JP7127992B2 - Dlc皮膜の被覆部材 - Google Patents
Dlc皮膜の被覆部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7127992B2 JP7127992B2 JP2018001000A JP2018001000A JP7127992B2 JP 7127992 B2 JP7127992 B2 JP 7127992B2 JP 2018001000 A JP2018001000 A JP 2018001000A JP 2018001000 A JP2018001000 A JP 2018001000A JP 7127992 B2 JP7127992 B2 JP 7127992B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intermediate layer
- dlc film
- film
- dlc
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
DLC皮膜は、水素含有量によってその物性値が大きく変わることが知られており、実質的に水素含有しないDLC皮膜は、硬度や耐摩耗性に優れ切削工具、摺動部材、金型、自動車部品等の皮膜として望ましいものである。しかし、特に金属材料との親和性が乏しく、また、非常に高い圧縮応力を有するために基材との密着性が悪く剥離しやすいという問題がある。そのため、中間層を設けることによって密着性を改善することが検討されている。
すなわち、中間層の表面に凹凸があれば、その凹凸によりDLC皮膜との接触面積が増加してアンカー効果を生じ、基体とDLC皮膜の密着性は向上するものの、前記特許文献4に記載されるように中間層の表面に凹凸があれば、その凹凸をトレースしてDLC皮膜が成長するため平滑なDLC皮膜を得ることが困難である。しかし、DLC皮膜の成膜条件を制御して、中間層の前記凹凸を特定形状のものとすることにより、基材との密着性が高く、しかも切削工具、金型、自動車部品等に求められている平滑なDLC皮膜を得ることができるという驚くべき知見を得た。
「(1)基材表面に中間層を介してDLC皮膜が被覆された被覆部材であって、
前記中間層は、前記DLC皮膜に隣接する側が凹凸構造を有し、該凹凸構造はJIS B0601-2013で規定する、基準長さ1μmにおける輪郭曲線要素の長さの平均間隔が50~100nm、山頂線と谷底線との間の距離が20~100nmであり、
前記基材の前記中間層に隣接する側の算術平均粗さをRa1、前記DLC皮膜の外表面の算術平均粗さをRa2としたとき、Ra2-Ra1が5nm以下であること、
を特徴とする被覆部材。
(2)前記DLC皮膜は実質的に水素を含まず、ナノインデンテーション硬さが、60~90GPaであることを特徴とする前記(1)に記載の被覆部材。
(3)前記中間層は、少なくともTiまたはその他周期律表第IVa、Va、VIa族元素、および、Oを含有することを特徴とする前記(1)または(2)に記載の被覆部材。」
である。
基材は特に限定されず、鋼、超硬合金、Ti系合金、Al系合金、Cu系合金、セラミックス、樹脂材料が例示できる。鋼としては、構造用炭素鋼・合金鋼、工具鋼、ステンレス鋼などがあげられる。ここで、中間層形成前の基材の表面粗さとして、算術平均粗さRa1で、0.1~5nmとすることが望ましい。この範囲とした理由は、Ra2が4.0~8.0nmとなる平滑なDLC皮膜を得るためであり、このRa2の範囲にある平滑なDLC皮膜は、切削工具、金型、自動車部品として使用したときに優れた性能を有するためである。例えば、切削工具では、アルミニウムの切削において切り屑の溶着が起こらず優れた切削性能を有する。なお、このRa1の範囲は、Ra2-Ra1<5(nm)という条件から逆算して求めたものである。
DLC膜に隣接する側の中間層は凹凸構造を有している。この凹凸構造は、JIS B0601-2013で規定する、基準長さ1μmにおける輪郭曲線要素の長さの平均間隔が50~100nm、山頂線と谷底線との間の距離が20~100nmである。
この範囲とした理由は次のとおりである。輪郭曲線要素の長さの平均間隔が50~100nmの範囲にないと、DLC膜内部に大きなボイドが生じたり、DLC皮膜を厚くしてもDLC皮膜外表面に許容できない凹凸が生じ、また、山頂線と谷底線との間の距離が20~100nmの範囲になければ、中間層がDLC膜に対して十分なアンカー効果を所持させることができないためである。
この場合、成膜初期に粒径20nm程度の粒状晶が基材上に緻密に生成し、この粒状晶に接して柱状晶が成長させるとよい。また、後述するように、中間層の厚さは100nm以上が好ましい。なお、柱状晶をEDS(エネルギー分散型X線分光法)分析すると、柱状晶の粒界に酸素が観察されるため、柱状晶の形成は酸素の影響によるものと推定でき、酸素の含有量は5~30at%である。
本発明のDLC膜は、基材の中間層に隣接する側の算術平均粗さをRa1、DLC膜の外表面の算術平均粗さをRa2としたとき、Ra2-Ra1が5nm以下であって、基体とほぼ同じ平滑さを有している。
この平滑さは、前述のとおり、中間層が本発明で規定する所定の凹凸構造を有することによりもたらされるものであるが、DLC膜の厚さが100nm以上の範囲にあると、より確実に中間層の凹凸構造がDLC膜にトレースされず、中間層とDLC膜との密着性が確保される。そして、このDLC膜が、例えば、切削工具に被覆されたとき、十分な切削性能を得ることができる。
なお、ナノインデンテーション硬さとは、ステージ上に置かれた試料にダイヤモンド圧子を押し込み、荷重-変位曲線を得て試料の持つ抵抗力からナノメートルスケールで硬さを求めるものである。
また、臨界剥離荷重は、ステージ上に置かれた試料にダイヤモンド圧子を密着させ、徐々に荷重を加えながらステージを一定の速度で移動させることで、膜が剥離する時の荷重を求めるものである。今回の試験では、膜の破壊に起因する音が検出されたときの荷重を臨界剥離荷重として定義するものとする。
本発明において、ナノインデンテーション硬さ、臨界剥離荷重の測定は、以下の測定条件で求めている。
1)ナノインデンテーション硬さ
測定点:49点
押込み荷重:0.3mN
押込み時間:10秒
保持時間:1秒
除荷時間:10秒
2)臨界剥離荷重の測定
圧子の半径:50μm
荷重:0.03~10N
荷重速度:4.99N/min
スクラッチ速度:1.5mm/min
また、Raは触針探査計で1mmあたりのRaを3箇所測定して平均をとったものである。
本発明のDLC皮膜は、例えば、基材をクリーニング処理した後、まず、中間層の成膜を行う。この中間層の成膜は、所望の材質を得ることができるターゲットを用いたスパッタリングによるもので、DLC皮膜に隣接する側が凹凸構造を有し、該凹凸構造はJIS B0601-2013で規定する、基準長さ1μmにおける輪郭曲線要素の長さの平均間隔が50~100nm、山頂線と谷底線との間の距離が20~100nmとなるように、成膜時間などの成膜条件を適宜調整する。
中間層の成膜が完了した後に、FCVAによって、DLC膜を成膜する。
本実施例では、基材として、WC超硬合金を使用した。基体の算術平均粗さRa1は、表1に記載したとおりである。基材は、中間層の成膜前にAr雰囲気下で-450Vの電圧を15分印加してクリーニングを行った。
本実施例1~2において、中間層はTiをターゲットとしてスパッタリングにより成膜した。具体的には、圧力を0.27Paとして、Arガスを40SCCM(Standard cc/min)で導入して、DLC皮膜に隣接する側が凹凸構造を有し、該凹凸構造はJIS B0601-2013で規定する、基準長さ1μmにおける輪郭曲線要素の長さの平均間隔が50~100nm、山頂線と谷底線との間の距離が20~100nmとなるように、成膜時間を適宜調整した。成膜に当たり、酸素が中間層に含まれ、その含有量は5~30at%であった。その後、Arを使ってクリーニングを行って、グラファイトをターゲットとしたFCVAにより、成膜初期に粒径20nm程度の粒状晶を基材上に緻密に生成させ、この粒状晶に接して柱状晶を成長させた。
これら実施例1~2の中間層の厚さ、DLCの凹凸構造を求め、前述の方法によりナノインデンテーション硬さ、臨界剥離荷重について測定を行った。その結果を表1に示す。
一方、本発明で規定する中間層の凹凸構造を有していない比較例1~3のDLC皮膜は、臨界剥離荷重が小さいか、あるいは、平滑ではなく摩擦係数が大きいため、このDLC皮膜を被覆として用いたとしても、高い加工能率と工具寿命を持つ切削工具、摺動部材、金型、自動車部品を得ることは困難である。
Claims (3)
- 基材表面に中間層を介してDLC皮膜が被覆された被覆部材であって、
前記中間層は、前記DLC皮膜に隣接する側が凹凸構造を有し、該凹凸構造はJIS B0601-2013で規定する、基準長さ1μmにおける輪郭曲線要素の長さの平均間隔が50~100nm、山頂線と谷底線との間の距離が20~100nmであり、
前記基材の前記中間層に隣接する側の算術平均粗さをRa1、前記DLC皮膜の外表面の算術平均粗さをRa2としたとき、Ra2-Ra1が5nm以下であること、
を特徴とする被覆部材。 - 前記DLC皮膜は実質的に水素を含まず、ナノインデンテーション硬さが、60~90GPaであることを特徴とする請求項1に記載の被覆部材。
- 前記中間層は、少なくともTiまたはその他周期律表第IVa、Va、VIa族元素、および、Oを含有することを特徴とする請求項1または2に記載の被覆部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018001000A JP7127992B2 (ja) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | Dlc皮膜の被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018001000A JP7127992B2 (ja) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | Dlc皮膜の被覆部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019119912A JP2019119912A (ja) | 2019-07-22 |
JP7127992B2 true JP7127992B2 (ja) | 2022-08-30 |
Family
ID=67306891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018001000A Active JP7127992B2 (ja) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | Dlc皮膜の被覆部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7127992B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7183523B2 (ja) * | 2019-01-07 | 2022-12-06 | 三菱マテリアル株式会社 | Dlc皮膜の被覆部材 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004263295A (ja) | 2003-02-10 | 2004-09-24 | Jfe Steel Kk | めっき密着性に優れた合金化溶融亜鉛めっき鋼板およびその製造方法 |
JP2014062326A (ja) | 2013-11-05 | 2014-04-10 | Toyohashi Univ Of Technology | Dlc膜の製造方法 |
JP2014211190A (ja) | 2013-04-18 | 2014-11-13 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | ボールジョイントとその製造方法 |
-
2018
- 2018-01-09 JP JP2018001000A patent/JP7127992B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004263295A (ja) | 2003-02-10 | 2004-09-24 | Jfe Steel Kk | めっき密着性に優れた合金化溶融亜鉛めっき鋼板およびその製造方法 |
JP2014211190A (ja) | 2013-04-18 | 2014-11-13 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | ボールジョイントとその製造方法 |
JP2014062326A (ja) | 2013-11-05 | 2014-04-10 | Toyohashi Univ Of Technology | Dlc膜の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019119912A (ja) | 2019-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Hayward et al. | Effect of roughness on the friction of diamond on CVD diamond coatings | |
Hu et al. | Characterizations of nano-crystalline diamond coating cutting tools | |
JP4805819B2 (ja) | 表面被覆部材および切削工具 | |
US9371576B2 (en) | Coated tool and methods of making and using the coated tool | |
JP5295325B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP6172799B2 (ja) | Dlc膜成形体 | |
Huang et al. | Microstructure, wear and oxidation resistance of CrWN glass molding coatings synthesized by plasma enhanced magnetron sputtering | |
JP5383259B2 (ja) | 切削工具 | |
JP7127992B2 (ja) | Dlc皮膜の被覆部材 | |
JP4991244B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
Zhao et al. | Investigation of indentation response, scratch resistance, and wear behavior of tungsten carbide coatings fabricated by two-step interstitial carburization on tungsten | |
JP5660457B2 (ja) | 硬質皮膜被覆金型 | |
Arias et al. | Characterization of bilayer coatings of TiN/ZrN grown using pulsed arc PAPVD | |
JP7183523B2 (ja) | Dlc皮膜の被覆部材 | |
JP6610311B2 (ja) | 金属板圧延用ロール | |
JP4581861B2 (ja) | 硬質炭素薄膜及びその薄膜の製造方法 | |
JP4845615B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP4473592B2 (ja) | Dlcコーティング膜 | |
JP4845490B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JPS6059074A (ja) | 複合コーテイング及びその作製方法 | |
Lin et al. | Friction properties of polished CVD diamond films sliding against different metals | |
JP4936742B2 (ja) | 表面被覆工具および切削工具 | |
JP4360618B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP6558207B2 (ja) | 金属板圧延用ロール | |
Shanmugasundar et al. | Effect of deposition temperature on the tribo-mechanical properties of nitrogen doped DLC thin film |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210908 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220512 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20220512 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220531 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220727 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220818 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7127992 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |