JP7386168B2 - グロー放電発光分析方法 - Google Patents
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Description
図1は、グロー放電発光分析装置10の構成を示すブロック図である。グロー放電発光分析装置10は、グロー放電管1、制御部21、光測定器22、電源部23、押圧電極24、減圧部25及びガス供給部26を備えている。グロー放電管1はグロー放電を発生させる。グロー放電管1は、分析対象である試料3に対してグロー放電を発生させる。グロー放電管1は、陽極11及びOリング12を含む。制御部21はグロー放電発光分析装置の全体的な制御を行う。光測定器22は分光器221及び検出器222を含む。分光器221はグロー放電により発生する光を分光する。検出器222は分光器221で分光した光の強度を測定する。電源部23はグロー放電を発生させるための高周波電圧を発生させる。押圧電極24は試料3をグロー放電管1に押圧して配置する。押圧電極24は電源部23に接続されている。減圧部25はグロー放電管1の内部を減圧する真空ポンプ等を含む。ガス供給部26は減圧後にグロー放電管1の内部へ混合ガスを供給する。減圧部25とグロー放電管1との間には、減圧用の配管が配置されている。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 グロー放電管
11 陽極
12 Oリング
21 制御部
22 光測定器
23 電源部
24 押圧電極
25 減圧部
26 ガス供給部
261 アルゴンガスボンベ
262 酸素ガスボンベ
Claims (6)
- Liを含む全固体電池の固体電解質を含む試料をグロー放電発光分析装置に固定し、
不活性ガスと反応性ガスとの混合ガスを供給して前記試料の深さ方向の分析を行う
ことを特徴とするグロー放電発光分析方法。 - 前記不活性ガスはアルゴンガス又はネオンガスであり、前記反応性ガスは酸素ガスである
ことを特徴とする請求項1に記載のグロー放電発光分析方法。 - Liを含む全固体電池の固体電解質を含む試料をグロー放電発光分析装置に固定し、
不活性ガスと酸素ガスを含む反応性ガスとの混合ガスを供給し、Liと酸素とを結合させた上で、前記試料の深さ方向の分析を行う
ことを特徴とするグロー放電発光分析方法。 - 前記試料は成分の分布が深さ方向で一様であり、深さ方向の分析結果において、前記試料の測定値は、前記不活性ガス若しくは前記反応性ガス、又は前記試料の主成分若しくは副成分に関する測定値を基準として、変動幅が20%以内である
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のグロー放電発光分析方法。 - 前記試料に含まれるLiの測定値は、深さ方向1μmから5μmの範囲において、前記不活性ガスであるアルゴンガスを基準値として、変動幅が20%以内である
ことを特徴とする請求項4に記載のグロー放電発光分析方法。 - 前記反応性ガスに含む酸素ガスが、前記混合ガスに占める割合は、0.05%から20%の範囲である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のグロー放電発光分析方法。
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Non-Patent Citations (3)
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No.0100 グロー放電発光分析装置(GD-OES)による深さ方向元素分析,株式会 社東レリサーチセンター [オンライン],2014年09月26日,https://cs2.toray.co.jp/news/trc/news_rd01.nsf/0/72555BF8F80A9DAB49257D5F002957DE |
TAKAHARA, Hikari,Analysis of Solid Electrolyte Interphase in Mn-Based Cathode/Graphite Li-Ion Battery with Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy,Journal of The Electrochemical Society,2014年,Vol.161 No.10,pp.A1716-A1722 |
高原晃里 他,グロー放電発光分析法によるリチウムイオン二次電池電極の表面分析、深さ方向分析,第51 回電池討論会 講演要旨集,2010年11月08日,p.78 |
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