JP7186130B2 - 電子線照射装置 - Google Patents
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Description
前記電子線発生器からの電子線を真空チャンバの外部まで透過させる透過窓と、
前記透過窓からの電子線を成形して導く電子線成形部材と、
前記電子線成形部材で成形された電子線を導くノズルと、
前記電子線成形部材およびノズルの内部を、低真空または空気よりも密度の小さい気体雰囲気にする気体雰囲気調整部とを備え、
前記透過窓の電子線を透過させる部分が、前記ノズルの内部における横断面よりも大きいものである。
D 透過窓の電子線を透過させる部分
d ノズルの内部における横断面
1 電子線照射装置
2 真空チャンバ
3 電子線発生器
4 透過窓
5 電子線成形部材
7 ノズル
8 気体雰囲気調整部
9 透過窓冷却機構
41 ブロック本体
43 保持具
50 円筒部
51 第1磁石
52 第2磁石
60 電子線案内ユニット
80 円盤部
81 気体通路
90 透過窓冷却ブロック
91 冷媒供給部
93 冷媒通路
95 冷媒回収部
Claims (4)
- 内部に電子線発生器が配置された真空チャンバと、
前記電子線発生器からの電子線を真空チャンバの外部まで透過させる透過窓と、
前記透過窓からの電子線を成形して導く電子線成形部材と、
前記電子線成形部材で成形された電子線を導くノズルと、
前記電子線成形部材およびノズルの内部を、低真空または空気よりも密度の小さい気体雰囲気にする気体雰囲気調整部とを備え、
前記透過窓の電子線を透過させる部分が、前記ノズルの内部における横断面よりも大きいことを特徴とする電子線照射装置。 - 電子線成形部材が、透過窓からの電子線を収束させる第1磁石と、第1磁石で収束されて反転により発散した電子線をコリメートする第2磁石とを有することを特徴とする請求項1に記載の電子線照射装置。
- 真空チャンバに設けられて透過窓を冷却する透過窓冷却機構を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の電子線照射装置。
- 透過窓を着脱自在に保持する保持具を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子線照射装置。
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JP2019091020A JP7186130B2 (ja) | 2019-05-14 | 2019-05-14 | 電子線照射装置 |
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JP2013151327A (ja) | 2011-12-08 | 2013-08-08 | Krones Ag | 反射器装置を用いて容器の内壁を殺菌する装置および方法 |
WO2017115572A1 (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 日立造船株式会社 | 内面電子線照射装置 |
JP2017122723A (ja) | 2016-12-22 | 2017-07-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置 |
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- 2019-05-14 JP JP2019091020A patent/JP7186130B2/ja active Active
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WO2017115572A1 (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 日立造船株式会社 | 内面電子線照射装置 |
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