JP7405322B2

JP7405322B2 - Gas injection nozzle, gas injection device, and dust removal device

Info

Publication number: JP7405322B2
Application number: JP2020007069A
Authority: JP
Inventors: 一文中井
Original assignee: 株式会社ディーオ
Priority date: 2020-01-20
Filing date: 2020-01-20
Publication date: 2023-12-26
Anticipated expiration: 2040-01-20
Also published as: JP2021112718A

Description

本発明は、先端から気体を噴射する気体噴射ノズル、気体噴射装置、及び、除塵装置に関する。 The present invention relates to a gas injection nozzle that injects gas from its tip, a gas injection device, and a dust removal device.

従来、精密機器の製造工程等において、ワークに付着した埃や粉塵を除去するために、ワークの表面に気体を噴射する除塵装置が採用されている。そして、このような気体噴射装置に採用される噴射ノズルとして、弾性チューブの先端に開口された気体噴射口から噴射される気体によって、筒状ガイドの内周面で弾性チューブを撓ませながら回転させて、気体をパルス状に噴射する構成が知られている（例えば、特許文献１を参照）。 2. Description of the Related Art Conventionally, in the manufacturing process of precision equipment, etc., a dust removal device that injects gas onto the surface of a workpiece has been employed in order to remove dust and dust adhering to the workpiece. The injection nozzle employed in such a gas injection device rotates the elastic tube while bending it on the inner circumferential surface of the cylindrical guide by the gas injected from the gas injection port opened at the tip of the elastic tube. A configuration is known in which gas is injected in a pulsed manner (for example, see Patent Document 1).

特開２００７－２５３０４０号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-253040

前記特許文献１に記載の噴射ノズルにおいて、筒状ガイドは弾性チューブが当接する内壁が先広がりのテーパ状に形成されている。即ち、噴射ノズルの基端部と比較して先端部が大径となるため、噴射ノズルの装置構成が大きくなっていた。また、当該噴射ノズルを除塵装置に採用した場合、吸気ノズルの内部で噴射ノズルによる空気抵抗が大きくなるため、吸引効率の低下の原因となっていた。 In the injection nozzle described in Patent Document 1, the inner wall of the cylindrical guide with which the elastic tube comes into contact is formed in a tapered shape that widens toward the other end. That is, since the distal end of the injection nozzle has a larger diameter than the base end, the device configuration of the injection nozzle has become larger. Further, when the injection nozzle is employed in a dust removal device, air resistance due to the injection nozzle increases inside the intake nozzle, which causes a decrease in suction efficiency.

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、本発明が解決しようとする課題は、ノズルの基端部と先端部との外径を同一にすることにより、装置構成をコンパクトに形成することが可能となる、気体噴射ノズル、気体噴射装置、及び、除塵装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and the problem to be solved by the present invention is to make the device configuration compact by making the outer diameters of the base end and the tip of the nozzle the same. An object of the present invention is to provide a gas injection nozzle, a gas injection device, and a dust removal device that can be formed.

以下では、上記課題を解決するための手段を説明する。 Below, means for solving the above problem will be explained.

本発明に係る気体噴射ノズルは、円筒部材と、前記円筒部材の内部に挿通される弾性チューブと、を備え、前記弾性チューブの基端側に供給された気体を前記弾性チューブの先端から噴射する、気体噴射ノズルであって、前記弾性チューブは、前記円筒部材の基端部に支持されるとともに、前記先端が前記円筒部材の先端開口部から延出され、前記円筒部材の内周面には、前記円筒部材の内径よりも小さい内径に形成された円環状のガイド部材が少なくとも一個設けられ、前記弾性チューブは前記ガイド部材の内側を挿通され、前記円筒部材の内周面には、前記ガイド部材が前記先端部側と前記基端部側の二箇所に離間して設けられる。 The gas injection nozzle according to the present invention includes a cylindrical member and an elastic tube inserted into the cylindrical member, and injects gas supplied to the base end side of the elastic tube from the tip of the elastic tube. , the elastic tube is supported by a proximal end of the cylindrical member, the distal end thereof extends from the distal opening of the cylindrical member, and the inner circumferential surface of the cylindrical member has a , at least one annular guide member having an inner diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical member is provided, the elastic tube is inserted inside the guide member , and the guide member is provided on the inner peripheral surface of the cylindrical member. A member is provided at two locations, one on the distal end side and the other on the proximal end side.

本構成により、ノズルの基端部と先端部との外径を同一にすることにより、気体噴射ノズルの装置構成を従来技術と比較してコンパクトに形成することが可能となる。また、弾性チューブを継続して回転させることができ、気体をパルス状に安定して噴出することが可能となる。 With this configuration, by making the outer diameters of the base end and the distal end of the nozzle the same, it is possible to make the device configuration of the gas injection nozzle more compact than that of the prior art. Further, the elastic tube can be continuously rotated, and gas can be stably ejected in a pulsed manner.

また、気体噴射ノズルにおいて、前記弾性チューブは少なくとも一個の錘部を備えることが好ましい。 Further, in the gas injection nozzle, it is preferable that the elastic tube includes at least one weight portion.

本構成により、弾性チューブをより安定的に回転させることができ、気体をパルス状に噴出することが可能となる。 With this configuration, the elastic tube can be rotated more stably, and gas can be ejected in a pulsed manner.

また、前記弾性チューブは、先端部に形成された先端錘部と、中途部に二個形成された中途錘部と、を備え、前記中途錘部は、それぞれ前記ガイド部材における前記基端側の近傍に設けられることが好ましい。 Further, the elastic tube includes a distal weight portion formed at the distal end portion and two intermediate weight portions formed at the midway portion, and each of the midway weight portions is located at the base end side of the guide member. Preferably, it is provided nearby.

本構成により、弾性チューブをさらに安定的に回転させることができ、気体をパルス状に安定して噴出することが可能となる。 With this configuration, the elastic tube can be rotated more stably, and gas can be stably ejected in a pulsed manner.

また、本発明に係る気体噴射装置は、前記気体噴射ノズルと、前記弾性チューブに気体を供給する気体供給部と、を備える。 Further, the gas injection device according to the present invention includes the gas injection nozzle and a gas supply section that supplies gas to the elastic tube.

本構成により、気体噴射ノズルの基端部と先端部との外径を同一にすることにより、気体噴射装置の装置構成を従来技術と比較してコンパクトに形成することが可能となる。 With this configuration, by making the outer diameters of the base end and the distal end of the gas injection nozzle the same, it is possible to make the device configuration of the gas injection device more compact than that of the prior art.

また、本発明に係る除塵装置は、前記気体噴射装置と、前記気体噴射ノズルの周囲に形成された吸気ノズルと、前記吸気ノズルを介して気体を吸引する気体吸引部と、を備える。 Further, the dust removal device according to the present invention includes the gas injection device, an intake nozzle formed around the gas injection nozzle, and a gas suction unit that sucks gas through the intake nozzle.

本構成により、気体噴射ノズルの基端部と先端部との外径を同一にすることにより、除塵装置の装置構成を従来技術と比較してコンパクトに形成することが可能となる。 With this configuration, by making the outer diameters of the base end and the tip of the gas injection nozzle the same, it is possible to make the device configuration of the dust removal device more compact than that of the prior art.

本発明に係る気体噴射ノズル、気体噴射装置、及び、除塵装置によれば、ノズルの基端部と先端部との外径を同一にすることにより、装置構成を従来技術と比較してコンパクトに形成することが可能となる、という効果を奏する。 According to the gas injection nozzle, gas injection device, and dust removal device according to the present invention, by making the outer diameter of the base end and the tip end of the nozzle the same, the device configuration can be made more compact compared to the conventional technology. This has the effect that it becomes possible to form

第一実施形態に係る除塵装置の全体構成を示す正面図。FIG. 1 is a front view showing the overall configuration of the dust removal device according to the first embodiment. 第一実施形態に係る除塵装置に用いられる除塵ノズルを示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a dust removal nozzle used in the dust removal device according to the first embodiment. （ａ）は除塵ノズルを示す平面図、（ｂ）は同じく底面図。(a) is a plan view showing a dust removal nozzle, and (b) is a bottom view. 除塵ノズルの内部構造を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing the internal structure of a dust removal nozzle. 気体噴射ノズルの内部構造を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the internal structure of a gas injection nozzle. 第二実施形態に係る除塵ノズルの内部構造を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the internal structure of a dust removal nozzle according to a second embodiment. 第二実施形態に係る除塵ノズルの平面図。FIG. 3 is a plan view of a dust removal nozzle according to a second embodiment.

以下では図１から図５を用いて、本発明の第一実施形態に係る除塵装置１０について説明する。図１に示す如く、本実施形態に係る除塵装置１０は、気体供給部であるコンプレッサーＣ、気体吸引部である集塵機Ｐ、及び、除塵ノズル１２を備える。コンプレッサーＣと除塵ノズル１２とは気体噴射経路１１で接続されている。また、除塵ノズル１２と集塵機Ｐとは気体吸引経路１３で接続されている。集塵機Ｐには気体を吸引するポンプが内蔵されており、このポンプを駆動することにより、除塵ノズル１２及び気体吸引経路１３を介して気体を吸引可能とされている。 A dust removal device 10 according to a first embodiment of the present invention will be described below using FIGS. 1 to 5. As shown in FIG. 1, the dust removal device 10 according to the present embodiment includes a compressor C that is a gas supply section, a dust collector P that is a gas suction section, and a dust removal nozzle 12. The compressor C and the dust removal nozzle 12 are connected by a gas injection path 11. Furthermore, the dust removal nozzle 12 and the dust collector P are connected by a gas suction path 13. The dust collector P has a built-in pump for sucking gas, and by driving this pump, it is possible to suck gas through the dust removal nozzle 12 and the gas suction path 13.

除塵装置１０を使用する際は、図１に示す如く載置台Ｓに載置された除塵対象物であるワークＷの対象面Ｗｐと対向するように除塵ノズル１２を配置する。そして、コンプレッサーＣから供給される気体（本実施形態においては圧縮空気）を除塵ノズル１２の気体噴射ノズル２１からワークＷの対象面Ｗｐにパルス状に噴射する。対象面Ｗｐの表面に付着した埃や粉塵は、気体噴射ノズル２１から噴射された気体により対象面Ｗｐから剥ぎ取られる。そして、集塵機Ｐが除塵ノズル１２の吸気ノズル３１を介して空気を吸引することで、対象面Ｗｐから除去された埃や粉塵が集塵機Ｐに集められる（図４を参照）。 When using the dust removal device 10, the dust removal nozzle 12 is arranged so as to face the target surface Wp of the workpiece W, which is the object to be dusted, placed on the mounting table S as shown in FIG. Then, the gas (compressed air in this embodiment) supplied from the compressor C is injected in a pulsed manner from the gas injection nozzle 21 of the dust removal nozzle 12 onto the target surface Wp of the workpiece W. Dust and dust attached to the surface of the target surface Wp are peeled off from the target surface Wp by the gas jetted from the gas jet nozzle 21. Then, the dust collector P sucks air through the intake nozzle 31 of the dust removal nozzle 12, so that the dust and dust removed from the target surface Wp are collected in the dust collector P (see FIG. 4).

コンプレッサーＣから供給される空気は、気体噴射経路１１上に設けられた図示しない減圧弁等の空圧機器により流量及び圧力の調節が行われる。本実施形態に係る除塵装置１０においては、０．２～０．３ＭＰａの供給圧力により、１００～１３５Ｌ／ｍｉｎの流量で空気が供給される。なお、これらの条件は限定されるものではなく、本実施形態と異なる条件で除塵装置１０を用いることも可能である。 The flow rate and pressure of the air supplied from the compressor C are adjusted by a pneumatic device such as a pressure reducing valve (not shown) provided on the gas injection path 11. In the dust removal device 10 according to the present embodiment, air is supplied at a flow rate of 100 to 135 L/min with a supply pressure of 0.2 to 0.3 MPa. Note that these conditions are not limited, and it is also possible to use the dust removal device 10 under conditions different from those of this embodiment.

図２から図４に示す如く、除塵ノズル１２は、下方が開口された円筒形状の吸気ノズル３１、吸気ノズル３１の上側に形成されて吸気ノズル３１と連通される筒状部３２、吸気ノズル３１における対向する側面にそれぞれ設けられる固定部３３・３３、筒状部３２を貫通して配置される接続管３４、及び、吸気ノズル３１の内部に収容される気体噴射ノズル２１等で構成される。 As shown in FIGS. 2 to 4, the dust removal nozzle 12 includes a cylindrical intake nozzle 31 with an open bottom, a cylindrical portion 32 formed above the intake nozzle 31 and communicating with the intake nozzle 31, and an intake nozzle 31. It is composed of fixing parts 33, 33 provided on opposing sides of the cylindrical part 32, a connecting pipe 34 arranged to penetrate the cylindrical part 32, a gas injection nozzle 21 housed inside the intake nozzle 31, and the like.

接続管３４は、図１に示す如く気体噴射経路１１に接続されている。また、筒状部３２は、図１に示す如く気体吸引経路１３に接続されている。そして、固定部３３・３３が図示しない固定具に固定されることにより、除塵ノズル１２がワークＷの上方で固定される。 The connecting pipe 34 is connected to the gas injection path 11 as shown in FIG. Further, the cylindrical portion 32 is connected to the gas suction path 13 as shown in FIG. Then, the dust removal nozzle 12 is fixed above the workpiece W by fixing the fixing parts 33 to a fixture (not shown).

図３及び図４に示す如く、気体噴射ノズル２１は吸気ノズル３１の中心部分に配置される。換言すれば、吸気ノズル３１は気体噴射ノズル２１の周囲に形成されている。気体噴射ノズル２１は、円筒部材２２と、円筒部材２２の内部に挿通される弾性チューブ２３と、を備える。円筒部材２２の下端部には円環状の先端ガイド２４が固定される。そして、接続管３４を介して気体噴射経路１１から弾性チューブ２３の基端側に供給された気体を、図４中に示す如く弾性チューブ２３の先端２３ａから噴射するように構成される。 As shown in FIGS. 3 and 4, the gas injection nozzle 21 is arranged at the center of the intake nozzle 31. In other words, the intake nozzle 31 is formed around the gas injection nozzle 21. The gas injection nozzle 21 includes a cylindrical member 22 and an elastic tube 23 inserted into the cylindrical member 22. An annular tip guide 24 is fixed to the lower end of the cylindrical member 22 . The configuration is such that the gas supplied from the gas injection path 11 to the proximal end side of the elastic tube 23 via the connecting pipe 34 is injected from the distal end 23a of the elastic tube 23, as shown in FIG.

図４及び図５に示す如く、弾性チューブ２３は、上端部が円筒部材２２の基端部に支持されるとともに、下端部が円筒部材２２の先端開口部から延出される。本実施形態において、弾性チューブ２３の長さを１０５ｍｍ、円筒部材２２の内径を２６ｍｍ、長さを９０ｍｍ、円筒部材２２からの弾性チューブ２３の延出長さを２０ｍｍとして構成した。 As shown in FIGS. 4 and 5, the upper end of the elastic tube 23 is supported by the proximal end of the cylindrical member 22, and the lower end extends from the distal end opening of the cylindrical member 22. In this embodiment, the length of the elastic tube 23 is 105 mm, the inner diameter of the cylindrical member 22 is 26 mm, the length is 90 mm, and the length of the elastic tube 23 extending from the cylindrical member 22 is 20 mm.

また、円筒部材２２の内周面には、円筒部材２２の内径よりも小さい内径に形成された円環状の第一ガイド部材２５ａ及び第二ガイド部材２５ｂが設けられ、弾性チューブ２３はガイド部材２５ａ・２５ｂの内側を挿通される。本実施形態においては、第一ガイド部材２５ａの厚さを６ｍｍ、内径を２０ｍｍとし、第二ガイド部材２５ｂの厚さを８ｍｍ、内径を１０ｍｍとして構成した。 Further, on the inner circumferential surface of the cylindrical member 22, a first guide member 25a and a second guide member 25b, which are annular and have an inner diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical member 22, are provided. - It is inserted through the inside of 25b. In this embodiment, the first guide member 25a has a thickness of 6 mm and an inner diameter of 20 mm, and the second guide member 25b has a thickness of 8 mm and an inner diameter of 10 mm.

本実施形態に係る気体噴射ノズル２１において、コンプレッサーＣから気体が気体噴射経路１１及び接続管３４を介して弾性チューブ２３の基端に供給されると、弾性チューブ２３が円筒部材２２の内部でガイド部材２５ａ・２５ｂにガイドされて撓みながら回転する。具体的には図４に示す如く、円筒部材２２の内部において、円筒部材２２の内径よりも小径のガイド部材２５ａ・２５ｂが配置された箇所では弾性チューブ２３の回転範囲が規制される。さらに、ガイド部材２５ａ・２５ｂが配置されない箇所では弾性チューブ２３がガイド部材２５ａ・２５ｂの内径よりも外側に膨らんで回転することにより、弾性チューブ２３に対して強制的に撓みが発生する。これにより、気体噴射ノズル２１における弾性チューブ２３の先端２３ａから、気体がパルス状に噴射される。 In the gas injection nozzle 21 according to the present embodiment, when gas is supplied from the compressor C to the base end of the elastic tube 23 via the gas injection path 11 and the connecting pipe 34, the elastic tube 23 is guided inside the cylindrical member 22. It rotates while being guided by members 25a and 25b and bending. Specifically, as shown in FIG. 4, inside the cylindrical member 22, the rotation range of the elastic tube 23 is restricted at locations where guide members 25a and 25b having a smaller diameter than the inner diameter of the cylindrical member 22 are arranged. Further, at locations where the guide members 25a and 25b are not arranged, the elastic tube 23 swells outward from the inner diameter of the guide members 25a and 25b and rotates, thereby forcibly bending the elastic tube 23. As a result, gas is injected in a pulsed manner from the tip 23a of the elastic tube 23 in the gas injection nozzle 21.

このように、本実施形態に係る気体噴射ノズル２１においては、円筒部材２２の基端部と先端部との外径が同一に構成されるため、従来技術の如く筒状ガイドが先広がりのテーパ状に形成された構成と比較して、気体噴射ノズル２１の装置構成をコンパクトに形成することが可能となる。 In this way, in the gas injection nozzle 21 according to the present embodiment, since the outer diameters of the base end and the tip end of the cylindrical member 22 are configured to be the same, the cylindrical guide has a tapered shape that widens at the end as in the prior art. Compared to a configuration formed in a shape, the device configuration of the gas injection nozzle 21 can be formed compactly.

また、本実施形態に係る気体噴射ノズル２１において、円筒部材２２の内周面には、第一ガイド部材２５ａと第二ガイド部材２５ｂとが先端部側と基端部側の二箇所に離間して設けられている。このガイド部材２５ａ・２５ｂが弾性チューブ２３の回転をガイドすることにより、弾性チューブ２３を撓みながら継続して回転させることができるため、安定して気体をパルス状に噴出することが可能となる。なお、本実施形態においてはガイド部材２５ａ・２５ｂと二個としているが、ガイド部材の個数及びその配置位置は本実施形態に限定されるものではない。 Furthermore, in the gas injection nozzle 21 according to the present embodiment, the first guide member 25a and the second guide member 25b are spaced apart from each other on the inner circumferential surface of the cylindrical member 22 at two locations on the distal end side and the base end side. It is provided. By guiding the rotation of the elastic tube 23 by the guide members 25a and 25b, the elastic tube 23 can be continuously rotated while being bent, so that gas can be stably ejected in a pulsed manner. In this embodiment, there are two guide members 25a and 25b, but the number of guide members and their arrangement positions are not limited to this embodiment.

また、本実施形態に係る気体噴射ノズル２１において、弾性チューブ２３は少なくとも一個の錘部を備える。具体的には図４及び図５に示す如く、弾性チューブ２３は、先端部に形成された先端錘部２６と、中途部に二個形成された第一中途錘部２７ａ及び第二中途錘部２７ｂと、を備える。そして、第一中途錘部２７ａ及び第二中途錘部２７ｂは、それぞれガイド部材２５ａ・２５ｂにおける基端側の近傍に設けられる。 Furthermore, in the gas injection nozzle 21 according to the present embodiment, the elastic tube 23 includes at least one weight portion. Specifically, as shown in FIGS. 4 and 5, the elastic tube 23 includes a tip weight portion 26 formed at the tip, and a first weight portion 27a and a second weight portion formed in the middle. 27b. The first intermediate weight portion 27a and the second intermediate weight portion 27b are provided near the proximal ends of the guide members 25a and 25b, respectively.

本構成により、弾性チューブ２３が回転する際の慣性モーメントを大きくすることができるため、弾性チューブ２３を撓みながらさらに安定して回転させることができ、より安定的に気体をパルス状に噴出することが可能となる。具体的には、本実施形態に係る気体噴射ノズル２１によれば、０．２～０．３ＭＰａの供給圧力、１００～１３５Ｌ／ｍｉｎの流量でコンプレッサーＣから空気を供給した場合に、パルス状気体を円形状、一定のリズム、且つ、強い面圧力で安定して発生させることができた。なお、弾性チューブ２３に錘部を設けない構成とすることも可能である。 With this configuration, the moment of inertia when the elastic tube 23 rotates can be increased, so the elastic tube 23 can be rotated more stably while being bent, and the gas can be ejected more stably in a pulsed manner. becomes possible. Specifically, according to the gas injection nozzle 21 according to the present embodiment, when air is supplied from the compressor C at a supply pressure of 0.2 to 0.3 MPa and a flow rate of 100 to 135 L/min, pulsed gas could be generated stably in a circular shape, with a constant rhythm, and with strong surface pressure. Note that it is also possible to configure the elastic tube 23 without providing a weight portion.

また、本実施形態に係る除塵装置１０は、気体噴射ノズル２１、及び、気体噴射ノズル２１における弾性チューブ２３に気体を供給する気体供給部であるコンプレッサーＣで構成された気体噴射装置を備える。さらに、除塵装置１０は、気体噴射ノズル２１の周囲に形成された吸気ノズル３１と、吸気ノズル３１を介して気体を吸引する気体吸引部である集塵機Ｐを備える。 Further, the dust removal device 10 according to the present embodiment includes a gas injection device including a gas injection nozzle 21 and a compressor C, which is a gas supply section that supplies gas to the elastic tube 23 in the gas injection nozzle 21. Furthermore, the dust removal device 10 includes an intake nozzle 31 formed around the gas injection nozzle 21 and a dust collector P that is a gas suction unit that sucks gas through the intake nozzle 31.

除塵装置１０は本構成において、上記の如く気体噴射ノズル２１の基端部と先端部との外径を同一にすることにより、装置構成を従来技術と比較してコンパクトに形成することを可能としている。また、気体噴射ノズル２１を除塵装置１０に採用することにより、吸気ノズル３１の内部における気体噴射ノズル２１による空気抵抗を従来技術と比較して小さくすることができるため、除塵装置１０における吸引効率を向上させることが可能となる。 In this configuration, the dust removal device 10 has the same outer diameter as the base end and the tip of the gas injection nozzle 21 as described above, making it possible to make the device configuration more compact compared to the conventional technology. There is. Further, by employing the gas injection nozzle 21 in the dust removal device 10, the air resistance caused by the gas injection nozzle 21 inside the intake nozzle 31 can be made smaller compared to the conventional technology, so that the suction efficiency in the dust removal device 10 can be reduced. It becomes possible to improve the performance.

なお、本実施形態に係る除塵装置１０においては、気体噴射ノズル２１とコンプレッサーＣとで構成された気体噴射装置に、吸気ノズル３１及び集塵機Ｐを設けることで構成しているが、気体噴射装置を単体として使用することも可能である。この場合でも、気体噴射ノズル２１の基端部と先端部との外径を同一にすることにより、気体噴射装置の装置構成を従来技術と比較してコンパクトに形成することが可能となる。 Note that the dust removal device 10 according to the present embodiment is configured by providing an intake nozzle 31 and a dust collector P to a gas injection device composed of a gas injection nozzle 21 and a compressor C. It is also possible to use it alone. Even in this case, by making the outer diameters of the base end and the distal end of the gas injection nozzle 21 the same, it is possible to form the device configuration of the gas injection device more compactly than in the prior art.

次に、図６及び図７を用いて、本発明の第二実施形態に係る除塵ノズル１１２について説明する。なお、本実施形態において除塵ノズル１１２に接続して除塵装置を構成するコンプレッサーＣ及び集塵機Ｐは、前記実施形態と同様のため説明を省略する。 Next, a dust removal nozzle 112 according to a second embodiment of the present invention will be described using FIGS. 6 and 7. In addition, in this embodiment, the compressor C and the dust collector P which are connected to the dust removal nozzle 112 and constitute the dust removal apparatus are the same as those in the previous embodiment, and therefore the description thereof will be omitted.

本実施形態に係る除塵ノズル１１２は、下方が矩形に開口された角筒形状の吸気ノズル１３１、吸気ノズル１３１の上側に形成されて吸気ノズル１３１と連通される筒状部１３２・１３２、吸気ノズル１３１における対向する側面にそれぞれ設けられる固定部１３３・１３３、吸気ノズル１３１を貫通して配置される接続管１３４、及び、吸気ノズル１３１の内部に収容される二個の気体噴射ノズル２１・２１等で構成される。気体噴射ノズル２１の構成は前記実施形態と同様のため説明を省略する。 The dust removal nozzle 112 according to the present embodiment includes an intake nozzle 131 having a rectangular tube shape with a rectangular opening at the bottom, cylindrical portions 132 formed above the intake nozzle 131 and communicating with the intake nozzle 131, and an intake nozzle. Fixing parts 133, 133 provided on opposing sides of the air intake nozzle 131, a connecting pipe 134 extending through the intake nozzle 131, two gas injection nozzles 21, 21, etc. accommodated inside the intake nozzle 131. Consists of. The configuration of the gas injection nozzle 21 is the same as that of the embodiment described above, so the explanation will be omitted.

本実施形態の如く、除塵ノズル１１２においては気体噴射ノズル２１・２１を二個隣接して配置している。これにより、除塵ノズル１１２の幅寸法を大きく構成することができるため、除塵対象物であるワークＷの幅寸法に対応して除塵ノズル１１２を構成することができる。なお、除塵ノズルにおける気体噴射ノズル２１の個数は１個又は２個に限定されるものではなく、ワークＷの幅寸法に応じて３個以上とすることも可能である。 As in this embodiment, in the dust removal nozzle 112, two gas injection nozzles 21 are arranged adjacent to each other. As a result, the width of the dust removal nozzle 112 can be configured to be large, so that the dust removal nozzle 112 can be configured to correspond to the width of the workpiece W that is the object to be cleaned. Note that the number of gas injection nozzles 21 in the dust removal nozzle is not limited to one or two, and can be three or more depending on the width dimension of the workpiece W.

１０除塵装置１１気体噴射経路
１２除塵ノズル（第一実施形態）
１３気体吸引経路２１気体噴射ノズル
２２円筒部材２３弾性チューブ
２３ａ先端２４先端ガイド
２５ａ第一ガイド部材２５ｂ第二ガイド部材
２６先端錘部２７ａ第一中途錘部
２７ｂ第二中途錘部３１吸気ノズル
３２筒状部３３固定部
３４接続管１１２除塵ノズル（第二実施形態）
１３１吸気ノズル１３２筒状部
１３３固定部１３４接続管
Ｃコンプレッサー（気体供給部）
Ｐ集塵機（気体吸引部）
Ｓ載置台Ｗワーク
Ｗｐ対象面
10 Dust removal device 11 Gas injection path
12 Dust removal nozzle (first embodiment)
13 Gas suction path 21 Gas injection nozzle
22 Cylindrical member 23 Elastic tube
23a Tip 24 Tip guide
25a First guide member 25b Second guide member
26 Tip weight part 27a First midway weight part
27b Second midway weight part 31 Intake nozzle
32 Cylindrical part 33 Fixed part
34 Connecting pipe 112 Dust removal nozzle (second embodiment)
131 Intake nozzle 132 Cylindrical part
133 Fixed part 134 Connecting pipe
C Compressor (gas supply section)
P Dust collector (gas suction part)
S Mounting table W Workpiece
Wp Target surface

Claims

A gas injection nozzle comprising a cylindrical member and an elastic tube inserted into the cylindrical member, the gas injection nozzle injecting gas supplied to the base end side of the elastic tube from the tip of the elastic tube,
The elastic tube is supported by the proximal end of the cylindrical member, and the distal end extends from the distal opening of the cylindrical member,
At least one annular guide member having an inner diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical member is provided on the inner peripheral surface of the cylindrical member,
the elastic tube is inserted inside the guide member ,
A gas injection nozzle , wherein the guide member is provided on the inner circumferential surface of the cylindrical member at two locations, one on the distal end side and the other on the base end side .

The gas injection nozzle according to claim 1 , wherein the elastic tube includes at least one weight.

The elastic tube includes a tip weight portion formed at the tip portion and two midway weight portions formed in the middle portion,
The gas injection nozzle according to claim 1 , wherein each of the intermediate weight portions is provided near the base end side of the guide member.

A gas injection device comprising: the gas injection nozzle according to any one of claims 1 to 3 ; and a gas supply section that supplies gas to the elastic tube.

A dust removal device comprising: the gas injection device according to claim 4 ; an intake nozzle formed around the gas injection nozzle; and a gas suction section that sucks gas through the intake nozzle.