxygen sensor element of the device.
5 to 13 are diagrams showing the results of performance evaluation tests conducted using the exhaust gas sensor of the first embodiment of the present invention (diagrams showing changes in the resistance-temperature characteristics of the gas-sensitive layer). . l...Exhaust gas sensor, 2...Gas sensitive layer portion, 3...Electrode, 5A, 6A, 7A, 8A, 9A, 10A. 1 lA, l 2A, 13A... Change in resistance-temperature characteristics in lean atmosphere 5B, 6B
, 7B, 8B, 9B, l0B11B, 12B, 13B

Claims (1)

【特許請求の範囲】 一対の電極と、該電極間に配設された感ガス層部とから
なる排ガスセンサにおいて、 感ガス層部が、感ガス性を示す金属酸化物と、該金属酸
化物に少なくとも一部固溶した前記金属酸化物よりも原
子価の大きい金属の酸化物とからなることを特徴とする
排ガスセンサ。
[Claims] An exhaust gas sensor comprising a pair of electrodes and a gas-sensitive layer disposed between the electrodes, wherein the gas-sensitive layer includes a metal oxide exhibiting gas-sensitivity, and a gas-sensitive layer disposed between the electrodes. and an oxide of a metal having a higher valence than the metal oxide, which is at least partially solid-dissolved in the exhaust gas sensor.
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