JPH0230682A - セラミックス焼成用道具材 - Google Patents

セラミックス焼成用道具材

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JPH0230682A
JPH0230682A JP63181141A JP18114188A JPH0230682A JP H0230682 A JPH0230682 A JP H0230682A JP 63181141 A JP63181141 A JP 63181141A JP 18114188 A JP18114188 A JP 18114188A JP H0230682 A JPH0230682 A JP H0230682A
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JP
Japan
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zro2
ceramic
al2o3
specific gravity
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JP63181141A
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Masashi Fujimoto
藤本 雅司
Yoshihisa Kato
加藤 能久
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Coorstek KK
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Toshiba Ceramics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフェライトなどのセラミックスを焼成する際に
用いられるセッター、棚板などの道具材に関する。
〔従来の技術〕
例えばフェライトなどのセラミックスを焼成する際には
、棚板上にセッターを載せ、セッター上に被焼成物を載
せたものを、支柱を介して多段に積層した状態で炉内に
装入している。
種板としてはA見203質又はA見203−S i02
質でかさ比重2.0〜4.0のもの、セッターとしては
高純度Al2O3質でかさ比重2.0〜4.0のものが
使用されるのが一般的である。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、上述したようなセッターや棚板を使用した場合
、以下のような問題が生じていた。すなわち、■被焼成
物のセッターとの接触部分に焼きむらが生じたり、バイ
ンダーが残存することがある。■セッター及び棚板の空
隙率が小さいため、雰囲気ガスの流通性が悪い、■セッ
ター及び棚板のかさ比重が大きいため、熱容量が大きく
、熱効率が悪い。
なお、高純度アルミナ質からなり、かさ比重が約 1.
0〜1.5で、熱容量の小さい軽量セッターも知られて
はいるが、こうした軽量セッターの空隙率は50〜70
%であり、やはり雰囲気ガスの流通性がそれほどよくな
いという問題があった。
そこで、セラミックフオームからなる棚板などの道具材
を使用することが試みられている。しかし、従来のセラ
ミックフオームからなる道具材は、強度及び耐スポーリ
ング性に劣るという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
、被焼成物に焼きむらやバインダ残りを生じさせること
がなく、雰囲気ガスの流通性が良好で、熱効率を改善す
ることができ、しかも強度及び耐スポーリング性に優れ
たセラミックス焼成用道具材を提供することを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段と作用〕
本発明のセラミックス焼成用セッターは、平均粒子径の
比ZrO2/A120gが1〜10であるA 4120
3とZrO2とを、A、l □0 、70〜95重量%
、ZrO230〜 5重量%の組成比で配合、成形し、
焼成してなり、かさ比重が0.7〜2.0、空隙率が5
0〜90%であることを特徴とするものである。
本発明に係るセラミックス焼成用道具材は、いわゆるセ
ラミックフオームからなるものである。
このような道具材は以下のような方法により製造するこ
とができる0例えば、原料粉末のスリップ′を調製し、
ウレタンフオームのような芯材に上記スリップを含浸さ
せて乾燥するという作業を繰返した後、焼成して芯材を
焼去することにより製造することができる。したがって
、セラミックフオームからなる道具材のかさ比重や空隙
率は、芯材であるウレタンフオームの目開きの種類、セ
ル数及び含浸回数を変化させることにより所望の特性が
得られる。
本発明において、A1203とZrO2との平均粒子径
の比ZrO2/AjL20i (以下、Z/Aと記す)
を 1〜10と規定したのは以下のような理由による。
すなわち、Z/Aが1未満では耐スポーリング性が低下
するため、セラミックス焼成用道具材として使用するこ
とが困難である。また、Z/Aが10を超えると圧縮強
さが低下するとともに耐スポーリング性が低下するため
、やはりセラミックス焼成用道具材として使用すること
が困難である。
なお、各原料の平均粒子径は、 A l 203が0.
1〜10pm 、 Z r O2がlN10g+sテあ
ることが望ましい。
本発明において、組成比をA旦20,70−95重量%
、Z r O230〜5重量%と規定したのは、AM、
03が70重量%未満で、ZrO2が30重量%を超え
ると道具材の圧縮強さが低下し、一方A文203が35
重量%を超え、ZrO2が5重量%未満であると、耐ス
ポーリング性が低下するためである。
本発明において、セラミックフオームからなる道具材の
かさ比重を0.7〜2.0と規定したのは、かさ比重が
0.7未満では強度が低下し、一方かさ比重が2.0を
超えると熱容量が大きくなって熱効率を向上させる効果
が少ないためである。
本発明において、セラミックフオームからなる道具材の
空隙率を50〜90%と規定したのは、空隙率が50%
未満では雰囲気ガスの流通性を改善する効果が少ないう
えに熱容量が大きくなって熱効率を向上させる効果が少
なく、−力学隙率が90%を超えると強度が低下するた
めである。
なお、本発明の道具材を例えばセッターとして用いる場
合、かさ比重は0.5〜1.2.空隙率は70〜90%
、厚みは3〜lhm、1インチ当りのセル数は13〜3
0であることが望ましい、これは目開きが大きい(例え
ば#6.8)と被焼成物に傷が入りやすいためである。
また、本発明の道具材を棚板や匣鉢として用いる場合、
かさ比重は0.7〜2.0、空隙率は50〜85%、厚
みは10〜3h層、1インチ当りのセル数はB〜20で
あることが望ましい、これは、セッターに比べて棚板、
匣鉢は積み上げて使用されることが多く、強度が要求さ
れるためである。すなわち、同じかさ比重のフオームを
得る場合、セル数が小さい(目開きが大きい)はど骨格
の太さが大となり強度が向上する。
本発明によれば、被焼成物と道具材との接触部分が点接
触又は線接触となるので、被焼成物に焼きむらが生じた
りバインダが残ることがなく、雰囲気ガスの流通性が良
好で、軽量であるため熱効率を改善することができ、し
かも強度及び耐スポ−リング性に優れたセラミックス焼
成用道具材を提供することができる。
〔実施例〕
以下1本発明の詳細な説明する。
第1表に示す平均粒子径比のアルミナ及びジルコニア(
No1〜15)を、同表に示す組成比で配合し、水を加
えて混合してスリップを調製した。このスリップをウレ
タンフオームからなる芯材に含浸させて乾燥するという
作業を数回繰返した後、焼成して芯材を焼去した。
得られたセラミックフオームの一部を切出して作製され
た試料について、かさ比重、空隙率、骨格かさ比重、圧
縮強さ、耐スポーリング性を調べた。この場合、耐スポ
ーリング性は、直径50■■、厚さ501m、セル数6
の試料を、SiC発熱体を有する電気炉内に1200℃
で15分間保持し、5分間水冷するという操作を5回繰
返した後、試料の骨格部が徐々に欠は落ることに伴なう
重量変化(重量残存率(%))で評価した。その結果を
第1表に示す、また、平均粒子径の比(Z/A)と圧縮
強さ及び重量残存率との関係を第1図に示す。
なお、第1表には従来のアルミナ質セラミックフオーム
の試料についても上記と同様の結果を併記する。
第1表及び第1図から明らかなように、アルミナ−ジル
コニア質のセラミックフオームは平均粒子径の比(Z/
A)が1〜lOの範囲で充分な圧縮強さを維持しつつ耐
スポーリング性を向上できることがわかる。特に、平均
粒子径の比が4〜6の範囲では耐スポーリング性を著し
く向上することができる。
次に、以下の比較例1,2及び実施例1.2のようにし
て同一の電気炉内でフェライトを焼成した。
比較例I A n 203質の棚板上に高純度A交2o3質のセッ
ターを載せ、セッター上にフェライト原料を載せ、更に
A120z質の支柱(3角柱状をなし、棚板の4隅に設
けられる)を介して複数段積層した。
比較例2 A !;L203質の棚板上に軽量セッターを載せ、軽
量セッター上にフェライト原料を載せ、更にA立203
質の支柱を介して複数段積層した。
実施例1 第2図(a)に示すように、A見203質の棚板1上に
アルミナ−ジルコニア質のセラミックフオーム(No7
)からなるセー、ター2を載せ、セッター2上にフェラ
イト原料を載せ、更にA i203質の支柱3を介して
複数段積層した。
実施例2 アルミナ−ジルコニア質のセラミックフオーム(No7
)からなる棚板4上に直接フェライト原料を載せ、更に
A l 203質の支柱3を介して複数段積層した。
以上のそれぞれの場合について、焼きむらによる不良率
及び消費電力を調べた。その結果を第2表に示す。
第  2  表 第2表から明らかなように実施例1及び2では、焼きむ
らによる不良率が少なく、しかも消費電力も少なくなっ
ており、歩留り及び熱効率の両者を向とできることがわ
かる。
なお1本発明に係るセラミック焼成用道具材、例えば棚
板やセッターはセル数の異なる複数のセラミックフオー
ムを積層したものでもよい、また、本発明に係るセラミ
ック焼成用道具材の用途としては、上述した棚板及びセ
ッターに限らず、棚板の支柱、るつぼやさやばち及びそ
れらの蓋体など種々の用途が挙げられる。また、本発明
に係るセラミック焼成用道具材を補強するには、欠落が
生じやすい周辺部を緻密質のセラミックスでコーティン
グすればよu゛。
〔発明の効果〕
以上詳述したように本発明のセラミック焼成用道具材に
よれば、被焼成物に焼きむらやバインダ残りを生じさせ
ることがなく、雰囲気ガスの流通性が良好で、熱効率を
改善することができ、しかも強度及び耐スポーリング性
に優れているなど顕著な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るセラミック焼成用道具材の平均粒
子径比(ZrO2/A見203)と圧縮強さ及び重量残
存率との関係を示す特性図、第2図(a)及び(b)は
それぞれ本発明に係るセラミック焼成用道具材による焼
成方法を示す断面図である。 1・・・棚板(A交203質)、2・・・セッター(ア
リミナージルコニア質セラミックフオーム)、3・・・
支柱(A文203質)、4・・・棚板(アリミナージル
コニア質セラミックフオーム)。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 平均粒子径の比ZrO_2/Al_2O_3が1〜10
    であるAl_2O_3とZrO_2とを、Al_2O_
    370〜95重量%、ZrO_230〜5重量%の組成
    比で配合、成形し、焼成してなり、かさ比重が0.7〜
    2.0、空隙率が50〜90%であることを特徴とする
    セラミックス焼成用道具材。
JP63181141A 1988-07-20 1988-07-20 セラミックス焼成用道具材 Expired - Lifetime JP2542682B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0728496U (ja) * 1991-02-07 1995-05-30 東陶機器株式会社 水石けん供給装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61141666A (ja) * 1984-12-12 1986-06-28 東芝セラミツクス株式会社 セラミックフオ−ム
JPS61201659A (ja) * 1985-03-06 1986-09-06 東芝セラミツクス株式会社 セラミックフォームの製造方法

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