JP7495310B2 - Vapor Chamber - Google Patents

Vapor Chamber Download PDF

Info

Publication number
JP7495310B2
JP7495310B2 JP2020155972A JP2020155972A JP7495310B2 JP 7495310 B2 JP7495310 B2 JP 7495310B2 JP 2020155972 A JP2020155972 A JP 2020155972A JP 2020155972 A JP2020155972 A JP 2020155972A JP 7495310 B2 JP7495310 B2 JP 7495310B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor chamber
wick structure
metal plate
wick
working fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020155972A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2022049768A (en
Inventor
早紀 ▲高▼田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP2020155972A priority Critical patent/JP7495310B2/en
Publication of JP2022049768A publication Critical patent/JP2022049768A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7495310B2 publication Critical patent/JP7495310B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

本開示は、ベーパーチャンバに関する。 This disclosure relates to a vapor chamber.

ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話などの電気・電子機器に搭載されている半導体素子などの電子部品では、高機能化に伴う高密度搭載などにより、発熱量が増大する傾向にある。そのため、電子部品には、効率よく冷却可能な構成を採用することが求められている。近年では、ベーパーチャンバで電子部品を冷却する構成が採用されている。 The amount of heat generated by electronic components such as semiconductor elements mounted in electrical and electronic devices such as laptops, digital cameras, and mobile phones tends to increase due to factors such as high density mounting that accompanies high functionality. For this reason, there is a demand for electronic components to be configured to be cooled efficiently. In recent years, configurations that use vapor chambers to cool electronic components have been adopted.

例えば、特許文献1には、ウィックを密閉容器の内部に備え、凝縮部側のウィックに比べて、蒸発部側のウィックが大きい毛細管圧力を有し、蒸発部側のウィックに比べて、凝縮部側のウィックが小さい作動流体の流動抵抗を有するベーパーチャンバが記載されている。また、特許文献1には、凝縮部側のウィックおよび蒸発部側のウィックが多孔質焼結体で構成されることが記載されている。 For example, Patent Document 1 describes a vapor chamber in which a wick is provided inside a sealed container, and the wick on the evaporator side has a larger capillary pressure than the wick on the condenser side, and the wick on the condenser side has a smaller flow resistance of the working fluid than the wick on the evaporator side. Patent Document 1 also describes that the wick on the condenser side and the wick on the evaporator side are made of a porous sintered body.

特許第4354270号Patent No. 4354270

しかしながら、特許文献1のベーパーチャンバでは、ベーパーチャンバの熱輸送特性に影響を及ぼすウィックが焼結体で構成されているため、ウィックの機械的強度は弱い傾向にあり、ウィックは振動などの衝撃で破壊される可能性がある。ベーパーチャンバの内部空間の厚さよりも大きい厚さの焼結体を設置した後に密閉容器を組み立てる場合、密閉容器の組み立て時に、焼結体が容器と衝突して破壊されることがある。焼結体であるウィックが破壊されると、ウィックと密閉容器との間に隙間が生じるため、ベーパーチャンバの熱輸送特性が低下する。また、焼結体の前駆体を密閉容器内に設置した後に、前駆体を備えるベーパーチャンバを熱処理する場合、熱処理で形成される焼結体は前駆体に比べて小さくなり、焼結体と密閉容器との間に隙間が生じることがある。この場合も同様に、ベーパーチャンバの熱輸送特性が低下する。このように、ウィックが破壊されやすく、さらには、ベーパーチャンバの製造時にウィックとベーパーチャンバの内部空間とのサイズ調整が困難であるため、ベーパーチャンバの熱輸送特性は低下しやすい。 However, in the vapor chamber of Patent Document 1, the wick, which affects the heat transport properties of the vapor chamber, is made of a sintered body, so the mechanical strength of the wick tends to be weak, and the wick may be destroyed by impact such as vibration. When assembling an airtight container after installing a sintered body with a thickness greater than the thickness of the internal space of the vapor chamber, the sintered body may collide with the container and be destroyed during assembly of the airtight container. When the wick, which is a sintered body, is destroyed, a gap is generated between the wick and the airtight container, and the heat transport properties of the vapor chamber are reduced. In addition, when a vapor chamber including a precursor of the sintered body is heat-treated after installing a precursor of the sintered body in a closed container, the sintered body formed by the heat treatment becomes smaller than the precursor, and a gap may be generated between the sintered body and the airtight container. In this case as well, the heat transport properties of the vapor chamber are reduced. In this way, the wick is easily destroyed, and further, since it is difficult to adjust the size between the wick and the internal space of the vapor chamber during manufacturing the vapor chamber, the heat transport properties of the vapor chamber are easily reduced.

本開示の目的は、破壊されにくいウィック構造体を備え、優れた熱輸送特性を有し、容易に製造できるベーパーチャンバを提供することである。 The objective of this disclosure is to provide a vapor chamber that has a wick structure that is resistant to destruction, has excellent heat transport properties, and is easy to manufacture.

[1] 第1金属板と第2金属板との間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、前記内部空間に配置され、前記第1金属板と前記第2金属板とに接触し、前記第1金属板と前記第2金属板とが近づく方向への圧縮変位に追随して前記第1金属板と前記第2金属板とが離れる方向に伸長変位するウィック構造体を備えることを特徴とするベーパーチャンバ。
[2] 前記ウィック構造体は、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成される、上記[1]に記載のベーパーチャンバ。
[3] 前記ウィック構造体は、銅系材料の丸編組線から構成される、上記[1]または[2]に記載のベーパーチャンバ。
[4] 前記ウィック構造体は、前記ベーパーチャンバの厚さ方向に沿って重なり合う複数の第1ウィック構造部を有し、前記第1ウィック構造部は、前記第1金属板と前記第2金属板とが近づく方向への圧縮変位に追随して前記第1金属板と前記第2金属板とが離れる方向に伸長変位する、上記[1]に記載のベーパーチャンバ。
[5] 前記ウィック構造体は、前記ベーパーチャンバの厚さ方向に沿って重なり合う1つ以上の第1ウィック構造部と1つ以上の第2ウィック構造部とを有し、前記第1ウィック構造部は、前記第1金属板と前記第2金属板とが近づく方向への圧縮変位に追随して前記第1金属板と前記第2金属板とが離れる方向に伸長変位する、上記[1]に記載のベーパーチャンバ。
[6] 前記第2ウィック構造部は、焼結体、メッシュシートおよび繊維シートよりなる群から選択される少なくとも1種から構成される、上記[5]に記載のベーパーチャンバ。
[7] 前記第1ウィック構造部は、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成される、上記[4]~[6]のいずれか1つに記載のベーパーチャンバ。
[8] 前記第1ウィック構造部は、銅系材料の丸編組線から構成される、上記[4]~[7]のいずれか1つに記載のベーパーチャンバ。
[9] 前記第1金属板および前記第2金属板は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金およびステンレス鋼よりなる群から選択されるいずれかから構成される、上記[1]~[8]のいずれか1つに記載のベーパーチャンバ。
[10] 前記作動流体はシス-1-クロロ-3,3,3-トリフルオロプロペンである、上記[1]~[9]のいずれか1つに記載のベーパーチャンバ。
[1] A vapor chamber having a working fluid in an internal space formed between a first metal plate and a second metal plate, characterized in that the vapor chamber further comprises a wick structure that is disposed in the internal space, is in contact with the first metal plate and the second metal plate, and expands and displaces in a direction in which the first metal plate and the second metal plate move away from each other in response to a compressive displacement in a direction in which the first metal plate and the second metal plate move closer to each other.
[2] The vapor chamber described in [1] above, wherein the wick structure is composed of at least one material selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge.
[3] The vapor chamber according to [1] or [2] above, wherein the wick structure is made of a circular braided wire of a copper-based material.
[4] The vapor chamber described in [1] above, wherein the wick structure has a plurality of first wick structure parts overlapping along the thickness direction of the vapor chamber, and the first wick structure parts expand and displace in a direction in which the first metal plate and the second metal plate move away from each other in response to a compressive displacement in a direction in which the first metal plate and the second metal plate move closer to each other.
[5] The vapor chamber described in [1] above, wherein the wick structure has one or more first wick structure parts and one or more second wick structure parts that overlap along the thickness direction of the vapor chamber, and the first wick structure parts expand and displace in a direction in which the first metal plate and the second metal plate move away from each other in response to a compressive displacement in a direction in which the first metal plate and the second metal plate move closer to each other.
[6] The vapor chamber described in [5] above, wherein the second wick structure portion is composed of at least one selected from the group consisting of a sintered body, a mesh sheet, and a fiber sheet.
[7] The vapor chamber according to any one of [4] to [6] above, wherein the first wick structure is composed of at least one material selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge.
[8] The vapor chamber according to any one of [4] to [7] above, wherein the first wick structure is made of a circular braided wire made of a copper-based material.
[9] The vapor chamber according to any one of [1] to [8] above, wherein the first metal plate and the second metal plate are made of any one selected from the group consisting of aluminum, an aluminum alloy, copper, a copper alloy, and stainless steel.
[10] The vapor chamber according to any one of [1] to [9] above, wherein the working fluid is cis-1-chloro-3,3,3-trifluoropropene.

本開示によれば、破壊されにくいウィック構造体を備え、優れた熱輸送特性を有し、容易に製造できるベーパーチャンバを提供することができる。 The present disclosure provides a vapor chamber that has a wick structure that is resistant to destruction, has excellent heat transport properties, and is easy to manufacture.

図1は、第1実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a vapor chamber of the first embodiment. 図2は、図1のA面の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of surface A of FIG. 図3は、図2のベーパーチャンバを製造する前の構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the vapor chamber of FIG. 2 before it is manufactured. 図4は、第1実施形態のベーパーチャンバの他の例を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing another example of the vapor chamber of the first embodiment. 図5は、図4のB面の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of surface B of FIG. 図6は、第2実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an example of a vapor chamber according to the second embodiment. 図7は、図6のC面の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of surface C of FIG. 図8は、図7のベーパーチャンバを製造する前の構成を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing the configuration before the vapor chamber of FIG. 7 is manufactured. 図9は、第2実施形態のベーパーチャンバの他の例を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing another example of the vapor chamber of the second embodiment.

以下、実施形態に基づき詳細に説明する。 The following provides a detailed explanation based on the embodiment.

本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、ベーパーチャンバの熱輸送特性に影響を及ぼすウィック構造体の構成に着目することによって、変形追随性を有して破壊されにくいウィック構造体を採用し、ベーパーチャンバに対する熱輸送特性の向上および製造の容易化を図った。 After extensive research, the inventors focused on the configuration of the wick structure, which affects the heat transport properties of the vapor chamber, and adopted a wick structure that is compliant with deformation and less likely to break, thereby improving the heat transport properties of the vapor chamber and making it easier to manufacture.

実施形態のベーパーチャンバ1、2は、第1金属板10と第2金属板20との間に形成される内部空間Sに作動流体を有するベーパーチャンバであって、内部空間Sに配置され、第1金属板10と第2金属板20とに接触し、第1金属板10と第2金属板20とが近づく方向への圧縮変位に追随して第1金属板10と第2金属板20とが離れる方向に伸長変位するウィック構造体30、30aを備える。 The vapor chambers 1 and 2 of the embodiment are vapor chambers having a working fluid in an internal space S formed between a first metal plate 10 and a second metal plate 20, and are equipped with wick structures 30 and 30a that are disposed in the internal space S, are in contact with the first metal plate 10 and the second metal plate 20, and expand and displace in a direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move away from each other in response to a compressive displacement in a direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move closer to each other.

(第1実施形態)
図1は、第1実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。図2は、図1のA面の断面図である。図3は、図2のベーパーチャンバを製造する前の構成を示す断面図である。なお、図1では、便宜上、ベーパーチャンバの内部構造がわかるように部分的に透過した状態を示している。また、液相の作動流体F(L)が流れる方向を黒塗り矢印で示し、気相の作動流体F(g)が流れる方向を白抜き矢印で示している。
First Embodiment
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a vapor chamber of the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of surface A of FIG. 1. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration before the vapor chamber of FIG. 2 is manufactured. For convenience, FIG. 1 shows a partially transparent state so that the internal structure of the vapor chamber can be seen. In addition, the direction in which the liquid phase working fluid F (L) flows is indicated by a solid arrow, and the direction in which the gas phase working fluid F (g) flows is indicated by a hollow arrow.

図1~2に示すように、第1実施形態のベーパーチャンバ1は、第1金属板10および第2金属板20を有する。第1金属板10および第2金属板20が対向するように、第1金属板10および第2金属板20が接合される。また、ベーパーチャンバ1は、第1金属板10および第2金属板20の間に形成される内部空間Sに作動流体を有する。内部空間Sは、第1金属板10および第2金属板20の接合によって密閉されている。ベーパーチャンバ1の内部に設けられる内部空間Sには、作動流体が封入されている。 As shown in Figures 1 and 2, the vapor chamber 1 of the first embodiment has a first metal plate 10 and a second metal plate 20. The first metal plate 10 and the second metal plate 20 are joined so that they face each other. The vapor chamber 1 also has a working fluid in an internal space S formed between the first metal plate 10 and the second metal plate 20. The internal space S is sealed by joining the first metal plate 10 and the second metal plate 20. The internal space S provided inside the vapor chamber 1 is filled with a working fluid.

ベーパーチャンバ1を構成する第1金属板10は、第1板部11および第1周縁壁部12を有する。第1金属板10の第1周縁壁部12は、第1板部11の周縁から第2金属板20に向かって延在している。例えば、第1周縁壁部12は、第1板部11の周縁全体に亘って設けられる。 The first metal plate 10 constituting the vapor chamber 1 has a first plate portion 11 and a first peripheral wall portion 12. The first peripheral wall portion 12 of the first metal plate 10 extends from the periphery of the first plate portion 11 toward the second metal plate 20. For example, the first peripheral wall portion 12 is provided around the entire periphery of the first plate portion 11.

ベーパーチャンバ1を構成する第2金属板20は、第1金属板10の第1板部11と対向する。すなわち、第2金属板20の内面20aと第1金属板10の第1板部11の内面11aとは互いに対向する。第1金属板10の第1周縁壁部12が第2金属板20の内面20aに接合されることで、ベーパーチャンバ1の内部空間Sが密閉される。 The second metal plate 20 constituting the vapor chamber 1 faces the first plate portion 11 of the first metal plate 10. That is, the inner surface 20a of the second metal plate 20 and the inner surface 11a of the first plate portion 11 of the first metal plate 10 face each other. The first peripheral wall portion 12 of the first metal plate 10 is joined to the inner surface 20a of the second metal plate 20, thereby sealing the internal space S of the vapor chamber 1.

第2金属板20の外面20bには、被冷却部材40および放熱フィン41が設けられる。被冷却部材40は、ベーパーチャンバ1で冷却される部材であり、例えば、IC(集積回路)、ECU(エンジンコントロールユニット)のような発熱体である。 A cooled member 40 and heat dissipation fins 41 are provided on the outer surface 20b of the second metal plate 20. The cooled member 40 is a member that is cooled in the vapor chamber 1, and is, for example, a heat generating body such as an IC (integrated circuit) or an ECU (engine control unit).

ベーパーチャンバ1は、内部空間Sに配置され、第1金属板10と第2金属板20とに接触しているウィック構造体30を備える。ウィック構造体30は、液相の作動流体に対する毛細管現象を発揮し、液相の作動流体に対する吸い上げ機能を有する。ウィック構造体30は、第1板部11の内面11aに接触していると共に、対向する第2金属板20の内面20aに接触している。 The vapor chamber 1 is disposed in the internal space S and includes a wick structure 30 in contact with the first metal plate 10 and the second metal plate 20. The wick structure 30 exerts a capillary effect on the liquid phase working fluid and has a suction function for the liquid phase working fluid. The wick structure 30 is in contact with the inner surface 11a of the first plate portion 11 and is in contact with the inner surface 20a of the opposing second metal plate 20.

ウィック構造体30は、第1金属板10および第2金属板20を直線で結ぶ方向であるベーパーチャンバ1の厚さ方向Lにおいて、第1金属板10と第2金属板20とが近づく方向(以下、圧縮方向ともいう)への圧縮変位に追随して第1金属板10と第2金属板20とが離れる方向(以下、伸長方向ともいう)に伸長変位する。 The wick structure 30 expands and displaces in a direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move away from each other (hereinafter also referred to as the extension direction) following a compressive displacement in a direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move closer to each other (hereinafter also referred to as the compression direction) in the thickness direction L of the vapor chamber 1, which is a direction that connects the first metal plate 10 and the second metal plate 20 in a straight line.

このような変形追随性を有するウィック構造体30は、圧縮方向に沿って生じた所定の圧縮変位に基づく反力を生じる。そして、ウィック構造体30は、反力に基づき、圧縮変位に追随して、伸長方向に伸長変位する。ウィック構造体30が変形追随性を有するため、ウィック構造体30の圧縮変位後の伸長変位は、外部からウィック構造体30への外力を受けずに、自動で行われる。最大圧縮時のウィック構造体30の厚さに比べて、伸長変位後のウィック構造体30の厚さは大きい。 The wick structure 30, which has such deformation-following ability, generates a reaction force based on a predetermined compressive displacement that occurs along the compression direction. Then, based on the reaction force, the wick structure 30 undergoes an elongation displacement in the elongation direction, following the compressive displacement. Because the wick structure 30 has deformation-following ability, the elongation displacement of the wick structure 30 after the compressive displacement occurs automatically without receiving an external force from the outside on the wick structure 30. The thickness of the wick structure 30 after the elongation displacement is greater than the thickness of the wick structure 30 at maximum compression.

上記のようなベーパーチャンバ1の厚さ方向Lに沿った変形追随性を有するウィック構造体30は、ベーパーチャンバ1の製造に対して以下のように作用する。 The wick structure 30, which has the deformation followability along the thickness direction L of the vapor chamber 1 as described above, acts as follows in the manufacture of the vapor chamber 1.

まず、図3に示すように、ベーパーチャンバ1を製造する前の構成では、ウィック構造体30が第1金属板10の第1板部11の内面11aや第2金属板20の内面20aに事前に設置される。第1金属板10および第2金属板20は、互いに接合されずに、対向配置される。 First, as shown in FIG. 3, in the configuration before the vapor chamber 1 is manufactured, the wick structure 30 is installed in advance on the inner surface 11a of the first plate portion 11 of the first metal plate 10 and the inner surface 20a of the second metal plate 20. The first metal plate 10 and the second metal plate 20 are arranged facing each other without being joined to each other.

図2に示すベーパーチャンバ1における第1板部11の内面11aと第2金属板20の内面20aとの間の長さ、すなわち、ベーパーチャンバ1の内部空間Sの厚さに比べて、図3に示すベーパーチャンバ1を製造する前の構成における厚さ方向Lに沿ったウィック構造体30の厚さは大きい。このように、図3に示す状態では、第1金属板10の第1周縁壁部12の長さよりも、ウィック構造体30の厚さが大きい。 The thickness of the wick structure 30 along the thickness direction L in the configuration before the vapor chamber 1 is manufactured shown in FIG. 3 is greater than the length between the inner surface 11a of the first plate portion 11 and the inner surface 20a of the second metal plate 20 in the vapor chamber 1 shown in FIG. 2, i.e., the thickness of the internal space S of the vapor chamber 1. Thus, in the state shown in FIG. 3, the thickness of the wick structure 30 is greater than the length of the first peripheral wall portion 12 of the first metal plate 10.

このように、内部空間Sの厚さよりも大きい厚さを有するウィック構造体30を第1板部11の内面11aや第2金属板20の内面20aに予め設置する。その後、第1金属板10と第2金属板20とを互いに近づく方向に移動させながら、厚さ方向Lに沿ってウィック構造体30を圧縮して、第1金属板10と第2金属板20とを接合させる。 In this manner, the wick structure 30 having a thickness greater than the thickness of the internal space S is pre-installed on the inner surface 11a of the first plate portion 11 and the inner surface 20a of the second metal plate 20. Then, while moving the first metal plate 10 and the second metal plate 20 in a direction approaching each other, the wick structure 30 is compressed along the thickness direction L to join the first metal plate 10 and the second metal plate 20.

第1金属板10と第2金属板20との接合時には、ウィック構造体30は第1金属板10と第2金属板20とが近づく方向に圧縮変位する。ウィック構造体30の最大圧縮時の厚さが内部空間Sの厚さよりも小さくなると、第1金属板10の第1板部11の内面11aおよび第2金属板20の内面20aのいずれか一方の面とウィック構造体30とは接触しない。そして、ウィック構造体30はベーパーチャンバ1の厚さ方向Lに沿った変形追随性を有するため、ウィック構造体30の最大圧縮時の厚さが内部空間Sの厚さよりも小さくなっても、ウィック構造体30は、第1金属板10と第2金属板20とが離れる方向、すなわち第1金属板10および第2金属板20に向かう方向に伸長変位する。伸長変位したウィック構造体30は、第1金属板10の第1板部11の内面11aと第2金属板20の内面20aとに接触する。このように、ウィック構造体30の厚さが内部空間Sの厚さに合うように、ウィック構造体30は厚さを自動的に調整することができる。 When the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are joined, the wick structure 30 is compressed and displaced in the direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 approach each other. When the thickness of the wick structure 30 at maximum compression becomes smaller than the thickness of the internal space S, the wick structure 30 does not come into contact with either the inner surface 11a of the first plate portion 11 of the first metal plate 10 or the inner surface 20a of the second metal plate 20. Since the wick structure 30 has deformation followability along the thickness direction L of the vapor chamber 1, even if the thickness of the wick structure 30 at maximum compression becomes smaller than the thickness of the internal space S, the wick structure 30 is elongated and displaced in the direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move away from each other, that is, in the direction toward the first metal plate 10 and the second metal plate 20. The elongated wick structure 30 comes into contact with the inner surface 11a of the first plate portion 11 of the first metal plate 10 and the inner surface 20a of the second metal plate 20. In this way, the wick structure 30 can automatically adjust its thickness so that it matches the thickness of the internal space S.

第1金属板10および第2金属板20に接触しているウィック構造体30は、液相の作動流体に対して毛細管現象を発揮する。そのため、第1金属板10の第1板部11の内面11aを流れている液相の作動流体は、ウィック構造体30によって吸い上げられて、第2金属板20の内面20aに向かって流れる。被冷却部材40で発生した熱は、第2金属板20を介して、外面20bから内面20aに伝達される。被冷却部材40から伝達された熱は、第2金属板20の内面20aで、液相の作動流体を蒸発して、気相の作動流体を生成する。 The wick structure 30, which is in contact with the first metal plate 10 and the second metal plate 20, exerts a capillary effect on the liquid phase working fluid. Therefore, the liquid phase working fluid flowing on the inner surface 11a of the first plate portion 11 of the first metal plate 10 is sucked up by the wick structure 30 and flows toward the inner surface 20a of the second metal plate 20. The heat generated in the cooled member 40 is transferred from the outer surface 20b to the inner surface 20a via the second metal plate 20. The heat transferred from the cooled member 40 evaporates the liquid phase working fluid on the inner surface 20a of the second metal plate 20, generating a gas phase working fluid.

このように、ウィック構造体30は第1金属板10の第1板部11および第2金属板20に接触しているため、ベーパーチャンバ1の厚さ方向Lに沿った作動流体の流れおよび被冷却部材40と作動流体との間の熱の移動が効率的であり、ベーパーチャンバ1の内部空間Sにおける熱の移動が優れている。このようなウィック構造体30を備えるベーパーチャンバ1は、優れた熱輸送特性を有する。 In this way, since the wick structure 30 is in contact with the first plate portion 11 of the first metal plate 10 and the second metal plate 20, the flow of the working fluid along the thickness direction L of the vapor chamber 1 and the transfer of heat between the cooled member 40 and the working fluid are efficient, and the transfer of heat in the internal space S of the vapor chamber 1 is excellent. A vapor chamber 1 equipped with such a wick structure 30 has excellent heat transport properties.

さらに、ウィック構造体30は変形追随性を有するため、第1金属板10と第2金属板20との接合時の衝撃がウィック構造体30に加わっても、ウィック構造体30は破壊されにくい。 Furthermore, since the wick structure 30 has deformation followability, even if an impact is applied to the wick structure 30 when the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are joined, the wick structure 30 is unlikely to be destroyed.

さらに、ベーパーチャンバ1の製造前の第1金属板10や第2金属板20に設置されたウィック構造体30は、第1金属板10および第2金属板20の接合時に、破壊されずに厚さ方向Lに沿って変形する。そのため、ベーパーチャンバ1を製造する前に、ウィック構造体30の厚さおよびベーパーチャンバ1の内部空間Sの厚さの事前のサイズ調整が不要になる。さらには、ベーパーチャンバ1の製造時において、ウィック構造体30はベーパーチャンバ1の内部空間Sの厚さに自動で調整できるため、ウィック構造体30の厚さおよびベーパーチャンバ1の内部空間Sの厚さのサイズ調整が容易になり、内部空間Sへのウィック構造体30の設置が容易になる。その結果、ベーパーチャンバ1は容易に製造できる。 Furthermore, the wick structure 30 installed on the first metal plate 10 and the second metal plate 20 before the vapor chamber 1 is manufactured is deformed along the thickness direction L without being destroyed when the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are joined. Therefore, it is not necessary to adjust the size of the thickness of the wick structure 30 and the thickness of the internal space S of the vapor chamber 1 before manufacturing the vapor chamber 1. Furthermore, since the wick structure 30 can be automatically adjusted to the thickness of the internal space S of the vapor chamber 1 during the manufacturing of the vapor chamber 1, it becomes easy to adjust the size of the thickness of the wick structure 30 and the thickness of the internal space S of the vapor chamber 1, and it becomes easy to install the wick structure 30 in the internal space S. As a result, the vapor chamber 1 can be easily manufactured.

このようなウィック構造体30を備えるベーパーチャンバ1は、主に以下の冷却経路によって、被冷却部材40を冷却する。 The vapor chamber 1 equipped with such a wick structure 30 cools the cooled member 40 mainly through the following cooling path.

第1板部11の内面11aを流れる液相の作動流体は、第1板部11の内面11aと第2金属板20の内面20aとに接触しているウィック構造体30によって、矢印F(L)で示すように、第2金属板20に向かって流れる。蒸発部50は、被冷却部材40から第2金属板20に伝達した熱によって、第2金属板20に流通した液相の作動流体を蒸発させて気相の作動流体に相変化させる。加熱された気相の作動流体は、矢印F(G)で示すように、蒸発部50から離れた位置の凝縮部51に流れる。気相の作動流体が凝縮部51に向かって流れる過程で、作動流体の温度が低下する。凝縮部51では、温度の低下した気相の作動流体が凝縮されて液相の作動流体に相変化する。相変化で生じた潜熱は、第2金属板20を介して放熱フィン41に伝達されて、ベーパーチャンバ1の外部に放出される。凝縮された液相の作動流体は、第1板部11の内面11aを良好に流れる。内面11a上の液相の作動流体は、ウィック構造体30によって、再び第2金属板20に流れる。このような液相および気相の作動流体の良好な循環によって、ベーパーチャンバ1は被冷却部材40を効率的に冷却できる。 The liquid phase working fluid flowing through the inner surface 11a of the first plate portion 11 flows toward the second metal plate 20 as shown by the arrow F (L) by the wick structure 30 in contact with the inner surface 11a of the first plate portion 11 and the inner surface 20a of the second metal plate 20. The evaporation section 50 evaporates the liquid phase working fluid flowing through the second metal plate 20 by the heat transferred from the cooled member 40 to the second metal plate 20, and changes the phase to a gas phase working fluid. The heated gas phase working fluid flows to the condensation section 51 located away from the evaporation section 50 as shown by the arrow F (G). In the process of the gas phase working fluid flowing toward the condensation section 51, the temperature of the working fluid decreases. In the condensation section 51, the gas phase working fluid with the reduced temperature is condensed and changes the phase to a liquid phase working fluid. The latent heat generated by the phase change is transferred to the heat dissipation fin 41 via the second metal plate 20 and is released to the outside of the vapor chamber 1. The condensed liquid phase working fluid flows smoothly along the inner surface 11a of the first plate portion 11. The liquid phase working fluid on the inner surface 11a flows again to the second metal plate 20 by the wick structure 30. This smooth circulation of the liquid and gas phase working fluids allows the vapor chamber 1 to efficiently cool the cooled member 40.

仮にウィック構造体30が上記のような変形追随性を有しない場合、第1金属板10と第2金属板20との接合時に圧縮変位したウィック構造体30は、伸長変位せずに、圧縮変位したままである。そのため、ウィック構造体30は第1金属板10と第2金属板20とに接触せずに、ウィック構造体30と第1板部11の内面11aとの間やウィック構造体30と第2金属板20の内面20aとの間に隙間を生じることがある。この隙間は、ベーパーチャンバ1の厚さ方向Lに沿った液相の作動流体の流通を阻害し、作動流体と被冷却部材40との間の熱移動の効率を低下させる。そのため、ベーパーチャンバ1の熱輸送特性は低下する。さらに、第1金属板10と第2金属板20との接合時の衝撃によって、ウィック構造体30は破壊されやすい。さらに、ベーパーチャンバ1の製造時において、ウィック構造体30の厚さおよび内部空間Sの厚さのサイズ調整を行うため、ベーパーチャンバ1の製造は容易ではない。 If the wick structure 30 does not have the above-mentioned deformation followability, the wick structure 30 that is compressed and displaced when the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are joined will remain compressed and displaced without being elongated. Therefore, the wick structure 30 may not contact the first metal plate 10 and the second metal plate 20, and a gap may be generated between the wick structure 30 and the inner surface 11a of the first plate portion 11 or between the wick structure 30 and the inner surface 20a of the second metal plate 20. This gap impedes the flow of the liquid phase working fluid along the thickness direction L of the vapor chamber 1, reducing the efficiency of heat transfer between the working fluid and the cooled member 40. Therefore, the heat transport characteristics of the vapor chamber 1 are reduced. Furthermore, the wick structure 30 is easily destroyed by the impact when the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are joined. Furthermore, the thickness of the wick structure 30 and the thickness of the internal space S are adjusted during the manufacture of the vapor chamber 1, so that the manufacture of the vapor chamber 1 is not easy.

ウィック構造体30の上記変形追随性および破壊されにくさ、ベーパーチャンバ1の熱輸送特性の向上から、ウィック構造体30は、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成されることが好ましい。編組線は、複数の金属の素線を用いて編組したものである。撚線は、複数の金属の素線を撚り合わせたものである。また、上記観点から、金属は、銅や銅合金を含む銅系材料が好ましく、銅がさらに好ましい。これらの理由から、ウィック構造体30は、銅系材料の編組線から構成されることが好ましく、銅系材料の丸編組線から構成されることがより好ましい。好ましい編組線の構成は、線径1mmの10~50本の銅素線を1束にして、10~20束で編組したものである。 In view of the above-mentioned deformation followability and breakage resistance of the wick structure 30, and the improvement of the heat transport properties of the vapor chamber 1, it is preferable that the wick structure 30 is composed of at least one selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge. The braided wire is made by braiding multiple metal wires. The twisted wire is made by twisting multiple metal wires together. From the above-mentioned viewpoint, the metal is preferably a copper-based material including copper and copper alloy, and copper is more preferable. For these reasons, the wick structure 30 is preferably composed of a braided wire of a copper-based material, and more preferably composed of a round braided wire of a copper-based material. The preferred braided wire configuration is a bundle of 10 to 50 copper wires with a wire diameter of 1 mm, braided into 10 to 20 bundles.

ウィック構造体30は、変形追随性を有しない物質、例えば焼結体から構成されない。特に、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成されるウィック構造体30が、延在方向に沿って中空部分を内部に有すると、気相の作動流体が中空部分内を容易に流れるため、ベーパーチャンバ1の熱輸送特性はさらに向上する。このような中空部分は、焼結体の空孔に比べて大きいため、気相の作動流体は、焼結体に比べて、ウィック構造体の中空部分内を流通しやすい。 The wick structure 30 is not made of a material that does not have deformation followability, such as a sintered body. In particular, when the wick structure 30, which is made of at least one material selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge, has a hollow portion inside along the extension direction, the gas phase working fluid flows easily inside the hollow portion, further improving the heat transport properties of the vapor chamber 1. Since such a hollow portion is larger than the pores of the sintered body, the gas phase working fluid flows more easily inside the hollow portion of the wick structure than in a sintered body.

例えば、ウィック構造体30は、編組線から構成される3つのウィック部31から構成されてもよいし、編組線から構成される1つのウィック部31と撚線から構成される1つのウィック部31と金属スポンジから構成される1つのウィック部31とから構成されてもよい。ウィック部31の構成部材やウィック部31の配置数など、ウィック部31の配置構成は、ベーパーチャンバ1の用途に応じて、適宜選択される。 For example, the wick structure 30 may be composed of three wick parts 31 composed of braided wire, or may be composed of one wick part 31 composed of braided wire, one wick part 31 composed of twisted wire, and one wick part 31 composed of metal sponge. The arrangement of the wick parts 31, such as the constituent materials of the wick parts 31 and the number of wick parts 31, is appropriately selected depending on the application of the vapor chamber 1.

また、図4~5に示すように、ベーパーチャンバ1は第1板部11の内面11aに設けられる1つ以上の第1突起部13を有することが好ましい。 Furthermore, as shown in Figures 4 and 5, it is preferable that the vapor chamber 1 has one or more first protrusions 13 provided on the inner surface 11a of the first plate portion 11.

第1突起部13は、第1板部11の内面11aから第2金属板20の内面20aに向かって突出し、第2金属板20の内面20aに当接する。第1突起部13は対向する第2金属板20に当接するため、ベーパーチャンバ1の耐圧性は向上する。また、ウィック構造体30は、第1突起部13の間に任意の形状で配置できる。また、第1突起部13は、ベーパーチャンバ1内に設置されたウィック構造体30の移動を抑制できる。第1突起部13の形状、配置数、配置位置などの配置構成は、ベーパーチャンバ1の用途に応じて、適宜選択される。 The first protrusion 13 protrudes from the inner surface 11a of the first plate portion 11 toward the inner surface 20a of the second metal plate 20 and abuts against the inner surface 20a of the second metal plate 20. Since the first protrusion 13 abuts against the opposing second metal plate 20, the pressure resistance of the vapor chamber 1 is improved. In addition, the wick structure 30 can be arranged in any shape between the first protrusions 13. In addition, the first protrusions 13 can suppress the movement of the wick structure 30 installed in the vapor chamber 1. The arrangement configuration, such as the shape, number, and position of the first protrusions 13, is appropriately selected depending on the application of the vapor chamber 1.

また、図4~5では、第1突起部13を有するベーパーチャンバ1を示したが、ベーパーチャンバ1は、第2金属板20の内面20aに設けられる1つ以上の第2突起部(不図示)を有してもよい。ベーパーチャンバ1が第2突起部を有する場合、ベーパーチャンバ1は、第1突起部13を具備してもよいし、第1突起部13を具備しなくてもよい。 Although FIGS. 4 and 5 show the vapor chamber 1 having the first protrusion 13, the vapor chamber 1 may have one or more second protrusions (not shown) provided on the inner surface 20a of the second metal plate 20. When the vapor chamber 1 has a second protrusion, the vapor chamber 1 may or may not have the first protrusion 13.

第2突起部は、第2金属板20の内面20aから第1板部11の内面11aに向かって突出し、第1板部11の内面11aに当接する。第2突起部は対向する第1板部11に当接するため、ベーパーチャンバ1の耐圧性は向上する。第1突起部13と同様に、ウィック構造体30は、第2突起部の間に任意の形状で配置できる。また、第2突起部は、ベーパーチャンバ1内に設置されたウィック構造体30の移動を抑制できる。第2突起部の形状、配置数、配置位置などの配置構成は、ベーパーチャンバ1の用途に応じて、適宜選択される。また、第1突起部13および第2突起部の設置割合についても、ベーパーチャンバ1の用途に応じて、適宜選択される。 The second protrusion protrudes from the inner surface 20a of the second metal plate 20 toward the inner surface 11a of the first plate portion 11 and abuts against the inner surface 11a of the first plate portion 11. Since the second protrusion abuts against the opposing first plate portion 11, the pressure resistance of the vapor chamber 1 is improved. As with the first protrusion 13, the wick structure 30 can be arranged in any shape between the second protrusions. In addition, the second protrusion can suppress the movement of the wick structure 30 installed in the vapor chamber 1. The arrangement configuration, such as the shape, number, and position of the second protrusions, is appropriately selected depending on the application of the vapor chamber 1. In addition, the installation ratio of the first protrusion 13 and the second protrusions is also appropriately selected depending on the application of the vapor chamber 1.

また、ベーパーチャンバ1の熱輸送特性向上の観点から、第1金属板10および第2金属板20は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金およびステンレス鋼よりなる群から選択されるいずれかから構成されることが好ましい。その中でも、ベーパーチャンバ1の軽量化のためには、第1金属板10および第2金属板20は共にアルミニウムから構成されることがより好ましい。また、ベーパーチャンバ1の耐圧性を高めるためには、第1金属板10および第2金属板20は共にステンレス鋼から構成されることがより好ましい。また、ベーパーチャンバ1の熱輸送特性を高めるためには、第1金属板10および第2金属板20は共に銅から構成されることがより好ましい。また、使用環境に応じて、第1金属板10および第2金属板20には、スズ、スズ合金、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金などを使用してもよい。 In addition, from the viewpoint of improving the heat transport properties of the vapor chamber 1, the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are preferably made of any one selected from the group consisting of aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, and stainless steel. Among them, in order to reduce the weight of the vapor chamber 1, it is more preferable that the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are both made of aluminum. In addition, in order to increase the pressure resistance of the vapor chamber 1, it is more preferable that the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are both made of stainless steel. In addition, in order to increase the heat transport properties of the vapor chamber 1, it is more preferable that the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are both made of copper. In addition, tin, tin alloy, titanium, titanium alloy, nickel, nickel alloy, etc. may be used for the first metal plate 10 and the second metal plate 20 depending on the usage environment.

ベーパーチャンバ1の内部空間Sに封入されている作動流体は、ベーパーチャンバ1の冷却性能の観点から、純水、エタノール、メタノール、アセトン、フッ素系溶媒などが好ましい。その中でも、ベーパーチャンバ1の熱輸送特性向上や環境負荷抑制の観点から、作動流体は、フッ素系溶媒であることがより好ましく、シス-1-クロロ-3,3,3-トリフルオロプロペン(1233zdZ)であることがさらに好ましい。また、作動流体が水系溶媒である場合、ウィック構造体に付着している油成分などのコンタミネーションを除去するために、ウィック構造体を酸化還元処理するが、作動流体がフッ素系溶媒であると、ウィック構造体に対する上記の処理が不要になる。 From the viewpoint of the cooling performance of the vapor chamber 1, the working fluid sealed in the internal space S of the vapor chamber 1 is preferably pure water, ethanol, methanol, acetone, fluorine-based solvents, etc. Among these, from the viewpoint of improving the heat transport properties of the vapor chamber 1 and reducing the environmental load, the working fluid is more preferably a fluorine-based solvent, and even more preferably cis-1-chloro-3,3,3-trifluoropropene (1233zdZ). Furthermore, when the working fluid is an aqueous solvent, the wick structure is subjected to an oxidation-reduction treatment to remove contamination such as oil components adhering to the wick structure, but when the working fluid is a fluorine-based solvent, the above treatment for the wick structure is unnecessary.

以上説明した第1実施形態によれば、ベーパーチャンバの厚さ方向に沿った変形追随性を有するウィック構造体をベーパーチャンバ内に設置することによって、ウィック構造体は破壊されにくく、ベーパーチャンバの熱輸送特性は向上し、ベーパーチャンバは容易に製造できる。 According to the first embodiment described above, by installing a wick structure that has deformation-following properties along the thickness direction of the vapor chamber inside the vapor chamber, the wick structure is less likely to be destroyed, the heat transport properties of the vapor chamber are improved, and the vapor chamber can be easily manufactured.

(第2実施形態)
図6は、第2実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。図7は、図6のC面の断面図である。図8は、図7のベーパーチャンバを製造する前の構成を示す断面図である。
Second Embodiment
Fig. 6 is a perspective view showing an example of a vapor chamber of the second embodiment. Fig. 7 is a cross-sectional view of surface C of Fig. 6. Fig. 8 is a cross-sectional view showing a configuration before the vapor chamber of Fig. 7 is manufactured.

なお、以下に示す実施形態では、第1実施形態のベーパーチャンバと同一の構成部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略または簡略する。 In the following embodiment, the same components as those in the vapor chamber of the first embodiment are given the same reference numerals, and duplicate descriptions are omitted or simplified.

第2実施形態のベーパーチャンバ2において、ウィック構造体30aの構成が異なること以外は、第1実施形態のベーパーチャンバ1の構成と基本的に同じである。そのため、ここでは、その異なる構成について主に説明する。 The vapor chamber 2 of the second embodiment is basically the same as the vapor chamber 1 of the first embodiment, except for the difference in the configuration of the wick structure 30a. Therefore, the different configuration will be mainly described here.

図6~7に示すように、ベーパーチャンバ2では、ウィック構造体30aは、ベーパーチャンバ2の厚さ方向Lに沿って重なり合う複数の第1ウィック構造部35を有し、第1ウィック構造部35は、第1金属板10と第2金属板20とが近づく方向への圧縮変位に追随して第1金属板10と第2金属板20とが離れる方向に伸長変位する。例えば、図示するように、ウィック構造体30aは、互いに重なり合う同一形状の2つの第1ウィック構造部35を有し、2つの第1ウィック構造部35は、相対的に90°回転させて配置される。 As shown in Figures 6 and 7, in the vapor chamber 2, the wick structure 30a has multiple first wick structure parts 35 that overlap along the thickness direction L of the vapor chamber 2, and the first wick structure parts 35 expand and displace in a direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move apart in response to a compressive displacement in a direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move closer to each other. For example, as shown in the figures, the wick structure 30a has two first wick structure parts 35 of the same shape that overlap each other, and the two first wick structure parts 35 are arranged rotated 90 degrees relative to each other.

厚さ方向Lに沿った変形追随性を有する第1ウィック構造部35は、第1実施形態のベーパーチャンバ1に設置されるウィック構造体30に相当する。すなわち、第2実施形態のベーパーチャンバ2は、厚さ方向Lに沿って配置される複数の第1ウィック構造部35を備える一方で、第1実施形態のベーパーチャンバ1は、1つのウィック構造体30を備える。 The first wick structure 35, which has the ability to follow deformation along the thickness direction L, corresponds to the wick structure 30 installed in the vapor chamber 1 of the first embodiment. That is, the vapor chamber 2 of the second embodiment has multiple first wick structure parts 35 arranged along the thickness direction L, while the vapor chamber 1 of the first embodiment has one wick structure 30.

ウィック構造体30と同様の観点から、ウィック構造体30aを構成する第1ウィック構造部35は、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成されることが好ましい。また、上記観点から、金属は、銅や銅合金を含む銅系材料が好ましく、銅がさらに好ましい。これらの理由から、第1ウィック構造部35は、銅系材料の編組線から構成されることが好ましく、銅系材料の丸編組線から構成されることがより好ましい。 From the same viewpoint as the wick structure 30, the first wick structure 35 constituting the wick structure 30a is preferably composed of at least one selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge. From the above viewpoint, the metal is preferably a copper-based material including copper and copper alloy, and copper is more preferable. For these reasons, the first wick structure 35 is preferably composed of a braided wire of a copper-based material, and more preferably composed of a round braided wire of a copper-based material.

また、ウィック構造体30と同様に、第1ウィック構造部35は、変形追随性を有しない物質、例えば焼結体から構成されない。特に、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成される第1ウィック構造部35が、延在方向に沿って中空部分を内部に有すると、気相の作動流体が中空部分内を容易に流れるため、ベーパーチャンバ1の熱輸送特性はさらに向上する。 Furthermore, like the wick structure 30, the first wick structure 35 is not made of a material that does not have deformation followability, such as a sintered body. In particular, when the first wick structure 35, which is made of at least one selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge, has a hollow portion inside along the extension direction, the gas-phase working fluid flows easily inside the hollow portion, further improving the heat transport properties of the vapor chamber 1.

ウィック構造体30aを構成する第1ウィック構造部35は、第1実施形態のウィック構造体30と同様に、厚さ方向Lに沿った変形追随性を有する。そのため、第1ウィック構造部35は、圧縮方向に沿って生じた所定の圧縮変位に基づく反力を生じることによって、圧縮変位に追随して、伸長方向に伸長変位する。第1ウィック構造部35の伸長変位は、外部からの外力を受けずに、自動で行われる。伸長変位後の第1ウィック構造部35の厚さは、最大圧縮時の第1ウィック構造部35の厚さに比べて大きい。 The first wick structure 35 constituting the wick structure 30a has deformation followability along the thickness direction L, similar to the wick structure 30 of the first embodiment. Therefore, the first wick structure 35 generates a reaction force based on a predetermined compressive displacement generated along the compression direction, and elongates and displaces in the elongation direction following the compressive displacement. The elongation displacement of the first wick structure 35 is performed automatically without receiving an external force from the outside. The thickness of the first wick structure 35 after the elongation displacement is greater than the thickness of the first wick structure 35 at maximum compression.

上記の変形追随性を有する複数の第1ウィック構造部35を備えるウィック構造体30aは、ベーパーチャンバ2の製造に対して以下のように作用する。 The wick structure 30a, which has multiple first wick structure parts 35 with the above-mentioned deformation followability, acts as follows in the manufacture of the vapor chamber 2.

図8に示すように、ベーパーチャンバ2を製造する前の構成における複数の第1ウィック構造部35の合計の厚さは、図7に示すベーパーチャンバ2の内部空間Sの厚さに比べて、大きい。 As shown in FIG. 8, the total thickness of the multiple first wick structure parts 35 in the configuration before the vapor chamber 2 is manufactured is greater than the thickness of the internal space S of the vapor chamber 2 shown in FIG. 7.

第1金属板10と第2金属板20との接合時には、互いに直交するように配置される複数の第1ウィック構造部35は第1金属板10と第2金属板20とが近づく方向に圧縮変位する。複数の第1ウィック構造部35の最大圧縮時の合計厚さが内部空間Sの厚さよりも小さくなると、第1金属板10の第1板部11の内面11aはウィック構造体30aを介して第2金属板20の内面20aに接続しない。そして、複数の第1ウィック構造部35はベーパーチャンバ2の厚さ方向Lに沿った変形追随性を有するため、複数の第1ウィック構造部35の最大圧縮時の合計厚さが内部空間Sの厚さよりも小さくなっても、複数の第1ウィック構造部35は、第1金属板10と第2金属板20とが離れる方向に伸長変位する。伸長変位した複数の第1ウィック構造部35は、互いに接触すると共に、第1金属板10の第1板部11の内面11aおよび第2金属板20の内面20aに接触する。このように、ウィック構造体30aの厚さが内部空間Sの厚さに合うように、複数の第1ウィック構造部35を有するウィック構造体30は厚さを自動的に調整することができる。 When the first metal plate 10 and the second metal plate 20 are joined, the first wick structure parts 35 arranged perpendicular to each other are compressed and displaced in the direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 approach each other. When the total thickness of the first wick structure parts 35 at maximum compression becomes smaller than the thickness of the internal space S, the inner surface 11a of the first plate part 11 of the first metal plate 10 is not connected to the inner surface 20a of the second metal plate 20 via the wick structure 30a. Since the first wick structure parts 35 have deformation followability along the thickness direction L of the vapor chamber 2, even if the total thickness of the first wick structure parts 35 at maximum compression becomes smaller than the thickness of the internal space S, the first wick structure parts 35 are expanded and displaced in the direction in which the first metal plate 10 and the second metal plate 20 move apart. The multiple first wick structure parts 35 that have been stretched and displaced contact each other and the inner surface 11a of the first plate part 11 of the first metal plate 10 and the inner surface 20a of the second metal plate 20. In this way, the wick structure 30 having multiple first wick structure parts 35 can automatically adjust its thickness so that the thickness of the wick structure 30a matches the thickness of the internal space S.

このように、複数の第1ウィック構造部35を有するウィック構造体30aは第1金属板10の第1板部11および第2金属板20に接触しているため、ベーパーチャンバ1の厚さ方向Lに沿った作動流体の流れがさらに向上する。また、図示するように、複数の第1ウィック構造部35を異なる向きに配置すると、ベーパーチャンバ2の厚さ方向Lに加えて、厚さ方向Lに垂直な方向にも、液相の作動流体は容易に移動できる。そのため、ベーパーチャンバ2の熱輸送特性はさらに向上する。また、複数の第1ウィック構造部35を有するウィック構造体30aは、破壊耐性がさらに向上する。また、上記特性を有するウィック構造体30aを備えるベーパーチャンバ2の製造はさらに容易になる。複数の第1ウィック構造部35が重なり合う部分では、複数の第1ウィック構造部35が扁平状態で設置されていると、上記効果は効率的に発揮される。 In this way, the wick structure 30a having the multiple first wick structure parts 35 is in contact with the first plate part 11 of the first metal plate 10 and the second metal plate 20, so the flow of the working fluid along the thickness direction L of the vapor chamber 1 is further improved. Also, as shown in the figure, when the multiple first wick structure parts 35 are arranged in different directions, the liquid phase working fluid can easily move not only in the thickness direction L of the vapor chamber 2, but also in a direction perpendicular to the thickness direction L. Therefore, the heat transport characteristics of the vapor chamber 2 are further improved. Also, the wick structure 30a having the multiple first wick structure parts 35 has further improved fracture resistance. Also, the vapor chamber 2 including the wick structure 30a having the above characteristics is further easier to manufacture. In the area where the multiple first wick structure parts 35 overlap, if the multiple first wick structure parts 35 are installed in a flat state, the above effect is efficiently exerted.

上記では、同一形状である2つの第1ウィック構造部35が異なる向きで設置される例について説明したが、第1ウィック構造部35の設置数、形状、設置向きなど、第1ウィック構造部35の配置構成は、ベーパーチャンバ2の用途に応じて、適宜選択される。 Although the above describes an example in which two first wick structures 35 of the same shape are installed in different orientations, the arrangement of the first wick structures 35, such as the number, shape, and installation orientation of the first wick structures 35, can be appropriately selected depending on the application of the vapor chamber 2.

また、一方の第1ウィック構造部35は、編組線から構成される3つのウィック部31から構成されてもよいし、編組線から構成される1つのウィック部31と撚線から構成される1つのウィック部31と金属スポンジから構成される1つのウィック部31とから構成されてもよい。同様に、他方の第1ウィック構造部35は、編組線から構成される3つのウィック部31から構成されてもよいし、編組線から構成される1つのウィック部31と撚線から構成される1つのウィック部31と金属スポンジから構成される1つのウィック部31とから構成されてもよい。第1ウィック構造部35を構成するウィック部31の配置構成は、ベーパーチャンバ2の用途に応じて、適宜選択される。 Also, one of the first wick structures 35 may be composed of three wick parts 31 composed of braided wire, or may be composed of one wick part 31 composed of braided wire, one wick part 31 composed of twisted wire, and one wick part 31 composed of metal sponge. Similarly, the other first wick structure 35 may be composed of three wick parts 31 composed of braided wire, or may be composed of one wick part 31 composed of braided wire, one wick part 31 composed of twisted wire, and one wick part 31 composed of metal sponge. The arrangement of the wick parts 31 constituting the first wick structure 35 is appropriately selected depending on the application of the vapor chamber 2.

また、図9に示すように、ウィック構造体30aは、ベーパーチャンバ2の厚さ方向Lに沿って重なり合う1つ以上の第1ウィック構造部35と1つ以上の第2ウィック構造部36とを有してもよい。第1ウィック構造部35は、上記のようにベーパーチャンバ2の厚さ方向Lに沿った変形追随性を有する一方で、第2ウィック構造部36は、ベーパーチャンバ2の厚さ方向Lに沿った変形追随性を有しない。 Also, as shown in FIG. 9, the wick structure 30a may have one or more first wick structure parts 35 and one or more second wick structure parts 36 that overlap along the thickness direction L of the vapor chamber 2. While the first wick structure part 35 has deformation followability along the thickness direction L of the vapor chamber 2 as described above, the second wick structure part 36 does not have deformation followability along the thickness direction L of the vapor chamber 2.

ベーパーチャンバ2は、上記の変形追随性を示さない第2ウィック構造部36を有する一方で、上記の変形追随性を示す第1ウィック構造部35を有しているので、ウィック構造体30aはベーパーチャンバ2の厚さ方向Lに沿った変形追随性を有する。また、ベーパーチャンバ2の内部空間Sの厚さに比べて、第2ウィック構造部36の厚さは小さい。そのため、従来のベーパーチャンバに設けられる変形追随性を具備しないウィックに比べて、第2ウィック構造部36の撓みが抑制されて、第2ウィック構造部36の破壊は抑制される。すなわち、変形追随性を示さない既存のウィックを第2ウィック構造部36に適用しても、ベーパーチャンバ2が上記の変形追随性を示す第1ウィック構造部35を有しているため、従来のベーパーチャンバに比べて、ウィック構造体30aは壊れにくく、ベーパーチャンバ2は、優れた熱輸送特性を有し、容易に製造できる。 The vapor chamber 2 has the second wick structure 36 that does not exhibit the above-mentioned deformation tracking ability, while having the first wick structure 35 that exhibits the above-mentioned deformation tracking ability, so the wick structure 30a has deformation tracking ability along the thickness direction L of the vapor chamber 2. In addition, the thickness of the second wick structure 36 is smaller than the thickness of the internal space S of the vapor chamber 2. Therefore, compared to a wick that does not have deformation tracking ability provided in a conventional vapor chamber, the deflection of the second wick structure 36 is suppressed, and the destruction of the second wick structure 36 is suppressed. In other words, even if an existing wick that does not exhibit deformation tracking ability is applied to the second wick structure 36, since the vapor chamber 2 has the first wick structure 35 that exhibits the above-mentioned deformation tracking ability, the wick structure 30a is less likely to break than a conventional vapor chamber, and the vapor chamber 2 has excellent heat transport properties and can be easily manufactured.

第2ウィック構造部36は、焼結体、メッシュシートおよび繊維シートよりなる群から選択される少なくとも1種から構成されることが好ましく、その場合の第2ウィック構造部36の空隙率は、例えば80%以上90%以下である。特に、図9に示すように、第2ウィック構造部36がメッシュシートや繊維シートであると、厚さ方向Lに垂直な面に沿って設置されるメッシュシートや繊維シートと第2金属板20の内面20aとの接触面積が増加するため、ベーパーチャンバ2の熱輸送特性は向上する。 The second wick structure 36 is preferably composed of at least one selected from the group consisting of a sintered body, a mesh sheet, and a fiber sheet, and in that case the porosity of the second wick structure 36 is, for example, 80% or more and 90% or less. In particular, as shown in FIG. 9, when the second wick structure 36 is a mesh sheet or a fiber sheet, the contact area between the mesh sheet or fiber sheet placed along a plane perpendicular to the thickness direction L and the inner surface 20a of the second metal plate 20 increases, improving the heat transport properties of the vapor chamber 2.

第2ウィック構造部36が焼結体から構成される場合、ベーパーチャンバ2の熱輸送特性向上の観点から、焼結体は銅系材料から形成される銅系焼結体であることが好ましく、その中でも、より好ましくは粒径10μm以上300μm以下、さらに好ましくは粒径50μm以上100μm以下の銅系粉末から形成される銅系焼結体である。焼結体は、液相の作動流体に対する優れた吸い上げ性能を有する。 When the second wick structure 36 is composed of a sintered body, from the viewpoint of improving the heat transport properties of the vapor chamber 2, the sintered body is preferably a copper-based sintered body formed from a copper-based material, and among these, a copper-based sintered body formed from a copper-based powder having a particle size of 10 μm or more and 300 μm or less, and even more preferably a copper-based sintered body formed from a copper-based powder having a particle size of 50 μm or more and 100 μm or less. The sintered body has excellent suction performance for the liquid phase working fluid.

第2ウィック構造部36がメッシュシートから構成される場合、ベーパーチャンバ2の熱輸送特性向上の観点から、メッシュシートは銅系材料であることが好ましい。また、メッシュシートの撓みによる破壊を抑制する観点から、メッシュシートの構成は、80メッシュ以上230メッシュ以下であることが好ましく、100メッシュ以上200メッシュ以下であることがより好ましい。メッシュシートは、破損しにくいことに加えて、容易に切れるために形状自由度が高い。 When the second wick structure 36 is composed of a mesh sheet, it is preferable that the mesh sheet be made of a copper-based material from the viewpoint of improving the heat transport properties of the vapor chamber 2. Furthermore, from the viewpoint of suppressing breakage due to bending of the mesh sheet, it is preferable that the mesh sheet be composed of 80 mesh or more and 230 mesh or less, and more preferably 100 mesh or more and 200 mesh or less. In addition to being difficult to break, the mesh sheet has a high degree of freedom in shape because it can be easily cut.

第2ウィック構造部36が繊維シートから構成される場合、ベーパーチャンバ2の熱輸送特性向上の観点から、繊維シートは、銅系材料またはステンレス鋼であることが好ましい。また、繊維シートの撓みによる破壊を抑制する観点から、繊維の直径は10μm以上50μm以下であることが好ましく、繊維の長さは0.5mm以上2.0mm以下であることが好ましい。 When the second wick structure 36 is composed of a fiber sheet, from the viewpoint of improving the heat transport properties of the vapor chamber 2, the fiber sheet is preferably made of a copper-based material or stainless steel. Also, from the viewpoint of suppressing breakage due to bending of the fiber sheet, the fiber diameter is preferably 10 μm or more and 50 μm or less, and the fiber length is preferably 0.5 mm or more and 2.0 mm or less.

以上説明した第2実施形態によれば、ウィック構造体を構成する第1ウィック構造部や第2ウィック構造部の設計の自由度が向上するため、ベーパーチャンバの用途に応じて、ベーパーチャンバの内部構成を適宜変更できる。 According to the second embodiment described above, the design freedom of the first wick structure part and the second wick structure part that constitute the wick structure is improved, so that the internal configuration of the vapor chamber can be appropriately changed depending on the application of the vapor chamber.

なお、上記では、図6~7に示すように、2つの第1ウィック構造部35を備えるウィック構造体30aについて示したが、ウィック構造体30aは複数の第1ウィック構造部35を備えればよく、例えばウィック構造体30aは3つの第1ウィック構造部35を備えてもよい。 In the above, as shown in Figures 6 and 7, a wick structure 30a having two first wick structure parts 35 is shown, but the wick structure 30a may have multiple first wick structure parts 35, for example, the wick structure 30a may have three first wick structure parts 35.

また、図9に示すように、1つの第1ウィック構造部35および1つの第2ウィック構造部36を備えるウィック構造体30aについて示したが、ウィック構造体30aは1つ以上の第1ウィック構造部35および1つ以上の第2ウィック構造部36を備えればよく、例えばウィック構造体30aは2つの第1ウィック構造部35および2つの第2ウィック構造部36を備えてもよい。このとき、第1ウィック構造部35と第2ウィック構造部36とが交互に重なり合ってもよいし、連続して重なり合う2つの第1ウィック構造部35と連続して重なり合う2つの第2ウィック構造部36とが重なり合ってもよい。 As shown in FIG. 9, the wick structure 30a has one first wick structure 35 and one second wick structure 36. However, the wick structure 30a may have one or more first wick structure 35 and one or more second wick structure 36. For example, the wick structure 30a may have two first wick structure 35 and two second wick structure 36. In this case, the first wick structure 35 and the second wick structure 36 may overlap each other alternately, or two consecutively overlapping first wick structure 35 and two consecutively overlapping second wick structure 36 may overlap each other.

以上、実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本開示の概念および特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含み、本開示の範囲内で種々に改変することができる。 Although the embodiments have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, but includes all aspects included in the concept and claims of this disclosure, and can be modified in various ways within the scope of this disclosure.

1、2 ベーパーチャンバ
10 第1金属板
11 第1板部
11a 第1板部の内面
12 第1周縁壁部
13 第1突起部
20 第2金属板
20a 第2金属板の内面
20b 第2金属板の外面
30、30a ウィック構造体
31 ウィック部
35 第1ウィック構造部
36 第2ウィック構造部
40 被冷却部材
41 放熱フィン
50 蒸発部
51 凝縮部
L ベーパーチャンバの厚さ方向
S 内部空間
F(L) 液相の作動流体の流れ
F(G) 気相の作動流体の流れ
Reference Signs List 1, 2 Vapor chamber 10 First metal plate 11 First plate portion 11a Inner surface of first plate portion 12 First peripheral wall portion 13 First protrusion portion 20 Second metal plate 20a Inner surface of second metal plate 20b Outer surface of second metal plate 30, 30a Wick structure 31 Wick portion 35 First wick structural portion 36 Second wick structural portion 40 Member to be cooled 41 Heat dissipation fin 50 Evaporation portion 51 Condenser portion L Thickness direction of vapor chamber S Internal space F(L) Flow of liquid phase working fluid F(G) Flow of gas phase working fluid

Claims (10)

第1金属板と第2金属板との間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、
前記内部空間に配置され、前記第1金属板と前記第2金属板とが近づく方向の圧縮変位に基づく、前記第1金属板と前記第2金属板とが離れる方向に働く反力で、前記第1金属板と前記第2金属板とに接触するウィック構造体を備え
前記ウィック構造体は、前記ベーパーチャンバの厚さ方向に垂直な方向に亘って間隔を空けて設けられる複数のウィック部から構成されることを特徴とするベーパーチャンバ。
A vapor chamber having a working fluid in an internal space formed between a first metal plate and a second metal plate,
a wick structure that is disposed in the internal space and that contacts the first metal plate and the second metal plate with a reaction force acting in a direction in which the first metal plate and the second metal plate move away from each other based on a compressive displacement in a direction in which the first metal plate and the second metal plate approach each other ;
A vapor chamber characterized in that the wick structure is composed of a plurality of wick portions spaced apart in a direction perpendicular to the thickness direction of the vapor chamber .
前記ウィック構造体は、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成される、請求項1に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber of claim 1, wherein the wick structure is composed of at least one selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge. 前記ウィック構造体は、銅系材料の丸編組線から構成される、請求項1または2に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber of claim 1 or 2, wherein the wick structure is made of a round braided wire of a copper-based material. 前記ウィック構造体は、前記ベーパーチャンバの厚さ方向に沿って重なり合う複数の第1ウィック構造部を有し、前記第1ウィック構造部は、前記複のウィック部から構成される、請求項1に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber of claim 1 , wherein the wick structure has a plurality of first wick structure portions overlapping along a thickness direction of the vapor chamber, and the first wick structure portion is composed of the plurality of wick portions . 前記ウィック構造体は、前記ベーパーチャンバの厚さ方向に沿って重なり合う1つ以上の第1ウィック構造部と1つ以上の第2ウィック構造部とを有し、前記第1ウィック構造部は、前記複数のウィック部から構成される、請求項1に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber of claim 1, wherein the wick structure has one or more first wick structure parts and one or more second wick structure parts that overlap along the thickness direction of the vapor chamber, and the first wick structure part is composed of the multiple wick parts. 前記第2ウィック構造部は、焼結体、メッシュシートおよび繊維シートよりなる群から選択される少なくとも1種から構成される、請求項5に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to claim 5, wherein the second wick structure is composed of at least one material selected from the group consisting of a sintered body, a mesh sheet, and a fiber sheet. 前記第1ウィック構造部は、編組線、撚線および金属スポンジよりなる群から選択される少なくとも1種から構成される、請求項4~6のいずれか1項に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to any one of claims 4 to 6, wherein the first wick structure is composed of at least one selected from the group consisting of braided wire, twisted wire, and metal sponge. 前記第1ウィック構造部は、銅系材料の丸編組線から構成される、請求項4~7のいずれか1項に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to any one of claims 4 to 7, wherein the first wick structure is made of a round braided wire made of a copper-based material. 前記第1金属板および前記第2金属板は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金およびステンレス鋼よりなる群から選択されるいずれかから構成される、請求項1~8のいずれか1項に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to any one of claims 1 to 8, wherein the first metal plate and the second metal plate are made of any one selected from the group consisting of aluminum, an aluminum alloy, copper, a copper alloy, and stainless steel. 前記作動流体はシス-1-クロロ-3,3,3-トリフルオロプロペンである、請求項1~9のいずれか1項に記載のベーパーチャンバ。
The vapor chamber according to any one of claims 1 to 9, wherein the working fluid is cis-1-chloro-3,3,3-trifluoropropene.
JP2020155972A 2020-09-17 2020-09-17 Vapor Chamber Active JP7495310B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020155972A JP7495310B2 (en) 2020-09-17 2020-09-17 Vapor Chamber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020155972A JP7495310B2 (en) 2020-09-17 2020-09-17 Vapor Chamber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022049768A JP2022049768A (en) 2022-03-30
JP7495310B2 true JP7495310B2 (en) 2024-06-04

Family

ID=80854081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020155972A Active JP7495310B2 (en) 2020-09-17 2020-09-17 Vapor Chamber

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7495310B2 (en)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003046045A (en) 2001-07-26 2003-02-14 Tokai Rubber Ind Ltd Heat-transfer sheet
JP2006300395A (en) 2005-04-19 2006-11-02 Fujikura Ltd Heat pipe
WO2010073525A1 (en) 2008-12-24 2010-07-01 ソニー株式会社 Thermal transport device producing method and thermal transport device
JP2013002641A (en) 2011-06-10 2013-01-07 Fujikura Ltd Flat heat pipe and method of manufacturing the same
JP2015075312A (en) 2013-10-11 2015-04-20 株式会社日立製作所 Phase change module and electronic equipment device mounted with the same
JP2018091512A (en) 2016-11-30 2018-06-14 古河電気工業株式会社 Vapor chamber
WO2019060792A1 (en) 2017-09-22 2019-03-28 Honeywell International Inc. Heat pipes, methods for transferring heat using heat pipes, and heat transfer fluids for use in heat pipes

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003046045A (en) 2001-07-26 2003-02-14 Tokai Rubber Ind Ltd Heat-transfer sheet
JP2006300395A (en) 2005-04-19 2006-11-02 Fujikura Ltd Heat pipe
WO2010073525A1 (en) 2008-12-24 2010-07-01 ソニー株式会社 Thermal transport device producing method and thermal transport device
JP2013002641A (en) 2011-06-10 2013-01-07 Fujikura Ltd Flat heat pipe and method of manufacturing the same
JP2015075312A (en) 2013-10-11 2015-04-20 株式会社日立製作所 Phase change module and electronic equipment device mounted with the same
JP2018091512A (en) 2016-11-30 2018-06-14 古河電気工業株式会社 Vapor chamber
WO2019060792A1 (en) 2017-09-22 2019-03-28 Honeywell International Inc. Heat pipes, methods for transferring heat using heat pipes, and heat transfer fluids for use in heat pipes
JP2020534504A (en) 2017-09-22 2020-11-26 ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッドHoneywell International Inc. Heat pipes, methods of transferring heat using heat pipes, and heat transfer fluids for use in heat pipes

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022049768A (en) 2022-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112119277A (en) Heat conduction through hinges via flexible vapor chambers
JP6122907B2 (en) Multi-layer inclined coil spring
US10966351B2 (en) Heat pipe and vapor chamber heat dissipation
US11415373B2 (en) Heat pipe
US20200149823A1 (en) Heat pipe
US6608752B2 (en) Adaptive heat sink for electronics applications
JP2013174376A (en) Sheet-shaped heat pipe and electronic apparatus having sheet-shaped heat pipe
JP7354351B2 (en) vapor chamber
US20090193804A1 (en) Heat exchanger and stirling engine
KR20140103895A (en) Fin-tube type heat exchanger
TW201930811A (en) Heat pipe
JP7495310B2 (en) Vapor Chamber
JP2006284020A (en) Heat pipe
JP4508939B2 (en) Electronic heating element cooling device
WO2021090840A1 (en) Vapor chamber
US11313627B2 (en) Heat pipe
US10551133B2 (en) Reinforced heat-transfer device, heat-transfer system, and method of reinforcing a heat-transfer device
US20230309265A1 (en) Flexible thermal system
US20220082333A1 (en) Heat pipe
TWI821783B (en) Thermal guide plate and radiator
CN110382990A (en) Heat exchanger
US20230375278A1 (en) Heat pipe
TWI692610B (en) Heat conducting structure, manufacturing method thereof, and mobile device
TWI832194B (en) steam room
JP2010002128A (en) Heat transport device and electronic equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230523

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20231228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240109

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240301

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240507

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240523

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7495310

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150