JP7305362B2 - 塵埃除去用振動装置および撮像装置 - Google Patents
塵埃除去用振動装置および撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7305362B2 JP7305362B2 JP2019017220A JP2019017220A JP7305362B2 JP 7305362 B2 JP7305362 B2 JP 7305362B2 JP 2019017220 A JP2019017220 A JP 2019017220A JP 2019017220 A JP2019017220 A JP 2019017220A JP 7305362 B2 JP7305362 B2 JP 7305362B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- diaphragm
- dust removing
- piezoelectric element
- piezoelectric material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims description 78
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 58
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 104
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 22
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 21
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 20
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 18
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 18
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 12
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 12
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 10
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 2-(n-methyl-4-nitroanilino)acetonitrile Chemical compound N#CCN(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 6
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 235000013339 cereals Nutrition 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 3
- 238000003916 acid precipitation Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000007580 dry-mixing Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000004993 emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 235000013312 flour Nutrition 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);diacetate Chemical compound [Mn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- JXDXDSKXFRTAPA-UHFFFAOYSA-N calcium;barium(2+);oxygen(2-);titanium(4+) Chemical compound [O-2].[Ca+2].[Ti+4].[Ba+2] JXDXDSKXFRTAPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- -1 etc. Substances 0.000 description 1
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0603—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/80—Camera processing pipelines; Components thereof
- H04N23/81—Camera processing pipelines; Components thereof for suppressing or minimising disturbance in the image signal generation
- H04N23/811—Camera processing pipelines; Components thereof for suppressing or minimising disturbance in the image signal generation by dust removal, e.g. from surfaces of the image sensor or processing of the image signal output by the electronic image sensor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
- B08B7/026—Using sound waves
- B08B7/028—Using ultrasounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
- C04B35/465—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
- C04B35/468—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates
- C04B35/4682—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates based on BaTiO3 perovskite phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0006—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/54—Mounting of pick-up tubes, electronic image sensors, deviation or focusing coils
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8536—Alkaline earth metal based oxides, e.g. barium titanates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
- H04N23/63—Control of cameras or camera modules by using electronic viewfinders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Camera Bodies And Camera Details Or Accessories (AREA)
- Blocking Light For Cameras (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
前記n個の圧電素子の各圧電材料の圧電定数がそれぞれ最大となる温度をTm(mは1からnまでの自然数)とするとき、T1~Tnのうちの少なくとも2つが互いに異なることを特徴とする振動装置が提供される。
本発明に係る振動装置は、それぞれが非鉛型の圧電材料と電極とから少なくともなるn個(n≧2)の圧電素子を振動板上に備えた振動部材を有する振動装置であって、前記n個の圧電素子の各圧電材料の圧電定数がそれぞれ最大となる温度をTm(mは1からnまでの自然数)とするとき、T1~Tnのうちの少なくとも2つが互いに異なることを特徴とする。
本発明の振動装置は、2個以上の圧電素子を振動板の表面に備えた振動部材を有する。図1は、振動板の表面に圧電素子を2個備えた振動部材の例を示す。2個の圧電素子430(430a、430b)は、矩形状の振動板410の同じ側(紙面の手前側)の面の左右両短辺に沿って配置されている。この振動板410は赤外線カットフィルタの機能を有しており、保持部材460(振動板の両短辺に沿った左右の腕部460dと振動板の両長辺に沿った上下の梁部460eからなる枠状部材)に保持されている。そして、圧電素子430を備え保持部材460に保持された振動板410は、図4に示すように、振動部材(振動ユニット)470として撮像素子ユニット500の前面(被写体側)に固定され、撮像素子ユニットとともに図2に示す撮像ユニット400を構成する。保持部材460の左右の腕部のそれぞれに開けられた位置決め穴460aと逃げ穴460bは、撮像素子ユニット500に固定するためのものである。
本発明の振動部材が備える複数(n個)の圧電素子は、それぞれ、非鉛型の圧電材料とその圧電材料に電圧を印加する電極とから少なくともなる。図3は、そのような圧電素子430の構成を示す概略三面図(左から順に正面図、右側面図、背面図)である。図3において、圧電素子430は、細長い板状の圧電材料431と、その背面および正面をそれぞれ被覆するように設けられた薄膜状の第1の電極432および第2の電極433とからなっている。背面側に設けられた第1の電極432は、その端が正面側にまわりこんでおり、これにより圧電素子430の背面側を振動板の表面に接着したとき、第1および第2の電極の双方に対し正面側から電圧を印加することができるようになっている。
一般式(1) (Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3
(1.00≦a≦1.02、0.02≦x≦0.30、0.020≦y≦0.095)
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とし、前記金属酸化物にMnが含有されており、前記Mnの含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.02重量部以上0.40重量部以下であることが好ましい。
このような範囲のMnを含有すると、絶縁性や機械的品質係数Qmが向上する。
次に、本発明の圧電素子に用いる圧電材料431の製造方法について説明する。まず、圧電材料の圧電定数d31の絶対値が最大を示す温度(温度T)を調整するために、上述の範囲でBa、Ca、Ti、ZrおよびMnのモル量を変えた原料粉を調合する。所望の組成に原料粉を秤量し、必要に応じて分散剤、バインダー、可塑剤等と水もしくは有機溶媒を加えて混合し、高密度の焼結体にするのに必要な圧力でプレス成形して成形体を作製する。ここでプレス成形のみで必要な圧力が得られない場合はCIP(冷間等方圧プレス:Cold Isostatic Press)などにより所望の圧力を加えても良い。また、プレス成形せずに最初からCIP等で成形体インゴットを作製しても良い。あるいは、スラリーの状態で、ドクターブレード法やダイコート法などの手法によりフィルムなどの支持体上に所定の厚みに塗工し、乾燥させてグリーンシート成形体を作製してもよい。
焼成条件は所望の圧電材料に最適な方法を選択すればよく、出来るだけ密度は高く、均一な大きさの粒成長をさせることが好ましい。なお、必要であれば成形体を所望の素子形状に加工してから焼成しても構わない。
第1の電極432および第2の電極433は、これらのうちの1種からなるものであっても、あるいはこれらの2種以上を積層してなるものであってもよい。また、第1の電極432および第2の電極433が、それぞれ異なる材料であっても良い。
振動部材が振動板上に備えるn個(n≧2)の圧電素子の各圧電材料の圧電定数がそれぞれ最大となる温度をTm(mは1からnまでの自然数)とするとき、T1~Tnのうちの少なくとも2つが互いに異なることが、本発明の特徴である。より望ましくは、T1~Tnの最大値と最小値の差分が10℃以上100℃以下であるとき、本発明の振動装置は、塵埃除去装置としての実用的な動作温度範囲において、安定して大きな塵埃除去の能力を有する。
図2は、デジタル一眼レフカメラに搭載されている塵埃除去用振動装置を備えた撮像ユニット400の斜視図である。図のX-X線は撮像素子33の中心部を通る横方向を示し、Y-Y線は撮像素子33の中心部を通る縦方向を示している。
制御回路10は、振動板410に固定された圧電素子430を振動させる圧電素子駆動回路111と、振動板410の振動振幅が所定の値となるように圧電素子430に印加する駆動電圧を指示するマイクロコンピューター100からなる。
以下に実施例1の圧電素子430の作製方法を示す。原料となる平均粒径100nmのチタン酸バリウム(堺化学工業製:BT-01)、平均粒径300nmのチタン酸カルシウム(堺化学工業製:CT-03)、平均粒径300nmのジルコン酸カルシウム(堺化学工業製:CZ-03)をモル比で92.0対2.0対6.0になるように秤量した。
作製した塵埃除去用振動装置を用いて本発明の撮像ユニット(撮像装置)400を作製し、塵埃除去率の評価を行ったところ、50℃(湿度90%RH)では99%、23℃(湿度50%RH)では99%、-20℃(湿度10%以下)では99%であった。-20℃から50℃までの温度条件において、95%以上の良好な塵埃除去率を示した。
実施例1で使用したチタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウムの混合比と、PVAバインダー中に含まれるMn重量を調整し、圧電定数が最大となる温度T1が30℃の圧電材料431(図8の材料C)を作製した。
実施例1で使用したチタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウムの混合比と、PVAバインダー中に含まれるMn重量を調整し、圧電定数が最大となる温度T1が60℃の圧電材料(図8の材料D)を作製した。
実施例1で使用したチタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウムの混合比と、PVAバインダー中に含まれるMn重量を調整し、圧電定数が最大となる温度T1、温度T2が-20℃の圧電材料(図8の材料B)を作製した。どちらもこれらを実施例1と同様の素子加工方法によって、2個の圧電素子を作製した。圧電材料に含まれるCaの量であるCHおよびCLは、共に圧電材料に含まれる全金属に対して7.0モル%であった。
実施例1で使用したチタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウムの混合比と、PVAバインダー中に含まれるMn重量を調整し、最大となる温度T1、温度T2が20℃の圧電材料(図8の材料A)を作製した。どちらもこれらを実施例1と同様の素子加工方法によって、2個の圧電素子を作製した。圧電材料に含まれるCaの量であるCHおよびCLは、共に圧電材料に含まれる全金属に対して4.0モル%であった。
なお、比較例1、比較例2は同一特性の圧電材料を2個使っているため、TmaxとTminにT1の値を記載してある。
1a グリップ部
2 マウント部
4 レンズロック解除ボタン
5 ミラーボックス
6 クイックリターンミラー
7 シャッタボタン
8 メイン操作ダイヤル
9 LCD表示パネル
10 制御回路
11 ストロボユニット
12 ストロボ取付け用のシュー溝
13 ストロボ接点
14 撮影モード設定ダイヤル
15 外部端子蓋
16 ビデオ信号出力用ジャック
17 USB出力用コネクタ
18 ファインダ接眼窓
19 カラー液晶モニタ
20 動作モード設定ボタン
21 マウント接点
33 撮像素子
33a 撮像素子のカバーガラス
42 電源
43 メインスイッチ
44 クリーニング指示操作部材
100 マイクロコンピューター
111 圧電素子駆動回路
400 撮像ユニット
410 振動板
420 光学ローパスフィルタ
430 圧電素子
431 圧電材料
432 第1の電極
433 第2の電極
450 弾性部材
460 保持部材
470 振動ユニット
500 撮像素子ユニット
510 撮像素子保持部材
510a 位置決めピン
510b ビス穴
510c ビス穴
520 回路基板
520a ビス用の逃げ穴
530 シールドケース
530a ビス用の逃げ穴
540 遮光部材
550 光学ローパスフィルタ保持部材
Claims (10)
- 圧電素子駆動回路が発生する交番電圧が印加されることで振動するそれぞれが非鉛型の圧電材料と電極とから少なくともなるn個(n≧2)の圧電素子を振動板上に備えた振動部材を有する塵埃除去装置であって、
前記n個の圧電素子の各圧電材料の圧電定数がそれぞれ最大となる温度をTm(mは1からnまでの自然数)とするとき、T1~Tnのうちの少なくとも2つが互いに異なり、
前記T 1 ~T n のうちの最大値を示す圧電材料に含まれるCaの量をC H 、前記T 1 ~T n のうちの最小値を示す圧電材料に含まれるCaの量をC L とするとき、C H <C L である振動装置を備えたことを特徴とする塵埃除去装置。 - 前記T1~Tnのうちの最大値と最小値の差分が10℃以上100℃以下である請求項1に記載の塵埃除去装置。
- 前記n個の圧電素子のそれぞれに対して交番電圧が印加されることにより、前記振動部材の表面に振動が発生するように構成された請求項1または2に記載の塵埃除去装置。
- 前記T1~Tnの最大値が60℃以下であり、前記T1~Tnの最小値が-40℃以上である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の塵埃除去装置。
- 前記n個の圧電素子が、前記振動板の同じ側の表面に配置されている請求項1乃至4のいずれか1項に記載の塵埃除去装置。
- 前記n個の圧電素子が、互いに離間して前記振動板の表面に配置されている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の塵埃除去装置。
- 前記非鉛型の圧電材料が、チタン酸バリウム系材料からなる請求項1乃至6のいずれか1項に記載の塵埃除去装置。
- 前記C H が2.0モル%以上4.0モル%以下であり、前記C L が4.0モル%以上9.35モル%以下である請求項1乃至7のいずれか1項に記載の塵埃除去装置。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の塵埃除去装置の振動部材を撮像素子ユニットの受光面側に備えたことを特徴とする撮像装置。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の塵埃除去装置を備える電気装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018019222 | 2018-02-06 | ||
JP2018019222 | 2018-02-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019136699A JP2019136699A (ja) | 2019-08-22 |
JP7305362B2 true JP7305362B2 (ja) | 2023-07-10 |
Family
ID=65324247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019017220A Active JP7305362B2 (ja) | 2018-02-06 | 2019-02-01 | 塵埃除去用振動装置および撮像装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11272080B2 (ja) |
EP (1) | EP3522515B1 (ja) |
JP (1) | JP7305362B2 (ja) |
CN (1) | CN110121018B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7369504B2 (ja) * | 2019-09-27 | 2023-10-26 | テイカ株式会社 | 圧電単結晶素子の製造方法、超音波送受信素子の製造方法および超音波プローブの製造方法 |
CN112439746B (zh) * | 2020-10-20 | 2022-05-31 | 惠州市德赛西威智能交通技术研究院有限公司 | 一种摄像头清洁装置及清洗系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011114587A (ja) | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Canon Inc | 塵埃除去装置および塵埃除去方法 |
CN103056098A (zh) | 2011-10-20 | 2013-04-24 | 佳能株式会社 | 压电设备、灰尘去除装置及成像装置 |
JP2013090495A (ja) | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Canon Inc | 振動体の温度を検出する電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置、該制御装置を有する塵埃除去装置及び振動型アクチュエータ |
JP2013518422A (ja) | 2010-01-27 | 2013-05-20 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電素子 |
JP2013099736A (ja) | 2011-10-20 | 2013-05-23 | Canon Inc | 圧電デバイス、塵埃除去装置、及び撮像装置 |
JP2014140028A (ja) | 2012-12-21 | 2014-07-31 | Canon Inc | 振動波駆動装置、撮像装置、光学機器、液体吐出装置及び電子機器 |
WO2016103514A1 (ja) | 2014-12-26 | 2016-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料及びその製造方法、並びに圧電素子及び圧電素子応用デバイス |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3325743A (en) * | 1965-12-23 | 1967-06-13 | Zenith Radio Corp | Bimorph flexural acoustic amplifier |
JPS57208259A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-21 | Ricoh Co Ltd | Ink jet head |
JP4724584B2 (ja) | 2006-03-29 | 2011-07-13 | キヤノン株式会社 | 塵埃除去装置、画像読取装置、及び撮像装置 |
JP2009082385A (ja) | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Fujifilm Corp | 超音波探触子 |
JP5344456B2 (ja) | 2008-03-11 | 2013-11-20 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 非鉛系圧電材料 |
JP5832091B2 (ja) | 2010-03-02 | 2015-12-16 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッドおよび超音波モータ |
JP5864168B2 (ja) | 2010-12-28 | 2016-02-17 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置 |
JP6063672B2 (ja) | 2011-09-06 | 2017-01-18 | キヤノン株式会社 | 圧電セラミックス、圧電セラミックスの製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、圧電音響部品、および電子機器 |
US9022531B2 (en) | 2012-02-28 | 2015-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, liquid discharge head and liquid discharge apparatus |
JP5967988B2 (ja) | 2012-03-14 | 2016-08-10 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置 |
JP5968052B2 (ja) * | 2012-04-26 | 2016-08-10 | キヤノン株式会社 | 塵埃除去装置および撮像装置 |
KR101728255B1 (ko) | 2012-08-27 | 2017-04-18 | 캐논 가부시끼가이샤 | 압전 재료, 그것을 사용한 압전 소자 및 그 압전 소자를 사용한 전자 기기 |
US9343650B2 (en) | 2013-03-29 | 2016-05-17 | Fuji Chemical Co., Ltd. | Piezoelectric material, piezoelectric element, multilayered piezoelectric element, liquid ejection head, liquid ejection apparatus, ultrasonic motor, optical equipment, vibration apparatus, dust removing apparatus, imaging apparatus, and electronic equipment |
US9614141B2 (en) | 2015-01-09 | 2017-04-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, piezoelectric element, piezoelectric device and piezoelectric ceramic manufacturing method |
US20160208145A1 (en) | 2015-01-21 | 2016-07-21 | Mar-Co Packaging, Inc. | Adhesive application with intermittent dead zones |
US10424722B2 (en) | 2015-11-27 | 2019-09-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, piezoelectric actuator, and electronic apparatus |
US9893268B2 (en) | 2015-11-27 | 2018-02-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, piezoelectric actuator, and electronic apparatus using the same |
US10727395B2 (en) | 2016-06-28 | 2020-07-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoeletric material, piezoelectric element, liquid discharge head, liquid discharge apparatus, vibration wave motor, optical instrument, vibration apparatus, dust removing apparatus, imaging apparatus and electronic device |
US10868232B2 (en) | 2017-02-14 | 2020-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material, manufacturing method for piezoelectric material, piezoelectric element, vibration wave motor, optical equipment, and electronic device |
US11515468B2 (en) | 2018-02-07 | 2022-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramics, manufacturing method for piezoelectric ceramics, piezoelectric element, vibration device, and electronic device |
-
2019
- 2019-01-29 US US16/260,506 patent/US11272080B2/en active Active
- 2019-02-01 JP JP2019017220A patent/JP7305362B2/ja active Active
- 2019-02-03 CN CN201910108214.3A patent/CN110121018B/zh active Active
- 2019-02-05 EP EP19155527.5A patent/EP3522515B1/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011114587A (ja) | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Canon Inc | 塵埃除去装置および塵埃除去方法 |
JP2013518422A (ja) | 2010-01-27 | 2013-05-20 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電素子 |
CN103056098A (zh) | 2011-10-20 | 2013-04-24 | 佳能株式会社 | 压电设备、灰尘去除装置及成像装置 |
JP2013090495A (ja) | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Canon Inc | 振動体の温度を検出する電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置、該制御装置を有する塵埃除去装置及び振動型アクチュエータ |
JP2013099736A (ja) | 2011-10-20 | 2013-05-23 | Canon Inc | 圧電デバイス、塵埃除去装置、及び撮像装置 |
JP2014140028A (ja) | 2012-12-21 | 2014-07-31 | Canon Inc | 振動波駆動装置、撮像装置、光学機器、液体吐出装置及び電子機器 |
WO2016103514A1 (ja) | 2014-12-26 | 2016-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料及びその製造方法、並びに圧電素子及び圧電素子応用デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110121018A (zh) | 2019-08-13 |
US11272080B2 (en) | 2022-03-08 |
EP3522515B1 (en) | 2021-04-07 |
EP3522515A1 (en) | 2019-08-07 |
JP2019136699A (ja) | 2019-08-22 |
CN110121018B (zh) | 2021-06-22 |
US20190246013A1 (en) | 2019-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6463210B2 (ja) | 塵埃除去装置およびその塵埃除去装置を備えた装置 | |
CN103889603B (zh) | 除尘装置和成像装置 | |
US9660175B2 (en) | Piezoelectric ceramic, method for manufacturing piezoelectric ceramic, piezoelectric element, and electronic device | |
JP6677847B2 (ja) | 塵埃除去装置および撮像装置 | |
US9525123B2 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, multilayered piezoelectric element. Liquid discharge heard, liquid discharge apparatus, ultrasonic motor, optical apparatus, vibratory apparatus, dust removing device, image pickup apparatus, and electronic equipment | |
US10256393B2 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, and electronic apparatus | |
JP5984736B2 (ja) | 塵埃除去装置、その製造方法および撮像装置 | |
US8866952B2 (en) | Dust removing device and image pickup apparatus | |
JP7305362B2 (ja) | 塵埃除去用振動装置および撮像装置 | |
KR20150115845A (ko) | 압전 재료, 압전 소자, 적층 압전 소자, 액체 토출 헤드, 액체 토출 장치, 초음파 모터, 광학 장치, 진동 장치, 먼지 제거 장치, 촬상 장치 및 전자 기기 | |
US10811592B2 (en) | Piezoelectric element, vibrator, vibration wave motor, optical device, and electronic device | |
JP7150466B2 (ja) | 圧電素子、振動子、振動波モータ、光学機器および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220114 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20220630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230628 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7305362 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |