JPH021635B2 - - Google Patents

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JPH021635B2
JPH021635B2 JP57028784A JP2878482A JPH021635B2 JP H021635 B2 JPH021635 B2 JP H021635B2 JP 57028784 A JP57028784 A JP 57028784A JP 2878482 A JP2878482 A JP 2878482A JP H021635 B2 JPH021635 B2 JP H021635B2
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JP
Japan
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flange
head
lifter
arm
transfer device
Prior art date
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JP57028784A
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Japanese (ja)
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JPS58149193A (en
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Wataru Nagabori
Kenjiro Takahashi
Takuo Fukuchi
Tokuo Isaka
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は物体移送装置に係り、特に衝撃および
機械的強度の弱い物体の移送装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an object transfer device, and more particularly to an object transfer device with low impact and mechanical strength.

一般に、加工ステーシヨンへ、上部より被加工
物体を自動的に移送供給する場合は、 (1) 被加工物体を、フツク状のハンガーに懸吊し
て移送する方式や、あるいは (2) 把持機構により、被加工物体を把持固定して
移送する方式などが採られる。
Generally, when automatically transferring and supplying a workpiece to a processing station from above, there are two methods: (1) suspending the workpiece from a hook-like hanger, or (2) using a gripping mechanism. , a method is adopted in which the workpiece is gripped and fixed and transferred.

比較的高い移送位置精度および移送速度を必要
とする場合は、第2の方式を採用されることが多
い。
When relatively high transfer position accuracy and transfer speed are required, the second method is often adopted.

すなわち、把持機構を有する上下動ヘツド部を
下降させて被加工物を加工ステーシヨンへ受け渡
し、そこで加工した後、再び被加工物を把持、上
昇させ、つゞいて、上下動ヘツド部を旋回または
横行させることにより、次の加工ステーシヨンへ
被加工物を移送する方式が採られる。
That is, the vertically movable head section with a gripping mechanism is lowered to deliver the workpiece to the processing station, and after being processed there, the workpiece is again gripped and raised, and the vertically movable head section is rotated or traversed. A method is adopted in which the workpiece is transferred to the next processing station.

このような移送方式では、何等かの理由で、正
規加工ステーシヨン位置以外のところへ移送位置
がずれたり、または、前の被加工物が正規加工ス
テーシヨン位置に残つていたりした場合等には、
次いで移送される被加工物を把持した上下動ヘツ
ド部が下降する際に、障害物または残存被加工物
に干渉(衝突)し、これらを押圧することにな
る。
With this type of transfer method, if for some reason the transfer position shifts to a location other than the official processing station position, or the previous workpiece remains at the official processing station position,
Next, when the vertically movable head holding the transferred workpiece descends, it interferes with (collides with) obstacles or remaining workpieces and presses them.

このため、被加工物に損傷を与えたり、上下動
ヘツド部または加工ステーシヨンを破損したりす
るおそれがある。
Therefore, there is a risk of damaging the workpiece or damaging the vertically movable head or the processing station.

特に、強度の弱い電子部品や、シリコンウエハ
ー等の脆い部品を移送する場合には、弱い押圧力
でも変形、破損する場合がしばしばである。
In particular, when transferring weak electronic components or fragile components such as silicon wafers, they often deform or break even with a weak pressing force.

このため、加工歩留の低下、および移送装置も
しくは加工ステーシヨン機器自体の破損等の損失
ともたらし、生産効率を著しく低下させるという
欠点を生ずる。
This results in losses such as a reduction in processing yield and damage to the transfer device or the processing station equipment itself, resulting in a disadvantage in that production efficiency is significantly reduced.

このような欠点の改善策として、従来は、 (1) 上下動ヘツド部の下降時において、被加工物
の移送位置ずれを検出したり、または残存被加
工物等の障害物を検出したりする方法、 (2) 被加工物の把持部、またはアーム部の押圧力
を検出する荷重検出法、 (3) 下降駆動部において過負荷を検出する方法、 などにより異常を検知し、下降移送動作を停止さ
せることが必要であるとされていた。
Conventionally, measures to improve these shortcomings include: (1) detecting a shift in the transfer position of the workpiece or detecting obstacles such as remaining workpieces when the vertically movable head section is lowered; (2) A load detection method that detects the pressing force of the gripping part of the workpiece or the arm part; (3) A method of detecting overload in the descending drive part. It was deemed necessary to stop it.

しかし、加工ステーシヨンが、薬品溶液槽また
は水処理槽等のように、洗浄処理を行なうもので
ある場合の被加工物移送においては、被加工物は
槽内にある。
However, when the workpiece is transferred when the processing station is one that performs a cleaning process, such as a chemical solution tank or a water treatment tank, the workpiece is inside the tank.

このため、前記(1)の手法による移送位置のず
れ、あるいは障害物の直接検出が困難な場合が多
く、また前記(2),(3)の手法による荷重検出および
過負荷検出においても、悪雰囲気による影響に対
して充分な信頼度を維持でき、しかも、保安の容
易な検出器がないという問題があつた。さらにま
た、制御および調整が複雑化する等の問題があつ
た。
For this reason, it is often difficult to directly detect shifts in the transfer position or obstacles using the method (1) above, and it is also difficult to detect the load and overload using the methods (2) and (3) above. There was a problem in that there was no detector that could maintain sufficient reliability against the influence of the atmosphere and was easy to maintain. Furthermore, there were other problems such as complicated control and adjustment.

本発明は、前述の諸問題を解決するためのもの
で、本発明の目的は、把持した被加工物を加工ス
テーシヨンへ移送して下降する際に、被加工物あ
るいは移送装置それ自体、および加工ステーシヨ
ン機器の破損を防止するための、簡素で確実な過
負荷防止機構を有する物体移送装置を提供するこ
とにある。
The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to transfer the gripped workpiece to a processing station and lower the workpiece, the workpiece itself, and the processing station. An object of the present invention is to provide an object transfer device having a simple and reliable overload prevention mechanism for preventing damage to station equipment.

前記の目的を達成するために、本発明は、把持
機構により把持した物体−被加工物を加工ステー
シヨンへ下降移送中に、障害物に衝突した場合で
も、障害物に過大な押圧力を及ぼすことがないよ
うに、把持機構を有する上下動ヘツド部を、上方
向のみへ回動自在に構成したものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a mechanism that prevents excessive pressing force from being applied to an obstacle even when the object/workpiece gripped by the gripping mechanism collides with the obstacle while being transferred downward to the processing station. The vertically movable head portion having a gripping mechanism is configured to be freely rotatable only in the upward direction so that the gripping mechanism does not move upwardly.

以下、本発明の一実施例を第1図、第2図、第
3図により説明する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1, 2, and 3.

第1図は本発明の一実施例の斜視図、第2図は
前記実施例の一部断面正面図、第3図は第2図の
右側面図である。
FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially sectional front view of the embodiment, and FIG. 3 is a right side view of FIG. 2.

被加工物10を収納する収納容器9を把持する
ために開閉する把持機構1および1Aを、上下動
ヘツド3によつて保持されるアーム2の先端部に
配設する。そして、図示しない開閉機構、例えば
空気シリンダー、リンク等を上下動ヘツド3の内
部に収納する。
Gripping mechanisms 1 and 1A that open and close to grip a storage container 9 containing a workpiece 10 are disposed at the tip of an arm 2 held by a vertically movable head 3. An opening/closing mechanism (not shown), such as an air cylinder, a link, etc., is housed inside the vertically movable head 3.

一方、上面が平坦なフランヂ4を、その頂部に
有し、矢印イ、ロ方向へ、図示しない駆動および
案内機構により上下動され、かつ矢印ホ、ヘ方向
へ水平横行するリフター7を設ける。
On the other hand, a lifter 7 is provided, which has a flange 4 with a flat upper surface at its top, is moved up and down in the directions of arrows A and B by a drive and guide mechanism (not shown), and horizontally moves in the directions of arrows E and F.

前記上下動ヘツド3の底面に、軸6を有する軸
受12を固定し、またフランヂ4には、前記軸6
を支持する支持部材5,5Aを固定する。前記構
成によつて、上下動ヘツド3をフランヂ4の上面
Aおよび軸受12で支持する。その結果、アーム
2および上下動ヘツド3は、軸6を中心として、
鉛直面内において、矢印ハ、ニ方向へ自在に回動
させられるようになる。
A bearing 12 having a shaft 6 is fixed to the bottom surface of the vertically movable head 3, and a bearing 12 having a shaft 6 is fixed to the flange 4.
The support members 5 and 5A that support the are fixed. With the above configuration, the vertically movable head 3 is supported by the upper surface A of the flange 4 and the bearing 12. As a result, the arm 2 and the vertically movable head 3 move around the axis 6.
In the vertical plane, it can be freely rotated in the two directions of arrow C.

また、13はフランヂ4に取付けられ、上下動
ヘツド3の一部自重を支える押バネ、11は上下
動ヘツド3の位置検出器である。8は加工ステー
シヨンに相当するもので、こゝでは、被加工物1
0を加工処理する薬品、または水の槽(以下、処
理槽)である。前記処理槽8は、通常、複数個、
リフター7の横行方向と平行に、すなわち矢印
ホ、ヘ方向に配列される。
Further, 13 is a push spring attached to the flange 4 and supports part of the vertically movable head 3's own weight, and 11 is a position detector for the vertically movable head 3. 8 corresponds to a processing station, in which the workpiece 1 is
This is a tank of chemicals or water (hereinafter referred to as a processing tank) for processing 0. The processing tank 8 is usually plural,
They are arranged parallel to the transverse direction of the lifter 7, that is, in the directions of arrows H and F.

なお、前記複数の処理槽8、上下動ヘツド3、
およびその駆動機構等は排気ダクトを有する図示
しない全体ケーシングの中に配設されている。
In addition, the plurality of processing tanks 8, the vertically movable head 3,
The drive mechanism and the like are disposed in an overall casing (not shown) having an exhaust duct.

本発明は、以上の如く構成されており、通常の
作動においては、把持機構1,1Aで把持した収
納容器9を、処理槽8の中央上部へ横行移送した
後、上下動ヘツド3を矢印イ方向へ下降させ、前
記収納容器9を処理槽内に定置する。
The present invention is constructed as described above, and in normal operation, after the storage container 9 gripped by the gripping mechanisms 1 and 1A is transversely transferred to the upper center of the processing tank 8, the vertically movable head 3 is moved by the arrow mark. The storage container 9 is placed in the processing tank.

処理完了後は、上下動ヘツド3を、再び矢印ロ
方向へ上昇させた後、矢印ホまたはヘ方向へ移送
し、図示しない次の処理槽で順次同様処理を行な
う。なお、前述の諸作動は、図示しない制御装置
により自動的に制御されるものである。
After the processing is completed, the vertically movable head 3 is raised again in the direction of the arrow B, then transferred in the direction of the arrows H or F, and the same processing is performed in the next processing tank (not shown) in sequence. Note that the various operations described above are automatically controlled by a control device (not shown).

つぎに、 (1) 制御装置の電気的または機械的故障などによ
り、収納容器9を把持した上下動ヘツド3が、
処理槽8に対する正規位置以外で横行停止した
場合、または (2) 上下動ヘツド3が正規位置に横行停止した場
合であつても、処理槽8内に他の収納容器が残
存していた場合等 における本実施例の動作について説明する。
Next, (1) due to an electrical or mechanical failure of the control device, the vertically movable head 3 holding the storage container 9,
(2) When the vertical movement head 3 stops traversing at a position other than the normal position with respect to the processing tank 8, or (2) When another storage container remains in the processing tank 8 even when the vertical movement head 3 stops traversing at the normal position. The operation of this embodiment will be explained below.

リフター7および上下動ヘツド3が矢印イの方
向へ下降すると、前記(1)の場合には、収納容器9
が処理槽8やその他の障害物に衝突し、また前記
(2)の場合には、収納容器同士が衝突することにな
る。
When the lifter 7 and the vertically movable head 3 descend in the direction of arrow A, in the case of (1) above, the storage container 9
collides with the treatment tank 8 and other obstacles, and the
In case (2), the storage containers will collide with each other.

このような場合、アーム2および上下動ヘツド
3は、収納容器9および把持機構1,1Aを介し
て、第2図に矢印トで示す方向の反力を受ける。
その結果、二点鎖線で示す如く、リフター7が下
降するにつれて、アーム2および上下動ヘツド3
が軸6を中心として矢印ハ方向へ回動し、アーム
2が起き上がる。
In such a case, the arm 2 and the vertically movable head 3 receive a reaction force in the direction indicated by the arrow T in FIG. 2 via the storage container 9 and the gripping mechanisms 1 and 1A.
As a result, as shown by the two-dot chain line, as the lifter 7 descends, the arm 2 and the vertically movable head 3
rotates about the shaft 6 in the direction of arrow C, and the arm 2 rises.

このため、収納容器による障害物への過大な押
圧力を逃がし、収納容器同士または収納容器と処
理槽などの相互の破損を防止することができる。
Therefore, it is possible to release the excessive pressing force exerted by the storage containers on the obstruction, and to prevent mutual damage to the storage containers or to the storage containers and the processing tank.

すなわち、上下動ヘツド3およびリフター7
を、図示しない駆動機構により強制下降させてい
るときに、収納容器9が何等かの障害物に衝突し
た場合には、アーム2が、自動的に、軸6を中心
にして時計方向に回動せしめる。そして、下限位
置でリフター7が下降を停止するまで、アーム2
は前記矢印ハ方向への回動を続ける。
That is, the vertically movable head 3 and the lifter 7
If the storage container 9 collides with some obstacle while being forcibly lowered by a drive mechanism (not shown), the arm 2 automatically rotates clockwise around the shaft 6. urge Then, the arm 2 continues until the lifter 7 stops descending at the lower limit position.
continues to rotate in the direction of the arrow C.

このため、収納容器および障害物に加わる押圧
力は、軸6を回動中心とする回動部の押し上げに
要する反力のみとなる。
Therefore, the pressing force applied to the storage container and the obstacle is only the reaction force required to push up the rotating part about the shaft 6.

そして、前記の押圧力は、アーム2および上下
動ヘツド3などの回動部の自重を一部支持する押
バネ13を設けたり、または、上下動ヘツド3
に、軸6に対して反アーム側に位置するように図
示しないバランスウエイトを付加したりすること
により、任意に調整することができる。
The above-mentioned pressing force can be achieved by providing a pressing spring 13 that partially supports the weight of the rotating parts such as the arm 2 and the vertically movable head 3, or by
This can be arbitrarily adjusted by adding a balance weight (not shown) to be located on the side opposite to the arm with respect to the shaft 6.

なお、アーム2の上向きの最大回動角を規制す
る場合、または異常を早期に素早く検知したい場
合などには、位置検出器11により任意の回動量
を検知させ、強制下降作動を即時に停止させるよ
うにすることができる。
In addition, when regulating the maximum upward rotation angle of the arm 2, or when wanting to detect an abnormality early and quickly, the position detector 11 detects an arbitrary rotation amount and immediately stops the forced lowering operation. You can do it like this.

この場合の位置検出器11は、フランヂ4の上
面Aからの、上下動ヘツド3の底面の(なるべく
は、変位の大きい側での)浮き上がり量を検出で
きるものであればよく、構造簡素な防滴形リミツ
トスイツチ等の利用が可能である。
In this case, the position detector 11 may be of any type as long as it can detect the amount of lift of the bottom surface of the vertically movable head 3 from the top surface A of the flange 4 (preferably on the side where the displacement is large), and the position detector 11 has a simple structure. A drop-shaped limit switch or the like can be used.

なお、本実施例によれば、任意の横行位置で、
上下動ヘツド3が最下点に下降し、アーム2が最
大角まで起上つた際にも、回動部自体の周辺機器
への干渉等の影響がない場合には、位置検出器1
1が万一故障により作動しなくとも破損事故につ
ながることはない。それ故に、このような場合に
は、位置検出器11を省略することができる。
Note that according to this embodiment, at any traverse position,
Even when the vertically movable head 3 descends to the lowest point and the arm 2 rises to its maximum angle, if there is no interference of the rotating part itself with peripheral equipment, the position detector 1
Even if 1 does not operate due to a failure, it will not lead to any damage or accidents. Therefore, in such a case, the position detector 11 can be omitted.

収納容器9を処理槽8内に定置し、被加工物1
0を処理加工した後、次の処理槽へ移送するた
め、図示しない駆動装置により、リフター7を矢
印ロの方向へ上昇させた場合、上下動ヘツド3
は、軸6を中心とした矢印ニ方向へのモーメント
を受ける。
The storage container 9 is placed in the processing tank 8, and the workpiece 1 is
After processing 0, when the lifter 7 is raised in the direction of arrow B by a drive device (not shown) in order to transfer it to the next processing tank, the vertically movable head 3
receives a moment about axis 6 in the direction of arrow 2.

しかし、この場合、上下動ヘツド3の底面は、
フランヂ4の上面Aで受けられているため、アー
ム2が反時計方向に、過度に回動することはな
く、収納容器11を確実に強制上昇させることが
できる。
However, in this case, the bottom surface of the vertically movable head 3 is
Since the arm 2 is supported by the upper surface A of the flange 4, the arm 2 does not rotate excessively in the counterclockwise direction, and the storage container 11 can be reliably forcibly raised.

以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、把持した被加工物を上下動移送する際に、万
一、移送制御異常が生じても、前述の簡素な過負
荷防止機構を採用することにより、被加工物、ま
たは移送および加工処理装置機器への損傷を確実
に防止できるので、加工歩留の向上および機器損
傷による損失防止を図ることができ、生産効率を
向上させる効果がある。
As is clear from the above description, according to the present invention, even if a transfer control abnormality occurs when vertically moving a gripped workpiece, the above-mentioned simple overload prevention mechanism is adopted. As a result, damage to the workpiece or the transport and processing equipment can be reliably prevented, thereby improving the processing yield and preventing losses due to damage to the equipment, which has the effect of improving production efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による一実施例を示す斜視図、
第2図は第1図の実施例の一部断面正面図、第3
図は第2図の右側面図である。 1,1A……把持機構、2……アーム、3……
上下動ヘツド、4……フランヂ、6……軸、7…
…リフター、8……処理槽、9……収納容器、1
0……被加工物、11……位置検出器、13……
押バネ。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment according to the present invention;
Figure 2 is a partially sectional front view of the embodiment shown in Figure 1;
The figure is a right side view of FIG. 2. 1, 1A...Gripping mechanism, 2...Arm, 3...
Vertical head, 4...flange, 6...shaft, 7...
... Lifter, 8 ... Processing tank, 9 ... Storage container, 1
0... Workpiece, 11... Position detector, 13...
Push spring.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 被移送物体を把持、懸吊し、上昇および下降
する物体移送装置において、 上昇、下降運動をするリフターと、 前記リフターの頂部に取付けられたフランジ
と、 前記フランジの上面に載置され、鉛直面内で、
上向きには実質上無制限に回動できるように、前
記フランジの一方の側に回動可能に枢着されたヘ
ツドと、 前記ヘツドに固着されて前記ヘツドの枢着個所
とは反対側へ延びており、その先端に被移送物体
の把持懸架機構を備えられたアームとを具備した
ことを特徴とする物体移送装置。 2 フランジの上面は平坦で、実質上水平である
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載
の物体移送装置。 3 被移送物体を把持、懸吊し、上昇および下降
する物体移送装置において、 上昇、下降運動をするリフターと、 前記リフターの頂部に取付けられたフランジ
と、 前記フランジの上面に載置され、鉛直面で、上
向きには実質上無制限に回動できるように、前記
フランジの一方の側に回動可能に枢着されたヘツ
ドと、 前記ヘツドに固着されて前記ヘツドの枢着個所
とは反対側へ延びており、その先端に被移送物体
の把持懸架機構を備えられたアームと、 前記アームが上向きに予定角度以上起上つたこ
とを、その上向き回動を制限することなしに検知
する手段と、 前記検知手段の出力に応じて前記リフターの下
降動作を停止させる手段とを具備したことを特徴
とする物体移送装置。 4 フランジの上面は平坦で、実質上水平である
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第3項記載
の物体移送装置。
[Scope of Claims] 1. An object transfer device that grasps and suspends an object to be transferred and moves up and down, comprising: a lifter that moves up and down; a flange attached to the top of the lifter; and an upper surface of the flange. placed in the vertical plane,
a head pivotably mounted on one side of said flange for substantially unlimited upward pivoting; and a head fixedly attached to said head and extending to a side opposite the pivot point of said head. 1. An object transfer device comprising: an arm, and an arm having a gripping and suspension mechanism for an object to be transferred at the tip thereof. 2. The object transfer device according to claim 1, wherein the upper surface of the flange is flat and substantially horizontal. 3. An object transfer device that grasps and suspends an object to be transferred and raises and lowers the object, comprising: a lifter that moves upward and downward; a flange attached to the top of the lifter; and a vertical a head rotatably pivoted to one side of said flange for substantially unlimited upward rotation, and a side fixed to said head opposite the pivot point of said head; an arm extending to the top and having a suspension mechanism for grasping and suspending an object to be transferred at its tip; and means for detecting that the arm has risen upward by a predetermined angle or more without restricting its upward rotation. and means for stopping the lowering operation of the lifter in response to the output of the detection means. 4. The object transfer device according to claim 3, wherein the upper surface of the flange is flat and substantially horizontal.
JP2878482A 1982-02-26 1982-02-26 Body shifter Granted JPS58149193A (en)

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JP2878482A JPS58149193A (en) 1982-02-26 1982-02-26 Body shifter

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JPS58149193A JPS58149193A (en) 1983-09-05
JPH021635B2 true JPH021635B2 (en) 1990-01-12

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