JP7446499B2 - Component mounting machine - Google Patents

Component mounting machine Download PDF

Info

Publication number
JP7446499B2
JP7446499B2 JP2023012788A JP2023012788A JP7446499B2 JP 7446499 B2 JP7446499 B2 JP 7446499B2 JP 2023012788 A JP2023012788 A JP 2023012788A JP 2023012788 A JP2023012788 A JP 2023012788A JP 7446499 B2 JP7446499 B2 JP 7446499B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
component
nozzle
axis
head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2023012788A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2023041803A (en
Inventor
豊 水谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP2023012788A priority Critical patent/JP7446499B2/en
Publication of JP2023041803A publication Critical patent/JP2023041803A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7446499B2 publication Critical patent/JP7446499B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本明細書は、部品実装機について開示する。 This specification discloses a component mounting machine.

従来より、複数の吸着ノズルを有する実装ヘッドを備え、複数の吸着ノズルで複数の部品を同時吸着する部品実装機が知られている。例えば、特許文献1には、実装ヘッドが有する複数の吸着ノズルについて、それぞれの部品保持中心を中心としてその周囲に部品保持可能範囲を設定し、複数の吸着ノズルによる複数の部品取り出し位置からの同時的な部品の取り出しを行なう場合に、それぞれの部品保持可能範囲の中に、それぞれの部品取り出し位置が入るように位置合わせする部品実装機が開示されている。この部品実装機は、複数の吸着ノズルについて、それぞれの仮想的な部品保持可能範囲の重複範囲の重心とそれぞれの部品保持中心との位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量をヘッド部の移動位置の補正量とする。また、部品実装機は、過去に取り出した部品の保持位置の部品保持中心に対する位置ずれ量を検出し、検出した位置ずれ量に、0.1から1の範囲の係数を掛けて補正し、その補正値に基づいて次回の部品保持目標中心を設定する。 2. Description of the Related Art Conventionally, component mounting machines have been known which include a mounting head having a plurality of suction nozzles and which simultaneously suction a plurality of components with the plurality of suction nozzles. For example, in Patent Document 1, for a plurality of suction nozzles included in a mounting head, a component holding range is set around the center of each component holding center, and a plurality of suction nozzles simultaneously take out components from a plurality of positions. A component mounting machine has been disclosed that aligns each component to be taken out so that each component is taken out within the respective component holding range when a component is to be taken out. This component mounter calculates the amount of positional deviation between the center of gravity of the overlapping range of the virtual component holding range of multiple suction nozzles and the respective component holding center, and uses the calculated positional deviation amount of the head section. This is the amount of correction for the movement position. In addition, the component mounter detects the amount of positional deviation of the holding position of the previously taken out component with respect to the component holding center, and corrects the detected positional deviation by multiplying it by a coefficient in the range of 0.1 to 1. The next target part holding center is set based on the correction value.

特開2004-356376号公報Japanese Patent Application Publication No. 2004-356376

しかしながら、上述した部品実装機は、位置ずれ量の補正が安定していない間も複数の部品の同時吸着が実行されるため、十分な精度が得られず、吸着エラーが生じるおそれがある。 However, in the above-mentioned component mounting machine, simultaneous suction of a plurality of components is executed even while the correction of the amount of positional deviation is not stable, so that sufficient accuracy may not be obtained and a suction error may occur.

本開示は、複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる同時吸着動作を精度良く行なうことを主目的とする。 The main objective of the present disclosure is to accurately perform a simultaneous suction operation in which a plurality of parts are simultaneously suctioned by a plurality of nozzles.

本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。 The present disclosure has taken the following measures to achieve the above-mentioned main objective.

本開示は、部品供給部に配列された複数のパーツフィーダから供給される部品を吸着して基板に実装する部品実装機であって、前記部品を吸着可能なノズルを複数有するヘッドと、複数の前記ノズルを個別に昇降可能な昇降装置と、前記ノズルの昇降方向に直交する面に沿って前記基板に対して前記ヘッドを相対移動させる移動装置と、前記ノズルに部品を吸着させる吸着動作として、前記部品供給部の上方で一つの前記ノズルが下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該一つのノズルに前記部品を吸着させる第1吸着動作と、前記部品供給部の上方で複数の前記ノズルが同時的に下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる第2吸着動作とを実行可能であり、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は前記複数のノズルのそれぞれで前記第1吸着動作を実行すると共に前記第1吸着動作において前記複数のノズルのそれぞれで吸着された部品の吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は前記学習した補正値を用いて前記第2吸着動作を実行する制御装置と、を備えることを要旨とする。 The present disclosure is a component mounting machine that sucks components supplied from a plurality of parts feeders arranged in a component supply section and mounts them on a board, the component mounting machine including a head having a plurality of nozzles capable of sucking the components, and a plurality of parts feeders arranged in a component supply section. A lifting device that can lift and lower the nozzles individually; a moving device that moves the head relative to the substrate along a plane perpendicular to the lifting direction of the nozzles; and a suction operation that sucks parts to the nozzles. a first suction operation in which the one nozzle is sucked to the one nozzle by controlling the moving device and the lifting device so that one nozzle is lowered above the component supply portion; A second suction operation in which a plurality of parts are simultaneously suctioned by the plurality of nozzles by controlling the moving device and the lifting device so that the plurality of nozzles descend simultaneously, and When repeatedly performing a suction operation and a mounting operation on a component, first, the first suction operation is performed with each of the plurality of nozzles, and the parts suctioned with each of the plurality of nozzles in the first suction operation are A control device that learns a correction value for correcting a deviation in the suction position of the device, and executes the second suction operation using the learned correction value after a predetermined condition is satisfied. .

この本開示の部品実装機では、ノズルに部品を吸着させる吸着動作として、第1吸着動作と、第2吸着動作(同時吸着動作)とを実行可能な制御装置を備える。第1吸着動作は、部品供給部の上方で一つのノズルを下降させて当該一つのノズルに部品を吸着させる。第2吸着動作は、部品供給部の上方で複数のノズルを同時的に下降させて当該複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる。制御装置は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は複数のノズルのそれぞれで第1吸着動作を実行すると共に第1吸着動作において複数のノズルのそれぞれで吸着された部品の吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は学習した補正値を用いて第2吸着動作を実行する。このように、本開示の部品実装機は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返す場合、複数のノズルのそれぞれで第1吸着動作を実行して吸着位置のずれを補正するための補正値を学習してから第2吸着動作へ移行する。これにより、本開示の部品実装機は、複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる同時吸着動作を精度良く行なうことができる。ここで、「直交」は、厳密に直交でなくても、概ね直交であればよい(以下、同じ)。 The component mounting machine according to the present disclosure includes a control device that can perform a first suction operation and a second suction operation (simultaneous suction operation) as suction operations for sucking components onto a nozzle. In the first suction operation, one nozzle is lowered above the component supply section to cause the one nozzle to suction the component. In the second suction operation, a plurality of nozzles are simultaneously lowered above the component supply section, and a plurality of components are simultaneously suctioned by the plurality of nozzles. When repeatedly performing a suction operation and a mounting operation for the same type of component, the control device first executes a first suction operation with each of the plurality of nozzles, and also performs a first suction operation with each of the plurality of nozzles in the first suction operation. The second suction operation is performed using the learned correction value after a predetermined condition is satisfied. As described above, when the component mounter of the present disclosure repeats the suction operation and the mounting operation for the same type of component, the component mounter performs the first suction operation with each of the plurality of nozzles to correct the deviation of the suction position. After learning the correction value, the second suction operation is started. Thereby, the component mounter of the present disclosure can accurately perform a simultaneous suction operation in which a plurality of components are simultaneously suctioned by a plurality of nozzles. Here, "orthogonal" does not have to be strictly orthogonal, but may be approximately orthogonal (the same applies hereinafter).

部品実装システム1の構成の概略を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of a component mounting system 1. FIG. 実装ヘッド40の構成の概略を示す構成図である。4 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of a mounting head 40. FIG. ノズルホルダ42の配列と第1Z軸駆動装置70および第2Z軸駆動装置75の配置を説明する説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating the arrangement of nozzle holders 42 and the arrangement of a first Z-axis drive device 70 and a second Z-axis drive device 75. FIG. エア配管経路を説明する説明図である。It is an explanatory view explaining an air piping route. 圧力供給装置80の構成の概略を示す構成図である。2 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of a pressure supply device 80. FIG. 制御装置90および管理装置100の電気的な接続関係を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an electrical connection relationship between a control device 90 and a management device 100. ヘッド装着時処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。7 is a flowchart illustrating an example of a head mounting processing routine. 実装制御ルーチンの一例を示すフローチャートである。3 is a flowchart illustrating an example of a mounting control routine. 単吸着処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。3 is a flowchart illustrating an example of a single adsorption processing routine. 同時吸着処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。3 is a flowchart illustrating an example of a simultaneous adsorption processing routine.

次に、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。 Next, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、部品実装システム1の構成の概略を示す構成図である。図2は、実装ヘッド40の構成の概略を示す構成図である。図3は、ノズルホルダ42の配列と第1Z軸駆動装置70および第2Z軸駆動装置75の配置を説明する説明図である。図4は、エア配管経路を説明する説明図である。図5は、圧力供給装置80の構成の概略を示す構成図である。図6は、制御装置90および管理装置100の電気的な接続関係を示す説明図である。なお、図1の左右方向がX軸方向であり、前(手前)後(奥)方向がX軸方向と概ね直交するY軸方向であり、上下方向がX軸方向およびY軸方向(水平面)に概ね直交するZ軸方向である。 FIG. 1 is a block diagram schematically showing the structure of a component mounting system 1. As shown in FIG. FIG. 2 is a block diagram schematically showing the structure of the mounting head 40. As shown in FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating the arrangement of the nozzle holders 42 and the arrangement of the first Z-axis drive device 70 and the second Z-axis drive device 75. FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating the air piping route. FIG. 5 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of the pressure supply device 80. FIG. 6 is an explanatory diagram showing the electrical connection relationship between the control device 90 and the management device 100. In addition, the left-right direction in FIG. 1 is the X-axis direction, the front (front) and rear (rear) directions are the Y-axis direction, which is approximately perpendicular to the X-axis direction, and the vertical direction is the X-axis direction and the Y-axis direction (horizontal plane). This is the Z-axis direction which is approximately perpendicular to .

部品実装システム1は、図1に示すように、部品実装機10と、システム全体をコントロールする管理装置100と、を備える。部品実装システム1は、実施形態では、複数台の部品実装機10を備える。 As shown in FIG. 1, the component mounting system 1 includes a component mounting machine 10 and a management device 100 that controls the entire system. The component mounting system 1 includes a plurality of component mounting machines 10 in the embodiment.

部品実装機10は、図1に示すように、筐体12と、部品供給部22と、基板搬送装置24と、XYロボット30と、実装ヘッド40と、制御装置90(図6参照)と、を備える。また、部品実装機10は、これらの他に、パーツカメラ26やマークカメラ28、ノズルステーション29なども備えている。なお、パーツカメラ26は、部品供給部22と基板搬送装置24との間に設けられ、実装ヘッド40の吸着ノズル44に吸着された部品Pの姿勢を下方から撮像するためのものである。また、マークカメラ28は、実装ヘッド
40に設けられ、基板Sに付された位置決め基準マークを上方から撮像して読み取るためのものである。ノズルステーション29は、部品供給部22と基板搬送装置24との間に設けられ、実装ヘッド40のノズルホルダ42に装着する吸着ノズル44をストックするためのものである。
As shown in FIG. 1, the component mounting machine 10 includes a housing 12, a component supply section 22, a board transfer device 24, an XY robot 30, a mounting head 40, a control device 90 (see FIG. 6), Equipped with. In addition to these, the component mounting machine 10 also includes a parts camera 26, a mark camera 28, a nozzle station 29, and the like. Note that the parts camera 26 is provided between the component supply section 22 and the substrate transport device 24, and is used to image the posture of the component P sucked by the suction nozzle 44 of the mounting head 40 from below. Further, the mark camera 28 is provided on the mounting head 40 and is used to image and read the positioning reference mark attached to the substrate S from above. The nozzle station 29 is provided between the component supply section 22 and the substrate transport device 24, and is used to stock suction nozzles 44 to be attached to the nozzle holder 42 of the mounting head 40.

部品供給部22は、図1に示すように、部品実装機10の前部に設けられ、X軸方向(左右方向)に沿って複数のテープフィーダ23が配列される。なお、テープフィーダ23は、部品Pが並ぶテープTを収容したリールを備え、リールからテープTを引き出して後方(Y軸方向)へ送り出すことにより部品Pを部品供給位置まで供給するものである。テープTは、長手方向に所定の間隔で形成された複数の凹部を有する。複数の凹部には、それぞれ同一種類の部品Pが収容されている。凹部に収容された部品Pは、テープTの表面を覆うフィルムによって保護されており、部品供給位置の手前でフィルムが剥がされて露出し、部品供給位置にて吸着ノズル44により吸着される。 As shown in FIG. 1, the component supply section 22 is provided at the front of the component mounting machine 10, and a plurality of tape feeders 23 are arranged along the X-axis direction (left-right direction). The tape feeder 23 includes a reel containing a tape T on which parts P are lined up, and feeds the parts P to the parts supply position by pulling out the tape T from the reel and feeding it backward (in the Y-axis direction). The tape T has a plurality of recesses formed at predetermined intervals in the longitudinal direction. Each of the plurality of recesses accommodates the same type of component P. The component P accommodated in the recess is protected by a film covering the surface of the tape T, and the film is peeled off and exposed before the component supply position, and is sucked by the suction nozzle 44 at the component supply position.

基板搬送装置24は、図1の前後に間隔を開けて設けられX軸方向(左右方向)に架け渡された1対のコンベアベルトを有している。基板Sは、基板搬送装置24のコンベアベルトにより図中左から右へと搬送される。 The substrate conveyance device 24 includes a pair of conveyor belts that are spaced apart from each other in the front and back of FIG. 1 and spanned in the X-axis direction (horizontal direction). The substrate S is conveyed by a conveyor belt of the substrate conveyance device 24 from left to right in the figure.

XYロボット30は、実装ヘッド40をXY軸方向(前後左右の方向)に移動させるものであり、図1に示すように、X軸スライダ32と、Y軸スライダ34と、を備える。X軸スライダ32は、Y軸スライダ34の前面にX軸方向(左右方向)に延在するように設けられた上下一対のX軸ガイドレール31に支持され、X軸モータ36(図6参照)の駆動によってX軸方向に移動可能である。Y軸スライダ34は、筐体12の上段部にY軸方向(前後方向)に延在するように設けられた左右一対のY軸ガイドレール33に支持され、Y軸モータ38(図6参照)の駆動によってY軸方向に移動可能である。なお、X軸スライダ32は、X軸位置センサ37(図6参照)によりX軸方向の位置が検知され、Y軸スライダ34は、Y軸位置センサ39(図6参照)によりY軸方向の位置が検知される。X軸スライダ32には実装ヘッド40が取り付けられている。このため、実装ヘッド40は、XYロボット30(X軸モータ36およびY軸モータ38)を駆動制御することにより、XY平面(水平面)上の任意の位置に移動可能である。 The XY robot 30 moves the mounting head 40 in the XY axis directions (front, rear, left and right directions), and includes an X axis slider 32 and a Y axis slider 34, as shown in FIG. The X-axis slider 32 is supported by a pair of upper and lower X-axis guide rails 31 provided on the front surface of the Y-axis slider 34 so as to extend in the X-axis direction (horizontal direction), and is supported by an X-axis motor 36 (see FIG. 6). It is movable in the X-axis direction by driving. The Y-axis slider 34 is supported by a pair of left and right Y-axis guide rails 33 provided in the upper part of the housing 12 so as to extend in the Y-axis direction (front-back direction), and is supported by a Y-axis motor 38 (see FIG. 6). It can be moved in the Y-axis direction by driving. Note that the position of the X-axis slider 32 in the X-axis direction is detected by an X-axis position sensor 37 (see FIG. 6), and the position of the Y-axis slider 34 is detected in the Y-axis direction by a Y-axis position sensor 39 (see FIG. 6). is detected. A mounting head 40 is attached to the X-axis slider 32. Therefore, the mounting head 40 can be moved to any position on the XY plane (horizontal plane) by driving and controlling the XY robot 30 (X-axis motor 36 and Y-axis motor 38).

実装ヘッド40は、図2に示すように、ヘッド本体41と、複数(実施形態では、8個)のノズルホルダ42と、複数(実施形態では、8個)の吸着ノズル44と、R軸駆動装置50と、Q軸駆動装置60と、第1Z軸駆動装置70と、第2Z軸駆動装置75と、側面カメラ47,48とを備える。実装ヘッド40は、X軸スライダ32に対して着脱可能であり、適宜交換することができる。 As shown in FIG. 2, the mounting head 40 includes a head main body 41, a plurality of (eight in the embodiment) nozzle holders 42, a plurality of (eight in the embodiment) suction nozzles 44, and an R-axis drive. It includes a device 50, a Q-axis drive device 60, a first Z-axis drive device 70, a second Z-axis drive device 75, and side cameras 47 and 48. The mounting head 40 is removable from the X-axis slider 32 and can be replaced as appropriate.

ヘッド本体41は、R軸駆動装置50によって回転可能な回転体である。ノズルホルダ42は、ヘッド本体41に対して円周方向に所定角度間隔(実施形態では、45度間隔)で配列され、且つ、ヘッド本体41に昇降自在に支持されている。ノズルホルダ42の先端部には、吸着ノズル44が装着される。吸着ノズル44は、ノズルホルダ42に対して着脱可能であり、吸着する部品Pの種類に応じてその吸着に適したものに交換される。 The head main body 41 is a rotating body that can be rotated by an R-axis drive device 50. The nozzle holders 42 are arranged at predetermined angular intervals (45 degree intervals in the embodiment) in the circumferential direction with respect to the head body 41, and are supported by the head body 41 so as to be movable up and down. A suction nozzle 44 is attached to the tip of the nozzle holder 42 . The suction nozzle 44 is removable from the nozzle holder 42, and is replaced with one suitable for suction depending on the type of component P to be suctioned.

R軸駆動装置50は、複数のノズルホルダ42(複数の吸着ノズル44)をヘッド本体41の中心軸回りに円周方向に旋回(公転)させるものである。R軸駆動装置50は、図2に示すように、R軸モータ51と、ヘッド本体41の中心軸から軸方向に延出されたR軸52と、R軸モータ51の回転をR軸52に伝達する伝達ギヤ53と、を備える。R軸駆動装置50は、R軸モータ51により伝達ギヤ53を介してR軸52を回転駆動することにより、ヘッド本体41を回転させる。各ノズルホルダ42は、ヘッド本体41の回転によって、吸着ノズル44と一体となって円周方向に旋回(公転)する。また、R軸駆動装置50は、この他に、R軸52の回転位置、即ち各ノズルホルダ42(吸着ノズル44)の旋回位置を検知するためのR軸位置センサ55(図6参照)も備える。 The R-axis drive device 50 rotates (revolutions) the plurality of nozzle holders 42 (the plurality of suction nozzles 44) around the central axis of the head main body 41 in the circumferential direction. As shown in FIG. 2, the R-axis drive device 50 includes an R-axis motor 51, an R-axis 52 extending in the axial direction from the central axis of the head body 41, and a rotation of the R-axis motor 51 to the R-axis 52. A transmission gear 53 for transmitting data is provided. The R-axis drive device 50 rotates the head main body 41 by driving the R-axis motor 51 to rotate the R-axis 52 via the transmission gear 53 . Each nozzle holder 42 rotates (revolutions) in the circumferential direction together with the suction nozzle 44 as the head main body 41 rotates. In addition, the R-axis drive device 50 also includes an R-axis position sensor 55 (see FIG. 6) for detecting the rotational position of the R-axis 52, that is, the rotational position of each nozzle holder 42 (suction nozzle 44). .

Q軸駆動装置60は、各ノズルホルダ42(各吸着ノズル44)をその中心軸回りに回転(自転)させるものである。Q軸駆動装置60は、図2に示すように、Q軸モータ61と、円筒ギヤ62と、伝達ギヤ63と、Q軸ギヤ64と、を備える。円筒ギヤ62は、その内部にR軸52が同軸かつ相対回転可能に挿通され、外周面に平歯の外歯62aが形成されている。伝達ギヤ63は、Q軸モータ61の回転を円筒ギヤ62に伝達するものである。Q軸ギヤ64は、各ノズルホルダ42の上部に設けられ、円筒ギヤ62の外歯62aとZ軸方向(上下方向)にスライド可能に噛み合うものである。Q軸駆動装置60は、Q軸モータ61により伝達ギヤ63を介して円筒ギヤ62を回転駆動することにより、円筒ギヤ62の外歯62aと噛み合う各Q軸ギヤ64を纏めて同方向に回転させることができる。各ノズルホルダ42は、Q軸ギヤ64の回転によって、吸着ノズル44と一体となってその中心軸回りに回転(自転)する。また、Q軸駆動装置60は、この他に、Q軸ギヤ64の回転位置、即ち各ノズルホルダ42(吸着ノズル44)の回転位置を検知するためのQ軸位置センサ65(図6参照)も備える。 The Q-axis drive device 60 rotates (rotates) each nozzle holder 42 (each suction nozzle 44) around its central axis. As shown in FIG. 2, the Q-axis drive device 60 includes a Q-axis motor 61, a cylindrical gear 62, a transmission gear 63, and a Q-axis gear 64. The cylindrical gear 62 has the R shaft 52 coaxially and relatively rotatably inserted into the cylindrical gear 62, and spur external teeth 62a are formed on the outer peripheral surface. The transmission gear 63 transmits the rotation of the Q-axis motor 61 to the cylindrical gear 62. The Q-axis gear 64 is provided at the top of each nozzle holder 42, and meshes with the external teeth 62a of the cylindrical gear 62 so as to be slidable in the Z-axis direction (vertical direction). The Q-axis drive device 60 rotationally drives the cylindrical gear 62 via the transmission gear 63 by the Q-axis motor 61, thereby collectively rotating each Q-axis gear 64 that meshes with the external teeth 62a of the cylindrical gear 62 in the same direction. be able to. Each nozzle holder 42 rotates (rotates) around its central axis together with the suction nozzle 44 by rotation of the Q-axis gear 64. In addition, the Q-axis drive device 60 also includes a Q-axis position sensor 65 (see FIG. 6) for detecting the rotational position of the Q-axis gear 64, that is, the rotational position of each nozzle holder 42 (suction nozzle 44). Be prepared.

第1および第2Z軸駆動装置70,75は、ノズルホルダ42の旋回(公転)軌道上の2箇所においてノズルホルダ42を個別に昇降可能に構成されている。実施形態では、図3に示すように、第1Z軸駆動装置70は、ヘッド本体41に支持されるノズルホルダ42のうち0度の位置(以下、Z1ともいう)にあるノズルホルダ42を昇降可能である。また、第2Z軸駆動装置75は、ヘッド本体41に支持されるノズルホルダ42のうち180度の位置(以下、Z2ともいう)にあるノズルホルダ42を昇降可能である。なお、0度の位置とは、ヘッド本体41の中心軸を通りX軸方向(基板搬送方向)に平行な線上にある2点のうち基板搬送方向上流側の位置であり(図3中、A)、180度の位置は、上記2点のうち基板搬送方向下流側の位置である(図3中、E)。 The first and second Z-axis drive devices 70 and 75 are configured to be able to individually raise and lower the nozzle holder 42 at two locations on the orbit of the nozzle holder 42. In the embodiment, as shown in FIG. 3, the first Z-axis driving device 70 is capable of raising and lowering the nozzle holder 42 at the 0 degree position (hereinafter also referred to as Z1) among the nozzle holders 42 supported by the head main body 41. It is. Further, the second Z-axis driving device 75 can move up and down the nozzle holder 42 supported by the head body 41 at a 180 degree position (hereinafter also referred to as Z2). Note that the 0 degree position is the position on the upstream side in the substrate transport direction of the two points on a line passing through the central axis of the head main body 41 and parallel to the X-axis direction (substrate transport direction) (A in FIG. 3). ), the 180 degree position is the position on the downstream side in the substrate transport direction of the above two points (E in FIG. 3).

第1および第2Z軸駆動装置70,75は、何れも、図2に示すように、Z軸スライダ72,77と、対応するZ軸スライダ72,77を昇降させるZ軸モータ71,76と、を備える。第1および第2Z軸駆動装置70,75は、それぞれZ軸モータ71,76を駆動して対応するZ軸スライダ72,77を昇降させることにより、Z軸スライダ72,77の下方にあるノズルホルダ42と当接して、当該ノズルホルダ42を吸着ノズル44と一体的に昇降させる。なお、第1および第2Z軸駆動装置70,75は、Z軸モータ71,76としてリニアモータを用いてZ軸スライダ72,77を昇降させるものとしてもよいし、回転モータと送りねじ機構とを用いてZ軸スライダ72,77を昇降させるものとしてもよい。また、第1および第2Z軸駆動装置70,75は、Z軸モータ71,76に代えてエアシリンダなどのアクチュエータを用いてZ軸スライダ72,77を昇降させるものとしてもよい。このように、実施形態の実装ヘッド40は、それぞれノズルホルダ42(吸着ノズル44)を個別に昇降可能な2つのZ軸駆動装置70,75を備え、Z軸駆動装置70,75を用いて吸着ノズル44による部品Pの吸着動作を個別に行なうことができる。このため、実装ヘッド40は、2つのZ軸駆動装置70,75によって昇降可能な2つの吸着ノズル44と同じ間隔でX軸方向(左右方向)に並ぶように2つの部品Pを対応するテープフィーダ23から供給することにより、2つの吸着ノズル44を同時に下降させて当該2つの部品Pを同時に吸着させることができる。また、第1および第2Z軸駆動装置70,75は、この他に、対応するZ軸スライダ72,77の昇降位置、即ち対応するノズルホルダ42(吸着ノズル44)の昇降位置を検知するためのZ軸位置センサ73,78(図6参照)も備える。 The first and second Z-axis driving devices 70 and 75 each include Z-axis sliders 72 and 77, and Z-axis motors 71 and 76 that move the corresponding Z-axis sliders 72 and 77 up and down, as shown in FIG. Equipped with. The first and second Z-axis driving devices 70 and 75 move the nozzle holders below the Z-axis sliders 72 and 77 by driving Z-axis motors 71 and 76 respectively to raise and lower the corresponding Z-axis sliders 72 and 77. 42, the nozzle holder 42 is moved up and down integrally with the suction nozzle 44. Note that the first and second Z-axis driving devices 70 and 75 may use linear motors as the Z-axis motors 71 and 76 to move the Z-axis sliders 72 and 77 up and down, or may use a rotary motor and a feed screw mechanism. The Z-axis sliders 72 and 77 may be moved up and down using the Z-axis sliders 72 and 77. Further, the first and second Z-axis driving devices 70 and 75 may move the Z-axis sliders 72 and 77 up and down using actuators such as air cylinders instead of the Z-axis motors 71 and 76. In this way, the mounting head 40 of the embodiment includes two Z-axis drive devices 70 and 75 that can individually raise and lower the nozzle holder 42 (suction nozzle 44), and uses the Z-axis drive devices 70 and 75 to perform suction. The suction operation of the parts P by the nozzles 44 can be performed individually. Therefore, the mounting head 40 moves the two components P to the corresponding tape feeder so that they are lined up in the X-axis direction (horizontal direction) at the same interval as the two suction nozzles 44 that can be raised and lowered by the two Z-axis drive devices 70 and 75. By supplying from 23, the two suction nozzles 44 can be lowered at the same time to suction the two parts P at the same time. In addition, the first and second Z-axis driving devices 70 and 75 also detect the vertical positions of the corresponding Z-axis sliders 72 and 77, that is, the vertical positions of the corresponding nozzle holders 42 (suction nozzles 44). Z-axis position sensors 73 and 78 (see FIG. 6) are also provided.

吸着ノズル44は、圧力供給装置80によって供給される圧力(負圧,正圧)により部品Pの吸着や吸着した部品Pの基板Sへの実装が可能である。圧力供給装置80は、図5に示すように、負圧源(負圧ポンプ)81と、正圧源(工場エア)82と、各吸着ノズル44の吸着口に供給する圧力を負圧と正圧と大気圧とのいずれかに切り替え可能な切替弁86と、を備える。切替弁86は、負圧源81と連通する負圧流路83と、正圧源82と連通する正圧流路84と、大気と連通する大気圧流路85と、吸着ノズル44の吸着口と連通するノズルホルダ42内部に形成されたホルダ流路42aとが接続された4ポート3位置弁である。切替弁86は、弁位置をホルダ流路42aが負圧流路83と連通すると共に他の流路から遮断する位置(負圧供給位置)に切り替えることにより、吸着ノズル44の吸着口に負圧を供給することができる。また、切替弁86は、弁位置をホルダ流路42aが大気圧流路85と連通すると共に他の流路から遮断する位置(大気圧供給位置)に切り替えることにより、吸着ノズル44の吸着口に大気圧を供給することができる。さらに、切替弁86は、弁位置をホルダ流路42aが正圧流路84と連通すると共に他の流路から遮断する位置(正圧供給位置)に切り替えることにより、吸着ノズル44の吸着口に正圧を供給することができる。切替弁86は、図4に示すように、各ノズルホルダ42(ホルダ流路42a)にそれぞれ対応して設けられ、ヘッド本体41の軸中心から放射状に延びる放射状流路41aを介して負圧流路83に接続されると共に同様に延びる放射状流路(図示せず)を介して正圧流路84に接続されている。また、負圧流路83には、その内部の圧力(負圧)を検出するための圧力センサ88が設けられている。 The suction nozzle 44 is capable of suctioning the component P and mounting the suctioned component P onto the substrate S using the pressure (negative pressure, positive pressure) supplied by the pressure supply device 80 . As shown in FIG. 5, the pressure supply device 80 includes a negative pressure source (negative pressure pump) 81, a positive pressure source (factory air) 82, and the pressure supplied to the suction port of each suction nozzle 44, which separates the pressure from negative pressure to positive pressure. A switching valve 86 that can switch between pressure and atmospheric pressure is provided. The switching valve 86 communicates with a negative pressure passage 83 that communicates with the negative pressure source 81, a positive pressure passage 84 that communicates with the positive pressure source 82, an atmospheric pressure passage 85 that communicates with the atmosphere, and the suction port of the suction nozzle 44. This is a 4-port, 3-position valve connected to a holder flow path 42a formed inside a nozzle holder 42. The switching valve 86 applies negative pressure to the suction port of the suction nozzle 44 by switching the valve position to a position (negative pressure supply position) where the holder flow path 42a communicates with the negative pressure flow path 83 and is blocked from other flow paths (negative pressure supply position). can be supplied. The switching valve 86 also connects the suction port of the suction nozzle 44 by switching the valve position to a position (atmospheric pressure supply position) where the holder flow path 42a communicates with the atmospheric pressure flow path 85 and is cut off from other flow paths. Can supply atmospheric pressure. Further, the switching valve 86 switches the valve position to a position (positive pressure supply position) in which the holder flow path 42a communicates with the positive pressure flow path 84 and is cut off from other flow paths (positive pressure supply position). pressure can be supplied. As shown in FIG. 4, the switching valve 86 is provided corresponding to each nozzle holder 42 (holder flow path 42a), and connects the negative pressure flow path through a radial flow path 41a extending radially from the axial center of the head body 41. 83 and is connected to a positive pressure flow path 84 via a radial flow path (not shown) that also extends. Further, the negative pressure channel 83 is provided with a pressure sensor 88 for detecting the internal pressure (negative pressure).

また、切替弁86は、自動復帰機能を有しておらず、弁操作レバー87の操作によって弁位置が負圧供給位置と大気圧供給位置と正圧供給位置とに切り替えられるようになっている。弁操作レバー87は、図2に示すように、第1および第2弁駆動装置45,46の何れかによって操作される。第1弁駆動装置45は、第1Z軸駆動装置70により昇降可能な位置(Z1)にあるノズルホルダ42に対応する切替弁86の弁操作レバー87を駆動することができる。第2弁駆動装置46は、第2Z軸駆動装置75により昇降可能な位置(Z2)にあるノズルホルダ42に対応する切替弁86の弁操作レバー87を駆動することができる。なお、第1および第2弁駆動装置45,46は、例えば、モータと、モータの回転運動をストローク運動に変換する変換機構(カム機構やリンク機構など)とを用いて構成することができる。 Further, the switching valve 86 does not have an automatic return function, and the valve position can be switched between a negative pressure supply position, an atmospheric pressure supply position, and a positive pressure supply position by operating the valve operating lever 87. . The valve operating lever 87 is operated by either the first or second valve driving device 45 or 46, as shown in FIG. The first valve drive device 45 can drive the valve operating lever 87 of the switching valve 86 that corresponds to the nozzle holder 42 in the position (Z1) that can be raised and lowered by the first Z-axis drive device 70 . The second valve drive device 46 can drive the valve operating lever 87 of the switching valve 86 that corresponds to the nozzle holder 42 in the position (Z2) that can be raised and lowered by the second Z-axis drive device 75. Note that the first and second valve drive devices 45 and 46 can be configured using, for example, a motor and a conversion mechanism (such as a cam mechanism or a link mechanism) that converts the rotational motion of the motor into a stroke motion.

側面カメラ47,48は、吸着ノズル44による吸着動作の実行後に当該吸着ノズル44の部品吸着有無や部品吸着姿勢を判定するために、当該吸着ノズル44の先端部付近を側方から撮像するものである。実施形態では、側面カメラ47は、第1Z軸駆動装置70により吸着ノズル44を下降させて吸着動作を実行した後、当該吸着ノズル44がR軸駆動装置50により1つ先に旋回されたときに当該吸着ノズル44を撮像可能である。また、側面カメラ48は、第2Z軸駆動装置75により吸着ノズル44を下降させて吸着動作を実行した後、当該吸着ノズル44がR軸駆動装置50により1つ先に旋回されたときに当該吸着ノズル44を撮像可能である。 The side cameras 47 and 48 are for taking images of the vicinity of the tip of the suction nozzle 44 from the side in order to determine whether or not the suction nozzle 44 is suctioning a component and the posture of suctioning the component after the suction nozzle 44 has performed a suction operation. be. In the embodiment, the side camera 47 detects when the first Z-axis drive device 70 lowers the suction nozzle 44 to perform a suction operation, and then the R-axis drive device 50 rotates the suction nozzle 44 one position first. The suction nozzle 44 can be imaged. Further, the side camera 48 detects the suction when the suction nozzle 44 is rotated one position first by the R-axis drive device 50 after the suction nozzle 44 is lowered by the second Z-axis drive device 75 to perform the suction operation. The nozzle 44 can be imaged.

制御装置90は、図6に示すように、CPU91を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、CPU91の他に、ROM92やHDD93、RAM94、入出力インタフェース95などを備える。これらはバス96を介して接続されている。制御装置90には、X軸位置センサ37やY軸位置センサ39、R軸位置センサ55、Q軸位置センサ65、Z軸位置センサ73,78、圧力センサ88などからの各種検知信号が入力されている。また、制御装置90には、パーツカメラ26やマークカメラ28、側面カメラ47,48からの画像信号なども入出力インタフェース95を介して入力されている。一方、制御装置90からは、テープフィーダ23や基板搬送装置24、X軸モータ36、Y軸モータ38、R軸モータ51、Q軸モータ61、Z軸モータ71,76、第1および第2弁駆動装置45,46、パーツカメラ26、マークカメラ28、側面カメラ47,48などへの各種制御信号が出力されている。 As shown in FIG. 6, the control device 90 is configured as a microprocessor centered on a CPU 91, and includes a ROM 92, an HDD 93, a RAM 94, an input/output interface 95, etc. in addition to the CPU 91. These are connected via a bus 96. Various detection signals from the X-axis position sensor 37, Y-axis position sensor 39, R-axis position sensor 55, Q-axis position sensor 65, Z-axis position sensors 73, 78, pressure sensor 88, etc. are input to the control device 90. ing. Further, image signals from the parts camera 26 , mark camera 28 , side cameras 47 and 48 are also input to the control device 90 via an input/output interface 95 . On the other hand, from the control device 90, the tape feeder 23, the substrate transport device 24, the X-axis motor 36, the Y-axis motor 38, the R-axis motor 51, the Q-axis motor 61, the Z-axis motors 71 and 76, and the first and second valves Various control signals are output to drive devices 45, 46, parts camera 26, mark camera 28, side cameras 47, 48, etc.

管理装置100は、例えば、汎用のコンピュータであり、図6に示すように、CPU101やROM102、HDD103、RAM104、入出力インタフェース105等により構成される。管理装置100には、入力デバイス107からの入力信号が入出力インタフェース105を介して入力されている。管理装置100からは、ディスプレイ108への表示信号が入出力インタフェース105を介して出力されている。HDD103には、基板Sの生産プログラムやその他の生産情報を含むジョブ情報が記憶されている。ここで、生産プログラムは、部品実装機10において、どの基板Sにどの部品Pをどの順番で実装するか、また、そのように実装した基板Sを何枚作製するかを定めたプログラムをいう。また、生産情報には、基板Sに実装すべき部品Pに関する部品情報(部品Pの種類やその部品供給位置)や使用する吸着ノズル44に関するノズル情報、部品Pの目標実装位置(XY座標)等が含まれる。管理装置100は、部品実装機10の制御装置90と通信可能に接続され、各種情報や制御信号のやり取りを行なう。 The management device 100 is, for example, a general-purpose computer, and as shown in FIG. 6, it is configured with a CPU 101, a ROM 102, an HDD 103, a RAM 104, an input/output interface 105, and the like. An input signal from an input device 107 is input to the management apparatus 100 via an input/output interface 105 . A display signal to the display 108 is output from the management device 100 via the input/output interface 105. The HDD 103 stores job information including a production program for the substrate S and other production information. Here, the production program is a program that determines which components P are to be mounted on which boards S in which order in the component mounting machine 10, and how many boards S to be manufactured in this way. In addition, the production information includes component information regarding the component P to be mounted on the board S (type of component P and its component supply position), nozzle information regarding the suction nozzle 44 to be used, target mounting position (XY coordinates) of the component P, etc. is included. The management device 100 is communicably connected to the control device 90 of the component mounting machine 10, and exchanges various information and control signals.

こうして構成された実施形態の部品実装機10は、管理装置100によりジョブ情報を受信したときに、吸着動作と撮像動作と実装動作とを1サイクルとして実行する。吸着動作は、実装ヘッド40を部品供給位置の上方へ移動させ、部品供給位置において吸着ノズル44の吸着口に部品Pが当接するように各ノズルホルダ42(吸着ノズル44)を旋回させつつ対応するノズルホルダ42を下降させると共に、対応する吸着ノズル44の吸着口に負圧を供給する動作である。撮像動作は、吸着動作で吸着ノズル44に吸着させた部品Pをパーツカメラ26で撮像し、得られた撮像画像を処理することにより吸着ずれを検出して部品Pの目標実装位置を補正する動作である。なお、撮像動作は、実施形態では、吸着ノズル44に吸着させた部品Pと共に実装ヘッド40に付されたヘッドマークMをパーツカメラ26で撮像することにより、ヘッドマークMを基準とした部品Pの吸着位置を認識することにより行なわれる。実装動作は、実装ヘッド40を基板Sにおける目標実装位置の上方へ移動させ、吸着ノズル44に吸着させた部品Pが目標実装位置に当接するように各ノズルホルダ42(吸着ノズル44)を旋回させつつ対応するノズルホルダ42を下降させ、対応する吸着ノズル44の吸着口に正圧を供給する動作である。 The component mounter 10 of the embodiment configured in this manner executes a suction operation, an imaging operation, and a mounting operation as one cycle when job information is received by the management device 100. The suction operation is performed by moving the mounting head 40 above the component supply position and rotating each nozzle holder 42 (suction nozzle 44) so that the component P comes into contact with the suction port of the suction nozzle 44 at the component supply position. This is an operation of lowering the nozzle holder 42 and supplying negative pressure to the suction port of the corresponding suction nozzle 44. The imaging operation is an operation in which the part camera 26 takes an image of the component P that has been suctioned by the suction nozzle 44 in the suction operation, and the obtained image is processed to detect suction deviation and correct the target mounting position of the component P. It is. In the embodiment, the imaging operation is performed by imaging the head mark M attached to the mounting head 40 together with the component P sucked by the suction nozzle 44 using the parts camera 26, thereby imaging the component P based on the head mark M. This is done by recognizing the suction position. In the mounting operation, the mounting head 40 is moved above the target mounting position on the board S, and each nozzle holder 42 (suction nozzle 44) is rotated so that the component P attracted by the suction nozzle 44 comes into contact with the target mounting position. This is an operation of lowering the corresponding nozzle holder 42 and supplying positive pressure to the suction port of the corresponding suction nozzle 44.

次に、実装ヘッド40が交換された場合における部品実装機10の動作について説明する。図7は、制御装置90のCPU91により実行されるヘッド装着時処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、新たな実装ヘッド40がX軸スライダ32に装着されたときに実行される。ヘッド装着時処理ルーチンが実行されると、制御装置90のCPU91は、まず、静的動作のキャリブレーションを実行する(S100)。ここで、静的動作のキャリブレーションは、パーツカメラ26,マークカメラ28およびヘッドマークMの位置や、ヘッドマークMに対する各ノズルホルダ42の上昇時の位置、各ノズルホルダ42の下降時の傾き位置、吸着ノズル44の曲がりの有無、吸着ノズル44の位置を測定して、これらの位置を調整するための処理である。なお、パーツカメラ26の位置の測定は、マークカメラ28を用いて行なうことができ、その他の位置等の測定は、パーツカメラ26を用いて行なうことができる。 Next, the operation of the component mounter 10 when the mounting head 40 is replaced will be described. FIG. 7 is a flowchart showing an example of a head mounting processing routine executed by the CPU 91 of the control device 90. This routine is executed when a new mounting head 40 is attached to the X-axis slider 32. When the head attachment processing routine is executed, the CPU 91 of the control device 90 first executes static operation calibration (S100). Here, the static operation calibration includes the positions of the parts camera 26, mark camera 28, and head mark M, the position of each nozzle holder 42 when it is raised relative to the head mark M, and the tilt position when each nozzle holder 42 is lowered. , the presence or absence of bending of the suction nozzle 44, and the position of the suction nozzle 44 are measured, and these positions are adjusted. Note that the position of the parts camera 26 can be measured using the mark camera 28, and other positions and the like can be measured using the parts camera 26.

続いて、CPU91は、動的動作のキャリブレーションを実行する(S110)。動的動作のキャリブレーションは、後述する単吸着動作を想定した各ノズルホルダ42の動作と後述する同時吸着動作を想定した各ノズルホルダ42の動作とを測定して、これらの動作を調整するための処理である。単吸着動作を想定した動作の測定は、XYロボット30により実装ヘッド40をパーツカメラ26の上方へ移動させ、R軸駆動装置50により各ノズルホルダ42を旋回させつつ、第1および第2Z軸駆動装置70,75の何れかにより対応するノズルホルダ42を下降させ、そのノズルホルダ42の停止位置をパーツカメラ26で撮像することにより行なわれる。また、同時吸着動作を想定した動作の測定は、XYロボット30により実装ヘッド40をパーツカメラ26の上方へ移動させ、R軸駆動装置50により各ノズルホルダ42を旋回させつつ、第1および第2Z軸駆動装置70,75の両方により対応する対応する2つのノズルホルダ42を同時に下降させ、その2つのノズルホルダ42の停止位置をパーツカメラ26で測定することにより行なわれる。なお、これらの動作の測定は、ノズルホルダ42ごとに行なわれる。 Subsequently, the CPU 91 executes dynamic motion calibration (S110). The dynamic operation calibration is performed to adjust these operations by measuring the operation of each nozzle holder 42 assuming a single suction operation (described later) and the operation of each nozzle holder 42 assuming a simultaneous suction operation (described later). This is the process. To measure the operation assuming a single suction operation, the mounting head 40 is moved above the parts camera 26 by the XY robot 30, and while each nozzle holder 42 is rotated by the R-axis drive device 50, This is done by lowering the corresponding nozzle holder 42 using either device 70 or 75 and photographing the stopping position of the nozzle holder 42 using the parts camera 26. In addition, to measure the operation assuming simultaneous suction operation, the XY robot 30 moves the mounting head 40 above the parts camera 26, and the R-axis drive device 50 rotates each nozzle holder 42 while moving the first and second Z This is done by simultaneously lowering two corresponding nozzle holders 42 by both shaft drive devices 70 and 75, and measuring the stopping positions of the two nozzle holders 42 with the parts camera 26. Note that these operations are measured for each nozzle holder 42.

そして、CPU91は、同時吸着動作の可否を示す同時吸着許可フラグFに値0を設定して(S120)、ヘッド装着時処理ルーチンを終了する。ここで、同時吸着許可フラグFは、同時吸着動作の実行可否を示すフラグである。同時吸着フラグFは、値0の場合には同時吸着動作が禁止されていることを示し、値1の場合には同時吸着動作が許可されていることを示す。実施形態では、実装ヘッド40が交換されると、CPU91は、吸着ノズル44の下降位置精度が十分でない可能性があると判断し、同時吸着フラグFが値0に設定し、同時吸着動作を一旦禁止する。 Then, the CPU 91 sets the value 0 to the simultaneous suction permission flag F indicating whether simultaneous suction operation is possible (S120), and ends the head mounting processing routine. Here, the simultaneous adsorption permission flag F is a flag indicating whether or not simultaneous adsorption operations can be performed. When the simultaneous suction flag F has a value of 0, it indicates that simultaneous suction operations are prohibited, and when it has a value of 1, it indicates that simultaneous suction operations are permitted. In the embodiment, when the mounting head 40 is replaced, the CPU 91 determines that the descending position accuracy of the suction nozzle 44 may not be sufficient, sets the simultaneous suction flag F to the value 0, and temporarily stops the simultaneous suction operation. prohibit.

次に、単吸着動作または同時吸着動作を用いて部品Pを吸着して基板Sに実装する場合における部品実装機10の動作について説明する。図8は、制御装置90のCPU91により実行される実装制御ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、管理装置100からジョブ情報を受信したときに実行される。なお、実装制御ルーチンは、実施形態では、同一種類の部品Pを吸着して基板Sに実装する動作を繰り返し実行する場合に適用される。実装制御ルーチンが実行されると、制御装置90のCPU91は、まず、同時吸着許可フラグFが値0であるか否かを判定する(S200)。CPU91は、同時吸着許可フラグが値0であると判定すると、同時吸着動作が禁止されていると判断し、1つの吸着対象ノズルに部品Pを吸着させる単吸着動作を実行する(S210)。単吸着動作は、図9に例示する単吸着処理ルーチンを実行することにより行なわれる。なお、単吸着処理ルーチンの説明は後述する。一方、CPU91は、同時吸着許可フラグが値1であると判定すると、同時吸着動作が許可されていると判断し、2つの吸着対象ノズルにそれぞれ部品Pを同時に吸着させる同時吸着動作を実行する(S220)。同時吸着動作は、図10に例示する同時吸着処理ルーチンを実行することにより行なわれる。なお、同時吸着処理ルーチンの説明は後述する。CPU91、単吸着動作または同時吸着動作を実行すると、実装ヘッド40の複数の吸着ノズル44に予定数の部品Pが吸着されたか否かを判定する(S230)。CPU91は、複数の吸着ノズル44に所定数の部品Pが吸着されていないと判定すると、次の吸着対象ノズルがZ1またはZ2(第1Z軸駆動装置70または第2Z軸駆動装置75により昇降可能な位置)に来るようR軸駆動装置50(R軸モータ51)を制御しつつ(S240)、S200に戻ってS200~S240の処理(単吸着動作または同時吸着動作)を繰り返す。 Next, the operation of the component mounter 10 when picking up the component P and mounting it on the board S using a single picking operation or a simultaneous picking operation will be described. FIG. 8 is a flowchart showing an example of a mounting control routine executed by the CPU 91 of the control device 90. This routine is executed when job information is received from the management device 100. In the embodiment, the mounting control routine is applied when the operation of picking up the same type of component P and mounting it on the board S is repeatedly executed. When the mounting control routine is executed, the CPU 91 of the control device 90 first determines whether or not the simultaneous adsorption permission flag F has a value of 0 (S200). If the CPU 91 determines that the simultaneous suction permission flag has a value of 0, it determines that the simultaneous suction operation is prohibited, and executes a single suction operation in which the component P is suctioned to one suction target nozzle (S210). The single suction operation is performed by executing the single suction processing routine illustrated in FIG. Note that the single adsorption processing routine will be explained later. On the other hand, if the CPU 91 determines that the simultaneous suction permission flag is 1, it determines that the simultaneous suction operation is permitted, and executes the simultaneous suction operation in which the two suction target nozzles simultaneously suction the parts P ( S220). The simultaneous suction operation is performed by executing a simultaneous suction processing routine illustrated in FIG. Note that the simultaneous adsorption processing routine will be described later. When the CPU 91 executes the single suction operation or the simultaneous suction operation, it determines whether the planned number of components P has been suctioned by the plurality of suction nozzles 44 of the mounting head 40 (S230). If the CPU 91 determines that the predetermined number of parts P are not picked up by the plurality of suction nozzles 44, the next nozzle to be picked up is set to Z1 or Z2 (which can be raised and lowered by the first Z-axis drive device 70 or the second Z-axis drive device 75). While controlling the R-axis drive device 50 (R-axis motor 51) so as to come to the position (S240), the process returns to S200 and the processes of S200 to S240 (single suction operation or simultaneous suction operation) are repeated.

CPU91は、S230で複数の吸着ノズル44に予定数の部品Pが吸着されたと判定すると、実装ヘッド40がパーツカメラ26の上方に来るようにXYロボット30を制御する(S260)。続いて、CPU91は、複数の吸着ノズル44に吸着された部品Pをパーツカメラ26により撮像する(S270)。そして、CPU91は、得られた撮像画像から部品Pを識認し、複数の吸着ノズル44の何れかに吸着すべき部品Pが吸着されていない吸着エラーが発生しているか否かを判定する(S270)。CPU91は、複数の吸着ノズル44の何れかに吸着エラーが発生していると判定すると、同時吸着許可フラグFに値0を設定する(S370)。そして、CPU91は、吸着エラーが発生した吸着ノズル44を装着するノズルホルダ42がZ1またはZ2に来るようR軸駆動装置50を制御し(S380)、S200に戻って、吸着エラーが発生している吸着ノズル44に部品Pを再度、吸着させる。一方、CPU91は、何れの吸着ノズル44にも吸着エラーが発生していないと判定すると、撮像画像から部品PとヘッドマークMとを認識して各吸着ノズル44に吸着された部品Pの吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)を測定する(S280)。吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)は、吸着ノズル44の中心と部品Pの中心とのXY軸方向のずれ量であり、吸着ノズル44ごとに測定される。 If the CPU 91 determines in S230 that the planned number of parts P has been suctioned by the plurality of suction nozzles 44, the CPU 91 controls the XY robot 30 so that the mounting head 40 is positioned above the parts camera 26 (S260). Subsequently, the CPU 91 images the parts P sucked by the plurality of suction nozzles 44 using the parts camera 26 (S270). Then, the CPU 91 identifies the component P from the obtained captured image and determines whether a suction error has occurred in which the component P that should be suctioned is not suctioned by any of the plurality of suction nozzles 44 ( S270). If the CPU 91 determines that a suction error has occurred in any of the plurality of suction nozzles 44, it sets the simultaneous suction permission flag F to a value of 0 (S370). Then, the CPU 91 controls the R-axis drive device 50 so that the nozzle holder 42 to which the suction nozzle 44 in which the suction error has occurred comes to Z1 or Z2 (S380), and returns to S200 to confirm that the suction error has occurred. The component P is sucked into the suction nozzle 44 again. On the other hand, if the CPU 91 determines that no suction error has occurred in any of the suction nozzles 44, the CPU 91 recognizes the component P and the head mark M from the captured image and detects the suction deviation of the component P suctioned by each suction nozzle 44. The amount (ΔXd, ΔYd) is measured (S280). The amount of suction deviation (ΔXd, ΔYd) is the amount of deviation between the center of the suction nozzle 44 and the center of the component P in the XY axis direction, and is measured for each suction nozzle 44.

次に、CPU91は、同時吸着許可フラグFが値0であるか否かを判定する(S290)。CPU91は、同時吸着許可フラグFが値0でなく値1であると判定すると、S350に進む。一方、CPU91は、同時吸着許可フラグFが値0であると判定すると、Z1で下降された吸着ノズル44に吸着された部品Pの吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)に基づいて、次回にZ1で吸着ノズル44を下降させて部品Pを吸着する際の実装ヘッド40のヘッド位置補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)を学習する(S300)。ヘッド位置補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)の学習は、吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)に係数kを乗じたものを、現在のヘッド位置補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)から減じることにより行なわれる。係数kは、吸着ずれ量をヘッド位置補正値に反映させる際の反映率であり、値0よりも大きく値1よりも小さい値に定められる。係数kは、固定値であってもよいし、例えば、最初は大きな値(例えば0.5)に設定し、その後、小さな値(例えば0.3や0.2)を設定するなどのように、学習の進行に合わせて小さくしてもよい。また、CPU91は、Z2で下降された吸着ノズル44に吸着された部品Pの吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)に基づいて、次回にZ2で吸着ノズル44を下降させて部品Pを吸着する際の実装ヘッド40のヘッド位置補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)を学習する(S310)。ヘッド位置補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)の学習は、吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)に上記係数kを乗じたものを、現在のヘッド位置補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)から減じることにより行なわれる。そして、CPU91は、XY軸方向における吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)の平均値および3σを計算し(S320)、計算値が所定範囲内にあるか否かを判定する(S330)。所定範囲は、ヘッド移動補正値の学習により吸着ノズル44による部品Pの吸着位置精度が安定したか否かを判定するためのものであり、適宜定めることができる。なお、実施形態では、CPU91は、吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)のばらつきを示す3σを用いて吸着位置精度を評価したが、σや2σを用いてもよい。CPU91は、計算値が所定範囲内にあると判定すると、同時吸着許可フラグFを値1に設定して(S340)、S350に進み、計算値が所定範囲内にないと判定すると、S340をスキップして、S350に進む。このように、実施形態では、CPU91は、最初は単吸着動作により部品Pを吸着し、ヘッド移動補正値の学習が進んで吸着位置精度が安定した段階で、同時吸着動作に移行するのである。これにより、同時吸着動作の実行によって吸着エラーが頻発するのを抑制することができる。 Next, the CPU 91 determines whether or not the simultaneous adsorption permission flag F has a value of 0 (S290). If the CPU 91 determines that the simultaneous adsorption permission flag F is not the value 0 but the value 1, the process proceeds to S350. On the other hand, when the CPU 91 determines that the simultaneous suction permission flag F is 0, the CPU 91 determines that the suction nozzle 44 that has been lowered in Z1 will move the part P next time in Z1 based on the suction deviation amount (ΔXd, ΔYd) of the component P that was suctioned by the suction nozzle 44 that was lowered in Z1. The head position correction values (ΔXhz1, ΔYhz1) of the mounting head 40 when the suction nozzle 44 is lowered to suction the component P are learned (S300). Learning of the head position correction value (ΔXhz1, ΔYhz1) is performed by subtracting the value obtained by multiplying the suction deviation amount (ΔXd, ΔYd) by a coefficient k from the current head position correction value (ΔXhz1, ΔYhz1). The coefficient k is a reflection rate when the amount of adsorption deviation is reflected in the head position correction value, and is set to a value greater than 0 and smaller than 1. The coefficient k may be a fixed value, for example, it may be initially set to a large value (for example, 0.5), and then set to a small value (for example, 0.3 or 0.2). , may be made smaller as learning progresses. Further, the CPU 91 determines the next time when the suction nozzle 44 is lowered in Z2 to suction the component P, based on the amount of suction deviation (ΔXd, ΔYd) of the component P suctioned by the suction nozzle 44 that has been lowered in Z2. The head position correction values (ΔXhz2, ΔYhz2) of the mounting head 40 are learned (S310). Learning of the head position correction value (ΔXhz2, ΔYhz2) is performed by subtracting the value obtained by multiplying the suction deviation amount (ΔXd, ΔYd) by the above-mentioned coefficient k from the current head position correction value (ΔXhz2, ΔYhz2). Then, the CPU 91 calculates the average value and 3σ of the adsorption deviation amount (ΔXd, ΔYd) in the XY-axis directions (S320), and determines whether the calculated value is within a predetermined range (S330). The predetermined range is for determining whether or not the accuracy of the suction position of the component P by the suction nozzle 44 has been stabilized by learning the head movement correction value, and can be determined as appropriate. In the embodiment, the CPU 91 evaluates the suction position accuracy using 3σ, which indicates the variation in the suction deviation amount (ΔXd, ΔYd), but σ or 2σ may be used. If the CPU 91 determines that the calculated value is within the predetermined range, it sets the simultaneous adsorption permission flag F to the value 1 (S340) and proceeds to S350, and if it determines that the calculated value is not within the predetermined range, it skips S340. Then, the process proceeds to S350. In this way, in the embodiment, the CPU 91 first picks up the component P by a single pick-up operation, and then shifts to the simultaneous pick-up operation when the learning of the head movement correction value progresses and the pick-up position accuracy becomes stable. Thereby, it is possible to suppress frequent occurrence of suction errors due to execution of simultaneous suction operations.

そして、CPU91は、S280で測定した吸着ずれ量(ΔXd,ΔYd)に基づいて実装する部品Pの目標実装位置を補正し(S350)、補正した目標実装位置に当該部品Pを実装させる実装動作を実行して(S360)、実装制御ルーチンを終了する。 Then, the CPU 91 corrects the target mounting position of the component P to be mounted based on the suction deviation amount (ΔXd, ΔYd) measured in S280 (S350), and performs a mounting operation to mount the component P at the corrected target mounting position. The implementation control routine is then executed (S360) and ends.

次に、図9の単吸着処理ルーチンについて説明する。単吸着処理ルーチンでは、CPU91は、まず、今回の単吸着動作をZ1で実行するか否かを判定する(S400)。実施形態では、Z1の単吸着動作とZ2の単吸着動作とが交互に実行されるように、実行順序が定められている。CPU91は、今回の単吸着動作をZ1で実行すると判定すると、Z1で下降される吸着ノズル44で吸着されるべき吸着対象部品が目標送り量Fz1だけ送られて部品供給位置へ供給されるよう対応するテープフィーダ23に制御信号を出力する(S410)。続いて、CPU91は、上述した実装制御ルーチンのS300で設定されるヘッド移動補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)が存在するかを判定する(S420)。実装ヘッド40が交換されて最初に単吸着動作を実行する場合、ヘッド移動補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)は、未だ設定されていない。CPU91は、ヘッド移動補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)が存在しないと判定すると、S440に進む。一方、CPU91は、ヘッド移動補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)が存在すると判定すると、現在の目標ヘッド位置(Xh,Yh)にヘッド移動補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)を加えることにより目標ヘッド位置(Xh,Yh)を補正して(S430)、S440に進む。なお、目標ヘッド位置の補正は、現在の目標ヘッド位置にヘッド移動補正値の一部(当該ヘッド移動補正値に値0よりも大きく値1よりも小さい係数を乗じたもの)を加えることによって行なわれてもよい。次に、CPU91は、実装ヘッド40が目標ヘッド位置(Xh,Yh)に来るようにXYロボット30を制御する(S440)。そして、CPU91は、吸着対象ノズルが下降するよう第1Z軸駆動装置70を制御(Z1ホルダ下降)すると共に当該吸着対象ノズルの吸着口に負圧が供給されるよう第1弁駆動装置45を制御(Z1バルブ開)して(S450)、単吸着処理ルーチンを終了する。 Next, the single adsorption processing routine shown in FIG. 9 will be explained. In the single suction processing routine, the CPU 91 first determines whether the current single suction operation is to be executed at Z1 (S400). In the embodiment, the execution order is determined such that the single suction operation of Z1 and the single suction operation of Z2 are executed alternately. When the CPU 91 determines that the current single suction operation is to be performed at Z1, the CPU 91 takes action so that the target component to be suctioned by the suction nozzle 44, which is lowered at Z1, is sent by the target feed amount Fz1 and supplied to the component supply position. A control signal is output to the tape feeder 23 (S410). Subsequently, the CPU 91 determines whether the head movement correction values (ΔXhz1, ΔYhz1) set in S300 of the mounting control routine described above exist (S420). When the mounting head 40 is replaced and a single suction operation is performed for the first time, the head movement correction values (ΔXhz1, ΔYhz1) have not been set yet. If the CPU 91 determines that the head movement correction value (ΔXhz1, ΔYhz1) does not exist, the process proceeds to S440. On the other hand, if the CPU 91 determines that the head movement correction value (ΔXhz1, ΔYhz1) exists, the CPU 91 adds the head movement correction value (ΔXhz1, ΔYhz1) to the current target head position (Xh, Yh) to set the target head position (Xh, Yhz1). Yh) is corrected (S430), and the process proceeds to S440. Note that the target head position is corrected by adding a part of the head movement correction value (the head movement correction value multiplied by a coefficient greater than 0 and smaller than 1) to the current target head position. You may be Next, the CPU 91 controls the XY robot 30 so that the mounting head 40 comes to the target head position (Xh, Yh) (S440). Then, the CPU 91 controls the first Z-axis drive device 70 so that the suction target nozzle descends (Z1 holder lowers), and also controls the first valve drive device 45 so that negative pressure is supplied to the suction port of the suction target nozzle. (Z1 valve opens) (S450), and the single adsorption processing routine ends.

CPU91は、S400において、今回の単吸着動作をZ1でなくZ2で実行すると判定すると、Z2で下降される吸着ノズル44で吸着されるべき吸着対象部品が目標送り量Fz2だけ送られて部品供給位置へ供給されるよう対応するテープフィーダ23に制御信号を出力する(S460)。続いて、CPU91は、上述した実装制御ルーチンのS310で設定されるヘッド移動補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)が存在するかを判定する(S470)。実装ヘッド40が交換されて最初に単吸着動作を実行する場合、ヘッド移動補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)は、未だ設定されていない。CPU91は、ヘッド移動補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)が存在しないと判定すると、S490に進む。一方、CPU91は、ヘッド移動補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)が存在すると判定すると、現在の目標ヘッド位置(Xh,Yh)にヘッド移動補正値(ΔXhz2,ΔYhz2)を加えることにより目標ヘッド位置(Xh,Yh)を補正して(S430)、S490に進む。なお、目標ヘッド位置の補正は、現在の目標ヘッド位置にヘッド移動補正値の一部(当該ヘッド移動補正値に値0よりも大きく値1よりも小さい係数を乗じたもの)を加えることによって行なわれてもよい。次に、CPU91は、実装ヘッド40が目標ヘッド位置(Xh,Yh)に来るようにXYロボット30を制御する(S490)。そして、CPU91は、吸着対象ノズルが下降するよう第2Z軸駆動装置75を制御(Z2ホルダ下降)すると共に当該吸着対象ノズルの吸着口に負圧が供給されるよう第2弁駆動装置46を制御(Z2バルブ開)して(S500)、単吸着処理ルーチンを終了する。 If the CPU 91 determines in S400 that the current single suction operation is to be performed at Z2 instead of Z1, the component to be picked up by the suction nozzle 44, which is lowered at Z2, is sent by the target feed amount Fz2 and moved to the component supply position. A control signal is output to the corresponding tape feeder 23 so as to be supplied to the tape feeder 23 (S460). Subsequently, the CPU 91 determines whether the head movement correction values (ΔXhz2, ΔYhz2) set in S310 of the mounting control routine described above exist (S470). When the mounting head 40 is replaced and a single suction operation is performed for the first time, the head movement correction values (ΔXhz2, ΔYhz2) have not been set yet. If the CPU 91 determines that the head movement correction values (ΔXhz2, ΔYhz2) do not exist, the process proceeds to S490. On the other hand, when determining that the head movement correction value (ΔXhz2, ΔYhz2) exists, the CPU 91 adds the head movement correction value (ΔXhz2, ΔYhz2) to the current target head position (Xh, Yh) to determine the target head position (Xh, Yhz2). Yh) is corrected (S430), and the process proceeds to S490. Note that the target head position is corrected by adding a part of the head movement correction value (the head movement correction value multiplied by a coefficient greater than 0 and smaller than 1) to the current target head position. You may be Next, the CPU 91 controls the XY robot 30 so that the mounting head 40 comes to the target head position (Xh, Yh) (S490). Then, the CPU 91 controls the second Z-axis drive device 75 so that the nozzle to be sucked falls (Z2 holder lowers), and controls the second valve drive device 46 so that negative pressure is supplied to the suction port of the nozzle to be sucked. (Z2 valve opens) (S500), and the single adsorption processing routine ends.

次に、同時吸着処理ルーチンについて説明する。同時吸着処理ルーチンでは、CPU91は、まず、Z1,Z2でそれぞれ同時に下降される2つの吸着対象ノズルに吸着されるべき2つの吸着対象部品の目標送り量Fz1,Fz2を補正する(S550)。目標送り量Fz1の補正は、現在の目標送り量Fz1に、実装制御ルーチンのS300で設定したY軸方向のヘッド移動補正値ΔYhz1を加えることにより行なわれる。また、目標送り量Fz2の補正は、現在の目標送り量Fz2に、実装制御ルーチンのS310で設定したY軸方向のヘッド移動補正値ΔYhz2を加えることにより行なわれる。なお、目標送り量の補正は、現在の目標送り量にY軸方向のヘッド移動補正値の一部(当該ヘッド移動補正値に値0よりも大きく値1よりも小さい係数を乗じたもの)を加えることによって行なわれてもよい。続いて、CPU91は、補正した目標送り量Fz1,Fz2でそれぞれの吸着対象部品が供給されるよう対応するテープフィーダ23に制御信号を出力する(S560)。次に、CPU91は、X軸方向の目標ヘッド位置Xhを補正する(S570)。X軸方向の目標ヘッド位置Xhの補正は、現在のX軸方向の目標ヘッド位置Xhに、実装制御ルーチンのS300で設定したX軸方向のヘッド移動補正値ΔXhz1とS310で設定したX軸方向のヘッド移動補正値ΔXhz2との和を値2で除したものを加えることにより行なわれる。なお、X軸方向の目標ヘッド位置の補正は、現在のX軸方向の目標ヘッド位置にX軸方向のヘッド移動補正値ΔXhz1,ΔZhz2の和を値2で除した計算値の一部(当該計算値に値0よりも大きく値1よりも小さい係数を乗じたもの)を加えることによって行なわれてもよい。なお、Y軸方向の目標ヘッド位置Yhは補正されない。続いて、CPU91は、実装ヘッド40が目標ヘッド位置(Xh,Yh)に来るようにXYロボット30を制御する(S580)。そして、CPU91は、Z1にある吸着対象ノズルとZ2にある吸着対象ノズルとが同時に下降するよう第1Z軸駆動装置70と第2Z軸駆動装置75とを制御すると共に2つの吸着対象ノズルの吸着口に負圧が供給されるよう第1弁駆動装置45と第2弁駆動装置46とを制御して(S590)、同時吸着処理ルーチンを終了する。 Next, the simultaneous adsorption processing routine will be explained. In the simultaneous suction processing routine, the CPU 91 first corrects the target feed amounts Fz1 and Fz2 of the two suction target components to be suctioned by the two suction target nozzles that are simultaneously lowered at Z1 and Z2, respectively (S550). The target feed amount Fz1 is corrected by adding the head movement correction value ΔYhz1 in the Y-axis direction set in S300 of the mounting control routine to the current target feed amount Fz1. Further, the target feed amount Fz2 is corrected by adding the head movement correction value ΔYhz2 in the Y-axis direction set in S310 of the mounting control routine to the current target feed amount Fz2. Note that the target feed amount is corrected by multiplying the current target feed amount by a part of the head movement correction value in the Y-axis direction (the head movement correction value is multiplied by a coefficient greater than the value 0 and smaller than the value 1). It may also be done by adding. Subsequently, the CPU 91 outputs a control signal to the corresponding tape feeder 23 so that the respective suction target parts are supplied at the corrected target feed amounts Fz1 and Fz2 (S560). Next, the CPU 91 corrects the target head position Xh in the X-axis direction (S570). The target head position Xh in the X-axis direction is corrected by adding the head movement correction value ΔXhz1 in the X-axis direction set in S300 of the mounting control routine and the head movement correction value ΔXhz1 in the X-axis direction set in S310 to the current target head position Xh in the X-axis direction. This is performed by adding the sum of the head movement correction value ΔXhz2 divided by the value 2. Note that the correction of the target head position in the X-axis direction is a part of the calculated value obtained by dividing the sum of the head movement correction values ΔXhz1 and ΔZhz2 in the X-axis direction by the value 2 (the current target head position in the X-axis direction). This may be done by multiplying the value by a factor greater than the value 0 and less than the value 1). Note that the target head position Yh in the Y-axis direction is not corrected. Subsequently, the CPU 91 controls the XY robot 30 so that the mounting head 40 comes to the target head position (Xh, Yh) (S580). Then, the CPU 91 controls the first Z-axis driving device 70 and the second Z-axis driving device 75 so that the suction target nozzle in Z1 and the suction target nozzle in Z2 descend simultaneously, and also controls the suction ports of the two suction target nozzles. The first valve drive device 45 and the second valve drive device 46 are controlled so that negative pressure is supplied to (S590), and the simultaneous adsorption processing routine is ended.

ここで、Z1,Z2で2つの吸着対象ノズルを同時に下降させて2つの吸着対象部品を同時に吸着させる場合、2つの吸着対象ノズル間のピッチ(X軸方向のピッチ)が固定されているため、各部の公差などの影響により、2つの吸着対象ノズルは、2つの吸着対象部品の中心を狙って同時に吸着することができない。このため、部品実装機10は、例えば、0.4mm×0.2mmのチップ部品などのように、吸着する部品Pのサイズが小さくなるほど、同時吸着動作の実行が困難となる。これに対して、実施形態の部品実装機10では、最初は単吸着動作を行ないつつ実装ヘッド40のヘッド移動補正値(ΔXhz1,ΔYhz1)および(ΔXhz2,ΔYhz2)を学習し、吸着対象ノズルの吸着位置精度が安定すると、同時吸着動作に移行する。実施形態の部品実装機10は、学習したヘッド移動補正値を用いて同時吸着動作を実行することにより、同時吸着動作においても吸着位置精度を十分に確保することができ、サイズの小さな部品Pの吸着に際しても吸着エラーの発生を抑制することができる。また、実施形態の部品実装機10は、同時吸着動作において、X軸方向のヘッド移動補正値ΔXhz1,ΔXhz2を用いて実装ヘッド40のX軸方向の目標ヘッド位置Xhを補正し、Y軸方向のヘッド移動補正値ΔYhz1,ΔYhz2を用いて2つの吸着対象部品を供給する2つのテープフィーダ23の目標送り量Fz1,Fz2を補正する。これにより、部品実装機10は、同時吸着動作において、Y軸方向の吸着ずれを、Z1とZ2とで個別に補正することができるため、Y軸方向の吸着位置精度をより高めることができる。なお、部品Pのサイズが小さいほど同時吸着動作が困難になるのであるから、部品実装機10は、吸着する部品Pのサイズが所定サイズ以上の場合には最初から同時吸着動作を実行してもよいことは勿論である。 Here, when the two suction target nozzles are simultaneously lowered in Z1 and Z2 to simultaneously suction the two suction target parts, since the pitch between the two suction target nozzles (pitch in the X-axis direction) is fixed, Due to the influence of tolerances of each part, the two nozzles to be picked up cannot simultaneously aim at the centers of the two parts to be picked up. Therefore, the smaller the size of the component P to be suctioned, such as a chip component of 0.4 mm x 0.2 mm, the more difficult it becomes for the component mounter 10 to perform simultaneous suction operations. In contrast, the component mounter 10 of the embodiment initially performs a single suction operation and learns the head movement correction values (ΔXhz1, ΔYhz1) and (ΔXhz2, ΔYhz2) of the mounting head 40, and then Once the positional accuracy is stabilized, the simultaneous suction operation begins. By executing the simultaneous suction operation using the learned head movement correction value, the component mounter 10 according to the embodiment can sufficiently secure suction position accuracy even in the simultaneous suction operation, and is able to secure sufficient suction position accuracy for small-sized components P. Also during suction, it is possible to suppress the occurrence of suction errors. Furthermore, in the simultaneous suction operation, the component mounter 10 of the embodiment corrects the target head position Xh of the mounting head 40 in the X-axis direction using the head movement correction values ΔXhz1 and ΔXhz2 in the X-axis direction, and corrects the target head position Xh in the Y-axis direction. The head movement correction values ΔYhz1 and ΔYhz2 are used to correct the target feed amounts Fz1 and Fz2 of the two tape feeders 23 that supply the two parts to be picked up. Thereby, the component mounter 10 can individually correct the suction deviation in the Y-axis direction for Z1 and Z2 in the simultaneous suction operation, and therefore can further improve the suction position accuracy in the Y-axis direction. Note that the smaller the size of the components P, the more difficult the simultaneous suction operation becomes. Therefore, if the size of the component P to be suctioned is larger than a predetermined size, the component mounter 10 does not perform the simultaneous suction operation from the beginning. Of course it's a good thing.

ここで、実施形態の構成要素と請求の範囲に記載の本開示の構成要素との対応関係を明らかにする。実施形態の部品供給部22が本開示の部品供給部に相当し、テープフィーダ23がパーツフィーダに相当し、部品実装機10が部品実装機に相当し、吸着ノズル44がノズルに相当し、実装ヘッド40がヘッドに相当し、第1および第2Z軸駆動装置70,75が昇降装置に相当し、XYロボット30が移動装置に相当し、制御装置90が制御装置に相当する。また、実装ヘッド40がロータリヘッドに相当し、ノズルホルダ42がノズルホルダに相当し、第1Z軸駆動装置70が第1昇降装置に相当し、第2Z軸駆動装置75が第2昇降装置に相当する。 Here, the correspondence between the components of the embodiment and the components of the present disclosure described in the claims will be clarified. The component supply unit 22 of the embodiment corresponds to a component supply unit of the present disclosure, the tape feeder 23 corresponds to a parts feeder, the component mounter 10 corresponds to a component mounter, the suction nozzle 44 corresponds to a nozzle, and the mounting The head 40 corresponds to a head, the first and second Z-axis drive devices 70 and 75 correspond to a lifting device, the XY robot 30 corresponds to a moving device, and the control device 90 corresponds to a control device. Further, the mounting head 40 corresponds to a rotary head, the nozzle holder 42 corresponds to a nozzle holder, the first Z-axis drive device 70 corresponds to a first lifting device, and the second Z-axis driving device 75 corresponds to a second lifting device. do.

以上説明した実施形態の部品実装機10は、吸着動作として、一つのノズルを下降させると共に当該一つのノズルの吸着口に負圧を供給して一つのノズルに部品を吸着させる第1吸着動作(単吸着動作)と、複数のノズルを同時的に下降させると共に当該複数のノズルの吸着口に負圧を供給して複数のノズルに部品を同時的に吸着させる第2吸着動作(同時吸着動作)とを実行可能な制御装置90を備える。制御装置90は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は複数の吸着ノズル44のそれぞれで第1吸着動作を実行すると共に第1吸着動作において複数の吸着ノズル44のそれぞれで吸着された部品Pの吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は学習した補正値を用いて第2吸着動作を実行する。このように、本開示の部品実装機10は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返す場合、複数の吸着ノズル44のそれぞれで第1吸着動作を実行して補正値を学習してから第2吸着動作へ移行する。これにより、本開示の部品実装機10は、複数の吸着ノズル44に複数の部品を同時的に吸着させる同時吸着動作を精度良く行なうことができる。 The component mounter 10 of the embodiment described above has a first suction operation (as a suction operation) in which one nozzle is lowered and a negative pressure is supplied to the suction port of the one nozzle to suction a component onto one nozzle. (single suction operation), and a second suction operation (simultaneous suction operation) in which multiple nozzles are simultaneously lowered and negative pressure is supplied to the suction ports of the multiple nozzles to simultaneously suction the components to the multiple nozzles. The control device 90 is equipped with a control device 90 capable of executing the following. When repeatedly performing a suction operation and a mounting operation for the same type of component, the control device 90 initially performs a first suction operation with each of the plurality of suction nozzles 44, and also performs a first suction operation with each of the plurality of suction nozzles 44 in the first suction operation. A correction value for correcting the deviation of the suction position of the picked-up component P is learned in each case, and after a predetermined condition is satisfied, the second suction operation is executed using the learned correction value. In this way, when the component mounter 10 of the present disclosure repeats the suction operation and the mounting operation for the same type of component, the component mounter 10 performs the first suction operation with each of the plurality of suction nozzles 44 to learn the correction value. Then, the process moves to the second suction operation. Thereby, the component mounter 10 of the present disclosure can accurately perform a simultaneous suction operation in which the plurality of suction nozzles 44 simultaneously suction a plurality of components.

また、実施形態の部品実装機10は、第1吸着動作(単吸着動作)において吸着ノズル44に吸着された部品Pの吸着位置のばらつき(吸着ずれ量の平均値および3σ)を測定し、そのばらつきが所定範囲内に収束した以降に第2吸着動作(同時吸着動作)を実行する。こうすれば、部品実装機10は、第1吸着動作において学習した補正値に基づいて第2吸着動作を実行することで、第2吸着動作の精度をより高めることができ、例えば、0.4mm×0.2mmのチップ部品などの極小部品の同時吸着を実現することができる。 In addition, the component mounter 10 of the embodiment measures the variation in the suction position (the average value and 3σ of the suction deviation amount) of the component P suctioned by the suction nozzle 44 in the first suction operation (single suction operation), and After the variation converges within a predetermined range, the second suction operation (simultaneous suction operation) is performed. In this way, the component mounter 10 can further improve the accuracy of the second suction operation by executing the second suction operation based on the correction value learned in the first suction operation, for example, 0.4 mm. Simultaneous suction of extremely small parts such as x0.2 mm chip parts can be realized.

さらに、実施形態の部品実装機10は、第2吸着動作(同時吸着動作)において、X軸方向のヘッド移動補正値ΔXhz1,ΔXhz2を用いて実装ヘッド40のX軸方向の目標ヘッド位置Xhを補正し、Y軸方向のヘッド移動補正値ΔYhz1,ΔYhz2を用いて対応する2つのテープフィーダ23の目標送り量Fz1,Fz2を補正する。こうすれば、部品実装機10は、第2吸着動作において、Y軸方向の吸着ずれを、Z1とZ2とで個別に補正することができるため、Y軸方向の吸着位置精度をより高めることができる。 Furthermore, in the second suction operation (simultaneous suction operation), the component mounter 10 of the embodiment corrects the target head position Xh of the mounting head 40 in the X-axis direction using the head movement correction values ΔXhz1 and ΔXhz2 in the X-axis direction. Then, the target feed amounts Fz1 and Fz2 of the two corresponding tape feeders 23 are corrected using the head movement correction values ΔYhz1 and ΔYhz2 in the Y-axis direction. In this way, the component mounter 10 can independently correct the suction deviation in the Y-axis direction for Z1 and Z2 in the second suction operation, so that the suction position accuracy in the Y-axis direction can be further improved. can.

また、実施形態の部品実装機10は、実装ヘッド40が交換されたり、同時吸着動作において吸着エラーが発生すると、同時吸着許可フラグFに値0を設定して同時吸着動作を禁止する。これにより、吸着位置精度が低下している状況下において同時吸着動作が実行されるのを回避し、吸着エラーの頻発を抑制することができる。 Furthermore, when the mounting head 40 is replaced or a suction error occurs during the simultaneous suction operation, the component mounter 10 of the embodiment sets the simultaneous suction permission flag F to a value of 0 to prohibit the simultaneous suction operation. Thereby, it is possible to avoid simultaneous suction operations from being performed under conditions where the suction position accuracy is degraded, and to suppress frequent occurrence of suction errors.

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。 It goes without saying that the present invention is not limited to the embodiments described above, and can be implemented in various forms as long as they fall within the technical scope of the present invention.

例えば、上述した実施形態では、部品実装機10は、ヘッド本体41に対して複数のノズルホルダ42が周方向に配列されたロータリ型の実装ヘッド40を備えるものとした。しかし、部品実装機10は、パーツフィーダ(テープフィーダ23)の配列方向に沿って当該パーツフィーダと同ピッチで配列され且つそれぞれ独立して昇降可能なノズルホルダ(吸着ノズル)を有する並列型の実装ヘッドを備えるものとしてもよい。 For example, in the embodiment described above, the component mounting machine 10 includes a rotary mounting head 40 in which a plurality of nozzle holders 42 are arranged circumferentially around a head main body 41. However, the component mounter 10 is a parallel type mounting device that has nozzle holders (suction nozzles) that are arranged at the same pitch as the parts feeders (tape feeder 23) along the arrangement direction of the parts feeders (tape feeders 23) and can be raised and lowered independently. It may also include a head.

上述した実施形態では、実装ヘッド40は、所定位置にある2つのノズルホルダ42(吸着ノズル44)をそれぞれ個別に昇降させる2つのZ軸駆動装置70,75を備えるものとした。しかし、実装ヘッド40は、Z軸駆動装置を3つ以上備えてもよく、3つ以上のZ軸駆動装置により3つ以上の吸着ノズルを同時的に下降させ、各吸着ノズルに3つ以上の部品Pを同時的に吸着するものとしてもよい。 In the embodiment described above, the mounting head 40 includes two Z-axis drive devices 70 and 75 that individually move up and down the two nozzle holders 42 (suction nozzles 44) located at predetermined positions. However, the mounting head 40 may include three or more Z-axis drive devices, and the three or more Z-axis drive devices lower three or more suction nozzles simultaneously, and each suction nozzle has three or more The parts P may also be picked up simultaneously.

上述した実施形態では、CPU91は、同時吸着動作において、Y軸方向のヘッド移動補正値ΔYhz1,ΔYhz2を用いて2つの吸着対象部品を供給する2つのテープフィーダ23の目標送り量Fz1,Fz2を補正した。また、CPU91は、X軸方向のヘッド移動補正値ΔXhz1,ΔXhz2を用いて実装ヘッド40のX軸方向の目標ヘッド位置Xhを補正し、実装ヘッド40のY軸方向の目標ヘッド位置Yhを補正しないものとした。しかし、CPU91は、目標送り量Fz1,Fz2の補正に代えて、Y軸方向のヘッド移動補正値ΔYhz1,ΔYhz2を用いて実装ヘッド40のY軸方向の目標ヘッド位置Yhを補正してもよい。この場合、CPU91は、現在のY軸方向の目標ヘッド位置Yhに、ヘッド移動補正値ΔYhz1とヘッド移動補正値ΔYhz2との和を値2で除したものを加えることにより、目標ヘッド位置Yhを補正すればよい。 In the above-described embodiment, the CPU 91 uses the head movement correction values ΔYhz1 and ΔYhz2 in the Y-axis direction in the simultaneous suction operation to correct the target feed amounts Fz1 and Fz2 of the two tape feeders 23 that supply the two parts to be suctioned. did. Further, the CPU 91 corrects the target head position Xh of the mounting head 40 in the X-axis direction using the head movement correction values ΔXhz1 and ΔXhz2 in the X-axis direction, but does not correct the target head position Yh of the mounting head 40 in the Y-axis direction. I took it as a thing. However, instead of correcting the target feed amounts Fz1 and Fz2, the CPU 91 may correct the target head position Yh of the mounting head 40 in the Y-axis direction using the head movement correction values ΔYhz1 and ΔYhz2 in the Y-axis direction. In this case, the CPU 91 corrects the target head position Yh by adding the sum of the head movement correction value ΔYhz1 and the head movement correction value ΔYhz2 divided by the value 2 to the current target head position Yh in the Y-axis direction. do it.

上述した実施形態では、CPU91は、単吸着動作において吸着ノズル44の吸着位置精度(吸着ずれ量の平均値および3σ)が所定範囲内に収束した以降に同時吸着動作に移行した。しかし、CPU91は、単吸着動作においてヘッド移動補正値の学習の進捗状況が所定程度まで達したとき(例えば、学習回数が所定回数に達したとき)に、同時吸着動作に移行してもよい。 In the embodiment described above, the CPU 91 shifts to the simultaneous suction operation after the suction position accuracy (the average value of the suction deviation amount and 3σ) of the suction nozzle 44 converges within a predetermined range in the single suction operation. However, the CPU 91 may shift to the simultaneous suction operation when the learning progress of the head movement correction value reaches a predetermined level in the single suction operation (for example, when the number of learning times reaches a predetermined number).

上述した実施形態では、CPU91は、実装ヘッド40が交換された場合と、同時吸着動作において吸着エラーが発生した場合とに同時吸着許可フラグFに値0を設定して同時吸着動作を禁止するものとした。しかし、これに限定されるものではなく、CPU91は、テープフィーダ23が交換された場合に同時吸着許可フラグFに値0を設定してもよい。 In the embodiment described above, the CPU 91 sets the value 0 to the simultaneous suction permission flag F to prohibit the simultaneous suction operation when the mounting head 40 is replaced and when a suction error occurs during the simultaneous suction operation. And so. However, the present invention is not limited to this, and the CPU 91 may set the simultaneous adsorption permission flag F to the value 0 when the tape feeder 23 is replaced.

上述した実施形態では、XYロボット30は、実装ヘッド40をXY軸方向に移動させるものとしたが、基板BをXY軸方向に移動させてもよい。 In the embodiment described above, the XY robot 30 moves the mounting head 40 in the XY-axis directions, but it may move the substrate B in the XY-axis directions.

上述した実施形態では、部品実装機10は、各軸(X軸、Y軸、R軸、Q軸およびZ軸)の位置を検出する位置センサ37,39,55,65,73,78を備えたが、「位置センサ」には、エンコーダやリニアスケールが含まれてもよい。 In the embodiment described above, the component mounting machine 10 includes position sensors 37, 39, 55, 65, 73, and 78 that detect the position of each axis (X axis, Y axis, R axis, Q axis, and Z axis). However, the "position sensor" may include an encoder and a linear scale.

本発明は、部品実装機の製造産業などに利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention can be utilized for the manufacturing industry of a component mounting machine, etc.

1 部品実装システム、10 部品実装機、12、筐体、22 部品供給部、23 テープフィーダ、24 基板搬送装置、26 パーツカメラ、28 マークカメラ、29 ノズルステーション、30 XYロボット、31 X軸ガイドレール、32 X軸スライダ、33 Y軸ガイドレール、34 Y軸スライダ、36 X軸モータ、37 X軸位置センサ、38 Y軸モータ、39 Y軸位置センサ、40 実装ヘッド、41 ヘッド本体、41a 放射状流路、42 ノズルホルダ、42a ホルダ流路、44 吸着ノズル、45 第1弁駆動装置、46 第2弁駆動装置、47,48 側面カメラ、50 R軸駆動装置、51 R軸モータ、52 R軸、53 伝達ギヤ、55 R軸位置センサ、60 Q軸駆動装置、61 Q軸モータ、62 円筒ギヤ、62a 外歯、64 Q軸ギヤ、65 Q軸位置センサ、70 第1Z軸駆動装置、71,76 Z軸モータ、72,77 Z軸スライダ、73,78 Z軸位置センサ、75 第2Z軸駆動装置、80 圧力供給装置、81 負圧源、82 正圧源、83 負圧流路、84 正圧流路、85 大気圧流路、86 切替弁、87 弁操作レバー、88 圧力センサ、90 制御装置、91 CPU、92 ROM 93 HDD、94 RAM、95 入出力インタフェース、96 バス、100 管理装置、101 CPU、102 ROM、103 HDD、104 RAM、105 入出力インタフェース、107 入力デバイス、108 ディスプレイ、P 部品、S 基板。 1 component mounting system, 10 component mounting machine, 12 housing, 22 component supply section, 23 tape feeder, 24 board transfer device, 26 parts camera, 28 mark camera, 29 nozzle station, 30 XY robot, 31 X-axis guide rail , 32 X-axis slider, 33 Y-axis guide rail, 34 Y-axis slider, 36 X-axis motor, 37 X-axis position sensor, 38 Y-axis motor, 39 Y-axis position sensor, 40 mounting head, 41 head main body, 41a radial flow channel, 42 nozzle holder, 42a holder flow path, 44 suction nozzle, 45 first valve drive device, 46 second valve drive device, 47, 48 side camera, 50 R-axis drive device, 51 R-axis motor, 52 R-axis, 53 transmission gear, 55 R-axis position sensor, 60 Q-axis drive device, 61 Q-axis motor, 62 cylindrical gear, 62a external tooth, 64 Q-axis gear, 65 Q-axis position sensor, 70 first Z-axis drive device, 71, 76 Z-axis motor, 72, 77 Z-axis slider, 73, 78 Z-axis position sensor, 75 second Z-axis drive device, 80 pressure supply device, 81 negative pressure source, 82 positive pressure source, 83 negative pressure flow path, 84 positive pressure flow path , 85 atmospheric pressure flow path, 86 switching valve, 87 valve operation lever, 88 pressure sensor, 90 control device, 91 CPU, 92 ROM 93 HDD, 94 RAM, 95 input/output interface, 96 bus, 100 management device, 101 CPU, 102 ROM, 103 HDD, 104 RAM, 105 input/output interface, 107 input device, 108 display, P parts, S board.

Claims (1)

部品供給部に配列された複数のパーツフィーダから供給される部品を吸着して基板に実装する部品実装機であって、
前記部品を吸着可能なノズルを複数有するヘッドと、
複数の前記ノズルを個別に昇降可能な昇降装置と、
前記ノズルの昇降方向に直交する面に沿って前記基板に対して前記ヘッドを相対移動させる移動装置と、
前記ノズルに吸着された部品を撮像するパーツカメラと、
前記ノズルに部品を吸着させる吸着動作として、前記部品供給部の上方で一つの前記ノズルが下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該一つのノズルに前記部品を吸着させる第1吸着動作と、前記部品供給部の上方で複数の前記ノズルが同時的に下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる第2吸着動作とを実行可能であり、前記パーツカメラから得られる前記ノズルに吸着された部品の吸着ずれ量に基づいて前記第1吸着動作と前記第2吸着動作を選択的に実行する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、吸着動作として前記第1吸着動作を実行し、前記第1吸着動作において吸着された部品の吸着ずれを補正するための補正値を学習すると共に前記吸着ずれ量のばらつきの程度を計算し、計算値が所定範囲内に収まった場合は前記学習した補正値を用いて前記第2吸着動作を実行する、
部品実装機。
A component mounting machine that sucks components supplied from a plurality of parts feeders arranged in a component supply section and mounts them on a board,
a head having a plurality of nozzles capable of suctioning the component;
a lifting device capable of lifting and lowering the plurality of nozzles individually;
a moving device that moves the head relative to the substrate along a plane perpendicular to the vertical direction of the nozzle;
a parts camera that images the parts sucked by the nozzle;
As the suction operation for suctioning the component to the nozzle, a first operation for suctioning the component to the one nozzle by controlling the moving device and the elevating device so that one nozzle descends above the component supply unit. a second step of suctioning the plurality of components to the plurality of nozzles simultaneously by controlling the moving device and the elevating device so that the plurality of nozzles descend simultaneously above the component supply unit; a control device that is capable of performing a suction operation and selectively executes the first suction operation and the second suction operation based on a suction deviation amount of the component suctioned to the nozzle obtained from the parts camera;
Equipped with
The control device executes the first suction operation as a suction operation, learns a correction value for correcting a suction deviation of a component suctioned in the first suction operation, and learns a degree of variation in the amount of suction deviation. calculating, and if the calculated value falls within a predetermined range, performing the second suction operation using the learned correction value;
Component mounting machine.
JP2023012788A 2021-03-10 2023-01-31 Component mounting machine Active JP7446499B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023012788A JP7446499B2 (en) 2021-03-10 2023-01-31 Component mounting machine

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021038260A JP2021090076A (en) 2021-03-10 2021-03-10 Component mounting machine
JP2023012788A JP7446499B2 (en) 2021-03-10 2023-01-31 Component mounting machine

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021038260A Division JP2021090076A (en) 2021-03-10 2021-03-10 Component mounting machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023041803A JP2023041803A (en) 2023-03-24
JP7446499B2 true JP7446499B2 (en) 2024-03-08

Family

ID=76220615

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021038260A Pending JP2021090076A (en) 2021-03-10 2021-03-10 Component mounting machine
JP2023012788A Active JP7446499B2 (en) 2021-03-10 2023-01-31 Component mounting machine

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021038260A Pending JP2021090076A (en) 2021-03-10 2021-03-10 Component mounting machine

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP2021090076A (en)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000223894A (en) 1999-02-03 2000-08-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Device and method for mounting electronic part
JP2001007600A (en) 1996-09-27 2001-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic-part mounting method
JP2002118396A (en) 2000-10-06 2002-04-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for mounting electronic component
JP2003198192A (en) 2001-12-26 2003-07-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd Electronic circuit component-demounting method, electronic circuit-manufacturing method, electronic circuit component-demounting apparatus, and electronic circuit component-mounting machine
JP2005116597A (en) 2003-10-03 2005-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic part mounting method
JP2008211066A (en) 2007-02-27 2008-09-11 Juki Corp Surface mounting device and method
JP2010153716A (en) 2008-12-26 2010-07-08 Panasonic Corp Electronic component mounting device
WO2016072014A1 (en) 2014-11-07 2016-05-12 富士機械製造株式会社 Rotary head component mounter

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3358464B2 (en) * 1996-10-11 2002-12-16 松下電器産業株式会社 Electronic component mounting method
JP4597435B2 (en) * 2000-08-29 2010-12-15 パナソニック株式会社 Component mounting method and component mounting apparatus
JP5746593B2 (en) * 2011-09-27 2015-07-08 富士機械製造株式会社 Electronic component feeder

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001007600A (en) 1996-09-27 2001-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic-part mounting method
JP2000223894A (en) 1999-02-03 2000-08-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Device and method for mounting electronic part
JP2002118396A (en) 2000-10-06 2002-04-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for mounting electronic component
JP2003198192A (en) 2001-12-26 2003-07-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd Electronic circuit component-demounting method, electronic circuit-manufacturing method, electronic circuit component-demounting apparatus, and electronic circuit component-mounting machine
JP2005116597A (en) 2003-10-03 2005-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic part mounting method
JP2008211066A (en) 2007-02-27 2008-09-11 Juki Corp Surface mounting device and method
JP2010153716A (en) 2008-12-26 2010-07-08 Panasonic Corp Electronic component mounting device
WO2016072014A1 (en) 2014-11-07 2016-05-12 富士機械製造株式会社 Rotary head component mounter

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021090076A (en) 2021-06-10
JP2023041803A (en) 2023-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5139569B1 (en) Substrate transfer device, substrate transfer method, and surface mounter
JP4587877B2 (en) Component mounting equipment
US8528198B2 (en) Component mounting method
JP2017168619A (en) Component loading method and component mounting device
CN111133850B (en) Component mounting machine
JP2024015380A (en) Suction position adjusting device
EP3487275B1 (en) Component mounter
JP4921346B2 (en) Adsorption position correction method in component mounting apparatus
JP7446499B2 (en) Component mounting machine
CN111108821B (en) Component mounting machine
JP4909255B2 (en) Head movement position correction method and component in component mounting apparatus
JP4091950B2 (en) Component mounting position correction method and surface mounter
CN114823414A (en) Chip mounting device and method for manufacturing semiconductor device
JP5860688B2 (en) Board work machine
JP4401193B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP3793387B2 (en) Surface mount machine
CN113950874B (en) Component mounting machine
JP2002009494A (en) Method and device for recognizing board of part mounting system
JPWO2019012576A1 (en) Imaging device, surface mounter and inspection device
JP2003152397A (en) Electric component mounting system and electric circuit manufacturing method
JP6556200B2 (en) Electronic component mounting apparatus and substrate manufacturing method
JP2023152382A (en) Image processing device, component mounting machine and image processing method
JP2019110224A (en) Component mounting device
JP2010120123A (en) Orthogonal robot, component mounting device equipped with the orthogonal robot, and method of controlling the orthogonal robot

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230221

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230221

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20231110

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20231205

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240112

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240206

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240227

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7446499

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150