JP7017437B2 - 反射電子のエネルギースペクトルを測定する装置および方法 - Google Patents
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Description
一態様では、前記エネルギー分析系は、前記電子線源と前記ウィーンフィルタとの間に配置された非点補正器をさらに備え、前記非点補正器は、前記4極場の強度の変化に同期して、1次電子線の非点収差を打ち消すように動作する。
一態様では、1次電子線を発生させるための電子線源と、前記1次電子線を試料まで導いて集束かつ偏向させる電子光学系と、前記試料から発生した反射電子のエネルギースペクトルを検出可能なエネルギー分析系を備え、前記エネルギー分析系は、前記反射電子を分散させるウィーンフィルタと、前記ウィーンフィルタによって分散された反射電子のエネルギースペクトルを測定するための検出器と、前記ウィーンフィルタの出口側に配置されたシャントを備え、前記シャントは、前記反射電子の分散する方向に延びるスリットを有し、前記検出器は、前記分散された反射電子のエネルギーごとのフォーカス位置に実質的に一致する検出面を有する装置が提供される。
一態様では、前記方法は、前記4極場の強度の変化に同期して、1次電子線の非点収差を非点補正器で打ち消す工程をさらに含む。
図1は、走査電子顕微鏡の一実施形態を示す模式図である。図1に示す走査電子顕微鏡は、試料106から放出された反射電子のエネルギーを分析するための装置に適用可能である。図1において、電子線源である電子銃101で発生させた1次電子線103は、一般に多段レンズから構成されたコンデンサーレンズ系102で集束される。1次電子線103は、ウィーンフィルタ108を通過し、さらに対物レンズ105で集束され、試料106に照射される。1次電子線103は偏向器112によって偏向され、試料106の表面を走査する。
102 コンデンサーレンズ系
103 1次電子線
104 反射電子線
105 対物レンズ
106 試料
107 検出器
108 ウィーンフィルタ
109 極
109a コイル
109b テーパー面
110 反射電子絞り
112 偏向器
115 シャント
116 スリット
117 通孔
121 画像化装置
150 動作制御部
Claims (7)
- 1次電子線を発生させるための電子線源と、
前記1次電子線を試料まで導いて集束かつ偏向させる電子光学系と、
前記試料から発生した反射電子のエネルギースペクトルを検出可能なエネルギー分析系を備え、
前記エネルギー分析系は、
前記反射電子を分散させるウィーンフィルタと、
前記ウィーンフィルタによって分散された反射電子のエネルギースペクトルを測定するための検出器と、
前記ウィーンフィルタの4極場の強度を変化させながら、前記4極場の強度の変化と同期して前記検出器の前記反射電子の検出位置を移動させる動作制御部と、
前記ウィーンフィルタの出口側に配置されたシャントを備え、
前記シャントは、前記反射電子の分散する方向に延びるスリットを有する装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記動作制御部は、反射電子が前記検出位置でフォーカスするように、前記ウィーンフィルタの4極場の強度を変化させながら、前記4極場の強度の変化と同期して前記検出器の前記反射電子の検出位置を移動させる装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記エネルギー分析系は、前記電子線源と前記ウィーンフィルタとの間に配置された非点補正器をさらに備え、前記非点補正器は、前記4極場の強度の変化に同期して、1次電子線の非点収差を打ち消すように動作する装置。 - 1次電子線を発生させるための電子線源と、
前記1次電子線を試料まで導いて集束かつ偏向させる電子光学系と、
前記試料から発生した反射電子のエネルギースペクトルを検出可能なエネルギー分析系を備え、
前記エネルギー分析系は、
前記反射電子を分散させるウィーンフィルタと、
前記ウィーンフィルタによって分散された反射電子のエネルギースペクトルを測定するための検出器を備え、
前記検出器は、前記分散された反射電子のエネルギーごとのフォーカス位置に実質的に一致する検出面を有し、
前記検出面は平面であり、前記検出面の光軸からの角度は、10°±5°の範囲内にある装置。 - 請求項4に記載の装置であって、
前記エネルギー分析系は、前記電子線源と前記ウィーンフィルタとの間に配置された非点補正器をさらに備えた装置。 - 1次電子線を発生させるための電子線源と、
前記1次電子線を試料まで導いて集束かつ偏向させる電子光学系と、
前記試料から発生した反射電子のエネルギースペクトルを検出可能なエネルギー分析系を備え、
前記エネルギー分析系は、
前記反射電子を分散させるウィーンフィルタと、
前記ウィーンフィルタによって分散された反射電子のエネルギースペクトルを測定するための検出器と、
前記ウィーンフィルタの出口側に配置されたシャントを備え、
前記シャントは、前記反射電子の分散する方向に延びるスリットを有し、
前記検出器は、前記分散された反射電子のエネルギーごとのフォーカス位置に実質的に一致する検出面を有する装置。 - 電子線源により発生させた1次電子線を試料まで導き、
前記試料から発生した反射電子をウィーンフィルタによって分散させ、
前記分散された反射電子のエネルギースペクトルを検出器で測定する工程を含み、
前記検出器は、前記分散された反射電子のエネルギーごとのフォーカス位置に実質的に一致する検出面を有し、
前記検出面は平面であり、前記検出面の光軸からの角度は、10°±5°の範囲内にある方法。
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