JP7488791B2 - 熱処理炉 - Google Patents
熱処理炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7488791B2 JP7488791B2 JP2021087119A JP2021087119A JP7488791B2 JP 7488791 B2 JP7488791 B2 JP 7488791B2 JP 2021087119 A JP2021087119 A JP 2021087119A JP 2021087119 A JP2021087119 A JP 2021087119A JP 7488791 B2 JP7488791 B2 JP 7488791B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air supply
- heat treatment
- air
- amount
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 138
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 34
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 198
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 61
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007773 negative electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000007774 positive electrode material Substances 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/30—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B9/3005—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types arrangements for circulating gases
- F27B9/3011—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types arrangements for circulating gases arrangements for circulating gases transversally
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
- F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
- F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace being carried by a conveyor
- F27B9/2407—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace being carried by a conveyor the conveyor being constituted by rollers (roller hearth furnace)
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/30—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B9/3005—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types arrangements for circulating gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/30—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B9/40—Arrangements of controlling or monitoring devices
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
- F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
- F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
- F27D2007/063—Special atmospheres, e.g. high pressure atmospheres
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
図面を参照して、本実施例に係る熱処理炉10について説明する。図1~図3に示すように、熱処理炉10は、熱処理部12と、搬送装置30と、複数の給気装置40と、制御装置60を備えている。熱処理炉10は、搬送装置30によって被処理物2が熱処理部12内を搬送される間に、被処理物2を熱処理する。
上記の実施例1では、各分岐流路45a~45eに調整弁46a~46eが設置されていたが、このような構成に限定されない。例えば、図5に示すように、同一の給気装置140、240(被処理物2の搬送方向に対して直交する同一の直交面に沿って配置される給気装置140、240)が備える給気口148、248は、同一の調整弁146、246によって給気量が調整されてもよい。なお、本実施例では、給気装置140、240の構成が、実施例1の給気装置40の構成と相違しており、その他の構成は略一致している。そこで、実施例1の熱処理炉10と同一の構成については、その説明を省略する。また、本実施例では、被処理物2が、上下方向に2つ重ねられると共に、搬送方向と直交する方向に6つ並んだ状態で搬送ローラ32上に載置された場合を例にして、給気装置40の構成について説明する。
上記の実施例1及び2では、同一の給気装置40、140、240に設けられる複数の給気口48、148、248から供給される雰囲気ガスの流量は同時に変化していたが、このような構成に限定されない。例えば、制御装置60は、同一の給気装置40に設けられる複数の給気口48から供給される雰囲気ガスの流量が、異なるタイミングで変化するように各調整弁46を制御してもよい。
上記の実施例3では、同一の給気装置40に設けられる複数の給気口48から供給される雰囲気ガスの流量が、異なるタイミングで変化するように各調整弁46が制御されていたが、このような構成に限定されない。例えば、制御装置60は、被処理物2の搬送方向(X方向)に間隔を空けて隣接して配置される給気装置40において、供給される雰囲気ガスの流量が、異なるタイミングで変化するように各調整弁46が制御してもよい。
上記の実施例1~4では、第1の状態と第2の状態は、同じ長さ(時間)であったが、このような構成に限定されない。例えば、雰囲気ガスを供給する第1の状態の長さは、雰囲気ガスの供給を停止する(又は、雰囲気ガスの供給量が第1の状態より少ない)第2の状態より短くてもよいし、第2の状態より長くてもよい。
上記の実施例1~5では、雰囲気ガスを上下方向に供給するように給気口48、148、248が設置されていたが、このような構成に限定されない。例えば、図8に示すように、被処理物2の側方から雰囲気ガスを供給する給気装置340が設けられていてもよい。この場合にも、給気装置340の給気口は、被処理物2が搬送ローラ32上に載置されたときに、上下方向に並んだ被処理物2の間に位置するように設けられる。なお、本実施例では、被処理物2の上下方向(図8では下方のみ)から雰囲気ガスを供給する給気装置40と、被処理物2の側方から雰囲気ガスを供給する給気装置340の両方が設置されているが、このような構成に限定されない。被処理物2の上下方向から雰囲気ガスを供給する給気装置40、140、240、340を設置せずに、被処理物2の側方から雰囲気ガスを供給する給気装置340のみが設置されていてもよい。
10、110、210:熱処理炉
12:熱処理部
14:天井壁
16:底壁
18:側壁
20:開口
22:隔壁
24:空間
26:ヒータ
30:搬送装置
32:搬送ローラ
34:駆動装置
40、140、240、340:給気装置
42:ガス供給源
44、144、244:給気流路
45:分岐流路
46、146、246:調整弁
48、148、248:給気口
60:制御装置
Claims (5)
- 被処理物を熱処理する熱処理部と、
前記熱処理部内に配置され、前記熱処理部の一端から他端まで前記被処理物を搬送する搬送装置と、
前記熱処理部内に配置され、前記熱処理部内の温度を調整するヒータと、
前記熱処理部内に雰囲気ガスを給気する給気口を有する給気流路と、
前記給気流路に設けられ、前記給気口から給気する前記雰囲気ガスの給気量を調整する調整弁と、
前記被処理物が前記熱処理部の一端から他端まで搬送されるまでの間に前記給気口からの給気量が周期的に変化するように前記調整弁を制御する制御装置と、
を備え、
前記被処理物の搬送方向に対して直交する直交面に沿って配置された複数の前記給気口を備える給気装置を複数備えており、
前記複数の給気装置は、前記搬送方向に間隔を空けて配置されており、
前記給気口からの給気量は、第1の給気量と、前記第1の給気量より少ない第2の給気量を交互に繰り返して切り替えられ、
前記制御装置は、前記給気装置毎に、当該給気装置の前記複数の給気口からの給気量が同時に変化するように前記調整弁を制御する、熱処理炉。 - 被処理物を熱処理する熱処理部と、
前記熱処理部内に配置され、前記熱処理部の一端から他端まで前記被処理物を搬送する搬送装置と、
前記熱処理部内に配置され、前記熱処理部内の温度を調整するヒータと、
前記熱処理部内に雰囲気ガスを給気する給気口を有する給気流路と、
前記給気流路に設けられ、前記給気口から給気する前記雰囲気ガスの給気量を調整する調整弁と、
前記被処理物が前記熱処理部の一端から他端まで搬送されるまでの間に前記給気口からの給気量が周期的に変化するように前記調整弁を制御する制御装置と、
を備え、
前記被処理物の搬送方向に対して直交する直交面に沿って配置された複数の前記給気口を備える給気装置を複数備えており、
前記複数の給気装置は、前記搬送方向に間隔を空けて配置されており、
前記給気口からの給気量は、第1の給気量と、前記第1の給気量より少ない第2の給気量を交互に繰り返して切り替えられ、
前記制御装置は、前記給気装置毎に、当該給気装置の前記複数の給気口のうちの1の給気口からの給気量が前記第1の給気量であるとき、前記1の給気口と隣接する給気口からの給気量は前記第2の給気量となり、前記隣接する給気口からの給気量が前記第1の給気量であるとき、前記1の給気口からの給気量は前記第2の給気量となるように、前記調整弁を制御する、熱処理炉。 - 被処理物を熱処理する熱処理部と、
前記熱処理部内に配置され、前記熱処理部の一端から他端まで前記被処理物を搬送する搬送装置と、
前記熱処理部内に配置され、前記熱処理部内の温度を調整するヒータと、
前記熱処理部内に雰囲気ガスを給気する給気口を有する給気流路と、
前記給気流路に設けられ、前記給気口から給気する前記雰囲気ガスの給気量を調整する調整弁と、
前記被処理物が前記熱処理部の一端から他端まで搬送されるまでの間に前記給気口からの給気量が周期的に変化するように前記調整弁を制御する制御装置と、
を備え、
前記被処理物の搬送方向に対して直交する直交面に沿って配置された複数の前記給気口を備える給気装置を複数備えており、
前記複数の給気装置は、前記搬送方向に間隔を空けて配置されており、
前記搬送方向に沿って見たときに、前記給気口は、隣接する給気装置の給気口とは異なる位置に設置されており、
前記給気口からの給気量は、第1の給気量と、前記第1の給気量より少ない第2の給気量を交互に繰り返して切り替えられ、
前記制御装置は、前記給気装置毎に、当該給気装置の前記複数の給気口からの給気量が同時に変化するように調整弁を制御しており、
前記制御装置は、前記複数の給気装置のうちの1の給気装置の複数の給気口からの給気量が前記第1の給気量であるとき、前記1の給気装置と隣接する給気装置の複数の給気口からの給気量は前記第2の給気量となり、前記隣接する給気装置の複数の給気口からの給気量が前記第1の給気量であるとき、前記1の給気装置の複数の給気口からの給気量は前記第2の給気量となるように、前記調整弁を制御する、熱処理炉。 - 前記給気装置の複数の給気口は、同一の調整弁によって給気量が調整されている、請求項1又は3に記載の熱処理炉。
- 前記制御装置は、1の被処理物が前記給気口が設置される前記直交面を通過する間に、当該給気口から前記第1の給気量で少なくとも1回給気するように前記調整弁を制御する、請求項1~4のいずれか一項に記載の熱処理炉。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021087119A JP7488791B2 (ja) | 2021-05-24 | 2021-05-24 | 熱処理炉 |
CN202111439676.7A CN115388646A (zh) | 2021-05-24 | 2021-11-30 | 热处理炉 |
EP21211297.3A EP4095469A1 (en) | 2021-05-24 | 2021-11-30 | Heat treatment furnace |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021087119A JP7488791B2 (ja) | 2021-05-24 | 2021-05-24 | 熱処理炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022180169A JP2022180169A (ja) | 2022-12-06 |
JP7488791B2 true JP7488791B2 (ja) | 2024-05-22 |
Family
ID=78819870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021087119A Active JP7488791B2 (ja) | 2021-05-24 | 2021-05-24 | 熱処理炉 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP4095469A1 (ja) |
JP (1) | JP7488791B2 (ja) |
CN (1) | CN115388646A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001340958A (ja) | 2000-05-30 | 2001-12-11 | Oak Nippon Co Ltd | 金属製ワークピースのコンベクション式ろう付け方法およびその装置 |
JP2009088473A (ja) | 2007-09-12 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP2020535371A (ja) | 2017-09-13 | 2020-12-03 | ウォンチュン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 材料を熱的又は熱化学的に処理する装置及び方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5049093B2 (ja) | 2007-10-22 | 2012-10-17 | 日本碍子株式会社 | ローラハースキルン |
-
2021
- 2021-05-24 JP JP2021087119A patent/JP7488791B2/ja active Active
- 2021-11-30 EP EP21211297.3A patent/EP4095469A1/en active Pending
- 2021-11-30 CN CN202111439676.7A patent/CN115388646A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001340958A (ja) | 2000-05-30 | 2001-12-11 | Oak Nippon Co Ltd | 金属製ワークピースのコンベクション式ろう付け方法およびその装置 |
JP2009088473A (ja) | 2007-09-12 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP2020535371A (ja) | 2017-09-13 | 2020-12-03 | ウォンチュン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 材料を熱的又は熱化学的に処理する装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022180169A (ja) | 2022-12-06 |
CN115388646A (zh) | 2022-11-25 |
EP4095469A1 (en) | 2022-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2020535371A (ja) | 材料を熱的又は熱化学的に処理する装置及び方法 | |
US1949716A (en) | Method of and apparatus for heattreating | |
JP2012225620A (ja) | 熱処理装置 | |
US3809544A (en) | Method and apparatus for heating,annealing,tempering,decorating and handling glassware | |
JP7488791B2 (ja) | 熱処理炉 | |
KR20180111544A (ko) | 열처리로 | |
CA1151877A (en) | Combustion air flow control for regenerators | |
SK282815B6 (sk) | Spôsob sušenia alebo pálenia tehlových polotovarov a zariadenie na vykonávanie tohto spôsobu | |
US3261596A (en) | Annealing and decorating lehrs | |
TWI839439B (zh) | 熱處理爐 | |
JP5437585B2 (ja) | 連続焼戻し炉 | |
JP5468318B2 (ja) | 熱処理炉 | |
JP2008241076A (ja) | 加熱方法及び間欠送り式トンネル炉、バッチ炉 | |
JP5225634B2 (ja) | 熱処理方法及び熱処理設備 | |
JP3845841B2 (ja) | 連続熱処理炉 | |
JP2003077398A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそのための炉設備 | |
JP2000028268A (ja) | 窯炉の熱交換システム及び熱交換方法 | |
JP2020003095A (ja) | 熱処理炉 | |
US6328558B1 (en) | Purge chamber | |
KR102011146B1 (ko) | 에피택셜 웨이퍼 제조장치 | |
JP6105992B2 (ja) | 連続浸炭炉 | |
JPS6263421A (ja) | 半導体ウエ−ハ熱処理装置 | |
JPS61235552A (ja) | 連続浸炭炉の浸炭深さ切替え装置 | |
JP2008512633A (ja) | スロットエダクタをもつ熱処理システム | |
JP2021148356A (ja) | クリーンオーブン |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240510 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7488791 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |