JP7101454B2 - 光電気混載基板 - Google Patents
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Description
まず、上記金属層Mを形成するための金属シート材Ma〔図2(a)参照〕を準備する。この金属シート材Maの形成材料としては、例えば、ステンレス,42アロイ等があげられ、なかでも、寸法精度等の観点から、ステンレスが好ましい。上記金属シート材Ma(金属層M)の厚みは、例えば、10~100μmの範囲内に設定される。
その後、図2(d)に示すように、上記金属シート材Maにエッチング等を施すことにより、その金属シート材Maの不要部分を除去して形を整え、上記金属シート材Maを金属層Mに形成する。
そして、上記金属層Mの表面(上記電気回路基板Eと反対側の面)に光導波路W(図1参照)を形成するために、まず、図3(a)に示すように、上記金属層Mの表面(図では上面)に、アンダークラッド層3の形成材料である感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ法により、その塗布層を1層のアンダークラッド層3に形成する。このアンダークラッド層3の厚み(金属層Mの表面からの厚み)は、例えば、5~80μmの範囲内に設定される。
成分a:エポキシ樹脂(三菱化学社製、JER1002)60重量部。
成分b:エポキシ樹脂(ダイセル社製、EHPE3150)30重量部。
成分c:エポキシ樹脂(DIC社製、EXA-4816)10重量部。
成分d:光酸発生剤(サンアプロ社製、CPI-101A)0.5重量部。
成分e:酸化防止剤(共同薬品社製、Songnox1010)0.5重量部。
成分f:酸化防止剤(三光社製、HCA)0.5重量部。
成分g:乳酸エチル(溶剤)50重量部。
これら成分a~gを混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。
成分h:エポキシ樹脂(新日鐵化学社製、YDCN-700-3)50重量部。
成分i:エポキシ樹脂(三菱化学社製、JER1002)30重量部。
成分j:エポキシ樹脂(大阪ガスケミカル社製、オグソールPG-100)20重量部。
成分k:光酸発生剤(サンアプロ社製、CPI-101A)0.5重量部。
成分l:酸化防止剤(共同薬品社製、Songnox1010)0.5重量部。
成分m:酸化防止剤(三光社製、HCA)0.125重量部。
成分n:乳酸エチル(溶剤)50重量部。
これら成分h~nを混合することにより、コアの形成材料を調製した。
上記形成材料を用いて、図1に示す光電気混載基板を作製した。この光電気混載基板の全幅を3mm、全長を42.5mmとした。金属層は、厚み20μmのステンレス層とし、光電気混載基板の全体にわたって配置した。また、電気回路基板の絶縁層の厚みを10μm、電気配線の厚みを20μmとした。さらに、光導波路のアンダークラッド層の厚みを20μm、各コアの寸法を厚み40μm×幅40μm、各オーバークラッド層の寸法は、厚み(コアの頂面からの厚み)を30μm、幅を1251.5μmとした。そして、溝は、幅500μmとし、オーバークラッド層の全長にわたって形成した。
上記形成材料を用いて、図5に示す光電気混載基板を作製した。各オーバークラッド層の幅を160μmとした。それ以外の部分は、上記実施例1と同様とした。
上記形成材料を用いて、図6に示す光電気混載基板を作製した。各アンダークラッド層の幅を140μmとした。それ以外の部分は、上記実施例2と同様とした。
上記形成材料を用いて、図7に示す光電気混載基板を作製した。構成の寸法は、上記実施例3と同様とした。
上記実施例1において、オーバークラッド層に溝が形成されていないものとした。それ以外の部分は、上記実施例1と同様とした。
上記実施例1~4および比較例の光電気混載基板の反りの曲率半径を、レーザ顕微鏡(キーエンス社製、VK-X200)を用いて測定した。その結果を下記の表1に示した。
G 溝
W 光導波路
3 アンダークラッド層
4 コア
5 オーバークラッド層
Claims (2)
- 厚み10~100μmの絶縁層を基板とし光素子が実装される電気回路基板と、上記電気回路基板の絶縁層の片面に積層形成された光導波路とを備え、その光導波路が、上記絶縁層の片面に形成されたアンダークラッド層と、そのアンダークラッド層の表面に複数並んだ状態で設けられる光路用のコアと、その複数のコアを被覆するオーバークラッド層とを有する光電気混載基板であって、上記オーバークラッド層の、上記コアとコアの間の表面部分のうち、少なくともその一部に、上記アンダークラッド層の表面にその溝底を有する溝が形成されているとともに、上記アンダークラッド層の、上記コアの延びる方向に沿う側端部における表面部分が、上記オーバークラッド層で被覆されずに露呈しており、上記溝は、どの部分においても、この溝の両側にあるコアとコアの間に挟まれた配置で、上記コアの延びる方向に沿って延びており、かつ、上記溝の溝幅が、溝の深さ方向においてどの部分においても同一であることを特徴とする光電気混載基板。
- 上記光電気混載基板の反りの曲率半径が35mm以上である請求項1記載の光電気混載基板。
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