JPH01501253A

JPH01501253A - 顕微鏡の対象物を撮影する方法及びこの方法を実施するための装置

Info

Publication number: JPH01501253A
Application number: JP62503172A
Authority: JP
Inventors: ライター　ヘルベルト; コッホ　ヘルベルト; フント　アンドレアス; ラインハイマー　ギュンター
Original assignee: エルンスト　ライツ　ヴェツラー　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング
Priority date: 1986-07-12
Filing date: 1987-05-23
Publication date: 1989-04-27
Also published as: DE3768478D1; DE3627354A1; EP0276303B1; EP0276303A1; WO1988000714A1; ATE61486T1; US4837595A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】顕微鏡の対象物を撮影する方法及びこの方法を実施するための装置本発明は露光時間を短縮且つ記憶させながら、即ち露光過程の間に露光時間を補正しながら選択的に撮影し。

その際位置可変な測定スポットと撮影範囲を示すマーキング部とを撮影前後に可視化させるようにした顕微鏡の対象物の撮影方法、及びこの方法を実施するするための装置に関するものである。

ドイツ特許第２６１９８５３号公報からは、顕微鏡に取付けられる取付はカメラとしてのマイクロ写真装置が知られている。このマイクロ写真装置では１位置固定して取付けられる５　０１５０・ニュートラル・ビームスプリッタ−を用いて露光過程の間に露光を補正することができる。このマイクロ写真装置の欠点は、撮影光路内に位置固定して設けられる前記ビームスプリッタ−が光量の５０％を露光制御に使用し、フィルムに到達する光量が５０％にすぎないことである。このため露光時間がファクターｕ　２　ｐｐだけ長くなってしまう、これは特に光強度が非常に小さな対象物を観察し記録する必要がある場合（特殊なＭ微ｊｉｉＩ観察方法では通常のことである）に極めて不都合である。

本発明の目的は、従来のマイクロ写真装置の欠点を解消するとともに、特に大型カメラを取付けた場合に露光時間を大幅に節約することができ、且つ写真による記録の可能性を拡大し、とりわけ蛍光マイクロ写真撮影において露光時間を短縮することができるような方法及び装置を提供することである。従来のように露光時間が長いと対象物が破壊されてしまうので、写真による記録の可能性を拡げることは不可能である。さらに本発明は、蛍光撮影に広範囲にわたって適用されることを考慮して。

露光プログラムを選定することにより露光の間に露光補正することの利点が得られるようにすること、そして露光時間を短縮した撮影と撮影の間に露光を選択的に補正することとを統合させることをも目的とするものである。

上記の目的は１本発明によれば方法に関する請求の範囲第１項及び第２項、第３項或いは第４項に記載の特徴により達成される。方法に関する他の構成は、請求の範囲第５項から第８項までに開示されている。さらに上記の目的は、請求の範囲第９項に記載の前記方法を実施するための装置により達成される１本発明による装置の他の構成は、装置に関する請求の範囲第１Ｏ項から第１４項までに開示されている。

添付の図面は、本発明の１実施例を示す図である２撮影光路１６は検査対象物６から出て、顕ｌｌ［鏡の光軸２６に沿い撮影機の接眼レンズ１９とビームスプリッタ−系１とシャッター２０とを経て撮像面１８へ延びている。

撮像面１８内には例えばフィルムを位置づけすることができる。

観察光路１３も同様に検査対象物６から出て、顕微鏡の光軸２６内に配置されるスプリッタープリズムのスプリッター面で転向して顕微鏡の接眼レンズ５に入り、観察者２７へ達する。特定のプログラム機能で制光フラップ１２が作用位置にあるときには観察者側の妨害光を遠ざけることができる。

ランプ８からは照明分割光路１４が出ている。照明分割光路１４は、１つの焦点十字線を有しているサイズ・網目板３を貫通して適当な光学要素にて転向した後５０１５０ビームスプリツタ−２５に到達する。このビームスプリッタ−２５で照明分割光路１４はもう１つの照明分割光路１５に再び統合する。照明分割光路１５も同様にランプ８から出ており、２回転向した後測定光路１０内に光路外へ移動可能に配置されている全反射ミラーに達する、この全反射ミラーは揺動ミラー１１としても形成することができる。照明分割光路１５は全反射ミラーから積分測定絞り２３と、該積分測定絞り２３のすぐ後方に光路外へ移動可能に配置されているデテール測定絞り担持体７とを通って、ビームスプリッタ−系１に当たる統合された照明光路１４，１５を発する前記のビームスプリッタ−２５に達する。なおデテール測定絞り担持体７はその面内で位置可変に保持されている０図ではガラス立方体１ａが作用位置にあり、即ち顕微鏡の光軸２６内にある。このガラス立方体１ａは全反射される斜面を有し、この斜面は顕微鏡の鉛直方向の光軸２６と統合された照明光路１４，１５に対して４５°の位置にある。

ガラス立方体１ａの横に配置されているビームスプリッタ−立方体１ｃは対角線位置にビームスプリッタ−面を有している。このビームスプリッタ−面の不連続な透過／反射比は９５１５ないし９９．５１０．５．有利には９９／１である。

ビームスプリッタ−立方体ｌｂは対角線位置に分割面を有している。この分割面の透過／反射比は５０１５０である。これらのビームスプリッタ−立方体に加えて、或いはこれらのビームスプリンター立方体とは別に、他の物理学的または幾何学的光線分割特性を有するような構成を用いることができる。ビームスプリッタ−系１の調整は例えばモータを用いて行なわれる。

測定光路１０はビームスプリッタ−系１から出ており。

より厳密には図で作用位置にあるガラス立方体１ａから出ており、ビームスプリッタ−２５にて転向した後、光路外へ揺動された全反射ミラー（揺動ミラー１１）を通って受光体２１に達する１図の例では外側へ移動可能なフラップミラーとして形成されている揺動ミラー１１はプログラムにより制御されてモータにより移動せしめられ、ラビリンスを有している。このラビリンスは１作用位置で受光体２１を光から完全に遮蔽する。これは暗電流を補正するにあたって有利である０例えば公知のマイクロ写真装置の場合には、光が光測定装置に達しないようにするためのスライド位置を有しているフォトチューブを使用する場合にだけ暗電流の補正が可能であった。

プログラムにより制御されてモータにより光路１５内に揺動可能なダークフラップ９は、２つの機能を有している。積分測定の場合には像を観察するためダークフラップ９は作用位置に切換えられて、積分測定絞り２３が後方から照射されるのを阻止している。もしダークフラップ９がなければ、積分測定絞り２３を後方から照射する光路は全部対象物の像に重畳されるであろう、ダークフラップ９の第２の機能は、光測定のたびにオンにされることである。これによって、ランプケーシングからくる散乱光が測定光に重畳されて測定を乱すことが阻止される。

本発明による装置或いは方法では、積分測定とデテール測定間の交替は１Ｍ分測定絞り１３を常にその位置に固定しておくようにして行なわれる。スポット測定に対しては１位置可変な部分測定絞り２４或いはその担持体７を１例えば積分測定絞り２３の直前に昇降マグネットを配置して制御装！２８のボタンを押すことにより切換える。公知のマイクロ写真方法において通常用いられていた。積分測定絞りの透過率をデテール測定絞りの透過率に適合させるための灰色フィルタ（１％）は１本発明の場合設ける必要がない１本発明では、その代わりに１個のビームスプリッタ−立方体ＩＣを作用位置に移動させることができるからである。

デテール測定絞り担持体７は、２つの電動機を介して制御装！２８により繰作されるスライダに昇降マグネットとともに取付けられている。

サイズ・網目板３上の撮影範囲のためのマーキング部は、像面湾曲に対応している球穀面に適合した可動マスクに設けることができる。これによってマーキング部の像高鮮明度が全範囲にわたって得られる。

必要な場合には色温度測定光路１７を設置することができる６色濃度の測定は、転向ミラー２９を測定光路１０内へ入れることによって行なわれる。作用位置にある転向ミラー２９は２例えば制御装置２８を色制御測定に切換える反射光遮断要素によって検知される。ｍ定された色温度は制御装置２８の表示部に表示される。制御装置２８の表示部には、色温度が表示されないときフィルム感度が表示される。

露光制御系２とシャッターキー２２とを備えた制御装置２８は１図面では簡略に図示されている。矢印は１個々の光学的機械的構成要素群に機能的に接続されていることを示している。

色温度測定系の代わりに、転向ミラー２９を介して。

ハウジングを備えたコンピュータ付きフラッシュセンサを取り付けることもできる。この場合も転向ミラー２９の位置は反射光遮断要素によって検知される。制御装置２８内を適当なオプトエレクトロニクス技術により接続することにより、フラッシュを自動的に準備することができる。この場合積分測定に自動的に切換えられる。

ビームスプリッタ−立方体ＩＣの分割面の透明／反射比を例えば９９／１のような高比率にするためには、ビームスプリッタ−立方体ＩＣのガラスと接合層との間に屈折率の差を設ける。ビームスプリッタ−系１はプログラムにより制御されてモータによって移動せしめられ。

図示されていないフォーク状遮光要素によって位置づけされる。

号にｘτＯＴＨＥ　ＩＮ’ｒＥＲ−ＮＡτ？ＣＮＡＬ　ＳＥ；、ＲＣＦ、　ＲＥＰＣＲＴ　ＯＮ

Claims

【特許請求の範囲】１．検出されるべき露光時間に依存して顕微鏡の対象物を撮影し、位置可変な測定スポットと撮影の範囲を示すマーキング部とを撮影前後に可視化するための方法において、撮影光路（１６）内を横方向に移動可能に配置されるビームスプリッター系（１）にして透過／反射比が異なる複数個のスプリッター面（１ｂ；１ｃ）と全反射面（１ａ）とを有しているビームスプリッタ一系（１）と、測定光路（１０）内の受光体（２１）の前方に配置される揺動ミラー（１１）と、照明光路（１５）内に配置されるダークフラップ（９）にして露光時間を短縮し且つ記憶させてマイクロ写真撮影を可能にするダークフラップ（９）とを、位置可変な測定スポットを用いてスポット測定しながら次のようなステップに従って制御し且つ位置づけすること、（ａ）ガラス立方体（１ａ）の全反射面が傾斜位置で撮影用接眼レンズ（１９）を介して照明光路（１４或いは１５）を顕微鏡の接眼レンズ（５）のほうへ転向させるようにビームスプリッター系（１）を顕微鏡の光軸（２６）内で位置づけする（ｂ）観察者（２７）が像の鮮明度を調整し、対象物（６）の像部分を選定し、位置可変なデテール測定絞り（２４）を作用位置に位置づけする（ｃ）制御装置（２８）の作動キー（２２）を操作して次の機能を生じさせる（ｃ１）ランプ（８）をオフにする（ｃ２）ダークフラップ（９）を照明光路（１５）内へ旋回させる（ｃ３）揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）の外側へ旋回させる（ｃ４）ダークフラップ（１２）を観察光路（１３）内の作用位置にもたらす（ｃ５）デテール測定絞り（２４）を通過した光を受光体（２１）が測定し、該受光体（２１）による測定値を露光制御系（２）に供給して記憶させる（ｃ６）ビームスプリツター立方体（１ｃ）の傾斜位置にあるスプリッター面にして透過／反射比率が９９／１のスプリッター面が顕微鏡の光軸（２６）に対して交差するようにビームスプリッター系（１）を位置づける（ｃ７）露光制御系（２）が、１つの面（１８）内に配置されたフィルム等の撮影媒体を露光するためのシャッター（２０）を、その都度記憶された前記値に応じて開く（ｃ８）露光を行ない且つ撮影光路（１６）をさらに前進させるためにシャッター（２０）を閉じた後、ビームスプリッター系（１）を再びその基準位置に戻し、即ちガラス立方体（１ａ）を再び作用位置に戻し、同時にランプ（８）をオンにし、ダークフラップ（９或いは１２）をオフにし、揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）内へ旋回させ、撮像媒体を送ることを特徴とする方法。２．検出されるべき露光時間に依存して顕微鏡の対余物を撮影し、撮影の範囲を示すマーキング部を撮影前後に可視化するための方法において、撮影光路（１６）内を横方向に移動可能に配置されるビームスプリッター系（１）にして透過／反射比が異なる複数個のスプリッター面（１ｂ；１ｃ）と全反射面（１ａ）とを有しているビームスプリッター系（１）と、測定光路（１０）内の受光体（２１）の前方に配置される揺動ミラー（１１）と、照明光路（１５）内に配置されるダークフラップ（９）にして露光時間を短縮し且つ補正してマイクロ写真撮影を可能にするダークフラップ（９）とを、積分測定時に露光補正を行ないながら次のようなステップに従って制御し且つ位置づけすること。（ａ）ガラス立方体（１ａ）の全反射面が傾斜位置で撮影用接眼レンズ（１９）を介して照明光路（１４）を顕微鏡の接眼レンズ（５）のほうへ転向させるようにビームスプリッター系（１）を顕微鏡の光軸（２６）内で位置づけする（ｂ）観察者（２７）が像の鮮明度を調整し、対象物（６）の像部分を選定する（ｃ）制御装置（２８）の作動キー（２２）を操作して次の機能を生じさせる（ｃ１）ダークフラップ（９）を照明光路（１５）内に放置したままでランプ（８）をオフにする（ｃ２）揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）の外側へ旋回させる（ｃ３）デテール測定絞り担持体（７）を測定光路（１０）の外側へ旋回させる（ｃ４）ダークフラップ（１２）を観察光路（１３）内へ挿入する（ｃ５）ビームスプリツター立方体（１ｃ）の傾斜位置にあるスプリッター面にして透過／反射比率が９９／１のスプリッター面が顕微鏡の光軸（２６）に対して交差するようにビームスプリッター系（１）を位置づける（ｃ６）デテール測定絞り（２４）を有している担持体（７）を測定光路（１０）から移動させることによって自由になる位置固定の積分測定絞リ（２３）を通る光を受光体（２１）が測定し、その測定値を露光制御系（２）に供給して記憶させる（ｃ７）露光制御系（２）が、１つの面（１８）内に配置されたフィルム等の撮像媒体を露光するためのシャッター（２０）を、その都度測定された前記値に応じて開さ、露光過程の間に露光測定を行ない、同時に対象物の明るさを変えながら露光時間を適宜修正する（ｃ８）露光を行ない且つ撮影光路（１６）をさらに前進させるためにシャッター（２０）を閉じた後、ビームスプリッター系（１）を再びその基準位置に戻し、即ちガラス立方体（１ａ）を再び作用位置に戻し、同時にランプ（８）をオンにし、揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）内へ旋回させ、ダークフラップ（１２）をオフにし、撮影媒体を送ることを特徴とする方法。３．検出されるべき露光時間に依存して顕微鏡の対象物を撮影し、位置可変な測定スポットと撮影の範囲を示すマーキング部とを撮影前後に可視化するための方法において、撮影光路（１６）内を横方向に移動可能に配置されるビームスプリッター系（１）にして透過／反射比が異なる複数個のスプリッター面（１ｂ；１ｃ）と全反射面（１ａ）とを有しているビームスプリッター系（１）と、測定光路（１０）内の受光体（２１）の前方に配置される揺動ミラー（１１）と、照明光路（１５）内に配置されるダークフラップ（９）にして露光時間を短縮してマイクロ写真撮影を可能にするダークフラップ（９）とを、位置可変な測定スポットを用いてスポット測定しながら次のようなステップに従って制御し且つ位置づけすること、（ａ）傾斜位置に全反射部を備えたガラス立方体（１ａ）が撮影用接眼レンズ（１９）を介して照明光路（１４と１５）を顕微鏡の接眼レンズ（５）のほうへ転向させるようにビームスプリッター系（１）を顕微鏡の光軸（２６）内で位置づけする（ｂ）観察者（２７）が像の鮮明度を調整し、対象物（６）の像部分を選定した後、ダークフラップ（９）を照明光路（１５）から出した状態で位置可変なデテール測定絞リ（２４）を後方から照明し、適正な露光を代表している対俵物（６）の個所と一致させる（ｃ）制御装置（２８）の作動キー（２２）を操作して次の機能を生じさせる（ｃ１）ランプ（８）をオフにする（ｃ２）ダークフラップ（９）を照明光路（Ｉ５）内へ旋回させる（ｃ３）揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）の外側へ旋回させる（ｃ４）ダークフラップ（１２）を観察光路（１３）内へ挿入する（ｃ５）ビームスプリツター立方体（１ｂ）の傾斜位置にあるスプリッター面にして透過／反射比率が５０／５０のスプリッター面が顕微鏡の光軸（２６）に対して交差するようにビームスプリッター系（１）を位置づける（ｃ６）受光体（２１）が致達した光を測定し、測定値を露光制御系（２）へ供給する（ｃ７）露光制御系（２）が、１つの面（１８）内に配置されたフィルム等の撮像媒体を露光するためのシャッター（２０）を、その都度測定された光量に応じて開き、生じた対象物（６）の明度変化を修正する（ｃ８）露光を行ない且つ撮影光路（１６）をさらに前進させるためにシャッター（２０）を閉じた後、ビームスプリッター系（１）を再びその基準位置に戻し、即ちガラス立方体（１ａ）を再び作用位置に戻し、同時にランプ（８）をオンにし、揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）内へ旋回させ、ダークフラップ（９或いは１２）をオフにし、撮像媒体を送ることを特徴とする方法。４．検出されるべき露光時間に依存して顕微鏡の対象物を撮影し、位置可変な測定スポットと撮影の範囲を示すマーキング部とを撮影前後に可視化するための方法において、撮影光路（１６）内を横方向に移動可能に配置されるビームスプリツター系（１）にして不連続な透過／反射比が９５／５と９９．５／０．５の間にあるスプリッター層を備えたビームスプリツター立方体（１ｃ）と全反射面（１ａ）を備えたガラス立方体とを有しているビームスプリッター系（１）と、測定光路（１０）内の受光体（２１）の前方に配置される揺動ミラー（１１）と、照明光路（１５）内に配置されるダークフラップ（９）にして露光時間を短縮し且つ修正させてマイクロ写真撮影を可能にするダークフラップ（９）とを、位置可変な測定スポットを用いてスポット測定しながら次のようなステップに従って制御し且つ位置づけすること、（ａ）ガラス立方体（１ａ）の全反射面が傾斜位置で撮影用接眼レンズ（１９）を介して照明光路（１４或いは１５）を顕微鏡の接眼レンズ（５）のほうへ転向させるようにビームスプリッター系（１）を顕微鏡の光軸（２６）内で位置づけする（ｂ）観察者（２７）が像の鮮明度を調整し、対象物（６）の像部分を選定し、位置可変なデテール測定絞リ（２４）を作用位置に位置づけする（ｃ）制御装置（２８）の作動キー（２２）を操作して次の機能を生じさせる（ｃ１）ランプ（８）をオフにする（ｃ２）ダークフラップ（９）を照明光路（１５）内へ旋回させる（ｃ３）揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）の外側へ旋回させる（ｃ４）ダークフラップ（１２）を観察光路（１３）内の作用位置にもたらす（ｃ５）デテール測定絞リ（２４）を通過した光を受光体（２１）が測定し、該受光体（２１）による測定値を露光制御系（２）に供給して記憶させる（ｃ６）ビームスプリツター立方体（１ｃ）が顕微鏡の光軸（２６）に対する傾斜位置に達するようにビームスプリッター系（１）を位置づけする（ｃ７）デテール測定絞り担持体（７）をデテール測定絞り（２４）とともに測定光路（１５）の外側へ旋回させる（ｃ８）積分測定絞り（２３）を通過する光を受光体（２１）が測定し、その測定値を再び露光制御糸（２）に供給し、該露光制御系（２）は、前記ステップ（ｃ５）にしたがって検出された時間に応じた露光時間を前記測定値に関係づける（ｃ９）露光制御系（２）が、１つの面（１８）内に配置されたフィルム等の撮像媒体を露光するためのシャッター（２０）を、その都度記憶された前記値に応じて開き、露光過程の間に露光測定を行ない、同時に対象物の明度を変化させながら露光時間を適宜修正する（ｃ１０）露光を行ない且つ撮影光路（１６）をさらに前進させるためにシャッター（２０）を閉じた後、ビームスプリッター系（１）を再びその基準位置に戻し、即ちガラス立方体（１ａ）を再び作用位置に戻し、同時にランプ（８）をオンにし、揺動ミラー（１１）を測定光路（１０）内へ旋回させ、ダークフラップ（９或いは１２）をオフにし、撮像媒体を送ることを特徴とする方法。５．前記ステップ（Ｃ１）ないし（Ｃ４）の時間的シーケンスが任意であることを特徴とする、請求の範囲第１項または第４項に記載の方法。６．前記ステップ（Ｃ１）ないし（Ｃ５）の時間的シーケンスが任意であることを特徴とする、請求の範囲第２項または第３項に記載の方法。７．転向ミラー（２９）を測定光路（１０）内へ挿入することによって色温度の測定を付加的に行ない、これによって分岐した色温度測定光束（１７）をクロスラインスクリーンまたはプリズムスクリーン等の像分割要素を通過させた後次のように２つの部分光束（１７ａ；１７ｂ）に分割させること、即ち灰色フィルター（３１）を通過後部分光束（１７ａ）が、そして赤色フィルター（３２）を通過後部分光束（１７ｂ）がそれぞれシリコンダイオードのような受光体（３３或いは３４）に入射するように分割させることを特徴とする、請求の範囲第１項から第６項までのいずれか１つに記載の方法。８．転向ミラー（２９）を測定光路内へ挿入することによってコンピュータ付きフラッシュ装置をシステム全体に光学的に接続させ、マイクロ写真機能を自動的に積分測定に切換えて制御装置（２８）内に自動的にフラッシュを準値させることを特徴とする、請求の範囲第１項から第６項までのいずれか１つに記載の方法。９．請求の範囲第１項から第８項までのいずれか１つに記載の方法を実施するためのマイクロ写真装置であって、バックミラー装置を備えた顕微鏡鏡筒部と撮影用接眼レンズとを有し、該撮影用接眼レンズの後方に、対象物の一部分の明度を測定するための明度測定装置と、デテール測定範囲及びカメラの像範囲を可視化するためのマーキング部とが、観察光路内に配置され、デテール測定範囲が、接眼レンズ中間像に対して共役な面である機能面内にして全像範囲に関係づけられる領域内に位置調整可能に形成され、デテール測定絞リが第１の照明光路内に配置され且つ像範囲マーキング部を有している担持体が第２の照明光路内に配置され、両照明光路を統合させる第１のビームスプリッターが設けられ、統合された両照明光路によって伝送されるデテール測定絞リと像範囲マーキング部の像がオーバーラップして接眼レンズの中間像面内へ入射するようにカメラのシャッターと顕微鏡の接眼レンズ光学系との間に第２のビームスプリッターが設けられているマイクロ写真装置において、前記第２のビームスプリッターの代わりに、顕微鏡の光軸（２６）に対して横方向に移動可能にビームスプリッター系（１）が顕微鏡の光軸（２６）内に配置され、動力源により位置づけ可能なビームスプリッター系（１）が少なくとも２つの光転向要素（１ａ，１ｂ或いは１ａ，１ｃ）を有し、そのうち１つの光転向要素は傾斜した全反射面を備えたガラス立方体（１ａ）であり、他の光転向要素は透過／反射比が５０／５０の傾斜した部分反射面（１ｂ）を備えた、或いは透過／反射比が１よりも大きな傾斜した部分反射面（１ｃ）を備えたビームスプリツター立方体（１ｃ）であり、デテール測定絞リ（２４）のための照明光路（１５）内にしてランプ（８）と測定光路（１０）内へ挿入可能な完全反射揺動ミラー（１１）との間に旋回可能なダークフラップ（９）が配置されていることを特徴とするマイクロ写真装置。１０．ビームスプリツター立方体（１ｃ）の不連続の透過／反射比が９５／５と９９．５／０．５の間、有利には９９／１であることを特徴とする、請求の範囲第９項に記載のマイクロ写真装置。１１．ビームスプリツター系（１）が、傾斜した全反射面を備えたガラス立方体（１ａ）の横に、不連続な透過／反射比≧１の少なくとも２つのビームスプリッタ一立方体を有していることを特徴とする、請求の範囲第９項に記載のマイクロ写真装置。１２．ビームスプリツターが中性色の及び／または二色性のスプリッター面を有していることを特徴とする、請求の範囲第９項から第１１項までのいずれか１つに記載のマイクロ写真装置。１３．測定光路（１０）内へ挿入可能な転向ミラー（２９）が設けられ、該転向ミラー（２９）から色温度測定光路（１７）が出ており、該色温度測定光路（１７）は、スクリーン（３０）を通過した後２つの部分光束（１７ａ，１７ｂ）に分割され、これらの部分光束（１７ａ，１７ｂ）は、灰色フィルター（３１）或いは赤色フィルター（３２）を通過後それぞれ１つの受光体（３３或いは３４）に入射することを特徴とする、請求の範囲第９項から第１２項までのいずれか１つに記載のマイクロ写真装置。１４．ビームスプリッター立方体（１ｃ）のスプリッタ一反射面の透過／反射比を９５／５と９９．５／０．５の間に設定するため、プリズム材料の屈折率とビームスプリッター立方体（１ｏ）の接合層の材料の屈折率との間に不連続な差があることを特徴とする、請求の範囲第９項から第１２項までのいずれか１つに記載のマイクロフィルム写真装置。