JP7196825B2 - シリコン基板表面の金属不純物評価方法 - Google Patents
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Description
図1に示す気相分解容器1内に、薬液2としてステラケミファ製EL級フッ化水素酸(50質量%)を200mL注入した場合について、金属不純物評価を行うシリコン基板Wの表面であるPW面が下向きになるように気相分解容器1に載せ、蒸気3を密閉することで気相分解を行った。気相分解時間は15分とし、気相分解後はクリーンドラフト内で自然乾燥を行った。
気相分解容器内に注入する薬液として、ステラケミファ製EL級フッ化水素酸(50質量%)と三徳化学製EL級過酸化水素水(31質量%)を1:1で混合した酸混合溶液を使用したこと以外は比較例1と同様にして気相分解を行った。
気相分解容器内に注入する薬液として、ステラケミファ製EL級フッ化水素酸(50質量%)と三徳化学製EL級過酸化水素水(31質量%)を1:3で混合した酸混合溶液を使用したこと以外は比較例1,2と同様にして気相分解を行った。
比較例1~3と同様に、シリコンウェーハの気相分解を、図1に示す気相分解容器1を用いて行った。気相分解容器1内に注入する薬液2として、ステラケミファ製EL級フッ化水素酸(50質量%)と、三徳化学製EL級過酸化水素水(31質量%)と、関東化学製EL級塩酸(36質量%)を表1に示した比率で混合した合計200mLの酸混合溶液を注入し、金属不純物評価を行うシリコン基板Wの表面であるPW面が下向きになるように気相分解容器1に載せ、HF+H2O2+HClを含む蒸気3を密閉することで気相分解を行った。気相分解時間は15分とし、気相分解後はクリーンドラフト内で自然乾燥を行うこととした。
Claims (2)
- シリコン基板表面の金属不純物を評価する方法であって、
10.0~15.0質量%のフッ化水素と、19.0~23.0質量%の過酸化水素と、1.5~3.2質量%の塩化水素を含む酸混合溶液から発生する蒸気を、シリコン基板表面に15~30分間接触させて前記シリコン基板表面の気相分解を行い、
前記気相分解後の前記シリコン基板表面の金属不純物を全反射蛍光X線分析法により評価することを特徴とするシリコン基板表面の金属不純物評価方法。 - 前記気相分解は、上部に開口を有する容器内に前記酸混合溶液を注入し、前記開口を覆うように前記シリコン基板を設置して、前記金属不純物評価を行う前記シリコン基板表面と前記容器内の前記酸混合溶液との間に密閉空間を形成し、前記酸混合溶液から発生する蒸気により、前記密閉空間に面した前記シリコン基板表面を気相分解処理することを特徴とする請求項1に記載のシリコン基板表面の金属不純物評価方法。
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