JP7299098B2 - 除害システム、除害装置、およびシステム制御装置 - Google Patents
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Description
上述のように、実施の形態2でも、除害装置1-1,1-2,2の流路(ここでは、バックアップ用流路)から緊急除害装置3への流路にバイパスバルブ12-1,12-2が設けられている。実施の形態2では、バイパスバルブ12-1,12-2には、それぞれ、バルブ駆動部12-1d,12-2dが設けられている。バルブ駆動部12-1d,12-2dは、バイパスバルブ11-1,11-2を駆動して流路を切り換える。例えば、バルブ駆動部12-1d,12-2dは、油圧式、空気圧式、電動式などのロータリアクチュエータなどである。
21 除害装置本体
22m,22s システム制御装置
31 ローカル制御部
51 ネットワークインターフェイス
Claims (7)
- 複数の除害装置と、
前記複数の除害装置にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の除害装置のうちの対応する除害装置に動作指令を供給する複数のシステム制御装置とを備え、
前記複数のシステム制御装置は、ネットワークを介して互いに通信するためのネットワークインターフェイスをそれぞれ備え、
前記複数のシステム制御装置のうちのいずれか1つは、マスタシステム制御装置として機能し、
前記複数のシステム制御装置のうちの残りのシステム制御装置は、スレーブシステム制御装置として機能し、
前記マスタシステム制御装置は、前記ネットワークインターフェイスで、前記スレーブシステム制御装置へ制御指令を送信し、
前記スレーブシステム制御装置は、前記ネットワークインターフェイスで、前記制御指令を受信し、受信した前記制御指令に従って前記対応する除害装置に前記動作指令を供給し、
前記スレーブシステム制御装置は、前記マスタシステム制御装置との通信が不可となった場合に、新たなマスタシステム制御装置として機能するか、スタンドアローン運転に移行し、
前記スタンドアローン運転は、所定設定に従って前記動作指令を前記対応する除害装置に供給すること、
を特徴とする除害システム。 - 前記複数の除害装置は、所定の処理ツールからの処理対象ガスに対して一次的に除害処理を行うプライマリ除害装置と、前記プライマリ除害装置のバックアップ用のバックアップ除害装置とを含み、
前記バックアップ除害装置のシステム制御装置は、前記マスタシステム制御装置であり、
前記プライマリ除害装置のシステム制御装置は、前記スレーブシステム制御装置であること、
を特徴とする請求項1記載の除害システム。 - 前記複数の除害装置は、所定の処理ツールからの処理対象ガスに対して一次的に除害処理を行うプライマリ除害装置と、前記プライマリ除害装置のバックアップ用のバックアップ除害装置とを含み、
前記複数の除害装置は、ローカル制御部をそれぞれ内蔵し、
前記ローカル制御部は、前記処理ツールからの指令に従って除害処理を制御し、
前記複数のシステム制御装置のうちの1つのシステム制御装置は、(a)当該システム制御装置の前記除害装置の状態情報を収集するともに、前記複数のシステム制御装置のうちの他のシステム制御装置から、当該他のシステム制御装置の前記対応する除害装置の状態情報を取得し、(b)前記複数の除害装置の状態情報を前記処理ツールに通知し、
前記スタンドアローン運転では、前記ローカル制御部は、前記他のシステム制御装置の前記対応する除害装置が稼働不可であるとした前記複数の除害装置の状態情報を前記処理ツールに通知すること、
を特徴とする請求項1記載の除害システム。 - 前記複数の除害装置は、複数の処理ツールからの処理対象ガスに対して一次的に除害処理をそれぞれ行う複数のプライマリ除害装置と、前記複数のプライマリ除害装置のバックアップ用の1台のバックアップ除害装置とを含むことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記載の除害システム。
- 前記複数の除害装置の少なくとも1つの異常発生時に一時的に除害処理を行う緊急除害装置と、
前記複数の除害装置の流路から前記緊急除害装置への流路に設けられたバイパスバルブと、
前記バイパスバルブを駆動するバルブ駆動部とをさらに備え、
前記複数のシステム制御装置のうちのいずれかのシステム制御装置は、前記バルブ駆動部を制御して、前記バイパスバルブの流路を切り替えること、
を特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の除害システム。 - 除害装置本体と、
前記除害装置本体に対して動作指令を供給するシステム制御装置とを備え、
前記システム制御装置は、ネットワークを介して他の除害装置のシステム制御装置と通信するためのネットワークインターフェイスを備え、スレーブシステム制御装置として機能し、
前記他の除害装置のシステム制御装置は、マスタシステム制御装置として機能し、
前記スレーブシステム制御装置は、前記ネットワークインターフェイスで、前記マスタシステム制御装置から制御指令を受信し、受信した前記制御指令に従って前記除害装置本体に前記動作指令を供給し、
前記スレーブシステム制御装置は、前記マスタシステム制御装置との通信が不可となった場合に、新たなマスタシステム制御装置として機能するか、スタンドアローン運転に移行し、
前記新たなマスタシステム制御装置は、前記ネットワークインターフェイスで、他のスレーブシステム制御装置として機能する他のシステム制御装置へ制御指令を送信し、
前記スタンドアローン運転は、所定設定に従って前記動作指令を前記除害装置本体に供給すること、
を特徴とする除害装置。 - 除害装置に対して動作指令を供給するシステム制御装置において、
ネットワークを介して他の除害装置のシステム制御装置と通信するためのネットワークインターフェイスを備え、
当該システム制御装置は、スレーブシステム制御装置として機能し、
前記他の除害装置のシステム制御装置は、マスタシステム制御装置として機能し、
前記スレーブシステム制御装置は、前記ネットワークインターフェイスで、前記マスタシステム制御装置から制御指令を受信し、受信した前記制御指令に従って前記除害装置に前記動作指令を供給し、
前記スレーブシステム制御装置は、前記マスタシステム制御装置との通信が不可となった場合に、新たなマスタシステム制御装置として機能するか、スタンドアローン運転に移行し、
前記新たなマスタシステム制御装置は、前記ネットワークインターフェイスで、他のスレーブシステム制御装置として機能する他のシステム制御装置へ制御指令を送信し、
前記スタンドアローン運転は、所定設定に従って前記動作指令を前記除害装置に供給すること、
を特徴とするシステム制御装置。
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