JPH02241025A - フォトレジスト塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ ウェハにフォトレジストを塗布する塗布装置に関し、 作業者に煩雑な作業を強いることなくフォトレジストの
塗布ムラを解消することを目的とし、フォトレジストを
塗布するカップユニット位置にウェハを搬送する搬送装
置と、カップユニット内でウェハを吸着して回転させる
回転装置と、そのカップユニット内で回転するウェハ上
に７オトレジストをノズルから排出するレジスト供給装
置とを備えたフォトレジスト塗布装置であって、カップ
ユニットに移送されるウェハを検出するウェハセンサと
、そのウェハセンサから出力されるウェハ検出信号の間
隔時間を計測する計測装置と、その計測装置で計測され
た間隔時間とあらかじめ設定された設定時間とを比較し
、間隔時間が設定時間を超過した場合にはウェハのカッ
プユニット内への搬送に先立ってフォトレジストをノズ
ルから排出させるように前記レジスト供給装置を駆動す
る制御装置とから構成する。

［産業上の利用分野］ この発明はウェハにフォトレジストを塗布する塗布装置
に関するものである。

ウェハにフォトレジストを塗布するための塗布装置はウ
ェハを搬送装置でカップ内に搬送し、カップ内に配設さ
れた回転装置でウェハを吸着して回転させ、そのウェハ
上にフォトレジストをノズルから排出するものである。

〔従来の技術］ 従来、フォトレジストはポジ系であればアセトン、ネガ
系であればキシレン等の溶剤で溶かされ、レジスト塗布
装置ではレジスト供給装置により第５図（ａ＞に示すよ
うなノズル１からフォトレジスト２が一定量ずつウェハ
上に排出される。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のようなレジスト塗布装置では、ノズル１から一定
時間以上フオドレジスト２を排出しない状態が続くと、
第５図（ｂ）に示すようにノズル１先端部のフォトレジ
スト２の溶剤が気化して凝固部２ａが形成される。この
ような状態のままレジスト塗布装置を再起動させてノズ
ル１からフォトレジスト２を排出すると、第６図に示す
ように前記凝固部２ａがウェハ３上に排出されて塗布ム
ラ４が生じてしまう、そこで、このような不具合を解消
するために、レジスト塗布装置の起動後において最初に
フォトレジストを塗布するウェハをあらかじめ別個に用
意し、そのウェハで凝固部２ａを受けるようにしたり、
あるいは再起動時には作業者がその都度凝固部２ａの除
去作業を行なう必要があり、これらの作業が煩雑である
という問題点があった。

この発明の目的は、作業者に煩雑な作業を強いることな
くフォトレジストの塗布ムラを解消することができる塗
布装置を提供するにある。

［課題を解決するための手段］ 第１図はこの発明の原理説明図である。すなわち、レジ
スト塗布装置にはフォトレジストを塗布するカップユニ
ット６位置にウェハ９を搬送する搬送装置１２と、カッ
プユニット６内でウェハ９を吸着して回転させる回転装
置１３と、そのカップユニット６内で回転するウェハ９
上にフォトレジストをノズル１４から排出するレジスト
供給装置２１とが備えられている。そして、カップユニ
ット６に移送されるウェハ９を検出するウェハセンサ１
１と、そのウェハセンサ１１から出力されるウェハ検出
信号の間隔時間を計測する計測装置１８ｂとが設けられ
、さらにその計測装置１８ｂで計測された間隔時間とあ
らかじめ設定された設定時間とを比較し、間隔時間が設
定時間を超過した場合にはウェハ９のカップユニット６
内への搬送に先立ってフォトレジストをノズル１４から
排出させるように前記レジスト供給装置２１を駆動する
制御装置１８が設けられている。

［作用］ 計測装置１８ｂで計測された計測時間があらかじめ設定
された設定時間より大きくなった場合、すなわち設定時
間以上の間ノズル１４からフォトレジストが排出されて
いない場合には、ウェハ９のカップユニット６内への搬
送に先立ってノズル１４内のフォトレジストの凝固部分
が排出される。

［実施例］ 以下、この発明を具体化したレジスト塗布装置を第２図
〜第４図に従って説明すると、第２図に示すようにレジ
スト塗布装置５はカップユニット６の前後に前部搬送ベ
ルト７と後部搬送ベルト８とが配設され、前部搬送ベル
ト７はウェハ８をカップユニット６方向へ慧送する。前
部搬送ベルト７の前端位置にはストッパ９が設けられ、
ウェハ９はこのストッパ１０に当接するまで前進する。

また、前部搬送ベルト７の前端部近傍において同搬送ベ
ルト７の上方にはウェハ９を検出するためのウェハセン
サ１１が設けられている。

前部搬送ベルト７の両側にはウェハ９を力・ツブユニッ
ト６内へ搬送する搬送装置を構成する前部ローダユニッ
ト１２が配設されている。この前部ローダユニット１２
は常には前部搬送ベルト７より下方に位置し、後記制御
装置１８の指令信号に基いて上昇し、その上昇時には前
部搬送ベルト８両側に突出するウェハ９端部を支持して
同ウェハ９を上方へ持上げ、つづいてカップユニット６
に向かって前進してウェハ９をカップユニット６内に移
送するようになっている。

カップユニット６は上方を開口した下部カップ６ａと下
方を開口した上部カップ（図示しない）とが互いに対向
するように配設され、下部カップ６ａは後記カップ駆動
装置２０により昇降されるとともに、下部カップ６ａが
上限まで上昇するとその上端縁が上部カップの下端縁に
当接して閉空間が形成されるようになっている。

カップユニット６内には吸着軸１３が立設され、第２図
に鎖線で示すように前記ウェハ９を負圧により吸着可能
であり、その吸着軸１３はウェハ９を吸着した状態で回
転するようになっている。また、カップユニット６内に
は吸着軸１３に吸着されたウェハ９上にフォトレジスト
を排出するためのノズル１４が配設され、その排出時に
は先端が同図に実線で示す位置から鎖線で示す位置まで
回動されるようになっている。

カップユニット６の近傍には下部カップ６ａの昇降状態
を検出するためのカップアップセンサ１５及びカップダ
ウンセンサ１６が設けられ、上限まで上昇した下部カッ
プ６ａあるいは下限まで下降した下部カップ６ａを検出
するようになっている。

後部搬送ベルト８の両側には前記前部ローダユニット１
２と対をなす後部ローダユニット１７が配設されている
。すなわち、後部ローダユニット１７は常には後部搬送
ベルト８両側において同後部搬送ベルト８より下方に位
置し、カップユニット６内でウェハ９へのフォトレジス
トの塗布が終了すると上昇してカップユニット６に向か
って前進し、吸着軸１３上のウェハ１１を持上げて後方
へ移動し、そのウェハ９を後部搬送ベルト８上に移送す
るようになっている。

次に、上記レジスト塗布装置５の電気的構成を第３図に
従って説明すると、制御装置としてのＣＰＵ１８には前
記ウェハセンサ１１、カップアップセンサ１５及びカッ
プダウンセンサ１６の出力信号が入力され、ＣＰＵ１８
はその入力信号及びプログラムメモリ１９にあらかじめ
格納されたプログラムに基いて動作する。また、ＣＰＵ
１８にはクロック信号発生回路１８ａとそのクロック信
号に基いて時間を計測する計測口＃Ｂ１５ｂが内蔵され
、ウェハセンサ１１の出力信号に基いて計測開路１８ｂ
の計測時間がリセットされるようになっている。そして
、ＣＰＵ１８の出力信号に基いて前記ローダユニット１
２．１７、カップ駆動装置２０、レジスト供給装置２１
が駆動されるようになっている。

次に、上記のように構成されたレジスト塗布装置１の作
用を第４図に従って説明する。

さて、レジスト塗布装置５が動作してウェハ９がウェハ
センサ１１で検出されると（ＳＴＥ、ＰＬ−以下５ＴＥ
ＰはＳとする）、ＣＰＵ１８はプログラムメモリ１９に
あらかじめ設定された時間すなわちノズル１４内のフォ
トレジストが凝固する時間と計測回路１８ｂによる計測
時間とを比較する（Ｓ２）、ここで、前回のウェハ９の
検出から設定時間以上経過している場合、すなわちレジ
スト塗布装置５のノズル１４からは設定時間以上の間フ
ォトレジストが排出されていないと、ＣＰＵ１８は下部
カップ６ａを上昇させて上部カップとの間に閉空間を形
成しくＳ３）、この状態でレジスト供給装置２１を動作
させて経過時間に応じた量のフォトレジストを排出し、
ノズル１４内で凝固しているフォトレジストを排出する
（３４）、このとき、ノズル１４を覆うようにカップユ
ニット６で閉空間が形成されるので、フォトレジストの
カップユニット６、外への飛散が防止される。

この後通常のレジスト塗布動作が開始され、ＣＰＵ１８
は下部カップ６ａを下降させ（Ｓ５）、計測時間をリセ
ットしくＳ６）、前部ローダユニット１２を作動させて
ウェハ９を吸着軸１３上に搬送する（３７）、そして、
ウェハ９を吸着軸１３で吸着しながら回転させた状態で
ノズル１４から同ウェハ９上にフォトレジストを排出し
てウェハ９にフォトレジストを塗布し、その後後部ロー
ダユニット１７及び後部搬送ベルト８が駆動されてウェ
ハ９が後工程へ搬送され、つづいて後続のウェハ９がカ
ップユニット６に向かって搬送されて同様なレジスト塗
布工程が繰返される。

一方、前記Ｓ２において計測時間が設定時間以内である
場合には、ＣＰＵ１８はＳ３〜Ｓ５の工程を省略し、直
ちに８６以下の通常のレジスト塗布工程を開始する。

以上のようにこのレジスト塗布装置では、ノズル１４か
らフォトレジストが一定時間以上排出されずに同ノズル
１４内でフォトレジストが凝固している場合には、ウェ
ハ９へのフォトレジストの排出に先立ってそのフォトレ
ジストの凝固部分がカップユニット６内に排出されるの
で、ウェハに対するフォトレジストの塗布ムラを未然に
防止することができる。そして、このような動作は作業
者による監視を必要とすることな（ＣＰＵ１８の動作に
基いて自動的に行なうことができる。なお前記設定時間
を変更することにより種々のフォトレジストに対応する
ことができることはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明はノズル内で凝固したフ
ォトレジストの作業者による除去作業を必要とすること
なくフォトレジストの塗布ムラを解消することができる
優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の原理説明図、第２図はこの発明を具
体化したレジスト塗布装置の概略を示す平面図、第３図
はそのレジスト塗布装置の主要部の電気的構成を示すブ
ロック図、第４図はその主要な動作を示すフローチャー
ト図、第５図（ａ）（ｂ）は従来のレジスト塗布装置の
ノズル部分を示す断面図、第６図は塗布ムラの発生した
ウェハを示す正面図である。 図中、６はカップユニット、９はウェハ、１１はウェハ
センサ、１２は搬送装置、１３は回転装置、１４はノズ
ル、１８は制御装置、２１はレジＩＴｌ 第５図 従寮のレジスト塗布装置のノズル部分を示す断面図（ａ
） （ｂ） 第６図 塗布６うの発生したウニへの正面図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、フォトレジストを塗布するカップユニット（６）位
   置にウェハ（９）を搬送する搬送装置（１２）と、 カップユニット（６）内でウェハ（９）を吸着して回転
   させる回転装置（１３）と、 そのカップユニット（６）内で回転するウェハ（９）上
   にフォトレジストをノズル（１４）から排出するレジス
   ト供給装置（２１）と、 を備えたフォトレジスト塗布装置であつて、カップユニ
   ット（６）に移送されるウェハ（９）を検出するウェハ
   センサ（１１）と、 そのウェハセンサ（１１）から出力されるウェハ検出信
   号の間隔時間を計測する計測装置（１８ｂ）と、 その計測装置（１８ｂ）で計測された間隔時間とあらか
   じめ設定された設定時間とを比較し、間隔時間が設定時
   間を超過した場合にはウェハ（９）のカップユニット（
   ６）内への搬送に先立ってフォトレジストをノズル（１
   ４）から排出させるように前記レジスト供給装置（２１
   ）を駆動する制御装置（１８）と、 を備えたことを特徴とするフォトレジスト塗布装置。