JP7140079B2 - Light shading plate, camera unit, electronic device, and method for manufacturing light shading plate - Google Patents

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Description

本発明は、遮光板、遮光板を備えるカメラユニット、カメラユニットを備える電子機器、および、遮光板の製造方法に関する。 The present invention relates to a light shielding plate, a camera unit including the light shielding plate, an electronic device including the camera unit, and a method for manufacturing the light shielding plate.

スマートフォンなどの電子機器が備えるカメラユニットは、外光に対する絞りとして機能する遮光板を備えている。所定の形状を有した遮光板の成型が容易であることから、樹脂製の遮光板が多用されている(例えば、特許文献1を参照)。しかしながら、樹脂製の遮光板は、遮光板が有する光透過性のために、外光を通過させるための孔だけでなく、孔を区画する部分においても外光を透過させてしまう。このように、樹脂製の遮光板による遮光は十分ではないことから、より高い遮光性を有した金属製の遮光板が使用され始めている(例えば、特許文献2を参照)。 A camera unit included in an electronic device such as a smartphone includes a light shielding plate that functions as a diaphragm for external light. A light shielding plate made of resin is often used because it is easy to mold a light shielding plate having a predetermined shape (see, for example, Patent Document 1). However, the light shielding plate made of resin allows the outside light to pass through not only the holes for passing the outside light but also the portions defining the holes due to the light transmittance of the light shielding plate. In this way, since the light shielding plate made of resin does not provide sufficient light shielding, a metal light shielding plate having a higher light shielding property is beginning to be used (see, for example, Patent Document 2).

特開2010-8786号公報JP-A-2010-8786 国際公開第2016/060198号WO2016/060198

ところで、加工の難易度が低く、また、単位時間当たりに多くの製品を製造することが可能であるため、金属製の遮光板を製造する際には、金属板を金型によって打ち抜く打ち抜き加工が用いられている。打ち抜き加工を用いた金属板の加工では、金型によって金属板を打ち抜く際に、金属板に変形やひずみが生じることを抑え、これによって製品の寸法における精度を担保するために、金属板の表面に直交する方向に沿って金属板を打ち抜くことが必要とされる。これにより、金属板には、金属板の表面に直交する断面において、金属板の表面に対して垂直に延びる側面を有した孔が形成される。 By the way, since the difficulty of processing is low and it is possible to manufacture a large number of products per unit time, when manufacturing a metal light shielding plate, a punching process of punching out a metal plate with a die is used. used. In the processing of metal plates using punching, the surface of the metal plate is treated with a It is required to punch the metal plate along the direction perpendicular to the As a result, holes having side surfaces extending perpendicularly to the surface of the metal plate are formed in the metal plate in a cross section orthogonal to the surface of the metal plate.

こうした孔を有する遮光板をカメラユニットに搭載した場合には、遮光板の表面との間で鋭角を形成する方向から遮光板に入射した外光が、孔を区画する側面において反射され、結果として孔を通過してしまうことがある。孔を通過した光は、カメラユニットが備える撮像部に受光され、撮像部が撮像した画像においてゴーストやフレアが生じてしまう場合がある。このように、金属製の遮光板には、遮光板が金属製であるがゆえの新たな課題が生じている。 When a light-shielding plate having such holes is mounted in a camera unit, external light entering the light-shielding plate from a direction forming an acute angle with the surface of the light-shielding plate is reflected on the side surfaces defining the holes, resulting in It can pass through holes. The light that has passed through the hole is received by the imaging section provided in the camera unit, and ghosts and flares may occur in the image captured by the imaging section. As described above, the metal light shielding plate has a new problem because the light shielding plate is made of metal.

本発明は、孔を透過するように孔を区画する側面で反射される光の光量を低下させることを可能とした遮光板、カメラユニット、電子機器、および、遮光板の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention provides a light shielding plate, a camera unit, an electronic device, and a method for manufacturing the light shielding plate, which can reduce the amount of light reflected by the side surfaces defining the holes so as to pass through the holes. With the goal.

上記課題を解決するための遮光板は、金属製の遮光板であって、光の入射側に位置する表面と、前記表面とは反対側の面である裏面と、前記表面と前記裏面との間を貫通する孔と、を備える。前記孔は、前記裏面に裏面開口を有し、前記裏面から前記表面に向けて先細る形状を有した第1孔と、前記表面に前記裏面開口よりも大きい表面開口を有し、前記表面から前記裏面に向けて先細る形状を有して前記第1孔に繋がる第2孔とを備える。前記第1孔が有する開口のうち、前記裏面開口とは反対側の開口が中央開口であり、前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記中央開口の縁と前記裏面開口の縁とを通る直線と、前記裏面とが形成する角度が90°よりも大きい。 A light-shielding plate for solving the above-mentioned problems is a metal light-shielding plate having a front surface positioned on a light incident side, a rear surface opposite to the front surface, and the front surface and the rear surface. and a hole extending therethrough. The holes have a rear surface opening on the rear surface, a first hole having a shape tapered from the rear surface to the front surface, and a front surface opening larger than the rear surface opening on the front surface. a second hole tapered toward the back surface and connected to the first hole; Of the openings of the first hole, the opening on the side opposite to the back opening is a central opening, and in a cross section along a plane perpendicular to the surface, passes through the edge of the central opening and the edge of the back opening. The angle formed by the straight line and the back surface is greater than 90°.

上記課題を解決するためのカメラユニットは、上記遮光板を備える。
上記課題を解決するための電子機器は、上記カメラユニットを備える。
A camera unit for solving the above problem includes the above light shielding plate.
An electronic device for solving the above problems includes the above camera unit.

上記課題を解決するための遮光板の製造方法は、金属箔の表面と裏面とにレジスト層を配置することと、前記レジスト層の露光と現像とによって前記レジスト層からレジストマスクを形成することと、前記裏面に形成された前記レジストマスクを用いて、前記裏面に裏面開口を有し、かつ、前記裏面から前記表面に向けて先細る形状を有した第1孔を前記金属箔に形成することと、前記第1孔を形成した後に、前記表面に形成された前記レジストマスクを用いて、前記表面に表面開口を有し、かつ、前記表面から前記裏面に向けて先細る形状を有した第2孔を前記第1孔に繋がるように前記金属箔に形成することと、を含む。前記第1孔を形成することと、前記第2孔を形成することとによって、前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記第1孔が有する開口のうち、前記裏面開口とは反対側の開口である中央開口の縁と前記裏面開口の縁とを通る直線と、前記裏面とが形成する角度が90°よりも大きくなるように、前記第1孔と前記第2孔とを形成する。 A method for manufacturing a light-shielding plate for solving the above-mentioned problems comprises disposing a resist layer on the front and back surfaces of a metal foil, and forming a resist mask from the resist layer by exposing and developing the resist layer. forming in the metal foil a first hole having a rear surface opening on the rear surface and having a shape tapering from the rear surface to the front surface, using the resist mask formed on the rear surface; and, after forming the first hole, using the resist mask formed on the front surface, the first hole has a surface opening on the front surface and has a shape tapering from the front surface toward the back surface. and forming two holes in the metal foil to communicate with the first hole. By forming the first hole and forming the second hole, in a cross section along a plane orthogonal to the front surface, of the openings of the first hole, the opening on the side opposite to the back opening The first hole and the second hole are formed such that an angle formed by the back surface and a straight line passing through the edge of the central opening and the edge of the back opening is greater than 90°.

上記各構成によれば、中央開口の縁と裏面開口の縁とを通る直線と、裏面とが形成する角度が90°である場合に比べて、表面に対して斜め上方から遮光板に入射した光のなかで、裏面開口の近傍において孔を区画する側面によって反射される光の光量を低下させることができる。これにより、孔を通過するように孔を区画する側面で反射される光の光量を低下させることができる。 According to each of the above configurations, compared to the case where the angle formed by the straight line passing through the edge of the central opening and the edge of the back opening and the back surface is 90°, the light incident on the light shielding plate from obliquely above the front surface Of the light, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole in the vicinity of the back opening can be reduced. As a result, it is possible to reduce the amount of light reflected by the side surfaces defining the holes so as to pass through the holes.

上記遮光板において、前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記第2孔を区画する側面が弧状であり、かつ、前記第2孔を区画する前記側面の曲率中心が、前記遮光板の外側に位置してもよい。 In the light shielding plate, in a cross section along a plane orthogonal to the surface, the side surface defining the second hole is arcuate, and the center of curvature of the side surface defining the second hole is located outside the light shielding plate. may be located in

上記構成によれば、表面の斜め上方から第2孔に入射した光は、弧状を有した側面において反射される。そのため、反射光のなかで最も高い輝度を有した正反射光は、弧状を有した側面から遮光板の表面に向かう方向に沿って反射される。それゆえに、孔を通過するように孔を区画する側面で反射される光の光量がより低下する。 According to the above configuration, the light incident on the second hole from obliquely above the surface is reflected by the arcuate side surface. Therefore, the specularly reflected light, which has the highest brightness among the reflected lights, is reflected along the direction toward the surface of the light shielding plate from the arc-shaped side surface. Therefore, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole to pass through the hole is lower.

上記遮光板において、前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記第1孔を区画する側面が弧状であり、かつ、前記第1孔を区画する前記側面の曲率中心が、前記遮光板の外側に位置してもよい。 In the light shielding plate, in a cross section along a plane orthogonal to the surface, the side surface defining the first hole is arcuate, and the center of curvature of the side surface defining the first hole is located outside the light shielding plate. may be located in

上記構成によれば、第1孔を区画する側面が、曲率中心が遮光板の外側に位置するような弧状を有するため、第1孔を区画する側面が直線状を有する場合に比べて、表面の斜め上方から孔に入射した光のなかで、裏面開口の近傍において孔を区画する側面によって反射される光の光量を低下させることができる。これにより、孔を通過するように孔を区画する側面で反射される光の光量をより低下させることができる。 According to the above configuration, the side surface defining the first hole has an arc shape with the center of curvature positioned outside the light shielding plate. It is possible to reduce the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole in the vicinity of the back opening, among the light incident on the hole from obliquely above. As a result, the amount of light reflected by the side surfaces defining the holes so as to pass through the holes can be further reduced.

上記遮光板において、前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記中央開口の前記縁を通り、かつ、前記裏面に平行な直線と、前記中央開口の前記縁と前記表面開口の縁とを最短距離で結ぶ直線とが形成する角度が、20°以上40°以下であってよい。 In the light shielding plate, in a cross section along a plane orthogonal to the front surface, a straight line passing through the edge of the central opening and parallel to the back surface and the edge of the central opening and the edge of the front opening are the shortest. The angle formed by the straight lines connecting the distances may be 20° or more and 40° or less.

上記構成によれば、2つの直線が形成する角度が40°よりも大きい場合に比べて、表面の斜め上方であって、かつ、表面と直交する方向からのずれ量が小さい方向から孔を区画する側面に光が入射した場合に、当該面に入射した光が、遮光板の表面に向けて反射されやすくなる。そのため、孔を通過するように孔を区画する側面で反射される光の光量がより低下する。 According to the above configuration, compared to the case where the angle formed by the two straight lines is larger than 40°, the hole is defined diagonally above the surface and in the direction in which the amount of deviation from the direction perpendicular to the surface is small. When light is incident on the side surface facing the light shielding plate, the light incident on the surface is likely to be reflected toward the surface of the light shielding plate. Therefore, the amount of light reflected by the side surfaces that partition the holes so as to pass through the holes is further reduced.

上記遮光板において、前記遮光板は、10μm以上100μm以下の厚さを有してもよい。この構成によれば、遮光板の厚さが10μm以上であることによって、遮光板を形成するための金属箔の反りが遮光板の形状に対して影響を与えることが抑えられ、遮光板の厚さが100μm以下であることによって、孔を形成するためのエッチングの精度が低下することが抑えられる。 In the light shielding plate, the light shielding plate may have a thickness of 10 μm or more and 100 μm or less. According to this configuration, since the thickness of the light shielding plate is 10 μm or more, the warping of the metal foil for forming the light shielding plate can be suppressed from affecting the shape of the light shielding plate. When the thickness is 100 μm or less, deterioration in accuracy of etching for forming holes can be suppressed.

上記遮光板において、前記遮光板は、鉄‐ニッケル系合金製、または、鉄‐ニッケル‐コバルト系合金製であってもよい。
上記遮光板において、前記遮光板は、インバー製またはスーパーインバー製であってもよい。
In the light shielding plate, the light shielding plate may be made of an iron-nickel alloy or an iron-nickel-cobalt alloy.
In the light shielding plate, the light shielding plate may be made of Invar or Super Invar.

上記各構成によれば、外気温の変化に伴う遮光板の変形を抑えることができ、これによって、外気温の変化に伴う外光の入射量における変化を抑えることができる。それゆえに、外光の入射量における変化に伴うゴーストやフレアの発生を抑えることができる。 According to each of the above configurations, it is possible to suppress deformation of the light shielding plate due to changes in the outside air temperature, thereby suppressing changes in the incident amount of outside light due to changes in the outside air temperature. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of ghosts and flares due to changes in the incident amount of external light.

本発明によれば、孔を透過するように孔を区画する側面で反射される光の光量を低下させることが可能である。 According to the present invention, it is possible to reduce the amount of light reflected by the side surfaces defining the holes so as to pass through the holes.

一実施形態における遮光板の構造を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing the structure of a light shielding plate in one embodiment; 図1が示す遮光板の構造を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of the light shielding plate shown in FIG. 1; 図2が示す断面図の一部を拡大して示す部分拡大断面図。FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view showing an enlarged part of the cross-sectional view shown in FIG. 2; 遮光板の作用を説明するための作用図。FIG. 4 is an operation diagram for explaining the operation of the light shielding plate; 遮光板の作用を説明するための作用図。FIG. 4 is an operation diagram for explaining the operation of the light shielding plate; 遮光板の製造方法を説明するための工程図。Process drawing for demonstrating the manufacturing method of a light-shielding plate. 遮光板の製造方法を説明するための工程図。Process drawing for demonstrating the manufacturing method of a light-shielding plate. 遮光板の製造方法を説明するための工程図。Process drawing for demonstrating the manufacturing method of a light-shielding plate. 遮光板の製造方法を説明するための工程図。Process drawing for demonstrating the manufacturing method of a light-shielding plate. 実施例1の遮光板における断面構造を撮影した画像。4 is an image of the cross-sectional structure of the light shielding plate of Example 1. FIG.

図1から図10を参照して、遮光板、カメラユニット、電子機器、および、遮光板の製造方法の一実施形態を説明する。以下では、遮光板の構成、遮光板の製造方法、および、実施例を順に説明する。 An embodiment of a light shielding plate, a camera unit, an electronic device, and a method for manufacturing the light shielding plate will be described with reference to FIGS. Hereinafter, the configuration of the light shielding plate, the method for manufacturing the light shielding plate, and the examples will be described in order.

[遮光板の構成]
図1から図5を参照して、遮光板の構成を説明する。
図1が示すように、金属製の遮光板10は、表面10Fと、裏面10Rと、孔10Hとを備えている。表面10Fは、光の入射側に位置する面である。裏面10Rは、表面10Fとは反対側の面である。孔10Hは、表面10Fと裏面10Rとの間を貫通している。遮光板10は、例えばステンレス鋼製であるが、ステンレス鋼以外の金属から形成されてもよい。なお、遮光板10は、表面10F、裏面10R、および、孔10Hを区画する側面が、図示されない反射防止膜によって覆われている。反射防止膜は、遮光板10を形成する金属よりも低い反射率を有し、かつ、反射防止膜に照射された光の一部を吸収する機能を有している。また、遮光板10が反射防止膜によって覆われていても、遮光板10における光の反射を完全になくすことはできない。
[Structure of light shielding plate]
The configuration of the light shielding plate will be described with reference to FIGS. 1 to 5. FIG.
As shown in FIG. 1, the metal light shielding plate 10 has a front surface 10F, a rear surface 10R, and holes 10H. The surface 10F is a surface located on the light incident side. The back surface 10R is the surface opposite to the front surface 10F. The hole 10H penetrates between the front surface 10F and the rear surface 10R. The light shielding plate 10 is made of stainless steel, for example, but may be made of metal other than stainless steel. The light shielding plate 10 is covered with an antireflection film (not shown) on the front surface 10F, the rear surface 10R, and the side surfaces defining the holes 10H. The antireflection film has a reflectance lower than that of the metal forming the light shielding plate 10, and has a function of absorbing part of the light irradiated onto the antireflection film. Further, even if the light shielding plate 10 is covered with an antireflection film, the reflection of light on the light shielding plate 10 cannot be completely eliminated.

遮光板10は、遮光板10が覆うレンズの形状に応じた円形状を有している。孔10Hは、孔10Hが対向するレンズの形状に応じた円形状を有している。 The light shielding plate 10 has a circular shape corresponding to the shape of the lens covered by the light shielding plate 10 . The hole 10H has a circular shape corresponding to the shape of the lens that the hole 10H faces.

図2は、遮光板10の表面10Fと直交する断面における遮光板10の構造を示している。
図2が示すように、孔10Hは、第1孔10H1および第2孔10H2を備えている。第1孔10H1は、裏面10Rに裏面開口H1Rを有し、裏面10Rから表面10Fに向けて先細る形状を有している。第2孔10H2は、表面10Fに裏面開口H1Rよりも大きい表面開口H2Fを有している。第2孔10H2は、表面10Fから裏面10Rに向けて先細る形状を有して、第1孔10H1に繋がっている。本実施形態では、表面10Fと直交する平面に沿う断面において、第2孔10H2を区画する側面が弧状であり、かつ、第2孔10H2を区画する側面の曲率中心が、遮光板10の外側に位置している。第1孔10H1を区画する側面が弧状であり、第1孔10H1を区画する側面の曲率中心が、遮光板10の外側に位置している。
FIG. 2 shows the structure of the light shielding plate 10 in a cross section perpendicular to the surface 10F of the light shielding plate 10. As shown in FIG.
As shown in FIG. 2, the hole 10H has a first hole 10H1 and a second hole 10H2. The first hole 10H1 has a rear surface opening H1R on the rear surface 10R and has a tapered shape from the rear surface 10R toward the front surface 10F. The second hole 10H2 has a front opening H2F larger than the rear opening H1R on the front surface 10F. The second hole 10H2 has a tapered shape from the front surface 10F toward the rear surface 10R and is connected to the first hole 10H1. In the present embodiment, in a cross section along a plane perpendicular to the surface 10F, the side surfaces defining the second holes 10H2 are arcuate, and the center of curvature of the side surfaces defining the second holes 10H2 is outside the light shielding plate 10. positioned. The side surface that defines the first hole 10H1 is arcuate, and the center of curvature of the side surface that defines the first hole 10H1 is positioned outside the light shielding plate 10 .

遮光板10において、第1孔10H1の直径が第1直径DH1であり、第2孔10H2の直径が第2直径DH2である。第1直径DH1は、遮光板10が搭載されるカメラユニットに応じて設定される値である。第1直径DH1は、遮光板10が例えばスマートフォンのカメラユニットに搭載される場合には、0.4mm以上1.0mm以下であってよい。また、第1直径DH1は、遮光板10が例えば車載カメラに搭載される場合には、2.0mm以上7.0mm以下であってよい。第2直径DH2に対する第1直径DH1の百分率(DH1/DH2×100)は、例えば80%以上99%以下であってよい。 In the light shielding plate 10, the diameter of the first hole 10H1 is the first diameter DH1, and the diameter of the second hole 10H2 is the second diameter DH2. The first diameter DH1 is a value set according to the camera unit in which the light blocking plate 10 is mounted. The first diameter DH1 may be 0.4 mm or more and 1.0 mm or less when the light shielding plate 10 is mounted in, for example, a camera unit of a smartphone. Further, the first diameter DH1 may be 2.0 mm or more and 7.0 mm or less when the light shielding plate 10 is mounted on, for example, a vehicle-mounted camera. A percentage (DH1/DH2×100) of the first diameter DH1 to the second diameter DH2 may be, for example, 80% or more and 99% or less.

遮光板10が、スマートフォン、タブレット型パーソナルコンピューター、および、ノート型パーソナルコンピューターの前面に設置されるカメラユニットに搭載される場合には、カメラユニットが、被写体を近距離で撮影することが多い。そのため、画角が大きくなるが、レンズが被写体の焦点を結ぶ上では、遮光板10には大きな内径が必要とされない。また、カメラユニットが配置される空間の制約から、遮光板10の外径を大きくすることも難しい。そのため、第2直径DH2に対する第1直径DH1の百分率は、80%以上90%以下であってよい。 When the light shielding plate 10 is installed in a camera unit installed in front of a smartphone, a tablet personal computer, or a notebook personal computer, the camera unit often photographs a subject at a short distance. Therefore, the angle of view is increased, but the light shielding plate 10 does not need to have a large inner diameter in order for the lens to focus on the subject. In addition, it is difficult to increase the outer diameter of the light shielding plate 10 due to restrictions on the space in which the camera unit is arranged. Therefore, the percentage of the first diameter DH1 to the second diameter DH2 may be 80% or more and 90% or less.

これに対して、遮光板10が、車載カメラに搭載される場合には、車載カメラが、被写体を中距離から遠距離で撮影することが多い。そのため、画角が小さくなるが、カメラユニットが配置される空間の制約が小さいため、カメラユニットが備えるレンズの径が大きくなる。これにより、レンズに対して広い範囲の光を集めるために、遮光板10において、第2直径DH2に対する第1直径DH1の比は、90%以上99%以下であってよい。 On the other hand, when the light shielding plate 10 is mounted on an in-vehicle camera, the in-vehicle camera often photographs the subject at a medium to long distance. As a result, the angle of view becomes smaller, but the diameter of the lens included in the camera unit becomes larger because the space in which the camera unit is arranged is less restricted. Accordingly, the ratio of the first diameter DH1 to the second diameter DH2 in the light blocking plate 10 may be 90% or more and 99% or less, in order to collect a wide range of light onto the lens.

また、遮光板10が、スマートフォンの背面に設置されるカメラユニットに搭載される場合には、カメラユニットが、被写体を近距離から遠距離で撮影することが多い。そのため、画角が大きくなる場合に対応する上では、第2直径DH2に対する第1直径DH1の比は、80%以上90%以下であってよく、画角が小さくなる場合に対応する上では、第2直径DH2に対する第1直径DH1の比は、90%以上99%以下であってよい。 Moreover, when the light shielding plate 10 is mounted on a camera unit installed on the back of a smartphone, the camera unit often photographs a subject from a short distance to a long distance. Therefore, when the angle of view becomes large, the ratio of the first diameter DH1 to the second diameter DH2 may be 80% or more and 90% or less. A ratio of the first diameter DH1 to the second diameter DH2 may be 90% or more and 99% or less.

遮光板10の厚さTは、例えば10μm以上100μm以下であってよい。遮光板10の厚さが10μm以上である場合には、金属箔の反りが遮光板10の形状に対して影響を与えることが抑えられる。また、遮光板10の厚さが100μm以下である場合には、孔10Hを形成する際のエッチングの精度が低下することが抑えられる。 The thickness T of the light shielding plate 10 may be, for example, 10 μm or more and 100 μm or less. When the thickness of the light shielding plate 10 is 10 μm or more, it is possible to suppress the warp of the metal foil from affecting the shape of the light shielding plate 10 . Further, when the thickness of the light shielding plate 10 is 100 μm or less, it is possible to suppress the deterioration of etching precision when forming the holes 10H.

図3は、図2が示す遮光板10の断面構造における一部を拡大して示している。
図3が示すように、第1孔10H1が有する開口のうち、裏面開口H1Rとは反対側の開口が中央開口HCである。表面10Fと直交する平面に沿う断面において、中央開口HCの縁と裏面開口H1Rの縁とを通る直線が、第1直線L1である。第1直線L1と裏面10Rとが形成する角度が第1角度θ1である。第1角度θ1は、90°よりも大きい。
FIG. 3 shows an enlarged part of the cross-sectional structure of the light shielding plate 10 shown in FIG.
As shown in FIG. 3, among the openings of the first hole 10H1, the opening on the side opposite to the back surface opening H1R is the central opening HC. A first straight line L1 is a straight line passing through the edge of the central opening HC and the edge of the rear opening H1R in a cross section along a plane orthogonal to the front surface 10F. The angle formed by the first straight line L1 and the back surface 10R is the first angle θ1. The first angle θ1 is greater than 90°.

表面10Fと直交する平面に沿う断面において、中央開口HCの縁を通り、かつ、裏面10Rに平行な直線が、基準直線LRである。また、中央開口HCの縁と表面開口H2Fの縁とを最短距離で結ぶ直線が、第2直線L2である。基準直線LRと第2直線L2とが形成する角度が、20°以上40°以下であってよい。 A straight line passing through the edge of the central opening HC and parallel to the back surface 10R in a cross section along a plane orthogonal to the front surface 10F is a reference straight line LR. A straight line connecting the edge of the central opening HC and the edge of the surface opening H2F at the shortest distance is the second straight line L2. The angle formed by the reference straight line LR and the second straight line L2 may be 20° or more and 40° or less.

遮光板10が、スマートフォン、タブレット型パーソナルコンピューター、および、ノート型パーソナルコンピューターの前面に設置されるカメラユニットに搭載される場合には、カメラユニットが、被写体を近距離で撮影することが多い。そのため、画角が大きくなることに対応して、基準直線LRと第2直線L2とが形成する角度は、20°以上30°以下の範囲に含まれるいずれかの角度であってよい。また、遮光板10が車載カメラに搭載される場合には、カメラユニットが、被写体を中距離から遠距離で撮影することが多い。そのため、画角が小さくなることに対応して、基準直線LRと第2直線L2とが形成する角度は、30°以上40°以下の範囲に含まれることが好ましい。 When the light shielding plate 10 is installed in a camera unit installed in front of a smartphone, a tablet personal computer, or a notebook personal computer, the camera unit often photographs a subject at a short distance. Therefore, the angle formed by the reference straight line LR and the second straight line L2 may be any angle within the range of 20° or more and 30° or less, corresponding to the increase in the angle of view. Further, when the light shielding plate 10 is mounted on an in-vehicle camera, the camera unit often photographs a subject at a medium to long distance. Therefore, it is preferable that the angle formed by the reference straight line LR and the second straight line L2 is within the range of 30° or more and 40° or less, corresponding to the smaller angle of view.

また、遮光板10が、スマートフォンの背面に設置されるカメラユニットに搭載される場合には、カメラユニットが、被写体を近距離から遠距離で撮影することが多い。そのため、画角が大きくなる場合に対応する上では、基準直線LRと第2直線L2とが形成する角度は、20°以上30°以下であってよく、画角が小さくなる場合に対応する上では、30°以上40°以下であってよい。 Moreover, when the light shielding plate 10 is mounted on a camera unit installed on the back of a smartphone, the camera unit often photographs a subject from a short distance to a long distance. Therefore, the angle formed by the reference straight line LR and the second straight line L2 may be 20° or more and 30° or less in order to cope with the case where the angle of view becomes large. Then, it may be 30° or more and 40° or less.

図4は、本実施形態における遮光板10の断面構造を示している。一方で、図5は、表面に直交する断面において、孔を区画する側面が表面と直交する方向に沿って延びる例における断面構造を示している。なお、図4および図5では、図示の便宜上、遮光板の厚さに対する第1直径が縮小されている。 FIG. 4 shows the cross-sectional structure of the light shielding plate 10 in this embodiment. On the other hand, FIG. 5 shows a cross-sectional structure in an example in which the side surfaces defining the holes extend along the direction perpendicular to the surface in the cross section perpendicular to the surface. 4 and 5, for convenience of illustration, the first diameter is reduced with respect to the thickness of the light shielding plate.

図4が示すように、遮光板10に対して表面10Fに直交する方向から入射した光は、表面10Fに形成された表面開口H2Fから孔10Hに入る。そして、孔10Hを通った光は裏面10Rに形成された裏面開口H1Rから出ることによって、レンズLNに到達する。一方で、遮光板10において、第2孔10H2が表面10Fから裏面10Rに向けて先細る形状を有するため、表面10Fの斜め上方から孔10Hに入射した光は、第1孔10H1を区画する側面において遮光板10の表面10Fに向けて反射されやすい。 As shown in FIG. 4, light incident on the light blocking plate 10 from a direction orthogonal to the surface 10F enters the hole 10H through the surface opening H2F formed on the surface 10F. Then, the light passing through the hole 10H reaches the lens LN by going out from the rear surface opening H1R formed in the rear surface 10R. On the other hand, in the light shielding plate 10, the second hole 10H2 has a tapered shape from the front surface 10F toward the rear surface 10R. is likely to be reflected toward the front surface 10F of the light shielding plate 10 at .

また、第1直線L1と、裏面10Rとが形成する角度が90°である場合に比べて、表面10Fに対して斜め上方から遮光板10に入射した光のなかで、裏面開口H1Rの近傍において孔10Hを区画する側面によって反射される光の光量を低下させることができる。これにより、孔10Hを透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量を低下させることができる。結果として、遮光板10に対向するレンズLNに意図しない光が入射することが抑えられる。 In addition, compared to the case where the angle formed by the first straight line L1 and the back surface 10R is 90°, the light incident on the light shielding plate 10 from obliquely above the front surface 10F near the back surface opening H1R. The amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H can be reduced. As a result, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole 10H can be reduced. As a result, unintended incidence of light on the lens LN facing the light shielding plate 10 is suppressed.

また、表面10Fの斜め上方から第2孔10H2に入射した光は、弧状を有した側面において反射される。そのため、反射光のなかで最も高い輝度を有した正反射光は、弧状を有した側面から遮光板10の表面10Fに向かう方向に沿って反射される。それゆえに、孔10Hを透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量がより抑えられる。 Also, the light incident on the second hole 10H2 from obliquely above the surface 10F is reflected by the arcuate side surface. Therefore, the specularly reflected light having the highest brightness among the reflected lights is reflected along the direction toward the surface 10F of the light shielding plate 10 from the arc-shaped side surface. Therefore, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole 10H is further suppressed.

遮光板10では、第1孔10H1を区画する側面が、曲率中心が遮光板10の外側に位置するような弧状を有する。そのため、第1孔10H1を区画する側面が直線状を有する場合に比べて、表面10Fの斜め上方から孔に入射した光のなかで、裏面開口H1Rの近傍において孔10Hを区画する側面によって反射される光の光量を低下させることができる。これにより、孔を透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量をより低下させることができる。 The light shielding plate 10 has an arcuate side surface defining the first hole 10H1 with the center of curvature located outside the light shielding plate 10 . Therefore, compared to the case where the side surfaces defining the first hole 10H1 are linear, the light incident on the hole from obliquely above the front surface 10F is reflected by the side surfaces defining the hole 10H in the vicinity of the back opening H1R. It is possible to reduce the amount of light that is emitted. As a result, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole can be further reduced.

また、第2直線L2と基準直線LRとが形成する角度が40°よりも大きい場合に比べて、表面10Fの斜め上方であって、かつ、表面10Fと直交する方向からのずれ量が小さい方向から孔10Hを区画する側面に光が入射した場合に、当該側面に入射した光が、遮光板10の表面10Fに向けて反射されやすくなる。そのため、孔を透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量がより抑えられる。 In addition, compared to the case where the angle formed by the second straight line L2 and the reference straight line LR is larger than 40°, the direction diagonally above the surface 10F and the direction in which the amount of deviation from the direction perpendicular to the surface 10F is small. When light is incident on the side surface that defines the hole 10H, the light incident on the side surface is likely to be reflected toward the surface 10F of the light shielding plate 10. FIG. Therefore, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole is further suppressed.

図5が示すように、遮光板100に対して表面100Fに直交する方向から入射した光は、遮光板10に対して表面10Fに直交する方向から入射した光と同様、表面100Fに形成された開口から孔100H内に入る。そして、孔100Hを通った光は裏面100Rに形成された開口から出ることによって、レンズLNに到達する。これに対して、表面100Fの斜め上方から表面100Fに入射した光の一部は、表面100Fに形成された開口から孔100H内に入射し、かつ、孔100Hを区画する側面において反射される。側面に入射した光のほとんどは正反射の方向に反射されるため、側面に入射した光は、側面からレンズLNに向けて反射される。これにより、意図しない光がレンズLNを通じて撮像部に入射してしまう。 As shown in FIG. 5, the light incident on the light shielding plate 100 from the direction perpendicular to the surface 100F is formed on the surface 100F in the same manner as the light incident on the light shielding plate 10 from the direction perpendicular to the surface 10F. It enters the hole 100H through the opening. Then, the light passing through the hole 100H reaches the lens LN by going out from the opening formed in the rear surface 100R. On the other hand, part of the light incident on the surface 100F from obliquely above the surface 100F enters the hole 100H through the opening formed in the surface 100F and is reflected by the side surfaces defining the hole 100H. Since most of the light that has entered the side surface is reflected in the direction of regular reflection, the light that has entered the side surface is reflected from the side surface toward the lens LN. As a result, unintended light enters the imaging section through the lens LN.

以上説明した遮光板10は、上述したカメラユニットに1つ以上備えられる。また、遮光板10を備えるカメラユニットは、各種の電子機器に搭載される。カメラユニットを備える電子機器は、例えば、スマートフォン、タブレット型パーソナルコンピューター、および、ノート型パーソナルコンピューターなどであってよい。 One or more light shielding plates 10 described above are provided in the camera unit described above. A camera unit including the light shielding plate 10 is mounted on various electronic devices. An electronic device including a camera unit may be, for example, a smart phone, a tablet personal computer, a notebook personal computer, or the like.

[遮光板の製造方法]
図6から図9を参照して、遮光板10の製造方法を説明する。図6から図9の各々は、遮光板10の製造過程における特定の工程における金属箔の断面構造を示している。なお、図6から図9では、図示の便宜上、金属箔の厚さに対する第2直径DH2の比が実際の遮光板よりも縮小され、かつ、金属箔の厚さに対する第1直径DH1の比が実際の遮光板よりも縮小されている。また、図6から図9では、図示の便宜上、第2直径DH2に対する第1直径DH1の比が、実際の遮光板よりも縮小されている。また、図6から図9では、説明の便宜上、遮光板10を製造する工程のなかで、遮光板10が有する孔10Hの形成に関わる工程のみを示している。
[Method for manufacturing light shielding plate]
A method of manufacturing the light shielding plate 10 will be described with reference to FIGS. Each of FIGS. 6 to 9 shows the cross-sectional structure of the metal foil at a specific step in the manufacturing process of the light shielding plate 10. FIG. In FIGS. 6 to 9, for convenience of illustration, the ratio of the second diameter DH2 to the thickness of the metal foil is smaller than that of the actual light shield plate, and the ratio of the first diameter DH1 to the thickness of the metal foil is It is smaller than the actual light shielding plate. Also, in FIGS. 6 to 9, for convenience of illustration, the ratio of the first diameter DH1 to the second diameter DH2 is smaller than that of the actual light shielding plate. 6 to 9 show only the steps related to the formation of the holes 10H of the light shielding plate 10 among the steps of manufacturing the light shielding plate 10 for convenience of explanation.

図6が示すように、遮光板10を形成する際には、まず、遮光板10を形成するための金属箔10Mを準備する。金属箔10Mは、例えばステンレス鋼の箔であるが、上述したように、ステンレス鋼以外の金属によって形成された金属箔であってもよい。金属箔10Mの厚さは、例えば10μm以上100μm以下である。金属箔10Mの厚さが10μm以上である場合には、金属箔10Mの反りが遮光板10の形状に対して影響を与えることが抑えられる。また、金属箔10Mの厚さが100μm以下である場合には、孔10Hを形成する際のエッチングの精度が低下することが抑えられる。金属箔10Mの厚さは、金属箔10Mから製造された遮光板10の厚さと略同一である。 As shown in FIG. 6, when forming the light shielding plate 10, first, a metal foil 10M for forming the light shielding plate 10 is prepared. The metal foil 10M is, for example, a stainless steel foil, but may be a metal foil made of a metal other than stainless steel, as described above. The thickness of the metal foil 10M is, for example, 10 μm or more and 100 μm or less. When the thickness of the metal foil 10M is 10 μm or more, the influence of the warp of the metal foil 10M on the shape of the light shielding plate 10 is suppressed. Moreover, when the thickness of the metal foil 10M is 100 μm or less, it is possible to suppress the deterioration of etching accuracy when forming the holes 10H. The thickness of the metal foil 10M is substantially the same as the thickness of the light shielding plate 10 manufactured from the metal foil 10M.

そして、金属箔10Mの表面10MFと裏面10MRとにレジスト層を配置する。金属箔10Mの表面10MFは、遮光板10の表面10Fに相当し、かつ、金属箔10Mの裏面10MRは、遮光板10の裏面10Rに相当する。金属箔10Mの表面10MFには、表面レジスト層RFが配置され、かつ、金属箔10Mの裏面10MRには、裏面レジスト層RRが配置される。なお、表面10MFおよび裏面10MRの両方には、ドライフィルムレジストがレジスト層RF,RRとして貼り付けられてもよい。あるいは、表面10MFおよび裏面10MRの両方には、レジスト層RF,RRを形成するための塗液を用いて、レジスト層RF,RRが形成されてもよい。レジスト層RF,RRは、ネガ型のレジストによって形成されてもよいし、ポジ型のレジストによって形成されてもよい。 Then, a resist layer is arranged on the front surface 10MF and the rear surface 10MR of the metal foil 10M. The front surface 10MF of the metal foil 10M corresponds to the front surface 10F of the light shielding plate 10, and the rear surface 10MR of the metal foil 10M corresponds to the rear surface 10R of the light shielding plate 10. A front resist layer RF is arranged on the front surface 10MF of the metal foil 10M, and a rear resist layer RR is arranged on the rear surface 10MR of the metal foil 10M. A dry film resist may be applied as the resist layers RF and RR to both the front surface 10MF and the rear surface 10MR. Alternatively, resist layers RF and RR may be formed on both front surface 10MF and back surface 10MR using a coating liquid for forming resist layers RF and RR. The resist layers RF and RR may be formed of a negative resist or a positive resist.

図7が示すように、レジスト層RF,RRの露光と現像とによって、レジスト層からレジストマスクが形成される。より詳しくは、表面レジスト層RFの露光および現像によって、表面レジスト層RFから表面マスクRMFが形成される。また、裏面レジスト層RRの露光および現像によって、裏面レジスト層RRから裏面マスクRMRが形成される。表面マスクRMFは、金属箔10Mに第2孔を形成するためのマスク孔RMFhを有している。裏面マスクRMRは、金属箔10Mに第1孔を形成するためのマスク孔RMRhを有している。 As shown in FIG. 7, a resist mask is formed from the resist layers by exposing and developing the resist layers RF and RR. More specifically, a surface mask RMF is formed from the surface resist layer RF by exposing and developing the surface resist layer RF. Further, the back mask RMR is formed from the back resist layer RR by exposing and developing the back resist layer RR. The surface mask RMF has mask holes RMFh for forming second holes in the metal foil 10M. The back mask RMR has mask holes RMRh for forming first holes in the metal foil 10M.

図8が示すように、裏面10MRに形成された裏面マスクRMRを用いて、裏面10MRに裏面開口を有し、かつ、裏面10MRから表面10MFに向けて先細る形状を有した第1孔MH1を金属箔10Mに形成する。第1孔MH1は、遮光板10が有する第1孔10H1に相当する。この際に、金属箔10Mをエッチングすることが可能なエッチング液を用いて、金属箔10Mをエッチングする。なお、金属箔10Mをエッチングする前に、エッチング液に対する耐性を有した表面保護膜PMFによって、表面マスクRMFを覆う。なお、表面保護膜PMFは、表面マスクRMFのマスク孔RMFhを埋めてもよいし、覆ってもよい。表面保護膜PMFによって表面マスクRMFを覆うことによって、金属箔10Mの表面10MFが、金属箔10Mの裏面10MRと同時にエッチングされることが抑えられる。 As shown in FIG. 8, a rear surface mask RMR formed on the rear surface 10MR is used to form a first hole MH1 having a rear surface opening on the rear surface 10MR and a tapered shape from the rear surface 10MR toward the front surface 10MF. A metal foil 10M is formed. The first hole MH1 corresponds to the first hole 10H1 that the light shielding plate 10 has. At this time, the metal foil 10M is etched using an etchant capable of etching the metal foil 10M. Before etching the metal foil 10M, the surface mask RMF is covered with a surface protective film PMF that is resistant to the etchant. The surface protective film PMF may fill or cover the mask holes RMFh of the surface mask RMF. By covering the surface mask RMF with the surface protective film PMF, the front surface 10MF of the metal foil 10M is prevented from being etched simultaneously with the back surface 10MR of the metal foil 10M.

なお、裏面10MRのエッチングによって第1孔MH1が形成される場合には、遮光板10における上述した裏面10Rと中央開口HCとの間の距離よりも大きい深さを有した第1孔MH1が形成される。 When the first hole MH1 is formed by etching the rear surface 10MR, the first hole MH1 having a depth greater than the distance between the rear surface 10R and the central opening HC of the light shielding plate 10 is formed. be done.

図9が示すように、第1孔MH1を形成した後に、表面10MFに形成された表面マスクRMFを用いて、表面10MFに表面開口を有し、かつ、表面10MFから裏面10MRに向けて先細る形状を有した第2孔MH2を、第1孔MH1に繋がるように金属箔10Mに形成する。第2孔MH2は、遮光板10が有する第2孔10H2に相当する。この際に、第1孔MH1を形成するときと同様、金属箔10Mをエッチングすることが可能なエッチング液を用いて、金属箔10Mをエッチングする。なお、金属箔10Mをエッチングする前に、金属箔10Mの裏面10MRから裏面マスクRMRを取り除く。 As shown in FIG. 9, after forming the first hole MH1, a surface mask RMF formed on the surface 10MF is used to have a surface opening on the surface 10MF and taper from the surface 10MF to the back surface 10MR. A shaped second hole MH2 is formed in the metal foil 10M so as to be connected to the first hole MH1. The second hole MH2 corresponds to the second hole 10H2 that the light shielding plate 10 has. At this time, similarly to when forming the first holes MH1, the metal foil 10M is etched using an etchant capable of etching the metal foil 10M. Before etching the metal foil 10M, the back surface mask RMR is removed from the back surface 10MR of the metal foil 10M.

なお、金属箔10Mをエッチングする前に、エッチング液に対する耐性を有した裏面保護膜PMRによって、金属箔10Mの裏面10MRを覆い、かつ、第1孔MH1内を埋める。裏面保護膜PMRによって金属箔10Mの裏面10MRを覆うことによって、金属箔10Mの裏面10MRが、金属箔10Mの表面10MFと同時にエッチングされることが抑えられる。 Before etching the metal foil 10M, the back surface 10MR of the metal foil 10M is covered and the first holes MH1 are filled with a back surface protective film PMR that is resistant to the etchant. By covering the back surface 10MR of the metal foil 10M with the back surface protective film PMR, the back surface 10MR of the metal foil 10M is prevented from being etched simultaneously with the front surface 10MF of the metal foil 10M.

第2孔MH2のエッチングでは、第1孔MH1を裏面保護膜PMRによって埋めた状態で、金属箔10Mの表面10MFをエッチングする。そのため、表面10MFのエッチングが裏面保護膜PMRに到達した後は、金属箔10Mに対するエッチング液の供給が、裏面保護膜PMRによって制御される。これにより、金属箔10Mの厚さが10μm以上100μm以下という広い範囲にわたる場合であっても、第2孔MH2の断面形状における断面形状の精度を高めることができる。これに対して、第1孔MH1内が裏面保護膜PMRによって埋められていない場合には、第1孔MH1と第2孔MH2とが繋がることによって金属箔10Mが貫通されると、第1孔MH1と第2孔MH2との接続部を通じて、エッチング液が、金属箔10Mの裏面10MRに向けて漏れてしまう。結果として、第1孔MH1の形状、および、第2孔MH2の形状における精度が低下してしまう。 In the etching of the second holes MH2, the front surface 10MF of the metal foil 10M is etched while the first holes MH1 are filled with the rear protective film PMR. Therefore, after the etching of the front surface 10MF reaches the back surface protective film PMR, the supply of the etchant to the metal foil 10M is controlled by the back surface protective film PMR. Thereby, even when the thickness of the metal foil 10M is in a wide range of 10 μm or more and 100 μm or less, the accuracy of the cross-sectional shape of the second hole MH2 can be improved. On the other hand, when the inside of the first hole MH1 is not filled with the back surface protective film PMR, the metal foil 10M is penetrated by connecting the first hole MH1 and the second hole MH2. The etchant leaks toward the rear surface 10MR of the metal foil 10M through the connecting portion between the MH1 and the second hole MH2. As a result, the accuracy of the shape of the first hole MH1 and the shape of the second hole MH2 is lowered.

上述のように第1孔MH1を形成することと、第2孔MH2を形成することとによって、以下のような第1孔MH1および第2孔MH2を形成する。すなわち、表面10MFと直交する平面に沿う断面において、第1孔MH1が有する開口のうち、裏面開口とは反対側の開口である中央開口の縁と裏面開口の縁とを通る直線と、裏面10MRとが形成する角度が90°よりも大きくなるように、第1孔MH1と第2孔MH2とを形成する。 By forming the first hole MH1 and forming the second hole MH2 as described above, the following first hole MH1 and second hole MH2 are formed. That is, in a cross section along a plane orthogonal to the front surface 10MF, among the openings of the first hole MH1, a straight line passing through the edge of the central opening and the edge of the rear opening, which are the openings on the side opposite to the rear opening, and the rear surface 10MR The first hole MH1 and the second hole MH2 are formed such that the angle formed by and is greater than 90°.

なお、第1孔MH1と第2孔MH2とを形成した後に、表面10MFから表面マスクRMFを取り除き、かつ、裏面10MRから裏面保護膜PMRを取り除く。また、表面マスクRMFおよび裏面保護膜PMRが金属箔10Mから取り除かれた後に、表面10MF、裏面10MR、および、第1孔MH1および第2孔MH2を区画する側面を覆う反射防止膜が形成される。上述したように、反射防止膜は、金属箔10Mよりも低い反射率を有し、かつ、反射防止膜に入射した光の一部を吸収する機能を有する。 After forming the first hole MH1 and the second hole MH2, the front surface mask RMF is removed from the front surface 10MF, and the rear protective film PMR is removed from the rear surface 10MR. Further, after the front surface mask RMF and the rear surface protective film PMR are removed from the metal foil 10M, an antireflection film covering the front surface 10MF, the rear surface 10MR, and the side surfaces defining the first hole MH1 and the second hole MH2 is formed. . As described above, the antireflection film has a reflectance lower than that of the metal foil 10M and has the function of absorbing part of the light incident on the antireflection film.

反射防止膜は、例えば黒色を有した被膜である。反射防止膜は、スパッタ法や蒸着法などの成膜方法を用いて金属箔10Mに形成されてもよい。あるいは、反射防止膜は反射防止膜を形成するための液体に、金属箔10Mを触れさせることによって、金属箔10Mに形成されてもよい。 The antireflection coating is, for example, a black coating. The antireflection film may be formed on the metal foil 10M using a film forming method such as a sputtering method or a vapor deposition method. Alternatively, the antireflection coating may be formed on the metal foil 10M by exposing the metal foil 10M to a liquid for forming the antireflection coating.

上述した遮光板10の製造方法では、裏面保護膜PMRを形成する前に、裏面マスクRMRを取り除かなくてもよい。この場合には、裏面マスクRMRを覆い、かつ、第1孔MH1内に充填された裏面保護膜PMRを形成すればよい。また、裏面保護膜PMRは、表面10MFのエッチングによって第2孔MH2が形成された後に、裏面マスクRMRとともに裏面10MRから取り除かれればよい。 In the above-described method for manufacturing the light shielding plate 10, the back surface mask RMR does not need to be removed before forming the back surface protective film PMR. In this case, a back surface protective film PMR that covers the back surface mask RMR and fills the first holes MH1 may be formed. Also, the back surface protective film PMR may be removed from the back surface 10MR together with the back surface mask RMR after the second holes MH2 are formed by etching the front surface 10MF.

[実施例]
図10を参照して実施例を説明する。
[実施例1]
25μmの厚さを有したステンレス鋼箔を準備した。そして、ステンレス鋼箔の裏面からステンレス鋼箔をエッチングすることによって第1孔を形成した後に、ステンレス鋼箔の表面からステンレス鋼箔をエッチングすることによって第2孔を形成した。これにより、第1孔と第2孔とから形成される孔を有した遮光板を得た。なお、第1孔の第1直径は490μmであり、第2孔の第2直径は571μmであった。
[Example]
An example will be described with reference to FIG.
[Example 1]
A stainless steel foil having a thickness of 25 μm was prepared. Then, after forming the first holes by etching the stainless steel foil from the back side of the stainless steel foil, the second holes were formed by etching the stainless steel foil from the front side. As a result, a light shielding plate having holes formed from the first holes and the second holes was obtained. The first diameter of the first holes was 490 μm, and the second diameter of the second holes was 571 μm.

[比較例1]
実施例1において、ステンレス鋼箔を金型で打ち抜くことによって、ステンレス鋼箔を貫通する円形孔を形成した以外は、実施例1と同様の方法によって、比較例1の遮光板を得た。なお、比較例1の遮光板において、表面開口の直径と裏面開口の直径とは同一であり、かつ、実施例1の第2直径と同一であった。
[Comparative Example 1]
A light-shielding plate of Comparative Example 1 was obtained in the same manner as in Example 1, except that circular holes were formed through the stainless steel foil by punching the stainless steel foil with a die. In addition, in the light shielding plate of Comparative Example 1, the diameter of the front opening and the diameter of the back opening were the same and the same as the second diameter of the first embodiment.

[比較例2]
実施例1において、第1孔を形成せずに第2孔を形成した後に、第2孔の底部と裏面との間をレーザー光線の照射によって打ち抜いた以外は、実施例1と同様の方法によって、比較例2の遮光板を得た。なお、比較例2の遮光板において、表面開口の直径は、実施例1の第2直径と同一であり、裏面開口の直径は、実施例1の第1直径と同一であった。
[Comparative Example 2]
In Example 1, the same method as in Example 1 was used, except that after forming the second hole without forming the first hole, the space between the bottom and the back surface of the second hole was punched out by irradiation with a laser beam. A light shielding plate of Comparative Example 2 was obtained. In addition, in the light shielding plate of Comparative Example 2, the diameter of the front opening was the same as the second diameter of Example 1, and the diameter of the rear opening was the same as the first diameter of Example 1.

[評価結果]
実施例1、比較例1、および、比較例2の遮光板の各々を、表面に直交する平面に沿って切断し、測定対象を作成した。実施例1の測定対象を走査型電子顕微鏡で撮影した結果は、図10に示す通りであった。
[Evaluation results]
Each of the light-shielding plates of Example 1, Comparative Example 1, and Comparative Example 2 was cut along a plane perpendicular to the surface to prepare a measurement target. The result of photographing the measurement object of Example 1 with a scanning electron microscope was as shown in FIG.

図10が示すように、実施例1の測定対象において、第1直線L1と裏面10Rとが形成する第1角度θ1が、125°であること、すなわち90°よりも大きいことが認められた。一方で、比較例1の測定対象では、孔を区画する側面の全体において、側面と裏面とが形成する角度が90°であることが認められた。また、比較例2の測定対象では、レーザー光線の照射によって形成された側面と裏面とが形成する角度が90°であることが認められた。 As shown in FIG. 10, in the measurement object of Example 1, the first angle θ1 formed by the first straight line L1 and the back surface 10R was found to be 125°, that is, larger than 90°. On the other hand, in the measurement object of Comparative Example 1, it was found that the angle formed by the side surface and the back surface was 90° in the entire side surface defining the hole. In addition, in the object to be measured of Comparative Example 2, it was found that the angle formed by the side surface and the back surface formed by irradiation with the laser beam was 90°.

なお、各遮光板から測定対象を形成する前に、各遮光板を搭載したカメラユニットによって、同一の環境下において同一の物体を撮影した。実施例1の遮光板を有したカメラユニットを用いて撮影した画像には、ゴーストやフレアが認められなかった。これに対して、比較例1の遮光板を有したカメラユニットによって撮影した画像、および、比較例2の遮光板を有したカメラユニットによって撮影した画像には、ゴーストおよびフレアの少なくとも一方が生じることが認められた。 Before forming the measurement object from each light shielding plate, the same object was photographed under the same environment by the camera unit equipped with each light shielding plate. No ghost or flare was observed in the image taken using the camera unit having the light shielding plate of Example 1. In contrast, at least one of ghost and flare occurs in the image captured by the camera unit having the light shielding plate of Comparative Example 1 and the image captured by the camera unit having the light shielding plate of Comparative Example 2. was accepted.

以上説明したように、遮光板、カメラユニット、電子機器、および、遮光板の製造方法の一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
(1)裏面開口H1Rの近傍において孔10Hを区画する側面によって反射される光の光量を低下させることができる。これにより、孔10Hを透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量を低下させることができる。
As described above, according to one embodiment of the light shielding plate, the camera unit, the electronic device, and the method for manufacturing the light shielding plate, the effects described below can be obtained.
(1) It is possible to reduce the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H in the vicinity of the rear opening H1R. As a result, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole 10H can be reduced.

(2)表面10Fの斜め上方から第2孔10H2に入射した光は、弧状を有した側面において反射される。そのため、反射光のなかで最も高い輝度を有した正反射光は、弧状を有した側面から遮光板10の表面10Fに向かう方向に沿って反射される。それゆえに、孔10Hを透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量がより抑えられる。 (2) Light incident on the second hole 10H2 from obliquely above the surface 10F is reflected by the arc-shaped side surface. Therefore, the specularly reflected light having the highest brightness among the reflected lights is reflected along the direction toward the surface 10F of the light shielding plate 10 from the arc-shaped side surface. Therefore, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole 10H is further suppressed.

(3)遮光板10では、第1孔10H1を区画する側面が、曲率中心が遮光板10の外側に位置するような弧状を有する。そのため、第1孔10H1を区画する側面が直線状を有する場合に比べて、表面10Fの斜め上方から孔に入射した光のなかで、裏面開口H1Rの近傍において孔10Hを区画する側面によって反射される光の光量を低下させることができる。これにより、孔10Hを透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量をより低下させることができる。 (3) The light shielding plate 10 has an arcuate side surface defining the first hole 10H1 such that the center of curvature is located outside the light shielding plate 10 . Therefore, compared to the case where the side surfaces defining the first hole 10H1 are linear, the light incident on the hole from obliquely above the front surface 10F is reflected by the side surfaces defining the hole 10H in the vicinity of the back opening H1R. It is possible to reduce the amount of light that is emitted. As a result, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole 10H can be further reduced.

(4)第2直線L2と基準直線LRとが形成する角度が40°よりも大きい場合に比べて、表面10Fの斜め上方であって、かつ、表面10Fと直交する方向からのずれ量が小さい方向から孔10Hを区画する側面に光が入射した場合に、当該側面に入射した光が、遮光板10の表面10Fに向けて反射されやすくなる。そのため、孔10Hを透過するように孔10Hを区画する側面で反射される光の光量がより抑えられる。 (4) Compared to the case where the angle formed by the second straight line L2 and the reference straight line LR is larger than 40°, the amount of deviation from the direction diagonally above the surface 10F and perpendicular to the surface 10F is small. When light is incident on the side surface that partitions the hole 10H from the direction, the light that is incident on the side surface is likely to be reflected toward the surface 10F of the light shielding plate 10 . Therefore, the amount of light reflected by the side surfaces defining the hole 10H so as to pass through the hole 10H can be further suppressed.

なお、上述した実施形態を以下のように変更して実施することができる。
[第2角度]
・第2直線L2と基準直線LRとが形成する第2角度θ2は、40°よりも大きくてもよい。この場合であっても、第1孔10H1が裏面10Rから表面10Fに向けて先細りする形状を有し、第2孔10H2が表面10Fから裏面10Rに向けて先細りする形状を有し、かつ、第1角度θ1が90°よりも大きければ、上述した(1)に準じた効果を得ることはできる。
In addition, the embodiment described above can be changed as follows and implemented.
[Second angle]
- The second angle θ2 formed by the second straight line L2 and the reference straight line LR may be larger than 40°. Even in this case, the first hole 10H1 has a shape that tapers from the rear surface 10R toward the front surface 10F, the second hole 10H2 has a shape that tapers from the front surface 10F toward the rear surface 10R, and If one angle θ1 is larger than 90°, it is possible to obtain the effect according to (1) described above.

[第1孔]
・第1孔10H1を区画する側面は、表面10Fに直交する平面に沿う断面において、直線状を有してもよい。この場合であっても、第1孔10H1が裏面10Rから表面10Fに向けて先細りする形状を有し、第2孔10H2が表面10Fから裏面10Rに向けて先細りする形状を有し、かつ、第1角度θ1が90°よりも大きければ、上述した(1)に準じた効果を得ることはできる。
[First hole]
- The side surface defining the first hole 10H1 may have a linear shape in a cross section along a plane perpendicular to the surface 10F. Even in this case, the first hole 10H1 has a shape that tapers from the rear surface 10R toward the front surface 10F, the second hole 10H2 has a shape that tapers from the front surface 10F toward the rear surface 10R, and If one angle θ1 is larger than 90°, it is possible to obtain the effect according to (1) described above.

[第2孔]
・第2孔10H2を区画する側面は、表面10Fに直交する平面に沿う断面において、直線状を有してもよい。この場合であっても、第1孔10H1が裏面10Rから表面10Fに向けて先細りする形状を有し、第2孔10H2が表面10Fから裏面10Rに向けて先細りする形状を有し、かつ、第1角度θ1が90°よりも大きければ、上述した(1)に準じた効果を得ることはできる。
[Second hole]
- The side surface defining the second hole 10H2 may have a linear shape in a cross section along a plane perpendicular to the surface 10F. Even in this case, the first hole 10H1 has a shape that tapers from the rear surface 10R toward the front surface 10F, the second hole 10H2 has a shape that tapers from the front surface 10F toward the rear surface 10R, and If one angle θ1 is larger than 90°, it is possible to obtain the effect according to (1) described above.

[遮光板]
・遮光板10は、上述したように、ステンレス鋼以外の金属から形成されてよい。遮光板10は、例えば、鉄‐ニッケル系合金製であってもよいし、鉄‐ニッケル‐コバルト系合金製であってもよい。
[Light shielding plate]
- The light shielding plate 10 may be formed from metals other than stainless steel as described above. The light shielding plate 10 may be made of, for example, an iron-nickel alloy or an iron-nickel-cobalt alloy.

鉄‐ニッケル系合金の熱膨張係数は、ステンレス鋼の熱膨張係数よりも小さい。そのため、鉄‐ニッケル系合金製の遮光板は、外気温の変化に伴う変形が小さく、これによって、遮光板自体の反りや熱膨張および熱収縮に伴う内径の変形といったことを要因とする外気温の変化に伴う外光の入射量における変化を抑えることができる。なお、外光の入射量とは、遮光板10を通じてレンズに入射する外光の入射量である。それゆえに、遮光板10が鉄‐ニッケル系合金によって形成されることは、外光の入射量における変化に伴い生じるゴーストやフレアの抑制に有効である。 The coefficient of thermal expansion of iron-nickel based alloys is smaller than that of stainless steel. Therefore, the light-shielding plate made of iron-nickel alloy undergoes little deformation due to changes in the outside temperature. It is possible to suppress a change in the incident amount of external light due to a change in . The incident amount of external light is the incident amount of external light that enters the lens through the light shielding plate 10 . Therefore, forming the light shielding plate 10 from an iron-nickel alloy is effective in suppressing ghosts and flares caused by changes in the incident amount of external light.

なお、鉄‐ニッケル系合金は、鉄とニッケルとを主成分とし、かつ、例えば、30質量%以上のニッケルと、残余分としての鉄を含む合金である。鉄‐ニッケル系合金のなかでも、36質量%のニッケルを含む合金、すなわちインバーが、遮光板10を形成するための材料として好ましい。インバーにおいて、36質量%のニッケルに対する残余分は、主成分である鉄以外の添加物を含む場合がある。添加物は、例えば、クロム、マンガン、炭素、および、コバルトなどである。鉄‐ニッケル系合金に含まれる添加物は、最大でも1質量%以下である。 Note that the iron-nickel alloy is an alloy containing iron and nickel as main components, and containing, for example, 30% by mass or more of nickel and iron as a balance. Among iron-nickel alloys, an alloy containing 36% by mass of nickel, that is, invar is preferable as a material for forming the light shielding plate 10 . In Invar, the balance of 36% by mass of nickel may contain additives other than iron, which is the main component. Additives include, for example, chromium, manganese, carbon, and cobalt. The maximum amount of additive contained in the iron-nickel alloy is 1% by mass or less.

鉄‐ニッケル‐コバルト系合金の熱膨張係数は、鉄‐ニッケル系合金の熱膨張係数よりも小さい。そのため、鉄‐ニッケル‐コバルト系合金製の遮光板は、外気温の変化に伴う変形がより小さく、これによって、遮光板自体の反りや熱膨張および熱収縮に伴う内径の変形といったことを要因とする外気温の変化に伴う外光の入射量における変化をより抑えることができる。それゆえに、遮光板10が鉄‐ニッケル‐コバルト系合金によって形成されることは、外光の入射量における変化に伴い生じるゴーストやフレアの抑制にさらに有効である。 The coefficient of thermal expansion of iron-nickel-cobalt based alloys is smaller than that of iron-nickel based alloys. Therefore, the iron-nickel-cobalt-based alloy light-shielding plate deforms less with changes in the outside temperature, which causes warping of the light-shielding plate itself and deformation of the inner diameter due to thermal expansion and contraction. A change in the incident amount of outside light due to a change in outside air temperature can be further suppressed. Therefore, forming the light shielding plate 10 from an iron-nickel-cobalt alloy is more effective in suppressing ghosts and flares caused by changes in the incident amount of external light.

なお、鉄‐ニッケル‐コバルト系合金は、鉄、ニッケル、および、コバルトを主成分とし、かつ、例えば、30質量%以上のニッケル、3質量%以上のコバルト、および、残余分としての鉄を含む合金である。鉄‐ニッケル‐コバルト系合金のなかでも、32質量%のニッケルと4質量%以上5質量%以下のコバルトを含む合金、すなわちスーパーインバーが、遮光板10を形成するための材料として好ましい。スーパーインバーにおいて、32質量%のニッケル、および、4質量%以上5質量%以下のコバルトに対する残余分は、主成分である鉄以外の添加物を含む場合がある。添加物は、例えば、クロム、マンガン、および、炭素などである。鉄‐ニッケル‐コバルト系合金に含まれる添加物は、最大でも0.5質量%以下である。 The iron-nickel-cobalt alloy contains iron, nickel, and cobalt as main components, and contains, for example, 30% by mass or more of nickel, 3% by mass or more of cobalt, and iron as the balance. alloy. Among the iron-nickel-cobalt alloys, an alloy containing 32% by mass of nickel and 4% by mass to 5% by mass of cobalt, ie, Super Invar, is preferable as a material for forming the light shielding plate 10 . In Super Invar, 32% by mass of nickel and the balance of 4% to 5% by mass of cobalt may contain additives other than iron, which is the main component. Additives are, for example, chromium, manganese, and carbon. The maximum amount of additive contained in the iron-nickel-cobalt alloy is 0.5% by mass or less.

このように、遮光板10が、鉄‐ニッケル系合金製、または、鉄‐ニッケル‐コバルト系合金製である場合には、以下の効果を得ることができる。 Thus, when the light shielding plate 10 is made of an iron-nickel alloy or an iron-nickel-cobalt alloy, the following effects can be obtained.

(5)外気温の変化に伴う遮光板10の変形を抑えることができ、これによって、外気温の変化に伴う外光の入射量における変化を抑えることができる。それゆえに、外光の入射量における変化に伴うゴーストやフレアの発生を抑えることができる。 (5) It is possible to suppress deformation of the light shielding plate 10 due to changes in the outside air temperature, thereby suppressing changes in the incident amount of outside light due to changes in the outside air temperature. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of ghosts and flares due to changes in the incident amount of external light.

10,100…遮光板、10F,10MF,100F…表面、10H,100H…孔、10H1…第1孔、10H2…第2孔、10M…金属箔、10MR,10R,100R…裏面、H1R…裏面開口、H2F…表面開口、HC…中央開口、LN…レンズ、MH1…第1孔、MH2…第2孔、PMF…表面保護膜、PMR…裏面保護膜、RF…表面レジスト層、RMF…表面マスク、RMFh,RMRh…マスク孔、RMR…裏面マスク、RR…裏面レジスト層。 10, 100... light shielding plate, 10F, 10MF, 100F... front side, 10H, 100H... hole, 10H1... first hole, 10H2... second hole, 10M... metal foil, 10MR, 10R, 100R... back side, H1R... back side opening , H2F... Surface opening, HC... Central opening, LN... Lens, MH1... First hole, MH2... Second hole, PMF... Surface protective film, PMR... Back protective film, RF... Surface resist layer, RMF... Surface mask, RMFh, RMRh... Mask hole, RMR... Backside mask, RR... Backside resist layer.

Claims (9)

金属製の遮光板であって、
光の入射側に位置する表面と、
前記表面とは反対側の面である裏面と、
前記表面と前記裏面との間を貫通する孔と、を備え、
前記孔は、前記裏面に裏面開口を有し、前記裏面から前記表面に向けて先細る形状を有した第1孔と、前記表面に前記裏面開口よりも大きい表面開口を有し、前記表面から前記裏面に向けて先細る形状を有して前記第1孔に繋がる第2孔とを備え、
前記第1孔が有する開口のうち、前記裏面開口とは反対側の開口が中央開口であり、
前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記中央開口の縁と前記裏面開口の縁とを通る直線と、前記裏面とが形成する角度が90°よりも大きく、
前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記第1孔を区画する側面が弧状であり、かつ、前記第1孔を区画する前記側面の曲率中心が、前記遮光板の外側に位置する
遮光板。
A metal light shielding plate,
a surface located on the light incident side;
a back surface, which is the surface opposite to the front surface;
a hole penetrating between the front surface and the back surface,
The holes have a rear surface opening on the rear surface, a first hole having a shape tapered from the rear surface to the front surface, and a front surface opening larger than the rear surface opening on the front surface. a second hole having a shape tapered toward the back surface and connected to the first hole;
Among the openings of the first hole, the opening on the side opposite to the back opening is a central opening,
In a cross section along a plane orthogonal to the front surface, an angle formed by the back surface and a straight line passing through the edge of the central opening and the edge of the back opening is greater than 90°,
In a cross section along a plane orthogonal to the surface, the side surface defining the first hole is arcuate, and the center of curvature of the side surface defining the first hole is positioned outside the light shielding plate.
shading plate.
前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記第2孔を区画する側面が弧状であり、かつ、前記第2孔を区画する前記側面の曲率中心が、前記遮光板の外側に位置する
請求項1に記載の遮光板。
In a cross section along a plane orthogonal to the surface, the side surface defining the second hole is arcuate, and the center of curvature of the side surface defining the second hole is located outside the light shielding plate. 1. The light shielding plate according to 1.
前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記中央開口の前記縁を通り、かつ、前記裏面に平行な直線と、前記中央開口の前記縁と前記表面開口の縁とを最短距離で結ぶ直線とが形成する角度が、20°以上40°以下である
請求項1または2に記載の遮光板。
A straight line passing through the edge of the central opening and parallel to the back surface, and a straight line connecting the edge of the central opening and the edge of the front opening at the shortest distance in a cross section along a plane orthogonal to the front surface. The light shielding plate according to claim 1 or 2 , wherein the angle formed by is 20° or more and 40° or less.
前記遮光板は、10μm以上100μm以下の厚さを有する
請求項1からのいずれか一項に記載の遮光板。
The light shielding plate according to any one of claims 1 to 3 , wherein the light shielding plate has a thickness of 10 µm or more and 100 µm or less.
前記遮光板は、鉄‐ニッケル系合金製、または、鉄‐ニッケル‐コバルト系合金製である
請求項1からのいずれか一項に記載の遮光板。
The light shielding plate according to any one of claims 1 to 4 , wherein the light shielding plate is made of an iron-nickel alloy or an iron-nickel-cobalt alloy.
前記遮光板は、インバー製またはスーパーインバー製である
請求項に記載の遮光板。
The light shielding plate according to claim 5 , wherein the light shielding plate is made of Invar or Super Invar.
請求項1からのいずれか一項に記載の遮光板を備える
カメラユニット。
A camera unit comprising the light shielding plate according to any one of claims 1 to 6 .
請求項に記載のカメラユニットを備える
電子機器。
An electronic device comprising the camera unit according to claim 7 .
金属箔の表面と裏面とにレジスト層を配置することと、
前記レジスト層の露光と現像とによって前記レジスト層からレジストマスクを形成することと、
前記裏面に形成された前記レジストマスクを用いて、前記裏面に裏面開口を有し、かつ、前記裏面から前記表面に向けて先細る形状を有した第1孔を前記金属箔に形成することと、
前記第1孔を形成した後に、前記表面に形成された前記レジストマスクを用いて、前記表面に表面開口を有し、かつ、前記表面から前記裏面に向けて先細る形状を有した第2孔を前記第1孔に繋がるように前記金属箔に形成することと、を含み、
前記第1孔を形成することと、前記第2孔を形成することとによって、前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記第1孔が有する開口のうち、前記裏面開口とは反対側の開口である中央開口の縁と前記裏面開口の縁とを通る直線と、前記裏面とが形成する角度が90°よりも大きく、前記表面と直交する平面に沿う断面において、前記第1孔を区画する側面が弧状であり、かつ、前記第1孔を区画する前記側面の曲率中心が、遮光板の外側に位置するように、前記第1孔と前記第2孔とを形成する
遮光板の製造方法。
disposing a resist layer on the front and back surfaces of the metal foil;
forming a resist mask from the resist layer by exposing and developing the resist layer;
using the resist mask formed on the back surface to form in the metal foil a first hole having a back surface opening on the back surface and having a shape tapering from the back surface toward the front surface; ,
After forming the first hole, using the resist mask formed on the front surface, a second hole having a surface opening on the front surface and a shape tapering from the front surface to the back surface. is formed in the metal foil so as to be connected to the first hole,
By forming the first hole and forming the second hole, in a cross section along a plane orthogonal to the front surface, of the openings of the first hole, the opening on the side opposite to the back opening The first hole is defined in a cross section along a plane orthogonal to the front surface, wherein an angle formed by a straight line passing through the edge of the central opening that is an opening and the edge of the back opening and the back surface is greater than 90°. forming the first hole and the second hole so that the side surface of the light shielding plate is arc-shaped, and the center of curvature of the side surface defining the first hole is positioned outside the light shielding plate. Method.
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