JPH0238731U - - Google Patents
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- JPH0238731U JPH0238731U JP11811488U JP11811488U JPH0238731U JP H0238731 U JPH0238731 U JP H0238731U JP 11811488 U JP11811488 U JP 11811488U JP 11811488 U JP11811488 U JP 11811488U JP H0238731 U JPH0238731 U JP H0238731U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- furnace
- central portion
- protective film
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の炉芯管の一実施例の縦断面図
、第２図は本考案の炉芯管の他の実施例の縦断面
図、第３図は本考案の一実施例、本考案の他の実
施例の炉芯管、従来の石英炉芯管および表面被覆
なしの炭化珪素炉芯管をそれぞれ使用して半導体
基板を酸化した場合の各炉芯管と半導体基板のラ
イフタイムとの関係図、第４図は従来の炉芯管の
縦断面図である。 １１，２１，４１……炉芯管中心材、１２，２
２……保護膜。
、第２図は本考案の炉芯管の他の実施例の縦断面
図、第３図は本考案の一実施例、本考案の他の実
施例の炉芯管、従来の石英炉芯管および表面被覆
なしの炭化珪素炉芯管をそれぞれ使用して半導体
基板を酸化した場合の各炉芯管と半導体基板のラ
イフタイムとの関係図、第４図は従来の炉芯管の
縦断面図である。 １１，２１，４１……炉芯管中心材、１２，２
２……保護膜。
Claims (1)
- 半導体装置製造工程で複数の半導体基板を一括
し表面処理または熱処理等を行なう拡散炉に用い
る炉芯管において、前記炉芯管は炉芯管本体とな
る第１の材質からなる中心部と、前記中心部表面
を被覆するように形成された第２の材質からなる
保護膜を有することを特徴とする炉芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11811488U JPH0238731U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11811488U JPH0238731U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0238731U true JPH0238731U (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=31362185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11811488U Pending JPH0238731U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238731U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5678117A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-26 | Toshiba Corp | Furnace core tube |
| JPS5851508A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-26 | Yamagata Nippon Denki Kk | 半導体素子製造用治具 |
| JPS6145853A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-05 | Hitachi Ltd | 紙葉類収納装置 |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP11811488U patent/JPH0238731U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5678117A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-26 | Toshiba Corp | Furnace core tube |
| JPS5851508A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-26 | Yamagata Nippon Denki Kk | 半導体素子製造用治具 |
| JPS6145853A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-05 | Hitachi Ltd | 紙葉類収納装置 |