JPH01120505A - Beam converter - Google Patents

Beam converter

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JPH01120505A
JPH01120505A JP62279964A JP27996487A JPH01120505A JP H01120505 A JPH01120505 A JP H01120505A JP 62279964 A JP62279964 A JP 62279964A JP 27996487 A JP27996487 A JP 27996487A JP H01120505 A JPH01120505 A JP H01120505A
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JP
Japan
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prism
incident
laser light
angle
light
Prior art date
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Pending
Application number
JP62279964A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kaoru Yasukawa
薫 安川
Osamu Ueno
修 上野
Hironori Goto
後藤 広則
Hiroyuki Hotta
宏之 堀田
Nobuo Nishimura
伸郎 西村
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Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To exactly adjust the axis of the incident luminous flux on an objective lens by providing a prism which has an incident face to refract the incident laser light thereon, a reflection face to reflect the laser light after the refraction and an exit face to refract and emit said laser light and converts the light intensity distribution at the section of the laser light to the title converter. CONSTITUTION:The triangular prism 11 having a refractive index (n) has the prism face 11a to refract the incident laser light (a) thereon, the prism face 11b to refract the laser light (b) after the refraction and the prism face 11c to refract the laser light (c) after the reflection and to emit the same as the laser light (d). The angle between the prism faces 11a and 11c is designated as alpha and the angle between the prism faces 11a and 11b is designated as beta. Then, the laser light (a) enters the point A on the prism face 11a at the incident angle theta1i and the laser light (b) refracted at the refraction angle theta1r enters the point B on the prism face 11b at the incident angle theta2. The laser light (c) reflected at the reflection angle theta2 enters the point C on the prism face 11c at the incident angle theta3. This light is refracted as the emission light of the exit angle theta3i.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ディスク等の光学的情報記録再生装置に使
用されるビーム変換装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a beam conversion device used in an optical information recording/reproducing device such as an optical disk.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光ディスク等の光学的情報記録再生装置においては、そ
の情報記録媒体に光学的情報としてビット状の凹凸或い
は濃淡を設け、これらのビットにレーザ光を照射し、そ
の反射光の強度変化から光学的情報の読み取りを行なっ
ている。
In an optical information recording/reproducing device such as an optical disk, the information recording medium is provided with bit-like unevenness or shading as optical information, these bits are irradiated with laser light, and the optical information is determined from changes in the intensity of the reflected light. is being read.

−船釣な光学的情報記録再生装置の構造を第4図に示す
- Fig. 4 shows the structure of an optical information recording/reproducing device for use on a boat.

図において、半導体レーザ1を出た発散光は、コリメー
トレンズ2で平行光に変換され、このコリメートレンズ
2を出た光は、偏光ビームスプリッタ3及び174波長
板4を通過した後に対物レンズ5により光デイスク6上
に微小なスポットとして収束される。この光デイスク6
上で反射した光は、174波長板4及び偏光ビームスプ
リッタ3により分離され、光検出器7上に収束され、情
報信号として使用される。
In the figure, divergent light emitted from a semiconductor laser 1 is converted into parallel light by a collimating lens 2, and the light emitted from this collimating lens 2 passes through a polarizing beam splitter 3 and a 174-wave plate 4, and then is passed through an objective lens 5. The light is focused on the optical disk 6 as a minute spot. This optical disk 6
The light reflected above is separated by a 174-wave plate 4 and a polarizing beam splitter 3, focused on a photodetector 7, and used as an information signal.

上述の光学的情報記録再生装置における読み取りの光源
には、一般にダブル・ヘテロ接合レーザ等の半導体レー
ザが使用されているが、第5図に示すように、この半導
体レーザ1は、通常そのファーフィールドパターン、す
なわち、ビーム断面の光強度分布8が楕円形であるため
、コリメートレンズ2で平行光に変換された後も、その
ビーム断面の光強度分布8は楕円形を維持し、そのため
、対物レンズ5の収束スポットの光強度分布8も真円形
にならず、正確に情報を記録再生できないという欠点が
あった。
A semiconductor laser such as a double heterojunction laser is generally used as a reading light source in the above-mentioned optical information recording/reproducing device.As shown in FIG. Since the pattern, that is, the light intensity distribution 8 of the beam cross section is elliptical, even after the beam is converted into parallel light by the collimating lens 2, the light intensity distribution 8 of the beam cross section maintains an elliptical shape. The light intensity distribution 8 of the convergence spot 5 is not perfectly circular, and there is a drawback that information cannot be recorded and reproduced accurately.

従来、この問題を解決するために、第6図に示されるよ
うに1個の三角プリズム9の一面を入射面とし他面を出
射面として使用したビーム変換装置が提案されている。
Conventionally, in order to solve this problem, a beam conversion device has been proposed in which one surface of a triangular prism 9 is used as an entrance surface and the other surface is used as an exit surface, as shown in FIG.

このビーム変換装置によれば、レーザ光に対して紙面に
平行な面内のみの倍率を与えることができるので、ビー
ム断面の光強度分布8を楕円形から真円に変換すること
ができる。このプリズムを1個使う光学系では、光強度
分布の変換は可能であるが、光軸が折れ曲がり、入射軸
と出射軸が一致しない。しかし、ビーム変換装置を光学
的情報記録再生装置の光ヘッド等に使用する場合には、
光軸の方向が一致していないと、光学系の設計が困難と
なったり部品の配置の制限が多くなり不都合である。
According to this beam conversion device, it is possible to give a magnification to the laser beam only in a plane parallel to the plane of the paper, so that the light intensity distribution 8 in the beam cross section can be converted from an elliptical shape to a perfect circle. In an optical system using one prism, the light intensity distribution can be converted, but the optical axis is bent and the incident axis and the output axis do not coincide. However, when using the beam converter in an optical head of an optical information recording/reproducing device,
If the directions of the optical axes do not match, it becomes difficult to design the optical system and there are many restrictions on the arrangement of parts, which is inconvenient.

そこで、第7図に示されるように、2個の三角プリズム
9a、 9bを逆向きに配置し、各三角プリズム9a、
 9bにより光路を互いに反対側に折り曲げるようにし
たビーム変換装置も提案されている。このビーム変換装
置によれば、光路が二回折り曲げられるため入射軸と出
射軸は平行になる。但し、入射軸と出射軸は一致しない
Therefore, as shown in FIG. 7, two triangular prisms 9a, 9b are arranged in opposite directions, and each triangular prism 9a,
A beam conversion device has also been proposed in which the optical paths are bent to opposite sides by the beam converter 9b. According to this beam conversion device, since the optical path is bent twice, the incident axis and the output axis become parallel. However, the incident axis and the output axis do not coincide.

更に、第8図に示されるように、2個のシリンドリカル
レンズ10a、 10bを直交して配置し、各シリンド
リカルレンズlQa、 10bの倍率を変えることによ
りビーム断面の光強度分布8を任意に制御できるように
したビーム変換装置も提案されている。
Furthermore, as shown in FIG. 8, by arranging two cylindrical lenses 10a and 10b orthogonally and changing the magnification of each cylindrical lens lQa and 10b, the light intensity distribution 8 in the beam cross section can be arbitrarily controlled. A beam conversion device has also been proposed.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

第7図のプリズムを2個使う光学系では光軸は平行とな
るが、依然、入射軸と出射軸は一致しない。また、第7
図に示す例では、プリズムが2個必要となるため、装置
が大型化し重量も重くなる。
In the optical system using two prisms as shown in FIG. 7, the optical axes are parallel, but the incident axis and the output axis still do not coincide. Also, the seventh
In the example shown in the figure, two prisms are required, which increases the size and weight of the device.

このため、光学的情報記録再生装置の光ヘッド等に適用
することが困難であった。
For this reason, it has been difficult to apply it to optical heads of optical information recording and reproducing devices.

このような、光ヘッド等に使用する場合、光軸が折れ曲
がったり、ずれたりしない第8図の光学系が最も適して
いるが、このようにシリンドリカルレンズ10a、 1
0bを2枚用いた光学系では、光学的情報記録再生用の
スポットを小さく収束させるために、波面収差を小さく
しなければならず、この収差を押さえるための調整が非
常に厳しくなるという不都合が生じる。これは、シリン
ドリカルレンズを使用した場合、光軸とレンズの中心ず
れやレンズの傾きによる影響が、球面レンズに比べて大
きいためである。
When used in such an optical head, etc., the optical system shown in FIG. 8, in which the optical axis does not bend or shift, is most suitable.
In an optical system using two 0b lenses, wavefront aberration must be reduced in order to converge a small spot for recording and reproducing optical information, and the disadvantage is that adjustments to suppress this aberration are extremely difficult. arise. This is because when a cylindrical lens is used, the influence of misalignment between the optical axis and the lens and the tilt of the lens is greater than that of a spherical lens.

また、調整が容易な第6図、第7図に示されるビーム変
換装置では、上述のように光軸が折れ曲がったり、ずれ
たりして光ヘッド等には適さない。
Furthermore, the beam converting device shown in FIGS. 6 and 7, which is easy to adjust, is not suitable for an optical head or the like because the optical axis is bent or shifted as described above.

本発明は、上述の問題点を解決するために案出されたも
のであって、プリズムでの屈折と反射を利用することに
より、調整が容易で、しかも光軸の折れ曲がりやずれを
生じないビーム変換装置を提供することを目的とする。
The present invention was devised to solve the above-mentioned problems, and by utilizing refraction and reflection in a prism, it is possible to easily adjust the beam without causing bending or deviation of the optical axis. The purpose is to provide a conversion device.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明のビーム変換装置は、その目的を達成するために
、レーザ光が入射して屈折する入射面と、屈折後のレー
ザ光を反射する反射面と、反射後のレーザ光を屈折して
出射する出射面とを有し、前記レーザ光の断面の光強度
分布を変換するプリズムを備えたことを特徴とする。
In order to achieve the purpose, the beam conversion device of the present invention has an entrance surface on which the laser beam is incident and refracted, a reflective surface that reflects the refracted laser beam, and a beam conversion device that refracts the reflected laser beam and emits it. The present invention is characterized in that it has a prism that has an output surface that converts the cross-sectional light intensity distribution of the laser beam.

〔作用〕[Effect]

本発明においては、プリズムに入射したビーム光は、プ
リズムの入射面で屈折した後、プリズム内の反射面で反
射され、最後に出射面から屈折して出射する。このとき
、プリズムの屈折率、レーデ光の入射点、入射角1反射
点、出射点、出射角。
In the present invention, a beam of light incident on a prism is refracted by an entrance surface of the prism, reflected by a reflection surface within the prism, and finally refracted and output from an output surface. At this time, the refractive index of the prism, the incident point of Radhe light, the incident angle, the reflection point, the exit point, and the exit angle.

入射面と出射面とのなす角、入射面と反射面とのなす角
を一定の条件を満たすように設定することにより、入射
光と反射光の光軸が一致したものとなる。また、反射面
としては、プリズム内の全反射を使用すれば、光量の損
失を防止することもできる。
By setting the angle between the entrance surface and the exit surface and the angle between the entrance surface and the reflection surface so as to satisfy certain conditions, the optical axes of the incident light and the reflected light are made to coincide. Further, if total reflection within a prism is used as the reflective surface, loss of light amount can be prevented.

〔実施例〕〔Example〕

以下、図面を参照しながら実施例に基づいて本発明の特
徴を具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Hereinafter, features of the present invention will be specifically described based on examples with reference to the drawings.

第1図は、本発明実施例のビーム変換装置の構成図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram of a beam conversion device according to an embodiment of the present invention.

図において、11は屈折率nの三角プリズムを示してお
り、このプリズム11は、レーザ光aが入射して屈折す
るプリズム面11a、屈折後のレーザ光すを反射するプ
リズム面11b及び反射後のレーザ光Cを屈折してレー
ザ光dとして出射するプリズム面11Cを備えている。
In the figure, 11 indicates a triangular prism with a refractive index n, and this prism 11 includes a prism surface 11a on which the laser beam a is incident and refracted, a prism surface 11b on which the refracted laser beam is reflected, and a prism surface 11b on which the laser beam after reflection is reflected. It is provided with a prism surface 11C that refracts the laser beam C and emits it as a laser beam d.

プリズム11において、プリズム面11aとllcのな
す角をα、プリズム面11aとllbのなす角をβとす
れば、入射光となるレーザ光aはプリズム面11a上の
点Aに入射角θ目で入射し、屈折角θl、で屈折したレ
ーザ光すはプリズム面1111上の点已に入射角θ2で
入射し、反射角θ2で反射したレーザ光Cはプリズム面
11c上の点Cに入射角θ5.で入射して屈折し、レー
ザ光dは出射角θ31の出射光となる。
In the prism 11, if the angle between the prism surfaces 11a and llc is α, and the angle between the prism surfaces 11a and llb is β, then the laser beam a, which is the incident light, hits the point A on the prism surface 11a at an angle of incidence θ. The laser beam C that is incident and refracted at a refraction angle θl is incident at a point on the prism surface 1111 at an incident angle θ2, and the laser beam C reflected at a reflection angle θ2 is incident at a point C on the prism surface 11c at an incident angle θ5. .. The laser beam d is incident and refracted, and the laser beam d becomes an output beam with an output angle θ31.

次に、入射光と出射光とが平行になる条件を第1図を参
照して説明する。
Next, the conditions under which the incident light and the outgoing light become parallel will be explained with reference to FIG.

図において、スネルの法則より(nは屈折率)sin 
 θ++=nS!nθ+r””(1)sin  θ3□
=nsln03r・・・(2)故に、 θ+r =sin−’  (sin   θ、、/n)
   ・・−(3)θ3r =sin−’ (sin 
 θ3./n)・・・(4)また、 θ2=β+θ1r        ・・・〔5)π−(
α+β)=02−03r  ・・・(6)であるから式
(5)と(6)よりθ2を消去してα+2β+(θ1r
−θ3.)=π・・・(7)ところで θ31=α−θ、1       ・・・(8)である
から、式(7)へ式(3)、 (41,(8)を代入す
るととなる。
In the figure, from Snell's law (n is the refractive index) sin
θ++=nS! nθ+r””(1) sin θ3□
=nsln03r...(2) Therefore, θ+r =sin-' (sin θ,,/n)
...-(3) θ3r = sin-' (sin
θ3. /n)...(4) Also, θ2=β+θ1r...[5)π-(
α+β)=02-03r...(6) Therefore, from equations (5) and (6), θ2 is eliminated and α+2β+(θ1r
−θ3. )=π...(7) By the way, since θ31=α−θ, 1 (8), substituting equations (3) and (41, (8) into equation (7) yields.

すなわち、第1図のプリズム11において、パラメータ
α、β、nと入射光の入射角θ、Iを与えたとき、この
式(9)を満たすことが、入射光と出射光が平行になる
条件である。
That is, in the prism 11 of FIG. 1, when the parameters α, β, and n and the incident angles θ and I of the incident light are given, satisfying this equation (9) is the condition for the incident light and the output light to be parallel. It is.

次に、入射光と出射光の光軸が一致するための条件を求
める。
Next, conditions for the optical axes of the incident light and the outgoing light to coincide are determined.

点A、Cの座標をそれぞれ、A (0,0>、 C(L
、0)とし、点Bの座標(xo、ya)を求める。
Let the coordinates of points A and C be A (0, 0>, C (L
, 0) and find the coordinates (xo, ya) of point B.

レーザ光すとCの方程式は、それぞれ y=tan(θ1.−θIr)X       ・・・
α1y =−tan(θ31−θ3r)(X−L)・・
・ODであり、これより点B(Xo、yo)は・・・α
の 但し、 θ3I:α−θ目 となり、この点B (xo、yo)  がプリズム面1
1b上に存在することが、入射光と出射光の光軸が一致
して、ずれないための条件である。
The equation of laser beam C is y=tan(θ1.-θIr)X...
α1y =-tan(θ31-θ3r)(XL)...
・OD, and from this point B (Xo, yo) is...α
However, θ3I: α-θth point, and this point B (xo, yo) is the prism surface 1
1b is a condition for the optical axes of the incident light and the outgoing light to coincide and not deviate.

また、第2図に示されるように、プリズム面11aに入
射した幅がWI のビーム光Pは、プリズム11により
幅方向に拡大され、プリズム面11Cから出射するビー
ム光Pの幅はW2 となる。
Further, as shown in FIG. 2, the light beam P having a width of WI which is incident on the prism surface 11a is expanded in the width direction by the prism 11, and the width of the light beam P emitted from the prism surface 11C becomes W2. .

このときのビーム変換の倍率は、次のようになる。The beam conversion magnification at this time is as follows.

COSθ、、’cosθ31 CO2O3,・CO5θ目 ・ ・ ・Oつ 次に、第1図における実施例を示す。COSθ,,’cosθ31 CO2O3, CO5θth ・ ・ ・Otsu Next, the embodiment shown in FIG. 1 will be shown.

図において、プリズム11の屈折率n=1.5.プリズ
ム面11aとllcのなす角α=105°、同11a 
六llbのなす角β=27.2°、レーザ光aがプリズ
ム面11a上の点Aにθ、1=75°で入射したとすれ
ば、θ、r=40.1”で屈折した後、プリズム面11
b上の点Bにθ、 =67.3’で入射し、ここで反射
した後、プリズム面11c上の点Cに、θ、、=19.
5°で入射し、θ3+=30°でレーザ光dは、入射光
と平行な出射光となり出射していく。
In the figure, the refractive index n of the prism 11 is 1.5. Angle α between prism surface 11a and llc = 105°, llc 11a
If the angle β formed by the 6llb is 27.2° and the laser beam a is incident on the point A on the prism surface 11a at θ, 1 = 75°, then after being refracted at θ, r = 40.1”, Prism surface 11
It is incident on point B on b at θ, = 67.3', and after being reflected there, it is incident on point C on prism surface 11c with θ, , = 19.
The laser beam d enters at an angle of 5°, and at θ3+=30°, the laser beam d becomes an emitted light parallel to the incident light and exits.

ここで、 5irr’(1/n)   −5in−’(1/1.5
)=41.8° <67.3゜であるので、プリズム面
11a上の点Bでは全反射をする。
Here, 5irr'(1/n) -5in-'(1/1.5
)=41.8°<67.3°, total reflection occurs at point B on the prism surface 11a.

また、点へと点Cとの距離りを86.2(相対値)とす
ると、式(2)より、点Bと直線ACまでの距離は12
.6となる。
Also, if the distance between point C and point C is 86.2 (relative value), then from equation (2), the distance between point B and straight line AC is 12
.. It becomes 6.

この実施例では一方向のみビームを拡大するが、その倍
率は式[F]より2.72倍であり、また光の逆行の原
理より、光路を逆にとればその倍率は0.393倍であ
る。
In this example, the beam is expanded in only one direction, but the magnification is 2.72 times according to formula [F], and according to the principle of retrograde light, if the optical path is reversed, the magnification is 0.393 times. be.

すなわち、上記のように、本実施例にふいては一方向の
みビームを拡大、縮小してビーム形状を円形に変換でき
るので、光ヘッドのみならず、レーザビームプリンタ、
スキャナ等のビーム変換装置にも用いることができる。
That is, as mentioned above, in this embodiment, the beam can be expanded or contracted in only one direction to convert the beam shape into a circular shape, so it can be used not only for optical heads but also for laser beam printers,
It can also be used in beam conversion devices such as scanners.

また、反射面を二つ以上持たせることによって、ビーム
変換装置の性能を大幅に向上させることもできる。
Further, by providing two or more reflecting surfaces, the performance of the beam conversion device can be greatly improved.

第3図は反射を二回利用した六角プリズムの一例であり
、コリメートレンズ2(第4図参照)で平行光に変換さ
れたレーザ光eは、プリズム12上の点りで入射した後
、点E、Fで反射し、点Gでレーザ光fは入射光と光軸
が一致する出射光となり出射していく。
FIG. 3 shows an example of a hexagonal prism that uses reflection twice, and the laser beam e converted into parallel light by the collimating lens 2 (see FIG. It is reflected at points E and F, and at point G, the laser beam f becomes an outgoing beam whose optical axis coincides with that of the incident beam.

このように、反射面を二つ以上とした場合、設計の自由
度が高くなるため、拡大、縮小の倍率を大きくとること
ができる。
In this way, when there are two or more reflective surfaces, the degree of freedom in design increases, so that the magnification of enlargement and reduction can be increased.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上に説明したように、本発明においては、1個のプリ
ズムによりビーム光の屈折及び反射を行わせている。そ
して、このプリズムにおける光学条件を所定のものとす
ることにより、入射光と平行でかつ、軸ずれのない出射
光を簡単な構成で得ることができる。したがって、本発
明のビーム変換装置を使用して光学的情報記録再生用の
スポットを小さく収束させるための波面収差を小さ(す
る調整を行うとき、対物レンズに入射する光束の軸の調
整を正確且つ容易に行うことができる。しかも、プリズ
ムは1個のみであるので、小型軽量化、低コスト化も実
現できる。
As explained above, in the present invention, a beam of light is refracted and reflected by one prism. By setting the optical conditions of this prism to predetermined values, it is possible to obtain output light that is parallel to the incident light and without axis deviation with a simple configuration. Therefore, when performing adjustment to reduce wavefront aberration in order to converge a small spot for optical information recording and reproduction using the beam conversion device of the present invention, the axis of the light beam incident on the objective lens can be adjusted accurately and This can be done easily.Moreover, since only one prism is required, it is possible to achieve reductions in size, weight, and cost.

また、プリズムにおける反射として全反射を利用すれば
、別途反射膜等を形成することなく能率よく光を反射さ
せることができる。
Furthermore, if total reflection is used as reflection in the prism, light can be reflected efficiently without forming a separate reflective film or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

軍1図は本発明実施例のビーム変換装置を示す図であり
、第2図はビーム変換の状態を示す説明図、第3図は本
発明の他の実施例である反射を二回利用したビーム変換
装置を示す図、第4図は一般的な光学的情報記録再生装
置の構成図、第5図は半導体レーザのファーフィールド
パターンを示す図、第6図から第8図までは従来のビー
ム変換装置の構成図である。 ■=半導体レーザ     2;コリメートレンズ3:
偏光ビームスプリッタ 4:l/4波長板5:対物レン
ズ      6二光ディスク7:光検出器     
  8:光強度分布9、9a、 9b、 11.12 
ニブリズムlQa、 101] ’シリンドリカルレン
ズa−f:レーザ光 特許出願人    富士ゼロックス株式会社代  理 
 人      小  堀   益 (ほか2名)第1
図 第3図 N4図 第 5 図 第 6 図
Fig. 1 is a diagram showing a beam conversion device according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram showing the state of beam conversion, and Fig. 3 is another embodiment of the present invention, which uses reflection twice. A diagram showing a beam conversion device, FIG. 4 is a configuration diagram of a general optical information recording/reproducing device, FIG. 5 is a diagram showing a far field pattern of a semiconductor laser, and FIGS. 6 to 8 are diagrams showing conventional beams. FIG. 2 is a configuration diagram of a conversion device. ■ = Semiconductor laser 2; Collimating lens 3:
Polarizing beam splitter 4: l/4 wavelength plate 5: Objective lens 6 Two optical discs 7: Photodetector
8: Light intensity distribution 9, 9a, 9b, 11.12
Niblism lQa, 101] 'Cylindrical lens a-f: Laser light patent applicant Fuji Xerox Co., Ltd. Agent
Person Masu Kobori (and 2 others) 1st
Figure 3 Figure N4 Figure 5 Figure 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、レーザ光が入射して屈折する入射面と、屈折後のレ
ーザ光を反射する反射面と、反射後のレーザ光を屈折し
て出射する出射面とを有し、前記レーザ光の断面の光強
度分布を変換するプリズムを備えたことを特徴とするビ
ーム変換装置。 2、前記プリズムが三角プリズムであり、次式を満足す
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のビー
ム変換装置。 ▲数式、化学式、表等があります▼ 但し、 θ_1_i:入射角 θ_3_i:出射角 n:プリズムの屈折率 ▲数式、化学式、表等があります▼ α:入射面と出射面とのなす角 β:入射面と反射面とのなす角 x_0:反射点のx成分 y_0:反射点のy成分 3、前記プリズムにおける反射として、全反射を利用し
たことを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項に
記載のビーム変換装置。
[Claims] 1. It has an entrance surface on which the laser beam is incident and refracted, a reflection surface that reflects the refracted laser beam, and an exit surface that refracts and emits the reflected laser beam, A beam conversion device comprising a prism that converts a light intensity distribution in a cross section of the laser beam. 2. The beam conversion device according to claim 1, wherein the prism is a triangular prism and satisfies the following formula. ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ However, θ_1_i: Incident angle θ_3_i: Output angle n: Refractive index of the prism ▲ Numerical formulas, chemical formulas, tables, etc. are available ▼ α: Angle between the incident surface and the exit surface β: Incident Angle x_0 between the surface and the reflecting surface: x component of the reflection point y_0: y component of the reflection point 3, total reflection is used as the reflection in the prism, claim 1 or 2. Beam converting device as described in section.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5324012A (en) * 1991-07-16 1994-06-28 Nikon Corporation Holding apparatus for holding an article such as a semiconductor wafer

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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