JP7360152B2 - シリンダ装置 - Google Patents

Description

この発明は、ストローク端近くにおけるピストンの移動速度を低下させるクッション機構を備えるシリンダ装置に関する。

この種のシリンダ装置には、従来では、特許文献１（日本国・実開平４－７８３１０号公報）に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。

その従来公報の第２図に示すように、内周壁にシールリング（封止部材）が取り付けられたクッション室が、圧力室（作動室）の両側に相互に対向して設けられる。ピストンのストローク端近くにおいて、ピストンに設けられたクッションリングが、シールリングを介してクッション室へ保密状に嵌入する。すると、圧力室の流体が一時的に閉じ込められて流体圧が上昇するため、この流体圧によってピストンが減速される。閉じ込められた流体はバイパスに設けた速度制御機構を通って徐々に排出され、ピストンが低速で停止する。

実開平４－７８３１０号公報

上記の従来技術は次の問題がある。上記の従来のシリンダ装置では、ピストンの軸方向に相互に対向するクッション室、およびハウジング内にバイパス用の通路を形成する必要性がある。このため、シリンダ装置が大型化する。

本発明の目的は、クッション機構を備えた小型のシリンダ装置を提供することにある。

上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図４Ａから図６、または図１１から図1３、図１４、または図１６に示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
シリンダ装置が、ハウジング１内に、移動可能に挿入される出力部材７であって、ピストン７ａと、当該ピストン７ａに突設されたピストンロッド７ｂとを有する出力部材７と、上記出力部材７をその軸方向である先端側と基端側とに移動させる圧力流体が給排される作動室であって、上記ピストン７ａに対して先端側に形成された第１作動室８および基端側に形成された第２作動室９を含む作動室とを備える。シリンダ装置が、上記ハウジング１に形成され、上記ピストンロッド７ｂを嵌入させる第１収容孔６と、上記第１収容孔６または上記第１作動室８に上記圧力流体を給排するための第１給排路１０と、上記ピストンロッド７ｂの外周壁と上記収容孔６の内周壁との間に周方向に装着されると共に、上記ピストンロッド７ｂの外周壁と上記第１収容孔６の内周壁とに保密状に係合可能となっている第１封止部材１４と、上記ピストンロッド７ｂに貫通形成され、第１絞り部１５ｄが設けられた第１連通路１５とをさらに備える。上記ピストンロッド７ｂが上記第１封止部材１４を介して上記第１収容孔６の内周壁に係合したときに、少なくとも上記第１収容孔６と上記ピストンロッド７ｂと上記第１封止部材１４とによって第１流体室１２ａが区画形成される。上記第１連通路１５の一端１５ａが上記第１作動室８に連通すると共に、上記第１連通路１５の他端１５ｂが第１流体室１２ａに連通する。

本発明は、上記のように構成されることから、次の作用効果を奏する。
ピストンロッドが第１封止部材を介して第１収容孔の内周壁に係合したときに第１流体室が形成されることによって、圧力流体は、第１流体室を介して、第１給排路から排出される。より詳しくいえば、圧力流体を給排するための第１給排路が第１収容孔に連通している場合、第１作動室の圧力流体は、一端から第１連通路へ流入し、第１絞り部を通って他端から第１流体室に供給された後、第１給排路から排出される。または、圧力流体を給排するための第１給排路が第１作動室に連通している場合、第１流体室の圧力流体は、他端から第１連通路へ流入し、第１絞り部を通って一端から第１流体室に供給された後、第１給排路から排出される。その結果、第１給排路から排出される圧力流体の排出量が第１絞り部によって抑制されるため、ピストンが先端側に低速で移動する。

以上のとおり、本発明のシリンダ装置では、第１収容孔とピストンロッドとの隙間に第１流体室が形成されると共に、ピストンロッドの内部に第１連通路が形成される。このため、クッション機構を備えた小型のシリンダ装置を提供することができる。

上記の本発明は、下記（１）から（１３）の構成を加えることが好ましい。

（１）例えば、図１３に示すように、上記第１給排路１０が上記第１収容孔６に連通される。上記ピストンロッド７ｂに貫通形成され、第１逆止弁１９ｄが設けられた第１逆止流通路１９であって、上記第１流体室１２ａが形成されたときに、一端１９ａが上記第１作動室８に連通すると共に、他端１９ｂが上記第１流体室１２ａに連通する、第１逆止流通路１９をさらに備える。上記第１逆止弁は、上記第１作動室から上記第１流体室に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる。

この場合、圧力流体が第１給排路から第１流体室を介して第１作動室に供給されるときに、第１逆止弁が開弁される。このため、第１給排路の圧力流体は、第１絞り部および第１逆止弁の開弁隙間を通って第１作動室に供給される。従って、第１絞り部のみを通る場合に比べて圧力流体の流量が多くなる。よって、上記のシリンダ装置の後退駆動時におけるピストンの移動速度の低下が改善される。

（２）例えば、図１４に示すように、上記第１給排路１０が上記第１作動室８に連通される。シリンダ装置が、上記ピストンロッド７ｂに貫通形成され、第１逆止弁１９ｄが設けられた第１逆止流通路１９であって、上記第１流体室１２ａが形成されたときに、一端１９ａが上記第１作動室８に連通すると共に、他端１９ｂが上記第１流体室１２ａに連通する、第１逆止流通路１９をさらに備える。上記第１逆止弁１９ｄは、上記第１流体室１２ａから上記第１作動室８に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる。

この場合、圧力流体が第１給排路から第１作動室を介して第１流体室に供給されるときに、第１逆止弁が開弁される。このため、第１給排路の圧力流体は、第１絞り部および第１逆止弁の開弁隙間を通って第１作動室に供給される。従って、第１絞り部のみを通る場合に比べて圧力流体の流量が多くなる。よって、上記のシリンダ装置の駆動時におけるピストンの移動速度の低下が改善される。

（３）例えば、図１から図１５に示すように、上記第１連通路１５は、上記出力部材７の軸方向に対して斜め方向に貫通形成され、上記一端１５ａが上記ピストンロッド７ｂの外周壁において第１封止部材１４よりも基端側で開口すると共に、上記他端１５ｂが上記ピストンロッド７ｂの外周壁において上記第１封止部材１４よりも先端側で開口する。

この場合、第１流体室が形成されるときに、一端が第１作動室に連通すると共に、他端が第１流体室１２ａに連通する第１連通路を好適に形成することができる。

（４）例えば、図１６、図１７、または図２０に示すように、上記第１給排路１０が上記第１収容孔６に連通される。第１逆止弁１９ｄが上記第１連通路１５に設けられ、上記第１作動室８から上記第１流体室１２ａに向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる。

この場合、第１絞り部と第１逆止弁とがいずれも第１連通路に配置される。従って、第１逆止弁を配置するための別の流路を設ける必要がない。よって、ハウジングを小さくすることができる。

（５）例えば、図１８に示すように、上記第１逆止弁１９ｄが、第１弁座１９ｆと当該第１弁座１９ｆに着座することにより上記圧力流体の流れを制限する第１弁部材１９ｅとを含む。この第１弁部材１９ｅに上記第１絞り部１５ｄが貫通形成される。

この場合、第１絞り部が第１逆止弁の第１弁部材に形成される。よって、ハウジングをさらに小さくすることができる。

（６）例えば、図１から図１５、図１６、図１７または図２０に示すように、上記第１収容孔６は、少なくとも１つの大径部６ａ，６ｂを有する。

この場合、第１収容孔とピストンロッド７ｂとの隙間に形成される第１流体室の体積を大きくすることができ、圧力流体が流れやすくすることができる。

（７）例えば、図１，図２および図７、または図８および図９、図１５、図１７または図２０に示すように、上記出力部材７の基端側で開口した凹状の第２収容孔７ｃと、上記ハウジング１に形成され、上記第２収容孔７ｃに嵌入可能な突起部２１と、上記突起部２１の外周壁と上記第２収容孔７ｃの内周壁との間に設けられると共に、上記突起部２１と上記第２収容孔７ｃとを保密状に係合可能とする第２封止部材１６と、上記突起部２１に貫通形成され、第２絞り部１７ｄが設けられた第２連通路１７と、上記第２収容孔７ｃまたは上記第２作動室９に上記圧力流体を給排するための第２給排路１１とさらに備える。上記突起部２１が第２封止部材１６を介して上記第２収容孔７ｃの内周壁に係合したときに、少なくとも上記第２収容孔７ｃと上記突起部２１と上記第２封止部材１６とによって第２流体室１３ａが区画形成される。上記第２連通路１７の一端１７ａが上記第２流体室１３ａに連通すると共に、上記第２連通路１７の他端１７ｂが上記第２作動室９に連通する。

この場合、第２封止部材を介して突起部が第２収容孔の内周壁に保密状に係合したときに第２流体室が形成されることによって、圧力流体の一部が、第２流体室または第２作動室に一時的に閉じ込められる。一時的に閉じ込められた圧力流体は、第２連通路へ流入し、第２絞り部を通った後、第２給排路から排出される。その結果、第２給排路から排出される圧力流体の排出量が第２絞り部によって抑制されるため、ピストンが基端側に低速で移動する。

以上のとおり、本発明のシリンダ装置では、出力部材に第２流体室が形成されると共に、突起部の内部に第２連通路が形成される。このため、クッション機構を備えたシリンダ装置をさらに小型化することができる。

（８）例えば、図８および図９に示すように、上記第２給排路１１が上記第２作動室９に連通される。シリンダ装置が、上記突起部２１に貫通形成され、第２逆止弁２０ｅが設けられた第２逆止流通路２０であって、上記第２流体室１３ａが形成されたときに、一端２０ａが上記第２流体室１３ａに連通すると共に、他端２０ｂが上記第２作動室９に連通する、第２逆止流通路２０をさらに備える。上記第２逆止弁２０ｅは、上記第２流体室１３ａから上記第２作動室９に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる。

この場合、圧力流体が第２給排路から第２作動室を介して第２流体室に供給されるときに、第２逆止弁が開弁される。このため、第２給排路の圧力流体は、第２絞り部および第２逆止弁の開弁隙間を通って第２作動室に供給される。従って、第２絞り部のみを通る場合に比べて圧力流体の流量が多くなる。よって、上記のシリンダ装置の駆動時におけるピストンの移動速度の低下が改善される。

（９）例えば、図１５に示すように、シリンダ装置が、上記第２給排路１１が上記第２収容孔７ｃに連通され、上記突起部２１に貫通形成され、第２逆止弁２０ｅが設けられた第２逆止流通路２０であって、上記第２流体室１３ａが形成されたときに、一端２０ａが上記第２流体室１３ａに連通すると共に、他端２０ｂが上記第２作動室９に連通する、第２逆止流通路２０をさらに備える。上記第２逆止弁２０ｅは、上記第２作動室９から上記第２流体室１３ａに向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる。

この場合、圧力流体が第２給排路から第２作動室に供給されるときに、第２逆止弁が開弁される。このため、第２給排路の圧力流体は、第２絞り部および第２逆止弁の開弁隙間を通って第２作動室に供給される。従って、第２絞り部のみを通る場合に比べて圧力流体の流量が多くなる。よって、上記のシリンダ装置の駆動時におけるピストンの移動速度の低下が改善される。

（１０）例えば、図１６、図１７、または図２０に示すように、上記第２給排路１１が上記第２作動室９に連通される。第２逆止弁２０ｅが上記第２連通路１７に設けられ、上記第２作動室９から上記第２流体室１３ａに向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる。

この場合、第２絞り部と第２逆止弁とがいずれも第２連通路に配置される。従って、第２逆止弁を配置するための別の流路を設ける必要がない。よって、ハウジングを小さくすることができる。

（１１）例えば、図１から図１５に示すように、上記第２連通路１７は、上記一端１７ａが上記突起部２１の上端で開口し、上記他端１７ｂが上記突起部２１の外周壁において上記第２封止部材１６よりも基端側で開口する。

この場合、第２流体室が形成されるときに、一端が上記第２流体室に連通すると共に、他端が第２作動室に連通する第２連通路を好適に形成することができる。

（１２）例えば、図１６、図１７、図１９、または図２０に示すように、上記第２給排路（１１）が上記第２連通路１７に連通される。上記第２連通路１７に第２逆止弁２０ｅが設けられる。上記第２逆止弁２０ｅは、上記第２作動室９に連通する第２連通路１７の他端１７ｂ側に、上記第２作動室９から上記第２連通路１７に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる。

この場合、第２絞り部と第２逆止弁とがいずれも第２連通路に配置される。従って、第２逆止弁を配置するための別の流路を設ける必要がない。よって、ハウジングを小さくすることができる。

（１３）例えば、図１９に示すように、上記第２逆止弁２０ｅが第２弁座２０ｇと当該第２弁座２０ｇに着座することにより上記圧力流体の流れを制限する第２弁部材２０ｆとを含む。上記第２絞り部１７ｄが上記第２弁部材２０ｆに貫通形成される。

この場合、第２絞り部が第２逆止弁の第２弁部材に形成される。よって、ハウジングをさらに小さくすることができる。

上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１，図２および図７、または図８および図９、図１４、図１７、または図２０に示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内に、移動可能に挿入される出力部材７であって、ピストン７ａと、当該ピストン７ａに突設されたピストンロッド７ｂとを有する出力部材７と、上記出力部材７をその軸方向である先端側と基端側とに移動させる圧力流体が給排される作動室であって、上記ピストン７ａに対して先端側に形成された第１作動室８および基端側に形成された第２作動室９を含む作動室とを備える。上記出力部材７の基端側で開口した凹状の第２収容孔７ｃと、上記ハウジング１に形成され、上記第２収容孔７ｃに嵌入可能な突起部２１と、上記突起部２１の外周壁と上記第２収容孔７ｃの内周壁との間に設けられると共に、上記突起部２１の外周壁と上記第２収容孔７ｃの内周壁とを保密状に係合可能となっている第２封止部材１６と、上記突起部２１に貫通形成され、第２絞り部１７ｄが設けられた第２連通路１７と、上記第２収容孔７ｃまたは上記第２作動室９に上記圧力流体を給排するための第２給排路１１とをさらに備える。上記突起部２１が第２封止部材１６を介して上記第２収容孔７ｃの内周壁に係合したときに、少なくとも上記第２収容孔７ｃと上記突起部２１と上記第２封止部材１６とによって第２流体室１３ａが区画形成される。上記第２連通路１７の一端１７ａが上記第２流体室１３ａに連通すると共に、上記第２連通路１７の他端１７ｂが上記第２作動室９に連通する。

本発明は、上記のように構成されることから、次の作用効果を奏する。
第２封止部材を介して突起部が第２収容孔の内周壁に保密状に係合したときに第２流体室が形成されることによって、圧力流体の一部が、第２流体室または第２作動室に一時的に閉じ込められる。一時的に閉じ込められた圧力流体は、第２連通路へ流入し、第２絞り部を通った後、第２給排路から排出される。その結果、第２給排路から排出される圧力流体の排出量が第２絞り部によって抑制されるため、ピストンが基端側に低速で移動する。

以上のとおり、本発明のシリンダ装置では、出力部材に第２流体室が形成されると共に、突起部の内部に第２連通路が形成される。このため、クッション機構を備えたシリンダ装置を小型化することができる。

図１は、本発明の第１実施形態を示し、シリンダ装置のピストンがストローク下端に位置する初期（引込）状態を示す立面視の断面図である。 図２は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記初期状態から上方へ移動した状態を示す、上記図１に類似する断面図である。 図３は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、さらに上方へ移動した状態を示す、上記図１に類似する断面図である。 図４Ａは、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記ピストンがストローク上端近くまで移動した状態を示す、上記図１に類似する断面図である。図４Ｂは、上記シリンダ装置に設けたクッション機構の一部を示す拡大図である。 図５は、上記シリンダ装置の上記ピストンがストローク上端に位置する突出状態を示す、上記図１に類似する断面図である。 図６は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記突出状態から下方へ移動した状態を示す、上記図１に類似する断面図である。 図７は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記ピストンがストローク下端近くに移動した状態を示す、上記図１に類似する断面図である。 図８は、本発明の第２実施形態を示し、シリンダ装置のピストンがストローク下端に位置する初期（引込）状態を示す立面視の断面図である。 図９は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上方へ移動した状態を示す、上記図８に類似する断面図である。 図１０は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、さらに上方へ移動した状態を示す、上記図８に類似する断面図である。 図１１は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記ピストンがストローク上端近くまで移動した状態を示す、上記図８に類似する断面図である。 図１２は、上記シリンダ装置の上記ピストンがストローク上端に位置する突出状態を示す、上記図８に類似する断面図である。 図１３は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記ピストンがストローク上端の位置から下方へ移動した状態を示す、上記図８に類似する断面図である。 図１４は、本発明の第２実施形態のシリンダ装置の変形例を示す動作説明図であって、ピストンがストローク上端近くまで移動した状態を示す立面視の断面図である。 図１５は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記ピストンがストローク下端近くまで移動した状態を示す、上記図１４に類似する断面図である。 図１６は、本発明の第３実施形態を示し、シリンダ装置のピストンがストローク上端に位置する突出状態を示す立面視の断面図である。 図１７は、上記シリンダ装置の上記ピストンがストローク下端に位置する初期（引込）状態を示す、上記図１６に類似する断面図である。 図１８は、図１６の二点鎖線内の拡大図であり、図１８Ａは第１逆止弁の閉弁状態を示し、図１８Ｂは第１逆止弁の開弁状態を示す。 図１９は、図１７の二点鎖線内の拡大図であり、図１９Ａは第２逆止弁の閉弁状態を示し、図１９Ｂは第２逆止弁の開状態を示す。 図２０は、本発明の第３実施形態のシリンダ装置の変形例を示す動作明図であって、ピストンがストローク下端に位置する初期状態を示す立面視の断面図である。

以下、本発明の第１実施形態を、図１から図７によって説明する。

図１から図７は、本発明の第１実施形態を示す。まず、主として図１に基づいて、第１実施形態のシリンダ装置の構造を説明する。

固定台としてのテーブルＴにハウジング１が取り付けられる。そのハウジング１は、下方から順に形成された下壁２と胴壁３と上壁４とを有する。下壁２が胴壁３にボルトによって連結され、上壁４が胴壁３にボルトによって連結される。上壁４は、その外周部にフランジ４１を有する。そのフランジ４１に複数のボルト（図示しない）が貫設されることよって、テーブルＴにハウジング１が取り付けられる。

ハウジング１の胴壁３の内部にシリンダ孔５が形成される。そのシリンダ孔５に連通するように、ハウジング１の上壁４の内部に、シリンダ孔５よりも小径の第１収容孔６が形成される。第１収容孔６の内周壁には、その下端に大径部としての第１大径孔６ａが形成される。また、第１収容孔６の内周壁には、第１大径孔６ａよりも上方に、第１大径孔６ａと間隔をあけて、大径部としての第２大径孔６ｂが形成される。

シリンダ孔５には、ピストン７ａが上下方向（軸方向）へ移動可能に保密状に嵌入される。第１収容孔６には、ピストン７ａから先端側へ突設されたピストンロッド７ｂが上下方向（軸方向）へ移動可能に保密状に嵌入される。ピストン７ａとピストンロッド７ｂとによって、出力部材７が構成される。ピストン７ａの上方側（先端側）に第１作動室８が形成されると共に、ピストン７ａの下方側（基端側）に第２作動室９が形成される。

ハウジング１の上壁４に、第１作動室８に圧力流体を供給および排出するための第１給排路１０が形成される。第１給排路１０は、第１収容孔６の第２大径孔６ｂに連通する。また、ハウジング１の胴壁３および上壁４に、第２作動室９に圧力流体を供給および排出するための第２給排路１１が形成される。

第２作動室９の圧力流体が第２給排路１１から排出されると共に、第１給排路１０からの圧力流体が第１作動室８に供給されることによって、出力部材７が下降する。また、第１給排路１０から第１作動室８の圧力流体が排出されると共に、第２給排路１１からの圧力流体が第２作動室９に供給されることによって、出力部材７が上昇する。

上記構成のシリンダ装置に、ストローク上端近くにおけるピストン７ａの移動速度を低下させる第１クッション機構１２（図４Ａおよび図４Ｂを参照）が設けられる。また、上記構成のシリンダ装置に、ストローク下端近くにおけるピストン７ａの移動速度を低下させる第２クッション機構１３が設けられる。

第１クッション機構１２は、主として次のように構成される。
ピストンロッド７ｂの外周壁に、第１封止部材１４が周方向に装着される。その第１封止部材１４は、第１給排路１０に連通する第１収容孔６の内周壁に保密状に係合可能となっている。また、ピストンロッド７ｂには、その内部を斜め方向に貫通する第１連通路１５が形成される。その第１連通路１５は、その一端１５ａがピストンロッド７ｂの外周壁において第１封止部材１４よりも下方で開口すると共に、他端１５ｂがピストンロッド７ｂの外周壁において第１封止部材１４よりも上方で開口する。第１連通路１５は、主通路１５ｃと、その主通路１５ｃよりも断面積が小さい第１絞り部１５ｄとを有する。第１絞り部１５ｄは、第１連通路１５の一端１５ａに、主通路１５ｃと連通するようにピストンロッド７ｂを加工して形成される。

また、第２クッション機構１３は、主として次のように構成される。
出力部材７の下端に、凹状の第２収容孔７ｃが形成される。その第２収容孔７ｃは、ピストン７ａの下端で開口しており、出力部材７の軸方向に沿って形成される。また、ハウジング１の下壁２に、上方へ突出した突起部２１が形成される。その突起部２１の外周壁に、第２封止部材１６が周方向へ装着される。第２封止部材１６は、第２収容孔７ｃの内周壁に保密状に係合可能となっている。さらに、突起部２１には、その内部を貫通する第２連通路１７が形成される。第２連通路１７の一端１７ａが突起部２１の上端で開口し、他端１７ｂが突起部２１の外周壁において第２封止部材１６よりも下方で開口する。第２連通路１７は、主通路１７ｃと、その主通路１７ｃよりも断面積が小さい第２絞り部１７ｄとを有する。第２絞り部１７ｄは、取り付け式のものを採用しており、第２連通路１７の一端１７ａに、主通路１７ｃと連通するように取り付けられている。

上記のシリンダ装置は、図１から図７に示すように、次のように作動する。まず、主として図１から図５に基づいて、シリンダ装置が、図１の初期（引込）状態から図５の突出状態に切り換えられる作動について説明する。

上記シリンダ装置のピストン７ａが、図１の初期状態（引込状態）から図２に示す上方位置へ上方に向けて移動するときに、第１作動室８の圧力流体が第１給排路１０から排出されると共に、第２給排路１１から第２作動室９に圧力流体が供給される。このとき、第２作動室９に供給された圧力流体の一部は、第２連通路１７を介して出力部材７の第２収容孔７ｃ内に供給される。より詳しくいえば、図１および図２に示すように、第２封止部材１６を介して突起部２１が第２収容孔７ｃの内周壁に保密状に係合したとき、第２収容孔７ｃと突起部２１と第２封止部材１６とによって第２流体室１３ａが区画形成される。第２流体室１３ａが形成されることによって、図２に示すように、第２作動室９に供給された圧力流体の一部は、他端１７ｂから第２連通路１７に流入し、第２絞り部１７ｄを通って一端１７ａから第２流体室１３ａに供給される。このため、第２絞り部１７ｄによって第２流体室１３ａに流入される圧力流体の供給量が抑制される。従って、ピストン７ａが第２作動室９の圧力流体によって上昇しようとするときに、第２流体室１３ｃへの圧力流体の供給量がピストン７ａの上昇による第２流体室１３ａの体積増加に追い付くことができない。よって、第１作動室８内の圧力が低くなる。これにより、低下した第２流体室１３ｃ内の圧力が、ピストン７ａの上昇に対する下方への抗力として当該ピストン７ａに作用し、ピストン７ａが上方に低速で移動する。

次いで、図３に示すように、ピストン７ａがさらに上昇すると、第２封止部材１６を介した突起部２１と第２収容孔７ｃとの係合が外れる。これにより、第２作動室９の圧力流体が第２流体室１３ａに大量に供給され、第２流体室１３ａ内の圧力が上昇する（第２作動室９内の圧力と同じになる）。その結果、上記の下方への抗力がピストン７ａに作用しくなり、ピストン７ａが上方に高速で移動する。

次いで、図４Ａに示すように、ピストン７ａがストローク上端近くまで移動したとき、第１封止部材１４が、第１収容孔６の内周壁に保密状に係合する。このとき、図４Ｂに示すように、第１収容孔６とピストンロッド７ｂと第１封止部材１４と第３封止部材１８とによって第１流体室１２ａが区画形成される。第３封止部材１８は、第１収容孔６の内周壁の周方向において、第１給排路１０の開口位置よりも上方に設けられる封止部材である。第１流体室１２ａが形成されることによって、第１作動室８の圧力流体は、第１流体室１２ａを介して、第１流体室１２ａと連通した第１給排路１０から排出される。より詳しくいえば、第１作動室８の圧力流体は、一端１５ａから第１連通路１５へ流入し、第１絞り部１５ｄと他端１５ｂと第１流体室１２ａとを通って第１給排路１０から排出される。このため、第１給排路１０から排出される圧力流体の排出量が第１絞り部１５ｄによって抑制され、第１作動室８内の圧力流体がピストン７ａに押されて圧力が高くなる。従って、その第１作動室８内の圧力流体の上昇圧力がピストン７ａの上昇に対する下方への抗力として当該ピストン７ａに作用する。よって、圧力流体が第１作動室８から第１絞り部１５ｄを通って外部へ排出される速度にあわせてピストン７ａが上方に低速で移動する。

次いで、図５に示すように、低速で移動するピストン７ａは、その上端が上壁４の下端に受け止められる。これにより、シリンダ装置は、図１の初期（引込）状態から図５の突出状態に切り換えられる。

次に、主として図１，図５から図７に基づいて、シリンダ装置が、図５の突出状態から図１の初期（引込）状態に切り換えられる作動について説明する。

図５の突出状態からの作動（出力部材７の下方への移動）では、第２作動室９の圧力流体が第２給排路１１から排出されると共に、第１給排路１０から第１流体室１２ａに圧力流体が供給される。このとき、第１流体室１２ａに供給された圧力流体は、図６に示すように、他端１５ｂから第１連通路１５へ流入し、第１絞り部１５ｄを通って一端１５ａから第１作動室８に供給される。このため、第１絞り部１５ｄによって第１流体室１２ａに流入される圧力流体の供給量が抑制される。従って、ピストン７ａは第１作動室８の圧力流体によって下降しようとするが、第１作動室８への圧力流体の供給量が、ピストン７ａの下降による第１作動室８の体積増加に追い付くことができない。よって、第１作動室８内の圧力が低くなる。その結果、その低下した第１作動室８内の圧力が、ピストン７ａの下降に対する上方への抗力として当該ピストン７ａに作用し、ピストン７ａが下方に低速で移動する。

次いで、図７に示すように、ピストン７ａがストローク下端近くまで移動したとき、第２封止部材１６を介して突起部２１が第２収容孔７ｃの内周壁に保密状に係合する。これにより、第２収容孔７ｃと突起部２１と第２封止部材１６とによって第２流体室１３ａが区画形成される。このとき、圧力流体の一部が、第２流体室１３ａに一時的に閉じ込められる。第２流体室１３ａに一時的に閉じ込められた圧力流体は、一端１７ａから第２連通路１７と第２絞り部１７ｄと他端１７ｂと第２作動室９とを通って第２給排路１１から排出される。このため、第２給排路１１から排出される圧力流体の排出量が第２絞り部１７ｄによって抑制されるので、ピストン７ａが下方に低速で移動する。

第１実施形態は次の長所を奏する。
上記のシリンダ装置は、第１クッション機構１２として、第１収容孔６とピストンロッド７ｂとの隙間に形成される第１流体室１２ａと、ピストンロッド７ｂの内部に形成される第１連通路１５とを含む。また、第２クッション機構１３として、出力部材７に形成される第２流体室１３ａと、突起部２１の内部に形成される第２連通路とを含む。このため、クッション機構を備えたシリンダ装置を小型化することができる。従って、クッション機構を備えた小型のシリンダ装置を提供することができる。

図８から図１３は、本発明の第２実施形態を示し、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付す。

第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
第２実施形態のシリンダ装置では、図８から図１３に示すように、第１クッション機構１２が、出力部材７に第１逆止流通路１９をさらに備えると共に、第２クッション機構１３が、突起部２１に第２逆止流通路２０をさらに備える。これにより、シリンダ装置のピストン７ａが下端位置から若しくは上端位置から駆動したときにおける移動速度の低下が改善される。

まず、主として図８に基づいて、第１逆止流通路１９および第２逆止流通路２０の構造を説明する。

出力部材７に形成される第１逆止流通路１９は、その一端１９ａがピストンロッド７ｂの外周壁において第１封止部材１４よりも下方で開口すると共に、他端１９ｂが第１連通路１５の主通路１５ｃに接続される。第１逆止流通路１９は、Ｌ字型の主通路１９ｃと、その主通路１９ｃ内に設けられた第１逆止弁１９ｄとを有する。第１逆止弁１９ｄは、第１作動室８から第１流体室１２ａに向かう圧力流体の流れを制限すると共に、その逆の流れを許容する。

突起部２１に形成される第２逆止流通路２０は、その一端２０ａが突起部２１の上端で開口し、第１他端２０ｂが突起部２１の外周壁で第２封止部材１６よりも下方で開口すると共に、第２他端２０ｃが第２連通路１７の主通路１７ｃに接続される。第２逆止流通路２０は、逆Ｔ字型の主通路２０ｄと、その主通路２０ｄ内に設けられた第２逆止弁２０ｅとを有する。第２逆止弁２０ｅは、第２流体室１３ａから第２作動室９に向かう圧力流体の流れを制限すると共に、その逆の流れを許容する。

なお、この実施形態では、第２連通路１７の第２絞り部１７ｄが、上記の第１実施形態で示した取り付け式のものから、主通路１７ｃと連通するようにピストンロッド７ｂを加工して形成された加工式のものに変更している。また、第２給排路１１が、ハウジング１の胴壁３の下端まで達しており、その下端にボール１１ａが圧入される。これにより、ハウジング１の加工が容易となる。

上記のシリンダ装置は、図８から図１３に示すように、次のように作動する。まず、主として図８から図１２に基づいて、シリンダ装置が、図８の初期（引込）状態から図１２の突出状態に切り換えられる作動について説明する。

この実施形態では、初期状態から上方へ移動したとき、第２作動室９に供給された圧力流体の一部が、他端１７ｂから第２連通路１７に流入すると共に、第１他端２０ｂから第２逆止流通路２０に流入する。このとき、図９に示すように、第２逆止流通路２０に流入した圧力流体が第２逆止弁２０ｅの弁部材(弁体)をバネの付勢力に抗して開弁方向へ押すことで当該第２逆止弁２０ｅが開弁する。これにより、圧力流体が、第２逆止弁２０ｅの弁部材の弁面と弁座との間に形成された開弁隙間と一端２０ａとを通って第２流体室１３ａに供給される。その結果、圧力流体が第２作動室９から第２絞り部１７ｄのみを通って第２流体室１３ａに供給される上記の第１実施形態の場合に比べて、本実施形態では、第２絞り部１７ｄおよび第２逆止弁２０ｅの開弁隙間を通って第２流体室１３ａに供給されるので圧力流体の流量が多くなる。よって、下端位置から上方へ移動されるときにおけるピストン７ａの移動速度の低下が改善される。

次いで、図１０に示すように、ピストン７ａがさらに上昇すると、第２封止部材１６を介した突起部２１と第２収容孔７ｃとの係合が外れる。これにより、ピストン７ａが突起部２１から離間され、第２収容孔７ｃが第２作動室９に連通される。その結果、一端２０ａの圧力流体の圧力と第１他端２０ｂおよび第２他端２０ｃの圧力流体の圧力との圧力差が無くなり、第２逆止弁２０ｅの閉弁バネがボールの弁面を弁座に押圧して第２逆止弁２０ｅが閉弁される。

次いで、図１１に示すように、ピストン７ａがストローク上端近くまで移動したときに、ピストンロッド７ｂの外周壁に装着された第１封止部材１４が、第１収容孔６に挿入される。すると、第１作動室８の圧力流体は、第１連通路１５と第１流体室１２ａとを介して第１給排路１０から緩やかに排出される。このとき、第１作動室８の圧力流体が第１逆止弁１９ｄのボールを弁座に向けて押圧しているので、第１逆止弁１９ｄは閉弁されている。このため、一端１９ａから主通路１９ｃに流入した圧力流体は第１流体室１２ａに供給されない。その結果、ピストン７ａが低速で移動する。

次いで、図１２に示すように、低速で移動するピストン７ａは、その上端が上壁４の下端に受け止められる。これにより、シリンダ装置は、図８の初期（引込）状態から図１２の突出状態に切り換えられる。

次に、主として図１２，図１３に基づいて、シリンダ装置を、図１２の突出状態から下方へ移動させる作動について説明する。

図１２および図１３に示すように、この実施形態では、突出状態から駆動したとき、第１給排路１０から供給された圧力流体は、他端１５ｂから第１連通路１５に流入する。このとき、図１３に示すように、第１連通路１５から第１逆止流通路１９に流入した圧力流体が第１逆止弁１９ｄを開弁させるので、第１逆止流通路１９に流入した圧力流体は、第１逆止弁１９ｄの開弁隙間を通って一端１９ａから第１作動室８に供給される。これにより、圧力流体が第１流体室１２ａから第１絞り部１５ｄだけを通って第１作動室８に供給される上記の第１実施形態に比べて、圧力流体が第１流体室１２ａから第１絞り部１５ｄおよび第１逆止弁１９ｄの開弁隙間を通って第１作動室８に供給される本実施形態のシリンダ装置では、第１作動室８に供給される圧力流体の流量が多くなる。その結果、ピストン７ａを上限位置から下方へ後退駆動させるときにおけるピストン７ａの移動速度の低下が改善される。

なお、詳しい説明は省略するが、ピストン７ａがストローク下端近くまで移動したとき、第２逆止弁２０ｅは閉弁するため、第２流体室１３ａに一時的に閉じ込められた圧力流体は第２逆止流通路２０を介して第２作動室９に供給されない。その結果、第２逆止流通路２０を設けた場合であっても、ピストン７ａが低速で移動する。

第２実施形態は次の長所を奏する。
上記のシリンダ装置は、第１逆止流通路１９を備えるため、図１２の突出状態からの下方へ移動するときに、第１給排路１０から第１作動室８に供給される圧力流体の流量が多くなる。また、上記のシリンダ装置は、第２逆止流通路２０を備えるため、図８の初期状態からの上方へ移動するときに、第２給排路１１から第２作動室９に供給される圧力流体の流量が多くなる。従って、シリンダ装置の進出移動時におけるピストンの移動速度の低下を改善することができる。

図１４および図１５は、本発明の第２実施形態の変形例を示し、上記の第１実施形態および第２実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付す。

第２実施形態の変形例が上記の第１実施形態および第２実施形態と異なる点は次の通りである。
第２実施形態の変形例では、図１４および図１５に示すように、第１給排路１０が第１作動室８に連通されると共に、第２給排路１１が第２作動室９または第２収容孔７ｃに圧力流体を給排可能となるように第２連通路１７に連通される。

図１４に示す第２実施形態の変形例のシリンダ装置では、ピストン７ａがストローク上端近くまで移動したときに、ピストンロッド７ｂの第１封止部材１４が第１収容孔６に挿入され、第１流体室１２ａの圧力流体が第１連通路１５の第１絞り部１５ｄと第１作動室８とを介して第１給排路１０から緩やかに排出される。このとき、第１連通路１５から第１逆止流通路１９に流入した圧力流体が第１逆止弁１９ｄのボールを弁座に向けて押圧しているので、第１逆止弁１９ｄは閉弁されている。このため、第１逆止流通路１９に流入した圧力流体は第１作動室８に供給されない。その結果、ピストン７ａが低速で移動する。

また、突出状態からの下方へ後退移動するときには、第１給排路１０からの圧力流体が、第１逆止弁１９ｄを開弁させるので、第１逆止流通路１９に流入した圧力流体は、第１逆止弁１９ｄの開弁隙間を通って第１連通路１５の他端１５ｂから第１流体室１２ａに供給される。その結果、圧力流体が第１作動室８から第１絞り部１５ｄだけを通って第１流体室１２ａに供給される場合に比べて、圧力流体が第１絞り部１５ｄおよび第１逆止弁１９ｄの開弁隙間を通って第１作動室８に供給される本実施形態のシリンダ装置では、圧力流体の流量が多くなるため、上記の後退駆動時におけるピストン７ａの移動速度の低下が改善される。

また、図１５に示すように、ピストン７ａがストローク下端近くまで移動したときに、第２逆止弁２０ｅは閉弁する。このため、第２収容孔７ｃに一時的に閉じ込められた圧力流体は第２作動室９に供給されない。また、第２作動室９の圧力流体は、第２絞り部１７ｄを介して第２給排路１１から緩やかに排出される。その結果、第２逆止流通路２０を設けた場合であっても、ピストン７ａが低速で移動する。

また、初期状態から上方へ進出移動するときには、第２給排路１１からの圧力流体が、第２逆止弁２０ｅを開弁させるので、第２逆止流通路２０に流入した圧力流体は、第２逆止弁２０ｅの開弁隙間を通って主に第２連通路１７の第１他端２０ｂから第２作動室９に供給される。その結果、圧力流体が第２作動室９から第２絞り部１７ｄを通って第２流体室１３ａに供給される上記の第１実施形態に比べて、圧力流体が第２絞り部１７ｄおよび第２逆止弁２０ｅの開弁隙間を通って第２作動室９に供給される本実施形態のシリンダ装置では、圧力流体の流量が多くなるため、上記の進出移動時におけるピストン７ａの移動速度の低下が改善される。

上記の実施形態は次のように変更可能である。

上記の圧力流体は、圧油、または、圧縮空気等であってもよい。

上記の第２収容孔７ｃは、出力部材７に形成されていればよい。従って、第２収容孔７ｃは、ピストン７ａとピストンロッド７ｂとにわたって形成されていてもよく、ピストン７ａのみに形成されてもよい。

上記の第１封止部材１４は、ピストンロッド７ｂの外周壁または第１収容孔６の内周壁のいずれかに配置されていればよい。

上記の第２封止部材１６は、突起部２１の外周壁または第２収容孔７ｃの内周壁のいずれかに配置されていればよい。

上記の第１絞り部１５ｄは、主通路１５ｃのいずれかの位置に設けられていればよい。同様に、上記の第２絞り部１７ｄは、主通路１７ｃのいずれかの位置に設けられていればよい。また、上記の第１絞り部１５ｄおよび上記の第２の第２絞り部１７ｄは、出力部材７を加工することによって形成してもよく、出力部材７に別途取り付けられたものであってもよい。

上記の第１逆止流通路１９の第１逆止弁１９ｄは、主通路１９ｃのいずれかの位置に設けられていればよい。同様に、上記の第２逆止流通路２０の第２逆止弁２０ｅは、主通路２０ｄのいずれかの位置に設けられていればよい。

上記の第２実施形態および第２実施形態の変形例において、第１逆止流通路１９が第１連通路１５の途中部から分岐されるように構成されることに代えて、第１逆止流通路１９および第１連通路１５がピストンロッド７ｂ内であって別々の場所に備える構成であってもよい。また、第２逆止流通路２０が第２連通路１７の途中部から分岐されるように構成されることに代えて、第２逆止流通路２０および第２連通路１７が下壁２内であって別々の場所に備える構成であってもよい。

上記の第１逆止流通路１９は、第１連通路１５と連通していてもよく、第１連通路１５と連通していなくてもよい。同様に、上記の第２逆止流通路２０は、第２連通路１７と連通していてもよく、第２連通路１７と連通していなくてもよい。その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。

図１６から図１９は、本発明の第３実施形態を示し、上記の第１実施形態および第２実施形態の構成部材と同じ部材（または類似する部材）には原則として同一の参照数字を付す。

第３実施形態が上記の第１実施形態および第２実施形態と異なる点は次の通りである。
第３実施形態のシリンダ装置では、図１６および図１７に示すように、第１給排路１０が第１収容孔６の第２大径孔６ｂに連通されると共に、第２給排路１１が第２作動室９または第２収容孔７ｃに圧力流体を給排可能となるように第２連通路１７に連通される。

第１クッション機構１２は、ピストンロッド７ｂの内部に貫通する第１連通路１５を有する。

その第１連通路１５は、その一端１５ａ側がピストンロッド７ｂの外周壁において第１封止部材１４よりも下方で開口すると共に、他端１５ｂ側がピストンロッド７ｂの外周壁において第１封止部材１４よりも上方で開口する。第１連通路１５の途中部に第１逆止弁１９ｄが設けられる。図１８Ａおよび図１８Ｂに示すように、その第１逆止弁１９ｄは、筒状の第１弁部材（弁体）１９ｅを有する。第１弁部材１９ｅは、第１弁座１９ｆに着座することにより圧力流体の流れを制限する。第１弁部材１９ｅは、バネ１９ｇによって第１弁座１９ｆ側に付勢されている。第１連通路１５の主通路１５ｃよりも通路面積が小さい第１絞り部１５ｄが、第１弁部材１９ｅの筒孔の一部によって構成される。換言すれば、第１絞り部１５は、第１逆止弁１９ｄの一次側（流入側）と二次側（流出側）とを連通するように、第１弁部材１９ｅに貫通形成される。このため、第１絞り部１５ｄは、第１逆止弁１９ｄの開閉状態に関わらず、圧力流体の双方向の流れ（図中、矢印Ｆ１，Ｆ２）を許容する。また、第１逆止弁１９ｄは、第１絞り部１５ｄを流れる圧力流体を除いて、第１作動室８から第１給排路１０に向かう圧力流体の流れを制限すると共に、その逆の流れ（図中、矢印Ｆ３）を許容する。

また、ハウジング１の下壁２（突起部２１）に第２連通路１７が形成される。第２連通路１７の一端１７ａが突起部２１の上端に開口し、その他端１７ｂがシリンダ孔５（第２作動室９）の底面で開口する。その第２連通路１７の途中部に第２給排路１１が接続される。また、第２作動室９に連通する第２連通路１７の他端１７ｂ側の途中部に第２逆止弁２０ｅが設けられる。図１９Ａおよび図１９Ｂに示すように、その第２逆止弁２０ｅは、筒状の第２弁部材（弁体）２０ｆを有する。第２弁部材２０ｆは、第２弁座２０ｇに着座することにより圧力流体の流れを制限する。第２弁部材２０ｆは、バネ２０ｈによって第２弁座２０ｇ側に付勢されている。第２連通路１７よりも通路面積が小さい第２絞り部１７ｄが、第２弁部材２０ｆの筒孔の一部によって構成される。換言すれば、第２絞り部１７は、第２逆止弁２０ｅの一次側（流入側）と二次側（流出側）とを連通するように、第２弁部材２０ｆに貫通形成される。このため、第２絞り部１７ｄは、第２逆止弁２０ｅの開閉状態に関わらず、圧力流体の双方向の流れ（図中、矢印Ｆ４，Ｆ５）を許容する。また、第２逆止弁２０ｅは、第２絞り部１７ｄを流れる圧力流体を除いて、第２作動室９から第２給排路１１に向かう圧力流体の流れを制限すると共に、その逆の流れ（図中、矢印Ｆ６）を許容する。

ここで、本実施形態では、絞り部１５ｄ，１７ｄは、第１弁部材１９ｅ，第２弁部材２０ｆの筒孔の一部によって構成されているが、当該筒孔の全部によって構成されるようにしてもよい。

上記のシリンダ装置は、図１６および図１７に示すように、次のように作動する。まず、主として図１６から図１７に基づいて、シリンダ装置が、図１７の初期（引込）状態から図１６の突出状態に切り換えられる作動について説明する。

第３実施形態のシリンダ装置では、ピストン７ａがストローク上端近くまで移動したときに、ピストンロッド７ｂの第１封止部材１４が第１収容孔６に挿入される。そして、第１作動室８の圧力流体が、第１連通路１５の第１絞り部１５ｄと第１流体室１２ａとを介して第１給排路１０から緩やかに排出される。このとき、図１８Ａに示すように、第１連通路１５の一端１５ａ側の圧力流体が第１逆止弁１９ｄの第１弁部材１９ｅを第１弁座１９ｆに向けて押圧しているので、第１逆止弁１９ｄは閉弁されている。このため、第１作動室８の圧力流体は、第１絞り部１５ｄを通って第１給排路１０から緩やかに排出される（図１８Ａの矢印Ｆ１）。その結果、ピストン７ａが低速で移動する。

また、図１６の突出状態から図１７の初期（引込）状態へ出力部材７が下方へ後退移動するときには、図１８Ｂに示すように、第１給排路１０からの圧力流体が、バネ１９ｇの付勢力に抗して開弁方向へ押すことで第１逆止弁１９ｄを開弁させる。このため、第１連通路１５の他端１５ｂ側に流入した圧力流体は、第１絞り部１５ｄおよび第１逆止弁１９ｄの開弁隙間を通って第１連通路１５の一端１５ａから第１作動室８に供給される（図１８Ｂの矢印Ｆ２および矢印Ｆ３）。その結果、圧力流体が第１絞り部１５ｄのみを通って第１作動室８に供給される場合に比べて圧力流体の流量が多くなるため、上記の後退駆動時におけるピストン７ａの移動速度の低下が改善される。

また、図１７に示すように、ピストン７ａがストローク下端近くまで移動したとき、図１９Ａに示すように、第２逆止弁２０ｅはバネ２０ｈの付勢力によって閉弁されている。このため、第２作動室９に一時的に閉じ込められた圧力流体は、第２連通路１７の他端１７ｂから第２逆止弁２０ｅの第２絞り部１７ｄを通って第２給排路１１から緩やかに排出される（図１９Ａの矢印Ｆ４）。その結果、ピストン７ａが低速で移動する。

また、図１７の初期状態から図１６の突出状態へ出力部材７が上方へ進出移動するときには、図１９Ｂに示すように、第２給排路１１からの圧力流体が、バネ２０ｈの付勢力に抗して開弁方向へ押すことで第２逆止弁２０ｅを開弁させる。このため、第２給排路１１からの圧力流体は、第２絞り部１７ｄおよび第２逆止弁２０ｅの開弁隙間を通って、第２連通路１７の他端１７ｂから第２作動室９に供給される（図１９Ｂの矢印Ｆ５および矢印Ｆ６）。また、第２給排路１１からの圧力流体は、第２連通路１７の一端１７ａから第２収容孔７ｃに供給される。このため、第２絞り部１７ｄを通って圧力流体を第２流体室１３ａに供給する上記の第１実施形態に比べて、第２絞り部１７ｄおよび第２逆止弁２０ｅの開弁隙間を通って圧力流体を第２作動室９に供給する本実施形態のほうが、圧力流体の供給量が多くなる。従って、上記の進出移動時におけるピストン７ａの移動速度の低下が改善される。

第３実施形態は次の長所を奏する。
上記の第２実施形態では、第１連通路１５に第１絞り部１５ｄが設けられると共に、第１逆止流通路１９に第１逆止弁１９ｄが設けられる。また、上記の第２実施形態では、第２連通路１７に第２絞り部１７ｄが設けられると共に、第２逆止流通路２０に第２逆止弁２０ｅが設けられる。すなわち、上記絞り部と上記逆止弁とは、ハウジング１内部の別々の流路上にそれぞれ設けられる。このため、流路分だけハウジング１を大きくする必要がある。これに対して、第３実施形態のシリンダ装置では、図１８および図１９に示すように、第１絞り部１５ｄが第１弁部材１９ｅの筒孔の一部によって構成されると共に、第２絞り部１７ｄが第２弁部材２０ｆの筒孔の一部によって構成される。このため、上記逆止弁を設けるための流路を１つ設ければよく、上記の第２実施形態のように上記逆止弁を配置するための別の流路を設ける必要がない。従って、ハウジング１を小さくすることができる。

図２０は、本発明の第３実施形態の変形例を示し、上記の第１実施形態および第２実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付す。

第３実施形態の変形例が上記の第３実施形態と異なる点は次の通りである。
第３実施形態の変形例では、図２０に示すように、第２給排路１１が第２作動室９に連通されると共に、第２連通路１７の他端１７ｂが突起部２１の外周壁で第２封止部材１６よりも下方で開口し、その第２連通路１７の途中部に第２逆止弁２０ｅが設けられる。

図２０に示す第３実施形態の変形例のシリンダ装置では、ピストン７ａがストローク下端近くまで移動したとき、第２逆止弁２０ｅは閉弁している（図１９Ａ参照）。このため、第２流体室１３ａに一時的に閉じ込められた圧力流体は、一端１７ａから第２連通路１７に流入し、第２逆止弁２０ｅの第２絞り部１７ｄを通り、第２作動室９を介して第２給排路１１から緩やかに排出される。その結果、ピストン７ａが低速で移動する。

また、出力部材７が初期状態から上方へ進出移動するときには、第２給排路１１からの圧力流体が、第２作動室９を介して他端１７ｂから第２連通路１７に流入し、第２逆止弁２０ｅを開弁させる（図１９Ｂ参照）。このため、他端１７ｂから第２連通路１７に流入した圧力流体は、第２絞り部１７ｄおよび第２逆止弁２０ｅの開弁隙間を通って第２流体室１３ａに供給される。このため、第２絞り部１７ｄを通って圧力流体を第２流体室１３ａに供給する上記の第１実施形態に比べて、第２流体室１３ａへの圧力流体の供給量が多くなる。従って、上記の進出移動時におけるピストン７ａの移動速度の低下が改善される。

第３実施形態の変形例では、第２絞り部１７ｄが第２逆止弁２０ｅの第２連通路１７の途中部に設けられる。このため、第２逆止弁２０ｅを設けるための別の流路を設ける必要がない。従って、ハウジング１をより小さくすることができる。

上記の第３実施形態および第３実施形態の変形例において、第１逆止弁１９ｄが第１連通路１５の途中部に設けられる構成に代えて、第１逆止弁１９ｄがピストンロッド７ｂ内であって第１連通路１５とは別々の場所に設けられる構成であってもよい。また、第２逆止弁２０ｅが第２連通路１７の途中部に設けられる構成に代えて、第２逆止弁２０ｅが下壁２（突起部２１）内であって第２連通路１７とは別々の場所に設けられる構成であってもよい。

１：ハウジング，６：第１収容孔，７：出力部材，８：第１作動室,９：第２作動室，１０：第１給排路，１１：第２給排路，１２：第１クッション機構，１２ａ：第１流体室，１３：第２クッション機構，１３ａ：第２流体室，１４：第１封止部材，１５：第１連通路，１５ｄ：第１絞り部，１６：第２封止部材，１７：第２連通路，１７ｄ：第２絞り部，１９：第１逆止流通路，１９ｄ：第１逆止弁，１９ｅ：第１弁部材，１９ｆ：第１弁座，２０：第２逆止流通路，２０ｅ：第２逆止弁，２０ｆ：第２弁部材，２０ｇ：第２弁座．

Claims (24)

1. ハウジング（１）内に、移動可能に挿入される出力部材（７）であって、ピストン（７ａ）と、当該ピストン（７ａ）に突設されたピストンロッド（７ｂ）とを有する出力部材（７）と、
   上記出力部材（７）をその軸方向である先端側と基端側とに移動させる圧力流体が給排される作動室であって、上記ピストン（７ａ）に対して先端側に形成された第１作動室（８）および基端側に形成された第２作動室（９）を含む作動室と、を備えたシリンダ装置において、
   上記ハウジング（１）に形成され、上記ピストンロッド（７ｂ）を嵌入させる第１収容孔（６）と、
   上記第１収容孔（６）または上記第１作動室（８）に上記圧力流体を給排するための第１給排路（１０）と、
   上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁と上記第１収容孔（６）の内周壁との間に周方向に装着されると共に、上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁と上記第１収容孔（６）の内周壁とに保密状に係合可能となっている第１封止部材（１４）と、
   上記ピストンロッド（７ｂ）に貫通形成され、第１絞り部（１５ｄ）が設けられた第１連通路（１５）と、
   をさらに備え、
   上記ピストンロッド（７ｂ）が上記第１封止部材（１４）を介して上記第１収容孔（６）の内周壁に係合したときに、少なくとも上記第１収容孔（６）と上記ピストンロッド（７ｂ）と上記第１封止部材（１４）とによって第１流体室（１２ａ）が区画形成され、上記第１連通路（１５）の一端（１５ａ）が上記第１作動室（８）に連通すると共に、上記第１連通路（１５）の他端（１５ｂ）が上記第１流体室（１２ａ）に連通し、
   上記第１連通路（１５）は、上記出力部材（７）の軸方向に対して斜め方向に貫通形成され、上記一端（１５ａ）が上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁において第１封止部材（１４）よりも基端側で開口すると共に、上記他端（１５ｂ）が上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁において上記第１封止部材（１４）よりも先端側で開口する、ことを特徴とするシリンダ装置。
2. 請求項１のシリンダ装置において、
   上記第１給排路（１０）が上記第１収容孔（６）に連通され、
   上記ピストンロッド（７ｂ）に貫通形成され、第１逆止弁（１９ｄ）が設けられた第１逆止流通路（１９）であって、上記第１流体室（１２ａ）が形成されたときに、一端（１９ａ）が上記第１作動室（８）に連通すると共に、他端（１９ｂ）が上記第１流体室（１２ａ）に連通する、第１逆止流通路（１９）をさらに備え、
   上記第１逆止弁（１９ｄ）は、上記第１作動室（８）から上記第１流体室（１２ａ）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
3. 請求項１のシリンダ装置において、
   上記第１給排路（１０）が上記第１作動室（８）に連通され、
   上記ピストンロッド（７ｂ）に貫通形成され、第１逆止弁（１９ｄ）が設けられた第１逆止流通路（１９）であって、上記第１流体室（１２ａ）が形成されたときに、一端（１９ａ）が上記第１作動室（８）に連通すると共に、他端（１９ｂ）が上記第１流体室（１２ａ）に連通する、第１逆止流通路（１９）をさらに備え、
   上記第１逆止弁（１９ｄ）は、上記第１流体室（１２ａ）から上記第１作動室（８）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項のシリンダ装置において、
   上記第１収容孔（６）は、少なくとも１つの大径部（６ａ，６ｂ）を有する、ことを特徴とするシリンダ装置。
5. 請求項１から４のいずれか１項のシリンダ装置において、
   上記出力部材（７）の基端側で開口した凹状の第２収容孔（７ｃ）と、
   上記ハウジング（１）に形成され、上記第２収容孔（７ｃ）に嵌入可能な突起部（２１）と、
   上記突起部（２１）の外周壁と上記第２収容孔（７ｃ）の内周壁との間に設けられると共に、上記突起部（２１）と上記第２収容孔（７ｃ）とを保密状に係合可能とする第２封止部材（１６）と、
   上記突起部（２１）に貫通形成され、第２絞り部（１７ｄ）が設けられた第２連通路（１７）と、
   上記第２収容孔（７ｃ）または上記第２作動室（９）に上記圧力流体を給排するための第２給排路（１１）と、
   をさらに備え、
   上記突起部（２１）が第２封止部材（１６）を介して上記第２収容孔（７ｃ）の内周壁に係合したときに、少なくとも上記第２収容孔（７ｃ）と上記突起部（２１）と上記第２封止部材（１６）とによって第２流体室（１３ａ）が区画形成され、上記第２連通路（１７）の一端（１７ａ）が上記第２流体室（１３ａ）に連通すると共に、上記第２連通路（１７）の他端（１７ｂ）が上記第２作動室（９）に連通する、ことを特徴とするシリンダ装置。
6. 請求項５のシリンダ装置において、
   上記第２給排路（１１）が上記第２作動室（９）に連通され、
   上記突起部（２１）に貫通形成され、第２逆止弁（２０ｅ）が設けられた第２逆止流通路（２０）であって、上記第２流体室（１３ａ）が形成されたときに、一端（２０ａ）が上記第２流体室（１３ａ）に連通すると共に、他端（２０ｂ）が上記第２作動室（９）に連通する、第２逆止流通路（２０）をさらに備え、
   上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２流体室（１３ａ）から上記第２作動室（９）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
7. 請求項５のシリンダ装置において、
   上記第２給排路（１１）が上記第２収容孔（７ｃ）に連通され、
   上記突起部（２１）に貫通形成され、第２逆止弁（２０ｅ）が設けられた第２逆止流通路（２０）であって、上記第２流体室（１３ａ）が形成されたときに、一端（２０ａ）が上記第２流体室（１３ａ）に連通すると共に、他端（２０ｂ）が上記第２作動室（９）に連通する、第２逆止流通路（２０）をさらに備え、
   上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２作動室（９）から上記第２流体室（１３ａ）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
8. 請求項５のシリンダ装置において、
   上記第２給排路（１１）が上記第２作動室（９）に連通され、
   上記第２連通路（１７）に第２逆止弁（２０ｅ）が設けられ、
   上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２作動室（９）から上記第２流体室（１３ａ）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
9. 請求項５から８のいずれか１項のシリンダ装置において、
   上記第２連通路（１７）は、上記一端（１７ａ）が上記突起部（２１）の上端で開口し、上記他端（１７ｂ）が上記突起部（２１）の外周壁において上記第２封止部材（１６）よりも基端側で開口する、ことを特徴とするシリンダ装置。
10. 請求項５のシリンダ装置において、
    上記第２給排路（１１）が上記第２連通路（１７）に連通され、
    上記第２連通路（１７）に第２逆止弁（２０ｅ）が設けられ、
    上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２作動室（９）に連通する第２連通路（１７）の他端（１７ｂ）側に、上記第２作動室（９）から上記第２連通路（１７）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
11. 請求項８または１０のシリンダ装置において、
    上記第２逆止弁（２０ｅ）は、第２弁座（２０ｇ）と当該第２弁座（２０ｇ）に着座することにより上記圧力流体の流れを制限する第２弁部材（２０ｆ）とを含み、
    上記第２絞り部（１７ｄ）は、上記第２弁部材（２０ｆ）に貫通形成される、ことを特徴とするシリンダ装置。
12. ハウジング（１）内に、移動可能に挿入される出力部材（７）であって、ピストン（７ａ）と、当該ピストン（７ａ）に突設されたピストンロッド（７ｂ）とを有する出力部材（７）と、
    上記出力部材（７）をその軸方向である先端側と基端側とに移動させる圧力流体が給排される作動室であって、上記ピストン（７ａ）に対して先端側に形成された第１作動室（８）および基端側に形成された第２作動室（９）を含む作動室と、を備えたシリンダ装置において、
    上記ハウジング（１）に形成され、上記ピストンロッド（７ｂ）を嵌入させる第１収容孔（６）と、
    上記第１収容孔（６）または上記第１作動室（８）に上記圧力流体を給排するための第１給排路（１０）と、
    上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁と上記第１収容孔（６）の内周壁との間に周方向に装着されると共に、上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁と上記第１収容孔（６）の内周壁とに保密状に係合可能となっている第１封止部材（１４）と、
    上記ピストンロッド（７ｂ）に貫通形成され、第１絞り部（１５ｄ）が設けられた第１連通路（１５）と、
    をさらに備え、
    上記ピストンロッド（７ｂ）を上記ハウジング（１）から突出させる進出移動時において、上記ピストン（７ａ）が先端側のストローク端の近くまで移動して上記ピストンロッド（７ｂ）が上記第１封止部材（１４）を介して上記第１収容孔（６）の内周壁に係合したときに、少なくとも上記第１収容孔（６）と上記ピストンロッド（７ｂ）と上記第１封止部材（１４）とによって第１流体室（１２ａ）が区画形成され、上記第１連通路（１５）の一端（１５ａ）が上記第１作動室（８）に連通すると共に、上記第１連通路（１５）の他端（１５ｂ）が上記第１流体室（１２ａ）に連通し、
    上記出力部材（７）の基端側で開口した凹状の第２収容孔（７ｃ）と、
    上記ハウジング（１）に形成され、上記第２収容孔（７ｃ）に嵌入可能な突起部（２１）と、
    上記突起部（２１）の外周壁と上記第２収容孔（７ｃ）の内周壁との間に設けられると共に、上記突起部（２１）と上記第２収容孔（７ｃ）とを保密状に係合可能とする第２封止部材（１６）と、
    上記突起部（２１）に貫通形成され、第２絞り部（１７ｄ）が設けられた第２連通路（１７）と、
    上記第２収容孔（７ｃ）または上記第２作動室（９）に上記圧力流体を給排するための第２給排路（１１）と、
    をさらに備え、
    上記突起部（２１）が第２封止部材（１６）を介して上記第２収容孔（７ｃ）の内周壁に係合したときに、少なくとも上記第２収容孔（７ｃ）と上記突起部（２１）と上記第２封止部材（１６）とによって第２流体室（１３ａ）が区画形成され、上記第２連通路（１７）の一端（１７ａ）が上記第２流体室（１３ａ）に連通すると共に、上記第２連通路（１７）の他端（１７ｂ）が上記第２作動室（９）に連通する、ことを特徴とするシリンダ装置。
13. 請求項１２のシリンダ装置において、
    上記第１給排路（１０）が上記第１収容孔（６）に連通され、
    上記ピストンロッド（７ｂ）に貫通形成され、第１逆止弁（１９ｄ）が設けられた第１逆止流通路（１９）であって、上記第１流体室（１２ａ）が形成されたときに、一端（１９ａ）が上記第１作動室（８）に連通すると共に、他端（１９ｂ）が上記第１流体室（１２ａ）に連通する、第１逆止流通路（１９）をさらに備え、
    上記第１逆止弁（１９ｄ）は、上記第１作動室（８）から上記第１流体室（１２ａ）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
14. 請求項１２のシリンダ装置において、
    上記第１給排路（１０）が上記第１作動室（８）に連通され、
    上記ピストンロッド（７ｂ）に貫通形成され、第１逆止弁（１９ｄ）が設けられた第１逆止流通路（１９）であって、上記第１流体室（１２ａ）が形成されたときに、一端（１９ａ）が上記第１作動室（８）に連通すると共に、他端（１９ｂ）が上記第１流体室（１２ａ）に連通する、第１逆止流通路（１９）をさらに備え、
    上記第１逆止弁（１９ｄ）は、上記第１流体室（１２ａ）から上記第１作動室（８）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
15. 請求項１２から１４のいずれか１項のシリンダ装置において、
    上記第１連通路（１５）は、上記出力部材（７）の軸方向に対して斜め方向に貫通形成され、上記一端（１５ａ）が上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁において第１封止部材（１４）よりも基端側で開口すると共に、上記他端（１５ｂ）が上記ピストンロッド（７ｂ）の外周壁において上記第１封止部材（１４）よりも先端側で開口する、ことを特徴とするシリンダ装置。
16. 請求項１２のシリンダ装置において、
    上記第１給排路（１０）が上記第１収容孔（６）に連通され、
    上記第１連通路（１５）に第１逆止弁（１９ｄ）が設けられ、
    上記第１逆止弁（１９ｄ）は、上記第１作動室（８）から上記第１流体室（１２ａ）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
17. 請求項１６のシリンダ装置において、
    上記第１逆止弁（１９ｄ）は、第１弁座（１９ｆ）と当該第１弁座（１９ｆ）に着座することにより上記圧力流体の流れを制限する第１弁部材（１９ｅ）とを含み、
    上記第１絞り部（１５ｄ）は、上記第１弁部材（１９ｅ）に貫通形成される、ことを特徴とするシリンダ装置。
18. 請求項１２から１７のいずれか１項のシリンダ装置において、
    上記第１収容孔（６）は、少なくとも１つの大径部（６ａ，６ｂ）を有する、ことを特徴とするシリンダ装置。
19. 請求項１２のシリンダ装置において、
    上記第２給排路（１１）が上記第２作動室（９）に連通され、
    上記突起部（２１）に貫通形成され、第２逆止弁（２０ｅ）が設けられた第２逆止流通路（２０）であって、上記第２流体室（１３ａ）が形成されたときに、一端（２０ａ）が上記第２流体室（１３ａ）に連通すると共に、他端（２０ｂ）が上記第２作動室（９）に連通する、第２逆止流通路（２０）をさらに備え、
    上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２流体室（１３ａ）から上記第２作動室（９）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
20. 請求項１２のシリンダ装置において、
    上記第２給排路（１１）が上記第２収容孔（７ｃ）に連通され、
    上記突起部（２１）に貫通形成され、第２逆止弁（２０ｅ）が設けられた第２逆止流通路（２０）であって、上記第２流体室（１３ａ）が形成されたときに、一端（２０ａ）が上記第２流体室（１３ａ）に連通すると共に、他端（２０ｂ）が上記第２作動室（９）に連通する、第２逆止流通路（２０）をさらに備え、
    上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２作動室（９）から上記第２流体室（１３ａ）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
21. 請求項１２のシリンダ装置において、
    上記第２給排路（１１）が上記第２作動室（９）に連通され、
    上記第２連通路（１７）に第２逆止弁（２０ｅ）が設けられ、
    上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２作動室（９）から上記第２流体室（１３ａ）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
22. 請求項１２から２１のいずれか１項のシリンダ装置において、
    上記第２連通路（１７）は、上記一端（１７ａ）が上記突起部（２１）の上端で開口し、上記他端（１７ｂ）が上記突起部（２１）の外周壁において上記第２封止部材（１６）よりも基端側で開口する、ことを特徴とするシリンダ装置。
23. 請求項１２のシリンダ装置において、
    上記第２給排路（１１）が上記第２連通路（１７）に連通され、
    上記第２連通路（１７）に第２逆止弁（２０ｅ）が設けられ、
    上記第２逆止弁（２０ｅ）は、上記第２作動室（９）に連通する第２連通路（１７）の他端（１７ｂ）側に、上記第２作動室（９）から上記第２連通路（１７）に向かう上記圧力流体の流れを制限する向きで取り付けられる、ことを特徴とするシリンダ装置。
24. 請求項２１または２３のシリンダ装置において、
    上記第２逆止弁（２０ｅ）は、第２弁座（２０ｇ）と当該第２弁座（２０ｇ）に着座することにより上記圧力流体の流れを制限する第２弁部材（２０ｆ）とを含み、
    上記第２絞り部（１７ｄ）は、上記第２弁部材（２０ｆ）に貫通形成される、ことを特徴とするシリンダ装置。

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