JPH01208397A - Diamond coated product and cutting tool using said product - Google Patents

Diamond coated product and cutting tool using said product

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JPH01208397A
JPH01208397A JP3373488A JP3373488A JPH01208397A JP H01208397 A JPH01208397 A JP H01208397A JP 3373488 A JP3373488 A JP 3373488A JP 3373488 A JP3373488 A JP 3373488A JP H01208397 A JPH01208397 A JP H01208397A
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JP
Japan
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diamond
thin film
tool
cutting
single crystal
Prior art date
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Application number
JP3373488A
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Japanese (ja)
Inventor
Ayanori Okuzumi
奥住 文徳
Junichi Matsuda
順一 松田
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Asahi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Asahi Diamond Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Asahi Diamond Industrial Co Ltd filed Critical Asahi Diamond Industrial Co Ltd
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Publication of JPH01208397A publication Critical patent/JPH01208397A/en
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Abstract

PURPOSE:To increase abrasion strength of a cutting tool, facilitate processing for giving edge having precise shape and prolong the life of cutting tool, by depositing a diamond thin film on the surface of a single crystal diamond according to vapor phase synthesis method. CONSTITUTION:A natural or artificial diamond single crystal is preferably previously polished into used shape and a diamond thin film is formed on the surface of the single crystal using vapor phase synthesis method, e.g., electron beam deposition method to give a diamond coated product. The thickness of the thin film is normally 5-100/mum, preferably 10-40mum when used. The tool using the diamond coated product has no anisotropic properties such as single crystal, because the tool is coated with close and fine polycrystal diamond film, processing of the tip or processing for giving curved face is readily carried out and has long life, because the abrasion by cutting processing operation is uniform.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ダイヤモンド薄膜を被覆した単結晶ダイヤモ
ンド被覆体及び該被覆体を工具に用い金属や非金属材料
を精密に切削加工するためのダイヤモンド切削工具に関
するものである。
Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to a single-crystal diamond coated body coated with a diamond thin film, and a diamond coated body coated with a diamond thin film, and a diamond coated body for precision cutting of metals and non-metallic materials using the coated body as a tool. This relates to cutting tools.

[従来の技術] 従来、金属や非金属材料の切削又は研磨加工に使用され
ているダイヤモンド素材は、天然又は人造の単結晶ダイ
ヤモンド及び焼結体多結晶ダイヤモンドが使用されてい
る。
[Prior Art] Conventionally, natural or artificial single-crystal diamond and sintered polycrystalline diamond are used as diamond materials for cutting or polishing metal or non-metal materials.

このうち焼結体多結晶ダイヤモンドは粗切削と中仕上げ
切削においてとくに優れており寿命の点でも有利である
が、焼結体であるためにバインダーを含みバインダ一部
分から摩耗するために鏡面仕上げなどの精密な加工には
適していない。
Among these, sintered polycrystalline diamond is particularly excellent in rough cutting and semi-finishing cutting, and has an advantage in terms of service life. Not suitable for precision machining.

一方、単結晶ダイヤモンドは、形状の精度が良い点に大
きい特徴があるため、切削工具並びにドレッサー、硬度
計圧子及び測定子若しくはゲージアンビルなどの耐摩耗
工具として用いられている。
On the other hand, single-crystal diamond has a great feature of good shape accuracy, and is therefore used as wear-resistant tools such as cutting tools, dressers, hardness meter indenters and gauge anvils, and the like.

しかし、単結晶ダイヤモンドを工具として使用する場合
、原・石のシャンク等への固定は、通常、機械的保持法
、直接ロウ付は法若しくは焼結法により行われている。
However, when single-crystal diamond is used as a tool, the raw material or stone is usually fixed to the shank by a mechanical holding method, a direct brazing method, or a sintering method.

いずれの固定方法によっても、単結晶ダイヤモンドの体
積の・うち、工具の表面に露出している部分よりもこれ
を固定するための固定代の部分の方が2〜3倍の体積を
占める。
Regardless of the fixing method, the fixing allowance for fixing the single crystal diamond occupies two to three times as much of the volume of the single crystal diamond as the part exposed on the surface of the tool.

この場合、工具の表面に露出した部分が使用により摩耗
するとこれを再度研磨して使用するが、この研磨により
露出部分がなくなると固定部分を残したまま廃棄しなけ
ればならない。これは高価な単結晶ダイヤモンドの損失
である。
In this case, when the exposed part of the tool surface wears out due to use, it is polished again and used, but once the exposed part is removed by this polishing, it must be discarded with the fixed part remaining. This is a loss of expensive single crystal diamond.

また、単結晶ダイヤモンドは、結晶の硬さに大きな異方
性があるため刃先部の加工が困難で、工具製作のための
研磨方向が限定されるので、刃先部の形状及び大きさな
どが制約され、工具の刃先部の正確な刃付けをすること
ができない欠点がある。
In addition, single-crystal diamond has a large anisotropy in its crystal hardness, making it difficult to process the cutting edge, and the polishing direction for tool production is limited, which limits the shape and size of the cutting edge. This method has the disadvantage that it is not possible to accurately sharpen the cutting edge of the tool.

[発明が解決しようとする課題] 本発明は、再生可能な表面を持ち、結晶表面の異方性に
よる加工製作の困難性のないダイヤモンド素材を提供し
、さらに、前記焼結ダイヤモンド切削工具の欠点及び単
結晶ダイヤモンド切削工具の欠点のないダイヤモンド切
削工具を提供することを目的とするものである。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention provides a diamond material that has a reproducible surface and is free from difficulties in processing and fabrication due to anisotropy of the crystal surface, and also solves the drawbacks of the sintered diamond cutting tool. Another object of the present invention is to provide a diamond cutting tool that does not have the drawbacks of single-crystal diamond cutting tools.

1課題を解決するための手段】 本発明者らは、単結晶ダイヤモンドとほぼ同一硬度を有
するダイヤモンド薄膜表面を、単結晶ダイヤモンドの上
に気相合成法により析出させた薄膜被覆体を形成し、こ
の薄膜被覆部を使用して、例えばこの薄膜被覆部に工具
の刃先部を形成し、これを使用して該薄膜部が摩耗する
と再度ダイヤモンド薄膜を摩耗部分に形成してこれを研
磨して元の形状に復元して再使用する方法を着想して本
発明を完成するに至った。
1. Means for Solving the Problems The present inventors formed a thin film coating on single crystal diamond by depositing a diamond thin film surface having almost the same hardness as single crystal diamond by a vapor phase synthesis method, This thin film coating part is used to form, for example, the cutting edge of a tool on this thin film coating part, and when the thin film part wears out, a diamond thin film is again formed on the worn part and polished to restore its original shape. We came up with a method of restoring it to its original shape and reusing it, and completed the present invention.

すなわち、本発明は、単結晶ダイヤモンドの表面に気相
合成法によりダイヤモンド薄膜を析出させたダイヤモン
ド被覆体及び単結晶ダイヤモンドの表面をダイヤモンド
薄膜により被覆しt;ダイヤモンド切削工具を提供する
ものである。
That is, the present invention provides a diamond-coated body in which a thin diamond film is deposited on the surface of a single-crystal diamond by vapor phase synthesis, and a diamond cutting tool in which the surface of the single-crystal diamond is coated with a thin diamond film.

本発明のダイヤモンド被覆体に用いる単結晶ダイヤモン
ドは、天然ダイヤモンドまたは人造ダイヤモンドのいず
れも使用することができるが、これをあらかじめ使用す
る形状に粗研磨しておくのが望ましい。また、−旦、本
発明の製造方法によって被覆したものを使用してダイヤ
モンド薄膜が使用により摩耗しt;単結晶ダイヤモンド
も本発明の製造方法の原料に用いることができる。
The single-crystal diamond used in the diamond-coated body of the present invention can be either natural diamond or artificial diamond, but it is preferable to roughly polish it into the shape to be used in advance. Moreover, single crystal diamond can also be used as a raw material for the production method of the present invention, since the diamond thin film coated by the production method of the present invention is worn out by use.

このように予備粗研層する寸法形状は使用する態様によ
って相違するが、例えば、工具に使用する場合は、所望
の工具の刃先部の形状の寸法より2〜90μm程度小さ
い寸法で研磨成形しておくのが望ましい。このようにす
ることにより、これにダイヤモンド薄膜を余分に析出さ
せて、所望の形状より大きくなった部分を研磨して所望
の形状にすることができる。
The size and shape of the preliminary rough grinding layer differs depending on the mode of use, but for example, when used in a tool, it is ground and formed to a size that is about 2 to 90 μm smaller than the shape of the desired tool cutting edge. It is preferable to leave it there. By doing so, it is possible to deposit an extra diamond thin film thereon and polish the portion that is larger than the desired shape to form the desired shape.

本発明のダイヤモンド被覆体の製造は公知の方法に準じ
て行うことができる(日経技術図書株式会社発行、ダイ
ヤモンドツール(1987)第79〜88ページ)。
The diamond-coated body of the present invention can be manufactured according to a known method (Diamond Tool (1987), pages 79 to 88, published by Nikkei Gijutsu Tosho Co., Ltd.).

すなわち、ダイヤモンド薄膜の被覆工程に用いることの
できる気相合成法は、物理蒸着方法及び化学蒸着方法を
使用することができ、特に、化学蒸着方法(CVD)で
は、熱分解蒸着法、プラズマ蒸着法(プラズマCVD)
、電子線蒸着法(EACVD)などの方法を使用するこ
とができる。
That is, the vapor phase synthesis method that can be used in the coating process of the diamond thin film can be a physical vapor deposition method or a chemical vapor deposition method. (Plasma CVD)
, electron beam vapor deposition (EACVD), and other methods can be used.

これらの方法は、原料として、炭化水素(特にメタン)
と水素の混合ガスを用い、この水素過剰の混合ガス雰囲
気下で、温度700〜1000°Cに設定した単結晶ダ
イヤモンドを陽極台上に置き、例えば、電子線またはプ
ラズマを発生させ炭化水素を分解しダイヤモンド薄膜を
陽極台上の単結晶ダイヤモンドの表面に析出させる方法
によって本発明のダイヤモンド被覆体を製造することが
できる。
These methods use hydrocarbons (especially methane) as feedstocks.
Using a mixed gas of hydrogen and hydrogen, in this hydrogen-rich mixed gas atmosphere, a single crystal diamond set at a temperature of 700 to 1000°C is placed on an anode stand, and hydrocarbons are decomposed by, for example, generating an electron beam or plasma. The diamond coated body of the present invention can be manufactured by a method in which a thin diamond film is deposited on the surface of a single crystal diamond on an anode stand.

例えば、電子線及びプラズマを用いた場合の本発明のダ
イヤモンド薄膜作成条件は、第1表に示すような条件で
行うことができる。
For example, the conditions for forming a diamond thin film according to the present invention using an electron beam and plasma can be as shown in Table 1.

(以下余白) 第1表 本発明のダイヤモンド被覆体において、被覆するダイヤ
モンド薄膜の厚さは、この被覆体を使用する態様に応じ
て自由に選択することができる。
(The following is a blank space) Table 1 In the diamond-coated body of the present invention, the thickness of the diamond thin film to be coated can be freely selected depending on the manner in which the coated body is used.

例えば、工具に使用する場合は析出させるダイヤモンド
薄膜の厚さは、通常5〜100μm1好ましくは10〜
40μmのものを使用することができる。この場合、被
覆ダイヤモンド膜の厚さは5μm以下では刃先部の研磨
成形が困難となり、また、100μmあれば、通常は、
研磨により所望の刃先部の平面又は曲面形状にするのに
十分な研磨式を確保することができるので、被覆ダイヤ
モンド膜の厚さを100μm以上にする必要は少なく、
かえっ1て薄膜析出工程に長時間要する点で製造工程上
から不利になる。
For example, when used for tools, the thickness of the deposited diamond thin film is usually 5 to 100 μm, preferably 10 to 100 μm.
40 μm can be used. In this case, if the thickness of the coated diamond film is less than 5 μm, it will be difficult to polish and shape the cutting edge, and if it is 100 μm, normally
Since polishing can ensure a sufficient polishing rate to form the desired flat or curved shape of the cutting edge, there is little need for the thickness of the coated diamond film to be 100 μm or more.
On the contrary, it is disadvantageous in terms of the manufacturing process because the thin film deposition process takes a long time.

本発明のダイヤモンド切削工具は、刃先部具外の構造は
、従来より公知の単結晶ダイヤモンド工具として使用さ
れていたものはどのような構造のものも使用することが
できる。
In the diamond cutting tool of the present invention, any structure other than the cutting edge member that has been conventionally used as a known single-crystal diamond tool can be used.

また、刃先部の形状も従来使用されている切削工具の刃
先の形状のものは総て本発明の切削工具に使用すること
ができる。
Moreover, any shape of the cutting edge of a conventionally used cutting tool can be used in the cutting tool of the present invention.

本発明の特徴は、刃先部がダイヤモンドからなり、しか
も刃先部のダイヤモンドが2層になっていることにあり
、このようにして得られる本発明のダイヤモンド工具、
例えば、気相合成法によりダイヤモンド薄膜を単結晶ダ
イヤモンド表面に形成させたものは、緻密な微細多結晶
ダイヤモンド膜を被覆したものであるので、単結晶ダイ
ヤモンドのような異方性がなく、刃先部の成形加工又は
曲面性は加工が容易でさらに切削加工作業による摩耗も
均一なため耐用時間が長いダイヤモンド切′  削工具
を提供することができる。
The feature of the present invention is that the cutting edge is made of diamond, and the diamond on the cutting edge has two layers, and the diamond tool of the invention obtained in this way,
For example, a thin diamond film formed on the surface of single crystal diamond using the vapor phase synthesis method is coated with a dense, microscopic polycrystalline diamond film, so it does not have the anisotropy of single crystal diamond, and the edge of the cutting edge The forming or curved surface of the diamond cutting tool is easy to process, and the wear caused by the cutting process is uniform, so it is possible to provide a diamond cutting tool with a long service life.

しかも、切削工具の拘先部表面のダイヤモンド膜が摩耗
した場合には、必要に応じて、偏った摩耗を均一に研磨
した上、この上に気相合成によりダイヤモンド薄膜を析
出させ、この薄膜部分を再度所定の形に研磨して原形に
復元することができる。
Moreover, if the diamond film on the surface of the restraint part of the cutting tool wears out, if necessary, after polishing the uneven wear uniformly, a thin diamond film is deposited on top of it by vapor phase synthesis, and this thin film is It is possible to restore the original shape by polishing it again to the desired shape.

[発明の作用] 本発明の製造方法において、気相合成法により析出する
ダイヤモンド薄膜は微細多結晶ダイヤモンド膜であるの
で該結晶膜に方向性がなく、まt;焼結体多結晶ダイヤ
モンドのようにバインダーを含んでいないので摩耗強度
等が大きい。
[Function of the invention] In the manufacturing method of the present invention, the diamond thin film deposited by the vapor phase synthesis method is a fine polycrystalline diamond film, so the crystal film has no directionality; Since it does not contain a binder, it has high abrasion strength.

また、このダイヤモンド薄膜はダイヤモンド基板上に最
も強固に結合するので、超硬合金上にダイヤモンド薄膜
を析出させた場合より単結晶ダイヤモンドチップとの接
着結合力は極めて強固であり、両者は完全に一体化され
る。
In addition, since this diamond thin film is most strongly bonded to the diamond substrate, the adhesive bonding force with the single crystal diamond chip is extremely strong compared to when a diamond thin film is deposited on a cemented carbide, and the two are completely integrated. be converted into

このようにダイヤモンド薄膜を被覆した単結晶ダイヤモ
ンドチップは、単結晶部分が表面になく、刃先部の成形
において、表面被覆層の洋さの範囲内で刃先部の研磨成
形をしているかぎり結晶の異方性の影響がないので正確
な形状の刃付は加工が容易となる。
A single-crystal diamond tip coated with a diamond thin film in this way has no single-crystal part on the surface, and as long as the cutting edge is polished within the width of the surface coating layer, the crystal will remain intact. Since there is no effect of anisotropy, it is easy to process a blade with an accurate shape.

また、ダイヤモンド薄膜を被覆した気相合成ダイヤモン
ドチップは結晶の方向性が無いため、被削材を長時間切
削加工したときに、刃先部に局部的な偏った摩耗が起こ
らないので切削工具の寿命が延長する。
In addition, since the vapor-phase synthetic diamond tip coated with a diamond thin film has no crystal orientation, local uneven wear does not occur at the cutting edge when cutting the workpiece for a long time, which extends the life of the cutting tool. is extended.

さらに被覆したダイヤモンド膜が摩耗して切削工具とし
て使用できなくなった場合でも、再びダイヤモンド薄膜
を被覆して刃先部の再研署することにより工具の再生利
用が可能となり、高価な単結晶ダイヤモンドを有効に使
用することができる。
Furthermore, even if the coated diamond film is worn out and can no longer be used as a cutting tool, the tool can be reused by coating the diamond thin film again and resharpening the cutting edge, making the use of expensive single-crystal diamond more effective. It can be used for.

[実施例] 本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。[Example] The present invention will be explained in more detail with reference to Examples.

実施例1 刃先角906、ノーズ半径約IRの単結晶ダイヤモンド
チップに、直流プラズマCVD法により、圧力200T
orrとし、温度aOO°0において、メタン濃度はメ
タン/水素−1/100とし、2時間の合成時間という
条件で、ダイヤモンド薄膜を40μmの厚さに被覆し、
ダイヤモンド被覆体を製造した。
Example 1 A single crystal diamond tip with a cutting edge angle of 906 mm and a nose radius of approximately IR was subjected to a pressure of 200 T using the DC plasma CVD method.
orr, a diamond thin film was coated to a thickness of 40 μm at a temperature of aOO°0, a methane concentration of methane/hydrogen −1/100, and a synthesis time of 2 hours.
A diamond coated body was produced.

しかる後、刃先角906、ノーズ半径IRに研磨して単
結晶ダイヤモンドバイトに形成して、これをシャンクに
装着し第1図に示すようなダイヤモンド工具を作成した
Thereafter, it was polished to a cutting edge angle of 906 and a nose radius of IR to form a single-crystal diamond cutting tool, which was attached to a shank to produce a diamond tool as shown in FIG.

実施例2 摩耗して使用不能となった実施例1のダイヤモンド工具
の刃先部分を取り外し、その単結晶ダイヤモンドチップ
上の被覆薄膜を刃先角90°、ノーズ半径IRに再研磨
し、そのチップ上にダイヤモンド薄膜を実施例1と同様
の操作の気相合成法により20μm被覆した。
Example 2 The cutting edge of the diamond tool of Example 1 that was worn out and became unusable was removed, and the coating thin film on the single crystal diamond tip was re-polished to a cutting edge angle of 90° and a nose radius of IR. A diamond thin film of 20 μm was coated using the same vapor phase synthesis method as in Example 1.

しかる後、刃先角90°、ノーズ半径IRに刃付けして
、実施例1と同様の形状の単結晶ダイヤモンドバイトを
復元した。
Thereafter, a single-crystal diamond cutting tool having the same shape as in Example 1 was restored by sharpening the cutting edge to a 90° angle and a nose radius IR.

[発明の効果] 本発明により製造されるダイヤモンド被覆体は、ダイヤ
モンド切削工具、ダイス工具その他のもの例えば、ドレ
ッサー、硬度計圧子、測定子、ゲージアンビルなどの耐
摩耗工具に使用することができる。
[Effects of the Invention] The diamond-coated body produced according to the present invention can be used in wear-resistant tools such as diamond cutting tools, die tools, and other tools such as dressers, hardness meter indenters, measuring heads, gauge anvils, and the like.

本発明のダイヤモンド切削工具は、ダイヤモンド薄膜が
基体の単結晶ダイヤモンドに強固に固定されていて、表
面硬度及び形状の安定性、すなわち、切削性能について
は、単結晶ダイヤモンド切削工具と同等であり、しかも
表面のダイヤモンド薄膜は摩耗すれば元どおりに再生す
ることができる利点がある。そのため、高価な単結晶ダ
イヤモンド基体を半永久的に使用することができる。
The diamond cutting tool of the present invention has a diamond thin film firmly fixed to the single crystal diamond base, and has surface hardness and shape stability, that is, cutting performance, which is equivalent to that of a single crystal diamond cutting tool. The diamond thin film on the surface has the advantage that it can be regenerated to its original state if it wears out. Therefore, an expensive single crystal diamond substrate can be used semi-permanently.

一方、本発明のダイヤモンド切削工具の表面層のダイヤ
モンド薄膜は、焼結体多結晶ダイヤモンドのようにバイ
ンダーを含んでいないため摩耗強度が大きく耐用時間が
長い。
On the other hand, the diamond thin film on the surface layer of the diamond cutting tool of the present invention does not contain a binder unlike sintered polycrystalline diamond, and therefore has high wear strength and long service life.

また、このダイヤモンド薄膜はダイヤモンド基板上に最
も強固に結合しているで、単結晶ダイヤモンドチップと
の接着結合力は極めて強固であり単結晶ダイヤモンドと
完全に一体的になっているため単結晶ダイヤモンドの刃
先部と同様の切削作業性を有する。
In addition, this diamond thin film is the most strongly bonded to the diamond substrate, and the adhesive bond with the single crystal diamond chip is extremely strong and is completely integrated with the single crystal diamond. It has the same cutting workability as the cutting edge.

このようにダイヤモンド薄膜を被覆した単結晶ダイヤモ
ンドチップは、異方性のある単結晶部分が表面になく、
刃先部の成形に際して表面被覆層を研磨しているかぎり
結晶の異方性がないので精度よく正確な形状の刃付は加
工が容易となりその結果切削加工精度も向上する。
A single-crystal diamond chip coated with a diamond thin film in this way has no anisotropic single-crystal portion on its surface.
As long as the surface coating layer is polished when forming the cutting edge, there is no anisotropy of the crystal, so the cutting edge with a precise and accurate shape is easy to process, and as a result, the cutting accuracy is improved.

また、ダイヤモンド薄膜を被覆した気相合成ダイヤモン
ドチップは結晶の異方性が無いため、これを切削加工に
使用したときに、偏った摩耗が起こらないので切削工具
の寿命が延長する。
Furthermore, since the vapor-phase synthesized diamond tip coated with a diamond thin film has no crystal anisotropy, uneven wear does not occur when it is used for cutting, so the life of the cutting tool is extended.

さらに被覆したダイヤモンド膜が摩耗して切削工具とし
て使用できなくなった場合でも、再びダイヤモンド薄膜
を被覆して刃先部を再研磨することにより工具の再生利
用が可能となり、高価な単結晶ダイヤモンド基体を何回
でも半永久的に使用することができる。
Furthermore, even if the coated diamond film is worn out and can no longer be used as a cutting tool, the tool can be reused by coating the diamond thin film again and re-polishing the cutting edge. It can be used semi-permanently even once.

このように、本発明によれば、単結晶ダイヤモンドチッ
プの結晶の異方性に基く刃付は加工の困難さを排除し、
これにより切削製品の工作精度を向上させることができ
、また切削加工時の不均一摩耗を改善して単結晶ダイヤ
モンドの刃先部の場合より耐用時間を延長し、かつ再生
により貴重な単結晶ダイヤモンド基体を何回でも半永久
的に再生して使用することができるという二重に耐用期
間を延長できる利点があるなどダイヤモンド工具におけ
る有用性は非常に大きいものである。
As described above, according to the present invention, the cutting edge based on the crystal anisotropy of the single-crystal diamond tip eliminates the difficulty of processing,
This makes it possible to improve the machining accuracy of cutting products, improve uneven wear during cutting, extend the service life of single-crystal diamond cutting edges, and recycle valuable single-crystal diamond substrates. Its usefulness in diamond tools is extremely great, as it has the advantage of extending its service life by being able to semi-permanently regenerate and use it any number of times.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の実施例に係る切削工具の斜視図であり
、第2図はその刃先部の横断面拡大図である。 図中の符号は、1;ダイヤモンド刃先部、2;シャンク
部、3;固定部、4:止めネジ、5;単結晶ダイヤモン
ド、6:ダイヤモンド薄膜である。
FIG. 1 is a perspective view of a cutting tool according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the cutting edge portion thereof. The symbols in the figure are 1: diamond cutting edge portion, 2: shank portion, 3: fixing portion, 4: set screw, 5: single crystal diamond, 6: diamond thin film.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 単結晶ダイヤモンドの表面に気相合成法によりダイ
ヤモンド薄膜を析出させたことを特徴とするダイヤモン
ド被覆体。 2 単結晶ダイヤモンドの表面をダイヤモンド薄膜によ
り被覆したダイヤモンドチップを用いた切削工具。
[Claims] 1. A diamond-coated body characterized in that a diamond thin film is deposited on the surface of a single crystal diamond by a vapor phase synthesis method. 2 A cutting tool using a diamond tip whose surface is coated with a thin diamond film of single crystal diamond.
JP3373488A 1988-02-16 1988-02-16 Diamond coated product and cutting tool using said product Pending JPH01208397A (en)

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