JP7089884B2 - 遠心分離機 - Google Patents
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Description
(aX 2+aY 2)1/2=Rω2 (1)
となる。Rは、ずれの大きさ(振幅)を示す値であり、回転軸130、防振部160などの静止した状態からの変位を示している。ωは回転軸130の角速度である。
(aX 2+aY 2+aZ 2)1/2=Rω2 (2)
となる。Z方向の振動も無視できない振動を検出する必要がある場合は、加速度センサ140は、Z方向(回転軸130の軸方向)の加速度を示す値aZも出力する。
120 駆動源 130 回転軸
140 加速度センサ 150 制御部
160 防振部 161 支持板
162 防振バネ 190 筐体
191 チャンバ蓋 192 チャンバ
Claims (5)
- ロータと前記ロータを回転させる駆動源と前記ロータと前記駆動源とを結合させる回転軸とを備える遠心分離機であって、
少なくとも前記回転軸の軸方向と垂直な2つの異なる方向の加速度を示す値を出力する加速度センサと、
前記加速度センサが出力する加速度を示す値に基づく加速度に比例する値を前記ロータの角速度の二乗に比例する値で除算した値に対応する変位換算値を求め、当該変位換算値があらかじめ定めた変位が大きいことを示す変位判定基準を満たす場合には、前記ロータの回転を停止させる制御部
を備え、
前記ロータの回転軸の変位が共振によって大きくなる角速度に対応する値の範囲を共振域とし、
前記制御部は、前記ロータの角速度に対応する値が前記共振域よりも低いあらかじめ定めた角速度に対応する値の範囲のときに、変位換算値を求め、前記変位判定基準を満たすかを確認し、
許容される最大の不釣り合いのときの前記共振域での変位換算値の最大値よりも小さい変位換算値の場合が、前記変位判定基準を満たす範囲に含まれる
ことを特徴とする遠心分離機。 - 請求項1記載の遠心分離機であって、
前記制御部は、前記加速度センサが出力する加速度を示す値に基づく加速度に対応する値である加速度対応値を求め、当該加速度対応値があらかじめ定めた加速度が大きいことを示す加速度判定基準を満たす場合には、前記ロータの回転を停止させる
ことを特徴とする遠心分離機。 - 請求項2記載の遠心分離機であって、
前記制御部は、前記ロータの角速度に対応する値が前記共振域よりも高いときに、前記加速度対応値が前記加速度判定基準を満たすかを確認する
ことを特徴とする遠心分離機。 - ロータと前記ロータを回転させる駆動源と前記ロータと前記駆動源とを結合させる回転軸とを備える遠心分離機であって、
少なくとも前記回転軸の軸方向と垂直な2つの異なる方向の加速度を示す値を出力する加速度センサと、
前記加速度センサが出力する加速度を示す値に基づく加速度に比例する値を前記ロータの角速度の二乗に比例する値で除算した値に対応する変位換算値を求め、当該変位換算値があらかじめ定めた変位が大きいことを示す変位判定基準を満たす場合には、前記ロータの回転を停止させる制御部
を備え、
前記ロータの回転軸の変位が共振によって大きくなる角速度に対応する値の範囲を共振域とし、
前記制御部は、前記ロータの角速度に対応する値が前記共振域よりも低いあらかじめ定めた角速度に対応する値の範囲のときに、変位換算値を求め、前記変位判定基準を満たすかを確認し、
前記制御部は、前記加速度センサが出力する加速度を示す値に基づく加速度に対応する値である加速度対応値を求め、当該加速度対応値があらかじめ定めた加速度が大きいことを示す加速度判定基準を満たす場合には、前記ロータの回転を停止させ、
前記制御部は、前記ロータの角速度に対応する値が前記共振域よりも高いときに、前記加速度対応値が前記加速度判定基準を満たすかを確認する
ことを特徴とする遠心分離機。 - 請求項1から4のいずれかに記載の遠心分離機であって、
前記加速度センサは、前記回転軸の軸方向の加速度を示す値も出力する
ことを特徴とする遠心分離機。
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