JPH01126213A - Production of graphite powder and device therefor - Google Patents

Production of graphite powder and device therefor

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JPH01126213A
JPH01126213A JP62283955A JP28395587A JPH01126213A JP H01126213 A JPH01126213 A JP H01126213A JP 62283955 A JP62283955 A JP 62283955A JP 28395587 A JP28395587 A JP 28395587A JP H01126213 A JPH01126213 A JP H01126213A
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graphite
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carbide powder
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隆 田中
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Abstract

PURPOSE:To improve purity and particle size distribution of graphite powder without mechanical pulverizing of a starting raw material by using silicon carbide powder as the starting raw material and making it react with at least one of gaseous halogen and gaseous halide at high temp. CONSTITUTION:The following heating and decomposing processes (a), (b) are used. In other words, (a) silicon carbide powder is heated at >=1,000 deg.C and (b) at least one of gaseous halogen (e.g. gaseous chlorine) and gaseous halide (e.g. gaseous hydrochloric acid) is fed to the silicon carbide powder heated at >=1,000 deg.C and thereby this silicon carbide powder is decomposed and graphite powder is produced.

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の■的 [産業上の利用分野] 本発明は、黒鉛粉末製造方法および黒鉛粉末製造装置に
関し、特に出発!!X料としての炭化珪素粉末を100
0℃以上の温度に加熱しハロゲンガスおよびハロゲン化
物ガスのうちの少なくとも一方を用いて分解することに
より黒鉛粉末を生成せしめてなる黒鉛粉末製造方法およ
び黒鉛粉末製造装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Objectives of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to a graphite powder manufacturing method and a graphite powder manufacturing apparatus, and particularly to a starting point! ! 100% silicon carbide powder as X material
The present invention relates to a method and apparatus for producing graphite powder, in which graphite powder is produced by heating to a temperature of 0° C. or higher and decomposing it using at least one of a halogen gas and a halide gas.

[従来の技術] 従来この種の黒鉛粉末製造方法および黒鉛粉末製J?I
Stごとしては、(i)天然黒鉛あるいは人造黒鉛をボ
ールミルなどによって機械的に粉砕するものあるいは(
ii)膨張黒鉛を作成したのちアセトンなどの媒体によ
って凍結粉砕するものなどが提案されていた。
[Prior Art] Conventionally, this type of graphite powder production method and graphite powder J? I
For each St, (i) natural graphite or artificial graphite is mechanically crushed using a ball mill or the like, or (
ii) It has been proposed to create expanded graphite and then freeze and crush it using a medium such as acetone.

[解決すべき問題点] しかしながら従来の黒鉛粉末製造方法および黒鉛粉末製
造装置では、出発原料としての天然黒鉛あるいは人造黒
鉛もしくは膨張黒鉛を単に機械的な粉砕手段によって粉
砕するのみであったので、出発原料に包有された不純物
がそのまま残留しかつ粉砕手段の摩耗などによって不純
物が混入する欠点があり、ひいては黒鉛粉末の純度を改
善できない欠点があり、また生成fi率を改善できない
欠点もあり、併せて黒鉛粉末の分級な最終段階すなわち
粉砕完了段階で実行せざるを11)すその粒度分布を改
みできない欠点かあった。
[Problems to be Solved] However, in conventional graphite powder manufacturing methods and graphite powder manufacturing equipment, natural graphite, artificial graphite, or expanded graphite as a starting material is simply crushed using mechanical crushing means. There are disadvantages that impurities contained in the raw material remain as they are and impurities are mixed in due to wear of the crushing means, etc., and furthermore, there is a disadvantage that the purity of graphite powder cannot be improved, and there is also a disadvantage that the production fi rate cannot be improved. 11) The particle size distribution at the base cannot be changed, since the classification of the graphite powder must be carried out at the final stage, that is, at the completion of pulverization.

そこで本発明は、炭化珪素粉末を出発原料とし分級のの
ちハロゲンガスおよびハロゲン化物ガスのうちの少なく
とも一方て分解せしめて黒鉛粉末を生成せしめることに
より機械的粉砕を回避し黒鉛粉末の純度ならびに粒度分
布を改みしかつ生成俺率を改善してなる黒鉛粉末製造方
法および黒鉛粉末製造装置を提供せんとするものである
Therefore, the present invention uses silicon carbide powder as a starting material, classifies it, and then decomposes at least one of halogen gas and halide gas to generate graphite powder, thereby avoiding mechanical pulverization and improving the purity and particle size distribution of graphite powder. It is an object of the present invention to provide a graphite powder manufacturing method and a graphite powder manufacturing apparatus by modifying the method and improving the production rate.

(2)発明の構成 [問題点の解決手段] 本発明により提供される問題点の解決手段は、「(a)
炭化珪素粉末を1000℃以上の温度に加熱する加熱工
程と、 (b) +ooo℃以上の温度に加熱された炭化珪素粉
末に対しハロゲンガスおよびハロ ゲン化物ガスのうちの少なくとも一方 を供給して前記炭化珪素粉末を分解し 黒鉛粉末を生成する分解工程と を備えてなることを特徴とする黒鉛粉末製造方法」 である。
(2) Structure of the invention [Means for solving the problems] The means for solving the problems provided by the present invention are as follows:
a heating step of heating silicon carbide powder to a temperature of 1000°C or higher; (b) supplying at least one of a halogen gas and a halide gas to the silicon carbide powder heated to a temperature of +ooo°C or higher to carry out the carbonization; and a decomposition step of decomposing silicon powder to generate graphite powder.''

本発明により提供される問題点の他の解決手段は。Another solution to the problem provided by the present invention is.

「(a)ガス透過性の上蓋および下蓋を包有しており炭
化珪素粉末を収容するための 黒鉛ルツボと。
``(a) a graphite crucible containing gas-permeable upper and lower lids for containing silicon carbide powder;

(b)前記黒鉛ルツボの下蓋を介して前記炭化珪素粉末
に対しハロゲンガスおよび ハロゲン化物ガスのうちの少なくとも 一方を供給するガス供給装置と。
(b) a gas supply device that supplies at least one of a halogen gas and a halide gas to the silicon carbide powder through the lower lid of the graphite crucible;

(c)前記炭化珪素粉末を1000℃以1の温度に加熱
することにより前記ハロゲンガ スおよびハロゲン化物ガスのうちの少 なくとも一方によって分解せしめ黒鉛 粉末を生成せしめる加熱装置と を備えてなることを特徴とする黒鉛粉末製造装置」 である。
(c) a heating device that heats the silicon carbide powder to a temperature of 1000° C. or higher to cause it to be decomposed by at least one of the halogen gas and the halide gas to produce graphite powder. Graphite powder manufacturing equipment.

[作用] 本9.1JIにかかる黒鉛粉末製造方法は、加熱工程て
炭化珪素粉末を1000℃以上の温度に加熱し、かつ分
解工程でその1000℃以上の温度に加熱された炭化珪
素粉末をハロゲンガスおよびハロゲン化物ガスのうちの
少なくとも一方によって分解し、これによって黒鉛粉末
を生成する作用をなしており、出9.rX料の機械的粉
砕を回避する作用をなし、詰果的に黒鉛粉末の生成能率
を改りする作用ならびに比重の大きな炭化珪素粉末の状
態で分級な回部として黒鉛粉末の粒度分布を改善する作
用をなし、併せて黒鉛粉末の純度を改善する作用をなす
[Function] The graphite powder manufacturing method according to this 9.1 JI involves heating silicon carbide powder to a temperature of 1000°C or higher in the heating step, and converting the silicon carbide powder heated to a temperature of 1000°C or higher in the decomposition step into halogen. The function is to decompose with at least one of the gas and the halide gas, thereby producing graphite powder. It has the effect of avoiding mechanical crushing of the rX material, has the effect of improving the production efficiency of graphite powder, and improves the particle size distribution of graphite powder as a classifying part in the state of silicon carbide powder with a large specific gravity. It also acts to improve the purity of graphite powder.

また本発明にかかる黒鉛粉末製造装置は、ガス透過性の
上蓋および下蓋を包有した黒鉛ルツボに炭化珪素粉末を
収容しておき、その下蓋を介してハロゲンガスおよびハ
ロゲン化物ガスのうちの少なくとも一方をガス供給装置
によって供給し、かつ前記炭化珪素粉末を加熱装置によ
って1000℃以上の温度に加熱して前記ハロゲンガス
およびハロゲン化物ガスのうちの少なくとも一方によっ
て分解し、これによって黒鉛粉末を生成せしめる作用を
なしており、出発原料の機械的粉砕を回避する作用をな
し、結果的に黒鉛粉末の生成能率を改善する作用ならび
に比重の大きな炭化珪素粉末の状態で分級な可能として
黒鉛粉末の粒度分布を改善する作用をなし、併せて黒鉛
粉末の純度を改善する作用をなす。
Further, in the graphite powder manufacturing apparatus according to the present invention, silicon carbide powder is stored in a graphite crucible that includes a gas-permeable upper lid and a lower lid, and a halogen gas and a halide gas are released through the lower lid. at least one of the halogen gas and the halide gas is supplied by a gas supply device, and the silicon carbide powder is heated to a temperature of 1000° C. or higher by a heating device to be decomposed by at least one of the halogen gas and the halide gas, thereby producing graphite powder. It acts to avoid mechanical crushing of the starting material, and as a result, improves the production efficiency of graphite powder and improves the particle size of graphite powder by making it possible to classify silicon carbide powder with a large specific gravity. It acts to improve the distribution and also acts to improve the purity of graphite powder.

[実施例] 次に本発明について、実施例を挙げ具体的に説明する。[Example] Next, the present invention will be specifically described with reference to Examples.

第1図は、本発明にかかる黒鉛粉末製造方法の一実施例
を実行するための黒鉛粉末製造装置な示す斯面図である
FIG. 1 is a side view showing a graphite powder manufacturing apparatus for carrying out an embodiment of the graphite powder manufacturing method according to the present invention.

第2図は、本発明にかかる黒鉛粉末製造方法を第1図の
黒鉛粉末製造装置によって実行することにより製造され
た黒鉛粉末の粒度分布を示すグラフ図である。
FIG. 2 is a graph diagram showing the particle size distribution of graphite powder manufactured by carrying out the graphite powder manufacturing method according to the present invention using the graphite powder manufacturing apparatus shown in FIG.

まず:jSf図を参照しつつ、本発明にかかる黒鉛粉末
製造方法の一実施例を実行するための黒鉛粉末製造装置
について、その構成を詳細に説明する。
First, the configuration of a graphite powder manufacturing apparatus for carrying out an embodiment of the graphite powder manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to the jSf diagram.

すは本発明の黒鉛粉末製造装置で、炉芯管側と、炉芯管
並の周囲に配設された高周波加熱用コイル凹と、炉芯管
並の内部に配設されており炭化珪素粉束部を収容するた
めの黒鉛ルツボ並と、炉芯管並の内部に収容されており
黒鉛ルツボ赳に収容された炭化珪素粉未刊を加熱するた
めの誘導加熱装置並と、炉芯管廷の内周面と誘導加熱装
置並の外周面との間に保温断熱するために配設されたカ
ーボンフェルトUとを包有している。
This is the graphite powder manufacturing apparatus of the present invention, which includes a furnace core tube side, a high-frequency heating coil concave disposed around the furnace core tube, and a silicon carbide powder disposed inside the furnace core tube. A graphite crucible for accommodating the bundle, an induction heating device for heating the silicon carbide powder stored in the graphite crucible, and a furnace core tube. It includes a carbon felt U disposed between the inner circumferential surface and the outer circumferential surface similar to that of an induction heating device for heat retention and insulation.

炉芯管廷は、2高周波加熱用コイル四によって包囲され
た炉芯管本体21と、炉芯管本体21の上端部開口を閉
鎖する炉芯管下蓋22と、炉芯管本体21のL端部開口
を閉鎖する炉芯管上蓋23とを包有している。炉芯管下
蓋22には、ハロゲンガス(たとえば塩素ガス)および
ハロゲン化物ガス(たとえば塩酸ガス)のうちの少なく
とも一方を供給するためのガス供給装置1(Iji示せ
ず)に一端部が連通されたガス供給管2ZAの他端部が
貫通されている。
The furnace core tube includes a furnace core tube body 21 surrounded by two high-frequency heating coils 4, a furnace core tube lower cover 22 that closes the upper end opening of the furnace core tube body 21, and an L of the furnace core tube body 21. It includes a furnace core tube upper lid 23 that closes the end opening. One end of the furnace core tube lower lid 22 is connected to a gas supply device 1 (Iji not shown) for supplying at least one of halogen gas (for example, chlorine gas) and halide gas (for example, hydrochloric acid gas). The other end of the gas supply pipe 2ZA is penetrated therethrough.

炉芯管上蓋23には、一端部が適宜の減圧′?を置(図
示せず)に連通されたガス排出管23^の他端部が貫通
されている。
One end of the furnace core tube upper cover 23 is provided with an appropriate reduced pressure. The other end of a gas exhaust pipe 23^ communicated with the gas discharge pipe 23 (not shown) is penetrated therethrough.

黒鉛ルツボ赳は、上端部開口および上端部開口を有する
筒状の黒鉛ルツボ本体41と、黒鉛ルツボ本体41の上
端部開口に配設された黒鉛ルツボ下蓋42と、黒鉛ルツ
ボ本体4!の上端f4開口に配設された黒鉛ルツボ上蓋
43とを包有している。黒鉛ルツボ下蓋42と黒鉛ルツ
ボ上蓋43とは、ガス供給管22Aを介して供給された
ハロゲンガスおよびハロゲン化物ガスのうちの少なくと
も一方を炭化珪素粉未刊に対して供給しかつハロゲンガ
スおよびハロゲン化物ガスのうちの少なくとも一方と炭
化珪素粉束部との反応によって発生されたハロゲン化珪
素ガスを含む生成ガスをガス排出管23Aを介して排出
するために、ガス透過性材料(たとえばカーボンフィル
タ)をそれぞれ包有している。
The graphite crucible includes a cylindrical graphite crucible main body 41 having an upper end opening and an upper end opening, a graphite crucible lower cover 42 disposed at the upper end opening of the graphite crucible main body 41, and a graphite crucible main body 4! It includes a graphite crucible upper cover 43 disposed at the upper end f4 opening of the graphite crucible. The graphite crucible lower lid 42 and the graphite crucible upper lid 43 supply at least one of the halogen gas and halide gas supplied via the gas supply pipe 22A to the silicon carbide powder, and supply the halogen gas and the halide gas to the silicon carbide powder. A gas permeable material (for example, a carbon filter) is used to discharge the generated gas containing the silicon halide gas generated by the reaction between at least one of the gases and the silicon carbide powder bundle portion through the gas exhaust pipe 23A. Each of them is included.

炭化珪素粉未到は、所望により適宜の粉砕装′t(たと
えばボールミル)によって粉砕され、適宜に分級されて
いる。これは、黒鉛粉末の粒度が出発原料たる炭化珪素
粉束部の粒度と相似であることを根拠としている。また
これにより出発原料たる比重の大きな炭化珪素粉末で分
級できるので、最終製品たる比重の小さな黒鉛粉末で分
級する場合に比し、黒鉛粉末の分級精度を改善できる。
If desired, the silicon carbide powder is pulverized using a suitable pulverizing device (for example, a ball mill) and classified as appropriate. This is based on the fact that the particle size of the graphite powder is similar to the particle size of the silicon carbide powder bundle, which is the starting material. Furthermore, since it is possible to classify the starting material, silicon carbide powder, which has a high specific gravity, the classification accuracy of the graphite powder can be improved compared to the case where the graphite powder, which is the final product, has a low specific gravity.

訪導加熱装置観は、炉芯管本体21の内周面と黒鉛ルツ
ボ本体41の外周面との間に配設された誘導加熱用゛上
極61と、誘導加熱用電極61の下端部に配設された下
蓋62と、誘導加熱用電極61の上端部に配設された上
蓋63と、下ri62に対し黒鉛ルツボ赳をJamする
ための支持体64とを包有している。下′462には、
ガス供給管22^を介して供給されたハロゲンガスおよ
びハロゲン化物ガスのうちの少なくとも一方を黒鉛ルツ
ボ下蓋42に対し案内するために、ガス孔62Aが適宜
の数だけ穿設されている。また上蓋63には、ハロゲン
ガスおよびハロゲン化物ガスのうちの少なくとも一方と
炭化珪素粉末社との反応によって発生されたハロゲン化
珪素ガスを含む生成ガスを黒鉛ルツボ上;fi43から
ガス排出’l’?23Aに対し案内するために、ガス孔
63Aか適宜の数だけ穿設されている。
The view of the inductive heating device is that an upper electrode 61 for induction heating is disposed between the inner circumferential surface of the furnace core tube body 21 and the outer circumferential surface of the graphite crucible body 41, and a lower end portion of the induction heating electrode 61. It includes a lower lid 62 provided, an upper lid 63 provided at the upper end of the induction heating electrode 61, and a support 64 for jamming the graphite crucible against the lower ri 62. At the bottom '462,
In order to guide at least one of the halogen gas and halide gas supplied via the gas supply pipe 22^ to the graphite crucible lower cover 42, an appropriate number of gas holes 62A are provided. Further, in the upper lid 63, a gas containing a silicon halide gas generated by a reaction between at least one of a halogen gas and a halide gas and a silicon carbide powder is discharged from the graphite crucible; An appropriate number of gas holes 63A are provided to guide the gas holes 23A.

更に第1図に示した本発明の黒鉛粉末製造装置圧の作用
を説−しつつ1本発明にかかる黒鉛粉末製造方法につい
て、その詳細を説明する。
Further, the graphite powder manufacturing method according to the present invention will be explained in detail while explaining the action of the pressure of the graphite powder manufacturing apparatus according to the present invention shown in FIG.

適宜の炭化珪素材料をボールミルなどの適宜の粉砕装置
によって粉砕したのち所望に応じて分級することにより
、炭化珪素粉末社を生成する。
A suitable silicon carbide material is pulverized using a suitable pulverizing device such as a ball mill, and then classified as desired to produce silicon carbide powder.

炭化珪素粉末社は、黒鉛ルツボL、;14 :lを一時
的に開放して黒鉛ルツボ赳に適宜の量たけ収容せしめら
れた状態で炉芯管並中の誘導加熱装を廷内に収容する。
Silicon Carbide Powder Co., Ltd. temporarily opened the graphite crucible L, 14:1, and housed the induction heating device in the furnace core tube in a state where an appropriate amount was accommodated in the graphite crucible. .

黒鉛ルツボ赳が支持体64を介して下蓋62上にanさ
れたのち、上蓋63を閉鎖する。
After the graphite crucible is placed on the lower lid 62 via the support 64, the upper lid 63 is closed.

更に上蓋6コ上に適当量のカーボンフェルト四を配置し
、炉芯管上蓋23を閉鎖する。
Furthermore, an appropriate amount of carbon felt 4 is placed on the upper lid 6, and the furnace core tube upper lid 23 is closed.

炉芯管上蓋23を閉鎖したのち、ガス供給管22Aを介
してガス供給装置(図示せず)により不活性ガス(たと
えばアルゴンガス、窒素ガスなど)を供給し、これによ
りカーボンフェルトU、下蓋62のガス孔62A、黒鉛
ルツボ下M42を介して黒鉛ルツボ赳に収容された炭化
珪素粉末社に対してその不活性ガスを供給する。炭化珪
素粉末社は、このため流動床化される。
After closing the furnace core tube upper lid 23, an inert gas (for example, argon gas, nitrogen gas, etc.) is supplied by a gas supply device (not shown) through the gas supply pipe 22A, and thereby the carbon felt U and the lower lid are closed. The inert gas is supplied to the silicon carbide powder contained in the graphite crucible through the gas hole 62A of No. 62 and the lower graphite crucible M42. Silicon carbide powder is fluidized for this purpose.

そののち高周波加熱用コイル2!!および誘導加熱用電
極61に対し適宜の電圧を供給し、黒鉛ルツボ赳に収容
された炭化珪素粉末社を1000℃以上の温度に加熱す
る。
After that, high frequency heating coil 2! ! Then, an appropriate voltage is supplied to the induction heating electrode 61 to heat the silicon carbide powder housed in the graphite crucible to a temperature of 1000° C. or higher.

炭化珪素粉末社かl000°C以上の温度に達したのち
、ガス供給管22Aを介して供給されている不活性ガス
を遮断し、新たにハロゲンガス(たとえば塩素ガス)お
よびハロゲン化物ガス(たとえば塩酸ガス)のうちの少
なくとも一方をガス供給装置(図示せず)によって炭化
珪素粉末社に対して供給し始める。ハロゲンガスおよび
ハロゲン化物ガスのうちの少なくとも一方の供給を所定
の時間たけ継続し炭化珪素粉末輩と反応せしめて炭化珪
ぶ粉未到をハロゲン化珪素ガスを含む生成ガスに変える
ことにより、炭化珪素粉末社を分解し黒鉛粉末とする。
After reaching a temperature of 1000°C or more, the inert gas being supplied via the gas supply pipe 22A is shut off, and halogen gas (for example, chlorine gas) and halide gas (for example, hydrochloric acid gas) are newly supplied. A gas supply device (not shown) starts supplying at least one of the gases to the silicon carbide powder company. By continuing to supply at least one of halogen gas and halide gas for a predetermined period of time and reacting with silicon carbide powder to convert the silicon carbide powder into a product gas containing silicon halide gas, silicon carbide can be produced. Powder is decomposed into graphite powder.

炭化珪素粉末社の分解に十分な時間が経過したのち、ガ
ス供給管22Aを介して供給されているハロゲンガスお
よびハロゲン化物ガスのうちの少なくとの一方を遮断し
、新たに不活性ガス(たとえばアルゴンガスあるいは窒
素ガス)を供給し、これによって炉芯管廷内のハロゲン
ガスおよびハロゲン化物ガスのうちの少なくとも一方と
ハロゲン化珪素ガスを含む生成ガスとを掃気する。誘導
加熱用電極61および高周波加熱用コイルηに供給され
ていた電圧を遮断し、炉芯管廷の内部の温度か室温に達
するのを待って炉芯管上蓋23を開き、黒鉛ルツボ赳を
取り出す、黒鉛ルツボ赳の黒鉛ルツボ上443を開放す
ることにより、黒鉛粉末を黒鉛ルツボ赳から取り出し回
収する。
After sufficient time has elapsed for decomposition of the silicon carbide powder, at least one of the halogen gas and halide gas supplied via the gas supply pipe 22A is shut off, and a new inert gas (e.g. Argon gas or nitrogen gas) is supplied to scavenge at least one of the halogen gas and the halide gas and the produced gas containing the silicon halide gas in the furnace core tube. The voltage supplied to the induction heating electrode 61 and the high-frequency heating coil η is cut off, and after waiting for the temperature inside the furnace core tube to reach room temperature, the furnace core tube upper cover 23 is opened and the graphite crucible is taken out. By opening the graphite crucible top 443 of the graphite crucible, graphite powder is taken out and recovered from the graphite crucible.

加えて本発明にかかる黒鉛粉末製造方法および黒鉛粉末
製造装置について、−層具体的に理解できるよう、具体
的な数値などを挙げて詳細に説明する。
In addition, the graphite powder manufacturing method and graphite powder manufacturing apparatus according to the present invention will be explained in detail by citing specific numerical values so that the graphite powder manufacturing method and apparatus can be understood in detail.

(実施例) 適量の炭化珪素材料をロールミルて粉砕しかつ分級して
得られた平均粒径L34mでかつ最大粒径3.3pmの
炭化珪素粉末社を、出発原料として黒鉛ルツボ赳に収容
したのら、第1図に示すように炉芯管廷内に収容した。
(Example) Silicon carbide powder having an average particle size L of 34 m and a maximum particle size of 3.3 pm obtained by milling and classifying an appropriate amount of silicon carbide material was placed in a graphite crucible as a starting material. were housed in the furnace core tube chamber as shown in Figure 1.

tR化珪素粉末50は、ガス供給装置によりガス供給′
i?22Aを介し黒鉛ルツボ凹に対してアルゴンガスを
供給することによって、流動床化された。
The tR silicon oxide powder 50 is supplied with gas by a gas supply device.
i? A fluidized bed was created by supplying argon gas to the graphite crucible concave via 22A.

そののち高周波加熱用コイル並および誘導加熱用電極6
1に対して適宜の電圧を供給し、黒鉛ルツボ赳に収容さ
れた炭化珪素粉末社を1600”cの温度に加熱した。
After that, high frequency heating coil and induction heating electrode 6
An appropriate voltage was supplied to 1, and the silicon carbide powder housed in the graphite crucible was heated to a temperature of 1600''c.

炭化珪素粉末社が110”Cに達したのち、ガス供給管
22Aを介して供給されてい゛たアルゴンガスを遮断し
、ガス供給装置によって新たに塩素ガスを供給し始めた
。塩素ガスは、15時間供給され続けた。これにより炭
化珪素粉末社は、5in(粉末)+2CI2(Jス)→
S iC14(ガス)十C(粉末)の如く分解され、黒
鉛粉末が生成された。
After Silicon Carbide Powder Co., Ltd. reached 110"C, the argon gas supplied through the gas supply pipe 22A was cut off, and the gas supply device began supplying chlorine gas. As a result, Silicon Carbide Powder Co., Ltd.
It was decomposed into SiC14 (gas) and SiC (powder) to produce graphite powder.

15時間経過ののち、ガス供給管22Aを介して供給さ
れていた塩素ガスを遮断し、ガス供給9置によって新た
に窒素ガスを供給し炉芯管並の内部に充満していた塩素
ガスおよび塩化珪素ガスを掃気した。高周波加熱用コイ
ル川および誘導加熱用電極61に対して印加されていた
適宜の電流を遮断し、黒鉛ルツボ赳の温度が室温まで低
下するのをまって、炉芯管上蓋23を開放し黒鉛ルツボ
赳から黒鉛粉末を回収した。
After 15 hours have elapsed, the chlorine gas supplied via the gas supply pipe 22A is shut off, and nitrogen gas is newly supplied at the gas supply position 9 to remove the chlorine gas and chloride that had filled the inside of the furnace core tube. The silicon gas was scavenged. The appropriate current applied to the high-frequency heating coil and the induction heating electrode 61 is cut off, and after waiting for the temperature of the graphite crucible to drop to room temperature, the furnace core tube upper cover 23 is opened and the graphite crucible is heated. Graphite powder was recovered from the coal.

回収された黒鉛粉末は、嵩密度が0.98g/cm”で
あり、平均粒径が1.2#Lmでかつ最大粒径が3.2
pmであった。また回収された黒鉛粉末の粒度分#(こ
こでは累積百分率)は、第2図に実線で示すとおりであ
ワた。
The recovered graphite powder has a bulk density of 0.98 g/cm'', an average particle size of 1.2 #Lm, and a maximum particle size of 3.2 #Lm.
It was pm. Further, the particle size fraction # (here cumulative percentage) of the recovered graphite powder was as shown by the solid line in FIG.

加えて回収された黒鉛粉末は、全不純物(たとえばNi
、Fe、Mn、Mg、Cu、Cr、Na、にtca+A
I*V、s、Oなど)の濃度が2ppmにすぎなかった
In addition, the recovered graphite powder is free of all impurities (e.g. Ni
, Fe, Mn, Mg, Cu, Cr, Na, tca+A
The concentration of I*V, s, O, etc.) was only 2 ppm.

(比較例) 天然黒鉛粉末をロールミルで50時間かけて粉砕し回収
された黒鉛粉末は、嵩密度が1.98〜L1g/c■3
であり、平均粒径が1.2gmでかつ最大粒径が12)
hmであった。またこのとき回収された黒鉛粉末の粒度
分布(ここでは累積百分率)は、第2図に破線で示すと
おりであった。
(Comparative example) Graphite powder recovered by crushing natural graphite powder in a roll mill for 50 hours has a bulk density of 1.98 to L1g/c■3
and the average particle size is 1.2 gm and the maximum particle size is 12)
It was hm. Further, the particle size distribution (here cumulative percentage) of the graphite powder recovered at this time was as shown by the broken line in FIG.

加えて回収された黒鉛粉末は、全不純物(たとえばNi
、Fe、Iin、11g、Cu、Cr、Na、に、Ca
、AI、V、S、Oなと)の温度がSOOOppmであ
った。
In addition, the recovered graphite powder is free of all impurities (e.g. Ni
, Fe, Iin, 11g, Cu, Cr, Na, Ca
, AI, V, S, O) temperature was SOOOppm.

(3)発明の効果 上述より明らかなように本発明にかかる黒鉛粉末tA造
方法は。
(3) Effects of the Invention As is clear from the above, the method for producing graphite powder tA according to the present invention is as follows.

(a) +&化珪素粉末を1000℃以上の温度に加熱
する加熱工程と、 (b) 1000℃以上の温度に加熱された炭化珪素粉
末に対しハロゲンガスおよびハロゲン化物ガスのうちの
少なくとも一方を供給して前記炭化珪素粉末を分解し黒
鉛粉末を生成する分解工程と を備えてなるので、 (i)出発原料の機械的粉砕を回避できる効果 をイ1し、結果的に (iυ黒鉛粉末の生成能率を改善できる効果(iii)
黒鉛粉末の純度を改善できる効果ならびに (iv)比重の大きな炭化珪素粉末の粒度分布を調整す
ることによって黒鉛粉末の粒 度粉末を調整でき、ひいてはその粒度 分布を改りできる効果 を有する。
(a) +& A heating step of heating silicon carbide powder to a temperature of 1000°C or higher; (b) Supplying at least one of a halogen gas and a halide gas to the silicon carbide powder heated to a temperature of 1000°C or higher. and a decomposition step of decomposing the silicon carbide powder to generate graphite powder, (i) the effect of avoiding mechanical crushing of the starting material is achieved, and as a result (iυ graphite powder generation). Effects that can improve efficiency (iii)
It has the effect of being able to improve the purity of graphite powder and (iv) adjusting the particle size distribution of silicon carbide powder with a large specific gravity, thereby making it possible to adjust the particle size of graphite powder and, in turn, changing the particle size distribution.

また本発明にかかる黒鉛粉末製造装置は、(a)ガス透
過性の上蓋および下蓋を包有しており炭化珪素粉末を収
容するための黒鉛ルツボと。
Further, the graphite powder manufacturing apparatus according to the present invention includes (a) a graphite crucible that includes a gas-permeable upper cover and a lower cover and accommodates silicon carbide powder;

(b)前記黒鉛ルツボの下蓋を介して前記炭化珪素粉末
に対しハロゲンガス3よびハロゲン化物ガスのうちの少
なくとも一方を供給するガス供給?tW1と。
(b) Gas supply for supplying at least one of halogen gas 3 and halide gas to the silicon carbide powder through the lower lid of the graphite crucible? With tW1.

(c) 前記炭化珪素粉末を1000℃以上の温度に加
熱することにより前記ハロゲンガスおよびハロゲン化物
ガスのうちの少なくとも一方によって分解せしめ黒鉛粉
末を生成せしめる加熱装置と を備えてなるので、同様に上記(+)〜(iv)の効果
を有する。
(c) a heating device that heats the silicon carbide powder to a temperature of 1000° C. or higher to cause it to be decomposed by at least one of the halogen gas and the halide gas to produce graphite powder; It has the effects of (+) to (iv).

dir+i0L it:: ”、’、’;説リワdir+i0L it::”,’,’; Theory Riwa

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第り図は本発明にかかる黒鉛粉末製造方法の一実施例を
実行するための黒鉛粉末製造装置を示す断面図、第2図
は本発明にかかる黒鉛粉末製造方法を第1図の黒鉛粉末
製造装置によって実行することにより製造された黒鉛粉
末の粒度分布を示すグラフ図である。 艮・・・・・・・・・・・・・・黒鉛粉末製造方法廷・
・・・・・・・・・・・・・炉芯管21・・・・・・・
・・・・・炉芯管本体22・・・・・・・・・・・・炉
芯管下蓋22^・・・・・・・・・・ガス供給管23・
・・・・・・・・・・・炉芯管上蓋23A・・・・・・
・・・・ガス排出管用・・・・・・・・・・・・・・高
周波加熱用コイル赳・・・・・・・・・・・・・・黒鉛
ルツボ41・・・・・・・・・・・・黒鉛ルツボ本体4
2・・・・・・・・・・・・黒鉛ルツボ下443・・・
・・・・・・・・・黒鉛ルツボ上蓋50・・・−・・・
・・・・・・・炭化珪素粉末60・・・・・・・・・・
・・・・誘導加熱装置61・・・・・・・・・・・・誘
導加熱用電極62・・・・・・・・・・・・下蓋 62A・・・・・・・・・・ガス孔 63・・・・・・・・・・・・I:、蓋63A・・・・
・・・・・・ガス孔 64・・・・・・・・・・・・支持体
Figure 2 is a sectional view showing a graphite powder manufacturing apparatus for carrying out an embodiment of the graphite powder manufacturing method according to the present invention, and Figure 2 is a sectional view showing a graphite powder manufacturing apparatus for carrying out the graphite powder manufacturing method according to the present invention as shown in Figure 1. FIG. 2 is a graph diagram showing the particle size distribution of graphite powder produced by performing the process with the apparatus.艮・・・・・・・・・・・・Graphite powder manufacturing method court・
・・・・・・・・・・・・Furnace core tube 21・・・・・・・
・・・・・・Furnace tube body 22・・・・・・・・・Furnace core tube lower cover 22^・・・・・・・・・Gas supply pipe 23・
......Furnace core tube top cover 23A...
......For gas discharge pipe......Coil for high frequency heating......Graphite crucible 41... ...Graphite crucible body 4
2・・・・・・・・・Graphite crucible lower 443...
......Graphite crucible top lid 50...
・・・・・・Silicon carbide powder 60・・・・・・・・・
...Induction heating device 61...Induction heating electrode 62...Lower lid 62A... Gas hole 63...I:, Lid 63A...
...... Gas hole 64 ...... Support body

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)(a)炭化珪素粉末を1000℃以上の温度に加
熱する加熱工程と、 (b)1000℃以上の温度に加熱された炭化珪素粉末
に対しハロゲンガスおよびハロゲン化物ガスのうちの少
なくとも一方を供給して前記炭化珪素粉末を分解し黒鉛
粉末を生成する分解工程と を備えてなることを特徴とする黒鉛粉末製造方法。
(1) (a) A heating step of heating silicon carbide powder to a temperature of 1000°C or higher; (b) At least one of a halogen gas and a halide gas to the silicon carbide powder heated to a temperature of 1000°C or higher. a decomposition step of supplying silicon carbide powder to decompose the silicon carbide powder to produce graphite powder.
(2)(a)ガス透過性の上蓋および下蓋を包有してお
り炭化珪素粉末を収容するための黒鉛ルツボと、 (b)前記黒鉛ルツボの下蓋を介して前記炭化珪素粉末
に対しハロゲンガスおよびハロゲン化物ガスのうちの少
なくとも一方を供給するガス供給装置と、 (c)前記炭化珪素粉末を1000℃以上の温度に加熱
することにより前記ハロゲンガスおよびハロゲン化物ガ
スのうちの少なくとも一方によって分解せしめ黒鉛粉末
を生成せしめる加熱装置と を備えてなることを特徴とする黒鉛粉末製造装置。
(2) (a) a graphite crucible containing gas permeable upper and lower lids for accommodating silicon carbide powder; and (b) a graphite crucible for storing silicon carbide powder through the lower lid of the graphite crucible. a gas supply device that supplies at least one of halogen gas and halide gas; (c) heating the silicon carbide powder to a temperature of 1000° C. or higher; 1. A graphite powder manufacturing device comprising: a heating device for decomposing graphite powder to generate graphite powder.
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JP2020055727A (en) * 2018-06-29 2020-04-09 ジカンテクノ株式会社 Graphene, and apparatus and method for producing graphene
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