JPH01207380A

JPH01207380A - 被覆砥粒およびその製法

Info

Publication number: JPH01207380A
Application number: JP63057642A
Authority: JP
Inventors: Takeo Oki; 猛雄沖; Yoichi Fukuda; 洋一福田; Eiichi Hisada; 久田　栄一; Tetsushi Aoki; 青木　哲史
Original assignee: Noritake Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd
Priority date: 1987-10-21
Filing date: 1988-03-11
Publication date: 1989-08-21
Anticipated expiration: 2009-03-30
Also published as: DE3872482T2; US5090969A; DE3872482D1; EP0313323A1; EP0313323B1; JPH0623394B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、被覆砥粒、特に浸漬法による被覆砥粒および
その製法に関する。より詳述すれば、溶融塩浴を使用し
て、金属化合物、例えば金属炭化物、金属ホウ化物、お
よび金属窒化物の少なくとも１種からなる金属化合物層
で被覆された砥粒およびその製法に関する。

（従来の技術）砥粒、例えばダイヤモンド砥粒、硬質１３　Ｎ砥粒は超
硬質砥粒と呼ばれ、砥石の原料としてまた研磨材として
広く使用されている。特に、天然または人造のダイヤモ
ンドの砥粒は、通常、金属や合成樹脂やガラス質無機物
を結合剤として用いて結合し、砥石となし、超硬工具の
研削をはじめとしセラミックス、フェライト、ガラスな
どの硬質材の研削や石材、コンクリートの切断など広い
分野において使用されている。特に、近年に至りセラミ
ックス材料のめざましい発達に伴い、その高精度研削加
工を可能とするダイヤモンド砥石および硬質ＢＮ砥石が
多量に使用されている。

しかしながら、今日使用されている砥粒には次のような
欠点がみられる。

例えば、ダイヤモンド砥粒を主成分とするレジンボンド
砥石あるいはメタルボンド砥石の場合、結合剤である樹
脂あるいはメタルとの結合力を高めるために、砥粒表面
にニッケル（Ｎｉ）などの金属を被覆することが行われ
ている。かかる金属被覆は、砥石使用中に砥粒先端で発
生した熱により樹脂が劣化するのを防止する作用がある
といわれている。しかしながら、そのような金属被覆層
が砥石の目詰りを引起こすという問題が生ずる。

一方、同じくダイヤモンド砥粒を主成分とするビトリフ
ァイドボンド砥石は、セラミック質を結合材とするもの
であり、高温焼成により製造されるため、固相反応によ
る砥粒と結合剤との結合力は強い。しかしながら、かか
る高温焼成工程においてダイヤモンド砥粒の熱腐蝕が生
じ、製造が困難であるという問題を有する。

最近に至り、砥石製造時の砥粒の酸化防止、被膜密着性
改善そして研削加工時の目詰まり防止のために、ダイヤ
モンド砥粒表面を化学蒸着法によりＴｉ（Ｃ，Ｎ、Ｏ）
で被覆することが特開昭５５−１６２，１９９号公報に
開示されている。しかし、この方法は、皮膜の密着性と
いう点においては未だ十分でないといわれている。

このように、確かに、被ｉｌ砥粒の有利性が認識されつ
つあり、その−層の改善を図るべ〈従来よりいくつか［
されてきた。しかしながら、それらはいずれもＣＶＤ法
等気相蒸着法によるものであってその性質上多星生産が
できず、設備も大がかりとなり高価な方法であった。

そこで、被覆砥粒の存する上述のようなすぐれた効果を
十分に発揮するためにも、簡便でかつ安価な手段による
被膜密着性の大幅な改善が求められている。

（発明が解決しようとする課題）かくして、本発明の目的は、耐酸化性および耐摩耗性と
ともに被膜密着性にすぐれた超硬質被覆砥粒およびその
製法を提供することである。

さらに、本発明の別の目的は、ＣＶＤ法に比較して多量
にかつ安価に製造できる耐酸化性および耐摩耗性ならび
に被膜密着性にすぐれた超硬質被覆砥粒およびその製法
を提供することである。

（課題を解決するための手段）ところで、本件特許出願人の一人は先に金属材料表面の
硬質化被覆法として溶融塩化物浴を用いる方法を提案し
た。特開昭６１−８７８７３号参照。この方法によれば
金属材料表面の硬度は著しく上昇し、耐摩耗性の改善効
果も著しいことが分かる。

さらに研究を続けていたところ、そのような方法は金属
材料に限らず、非金属材料にも適用可能であって、特に
非金属材料にあっては、単に硬度改善ばかりでなく、溶
融塩浴を使うことから被処理表面を一部粗面化すること
により皮膜密着性が著しく強化されることが判明した。

そこで、前述の目的達成のためにかかる浸漬法を適用す
べく検討したところ、砥粒の表面被覆にその効果が特に
顕著であることを知り、本発明を完成し゛た。

よって、本発明の要旨とするところは、砥粒の表面に浸
漬法に由来する目的金属の炭化物、ホウ化物、および窒
化物の少なくとも１種から成る被膜を設けて成る被覆砥
粒である。

ここに、上記「浸漬法」とは、一般には溶融塩浴に上記
砥粒を浸漬し、表面被膜を形成させる方法である。

さらに、別の面からは、本発明の要旨とするところは、
砥粒表面に浸漬法により目的とする金属の炭化物、ホウ
化物、および窒化物の少なくとも１種から成る被膜を形
成する方法であって、目的とする金属を含有する溶融塩
浴から成る浸漬浴を調製し、次いで、処理すべき砥粒を
適宜時間該浸漬浴に浸漬することを特徴とする、被覆砥
粒の製法である。

なお、本発明の被覆砥粒の使用にあたって、被覆砥粒を
そのまま用いてもよく、もし必要ならばメツキ等による
金属化合物、金属、合金の被覆等の後処理を行ってもよ
い。

本発明の好適態様にあって、上記砥粒はダイヤモンド砥
粒または硬質ＢＮ砥粒である。

金属の炭化物被膜の場合、特に砥粒として硬質ＢＮを使
用する場合、炭素蒸着した硬質ＢＮ砥粒を使用するのが
好ましい。また、金属炭化物の被１１９層を厚くしたい
場合、ダイヤモンド砥粒に炭素仄着等による炭素質被膜
を施したダイヤモンド砥粒を使用してもよい。そして、
砥粒表面層の炭素と浸漬浴内の金属とが反応して炭化物
被膜が形成されるのである。また、別法として硬質ＢＮ
砥粒をそのまま浸γ責すると、今度は１種の置換反応に
よってＢと浸漬浴内の金属との置換が起こり、浸漬浴に
由来する金属の窒化物から成る被膜が形成される。

前記溶融塩浴は、好ましくは、アルカリ金属およびアル
カリ土類金属の塩化物の少なくとも一種から成り、また
、前記フッ化物がアルカリ金属およびアルカリ土類金属
のフッ化物の少なくとも一種から成る。

あるいは別法として、前記溶融塩浴がフッ化物含有溶融
シュウ化物浴、フッ化物含存溶融ヨウ化物浴あるいはフ
ッ化物含有溶融フッ化物浴であって、上記の目的とする
金属の酸化物、ハロゲン化物または単体金属もしくは合
金を添加して前記浸漬浴を調製するようにしてもよい。

この場合にはフッ化物およびシュウ化物もしくはヨウ化
物は、好ましくは、前述のように、アルカリ金属および
アルカリ土類金属のフッ化物およびシュウ化物もしくは
ヨウ化物から選らべばよい。

このような浸漬処理は別種の目的とする金属を利用する
ことにより、２回以上繰り返してもよい。

また別の態様によれば、本発明は、フッ化物含有溶融ハ
ロゲン化物浴にボロン酸化物およびボロンを含む合金も
しくはボロンを含む炭化物（８４Ｃ）を添加して浸漬浴
を調製し、次いで、砥粒またはＴｉ、　Ｃｒ、　Ｖ、Ｗ
、、Ｍｏ、　Ｚｒ、肘、Ｎｂ、　Ｔａ、　Ｎｉおよびそ
れらの合金から選んだ金属または金属化合物で被覆した
砥粒を適宜時間該浸漬浴に浸漬することを特徴とする、
表面にボロン化合物層を形成した被覆砥粒を製造する方
法である。もちろん、上記の金属被覆砥粒に代えて本発
明による被覆砥粒を利用してもよい。

なお、このように金属元素あるいは合金もしくは金属化
合物で「被覆コするとは、それらの金属等の物質で全体
をつつんでしまうものであっても、あるいはその金属等
をメツキして得たものであってもいずれでもよく、少な
くともその表面にかかる金属等が存在しているものを云
うのである。そのための手段としては、電気メツキ、無
電解メツキ、クラッド法、物理蒸着法（例ニスバッタリ
ング）、化学蒸着法（例：気相メツキ）等多くのものを
挙げることができる。もちろん、砥粒それ自体はその限
りにおいて何らその形態などを制限されることはない。

（作用）次に、本発明についてより具体的に説明する。

本発明において利用する浸漬浴を構成する溶融塩浴の代
表例としての上記溶融塩化物浴は、一般にはＫＣＱ　　
ＢａＣＱｚを基本組成とし、これにフッ化物、例えばＮ
ａＦを添加したものである。その他、溶融塩化物浴とし
ては、代表的にはＨａＣＱ、　ＬｉＣＱ、ＣａＣ２２等
が例示され、またフッ化物としてはＮａＦ、ＫＦ、　Ｌ
ｉＦ　、　ＣａＦｚ、ＢａＦｚ等がある。好ましくはア
ルカリ金属塩化物−アルカリ土類金属塩化物−アルカリ
金属フッ化物から成る浴組成が好ましい。そのときの具
体的組成割合などはすでに以上の説明から当業者には明
らかなところであるが、一般には、ＫＣＱ　　ＢａＣＱ
ｚ−ＮａＦ系の場合、にＣＱは５〜９５モル％、１１３
　ＣＩ２　ｚは５〜９５モル％、そしてＮａＦは５〜５
０モル％である。フッ化物が５０モル％を超えると、浴
温度が高くなりすぎるばかりでなり、腐蝕の問題が生じ
る。

目的とする金属の種類は特に制限されないが、本発明に
かかる処理方法の１つの目的が被処理砥粒の被膜密着性
向上にあることから、従来より被膜形成が困難と考えら
れていた硬質金属、例えばＳｉ、　Ｃｒ、　Ｖ、　Ｂ、
　Ｗ、　Ｍｏ、　Ｔｉ５Ｚｒ、訂、Ｎｂ、　Ｔａ等周期
律表第１Ｖａ族、第Ｖａ族および第Ｖｌａ族金属が好ま
しい。

このような目的金属は、一部は化合物として代表的には
、酸化物として上記溶融塩化物浴に加えられるが、これ
は入手も容易であり、また、−ａ的に取扱も容易である
ことから、有利である。また、他の一部は、金属粉末と
して添加される。これは目的金属の単体金属またはそれ
を含む合金、例えばフェロアロイなどとして添加しても
よく、これも本発明の有利な点である。

このように、フッ化物としてナトリウム金属フッ化物を
使用した場合、溶融塩中のＮａＦと酸化物とが反応して
、部分的にフッ化金属カリ、ソーダ等が生成する。そし
てそれらは、それぞれ、例えば、Ｔｉ０ｚ＝ＮａＫｚＴ
ｉＦ６、ＣｒｚＯ：＋　”ＮａＣｒＦ３、Ｖｚ０５−Ｎ
ａ、νＦいＢ２０．→にＢＦい匈０．→ＫＪＰａである
。そしてそれらは、次いで被処理砥粒表面で反応して、
それぞれ、Ｔｉ　　Ｃ（ＴｉＣ）　、Ｃｒ　　Ｃ（Ｃｒ
７Ｃ＊、　Ｃｒ５Ｃｚ。

ＣｒｚｉＣａ）　、ＬＣ（ＶＺＣＩν４Ｃ３，ＶａＣｙ
、νＣａ、ａａ）　、Ｂ−Ｃ、Ｗ−Ｃなどとなる。この
ときの単体金属あるいは合金は酸化物として添加される
金属の還元剤として作用すると考えられる。

なお、変更例として、前記溶融塩浴において前記塩化物
に代えてシュウ化物、ヨウ化物あるいはフッ化物を使用
してもよく、その場合にあってもシュウ化物、ヨウ化物
あるいはフッ化物としてはアルカリ金属およびアルカリ
土類金属のシュウ化物、ヨウ化物もしくはフッ化物から
適宜選べばよい。

目的とする金属の単体、合金の添加星については制限は
ないが、１受消俗におけるそのような金属の酸化物の配
合量は２重世％で十分である。少なすぎると十分な厚さ
の被膜を得ることができない。

実用上の下限は１％程度である。一方、多ずぎると炭化
物層等の被膜の厚さが不均一になったりずる。実用上７
％程度までの添加は許容される。好ましくは５〜７重量
％である。

目的とする金属のハロゲン化物の場合には４０％までも
含有されるが、それを超えると装置等の機器の腐食の問
題が、またハロゲンガスの発生が多くなり、衛生上の問
題も発生する。

目的とする金属の酸化物を用いる場合にはこの酸化物を
還元するための還元剤を添加する。還元剤としては、門
ｎ、ＡＱ、Ｃａ５ＳｉＳＴｉｓ　Ｚｒなど、またはこれ
らの合金、例えばＦｅ−Ｍｎ、　Ｆｅ−ＡＱ、　Ｆｅ−
Ｔｉ、Ｆｅ−Ｚｒ５Ｆｅ−５ｉＳＣａ−５ｉ、　ＣａＣ
ａ−５ｉ−などクロムまたは第Ｖａ族元素よりも酸素と
の親和力が大きいものが用いられる。これらの還元剤の
処理浴における配合割合は２ないし２０重世％程度が適
当である。ｚｆｆｉ量％に満たないと還元効果が不十分
であり、２０重量％を超えるとむしろ炭化物の形成が妨
げられるようになるからである。好ましくは５〜１５重
量％である。

本発明にかかる浸漬法における浸漬時間、温度は目的と
する生成金属化合物の種類によっても区々であるが、一
般には、７００−１０００℃で１〜敗時間処理すれば十
分である。

ところで、本発明において使用する超硬質砥粒は、好ま
しくは、ダイヤモンド砥粒または硬質ＢＮ砥粒あるいは
これらの混合物である。かがるダイヤモンド砥粒の種類
は特に制限されるものではなく、天然、人工いずれのも
のであってもよい。

適宜結合剤を使用して砥石として使用するダイヤモンド
砥粒または硬質ＢＮ砥粒の粒径は、特に制限はないが、
−ＩＣには１４０−１７０メノシエあるいは５０〜６０
メツシュ程度であることが好ましい。

なお、浸漬処理に先立ってダイヤモンド砥粒および硬質
ＢＮ砥粒には特に予備処理を施す必要はないが、好まし
くは、脱脂等の処理を行うことにより、皮膜密着性など
を一層高めることができる。

ところで、本発明にかかる浸漬法による被膜形成は予め
ＣＶＤあるいは真空スパツタリングなどで適宜金属を被
覆した砥粒に対して行ってもよいことは、すでに説明し
たところである。

しかし、このように予め設ける被１１りは金属被覆に限
らず、これまで説明してきた本発明による金属化合物被
覆についても同様である。すなわら、このようにして金
属層あるいは金属炭化物層を形成した砥粒表面に、再び
同様な溶融塩浴を使った処理によって、好ましくはこの
場合は目的金属はＢであり、金属化合物として例えばＢ
２０．のような酸化ホウ素を使用することにより、今度
はすてに砥粒表面に形成された炭化金属の金属とホウ素
とが化合し、金属ホウ化物を形成するようにしてもよい
。つまり、ホウ素化合物（例、ｆＩＩ化ホウ素）はフッ
化物含有溶融塩浴中で、例えばＢＪｉ−ＫＢＦ４となり
、これが砥粒表面被膜中の例えばＴｉと化合してＴｉＢ
２またはＴｉＢ　、つまり１Ｂ２　またはＭＢ　（Ｍ：
金属）を生成するのである。かかる処理によれば砥粒の
耐酸化性は一層改善される。

次に、本発明を、実施例にもとすいて、さらに具体的に
説明する。なお、本明細書において「％」は特にことわ
りがなければ、「重量％」である。

犬ｊｌＮＩ１１本例では、磁製ルツボにＫＣ２，ＢａＣ１１’ｚおよび
ＮａＦをそれぞれ４２．２．２０．２および３７．６モ
ル％加えて加熱溶融した後、所定間の各金属酸化物およ
び合金粉末（フェロアロイ）を添加して、十分撹（↑し
、浸漬浴とした。

このようにして調製した浸漬浴に５０〜６０メツシエの
ダイヤモンド砥粒２ｇ　（Ｇ、Ｅ、社製商品名？ＩＲ５
）を８５０℃で２時間だけ浸漬した。被膜厚さは平均１
．８−であった。本例で使用した金属酸化物と合金との
組合せおよび得られた被膜組成は第１表に示す通りであ
った。

なお、上記砥粒の浴浸漬はステンレス鋼製のルツボを使
って行った。

このようにして得た被覆砥粒を直径４．６１の１４個の
超硬合金製硬質ボールとともに強化硬質ガラスビン（直
径１６．５ｍｍ　Ｘ　３０１　）の中に装入してそのガ
ラスビンを１５０　ｒｐｍの速度で１５分の時間だけ回
転させ、元の重量に対するそのときの剥離被膜量（重量
）の割合でもって被膜書着性を評価した。

結果を同じ（第１表にまとめて示す。

第１表第１図および第２図は、それぞれ被覆しないダイヤモン
ド砥粒および上述のようにしてクロム炭化物を被覆した
砥粒（実験陽２）のＤＴＡ　（示差熱分析）曲線および
ＴＧＡ　（熱重量）曲線を示すグラフである。

第２図の本発明により被覆した砥粒の場合、第１図の従
来例のグラフと比較して、ヒートフローのピーク値を示
す温度が９０４℃から１０１８．９℃にまで上昇してお
り、また、酸化ロスの発生温度も高温側に移行している
のが分かる。したがって、本発明により砥粒の耐酸化性
が著しく改善されるのが分かる。

第３図（イ）および（ロ）は、実験Ｔｈｌに準して作成
したＴｉＣ被膜ダイヤモンド砥粒の被膜！＋　４１試験
後め各被覆砥粒の表面被膜状態および５１１１離物を示
す顕微鏡写真（Ｘ４５）である。実質上表面被膜の剥離
はほとんどなく、チッピングによる細化が行われている
に過ぎないことが分かる。なお、第３図の写真に示す被
覆砥粒は９００℃で３時間浸漬したものであって、Ｔｉ
Ｃ被ｎ２厚さは５ｐであった。

第４図（イ）および（ロ）は、比較のために示すもので
、同しダイヤモンド砥粒であって本発明にかかる被膜を
設けていない砥粒についての剥離試験後の各被覆砥粒の
表面液１１り状態およびＴ１離物を示す顕微鏡写真（Ｘ
４５）である。第４図の場合と比べ、第３図の場合のほ
うが砥粒の細化が進んでおらず、表面被膜の剥離防止は
もちろんチッピング防止にも本発明にかかる被膜形成は
効果があることが分かる。

第５図は第３図に示す被覆砥粒の破砕砥石の表面部分の
電子顕微鏡写真（ｘ　１５００）である。ＴｉＣ被膜が
砥粒表面に密着している様子がよく分かる。

第６図は、同じ被覆砥粒についてのＸ−線マイクロアナ
ライザーによるＴｉ元案分布を示す写真（Ｘ　３０００
）である。Ｔｉがダイヤモンド砥粒内に十分に拡散して
いることが分かる。

このようにして得られた本発明の方法による被覆ダイヤ
モンド砥粒を原料粉末として製造したメタルポンドのダ
イヤモンド砥石は、被覆層を存しない従来のダイヤモン
ド砥粒を用いて製造したメタルボンドダイヤモンド砥粒
と比較して約３倍の使用寿命の延長を可能にすることが
確認された。

実施例２本例では実施例１によって得られたそれぞれの被覆ダイ
ヤモンド砥粒に、同じく本発明にかかる方法によってホ
ウ化物被膜を第２層として設けた。

つまり、ホウ化物形成は、まずＢ２０．とＢ金属とを前
記溶融塩浴に添加して浸漬浴を調製し、実施例１に示す
手順に従って行つた。得られた被膜の組成、耐剥離性に
ついて同様な試験を行った。その結果は第２表にまとめ
て示す。

なお、浸漬処理は、８５０℃で１時間行った。第２表に
示す被膜厚さは第１層炭化物被覆と第２層ホウ化物被覆
との合計層厚さである。

第２表実施例３本例では予めダイヤモンド砥粒に化学蒸着法によりＴｉ
ｓ　Ｃｒ−Ｖ　Ｓ讐および勤の各金属層（厚さほぼ２％
）を設けておき、次いで、実施例２と同様にしてホウ化
物形成を行った。得られた被膜組成と基地となった金属
層の関係を第３表にまとめて示す。なお、浸漬処理は９
５０℃で２時間行った。

第３表実施例４本例では、５０〜６０メソシユの硬ＩＢＮ砥粒（Ｇ、Ｅ
。

社製、商品名ＢＺＮ−５５０）に化学蒸着法によりＴｉ
、Ｃｒ、　ＶおよびＭｏの各金属層（厚さほぼ２ｓ）を
設けておき、次いで実施例２と同様にしてホウ化物形成
を行った。得られた被膜組成と基地となった金属層の関
係を第４表にまとめて示す。なお、浸漬処理は９５０℃
で２時間行った。

第４表実施例５本例は、実施例１に準してＳｉＣ砥粒（４２０〜３５０
ｐ）に炭化物被覆を行う例を示すものである。浸漬浴は
９５０℃に保持し、上記ＳｉＣ砥粒を２時間反応させた
。実施例１の場合と同じく、金属酸化物と合金とを浸漬
浴に配合しているが、Ｓｉｔ、’ＭｅＣ（Ｍｅ：金属）
の置換反応が起こり、炭化物被膜が形成されるのである
。

浸漬浴に配合した金属酸化物および合金の種類について
は第５表にまとめて示す。

なお、同表中には被膜厚さおよび剥離被膜量（％）につ
いても示す。

第５表実施例６本例は実施例１に準じてＣ，−ＢＮ砥粒（２１０〜１７
７−）に窒化物被覆を設ける例を示すものである。

反応温度は９５０℃で２時間であった。

炭化物被覆の場合と同じく金属酸化物と合金とを浸漬浴
に配合しているが、ＢＮ−＝ＭｅＮ　（Ｍｅ：金属）の
置換反応が起こり、窒化物被膜が形成されるのである。

結果は第６表にまとめて示す。

第６表実施例７本例は、実施例２にγ＋ｔして行ったもので、実施例６
によりＢＮ砥粒（２１Ｏ〜１７７　ｔ＠　を用いてこれ
に窒化物被覆を設け、さらにホウ化物層を重ねて設けた
。浸漬は９５０℃の温度で１時間行った。

結果は第７表にまとめて示す。

第７表注：被膜厚さ＝第１層窒化物被覆十第２層ホウ化物被：
Ｗ実施例８本例はシュウ化物浴の使用例を示すものであり、浴組成
はＮａＦ３７．６モル％−ＮａＢｒ３１．２モル％−Ｋ
Ｂｒ３１．２モル％であった。いずれもＭＢＳ砥粒（５
０〜６゜メツシュ）を９５０℃の温度で２時間浸潤した
。

結果は第８表にまとめて示す。

第８表注ニ一般に使用される金属もしくは合金は、表面がｉｔ
に酸化されていると考えられ、学術的に純金属ではない
と考えられる。

実施例９本例は、実施例１に卓して、ＮａＦ３７．６モル％−Ｎ
ａ１３１．２モル％−Ｋ［３１，２モル％の組成の浸漬
浴を用いて添加物を金属酸化物、ハロゲン化物、（１′
Ｌ体金属、合金と変えることによってＭＢＳ砥粒（５０
〜６０メツシユ）に、各種炭化物被膜を形成した。浸漬
は９５０℃の温度で２時間行った。

結果は第９表にまとめて示す。

第９表実施例１Ｏ本例は、実施例１に準じて、ＮａＦ３７．６モル％−に
Ｆ６２．４モル％の組成の浸漬浴を用いて添加物を金属
酸化物、ハロゲン化物、単体金属、合金と変えることに
よってＭＢＳ砥粒（５０〜６０メノンユ）に各種炭化物
被膜を形成した。浸漬は９５０℃の温度で２時間行った
。

結果は第１Ｏ表にまとめて示す。

第１Ｏ表（発明の効果）このように、本発明によれば、取扱の容易な溶融塩浴を
使用するという簡便な浸漬処理だけで従来得られなかっ
たすぐれた密着性および耐酸化性を示す表面被膜が得ら
れるのであって、本発明は当業界の発展に寄与するとこ
ろ大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、被覆されていない従来のダイヤモンド砥粒の
耐酸化性を示すグラフ；第２図は、本発明による被覆ダイヤモンド砥粒の同じく
耐酸化性を示すグラフ；第３図（イ）および（ロ）は、ＴｉＣ被膜ダイヤモンド
砥粒の被膜剥離試験後の各被覆砥粒の表面被膜状態およ
び剥離物を示す顕微鏡写真（Ｘ４５）：第４図（イ）お
よび（ワ）は、同じダイヤモンド砥粒であって本発明に
かかる被膜を設けていない砥粒についての剥離試験後の
各被覆砥粒の表面被膜状態および２１Ｉ離物を示す顕微
鏡写真（Ｘ　４５）　；第５図は、第３図に示す被覆砥
粒の破砕砥石の表面部分の電子顕微鏡写真（Ｘ１５００
）、および第６図は、同じ被覆砥粒についてのＸ−線マ
イクロアナライザーによるＴｉ元素分布を示す写真（Ｘ
　３０００）である。出）幀人　沖　　猛　雄（他１名）代理人　弁理士　広　瀬　章　− 図面の浄書（内容に変更なし）第４図（４］　　　　　第４図（ロン千厩ε主甫正賓く自発）昭和６２年１２月３０特許庁長官　小　川　邦　夫　殿１、事件の表示昭和６２年特許願第２６５９５２号 −２１発明の名称被覆砥粒およびその製法３、補正をする者事件との関係　　特許出願人住所　津島市天王通り３丁目３９′＆地氏名　　沖　　
　猛　雄　（ほか１名）４、代理人６、補正の内容　　白黒写真を添付（内容に変更なし）
手続和１を正賓（方式）％式％１、事件の表示昭和６３年特許願第５７６４２号２、発明の名称被覆砥粒およびその製法３、補正をする者事件との関係　　特許出願人住　所　津島市天王通り３丁目３９番地７、補正の内容（１）委任状添付（２）明細書中下記の箇所の記載を次の通り訂正する。亘　　丘　　　−コしし凶１！ｍｕ口り腹Ｏ＆！＠−３
２１２顕＠鏡写真　　　粒子構造の顕微鏡写真〃１６〃８、添付書類の目録（１１上申書　　　　　　　　　　　　　　１通（２）
委任状　　　　　　　　　　　　　１通量　　上

Claims

【特許請求の範囲】

（１）砥粒の表面に浸漬法に由来する目的金属の炭化物
、ホウ化物、および窒化物の少なくとも１種から成る被
膜を設けて成る被覆砥粒。
（２）前記砥粒がダイヤモンド砥粒または硬質ＢＮ砥粒
である、請求項（１）記載の被覆砥粒。
（３）砥粒表面に浸漬法により目的とする金属の炭化物
、ホウ化物、および窒化物の少なくとも１種から成る皮
膜を形成する方法であって、目的とする金属を含有する
溶融塩浴から成る浸漬浴を調製し、次いで、処理すべき
砥粒を適宜時間該浸漬浴に浸漬することを特徴とする、
被覆砥粒の製法。
（４）前記溶融塩浴がフッ化物含有溶融塩化物浴であっ
て、上記の目的とする金属の酸化物、および単体金属ま
たは該金属を含む合金を添加して前記浸漬浴を調製する
ことを特徴とする、請求項（３）記載の被覆砥粒の製法
。
（５）前記溶融塩化物浴がアルカリ金属およびアルカリ
土類金属の塩化物の少なくとも一種から成る、請求項（
４）記載の被覆砥粒の製法。
（６）前記フッ化物がアルカリ金属およびアルカリ土類
金属のフッ化物の少なくとも１種である、請求項（４）
または（５）記載の被覆砥粒の製法。
（７）前記溶融塩浴がフッ化物含有溶融シュウ化物浴で
あって、上記の目的とする金属の酸化物、ハロゲン化物
または単体金属もしくは合金を添加して前記浸漬浴を調
製することを特徴とする、請求項（３）記載の被覆砥粒
の製法。
（８）前記溶融シュウ化物浴がアルカリ金属およびアル
カリ土類金属のシュウ化物の少なくとも一種から成る、
請求項（７）記載の被覆砥粒の製法。
（９）前記フッ化物がアルカリ金属およびアルカリ土類
金属のフッ化物の少なくとも１種である、請求項（７）
または（８）記載の被覆砥粒の製法。
（１０）前記溶融塩浴がフッ化物含有溶融ヨウ化物浴で
あって、上記の目的とする金属の酸化物、ハロゲン化物
または単体金属もしくは合金を添加して前記浸漬浴を調
製することを特徴とする、請求項（３）記載の被覆砥粒
の製法。
（１１）前記溶融ヨウ化物浴がアルカリ金属およびアル
カリ土類金属のヨウ化物の少なくとも一種から成る、請
求項（１０）記載の被覆砥粒の製法。
（１２）前記フッ化物がアルカリ金属およびアルカリ土
類金属のフッ化物の少なくとも１種である、請求項（１
０）または（１１）記載の被覆砥粒の製法。
（１３）前記フッ化物含有溶融塩浴がフッ化物含有ハロ
ゲン化物浴であって、該浴にボロン酸化物およびボロン
を含む合金もしくはボロンを含む炭化物（Ｂ＿４Ｃ）を
添加して浸漬浴を調整し、次いで、砥粒またはＴｉ、Ｃ
ｒ、Ｖ、Ｗ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｎｉおよ
びそれらの合金から選んだ金属またはそれらの金属化合
物で被覆した砥粒を適宜時間該浸漬浴に浸漬することに
より表面にボロン化合物層を形成したことを特徴とする
、請求項（３）記載の被覆砥粒の製造法。
（１４）前記溶融塩浴がフッ化物含有溶融フッ化物浴で
あって、上記の目的とする金属の酸化物、ハロゲン化物
または単体金属もしくは合金を添加して前記浸漬浴を調
製することを特徴とする、請求項（３）記載の被覆砥粒
の製法。
（１５）前記溶融フッ化物浴がアルカリ金属およびアル
カリ土類金属のフッ化物の少なくとも一種から成る、請
求項（１４）記載の被覆砥粒の製法。
（１６）前記フッ化物がアルカリ金属およびアルカリ土
類金属のフッ化物の少なくとも１種である、請求項（７
）または（８）記載の被覆砥粒の製法。