JP7348803B2 - セラミックス焼結体の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、従来よりも容易に接合強度を向上させることができるセラミックス焼結体の製造方法を提供することを目的とする。
第1セラミックス成形体を第1温度で仮焼し、第1セラミックス仮焼体を得る第1仮焼工程と、
第1セラミックス成形体と主成分が同一の第2セラミックス成形体を前記第1温度より高い第2温度で仮焼し、第2セラミックス仮焼体を得る第2仮焼工程と、
周面と底面とに囲われ、第1方向に開口を有する収容空間を前記第1セラミックス成形体または前記第1セラミックス仮焼体に形成する収容空間形成工程と、
前記第1セラミックス成形体もしくは前記第2セラミックス成形体の少なくとも一方、または前記第1セラミックス仮焼体もしくは前記第2セラミックス仮焼体の少なくとも一方、に前記第1方向に開口を有する付加的空間を形成する付加的空間形成工程と、
前記収容空間に前記第2セラミックス仮焼体を前記開口から前記第1方向に沿って挿入することにより、前記収容空間を画定する前記第1セラミックス仮焼体の収容面のうちの前記底面と前記第2セラミックス仮焼体の被収容面の一部の挿入先端面とが前記第1方向において対向するように配置される挿入工程と、
前記収容空間に前記第2セラミックス仮焼体を挿入した状態で、前記第1セラミックス仮焼体及び前記第2セラミックス仮焼体を、前記第2温度より高い第3温度で、前記第1方向に沿った一軸方向からの1MPa以上の圧力を加え前記第1方向に対向する前記収容面の前記底面及び前記被収容面の一部の前記挿入先端面を当接させた状態で焼成する一軸加圧焼成を行い、前記第1セラミックス仮焼体と前記第2セラミックス仮焼体とが嵌合して一体化し、前記付加的空間の前記第1方向の開口が前記底面又は前記挿入先端面により塞がれた状態とされたセラミックス焼結体を得る焼結工程と、
を含むことを特徴とする。
前記挿入工程において、前記第2セラミックス仮焼体を前記収容空間に挿入したとき、前記第1セラミックス仮焼体と前記第2セラミックス仮焼体との間には、前記第1方向に直交する第2方向において隙間が形成されるように、前記第2セラミックス仮焼体と前記収容空間とが構成されており、
前記焼結工程において、前記第1セラミックス仮焼体と前記第2セラミックス仮焼体とが一体化して前記隙間は消滅することが好ましい。
前記焼結工程において、前記セラミックス焼結体の焼成工程における収縮特性を示す収縮曲線の変曲点の温度である変曲点温度以上前記第3温度以下に設定された第4温度に前記セラミックス焼結体が達した時点から前記第1方向から加圧することが好ましい。
そこで、本発明においては、変曲点温度以上第3温度以下に設定された第4温度にセラミックス仮焼体が達した時点から第1方向から加圧することにより第2方向へ十分に収縮させることができ、第1セラミックス仮焼体と第2セラミックス仮焼体との一体化をより高めることができる。
前記第1セラミックス成形体と前記第2セラミックス成形体の主成分が炭化ケイ素である場合には、前記第1温度は900℃~1700℃、前記第2温度は1200℃~1900℃、前記第3温度は1800℃~2200℃、前記第4温度は1200℃~1900℃、とすることができる。
上記製造方法にて製造されたセラミックス焼結体を用いた半導体製造部材の製造方法であって、前記セラミックス焼結体に静電チャックを取り付ける取付工程を含むように製造してもよい。
図1及び図3を参照して、本実施形態のセラミックス焼結体の製造方法は、円盤形状の第1セラミックス成形体11と、第1セラミックス成形体と主成分が同一で円盤形状の第2セラミックス成形体21とを用いて、セラミックス焼結体を製造する方法である。
実施例1では、原料は酸化アルミニウム(Al2O3)を純度99.5%、平均粒子径0.5μmの酸化アルミニウム(Al2O3)の原料粉を用いた。実施例1の成形体は、ポリビニルアルコール(PVA)バインダーを3%添加して顆粒状にしてCIP成形した後、第1セラミックス成形体11及び第2セラミックス成形体21の形状に機械加工した。仮焼成及び本焼成は大気雰囲気で行った。また、本焼成時の加圧は1MPaで行った。結果を表1に示す。表1から明らかなように、実施例1の付加的空間33を画定する周壁からの水漏れは検知されなかった。また、ガスリークも確認されなかった。
実施例2では、純度98%、平均粒子径0.5μmの原料として、炭化ケイ素(SiC)に炭化ホウ素(B4C)及び炭素(C)を添加したものを用いた。セラミックス成形体は、ポリビニルアルコール(PVA)バインダーを3%添加して顆粒状にしてCIP成形した後、第1セラミックス成形体11及び第2セラミックス成形体21の形状に機械加工した。仮焼成及び本焼成はアルゴン雰囲気で行った。また焼成時の加圧は4MPaで行った。結果を表1に示す。表1から明らかなように、実施例2の付加的空間33を画定する周壁からの水漏れは検知されなかった。また、ガスリークも確認されなかった。
比較例1は、焼成時の一軸加圧の圧力を0.5MPaとした以外は、実施例2と同一とした。比較例1では、付加的空間33を画定する周壁から水漏れが発生した。また、Heガスを用いたガスリークの確認試験ではHeガスの圧力変動が確認されガスリークが発生した。
実施例3は、一軸加圧焼成の時の加圧を変曲点温度(1300℃)に達する前の800℃で開始した場合のものであり、他は、実施例2と同一に構成している。実施例3の付加的空間33を画定する周壁からの水漏れは検知されなかった。一方でHeガスを用いたガスリークの確認試験ではHeガスの圧力電動が確認されガスリークが発生した。
12 第1セラミックス仮焼体
21 第2セラミックス成形体
22 第2セラミックス仮焼体
22b 外底面(挿入先端面)
22c 外側面
31 収容空間
31a 開口
31b 内底面(底面)
31c 内側面(周面)
33 付加的空間
4 セラミックス焼結体
T1 第1温度
T2 第2温度
T3 第3温度
T4 第4温度
T5 変曲点温度
Claims (5)
- 第1セラミックス成形体を第1温度で仮焼し、第1セラミックス仮焼体を得る第1仮焼工程と、
第1セラミックス成形体と主成分が同一の第2セラミックス成形体を前記第1温度より高い第2温度で仮焼し、第2セラミックス仮焼体を得る第2仮焼工程と、
周面と底面とに囲われ、第1方向に開口を有する収容空間を前記第1セラミックス成形体または前記第1セラミックス仮焼体に形成する収容空間形成工程と、
前記第1セラミックス成形体もしくは前記第2セラミックス成形体の少なくとも一方、または前記第1セラミックス仮焼体もしくは前記第2セラミックス仮焼体の少なくとも一方、に前記第1方向に開口を有する付加的空間を形成する付加的空間形成工程と、
前記収容空間に前記第2セラミックス仮焼体を前記開口から前記第1方向に沿って挿入することにより、前記収容空間を画定する前記第1セラミックス仮焼体の収容面のうちの前記底面と前記第2セラミックス仮焼体の被収容面の一部の挿入先端面とが前記第1方向において対向するように配置される挿入工程と、
前記収容空間に前記第2セラミックス仮焼体を挿入した状態で、前記第1セラミックス仮焼体及び前記第2セラミックス仮焼体を、前記第2温度より高い第3温度で、前記第1方向に沿った一軸方向からの1MPa以上の圧力を加え前記第1方向に対向する前記収容面の前記底面及び前記被収容面の一部の前記挿入先端面を当接させた状態で焼成する一軸加圧焼成を行い、前記第1セラミックス仮焼体と前記第2セラミックス仮焼体とが嵌合して一体化し、前記付加的空間の前記第1方向の開口が前記底面又は前記挿入先端面により塞がれた状態とされたセラミックス焼結体を得る焼結工程と、
を含むことを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 - 請求項1に記載のセラミックス焼結体の製造方法であって、
前記挿入工程において、前記第2セラミックス仮焼体を前記収容空間に挿入したとき、前記第1セラミックス仮焼体と前記第2セラミックス仮焼体との間には、前記第1方向に直交する第2方向において隙間が形成されるように、前記第2セラミックス仮焼体と前記収容空間とが構成されており、
前記焼結工程において、前記第1セラミックス仮焼体と前記第2セラミックス仮焼体とが一体化して前記隙間は消滅することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のセラミックス焼結体の製造方法であって、
前記焼結工程において、前記セラミックス焼結体の焼成工程における収縮特性を示す収縮曲線の変曲点の温度である変曲点温度以上前記第3温度以下に設定された第4温度に前記セラミックス焼結体が達した時点から前記第1方向から加圧することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 - 請求項3に記載のセラミックス焼結体の製造方法であって、
前記第1セラミックス成形体と前記第2セラミックス成形体の主成分が炭化ケイ素であり、前記第1温度は900℃~1700℃、前記第2温度は1200℃~1900℃、前記第3温度は1800℃~2200℃、前記第4温度は1200℃~1900℃、であることを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 - 請求項1から請求項4の何れか1項に記載の製造方法にて製造されたセラミックス焼結体を用いた半導体製造部材の製造方法であって、
前記セラミックス焼結体に静電チャックを取り付ける取付工程を含む半導体製造部品の製造方法。
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