JPH0279450U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0279450U JPH0279450U JP15832088U JP15832088U JPH0279450U JP H0279450 U JPH0279450 U JP H0279450U JP 15832088 U JP15832088 U JP 15832088U JP 15832088 U JP15832088 U JP 15832088U JP H0279450 U JPH0279450 U JP H0279450U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser light
- light source
- intensity
- irradiation point
- healthy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案微小欠陥検出装置の一実施例の
模式図、第２図は欠陥検出原理の説明図、第３図
は検出結果の画像表示図である。 １…レーザー光源、１ａ…照射レーザー光、１
ｂ…反射レーザー光、２…対物レンズ、３…機械
部品試料面、４…ハーフミラー、５…ピンホール
、６…光センサー、７…ＣＲＴ、８…微小欠陥、
９…結晶粒界、１０…微小孔。
模式図、第２図は欠陥検出原理の説明図、第３図
は検出結果の画像表示図である。 １…レーザー光源、１ａ…照射レーザー光、１
ｂ…反射レーザー光、２…対物レンズ、３…機械
部品試料面、４…ハーフミラー、５…ピンホール
、６…光センサー、７…ＣＲＴ、８…微小欠陥、
９…結晶粒界、１０…微小孔。
Claims (1)
- 構造部材表面の二次元領域中を走査するように
集中レーザー光を照射するレーザー光源と、各照
射点から反射するレーザー光の強度を検出し健全
部と欠陥部におけるレーザー光反射強度の差を確
認するか又は各照射点における健全部と欠陥部と
に応じてなされる上記レーザー光源と上記部材表
面との距離変化による最高強度状態を確認する光
センサーとを具えたことを特徴とする微小欠陥検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15832088U JPH0279450U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15832088U JPH0279450U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279450U true JPH0279450U (ja) | 1990-06-19 |
Family
ID=31438539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15832088U Pending JPH0279450U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0279450U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5927207A (ja) * | 1982-08-07 | 1984-02-13 | Agency Of Ind Science & Technol | 非接触表面形状・あらさ計 |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP15832088U patent/JPH0279450U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5927207A (ja) * | 1982-08-07 | 1984-02-13 | Agency Of Ind Science & Technol | 非接触表面形状・あらさ計 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE136442T1 (de) | Abbildungsvorrichtung und verfahren zur abtastung einer mikro-laser-quelle | |
| JPH0279450U (ja) | ||
| JPH027541U (ja) | ||
| JPH0311218U (ja) | ||
| JPH0279448U (ja) | ||
| JPS6253349U (ja) | ||
| JPH0285310U (ja) | ||
| JPH0376144U (ja) | ||
| JPS62189889U (ja) | ||
| JPS6425710U (ja) | ||
| JPS62180758U (ja) | ||
| JPH01120642U (ja) | ||
| JPH0518716A (ja) | 光学式非接触厚み測定装置 | |
| JPH02110804U (ja) | ||
| JPS63126813U (ja) | ||
| JPS63170705U (ja) | ||
| JPS63188507U (ja) | ||
| JPS6025954U (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0161608U (ja) | ||
| JPH01121837U (ja) | ||
| JPS6228155U (ja) | ||
| JPH02118807U (ja) | ||
| JPH01104507U (ja) | ||
| JPS63188506U (ja) | ||
| JPH01158904U (ja) |