JPH02117188A

JPH02117188A - ガス放電レーザー先行点火用点火器

Info

Publication number: JPH02117188A
Application number: JP1236791A
Authority: JP
Inventors: Gerd Steinfuehrer; ゲルト　スタインフィーラー
Original assignee: Lambda Physik Forschungs & Entwickl GmbH
Current assignee: Lambda Physik Forschungs & Entwickl GmbH
Priority date: 1988-09-28
Filing date: 1989-09-11
Publication date: 1990-05-01
Also published as: US4980894A; DE3832930A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野１この発明は、レーザーのガス室に突出すると共に同ガス
室の壁に電気的に絶縁して取付けられた導電コアを有す
るガス放電レーザー、特にエキシマレーザ−の先行点火
用点火器に関する。

［従来の技術］この発明におけるガス放電レーザーは、エキシマレーザ
−のように、主電極間で動作ガスを横方向に励起させる
レーザーに関する。かかるレーザーは、一般に、主電極
間で主放電の点火を行う以前に動作ガスを先行して点火
させる、いわゆる先行点火手段を有する。この先行点火
は、電子およびＸ線ビームならびに主電極付近で点火さ
れる先行点火火花のような種々の手段で行なわれる。

これについては、当業者に公知であって詳述する必要は
ない、この発明は火花による先行点火に関する。

火花による先行点火手段としては、一体に形成された先
行点火条片を有する、いわゆる先行点火ヨークを設ける
ことが知られている。一般に、複数の先行点火ビンが先
行点火ヨーク内に伸長していて、先行点火用の火花流が
先行点火ビンの先端と先行点火条片の縁部との間に流れ
る。

上述の先行点火ビンは、レーザーのガス室内でガス放電
を点火させるので、「点火器」とも呼ばれる。

従来の点火器は、セラミック管を接着して取囲んだ導電
コアを有することで知られている。セラミック管は、導
電コアをガス室の壁から電気的に絶縁するものであり、
ガス室内に点火器が装着されている。また、セラミック
管は、ガス室の壁を通して外部から内部に入っている。

［発明が解決しようとする問題点コ上述した公知の接着セラミック管は、多くの欠点を有す
る。

即ち、接着点において、特に比較的長期間使用後に漏れ
易くなり、レーザーのガス室からガスが漏洩する。また
、セラミック管自体が、特に温度変化があると、ひび割
れを生じ易くなる。

さらに、ガス放電レーザー、特にエキシマレーザ−の寿
命は、主として使用材料によって左右されるものである
。このことは、レーザーの動作ガスと接触するすべての
部材、すなわち先行点火用点火器にもあてはまる。先行
技術で使用されている接着剤は、レーザーガスな汚染す
るようになる。

この発明は、冒頭に記述したタイプの点火器であって、
確実に漏止め効果を有し、組立および調整が簡単で、レ
ーザーガスの汚染を防止し、導電コアの断面積を簡単に
変更でき、かつ製造が経済的である点火器を提供しよう
とする課題に基づいてなされている。

［問題点を解決するための手段］この発明によって上述の問題点を解決する点火器は、請
求項１に示すように、レーザーのガス室内に突出すると
共に、このガス室の壁に電気的に絶縁して取付けられて
いて、しかもふっ素プラスチック製ジャケットで取囲ま
れている導電コアを有するガス放電レーザー、特にエキ
シマレーザ−用の先行点火手段である。

請求項２ないし４は、この発明の好適とする実施例を示
している。

この発明によるジャケットは、ふっ素プラスチックから
なり、フラッシュオーバに対して耐久性を有し、さらに
温度差によるひび割れを生ずることもない、Ｏリングの
ような特定の漏止めの要素を設ける必要はない、導電コ
アの周囲にふっ素プラスチックを吹付けてジャケットを
形成すれば、気密性が適正に得られる。ふっ素プラスチ
ックで予め形成したジャケットを、冷間またはなるべく
は、熱間に導電コアに組立ても十分な気密が得られる。

この発明の好適とする実施例では、プラスチック製ジャ
ケットを取囲む圧力スリーブが設けである。この圧力ス
リーブは、ガス室の壁に形成されためねじに協働するお
ねじを有し、従って点火器の縦軸方向にガス室の壁に螺
合することができる。圧力スリーブは、止め部を介して
、ガス室の壁に設けた円錐面に対して、弾性を有するジ
ャケットをその軸線方向に押圧することによって、第１
に上記円錐面でガス室の漏止めを行ない、第２にジャケ
ット内に半径方向内向きの力成分が生じて、同ジャケッ
トの内面を導電コアの外面に押圧する。

ジャケットは、ふっ素プラスチック、即ち、ふっ素重合
体で形成するのがよく、特にＰＴＥＥ、ＰＦＡ、ＴＦＡ
、ＦＥＰ、ＰＣＴＥＥを使用する。

［実　施　例］以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する０図
は、金属線からなる導電コア１２を有する点火ビン、即
ち、点火器１０の略図である。

点火器１０は、圧力スリーブ１４によってレーザーガス
室の壁１６に装着されている。導電コア１２と圧力スリ
ーブ１４との間にふっ素プラスチック製ジャケット１８
が配設されている。ジャケット１８は、圧力スリーブ１
４が衝合している止め部２０を有する。圧力スリーブ１
４には部分２２におねじが設けてあり、このおねじはガ
ス室の壁１６内の対応するめねじと協働する。

圧力スリーブ１４を壁１６に螺入すれば、弾性材料から
なるジャケット１８は、止め部２０を介して、図の下方
に押圧される。

ジャケット１８には、円錐面２４が設けてあって、この
円錐面は、これに対応する壁１６の円錐面２４゛と衝合
する０点火器１０を圧力スリーブ１４に螺着すると、点
火器１０の縦軸Ａの方向に生ずる力によって、２つの円
錐面２４．２４’が衝合して気密状態になる。同時に、
円錐面２４゜２４′において、半径方向内向きの力成分
がジャケット１８内に生じて、導電コア１２上のジャケ
ット１８の締りばめに加えて、導電コア１２とジャケッ
ト１８との間の接触面を密封状態にする。

ふっ素化重合体製ジャケット１８は、導電コア１２に直
接に吹付け、または噴射成形することによって、両面間
が大いに緊密に結合するようにしてもよい。

上述のような点火器を使用した場合、レーザーのガス室
２６（図示せず）内にかなりの過大な圧力Ｐ２が発生す
る。ガス室外部の圧力をＰｌとすると、圧力差Ｐ、−Ｐ
、を１０バールより大きくすることは容易である。

非常に好ましい実施例としては、点火器の導電コア１２
用材料として、タングステンおよび銅を含む材料を使用
する。

さらに本発明の好ましい実施例としては、上記材料に、
タングステンを約６０ないし９０％、なるべくは約８０
％とし、残りを大部分銅とする。

さらに非常に好ましい実施例では、上記材料は、焼結タ
ングステン粉末８０％に銅２０％を導入してなる。

タングステンおよび銅からなる上記電極は、ふっ化物を
含有するガス混合物以外のすべてのエキシマレーザ−ガ
スに大いに適している。

ぶつ化物を含有するエキシマレーザ−ガスに対しては、
主要成分として銅、アルミニウムおよびニッケルからな
る材料の少くとも一部分を有する電極を使用することに
よって、本発明の前述した問題点が解決される。

本発明のさらに好適とする変形例においては、銅を６０
ないし９０％なるべくは約８０％とし、残りを主要成分
として少くともアルミニウムおよび／またはニッケルか
らなる材料を使用する。

上記材料の残りの成分は、アルミニウムおよびニッケル
以外に成分として少くとも鉄をも含有し、アルミニウム
の割合はその他の金属の割合より大きくする（材料の主
成分である銅を除く）のが好都合である。

銅約８０％、アルミニウム約１０％、ニッケル約５％お
よび鉄約４％の合金が特に好適である。

このような合金は、微量の他の要素、例えば亜鉛または
マンガンを含有してもよい。

上述した点火器および電極用の成分材料および合金は従
来公知の材料に比べて著しく寿命が増大することが判明
している。

上述の材料は、点火器用のみならず、エキシマレーザ−
の電極、すなわち主電極および先行点火電極用として好
適である。

［発明の効果］上述したように、本発明の点火器は、レーザーガスの漏
洩を確実に防止し、組立および調整が簡単で、レーザー
ガスの汚染を防止し、導電コアの断面積を簡単に変更で
き、さらに製造が経済的であり、寿命も大いに増大する
。

【図面の簡単な説明】

図は、本発明の実施例の金属線からなる導電コアを有す
る点火器の略図である。０・・・点火器２・・・導電コア４・・・圧力スリーブ６・・・ガス室壁８・・・ジャケット０・・・止め部２・・・ねじ部４．２４’ ・・・円錐面

Claims

【特許請求の範囲】

（１）レーザーのガス室２６内に突出すると共にこのガ
ス室の壁１６に電気的に絶縁して取付けた導電コア１２
を有するガス放電レーザー、特にエキシマレーザーの先
行点火用点火器１０において、前記点火器１０の前記導電コア１２を、プラスチック製
ジャケット１８により取り囲んだことを特徴とするガス
放電レーザー先行点火用点火器。
（２）ジャケット１８はふっ素プラスチックからなるこ
とを特徴とする請求項１記載のガス放電レーザー先行点
火用点火器。
（３）導電コア１２は、前記ジャケット１８内に締りば
めで取付けられていることを特徴とする請求項１または
２記載のガス放電レーザー先行点火用点火器。
（４）ジャケット１８は、導電コア１２に直接吹付けに
より形成されていることを特徴とする請求項１または２
記載のガス放電レーザー先行点火用点火器。
（５）圧力スリーブ１４を設けて、前記ジャケット１８
の少くとも一部分を取り囲むと共に、同ジャケットの円
錐面２４をこれに対応する壁１６の円錐面２４′部分に
対して押圧するようにしたことを特徴とする請求項１か
ら４のいずれかに記載のガス放電レーザー先行点火用点
火器。
（６）点火器は、その少くとも一部分がタングステンお
よび銅を含む材料からなることを特徴とする請求項１か
ら５のいずれかに記載のガス放電レーザー先行点火用点
火器。
（７）点火器は、少くとも一部分が銅、アルミニウムお
よびニッケルからなる材料からなることを特徴とする請
求項１から５のいずれかに記載のガス放電レーザー先行
点火用点火器。