JP7010796B2 - A method for manufacturing a photosensitive resin composition, a cured film, a laminate, a transfer film, and a touch panel. - Google Patents

A method for manufacturing a photosensitive resin composition, a cured film, a laminate, a transfer film, and a touch panel. Download PDF

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Description

本開示は、感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、転写フィルム、及び、タッチパネルの製造方法に関する。 The present disclosure relates to a method for manufacturing a photosensitive resin composition, a cured film, a laminate, a transfer film, and a touch panel.

携帯電話、カーナビゲーション、パーソナルコンピュータ、券売機、銀行の端末などの電子機器では、近年、液晶装置などの表面にタブレット型の入力装置が配置される。液晶装置の画像表示領域に表示された指示画像を参照しながら、指示画像が表示されている箇所に指又はタッチペンなどを触れることで、指示画像に対応する情報の入力が行える装置がある。 In electronic devices such as mobile phones, car navigation systems, personal computers, ticket vending machines, and bank terminals, tablet-type input devices are arranged on the surface of liquid crystal devices and the like in recent years. There is a device that can input information corresponding to an instruction image by touching a place where the instruction image is displayed with a finger or a stylus while referring to the instruction image displayed in the image display area of the liquid crystal device.

既述の如き入力装置(以下、タッチパネルと称することがある。)には、抵抗膜型、静電容量型などがある。静電容量型入力装置は、単に一枚の基板に透光性導電膜を形成すればよいという利点がある。かかる静電容量型入力装置では、例えば、互いに交差する方向に電極パターンを延在させて、指などが接触した際、電極間の静電容量が変化することを検知して入力位置を検出するタイプの装置がある。
静電容量型入力装置の電極パターンや枠部にまとめられた引き回し配線(例えば銅線などの金属配線)などを保護する等の目的で、指などで入力する表面とは反対側に透明樹脂層が設けられている。
The input device as described above (hereinafter, may be referred to as a touch panel) includes a resistance film type and a capacitance type. The capacitance type input device has an advantage that a translucent conductive film may simply be formed on a single substrate. In such a capacitance type input device, for example, electrode patterns are extended in directions intersecting each other, and when a finger or the like comes into contact, the change in capacitance between the electrodes is detected to detect the input position. There is a type of device.
A transparent resin layer on the opposite side of the surface to be input with a finger, etc., for the purpose of protecting the electrode pattern of the capacitance type input device and the routing wiring (for example, metal wiring such as copper wire) gathered in the frame part. Is provided.

これらの静電容量型入力装置を使用するにあたり、例えば、光源からの入射光の正反射近傍から少し離れた位置においてタッチパネルの表面を目視すると、内部に存在する透明電極パターンが目視され、外観上支障を来すことがある。したがって、タッチパネル等の表面において透明電極パターンの隠蔽性を向上させることが求められている。 When using these capacitive input devices, for example, when the surface of the touch panel is visually observed at a position slightly away from the vicinity of the specular reflection of the incident light from the light source, the transparent electrode pattern existing inside is visually observed, and the appearance is apparent. It may cause problems. Therefore, it is required to improve the concealing property of the transparent electrode pattern on the surface of a touch panel or the like.

感光性樹脂組成物を用いる樹脂硬化膜のパターン形成方法としては、特許文献1に記載のものが挙げられる。
特許文献1には、基材上に、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、チオール化合物と、を含有する感光性樹脂組成物からなる感光層を設ける第1工程と、上記感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させる第2工程と、上記感光層の上記所定部分以外を除去し、上記感光層の上記所定部分の硬化膜パターンを形成する第3工程と、を備え、上記感光性樹脂組成物が上記光重合開始剤としてオキシムエステル化合物及び/又はホスフィンオキサイド化合物を含む、樹脂硬化膜パターンの形成方法が記載されている。
Examples of the method for forming a pattern of a cured resin film using a photosensitive resin composition include those described in Patent Document 1.
Patent Document 1 describes a first step of providing a photosensitive layer made of a photosensitive resin composition containing a binder polymer, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a thiol compound on a substrate. A second step of curing the predetermined portion of the photosensitive layer by irradiation with active light, and a third step of removing other than the predetermined portion of the photosensitive layer to form a cured film pattern of the predetermined portion of the photosensitive layer. Describes a method for forming a resin cured film pattern, wherein the photosensitive resin composition contains an oxime ester compound and / or a phosphine oxide compound as the photopolymerization initiator.

また、感光性樹脂組成物としては、特許文献2又は3に記載のものが挙げられる。
特許文献2には、〔A〕エチレン性不飽和カルボン酸に由来する重合単位および/またはエチレン性不飽和カルボン酸無水物に由来する重合単位を有する共重合体、〔B〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、〔C〕光重合開始剤並びに〔D〕下記式(1)または(2):
Further, examples of the photosensitive resin composition include those described in Patent Document 2 or 3.
Patent Document 2 describes [A] a polymer having a polymerization unit derived from an ethylenically unsaturated carboxylic acid and / or a polymerization unit derived from an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, and [B] an ethylenically unsaturated bond. Polymerizable compound having, [C] photopolymerization initiator and [D] the following formula (1) or (2):

Figure 0007010796000001

(式(1)において、Rは、メチレン基または炭素数2~20のアルキレン基であり、Rはメチレン基または炭素数2~6の直鎖もしくは分岐アルキレン基でありそしてmは1~20の整数を表わす)
Figure 0007010796000001

(In formula (1), R 1 is a methylene group or an alkylene group having 2 to 20 carbon atoms, R 2 is a methylene group or a linear or branched alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and m is 1 to 1 to. Represents an integer of 20)

Figure 0007010796000002

(式(2)において、Rは、同一もしくは異なり、-H、-OHまたは下記式(2’)
Figure 0007010796000002

(In the formula (2), R is the same or different, -H, -OH or the following formula (2').

Figure 0007010796000003
Figure 0007010796000003

で表わされる基であり、Rはメチレン基または炭素数2~6の直鎖もしくは分岐アルキレン基である、但し4つのRの少なくとも1つは上記式(2’)で表わされる基であるものとする、)
で表わされるチオール化合物を含有することを特徴とする、液晶表示素子用スペーサーの形成に用いられる感光性樹脂組成物が記載されている。
3 is a methylene group or a linear or branched alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, wherein at least one of the four Rs is a group represented by the above formula (2'). ,)
Described is a photosensitive resin composition used for forming a spacer for a liquid crystal display element, which comprises a thiol compound represented by.

特許文献3には、成分Aとして、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、成分Bとして、重合開始剤、成分Sとして、チオール化合物、及び、成分Dとして、有機溶剤、を含有し、成分Aが、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートを含み、成分A中の上記6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートの割合が、70~100質量%であり、成分Sの含有量が、硬化性組成物の全固形分に対し、1~20質量%であることを特徴とする硬化性組成物が記載されている。 Patent Document 3 contains a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond as the component A, a polymerization initiator as the component B, a thiol compound as the component S, and an organic solvent as the component D. A contains a 6-functional or higher functional urethane (meth) acrylate, the proportion of the above 6-functional or higher urethane (meth) acrylate in the component A is 70 to 100% by mass, and the content of the component S is curable. Described are curable compositions characterized in that they are 1-20% by mass based on the total solid content of the composition.

国際公開第2013/084872号International Publication No. 2013/084872 特開2008-77067号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-77067 国際公開第2015/072533号International Publication No. 2015/072533

本発明の一実施形態が解決しようとする課題は、現像残渣抑制性に優れ、得られる硬化膜の透湿度が低く、得られる硬化膜の曲げ耐性に優れる感光性樹脂組成物を提供することである。
また、本発明の他の実施形態が解決しようとする課題は、上記感光性樹脂組成物を用いた硬化膜、積層体、転写フィルム、及び、タッチパネルの製造方法を提供することである。
The problem to be solved by one embodiment of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having excellent development residue inhibitory properties, low moisture permeability of the obtained cured film, and excellent bending resistance of the obtained cured film. be.
Another object to be solved by another embodiment of the present invention is to provide a method for manufacturing a cured film, a laminate, a transfer film, and a touch panel using the photosensitive resin composition.

上記課題を解決するための手段には、以下の態様が含まれる。
<1> バインダーポリマーと、エチレン性不飽和化合物と、光重合開始剤と、を含有し、上記エチレン性不飽和化合物が、チオエーテル結合を有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aを含む感光性樹脂組成物。
<2> 上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aにおける少なくとも2つのエチレン性不飽和結合の間を連結する最短の連結鎖の原子数が、10個~30個である<1>に記載の感光性樹脂組成物。
<3> 上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aにおける上記連結鎖が、炭素原子、酸素原子及び硫黄原子からなる鎖である<1>又は<2>に記載の感光性樹脂組成物。
<4> 上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが有する硫黄原子の数が、1個以上4個以下である<1>~<3>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
<5> 上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが、2官能エチレン性不飽和化合物である<1>~<4>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
<6> 上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが、下記式A-1で表される化合物である<1>~<5>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
The means for solving the above problems include the following aspects.
<1> A photosensitive compound containing a binder polymer, an ethylenically unsaturated compound, and a photopolymerization initiator, wherein the ethylenically unsaturated compound contains a bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A having a thioether bond. Resin composition.
<2> The number of atoms of the shortest connecting chain connecting between at least two ethylenically unsaturated bonds in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is 10 to 30. Photosensitive resin composition.
<3> The photosensitive resin composition according to <1> or <2>, wherein the linking chain in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a chain composed of a carbon atom, an oxygen atom and a sulfur atom.
<4> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <3>, wherein the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A has 1 or more and 4 or less sulfur atoms. ..
<5> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4>, wherein the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a bifunctional ethylenically unsaturated compound.
<6> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <5>, wherein the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a compound represented by the following formula A-1.

Figure 0007010796000004
Figure 0007010796000004

式(A-1)中、RA1及びRA2はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、LA1及びLA3はそれぞれ独立に、アルキレン基又は-LA6(SLA7nA-を表し、LA2、LA6及びLA7はそれぞれ独立に、アルキレン基を表し、nAは1~8の整数を表す。 In formula (A-1), RA1 and RA2 independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and LA1 and LA3 independently represent an alkylene group or −LA6 (SL A7 ) nA −. , LA2 , LA6 and LA7 each independently represent an alkylene group and nA represents an integer of 1-8.

<7> 上記エチレン性不飽和化合物が、脂環構造を有するエチレン性不飽和化合物Bを含む<1>~<6>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
<8> 上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aの含有量Mと上記エチレン性不飽和化合物Bの含有量Mとの質量比M/Mの値が、0.2~1.5である<7>に記載の感光性樹脂組成物。
<9> タッチパネル保護膜形成用である<1>~<8>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
<10> 仮支持体と、<1>~<9>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物からなる感光性層とを有する転写フィルム。
<11> <1>~<9>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
<12> 基板、及び、<1>~<9>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜を有する積層体。
<13> 基板上にタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された構造を有するタッチパネル用基板を準備することと、上記タッチパネル用基板の上記タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された側の面の上に、<1>~<9>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を含有する感光性層を形成することと、上記タッチパネル用基板上に形成された上記感光性層をパターン露光することと、パターン露光された上記感光性層を現像することにより、上記タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方の少なくとも一部を保護するタッチパネル用保護膜を得ることと、を含むタッチパネルの製造方法。
<14> 上記タッチパネル用保護膜が、上記タッチパネルの折り曲げ領域に設けられる<13>に記載のタッチパネルの製造方法。
<7> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <6>, wherein the ethylenically unsaturated compound contains an ethylenically unsaturated compound B having an alicyclic structure.
<8> The mass ratio MA / MB of the content MA of the ethylenically unsaturated compound A having two or more functionalities and the content MB of the ethylenically unsaturated compound B is 0.2 to 1. The photosensitive resin composition according to <7>, which is 5.
<9> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <8> for forming a touch panel protective film.
<10> A transfer film having a temporary support and a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <9>.
<11> A cured film obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <9>.
<12> A laminate having a substrate and a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <9>.
<13> A touch panel substrate having a structure in which at least one of a touch panel electrode and a touch panel wiring is arranged on the substrate is prepared, and at least one of the touch panel electrode and the touch panel wiring of the touch panel substrate is arranged. A photosensitive layer containing the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <9> is formed on the surface on the side of the surface, and the touch panel substrate is formed. By pattern-exposing the photosensitive layer and developing the pattern-exposed photosensitive layer, a touch panel protective film that protects at least a part of at least one of the touch panel electrode and the touch panel wiring can be obtained. And, including how to manufacture a touch panel.
<14> The method for manufacturing a touch panel according to <13>, wherein the protective film for the touch panel is provided in the bent region of the touch panel.

本発明の一実施形態によれば、現像残渣抑制性に優れ、得られる硬化膜の透湿度が低く、得られる硬化膜の曲げ耐性に優れる感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明の他の実施形態によれば、上記感光性樹脂組成物を用いた硬化膜、積層体、転写フィルム、及び、タッチパネルの製造方法を提供することができる。
According to one embodiment of the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition having excellent development residue inhibitory properties, low moisture permeability of the obtained cured film, and excellent bending resistance of the obtained cured film.
Further, according to another embodiment of the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a cured film, a laminate, a transfer film, and a touch panel using the photosensitive resin composition.

本開示に係る転写フィルムの一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the transfer film which concerns on this disclosure. 本開示に係るタッチパネルの第1具体例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 1st specific example of the touch panel which concerns on this disclosure. 本開示に係るタッチパネルの第2具体例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 2nd specific example of the touch panel which concerns on this disclosure. 曲げ耐性評価における曲げ耐性評価用試料の状態を示す断面模式図である。It is sectional drawing which shows the state of the sample for bending resistance evaluation in bending resistance evaluation.

以下において、本開示の内容について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本開示の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本開示はそのような実施態様に限定されるものではない。
なお、本開示において、数値範囲を示す「~」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
また、本開示における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において「全固形分」とは、組成物の全組成から溶剤を除いた成分の総質量をいう。また、「固形分」とは、上述のように、溶剤を除いた成分であり、例えば、25℃において固体であっても、液体であってもよい。
また、本開示において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
更に、本開示において、2以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
本開示において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する上記複数の物質の合計量を意味する。
本開示において、「工程」との語は、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本開示において、「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸及びメタクリル酸の両方を包含する概念であり、「(メタ)アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートの両方を包含する概念であり、「(メタ)アクリロイル基」は、アクリロイル基及びメタクリロイル基の両方を包含する概念である。
また、本開示における重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、特に断りのない限り、TSKgel GMHxL、TSKgel G4000HxL、TSKgel G2000HxL(何れも東ソー(株)製の商品名)のカラムを使用したゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)分析装置により、溶媒THF(テトラヒドロフラン)、示差屈折計により検出し、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。
本開示において、樹脂中の構成単位の割合は、特に断りが無い限り、モル割合を表す。
本開示において、分子量分布がある場合の分子量は、特に断りが無い限り、重量平均分子量(Mw)を表す。
以下、本開示を詳細に説明する。
The contents of the present disclosure will be described in detail below. The description of the constituents described below may be based on the representative embodiments of the present disclosure, but the present disclosure is not limited to such embodiments.
In the present disclosure, "-" indicating a numerical range is used to mean that the numerical values described before and after the numerical range are included as the lower limit value and the upper limit value.
In the numerical range described stepwise in the present specification, the upper limit value or the lower limit value described in one numerical range may be replaced with the upper limit value or the lower limit value of another numerical range described stepwise. good. Further, in the numerical range described in the present specification, the upper limit value or the lower limit value of the numerical range may be replaced with the value shown in the examples.
Further, in the notation of a group (atomic group) in the present disclosure, the notation that does not describe substitution or non-substitution includes those having no substituent as well as those having a substituent. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
As used herein, the term "total solid content" refers to the total mass of the components excluding the solvent from the total composition of the composition. Further, the "solid content" is a component excluding the solvent as described above, and may be, for example, a solid or a liquid at 25 ° C.
Further, in the present disclosure, "% by mass" and "% by weight" are synonymous, and "parts by mass" and "parts by weight" are synonymous.
Further, in the present disclosure, a combination of two or more preferred embodiments is a more preferred embodiment.
In the present disclosure, the amount of each component in the composition means the total amount of the plurality of substances present in the composition when a plurality of substances corresponding to each component are present in the composition, unless otherwise specified. do.
In the present disclosure, the term "process" is included in this term not only as an independent process but also as long as the intended purpose of the process is achieved even if it cannot be clearly distinguished from other processes.
In the present disclosure, "(meth) acrylic acid" is a concept that includes both acrylic acid and methacrylic acid, and "(meth) acrylate" is a concept that includes both acrylate and methacrylate, and "(meth) acrylate" is a concept. ) Acryloyl group ”is a concept that includes both acryloyl group and methacrylic acid group.
Further, for the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) in the present disclosure, unless otherwise specified, columns of TSKgel GMHxL, TSKgel G4000HxL, and TSKgel G2000HxL (all trade names manufactured by Toso Co., Ltd.) are used. The molecular weight is detected by the solvent THF (tetrahydrofuran) and the differential refractometer by the gel permeation chromatography (GPC) analyzer and converted using polystyrene as a standard substance.
In the present disclosure, the ratio of the constituent units in the resin represents the molar ratio unless otherwise specified.
In the present disclosure, the molecular weight when there is a molecular weight distribution represents a weight average molecular weight (Mw) unless otherwise specified.
Hereinafter, the present disclosure will be described in detail.

(感光性樹脂組成物)
本開示に係る感光性樹脂組成物は、バインダーポリマーと、エチレン性不飽和化合物と、光重合開始剤と、を含有し、上記エチレン性不飽和化合物が、チオエーテル結合を有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aを含む。
また、本開示に係る感光性樹脂組成物は、タッチパネル保護膜形成用感光性樹脂組成物として好適に用いることができ、タッチパネルの電極又は配線保護膜形成用感光性樹脂組成物としてより好適に用いることができる。
(Photosensitive resin composition)
The photosensitive resin composition according to the present disclosure contains a binder polymer, an ethylenically unsaturated compound, and a photopolymerization initiator, and the ethylenically unsaturated compound has a bifunctional or higher functionality having a thioether bond. Contains unsaturated compound A.
Further, the photosensitive resin composition according to the present disclosure can be suitably used as a photosensitive resin composition for forming a touch panel protective film, and more preferably used as a photosensitive resin composition for forming an electrode of a touch panel or a wiring protective film. be able to.

本発明者が鋭意検討した結果、上記構成をとることにより、現像残渣抑制性に優れ、得られる硬化膜の透湿度が低く、得られる硬化膜の曲げ耐性に優れる感光性樹脂組成物を提供することができることを見出した。
これによる優れた効果の作用機構は明確ではないが、以下のように推定している。
チオエーテル結合を有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aを含有することにより、硬化膜において、炭素-炭素結合よりも結合長が長く、また、結合角の許容範囲の広い炭素-硫黄結合を導入した架橋構造を形成することにより、曲げ耐性が向上し、架橋ネットワークを密にすることができるため、水蒸気の透過速度を低減することができ、低透湿度も確保できる。
更に、チオエーテル結合を有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aにより、架橋構造の一部に硫黄原子を導入することにより、硫黄原子の極性により、現像液への溶解性が高くなり、現像残渣が抑制される。
As a result of diligent studies by the present inventor, a photosensitive resin composition having excellent development residue inhibitory properties, low moisture permeability of the obtained cured film, and excellent bending resistance of the obtained cured film is provided. I found that I could do it.
The mechanism of action of this excellent effect is not clear, but it is estimated as follows.
By containing a bifunctional or higher functional unsaturated compound A having a thioether bond, a carbon-sulfur bond having a longer bond length than a carbon-carbon bond and a wide bond angle tolerance is introduced in the cured film. By forming the crosslinked structure, the bending resistance is improved and the crosslinked network can be made dense, so that the permeation rate of water vapor can be reduced and low moisture permeability can be ensured.
Further, by introducing a sulfur atom into a part of the crosslinked structure by the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A having a thioether bond, the solubility in the developing solution is increased due to the polarity of the sulfur atom, and the development residue is developed. Is suppressed.

以下、本開示に係る感光性樹脂組成物について、詳細に説明する。 Hereinafter, the photosensitive resin composition according to the present disclosure will be described in detail.

<エチレン性不飽和化合物>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和化合物を含有し、上記エチレン性不飽和化合物が、チオエーテル結合を有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aを含む。
<Ethylene unsaturated compound>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure contains an ethylenically unsaturated compound, and the above-mentioned ethylenically unsaturated compound contains a bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A having a thioether bond.

<<2官能以上のエチレン性不飽和化合物A>>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和化合物として、チオエーテル結合を有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aを含む。
上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aは、エチレン性不飽和結合を2つ以上有し、かつ、チオエーテル結合を1つ以上有する化合物である。
上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが有するエチレン性不飽和結合の数としては、2官能以上15官能以下であることが好ましく、2官能以上6官能以下であることがより好ましく、2官能以上4官能以下であることが更に好ましく、2官能であることが特に好ましい。
上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが有するエチレン性不飽和基としては、特に制限はなく、例えば、(メタ)アクリロキシ基、(メタ)アクリルアミド基、ビニル基、アリル基、ビニルエーテル基、ビニルエステル基、スチリル基等が挙げられる。
中でも、反応性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、(メタ)アクリロキシ基であることが好ましい。
また、上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが有する2つ以上のエチレン性不飽和基は、同じ基であっても、互いに異なる基であってもよいが、同じ基であることが好ましい。
<< Bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A >>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure contains a bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A having a thioether bond as the ethylenically unsaturated compound.
The bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds and one or more thioether bonds.
The number of ethylenically unsaturated bonds possessed by the bifunctional or higher ethylenically unsaturated compound A is preferably bifunctional or higher and 15 functional or less, more preferably bifunctional or higher and 6 functional or lower, and bifunctional. It is more preferably tetrafunctional or less, and particularly preferably bifunctional.
The ethylenically unsaturated group contained in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is not particularly limited, and is, for example, a (meth) acryloxy group, a (meth) acrylamide group, a vinyl group, an allyl group, a vinyl ether group, or vinyl. Examples thereof include an ester group and a styryl group.
Above all, a (meth) acryloxy group is preferable from the viewpoint of reactivity and the strength of the obtained cured film.
Further, the two or more ethylenically unsaturated groups of the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A may be the same group or different groups from each other, but the same group is preferable. ..

上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aにおける少なくとも2つのエチレン性不飽和結合の間を連結する最短の連結鎖の原子数は、現像残渣抑制性、並びに、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、10個~30個であることが好ましく、12個~26個であることがより好ましく、16個~24個であることが更に好ましく、18個~22個であることが特に好ましい。
本開示において、「少なくとも2つのエチレン性不飽和結合の間を連結する最短の連結鎖の原子数」とは、少なくとも1つのエチレン性不飽和結合に連結する原子から少なくとももう1つのエチレン性不飽和結合に連結する原子までを連結する最短の原子数である。
なお、エチレン性不飽和基を3つ以上有する場合、そのうちの2つのエチレン性不飽和結合の間の上記最短の連結鎖の原子数のうち、上記原子数の最も小さい2つのエチレン性不飽和結合の間の上記最短の連結鎖の原子数とする。
具体的には、下記化合物においては、波線間における最短の連結鎖の原子数であり、上記最短の連結基の原子数は12である。
The number of atoms of the shortest connecting chain connecting between at least two ethylenically unsaturated bonds in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is the development residue inhibitory property, and the moisture permeability and bending of the obtained cured film. From the viewpoint of resistance, the number is preferably 10 to 30, more preferably 12 to 26, further preferably 16 to 24, and particularly preferably 18 to 22. preferable.
In the present disclosure, "the number of atoms in the shortest connecting chain connecting between at least two ethylenically unsaturated bonds" means at least one other ethylenically unsaturated bond from an atom connected to at least one ethylenically unsaturated bond. It is the shortest number of atoms that connects up to the atom that connects to the bond.
When having three or more ethylenically unsaturated groups, the two ethylenically unsaturated bonds having the smallest number of atoms among the number of atoms in the shortest connecting chain between the two ethylenically unsaturated bonds. Let it be the number of atoms in the shortest connecting chain between.
Specifically, in the following compounds, the number of atoms of the shortest linking chain between wavy lines is 12, and the number of atoms of the shortest linking group is 12.

Figure 0007010796000005
Figure 0007010796000005

また、下記化合物においては、波線間における最短の連結鎖の原子数であり、上記最短の連結基の原子数は6である。 Further, in the following compound, the number of atoms of the shortest linking chain between wavy lines is 6, and the number of atoms of the shortest linking group is 6.

Figure 0007010796000006
Figure 0007010796000006

上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aにおける上記連結鎖が、現像残渣抑制性、並びに、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、炭素原子、酸素原子及び硫黄原子からなる鎖であることが好ましい。
なお、上記連結鎖を構成する原子は、2つのエチレン性不飽和結合の間を連結する最短の連結鎖を構成する原子のことであり、上記化合物のように、炭素原子に水素原子を有していても、最短の連結鎖を構成する原子は、炭素原子、酸素原子及び硫黄原子の3種類である。
The linking chain in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a chain composed of carbon atoms, oxygen atoms and sulfur atoms from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film. It is preferable to have.
In addition, the atom constituting the above-mentioned connecting chain is an atom constituting the shortest connecting chain connecting between two ethylenically unsaturated bonds, and has a hydrogen atom in a carbon atom like the above-mentioned compound. Even so, there are three types of atoms constituting the shortest connecting chain: carbon atom, oxygen atom, and sulfur atom.

上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが有する硫黄原子の数は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度の観点から、1個以上8個以下であることが好ましく、1個以上4個以下であることがより好ましく、2個以上4個以下であることが更に好ましく、2個又は3個であることが特に好ましい。 The number of sulfur atoms contained in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is preferably 1 or more and 8 or less, preferably 1 or more, from the viewpoint of suppressing development residue and moisture permeability of the obtained cured film. It is more preferably 4 or less, further preferably 2 or more and 4 or less, and particularly preferably 2 or 3.

上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aは、直鎖状であっても、分岐を有していても、環構造を有していてもよいが、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、直鎖状の化合物であることが好ましい。
また、上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aの分子量は、現像残渣抑制性、並びに、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、260以上600以下であることが好ましく、280以上500以下であることがより好ましく、340以上420以下であることが特に好ましい。
The bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A may be linear, branched, or has a ring structure, but from the viewpoint of bending resistance of the obtained cured film. , Is preferably a linear compound.
The molecular weight of the bifunctional or higher ethylenically unsaturated compound A is preferably 260 or more and 600 or less, preferably 280 or more, from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film. It is more preferably 500 or less, and particularly preferably 340 or more and 420 or less.

上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aは、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、エーテル結合を有しないことが好ましく、エステル結合以外の酸素原子を有しないことが更に好ましい。
また、上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aは、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、炭素原子、水素原子、酸素原子及び硫黄原子のみからなる化合物であることが好ましい。
更に、上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、炭素数4~16の直鎖アルキレン基を有することが好ましく、炭素数6~14の直鎖アルキレン基を有することがより好ましく、炭素数8~12の直鎖アルキレン基を有することが特に好ましい。
The bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A preferably has no ether bond, and more preferably has no oxygen atom other than an ester bond, from the viewpoint of moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film.
Further, the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is preferably a compound consisting only of a carbon atom, a hydrogen atom, an oxygen atom and a sulfur atom from the viewpoint of moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film.
Further, the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A preferably has a linear alkylene group having 4 to 16 carbon atoms from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film and bending resistance. It is more preferable to have a linear alkylene group having 6 to 14 carbon atoms, and particularly preferably to have a linear alkylene group having 8 to 12 carbon atoms.

上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、下記式(A-1)又は式(A-2)で表される化合物であることが好ましく、下記式(A-1)で表される化合物であることがより好ましい。 The bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is represented by the following formula (A-1) or formula (A-2) from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film, and bending resistance. It is preferably a compound, and more preferably a compound represented by the following formula (A-1).

Figure 0007010796000007
Figure 0007010796000007

式(A-1)及び式(A-2)中、RA1~RA4はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、LA1及びLA3はそれぞれ独立に、アルキレン基又は-LA6(SLA7nA-を表し、LA2及びLA4~LA7はそれぞれ独立に、アルキレン基を表し、nAは1~8の整数を表す。 In formulas (A-1) and (A-2), RA1 to RA4 independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and LA1 and LA3 independently represent an alkylene group or -LA6 (respectively). SL A7 ) represents nA- , LA2 and LA4 to LA7 independently represent an alkylene group, and nA represents an integer of 1 to 8.

式(A-1)及び式(A-2)におけるRA1~RA4は、反応性、及び、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、水素原子であることが好ましい。
式(A-1)におけるLA1及びLA3はそれぞれ独立に、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、炭素数2~8のアルキレン基又は-LA6(SLA7nA-であることが好ましく、炭素数2~8のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数2~4のアルキレン基であることが更に好ましく、エチレン基であることが特に好ましい。
A6及びLA7はそれぞれ独立に、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、炭素数2~8のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2~4のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基であることが更に好ましく、エチレン基であることが特に好ましい。
nAは、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、1~4の整数であることが好ましく、1~3の整数であることがより好ましく、1又は2であることが特に好ましい。
式(A-1)におけるLA2は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、炭素数2~18のアルキレン基であることが好ましく、炭素数3~18のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数4~16のアルキレン基であることが更に好ましく、炭素数6~14のアルキレン基であることが特に好ましく、炭素数8~12のアルキレン基であることが最も好ましい。
式(A-2)におけるLA4及びLA5はそれぞれ独立に、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、炭素数2~8のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2~4のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基であることが更に好ましく、エチレン基であることが特に好ましい。
A1~LA7におけるアルキレン基は、直鎖状であっても、分岐を有していても、環構造を有していてもよいが、得られる硬化膜の曲げ耐性の観点から、直鎖アルキレン基であることが好ましい。
RA1 to RA4 in the formulas (A-1) and (A-2) are preferably hydrogen atoms from the viewpoint of reactivity and bending resistance of the obtained cured film.
LA1 and LA3 in the formula ( A -1) are independently each of an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms or -LA6 (SL) from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film. A7 ) It is preferably nA −, more preferably an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms, further preferably an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, and particularly preferably an ethylene group.
LA6 and LA7 are each independently preferably an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms, preferably an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film, and bending resistance. It is more preferably a group, further preferably an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms, and particularly preferably an ethylene group.
nA is preferably an integer of 1 to 4, more preferably an integer of 1 to 3, and 1 or 2 from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film, and bending resistance. Is particularly preferred.
LA2 in the formula ( A -1) is preferably an alkylene group having 2 to 18 carbon atoms, preferably having 3 to 18 carbon atoms, from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film, and bending resistance. It is more preferably an alkylene group, further preferably an alkylene group having 4 to 16 carbon atoms, particularly preferably an alkylene group having 6 to 14 carbon atoms, and particularly preferably an alkylene group having 8 to 12 carbon atoms. Is the most preferable.
LA4 and LA5 in the formula ( A -2) are preferably alkylene groups having 2 to 8 carbon atoms independently from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film, and bending resistance. It is more preferably an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, further preferably an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms, and particularly preferably an ethylene group.
The alkylene groups in LA1 to LA7 may be linear, have branches, or have a ring structure, but are linear from the viewpoint of bending resistance of the obtained cured film. It is preferably an alkylene group.

上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aの好ましい具体例を以下に示すが、これらに限定されないことは、言うまでもない。 Preferred specific examples of the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A are shown below, but it goes without saying that the compound A is not limited thereto.

Figure 0007010796000008
Figure 0007010796000008

Figure 0007010796000009
Figure 0007010796000009

上記感光性樹脂組成物は、上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aを、1種単独で含んでいても、2種以上を含んでいてもよい。
上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aの含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、1質量%~40質量%であることが好ましく、2質量%~30質量%がより好ましく、5質量%~25質量%が特に好ましい。
The photosensitive resin composition may contain the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A alone or may contain two or more.
The content of the above bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is 1% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film and bending resistance. It is preferably ~ 40% by mass, more preferably 2% by mass to 30% by mass, and particularly preferably 5% by mass to 25% by mass.

<<エチレン性不飽和化合物B>>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和化合物として、脂環構造を有するエチレン性不飽和化合物Bを含むことが好ましい。
上記エチレン性不飽和化合物Bは、単官能エチレン性不飽和化合物であっても、多官能エチレン性不飽和化合物であってもよいが、得られる硬化膜の透湿度の観点から、多官能エチレン性不飽和化合物であることが好ましく、2~4官能エチレン性不飽和化合物であることがより好ましく、2官能エチレン性不飽和化合物であることが更に好ましく、2官能(メタ)アクリレート化合物であることが特に好ましい。
なお、上記エチレン性不飽和化合物Bは、上記2官能エチレン性不飽和化合物Aとは異なる化合物であることが好ましい。
上記エチレン性不飽和化合物Bが有するエチレン性不飽和基としては、特に制限はなく、例えば、(メタ)アクリロキシ基、(メタ)アクリルアミド基、ビニル基、アリル基、ビニルエーテル基、ビニルエステル基、スチリル基等が挙げられる。
中でも、反応性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、(メタ)アクリロキシ基であることが好ましい。
<< Ethylene unsaturated compound B >>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure preferably contains an ethylenically unsaturated compound B having an alicyclic structure as the ethylenically unsaturated compound.
The ethylenically unsaturated compound B may be a monofunctional ethylenically unsaturated compound or a polyfunctional ethylenically unsaturated compound, but from the viewpoint of moisture permeability of the obtained cured film, it is polyfunctional ethylenically. It is preferably an unsaturated compound, more preferably a 2-4 functional ethylenically unsaturated compound, even more preferably a bifunctional ethylenically unsaturated compound, and preferably a bifunctional (meth) acrylate compound. Especially preferred.
The ethylenically unsaturated compound B is preferably a compound different from the bifunctional ethylenically unsaturated compound A.
The ethylenically unsaturated group contained in the ethylenically unsaturated compound B is not particularly limited, and is, for example, a (meth) acryloxy group, a (meth) acrylamide group, a vinyl group, an allyl group, a vinyl ether group, a vinyl ester group, or a styryl. The group etc. can be mentioned.
Above all, a (meth) acryloxy group is preferable from the viewpoint of reactivity and the strength of the obtained cured film.

上記エチレン性不飽和化合物Bが有する脂環構造としては、脂肪族炭化水素環構造であっても、脂肪族複素環構造であってもよいが、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、脂肪族炭化水素環構造であることが好ましい。
また、上記エチレン性不飽和化合物Bが有する脂環構造としては、シクロアルカン環構造、ビシクロアルカン環構造、トリシクロアルカン環構造、テトラシクロアルカン環構造等が挙げられる。
具体的には、シクロペンタン環構造、シクロヘキサン環構造、アダマンタン環構造、ノルボルナン環構造、ノルボルネン環構造、イソボルナン環構造、トリシクロデカン環構造、テトラシクロドデカン環構造等が好ましく挙げられる。
中でも、上記エチレン性不飽和化合物Bが有する脂環構造としては、2環以上縮合脂環構造が好ましく、3環以上の縮合脂環構造がより好ましく、トリシクロデカン環構造が特に好ましい。
The alicyclic structure of the ethylenically unsaturated compound B may be an aliphatic hydrocarbon ring structure or an aliphatic heterocyclic structure, but from the viewpoint of moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film. Therefore, it is preferable to have an aliphatic hydrocarbon ring structure.
Examples of the alicyclic structure of the ethylenically unsaturated compound B include a cycloalkane ring structure, a bicycloalkane ring structure, a tricycloalkane ring structure, and a tetracycloalkane ring structure.
Specifically, a cyclopentane ring structure, a cyclohexane ring structure, an adamantane ring structure, a norbornane ring structure, a norbornene ring structure, an isobornane ring structure, a tricyclodecane ring structure, a tetracyclododecane ring structure and the like are preferably mentioned.
Among them, as the alicyclic structure of the ethylenically unsaturated compound B, a condensed alicyclic structure having two or more rings is preferable, a condensed alicyclic structure having three or more rings is more preferable, and a tricyclodecane ring structure is particularly preferable.

上記エチレン性不飽和化合物Bとして、具体的には、例えば、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、デカハイドロジアクリレート、イソボルニルジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカントリ(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、3,3,5-トリメチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、4-t-ブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Specific examples of the ethylenically unsaturated compound B include tricyclodecanedimethanol di (meth) acrylate, dicyclopentenyldi (meth) acrylate, dicyclopentanyldi (meth) acrylate, and decahydrodiacrylate. , Isobornyldi (meth) acrylate, tricyclodecantry (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 3,3,5-trimethylcyclohexyl (meth) acrylate, 4-t-butylcyclohexyl (meth) Examples thereof include acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, and dicyclopentenyl (meth) acrylate.

上記感光性樹脂組成物は、上記エチレン性不飽和化合物Bを、1種単独で含んでいても、2種以上を含んでいてもよい。
上記エチレン性不飽和化合物Bの含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、1質量%~50質量%であることが好ましく、5質量%~45質量%がより好ましく、10質量%~40質量%が特に好ましい。
The photosensitive resin composition may contain the ethylenically unsaturated compound B alone or in combination of two or more.
The content of the ethylenically unsaturated compound B is 1% by mass to 50% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film and bending resistance. Is preferable, 5% by mass to 45% by mass is more preferable, and 10% by mass to 40% by mass is particularly preferable.

上記感光性樹脂組成物における上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aの含有量Mと上記エチレン性不飽和化合物Bの含有量Mとの質量比M/Mの値は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、0.05~5.0であることが好ましく、0.1~2.0であることがより好ましく、0.2~1.5であることが特に好ましい。 The mass ratio MA / MB of the content MA of the bifunctional or higher ethylenically unsaturated compound A and the content MB of the ethylenically unsaturated compound B in the photosensitive resin composition is developed. From the viewpoint of residue suppression, moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film, it is preferably 0.05 to 5.0, more preferably 0.1 to 2.0, and 0.2 to 1. It is particularly preferable that it is 5.5.

<<その他のエチレン性不飽和化合物>>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和化合物として、上記2官能以上のエチレン性不飽和化合物A及び上記エチレン性不飽和化合物B以外のエチレン性不飽和化合物(その他のエチレン性不飽和化合物)を含んでいてもよい。
その他のエチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、公知のエチレン性不飽和化合物を用いることができる。
その他のエチレン性不飽和化合物が有するエチレン性不飽和基としては、特に制限はなく、公知のエチレン性不飽和基であればよい。具体的には、例えば、(メタ)アクリロキシ基、(メタ)アクリルアミド基、ビニル基、アリル基、ビニルエーテル基、ビニルエステル基、スチリル基等が挙げられる。
中でも、反応性、及び、得られる硬化膜の強度の観点から、(メタ)アクリロキシ基であることが好ましい。
<< Other ethylenically unsaturated compounds >>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure is an ethylenically unsaturated compound (other ethylenically unsaturated compounds) other than the above bifunctional or higher ethylenically unsaturated compound A and the above ethylenically unsaturated compound B as ethylenically unsaturated compounds. It may contain a saturated compound).
The other ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, and known ethylenically unsaturated compounds can be used.
The ethylenically unsaturated group contained in the other ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, and may be any known ethylenically unsaturated group. Specific examples thereof include (meth) acryloxy group, (meth) acrylamide group, vinyl group, allyl group, vinyl ether group, vinyl ester group, styryl group and the like.
Above all, a (meth) acryloxy group is preferable from the viewpoint of reactivity and the strength of the obtained cured film.

その他のエチレン性不飽和化合物としては、単官能エチレン性不飽和化合物であっても、多官能エチレン性不飽和化合物であってもよいが、多官能エチレン性不飽和化合物であることが好ましい。
上記感光性樹脂組成物における単官能エチレン性不飽和化合物の含有量は、現像残渣抑制性、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、単官能エチレン性不飽和化合物を含まないが、又は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、0質量%を超え5質量%以下であることが好ましく、単官能エチレン性不飽和化合物を含まないが、又は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、0質量%を超え1質量%以下であることがより好ましく、単官能エチレン性不飽和化合物を含まないが、又は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、0質量%を超え0.5質量%以下であることが更に好ましく、単官能エチレン性不飽和化合物を含まないことが特に好ましい。
The other ethylenically unsaturated compound may be a monofunctional ethylenically unsaturated compound or a polyfunctional ethylenically unsaturated compound, but a polyfunctional ethylenically unsaturated compound is preferable.
The content of the monofunctional ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition does not contain the monofunctional ethylenically unsaturated compound from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability of the obtained cured film and bending resistance. Alternatively, the content is preferably more than 0% by mass and 5% by mass or less with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition, and does not contain a monofunctional ethylenically unsaturated compound, or all of the photosensitive resin composition. It is more preferably more than 0% by mass and 1% by mass or less with respect to the solid content, and it does not contain a monofunctional ethylenically unsaturated compound, or 0% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. It is more preferably more than 0.5% by mass or less, and it is particularly preferable that it does not contain a monofunctional ethylenically unsaturated compound.

また、本開示に係る感光性樹脂組成物は、現像残渣抑制性、及び、得られる硬化膜の透湿度の観点から、エチレン性不飽和化合物として、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。
酸基としては、例えば、リン酸基、スルホン酸基、及び、カルボキシ基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、例えば、酸基を有する3~4官能のエチレン性不飽和化合物(ペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート(PETA)骨格にカルボキシ基を導入したもの(酸価=80mgKOH/g~120mgKOH/g))、酸基を有する5~6官能のエチレン性不飽和化合物(ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(DPHA)骨格にカルボキシ基を導入したもの(酸価=25mgKOH/g~70mgKOH/g))等が挙げられる。
これら酸基を有する3官能以上のエチレン性不飽和化合物は、必要に応じ、酸基を有する2官能のエチレン性不飽和化合物と併用してもよい。
Further, the photosensitive resin composition according to the present disclosure contains an ethylenically unsaturated compound having an acid group as an ethylenically unsaturated compound from the viewpoint of suppressing development residue and moisture permeability of the obtained cured film. Is preferable.
Examples of the acid group include a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, and a carboxy group, and a carboxy group is preferable.
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an acid group include a 3- to 4-functional ethylenically unsaturated compound having an acid group (pentaerythritol tri and tetraacrylate (PETA)) having a carboxy group introduced into the skeleton (acid value =). 80 mgKOH / g to 120 mgKOH / g)), a 5- to 6-functional ethylenically unsaturated compound having an acid group (dipentaerythritol penta and hexaacrylate (DPHA)) with a carboxy group introduced into the skeleton (acid value = 25 mgKOH / g) ~ 70 mgKOH / g))) and the like.
These trifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compounds having an acid group may be used in combination with a bifunctional ethylenically unsaturated compound having an acid group, if necessary.

酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、カルボキシ基を含有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種が好ましく、カルボキシ基を含有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物がより好ましく、カルボキシ基を含有する2官能以上の(メタ)アクリレート化合物が特に好ましい。上記態様であると、現像性、及び、硬化膜の強度が高まる。
カルボキシ基を含有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物は、特に制限されず、公知の化合物の中から適宜選択できる。
カルボキシ基を含有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、例えば、アロニックス(登録商標)TO-2349(東亞合成(株)製)、アロニックスM-520(東亞合成(株)製)、又は、アロニックスM-510(東亞合成(株)製)を好ましく用いることができる。
As the ethylenically unsaturated compound having an acid group, at least one selected from the group consisting of a bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound containing a carboxy group and a carboxylic acid anhydride thereof is preferable, and the compound containing a carboxy group 2 A functional or higher ethylenically unsaturated compound is more preferable, and a bifunctional or higher functional (meth) acrylate compound containing a carboxy group is particularly preferable. In the above aspect, the developability and the strength of the cured film are enhanced.
The bifunctional or higher functional unsaturated compound containing a carboxy group is not particularly limited and can be appropriately selected from known compounds.
Examples of the bifunctional or higher functional unsaturated compound containing a carboxy group include Aronix (registered trademark) TO-2349 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), Aronix M-520 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), or , Aronix M-510 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) can be preferably used.

酸基を有するエチレン性不飽和化合物は、特開2004-239942号公報の段落0025~0030に記載の酸基を有する重合性化合物であることも好ましい。この公報の内容は本明細書に組み込まれる。 The ethylenically unsaturated compound having an acid group is also preferably a polymerizable compound having an acid group described in paragraphs 0025 to 0030 of JP-A-2004-239942. The contents of this publication are incorporated herein.

その他のエチレン性不飽和化合物としては、ウレタン(メタ)アクリレート化合物を含むことが好ましい。ウレタン(メタ)アクリレート化合物を含む場合の含有量は、感光性樹脂組成物に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物100質量部に対し、10質量部以上であることが好ましく、20質量部以上であることがより好ましい。また、上限値は、50質量部以下であることが好ましい。ウレタン(メタ)アクリレート化合物は、エチレン性不飽和基の官能基数、すなわち(メタ)アクリロイル基の数が3官能以上であることが好ましく、4官能以上であることがより好ましい。 The other ethylenically unsaturated compound preferably contains a urethane (meth) acrylate compound. When the urethane (meth) acrylate compound is contained, the content is preferably 10 parts by mass or more, preferably 20 parts by mass or more, based on 100 parts by mass of all the ethylenically unsaturated compounds contained in the photosensitive resin composition. It is more preferable to have. The upper limit is preferably 50 parts by mass or less. In the urethane (meth) acrylate compound, the number of functional groups of the ethylenically unsaturated group, that is, the number of (meth) acryloyl groups is preferably trifunctional or higher, and more preferably tetrafunctional or higher.

上記感光性樹脂組成物は、上記酸基を有するエチレン性不飽和化合物を、1種単独で含んでいても、2種以上を含んでいてもよい。
上記酸基を有するエチレン性不飽和化合物の含有量は、現像残渣抑制性、及び、得られる硬化膜の透湿度の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、1質量%~50質量%が好ましく、1質量%~20質量%がより好ましく、1質量%~10質量%が更に好ましい。
The photosensitive resin composition may contain one kind of ethylenically unsaturated compound having an acid group alone or two or more kinds thereof.
The content of the ethylenically unsaturated compound having an acid group is 1% by mass to 50% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of suppressing the development residue and the moisture permeability of the obtained cured film. It is preferably mass%, more preferably 1% by mass to 20% by mass, still more preferably 1% by mass to 10% by mass.

上記感光性樹脂組成物は、上記その他エチレン性不飽和化合物を、1種単独で含んでいても、2種以上を含んでいてもよい。
また、上記酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むその他のエチレン性化合物の総含有量としては、現像残渣抑制性、及び、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、1質量%~50質量%が好ましく、1質量%~30質量%がより好ましく、1質量%~20質量%が更に好ましく、1質量%~10質量%が特に好ましい。
The photosensitive resin composition may contain the above-mentioned other ethylenically unsaturated compound alone or may contain two or more kinds.
The total content of the other ethylenic compounds including the ethylenically unsaturated compound having an acid group is a photosensitive resin from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film. With respect to the total solid content of the composition, 1% by mass to 50% by mass is preferable, 1% by mass to 30% by mass is more preferable, 1% by mass to 20% by mass is further preferable, and 1% by mass to 10% by mass is particularly preferable. preferable.

上記エチレン性不飽和化合物の総含有量は、現像残渣抑制性、及び、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、1質量%~70質量%が好ましく、10質量%~70質量%がより好ましく、20質量%~60質量%が更に好ましく、20質量%~50質量%が特に好ましい。 The total content of the ethylenically unsaturated compound is 1% by mass to 70% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of suppressing the development residue and the moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film. It is preferably mass%, more preferably 10% by mass to 70% by mass, further preferably 20% by mass to 60% by mass, and particularly preferably 20% by mass to 50% by mass.

<バインダーポリマー>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、バインダーポリマーを含む。
上記バインダーポリマーは、アルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。
上記バインダーポリマーの酸価は、特に制限はないが、現像性の観点から、酸価60mgKOH/g以上のバインダーポリマーであることが好ましく、酸価60mgKOH/g以上のアルカリ可溶性樹脂であることがより好ましく、酸価60mgKOH/g以上のカルボキシル基含有アクリル樹脂であることが特に好ましい。
バインダーポリマーが、酸価を有することで、加熱により酸と反応可能な化合物と熱架橋し、3次元架橋密度を高めることができると推定される。また、カルボキシ基含有アクリル樹脂のカルボキシ基が無水化され、疎水化することにより湿熱耐性の改善に寄与すると推定される。
<Binder polymer>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure contains a binder polymer.
The binder polymer is preferably an alkali-soluble resin.
The acid value of the binder polymer is not particularly limited, but from the viewpoint of developability, it is preferably a binder polymer having an acid value of 60 mgKOH / g or more, and more preferably an alkali-soluble resin having an acid value of 60 mgKOH / g or more. A carboxyl group-containing acrylic resin having an acid value of 60 mgKOH / g or more is preferable, and a carboxyl group-containing acrylic resin is particularly preferable.
It is presumed that the binder polymer having an acid value can be thermally crosslinked with a compound capable of reacting with an acid by heating to increase the three-dimensional crosslink density. Further, it is presumed that the carboxy group of the carboxy group-containing acrylic resin is anhydrousized and made hydrophobic, which contributes to the improvement of wet heat resistance.

酸価60mgKOH/g以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂(以下、特定重合体Aと称することがある。)としては、上記酸価の条件を満たす限りにおいて特に制限はなく、公知の樹脂から適宜選択して用いることができる。
例えば、特開2011-95716号公報の段落0025に記載のポリマーのうちの酸価60mgKOH/g以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂であるバインダーポリマー、特開2010-237589号公報の段落0033~0052に記載のポリマーのうちの酸価60mgKOH/g以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂等が、本実施形態における特定重合体Aとして好ましく用いることができる。
ここで、(メタ)アクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸に由来する構成単位及び(メタ)アクリル酸エステルに由来する構成単位の少なくとも一方を含む樹脂を指す。
(メタ)アクリル樹脂中における(メタ)アクリル酸に由来する構成単位及び(メタ)アクリル酸エステルに由来する構成単位の合計割合は、30モル%以上が好ましく、50モル%以上がより好ましい。
The carboxy group-containing acrylic resin having an acid value of 60 mgKOH / g or more (hereinafter, may be referred to as Specified Polymer A) is not particularly limited as long as the above acid value conditions are satisfied, and is appropriately selected from known resins. Can be used.
For example, a binder polymer which is a carboxy group-containing acrylic resin having an acid value of 60 mgKOH / g or more among the polymers described in paragraphs 0025 of JP-A-2011-95716, described in paragraphs 0033 to 0052 of JP-A-2010-237589. Among the polymers of the above, a carboxy group-containing acrylic resin having an acid value of 60 mgKOH / g or more can be preferably used as the specific polymer A in the present embodiment.
Here, the (meth) acrylic resin refers to a resin containing at least one of a structural unit derived from (meth) acrylic acid and a structural unit derived from (meth) acrylic acid ester.
The total ratio of the structural unit derived from (meth) acrylic acid and the structural unit derived from (meth) acrylic acid ester in the (meth) acrylic resin is preferably 30 mol% or more, more preferably 50 mol% or more.

特定重合体Aにおける、カルボキシ基を有するモノマーの共重合比の好ましい範囲は、特定重合体A100質量%に対して、5質量%~50質量%であり、より好ましくは5質量%~40質量%、更に好ましくは20質量%~30質量%の範囲内である。
特定重合体Aは、反応性基を有していてもよく、反応性基を特定重合体Aに導入する手段としては、水酸基、カルボキシ基、第一級アミノ基、第二級アミノ基、アセトアセチル基、スルホン酸などに、エポキシ化合物、ブロックイソシアネート、イソシアネート、ビニルスルホン化合物、アルデヒド化合物、メチロール化合物、カルボン酸無水物などを反応させる方法が挙げられる。
これらの中でも、反応性基としては、ラジカル重合性基であることが好ましく、エチレン性不飽和基であることがより好ましく、(メタ)アクリロキシ基であることが特に好ましい。
The preferable range of the copolymerization ratio of the monomer having a carboxy group in the specific polymer A is 5% by mass to 50% by mass, and more preferably 5% by mass to 40% by mass with respect to 100% by mass of the specific polymer A. More preferably, it is in the range of 20% by mass to 30% by mass.
The specific polymer A may have a reactive group, and as means for introducing the reactive group into the specific polymer A, a hydroxyl group, a carboxy group, a primary amino group, a secondary amino group, and an aceto are used. Examples thereof include a method of reacting an acetyl group, a sulfonic acid or the like with an epoxy compound, a blocked isocyanate, an isocyanate, a vinyl sulfone compound, an aldehyde compound, a methylol compound, a carboxylic acid anhydride or the like.
Among these, the reactive group is preferably a radically polymerizable group, more preferably an ethylenically unsaturated group, and particularly preferably a (meth) acryloxy group.

また、バインダーポリマー、特に特定重合体Aは、硬化後の透湿度及び強度の観点から、芳香環を有する構成単位を有することが好ましい。
芳香環を有する構成単位を形成するモノマーとしては、スチレン、tert-ブトキシスチレン、メチルスチレン、α-メチルスチレン、ベンジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
芳香環を有する構成単位としては、後述する式P-2で表される構成単位を少なくとも1種含有することが好ましい。また、芳香環を有する構成単位としては、スチレン化合由来の構成単位であることが好ましい。
Further, the binder polymer, particularly the specific polymer A, preferably has a structural unit having an aromatic ring from the viewpoint of moisture permeability and strength after curing.
Examples of the monomer forming a structural unit having an aromatic ring include styrene, tert-butoxystyrene, methylstyrene, α-methylstyrene, benzyl (meth) acrylate and the like.
As the structural unit having an aromatic ring, it is preferable to contain at least one structural unit represented by the formula P-2 described later. Further, the structural unit having an aromatic ring is preferably a structural unit derived from a styrene compound.

バインダーポリマーが芳香環を有する構成単位を含有する場合、芳香環を有する構成単位の含有量は、バインダーポリマーの全質量に対し、5質量%~90質量%であることが好ましく、10質量%~70質量%であることがより好ましく、20質量%~50質量%であることが更に好ましい。 When the binder polymer contains a structural unit having an aromatic ring, the content of the structural unit having an aromatic ring is preferably 5% by mass to 90% by mass, preferably 10% by mass or more, based on the total mass of the binder polymer. It is more preferably 70% by mass, and even more preferably 20% by mass to 50% by mass.

また、バインダーポリマー、特に特定重合体Aは、タック性、及び、硬化後の強度の観点から、脂肪族環式骨格を有する構成単位を有することが好ましい。
脂肪族環式骨格を有する構成単位を形成するモノマーとして、具体的には、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
上記脂肪族環式骨格を有する構成単位が有する脂肪族環としては、ジシクロペンタン環、シクロヘキサン環、イソボロン環、トリシクロデカン環等が好ましく挙げられる。中でも、トリシクロデカン環が特に好ましく挙げられる。
Further, the binder polymer, particularly the specific polymer A, preferably has a structural unit having an aliphatic cyclic skeleton from the viewpoint of tackiness and strength after curing.
Specific examples of the monomer forming a structural unit having an aliphatic cyclic skeleton include dicyclopentanyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, and isobornyl (meth) acrylate.
Preferred examples of the aliphatic ring contained in the constituent unit having an aliphatic cyclic skeleton include a dicyclopentane ring, a cyclohexane ring, an isovoron ring, and a tricyclodecane ring. Among them, the tricyclodecane ring is particularly preferable.

バインダーポリマーが脂肪族環式骨格を有する構成単位を含有する場合、脂肪族環式骨格を有する構成単位の含有量は、バインダーポリマーの全質量に対し、5質量%~90質量%であることが好ましく、10質量%~80質量%であることがより好ましく、20質量%~70質量%であることが更に好ましい。 When the binder polymer contains a structural unit having an alicyclic skeleton, the content of the structural unit having an alicyclic skeleton may be 5% by mass to 90% by mass with respect to the total mass of the binder polymer. It is preferably 10% by mass to 80% by mass, more preferably 20% by mass to 70% by mass.

また、バインダーポリマー、特に特定重合体Aは、タック性、及び、硬化後の強度の観点から、エチレン性不飽和基を有する構成単位を有することが好ましく、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位を有することがより好ましい。
なお、本開示において、「主鎖」とは樹脂を構成する高分子化合物の分子中で相対的に最も長い結合鎖を表し、「側鎖」とは主鎖から枝分かれしている原子団を表す。
エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリル基が好ましく、(メタ)アクリロキシ基がより好ましい。
バインダーポリマーがエチレン性不飽和基を有する構成単位を含有する場合、エチレン性不飽和基を有する構成単位の含有量は、バインダーポリマーの全質量に対し、5質量%~70質量%であることが好ましく、10質量%~50質量%であることがより好ましく、20質量%~40質量%であることが更に好ましい。
Further, the binder polymer, particularly the specific polymer A, preferably has a structural unit having an ethylenically unsaturated group from the viewpoint of tackiness and strength after curing, and has an ethylenically unsaturated group in the side chain. It is more preferable to have a structural unit.
In the present disclosure, the "main chain" represents a relatively longest bound chain among the molecules of the polymer compound constituting the resin, and the "side chain" represents an atomic group branched from the main chain. ..
As the ethylenically unsaturated group, a (meth) acrylic group is preferable, and a (meth) acryloyl group is more preferable.
When the binder polymer contains a structural unit having an ethylenically unsaturated group, the content of the structural unit having an ethylenically unsaturated group may be 5% by mass to 70% by mass with respect to the total mass of the binder polymer. It is preferably 10% by mass to 50% by mass, more preferably 20% by mass to 40% by mass.

特定重合体Aとしては、以下に示す化合物Aが好ましい。なお、以下に示す各構成単位の含有比率は目的に応じて適宜変更することができる。 As the specific polymer A, the compound A shown below is preferable. The content ratio of each structural unit shown below can be appropriately changed according to the purpose.

Figure 0007010796000010
Figure 0007010796000010

本開示に用いられるバインダーポリマーの酸価は、60mgKOH/g以上であることが好ましく、60mgKOH/g~200mgKOH/gであることがより好ましく、60mgKOH/g~150mgKOH/gであることが更に好ましく、60mgKOH/g~110mgKOH/gであることが特に好ましい。
本明細書において、酸価は、JIS K0070(1992年)に記載の方法に従って、測定された値を意味する。
The acid value of the binder polymer used in the present disclosure is preferably 60 mgKOH / g or more, more preferably 60 mgKOH / g to 200 mgKOH / g, still more preferably 60 mgKOH / g to 150 mgKOH / g. It is particularly preferably 60 mgKOH / g to 110 mgKOH / g.
In the present specification, the acid value means a value measured according to the method described in JIS K0070 (1992).

上記バインダーポリマーが、酸価60mgKOH/g以上のバインダーポリマーを含むことで、既述の利点に加え、後述する第二の樹脂層が酸基を有するアクリル樹脂を含有することにより、感光性層と第二の樹脂層との層間密着性を高めることができる。
特定重合体Aの重量平均分子量は、1万以上が好ましく、2万~10万がより好ましい。
When the binder polymer contains a binder polymer having an acid value of 60 mgKOH / g or more, in addition to the above-mentioned advantages, the second resin layer described later contains an acrylic resin having an acid group to form a photosensitive layer. It is possible to improve the interlayer adhesion with the second resin layer.
The weight average molecular weight of the specific polymer A is preferably 10,000 or more, more preferably 20,000 to 100,000.

また、上記バインダーポリマーは、上記特定ポリマー以外にも、任意の膜形成樹脂を目的に応じて適宜選択して用いることができる。転写フィルムを静電容量型入力装置の電極保護膜として用いる観点から、表面硬度、耐熱性が良好な膜が好ましく、アルカリ可溶性樹脂がより好ましく、アルカリ可溶性樹脂の中でも、公知の感光性シロキサン樹脂材料などを好ましく挙げることができる。 In addition to the specific polymer, any film-forming resin can be appropriately selected and used as the binder polymer according to the purpose. From the viewpoint of using the transfer film as an electrode protective film for a capacitance type input device, a film having good surface hardness and heat resistance is preferable, an alkali-soluble resin is more preferable, and among the alkali-soluble resins, a known photosensitive siloxane resin material. Etc. can be preferably mentioned.

本開示に用いられるバインダーポリマーとしては、カルボン酸無水物構造を有する構成単位を含む重合体(以下、特定重合体Bとも称する。)を含むことが好ましい。特定重合体Bを含むことにより、現像性、及び、硬化後の強度により優れる。
カルボン酸無水物構造は、鎖状カルボン酸無水物構造及び環状カルボン酸無水物構造のいずれであってもよいが、環状カルボン酸無水物構造であることが好ましい。
環状カルボン酸無水物構造の環としては、5~7員環が好ましく、5員環又は6員環がより好ましく、5員環が更に好ましい。
また、環状カルボン酸無水物構造は、他の環構造と縮環又は結合して多環構造を形成していてもよいが、多環構造を形成していないことが好ましい。
The binder polymer used in the present disclosure preferably contains a polymer containing a structural unit having a carboxylic acid anhydride structure (hereinafter, also referred to as a specific polymer B). By containing the specific polymer B, it is more excellent in developability and strength after curing.
The carboxylic acid anhydride structure may be either a chain carboxylic acid anhydride structure or a cyclic carboxylic acid anhydride structure, but a cyclic carboxylic acid anhydride structure is preferable.
As the ring having a cyclic carboxylic acid anhydride structure, a 5- to 7-membered ring is preferable, a 5-membered ring or a 6-membered ring is more preferable, and a 5-membered ring is further preferable.
Further, the cyclic carboxylic acid anhydride structure may be condensed or bonded to another ring structure to form a polycyclic structure, but it is preferable that the cyclic carboxylic acid anhydride structure does not form a polycyclic structure.

環状カルボン酸無水物構造に他の環構造が縮環又は結合して多環構造を形成している場合、多環構造としては、ビシクロ構造又はスピロ構造が好ましい。
多環構造において、環状カルボン酸無水物構造に対し縮環又は結合している他の環構造の数としては、1~5が好ましく、1~3がより好ましい。
他の環構造としては、炭素数3~20の環状の炭化水素基、炭素数3~20のヘテロ環基等が挙げられる。
ヘテロ環基としては、特に限定されないが、脂肪族ヘテロ環基及び芳香族ヘテロ環基が挙げられる。
また、ヘテロ環基としては、5員環又は6員環が好ましく、5員環が特に好ましい。
また、ヘテロ環基としては、酸素原子を少なくとも一つ含有するヘテロ環基(例えば、オキソラン環、オキサン環、ジオキサン環等)が好ましい。
When another ring structure is condensed or bonded to the cyclic carboxylic acid anhydride structure to form a polycyclic structure, the polycyclic structure is preferably a bicyclo structure or a spiro structure.
In the polycyclic structure, the number of other ring structures condensed or bonded to the cyclic carboxylic acid anhydride structure is preferably 1 to 5, and more preferably 1 to 3.
Examples of the other ring structure include a cyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms and a heterocyclic group having 3 to 20 carbon atoms.
The heterocyclic group is not particularly limited, and examples thereof include an aliphatic heterocyclic group and an aromatic heterocyclic group.
Further, as the heterocyclic group, a 5-membered ring or a 6-membered ring is preferable, and a 5-membered ring is particularly preferable.
Further, as the heterocyclic group, a heterocyclic group containing at least one oxygen atom (for example, an oxoran ring, an oxane ring, a dioxane ring, etc.) is preferable.

カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、下記式P-1で表される化合物から水素原子を2つ除いた2価の基を主鎖中に含む構成単位であるか、又は、下記式P-1で表される化合物から水素原子を1つ除いた1価の基が主鎖に対して直接又は2価の連結基を介して結合している構成単位であることが好ましい。 The structural unit having a carboxylic acid anhydride structure is a structural unit containing a divalent group obtained by removing two hydrogen atoms from the compound represented by the following formula P-1 in the main chain, or the following formula P. It is preferable that the monovalent group obtained by removing one hydrogen atom from the compound represented by -1 is a structural unit bonded directly to the main chain or via a divalent linking group.

Figure 0007010796000011
Figure 0007010796000011

式P-1中、RA1aは置換基を表し、n1a個のRA1aは、同一でも異なっていてもよい。
1aは、-C(=O)-O-C(=O)-を含む環を形成する2価の基を表す。n1aは0以上の整数を表す。
In the formula P-1, RA1a represents a substituent, and n1a RA1a may be the same or different.
Z 1a represents a divalent group forming a ring containing —C (= O) —OC (= O) —. n 1a represents an integer of 0 or more.

A1aで表される置換基としては、上述したカルボン酸無水物構造が有していてもよい置換基と同様のものが挙げられ、好ましい範囲も同様である。 Examples of the substituent represented by RA1a include the same substituents that the above-mentioned carboxylic acid anhydride structure may have, and the preferred range is also the same.

1aとしては、炭素数2~4のアルキレン基が好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基がより好ましく、炭素数2のアルキレン基が特に好ましい。 As Z 1a , an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms is preferable, an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms is more preferable, and an alkylene group having 2 carbon atoms is particularly preferable.

式P-1で表される部分構造は、他の環構造と縮環又は結合して多環構造を形成していてもよいが、多環構造を形成していないことが好ましい。
ここでいう他の環構造としては、上述した、カルボン酸無水物構造と縮環又は結合してもよい他の環構造と同様のものが挙げられ、好ましい範囲も同様である。
The partial structure represented by the formula P-1 may be condensed or bonded to another ring structure to form a polycyclic structure, but it is preferable that the polycyclic structure is not formed.
Examples of the other ring structure referred to here include those similar to the above-mentioned other ring structures that may be condensed or bonded to the carboxylic acid anhydride structure, and the preferred range is also the same.

1aは、0以上の整数を表す。
1aが炭素数2~4のアルキレン基を表す場合、n1aは0~4の整数が好ましく、0~2の整数がより好ましく、0が更に好ましい。
1aが2以上の整数を表す場合、複数存在するRA1aは、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在するRA1aは、互いに結合して環を形成してもよいが、互いに結合して環を形成していないことが好ましい。
n 1a represents an integer of 0 or more.
When Z 1a represents an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, n 1a is preferably an integer of 0 to 4, more preferably an integer of 0 to 2, and even more preferably 0.
When n 1a represents an integer of 2 or more, a plurality of RA1a may be the same or different. Further, although a plurality of RA1a may be bonded to each other to form a ring, it is preferable that the RA1a are not bonded to each other to form a ring.

カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、不飽和カルボン酸無水物に由来する構成単位であることが好ましく、不飽和環式カルボン酸無水物に由来する構成単位であることがより好ましく、不飽和脂肪族環式カルボン酸無水物に由来する構成単位であることが更に好ましく、無水マレイン酸又は無水イタコン酸に由来する構成単位であることが更に好ましく、無水マレイン酸に由来する構成単位であることが特に好ましい。 The structural unit having a carboxylic acid anhydride structure is preferably a structural unit derived from unsaturated carboxylic acid anhydride, more preferably a structural unit derived from unsaturated cyclic carboxylic acid anhydride, and unsaturated. It is more preferably a structural unit derived from an aliphatic ring-type carboxylic acid anhydride, further preferably a structural unit derived from maleic anhydride or itaconic anhydride, and a structural unit derived from maleic anhydride. Is particularly preferable.

以下、カルボン酸無水物構造を有する構成単位の具体例を挙げるが、カルボン酸無水物構造を有する構成単位はこれらの具体例に限定されるものではない。
下記の構成単位中、Rxは、水素原子、メチル基、CHOH基、又はCF基を表し、Meは、メチル基を表す。
Hereinafter, specific examples of the structural unit having a carboxylic acid anhydride structure will be given, but the structural unit having a carboxylic acid anhydride structure is not limited to these specific examples.
In the following structural units, Rx represents a hydrogen atom, a methyl group, a CH 2 OH group, or CF 3 groups, and Me represents a methyl group.

Figure 0007010796000012
Figure 0007010796000012

Figure 0007010796000013
Figure 0007010796000013

カルボン酸無水物構造を有する構成単位としては、上記式a2-1~式a2-21のいずれかで表される構成単位のうちの少なくとも1種であることが好ましく、上記式a2-1~式a2-21のいずれかで表される構成単位のうちの1種であることがより好ましい。 The structural unit having a carboxylic acid anhydride structure is preferably at least one of the structural units represented by any of the above formulas a2-1 to a2-21, and is preferably the above formulas a2-1 to a2-1. It is more preferable that it is one of the structural units represented by any of a2-21.

カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、現像性、及び、得られる硬化膜の透湿度の観点から、式a2-1で表される構成単位及び式a2-2で表される構成単位の少なくとも一方を含むことが好ましく、式a2-1で表される構成単位を含むことがより好ましい。 The structural unit having a carboxylic acid anhydride structure is at least the structural unit represented by the formula a2-1 and the structural unit represented by the formula a2-2 from the viewpoint of developability and moisture permeability of the obtained cured film. It is preferable to include one, and it is more preferable to include a structural unit represented by the formula a2-1.

特定重合体Bにおけるカルボン酸無水物構造を有する構成単位の含有量(2種以上である場合には総含有量。以下同じ。)は、特定重合体Bの全量に対し、0モル%~60モル%であることが好ましく、5モル%~40モル%であることがより好ましく、10モル%~35モル%であることが更に好ましい。
なお、本開示において、「構成単位」の含有量をモル比で規定する場合、当該「構成単位」は「モノマー単位」と同義であるものとする。また、本開示において上記「モノマー単位」は、高分子反応等により重合後に修飾されていてもよい。以下においても同様である。
The content of the structural unit having a carboxylic acid anhydride structure in the specific polymer B (total content in the case of two or more kinds; the same applies hereinafter) is 0 mol% to 60 with respect to the total amount of the specific polymer B. It is preferably mol%, more preferably 5 mol% to 40 mol%, still more preferably 10 mol% to 35 mol%.
In the present disclosure, when the content of the "constituent unit" is specified by the molar ratio, the "constituent unit" shall be synonymous with the "monomer unit". Further, in the present disclosure, the above-mentioned "monomer unit" may be modified after polymerization by a polymer reaction or the like. The same applies to the following.

特定重合体Bは、下記式P-2で表される構成単位を少なくとも1種含有することが好ましい。これにより、得られる硬化膜の透湿度がより低くなり、また、強度がより向上する。 The specific polymer B preferably contains at least one structural unit represented by the following formula P-2. As a result, the moisture permeability of the obtained cured film becomes lower, and the strength is further improved.

Figure 0007010796000014
Figure 0007010796000014

式P-2中、RP1は、水酸基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、カルボキシ基、又はハロゲン原子を表し、RP2は、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、nPは0~5の整数を表す。nPが2以上の整数である場合、2つ以上存在するRP1は、同一であっても異なっていてもよい。 In formula P -2, RP1 represents a hydroxyl group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, a carboxy group, or a halogen atom, RP2 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, and nP represents 0 to 5. Represents an integer of. When nP is an integer of 2 or more, the RP1s existing in 2 or more may be the same or different.

P1としては、炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~12のアリール基、炭素数1~10のアルコキシ基、カルボキシ基、F原子、Cl原子、Br原子、又はI原子であることが好ましく、炭素数1~4のアルキル基、フェニル基、炭素数1~4のアルコキシ基、Cl原子、又はBr原子であることがより好ましい。
P2としては、水素原子、炭素数1~10のアルキル基、又は炭素原子6~12のアリール基であることが好ましく、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基であることがより好ましく、水素原子、メチル基、又はエチル基であることが更に好ましく、水素原子であることが特に好ましい。
The RP1 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, a carboxy group, an F atom, a Cl atom, a Br atom, or an I atom. Is preferable, and it is more preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a phenyl group, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, a Cl atom, or a Br atom.
The RP2 is preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. It is more preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group, and particularly preferably a hydrogen atom.

nPは、0~3の整数であることが好ましく、0又は1であることがより好ましく、0であることが更に好ましい。 nP is preferably an integer of 0 to 3, more preferably 0 or 1, and even more preferably 0.

式P-2で表される構成単位としては、スチレン化合物に由来する構成単位であることが好ましい。
スチレン化合物としては、スチレン、p-メチルスチレン、α-メチルスチレン、α,p-ジメチルスチレン、p-エチルスチレン、p-t-ブチルスチレン、1,1-ジフェニルエチレン等が挙げられ、スチレン又はα-メチルスチレンが好ましく、スチレンが特に好ましい。
式P-2で表される構成単位を形成するためのスチレン化合物は、1種のみであっても2種以上であってもよい。
The structural unit represented by the formula P-2 is preferably a structural unit derived from a styrene compound.
Examples of the styrene compound include styrene, p-methylstyrene, α-methylstyrene, α, p-dimethylstyrene, p-ethylstyrene, pt-butylstyrene, 1,1-diphenylethylene and the like, and styrene or α. -Methylstyrene is preferred, and styrene is particularly preferred.
The styrene compound for forming the structural unit represented by the formula P-2 may be only one kind or two or more kinds.

特定重合体Bが式P-2で表される構成単位を含有する場合、特定重合体Bにおける式P-2で表される構成単位の含有量(2種以上である場合には総含有量。以下同じ。)は、特定重合体Bの全量に対し、5モル%~90モル%であることが好ましく、30モル%~90モル%であることがより好ましく、40モル%~90モル%であることが更に好ましい。 When the specific polymer B contains a structural unit represented by the formula P-2, the content of the structural unit represented by the formula P-2 in the specific polymer B (in the case of two or more kinds, the total content). The same applies hereinafter.) Is preferably 5 mol% to 90 mol%, more preferably 30 mol% to 90 mol%, and 40 mol% to 90 mol% with respect to the total amount of the specific polymer B. Is more preferable.

特定重合体Bは、カルボン酸無水物構造を有する構成単位及び式P-2で表される構成単位以外のその他の構成単位を少なくとも1種含んでいてもよい。
その他の構成単位は、酸基を含有しないことが好ましい。
その他の構成単位としては特に限定されないが、単官能エチレン性不飽和化合物に由来する構成単位が挙げられる。
上記単官能エチレン性不飽和化合物としては、公知の化合物を特に限定なく用いることができ、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、カルビトール(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸誘導体;N-ビニルピロリドン、N-ビニルカプロラクタム等のN-ビニル化合物;アリルグリシジルエーテル等のアリル化合物の誘導体;等が挙げられる。
The specific polymer B may contain at least one structural unit having a carboxylic acid anhydride structure and other structural units other than the structural unit represented by the formula P-2.
The other structural units preferably do not contain an acid group.
The other structural units are not particularly limited, and examples thereof include structural units derived from monofunctional ethylenically unsaturated compounds.
As the monofunctional ethylenically unsaturated compound, known compounds can be used without particular limitation, and for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) can be used. ) (Meta) acrylic acid derivatives such as acrylate, carbitol (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate; N-vinyl such as N-vinylpyrrolidone and N-vinylcaprolactam. Compounds; derivatives of allyl compounds such as allyl glycidyl ether; and the like.

特定重合体Bにおけるその他の構成単位の含有量(2種以上である場合には総含有量)は、特定重合体Bの全量に対し、10質量%~100質量%であることが好ましく、50質量%~100質量%であることがより好ましい。 The content of the other structural units in the specific polymer B (total content in the case of two or more kinds) is preferably 10% by mass to 100% by mass, preferably 50% by mass, based on the total amount of the specific polymer B. More preferably, it is from% by mass to 100% by mass.

バインダーポリマーの重量平均分子量は、特に制限はないが、3,000を超えることが好ましく、3,000を超え60,000以下であることがより好ましく、5,000~50,000であることが更に好ましい。 The weight average molecular weight of the binder polymer is not particularly limited, but is preferably more than 3,000, more preferably more than 3,000 and not more than 60,000, and preferably 5,000 to 50,000. More preferred.

バインダーポリマーは、1種単独で使用しても、2種以上を含有してもよい。
バインダーポリマーの含有量は、得られる硬化膜の強度、及び、転写フィルムにおけるハンドリング性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、10質量%~90質量%であることが好ましく、20質量%以上80質量%以下であることがより好ましく、30質量%以上70質量%以下であることが更に好ましい。
The binder polymer may be used alone or may contain two or more kinds.
The content of the binder polymer is preferably 10% by mass to 90% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of the strength of the obtained cured film and the handleability in the transfer film. It is more preferably 20% by mass or more and 80% by mass or less, and further preferably 30% by mass or more and 70% by mass or less.

<光重合開始剤>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤としては特に制限はなく、公知の光重合開始剤を用いることができる。
光重合開始剤としては、オキシムエステル構造を有する光重合開始剤(以下、「オキシム系光重合開始剤」ともいう。)、α-アミノアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤(以下、「α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤」ともいう。)、α-ヒドロキシアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤(以下、「α-ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤」ともいう。)、アシルフォスフィンオキサイド構造を有する光重合開始剤(以下、「アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤」ともいう。)、N-フェニルグリシン構造を有する光重合開始剤(以下、「N-フェニルグリシン系光重合開始剤」ともいう。)等が挙げられる。
<Photopolymerization initiator>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure contains a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator is not particularly limited, and a known photopolymerization initiator can be used.
Examples of the photopolymerization initiator include a photopolymerization initiator having an oxime ester structure (hereinafter, also referred to as “oxym-based photopolymerization initiator”) and a photopolymerization initiator having an α-aminoalkylphenone structure (hereinafter, “α-”. Aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator "), photopolymerization initiator having an α-hydroxyalkylphenone structure (hereinafter, also referred to as" α-hydroxyalkylphenone-based polymerization initiator "), acylphosphine oxide structure. Photopolymerization initiator (hereinafter, also referred to as “acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator”), photopolymerization initiator having an N-phenylglycine structure (hereinafter, “N-phenylglycine-based photopolymerization initiator””. Also known as)) and the like.

光重合開始剤は、オキシム系光重合開始剤、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、α-ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤及びN-フェニルグリシン系光重合開始剤よりなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことが好ましく、オキシム系光重合開始剤、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及びN-フェニルグリシン系光重合開始剤よりなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことがより好ましい。 The photopolymerization initiator is at least selected from the group consisting of an oxime-based photopolymerization initiator, an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator, an α-hydroxyalkylphenone-based polymerization initiator and an N-phenylglycine-based photopolymerization initiator. It is preferable to include at least one selected from the group consisting of an oxime-based photopolymerization initiator, an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and an N-phenylglycine-based photopolymerization initiator. ..

また、光重合開始剤としては、例えば、特開2011-95716号公報の段落0031~0042、特開2015-014783号公報の段落0064~0081に記載された重合開始剤を用いてもよい。 Further, as the photopolymerization initiator, for example, the polymerization initiator described in paragraphs 0031 to 0042 of JP-A-2011-95716 and paragraphs 0064-0081 of JP-A-2015-014783 may be used.

光重合開始剤の市販品としては、1-[4-(フェニルチオ)]-1,2-オクタンジオン-2-(O-ベンゾイルオキシム)(商品名:IRGACURE(登録商標) OXE-01、BASF社製)、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタノン-1-(O-アセチルオキシム)(商品名:IRGACURE OXE-02、BASF社製)、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン(商品名:IRGACURE 379EG、BASF社製)、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン(商品名:IRGACURE 907、BASF社製)、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)ベンジル]フェニル}-2-メチルプロパン-1-オン(商品名:IRGACURE 127、BASF社製)、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1(商品名:IRGACURE 369、BASF社製)、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン(商品名:IRGACURE 1173、BASF社製)、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(商品名:IRGACURE 184、BASF社製)、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン(商品名:IRGACURE 651、BASF社製)、オキシムエステル系の(商品名:Lunar 6、DKSHジャパン(株)製)などが挙げられる。 Commercially available photopolymerization initiators include 1- [4- (phenylthio)] -1,2-octanedione-2- (O-benzoyloxime) (trade name: IRGACURE® OXE-01, BASF). (Manufactured by), 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] etanone-1- (O-acetyloxime) (trade name: IRGACURE OXE-02, manufactured by BASF) , 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone (trade name: IRGACURE 379EG, manufactured by BASF), 2- Methyl-1- (4-Methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one (trade name: IRGACURE 907, manufactured by BASF), 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2) -Methyl-propionyl) benzyl] phenyl} -2-methylpropan-1-one (trade name: IRGACURE 127, manufactured by BASF), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone -1 (trade name: IRGACURE 369, manufactured by BASF), 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-one (trade name: IRGACURE 1173, manufactured by BASF), 1-hydroxycyclohexylphenylketone (trade name: IRGACURE 1173, manufactured by BASF) Product name: IRGACURE 184, manufactured by BASF), 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one (trade name: IRGACURE 651, manufactured by BASF), oxime ester-based (trade name: Lunar 6, DKSH Japan Co., Ltd.) and the like.

光重合開始剤は、1種単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。
光重合開始剤の含有量は、特に制限はないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましく、1.0質量%以上が更に好ましい。
また、光重合開始剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましい。
The photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more.
The content of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, and 1.0% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. % Or more is more preferable.
The content of the photopolymerization initiator is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

<熱架橋性化合物>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、硬化後の硬度の観点から、熱架橋性化合物を含有することが好ましく、ブロックイソシアネート化合物を含有することがより好ましい。
なお、熱架橋性化合物とは、「加熱により架橋反応を起こし得る官能基(熱架橋性基)を1分子中に1つ以上有する化合物」をいう。
熱架橋性化合物としては、ブロックイソシアネート化合物、ビスフェノールA型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物のエポキシ化合物、メラミン系化合物などが挙げられる。
中でも、現像残渣抑制性、並びに、得られる硬化膜の透湿度及び曲げ耐性の観点から、ブロックイソシアネート化合物が好ましい。
ブロックイソシアネート化合物とは、「イソシアネートのイソシアネート基をブロック剤で保護(マスク)した構造を有する化合物」のことをいう。
<Thermal crosslinkable compound>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure preferably contains a heat-crosslinkable compound, and more preferably a blocked isocyanate compound, from the viewpoint of hardness after curing.
The heat-crosslinkable compound means "a compound having at least one functional group (heat-crosslinkable group) capable of causing a cross-linking reaction by heating" in one molecule.
Examples of the heat-crosslinkable compound include blocked isocyanate compounds, bisphenol A type, cresol novolak type, biphenyl type, epoxy compounds of alicyclic epoxy compounds, melamine compounds and the like.
Of these, a blocked isocyanate compound is preferable from the viewpoint of suppressing development residue, moisture permeability and bending resistance of the obtained cured film.
The blocked isocyanate compound means "a compound having a structure in which the isocyanate group of isocyanate is protected (masked) with a blocking agent".

ブロックイソシアネート化合物の解離温度は、100℃~160℃であることが好ましく、130℃~150℃であることがより好ましい。
本明細書中におけるブロックイソシアネートの解離温度とは、「示差走査熱量計(セイコーインスツルメンツ(株)製、DSC6200)によりDSC(Differential scanning calorimetry)分析にて測定した場合に、ブロックイソシアネートの脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度」のことをいう。
The dissociation temperature of the blocked isocyanate compound is preferably 100 ° C. to 160 ° C., more preferably 130 ° C. to 150 ° C.
The dissociation temperature of blocked isocyanate in the present specification refers to the deprotection reaction of blocked isocyanate when measured by DSC (Differential scanning calorimetry) analysis with a differential scanning calorimeter (DSC6200, manufactured by Seiko Instruments Co., Ltd.). The temperature of the accompanying endothermic peak ".

解離温度が100℃~160℃であるブロック剤としては、ピラゾール化合物(3,5-ジメチルピラゾール、3-メチルピラゾール、4-ブロモ-3,5-ジメチルピラゾール、4-ニトロ-3,5-ジメチルピラゾールなど)、活性メチレン化合物(マロン酸ジエステル(マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、マロン酸ジn-ブチル、マロン酸ジ2-エチルヘキシル)など)、トリアゾール化合物(1,2,4-トリアゾールなど)、オキシム化合物(ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトオキシム、メチルエチルケトオキシム、シクロヘキサノンオキシムなどの分子内に-C(=N-OH)-で表される構造を有する化合物)などが挙げられる。中でも、保存安定性の観点から、オキシム化合物、又は、ピラゾール化合物が好ましく、オキシム化合物が特に好ましい。 Examples of the blocking agent having a dissociation temperature of 100 ° C to 160 ° C include pyrazole compounds (3,5-dimethylpyrazole, 3-methylpyrazole, 4-bromo-3,5-dimethylpyrazole, 4-nitro-3,5-dimethyl). Pyrazole, etc.), active methylene compounds (malonic acid diesters (dimethyl malonate, diethyl malonate, din-butyl malate, di2-ethylhexyl malonate, etc.), etc.), triazole compounds (1,2,4-triazole, etc.), Examples thereof include oxime compounds (compounds having a structure represented by -C (= N-OH)-in the molecule such as formaldehyde, acetaldoxime, acetoxime, methylethylketooxime, cyclohexanoneoxime) and the like. Among them, an oxime compound or a pyrazole compound is preferable, and an oxime compound is particularly preferable, from the viewpoint of storage stability.

また、ブロックイソシアネート化合物がイソシアヌレート構造を有することが膜の脆性改良、被転写体との密着力向上等の観点から好ましい。イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えばヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して保護することにより調製することができる。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物の中でも、オキシム化合物をブロック剤として用いたオキシム構造を有する化合物が、オキシム構造を有さない化合物よりも解離温度を好ましい範囲にしやすく、現像残渣を少なくしやすい観点から好ましい。
Further, it is preferable that the blocked isocyanate compound has an isocyanurate structure from the viewpoint of improving the brittleness of the membrane and improving the adhesion to the transferred body. The blocked isocyanate compound having an isocyanurate structure can be prepared, for example, by converting hexamethylene diisocyanate into isocyanurate and protecting it.
Among the blocked isocyanate compounds having an isocyanurate structure, a compound having an oxime structure using an oxime compound as a blocking agent is more likely to have a dissociation temperature in a preferable range than a compound having no oxime structure, and it is easy to reduce development residues. It is preferable from.

本開示に用いられるブロックイソシアネート化合物は、硬化後の硬度の観点から、ラジカル重合性基を有することが好ましい。
ラジカル重合性基としては、特に制限はなく、公知の重合性基を用いることができ、例えば、(メタ)アクリロキシ基、(メタ)アクリルアミド基、スチリル基等のエチレン性不飽和基、グリシジル基等のエポキシ基を有する基などが挙げられる。中でも、重合性基としては、得られる硬化膜における表面の面状、現像速度及び反応性の観点から、エチレン性不飽和基であることが好ましく、(メタ)アクリロキシ基であることがより好ましい。
The blocked isocyanate compound used in the present disclosure preferably has a radically polymerizable group from the viewpoint of hardness after curing.
The radically polymerizable group is not particularly limited, and a known polymerizable group can be used. For example, an ethylenically unsaturated group such as a (meth) acryloxy group, a (meth) acrylamide group or a styryl group, a glycidyl group or the like can be used. Examples thereof include a group having an epoxy group of. Among them, the polymerizable group is preferably an ethylenically unsaturated group, more preferably a (meth) acryloxy group, from the viewpoint of the surface surface condition, development speed and reactivity of the obtained cured film.

本開示に用いられるブロックイソシアネート化合物としては、市販のブロックイソシアネート化合物を挙げることもできる。例えば、カレンズAOI-BM、カレンズMOI-BM、カレンズ、カレンズMOI-BP(いずれも昭和電工(株)製)、ブロック型のデュラネートシリーズ(旭化成ケミカルズ(株)製)などを挙げることができる。 Examples of the blocked isocyanate compound used in the present disclosure include commercially available blocked isocyanate compounds. For example, Karenz AOI-BM, Karenz MOI-BM, Karenz, Karenz MOI-BP (all manufactured by Showa Denko KK), block type Duranate series (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd.) and the like can be mentioned.

本開示に用いられるブロックイソシアネート化合物は、分子量が200~3,000であることが好ましく、250~2,600であることがより好ましく、280~2,200であることが特に好ましい。 The blocked isocyanate compound used in the present disclosure preferably has a molecular weight of 200 to 3,000, more preferably 250 to 2,600, and particularly preferably 280 to 2,200.

本開示においては、ブロックイソシアネート化合物を1種単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。
ブロックイソシアネート化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、1質量%~50質量%であることが好ましく、5質量%~30質量%であることがより好ましい。
In the present disclosure, one type of blocked isocyanate compound may be used alone, or two or more types may be used in combination.
The content of the blocked isocyanate compound is preferably 1% by mass to 50% by mass, more preferably 5% by mass to 30% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

<複素環化合物>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、複素環化合物を更に含むことが好ましい。
上記複素環化合物が有するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子等が挙げられる。中でも、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、窒素原子、及び、硫黄原子、及び、酸素原子よりなる群から選ばれた少なくとも1種の原子をヘテロ原子として有することが好ましく、窒素原子を少なくともヘテロ原子として有することがより好ましい。
上記複素環化合物としては、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、窒素原子を有することが好ましく、上記複素環化合物における複素環が窒素原子を含むことがより好ましく、上記複素環化合物における複素環が窒素原子を含む5員環であることが更に好ましく、上記複素環化合物における複素環が窒素原子及び硫黄原子及び酸素原子を含む5員環であることが特に好ましい。
また、上記複素環化合物の複素環としては、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、5員環、又は、6員環であることが好ましく、5員環であることがより好ましい。
<Heterocyclic compound>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure preferably further contains a heterocyclic compound from the viewpoint of preventing discoloration of the metal wiring in contact with the photosensitive resin composition and the linearity of the obtained pattern.
Examples of the hetero atom contained in the heterocyclic compound include a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom and the like. Among them, at least one atom selected from the group consisting of a nitrogen atom, a sulfur atom, and an oxygen atom is a heteroatom from the viewpoint of discoloration prevention of the metal wiring in contact and the linearity of the obtained pattern. It is preferable to have a nitrogen atom as at least a hetero atom.
The heterocyclic compound preferably has a nitrogen atom from the viewpoint of preventing discoloration of the metal wiring in contact with the heterocyclic compound and the linearity of the obtained pattern, and the heterocycle in the heterocyclic compound may contain a nitrogen atom. More preferably, the heterocycle in the heterocyclic compound is a 5-membered ring containing a nitrogen atom, and the heterocycle in the heterocyclic compound is a 5-membered ring containing a nitrogen atom, a sulfur atom and an oxygen atom. Especially preferable.
The heterocyclic ring of the heterocyclic compound is preferably a 5-membered ring or a 6-membered ring from the viewpoint of preventing discoloration of the metal wiring in contact with the heterocyclic compound and the linearity of the obtained pattern. It is more preferably a ring.

上記複素環化合物は、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、メルカプト基(チオール基)を有する複素環化合物であることが好ましく、複素環上にメルカプト基が直接結合した複素環化合物であることがより好ましい。
また、上記複素環化合物がメルカプト基を有する場合、上記複素環化合物におけるメルカプト基の数は、特に制限はないが、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、1~6であることが好ましく、1~4であることがより好ましく、1又は2であることが更に好ましく、1であることが特に好ましい。
The heterocyclic compound is preferably a heterocyclic compound having a mercapto group (thiol group) from the viewpoint of preventing discoloration of the metal wiring in contact and the linearity of the obtained pattern, and the mercapto group on the heterocycle is preferable. Is more preferably a heterocyclic compound directly bonded to.
When the heterocyclic compound has a mercapto group, the number of mercapto groups in the heterocyclic compound is not particularly limited, but from the viewpoint of anti-discoloration of the metal wiring in contact and the linearity of the obtained pattern. It is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 4, further preferably 1 or 2, and particularly preferably 1.

上記複素環化合物としては、例えば、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、又は、ピリミジン化合物が好ましく挙げられる。
中でも、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、又は、ベンゾオキサゾール化合物が好ましく、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、又は、ベンゾオキサゾール化合物がより好ましく、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、又は、ベンゾオキサゾール化合物が特に好ましい。
As the heterocyclic compound, for example, a triazole compound, a benzotriazole compound, a tetrazole compound, a thiadiazol compound, a triazine compound, a rhonin compound, a thiazole compound, a benzothiazole compound, a benzoimidazole compound, a benzoxazole compound, or a pyrimidine compound is preferably mentioned. Be done.
Among them, triazole compound, benzotriazole compound, tetrazole compound, thiadiazol compound, triazine compound, rodonine compound, thiazole compound, benzoimidazole compound or benzoxazole compound are preferable, and triazole compound, benzotriazole compound, tetrazole compound, thiadiazol compound and thiazole compound are preferable. A compound, a benzothiazole compound, a benzoimidazole compound, or a benzoxazole compound is more preferable, and a thiadiazol compound, a thiazole compound, a benzothiazole compound, or a benzoxazole compound is particularly preferable.

上記複素環化合物としては特に制限はないが、密着性、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、下記式H1~式H13のいずれかで表される化合物であることが好ましい。 The heterocyclic compound is not particularly limited, but is represented by any of the following formulas H1 to H13 from the viewpoints of adhesion, discoloration prevention of the metal wiring in contact, and linearity of the obtained pattern. Is preferable.

Figure 0007010796000015
Figure 0007010796000015

式H1~式H13中、R1h、R5h、R7h、R9h、R20h及びR25hはそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基又はアミノ基を表し、R2h~R4h、R8h、R10h~R13h、R15h~R18h、R22h、R24h、R26h~R28h及びR30hはそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基又はアリールチオ基を表し、R6h、R14h、R21h、R23h及びR29hはそれぞれ独立に、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、アルコキシ基又はアリールオキシ基を表し、R19hは、水素原子、アルキル基、アリール基又はヘテロアリール基を表し、n1~n5はそれぞれ独立に、0~4の整数を表す。 In formulas H1 to H13, R 1h , R 5h , R 7h , R 9h , R 20h and R 25h independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group or an amino group, respectively, and R 2h to R 4h , R 8h , R 10h to R 13h , R 15h to R 18h , R 22h , R 24h , R 26h to R 28h and R 30h are independent hydrogen atoms, alkyl groups, aryl groups, heteroaryl groups, respectively. Represents an amino group, an alkylamino group, an arylamino group, a mercapto group, an alkylthio group or an arylthio group, and R 6h , R 14h , R 21h , R 23h and R 29h are independently halogen atoms, alkyl groups and aryl groups, respectively. Heteroaryl group, amino group, alkylamino group, arylamino group, mercapto group, alkylthio group, arylthio group, carboxy group, hydroxy group, alkoxy group or aryloxy group, R 19h represents hydrogen atom, alkyl group, aryl. Represents a group or a heteroaryl group, where n1 to n5 independently represent an integer of 0 to 4.

なお、上記式H1又は式H2で表される化合物はトリアゾール化合物であり、上記式H3で表される化合物はベンゾトリアゾール化合物であり、上記式H4で表される化合物はテトラゾール化合物であり、上記式H5~式H7で表される化合物はチアジアゾール化合物であり、上記式H8で表される化合物はトリアジン化合物であり、上記式H9で表される化合物はローダニン化合物であり、上記式H10で表される化合物はベンゾチアゾール化合物であり、上記式H11で表される化合物はベンゾイミダゾール化合物であり、上記式H12で表される化合物はチアゾール化合物であり、上記H13で表される化合物は、ベンゾオキサゾール化合物である。 The compound represented by the above formula H1 or the above formula H2 is a triazole compound, the compound represented by the above formula H3 is a benzotriazole compound, and the compound represented by the above formula H4 is a tetrazole compound. The compounds represented by the formulas H5 to H7 are thiadiazol compounds, the compound represented by the above formula H8 is a triazine compound, and the compound represented by the above formula H9 is a loadonin compound, which is represented by the above formula H10. The compound is a benzothiazole compound, the compound represented by the above formula H11 is a benzoimidazole compound, the compound represented by the above formula H12 is a thiazole compound, and the compound represented by the above H13 is a benzoxazole compound. be.

1h、R7h、R9h、R20h及びR25hはそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基又はヘテロアリール基であることが好ましく、水素原子又はアルキル基であることがより好ましく、水素原子であることが特に好ましい。
は、水素原子、アルキル基又はアミノ基であることが好ましく、水素原子又はアミノ基であることがより好ましい。
2h~R4h、R8h、R10h~R13h、R15h~R18h、R22h、R24h、R26h~R28h及びR30hはそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、メルカプト基又はアルキルチオ基であることが好ましく、水素原子、アミノ基、メルカプト基又はアルキルチオ基であることがより好ましい。
15h~R17hはそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、メルカプト基又はアルキルチオ基であることが好ましく、アミノ基又はヘテロアリール基であることがより好ましく、アミノ基又はピリジル基であることが特に好ましい。
また、合成上の観点から、R15~R17は、同じ基であることが好ましい。
18hは、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、メルカプト基又はアルキルチオ基であることが好ましく、水素原子、アミノ基、メルカプト基又はアルキルチオ基であることがより好ましく、水素原子であることが更に好ましい。
6h、R14h、R21h、R23h及びR29hはそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、アルコキシ基又はアリールオキシ基であることが好ましく、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基又はカルボキシ基であることがより好ましい。
また、R6h、R14h、R21h、R23h及びR29hは、上記各式におけるベンゼン環上の任意の位置の水素原子を置換し結合することができる。
19hは、水素原子又はアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。
n1~n5はそれぞれ独立に、0~2の整数であることが好ましく、0又は1であることがより好ましく、0であることが特に好ましい。
R 1h , R 7h , R 9h , R 20h and R 25h are each independently preferably a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group or a heteroaryl group, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group, and hydrogen. It is particularly preferred to be an atom.
R5 is preferably a hydrogen atom, an alkyl group or an amino group, and more preferably a hydrogen atom or an amino group.
R 2h to R 4h , R 8h , R 10h to R 13h , R 15h to R 18h , R 22h , R 24h , R 26h to R 28h and R 30h are independent hydrogen atoms, alkyl groups, aryl groups, and hetero. It is preferably an aryl group, an amino group, a mercapto group or an alkylthio group, and more preferably a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group or an alkylthio group.
Each of R 15h to R 17h is preferably a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, an amino group, a mercapto group or an alkylthio group, and more preferably an amino group or a heteroaryl group. It is particularly preferably an amino group or a pyridyl group.
Further, from the viewpoint of synthesis, it is preferable that R 15 to R 17 have the same group.
R 18h is preferably a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, an amino group, a mercapto group or an alkylthio group, more preferably a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group or an alkylthio group, and hydrogen. It is more preferably an atom.
R 6h , R 14h , R 21h , R 23h and R 29h are independent, alkyl group, aryl group, heteroaryl group, amino group, alkylamino group, arylamino group, mercapto group, alkylthio group, arylthio group, carboxy. It is preferably a group, a hydroxy group, an alkoxy group or an aryloxy group, and more preferably an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, an amino group, a mercapto group, an alkylthio group, an arylthio group or a carboxy group.
Further, R 6h , R 14h , R 21h , R 23h and R 29h can be bonded by substituting a hydrogen atom at an arbitrary position on the benzene ring in each of the above formulas.
R 19h is preferably a hydrogen atom or an alkyl group, and more preferably a hydrogen atom.
n1 to n5 are each independently preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0 or 1, and particularly preferably 0.

上記複素環化合物は、密着性の観点から、上記式H1、式H2及び式H4~式H13のいずれかで表される化合物であることが好ましく、上記式H4~式H13のいずれかで表される化合物であることがより好ましく、上記式H5~式H7、式H10及び式H13のいずれかで表される化合物であることが更に好ましく、上記式H5~式H7及び式H13のいずれかで表される化合物であることが特に好ましい。
また、上記複素環化合物は、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、上記式H5~式H7及び式H13のいずれかで表される化合物であることが好ましく、上記式H5、式H6及び式H13のいずれかで表される化合物であることがより好ましく、上記式H6で表される化合物、又は、上記式H13で表される化合物であることが更に好ましく、上記式H13で表される化合物であることが特に好ましい。
From the viewpoint of adhesion, the heterocyclic compound is preferably a compound represented by any of the above formulas H1, H2 and formulas H4 to H13, and is represented by any of the above formulas H4 to H13. It is more preferably a compound represented by any of the above formulas H5 to H7, a formula H10 and a formula H13, and further preferably a compound represented by any of the above formulas H5 to H7 and formula H13. It is particularly preferable that it is a compound to be used.
Further, the heterocyclic compound may be a compound represented by any of the above formulas H5 to H7 and the above formula H13 from the viewpoint of the discoloration prevention property of the metal wiring in contact and the linearity of the obtained pattern. It is more preferable that the compound is represented by any of the above formulas H5, H6 and H13, and further preferably the compound represented by the above formula H6 or the compound represented by the above formula H13. It is particularly preferable that the compound is represented by the above formula H13.

上記複素環化合物として、具体的には、以下に示す化合物が好ましく例示できる。
トリアゾール化合物及びベンゾトリアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Specifically, as the above heterocyclic compound, the compounds shown below can be preferably exemplified.
Examples of the triazole compound and the benzotriazole compound include the following compounds.

Figure 0007010796000016
Figure 0007010796000016

テトラゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。 Examples of the tetrazole compound include the following compounds.

Figure 0007010796000017
Figure 0007010796000017

チアジアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。 Examples of the thiadiazole compound include the following compounds.

Figure 0007010796000018
Figure 0007010796000018

トリアジン化合物としては、以下の化合物が例示できる。 Examples of the triazine compound include the following compounds.

Figure 0007010796000019
Figure 0007010796000019

ローダニン化合物としては、以下の化合物が例示できる。 Examples of the loadonine compound include the following compounds.

Figure 0007010796000020
Figure 0007010796000020

チアゾール化合物としては、以下の化合物が挙げられる。 Examples of the thiazole compound include the following compounds.

Figure 0007010796000021
Figure 0007010796000021

ベンゾチアゾール化合物としては、以下の化合物が挙げられる。 Examples of the benzothiazole compound include the following compounds.

Figure 0007010796000022
Figure 0007010796000022

ベンゾイミダゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。 Examples of the benzimidazole compound include the following compounds.

Figure 0007010796000023
Figure 0007010796000023

ベンゾオキサゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。 Examples of the benzoxazole compound include the following compounds.

Figure 0007010796000024
Figure 0007010796000024

上記感光性樹脂組成物は、上記複素環化合物を、1種単独で含有しても、2種以上を含有してもよい。
上記複素環化合物の含有量は、特に制限はないが、接触する金属配線の変色防止性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.01質量%~20質量%であることが好ましく、0.1質量%~10質量%であることがより好ましく、0.5質量%~8質量%であることが更に好ましく、1質量%~5質量%であることが特に好ましい。上記範囲であると、得られる硬化物の硬度及び金属配線への腐食防止性により優れ、また、得られる硬化物の透明性に優れる。
The photosensitive resin composition may contain the heterocyclic compound alone or in combination of two or more.
The content of the heterocyclic compound is not particularly limited, but is 0 with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of preventing discoloration of the metal wiring in contact and the linearity of the obtained pattern. It is preferably 0.01% by mass to 20% by mass, more preferably 0.1% by mass to 10% by mass, further preferably 0.5% by mass to 8% by mass, and 1% by mass to 1% by mass. It is particularly preferably 5% by mass. Within the above range, the hardness of the obtained cured product and the corrosion prevention property to the metal wiring are excellent, and the transparency of the obtained cured product is excellent.

<チオール化合物>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、チオール化合物を更に含むことができる。
チオール化合物としては、単官能チオール化合物、又は、多官能チオール化合物が好適に用いられる。中でも、硬化後の硬度の観点から、2官能以上のチオール化合物(多官能チオール化合物)を含むことが好ましく、多官能チオール化合物であることがより好ましい。
本開示において多官能チオール化合物とは、メルカプト基(チオール基)を分子内に2個以上有する化合物を意味する。多官能チオール化合物としては、分子量100以上の低分子化合物が好ましく、具体的には、分子量100~1,500であることがより好ましく、150~1,000が更に好ましい。
多官能チオール化合物の官能基数としては、硬化後の硬度の観点から、2官能~10官能が好ましく、2官能~8官能がより好ましく、2官能~6官能が更に好ましい。
また、多官能チオール化合物としては、タック性、並びに、硬化後の曲げ耐性及び硬度の観点から、脂肪族多官能チオール化合物であることが好ましい。
更に、チオール化合物としては、硬化後の曲げ耐性及び硬度の観点から、第二級チオール化合物がより好ましい。
<Thiol compound>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure may further contain a thiol compound.
As the thiol compound, a monofunctional thiol compound or a polyfunctional thiol compound is preferably used. Above all, from the viewpoint of hardness after curing, it is preferable to contain a bifunctional or higher functional thiol compound (polyfunctional thiol compound), and more preferably a polyfunctional thiol compound.
In the present disclosure, the polyfunctional thiol compound means a compound having two or more mercapto groups (thiol groups) in the molecule. As the polyfunctional thiol compound, a low molecular weight compound having a molecular weight of 100 or more is preferable, specifically, a molecular weight of 100 to 1,500 is more preferable, and 150 to 1,000 is further preferable.
The number of functional groups of the polyfunctional thiol compound is preferably bifunctional to 10 functional, more preferably bifunctional to 8 functional, and even more preferably bifunctional to 6 functional, from the viewpoint of hardness after curing.
The polyfunctional thiol compound is preferably an aliphatic polyfunctional thiol compound from the viewpoint of tackiness, bending resistance after curing and hardness.
Further, as the thiol compound, a secondary thiol compound is more preferable from the viewpoint of bending resistance and hardness after curing.

多官能チオール化合物として具体的には、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)、トリス[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)エチル]イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)、エチレングリコールビスチオプロピオネート、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,2-ベンゼンジチオール、1,3-ベンゼンジチオール、1,2-エタンジチオール、1,3-プロパンジチオール、1,6-ヘキサメチレンジチオール、2,2’-(エチレンジチオ)ジエタンチオール、meso-2,3-ジメルカプトコハク酸、p-キシレンジチオール、m-キシレンジチオール、ジ(メルカプトエチル)エーテル等を例示することができる。 Specifically, as the polyfunctional thiol compound, trimethylolpropanetris (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutylyloxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1, 3,5-Tris (3-mercaptobutylyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, trimethylolethanetris (3-mercaptobutyrate), Tris [(3-mercaptopropionyloxy) ethyl] isocyanurate, trimethylolpropanetris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), tetraethyleneglycolbis (3-mercaptopropionate) ), Dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), ethylene glycol bisthiopropionate, 1,4-bis (3-mercaptobutylyloxy) butane, 1,2-benzenedithiol, 1,3- Benzenedithiol, 1,2-ethanedithiol, 1,3-propanedithiol, 1,6-hexamethylenedithiol, 2,2'-(ethylenedithio) dietanethiol, meso-2,3-dimercaptosuccinic acid, p. Examples thereof include -xylenedithiol, m-xylenedithiol, and di (mercaptoethyl) ether.

これらの中でも、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)、トリス[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)エチル]イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、及び、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)が好ましく挙げられる。 Among these, trimethylolethane propanthris (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutylyloxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyrate) 3-Mercaptobutylyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trion, trimethylolethaneethanol (3-mercaptobutyrate), tris [(3-mercapto) Propionyloxy) ethyl] isocyanurate, trimethylolethane propanthris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), and dipenta. Elythritol hexakis (3-mercaptopropionate) is preferred.

単官能チオール化合物としては、脂肪族チオール化合物、及び、芳香族チオール化合物のどちらも用いることができる。
単官能脂肪族チオール化合物としては、具体的には、1-オクタンチオール、1-ドデカンチオール、β-メルカプトプロピオン酸、メチル-3-メルカプトプロピオネート、2-エチルヘキシル-3-メルカプトプロピオネート、n-オクチル-3-メルカプトプロピオネート、メトキシブチル-3-メルカプトプロピオネート、ステアリル-3-メルカプトプロピオネート等が挙げられる。
単官能芳香族チオール化合物としては、ベンゼンチオール、トルエンチオール、キシレンチオール等が挙げられる。
As the monofunctional thiol compound, both an aliphatic thiol compound and an aromatic thiol compound can be used.
Specific examples of the monofunctional aliphatic thiol compound include 1-octanethiol, 1-dodecanethiol, β-mercaptopropionic acid, methyl-3-mercaptopropionate, 2-ethylhexyl-3-mercaptopropionate, and the like. Examples thereof include n-octyl-3-mercaptopropionate, methoxybutyl-3-mercaptopropionate, and stearyl-3-mercaptopropionate.
Examples of the monofunctional aromatic thiol compound include benzenethiol, toluenethiol, xylenethiol and the like.

上記チオール化合物は、タック性、並びに、硬化後の曲げ耐性及び硬度の観点から、エステル結合を有するチオール化合物であることが好ましく、下記式1で表される化合物を含むことがより好ましい。 The thiol compound is preferably a thiol compound having an ester bond from the viewpoint of tackiness, bending resistance after curing, and hardness, and more preferably contains a compound represented by the following formula 1.

Figure 0007010796000025
Figure 0007010796000025

式1中、nは1~6の整数を表し、Aは炭素数1~15のn価の有機基、又は、下記式2で表される基を表し、Rはそれぞれ独立に、炭素数1~15の二価の有機基を表す。 In formula 1, n represents an integer of 1 to 6, A represents an n-valent organic group having 1 to 15 carbon atoms, or a group represented by the following formula 2, and R 1 independently represents the number of carbon atoms. Represents 1 to 15 divalent organic groups.

Figure 0007010796000026
Figure 0007010796000026

式2中、R~Rはそれぞれ独立に、炭素数1~15の二価の有機基を表し、波線部分は、上記式1における酸素原子との結合位置を表す。 In the formula 2, R 2 to R 4 independently represent a divalent organic group having 1 to 15 carbon atoms, and the wavy line portion represents the bond position with the oxygen atom in the above formula 1.

式1におけるnは、硬化後の硬度の観点から、2~6の整数であることが好ましい。
式1におけるAは、タック性、並びに、硬化後の曲げ耐性及び硬度の観点から、炭素数1~15のn価の脂肪族基、又は、上記式2で表される基であることが好ましく、炭素数4~15のn価の脂肪族基、又は、上記式2で表される基であることがより好ましく、炭素数5~10のn価の脂肪族基、又は、上記式2で表される基であることが更に好ましく、上記式2で表される基であることが特に好ましい。
また、式1におけるAは、タック性、並びに、硬化後の曲げ耐性及び硬度の観点から、水素原子及び炭素原子からなるn価の基、又は、水素原子、炭素原子及び酸素原子からなるn価の基であることが好ましく、水素原子及び炭素原子からなるn価の基であることがより好ましく、n価の脂肪族炭化水素基であることが特に好ましい。
式1におけるRはそれぞれ独立に、タック性、並びに、硬化後の曲げ耐性及び硬度の観点から、炭素数1~15のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2~4のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数3のアルキレン基であることが更に好ましく、1,2-プロピレン基であることが特に好ましい。上記アルキレン基は、直鎖状であっても、分岐を有していてもよい。
N in the formula 1 is preferably an integer of 2 to 6 from the viewpoint of hardness after curing.
From the viewpoint of tackiness, bending resistance and hardness after curing, A in the formula 1 is preferably an n-valent aliphatic group having 1 to 15 carbon atoms or a group represented by the above formula 2. , An n-valent aliphatic group having 4 to 15 carbon atoms or a group represented by the above formula 2 is more preferable, and an n-valent aliphatic group having 5 to 10 carbon atoms or the above formula 2 is used. The group represented by the above formula 2 is more preferable, and the group represented by the above formula 2 is particularly preferable.
Further, A in the formula 1 is an n-valent group composed of a hydrogen atom and a carbon atom, or an n-valent group composed of a hydrogen atom, a carbon atom and an oxygen atom from the viewpoint of tackiness, bending resistance and hardness after curing. It is preferably a group of n-valent, more preferably an n-valent group consisting of a hydrogen atom and a carbon atom, and particularly preferably an n-valent aliphatic hydrocarbon group.
Independently, R 1 in the formula 1 is preferably an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, and is an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, from the viewpoint of tackiness, bending resistance after curing, and hardness. It is more preferably an alkylene group having 3 carbon atoms, and particularly preferably a 1,2-propylene group. The alkylene group may be linear or may have a branch.

式2におけるR~Rはそれぞれ独立に、タック性、並びに、硬化後の曲げ耐性及び硬度の観点から、炭素数2~15の脂肪族基であることが好ましく、炭素数2~15のアルキレン基、又は、炭素数3~15のポリアルキレンオキシアルキル基であることがより好ましく、炭素数2~15のアルキレン基であることが更に好ましく、エチレン基であることが特に好ましい。 Independently, R 2 to R 4 in the formula 2 are preferably aliphatic groups having 2 to 15 carbon atoms, preferably having 2 to 15 carbon atoms, from the viewpoint of tackiness, bending resistance after curing, and hardness. It is more preferably an alkylene group or a polyalkyleneoxyalkyl group having 3 to 15 carbon atoms, further preferably an alkylene group having 2 to 15 carbon atoms, and particularly preferably an ethylene group.

また、多官能チオール化合物としては、下記式S-1で表される基を2個以上有する化合物が好ましい。 Further, as the polyfunctional thiol compound, a compound having two or more groups represented by the following formula S-1 is preferable.

Figure 0007010796000027
Figure 0007010796000027

式S-1中、R1Sは水素原子又はアルキル基を表し、A1Sは-CO-又は-CH2-を表し、波線部分は他の構造との結合位置を表す。 In the formula S-1, R 1S represents a hydrogen atom or an alkyl group, A 1S represents -CO- or -CH 2- , and the wavy line portion represents a bonding position with another structure.

多官能チオール化合物としては、式S-1で表される基を2以上6以下有する化合物が好ましい。
式S-1中のR1Sにおけるアルキル基としては、直鎖、分岐又は環状のアルキル基であり、炭素数の範囲としては1~16が好ましく、1~10がより好ましい。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、s-ブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、へキシル基、2-エチルへキシル基等であり、メチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基が好ましい。
1Sとしては、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、又は、イソプロピル基が特に好ましく、メチル基又はエチル基が最も好ましい。
As the polyfunctional thiol compound, a compound having 2 or more and 6 or less groups represented by the formula S-1 is preferable.
The alkyl group in R 1S in the formula S-1 is a linear, branched or cyclic alkyl group, and the carbon number range is preferably 1 to 16 and more preferably 1 to 10. Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, pentyl group, hexyl group, 2-ethylhexyl group and the like. A methyl group, an ethyl group, a propyl group or an isopropyl group is preferable.
As R 1S , a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or an isopropyl group is particularly preferable, and a methyl group or an ethyl group is most preferable.

更に、多官能チオール化合物としては、上記式S-1で表される基を複数個有する下記式S-2で表される化合物であることが特に好ましい。 Further, the polyfunctional thiol compound is particularly preferably a compound represented by the following formula S-2 having a plurality of groups represented by the above formula S-1.

Figure 0007010796000028
Figure 0007010796000028

式S-2中、R1Sはそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、A1Sはそれぞれ独立に、-CO-又は-CH2-を表し、L1SはnS価の連結基を表し、nSは2~8の整数を表す。合成上の観点からは、R1Sは全て同じ基であることが好ましく、また、A1Sは全て同じ基であることが好ましい。 In formula S-2, R 1S independently represents a hydrogen atom or an alkyl group, A 1S independently represents -CO- or -CH 2- , and L 1S represents an nS-valent linking group. nS represents an integer of 2 to 8. From a synthetic point of view, it is preferable that all R 1S are the same group, and it is preferable that all A 1S are the same group.

式S-2中のR1Sは、上記式S-1中のR1Sと同義であり、好ましい範囲も同様である。nSは2~6の整数が好ましい。
式S-2中のnS価の連結基であるL1Sとしては、例えば-(CH2mS-(mSは2~6の整数を表す。)などの二価の連結基、トリメチロールプロパン残基、-(CH2pS-(pSは2~6の整数を表す。)を3個有するイソシアヌル環などの三価の連結基、ペンタエリスリトール残基などの四価の連結基、ジペンタエリスリトール残基などの五価又は六価の連結基が挙げられる。
R 1S in the formula S-2 has the same meaning as R 1S in the above formula S- 1 , and the preferred range is also the same. nS is preferably an integer of 2 to 6.
Examples of L 1S which is a linking group of nS valence in the formula S-2 include a divalent linking group such as-(CH 2 ) mS- (mS represents an integer of 2 to 6), and a trimethylolpropane residue. A trivalent linking group such as an isocyanul ring having three groups,-(CH 2 ) pS- (pS represents an integer of 2 to 6), a tetravalent linking group such as a pentaerythritol residue, and dipentaerythritol. Examples include pentavalent or hexavalent linking groups such as residues.

チオール化合物として具体的には、以下の化合物が好ましく挙げられるが、これらに限定されないことは、言うまでもない。 Specific examples of the thiol compound include the following compounds, but it goes without saying that the thiol compound is not limited thereto.

Figure 0007010796000029
Figure 0007010796000029

Figure 0007010796000030
Figure 0007010796000030

チオール化合物は、1種単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。
チオール化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、0.1質量%~40質量%が好ましく、0.5質量%~30質量%がより好ましく、1質量%~25質量%が特に好ましい。
The thiol compound may be used alone or in combination of two or more.
The content of the thiol compound is preferably 0.1% by mass to 40% by mass, more preferably 0.5% by mass to 30% by mass, and 1% by mass to 25% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. % Is particularly preferable.

<界面活性剤>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含有してもよい。
界面活性剤としては、例えば、特許第4502784号公報の段落0017及び特開2009-237362号公報の段落0060~0071に記載の界面活性剤、公知のフッ素系界面活性剤等を用いることができる。
界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤が好ましい。
フッ素系界面活性剤の市販品としては、メガファック(登録商標)F551(DIC(株)製)が挙げられる。
<Surfactant>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure may contain a surfactant.
As the surfactant, for example, the surfactants described in paragraphs 0017 of Japanese Patent No. 4502784 and paragraphs 0060 to 0071 of JP2009-237362A, known fluorosurfactants and the like can be used.
As the surfactant, a fluorine-based surfactant is preferable.
Examples of commercially available fluorosurfactants include Megafuck (registered trademark) F551 (manufactured by DIC Corporation).

上記感光性樹脂組成物が界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.01質量%~3質量%が好ましく、0.05質量%~1質量%がより好ましく、0.1質量%~0.8質量%が更に好ましい。 When the photosensitive resin composition contains a surfactant, the content of the surfactant is preferably 0.01% by mass to 3% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is more preferably 05% by mass to 1% by mass, and even more preferably 0.1% by mass to 0.8% by mass.

<重合禁止剤>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を少なくとも1種含有してもよい。
重合禁止剤としては、例えば、特許第4502784号公報の段落0018に記載された熱重合防止剤(重合禁止剤ともいう)を用いることができる。
中でも、フェノチアジン、フェノキサジン又は4-メトキシフェノールを好適に用いることができる。
<Polymerization inhibitor>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure may contain at least one polymerization inhibitor.
As the polymerization inhibitor, for example, the thermal polymerization inhibitor (also referred to as a polymerization inhibitor) described in paragraph 0018 of Japanese Patent No. 4502784 can be used.
Among them, phenothiazine, phenoxazine or 4-methoxyphenol can be preferably used.

上記感光性樹脂組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.01質量%~3質量%が好ましく、0.01質量%~1質量%がより好ましく、0.01質量%~0.8質量%が更に好ましい。 When the photosensitive resin composition contains a polymerization inhibitor, the content of the polymerization inhibitor is preferably 0.01% by mass to 3% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. 01% by mass to 1% by mass is more preferable, and 0.01% by mass to 0.8% by mass is further preferable.

<水素供与性化合物>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、水素供与性化合物を更に含むことが好ましい。
本開示において水素供与性化合物は、光重合開始剤の活性光線に対する感度を一層向上させる、或いは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
このような水素供与性化合物の例としては、アミン類、例えば、M.R.Sanderら著「Journal of Polymer Society」第10巻3173頁(1972)、特公昭44-20189号公報、特開昭51-82102号公報、特開昭52-134692号公報、特開昭59-138205号公報、特開昭60-84305号公報、特開昭62-18537号公報、特開昭64-33104号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、p-ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、p-ホルミルジメチルアニリン、p-メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
<Hydrogen donating compound>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure preferably further contains a hydrogen donating compound.
In the present disclosure, the hydrogen donating compound has an action of further improving the sensitivity of the photopolymerization initiator to active light, or suppressing the polymerization inhibition of the polymerizable compound by oxygen.
Examples of such hydrogen donating compounds include amines such as M. et al. R. Sander et al., "Journal of Polymer Society", Vol. 10, pp. 3173 (1972), JP-A-44-20189, JP-A-51-82102, JP-A-52-134692, JP-A-59-138205. Examples thereof include the compounds described in JP-A No. 60-84305, JP-A-62-18537, JP-A-64-33104, and Research Disclosure 33825, and specific examples thereof include triethanolamine. , P-Dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, p-formyldimethylaniline, p-methylthiodimethylaniline and the like.

また、水素供与性化合物の更に別の例としては、アミノ酸化合物(例、N-フェニルグリシン等)、特公昭48-42965号公報記載の有機金属化合物(例、トリブチル錫アセテート等)、特公昭55-34414号公報記載の水素供与体、特開平6-308727号公報記載のイオウ化合物(例、トリチアン等)等が挙げられる。 Further, as yet another example of the hydrogen donating compound, an amino acid compound (eg, N-phenylglycine, etc.), an organometallic compound described in JP-A-48-42965 (eg, tributyltin acetate, etc.), JP-B-55. Examples thereof include a hydrogen donor described in JP-A-344414, a sulfur compound described in JP-A-6-308727 (eg, Tritian, etc.) and the like.

これら水素供与性化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、0.1質量%以上30質量%以下の範囲が好ましく、1質量%以上25質量%以下の範囲がより好ましく、0.5質量%以上20質量%以下の範囲が更に好ましい。 The content of these hydrogen donating compounds is 0.1% by mass or more and 30% by mass or less with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of improving the curing rate by balancing the polymerization growth rate and the chain transfer. The range is preferable, the range of 1% by mass or more and 25% by mass or less is more preferable, and the range of 0.5% by mass or more and 20% by mass or less is further preferable.

<その他の成分>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、上述した成分以外のその他の成分を含有していてもよい。
その他の成分としては、例えば、特許第4502784号公報の段落0018に記載の熱重合防止剤、特開2000-310706号公報の段落0058~0071に記載のその他の添加剤、等が挙げられる。
<Other ingredients>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure may contain other components other than the above-mentioned components.
Examples of other components include the thermal polymerization inhibitor described in paragraph 0018 of Japanese Patent No. 4502784, and other additives described in paragraphs 0058 to 0071 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-310706.

また、上記感光性樹脂組成物は、その他の成分として、屈折率や光透過性を調節することを目的として、粒子(例えば金属酸化物粒子)を少なくとも1種含んでもよい。
金属酸化物粒子の金属には、B、Si、Ge、As、Sb、Te等の半金属も含まれる。硬化膜の透明性の観点から、粒子(例えば金属酸化物粒子)の平均一次粒子径は、1~200nmが好ましく、3~80nmがより好ましい。平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子200個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
粒子の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0質量%~35質量%が好ましく、0質量%~10質量%がより好ましく、0質量%~5質量%が更に好ましく、0質量%~1質量%が更に好ましく、0質量%(即ち、上記感光性樹脂組成物に粒子が含まれないこと)が特に好ましい。
Further, the photosensitive resin composition may contain at least one kind of particles (for example, metal oxide particles) as other components for the purpose of adjusting the refractive index and light transmittance.
The metal of the metal oxide particles also includes metalloids such as B, Si, Ge, As, Sb, and Te. From the viewpoint of the transparency of the cured film, the average primary particle diameter of the particles (for example, metal oxide particles) is preferably 1 to 200 nm, more preferably 3 to 80 nm. The average primary particle size is calculated by measuring the particle size of 200 arbitrary particles using an electron microscope and arithmetically averaging the measurement results. If the shape of the particle is not spherical, the longest side is the particle diameter.
The content of the particles is preferably 0% by mass to 35% by mass, more preferably 0% by mass to 10% by mass, still more preferably 0% by mass to 5% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. , 0% by mass to 1% by mass, and 0% by mass (that is, the photosensitive resin composition does not contain particles) is particularly preferable.

また、上記感光性樹脂組成物は、その他の成分として、微量の着色剤(顔料、染料、等)を含有してもよいが、透明性の観点から、着色剤を実質的に含有しないことが好ましい。
具体的には、上記感光性樹脂組成物における着色剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、1質量%未満が好ましく、0.1質量%未満がより好ましい。
Further, the photosensitive resin composition may contain a trace amount of a colorant (pigment, dye, etc.) as another component, but from the viewpoint of transparency, it may contain substantially no colorant. preferable.
Specifically, the content of the colorant in the photosensitive resin composition is preferably less than 1% by mass, more preferably less than 0.1% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

<溶剤>
本開示に係る感光性樹脂組成物は、塗布による層形成の観点から、溶剤を更に含むことが好ましい。
<Solvent>
The photosensitive resin composition according to the present disclosure preferably further contains a solvent from the viewpoint of layer formation by coating.

溶剤としては、通常用いられる溶剤を特に制限なく用いることができる。
溶剤としては、有機溶剤が好ましい。
有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(別名:1-メトキシ-2-プロピルアセテート)、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム、n-プロパノール、2-プロパノールなどを挙げることができる。また、使用する溶剤は、これらの化合物の混合物である混合溶剤を含有してもよい。
溶剤としては、メチルエチルケトンとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶剤、又はジエチレングリコールエチルメチルエーテルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶剤が好ましい。
As the solvent, a commonly used solvent can be used without particular limitation.
As the solvent, an organic solvent is preferable.
Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate (also known as 1-methoxy-2-propyl acetate), diethylene glycol ethyl methyl ether, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, ethyl lactate, methyl lactate, and caprolactam. , N-propanol, 2-propanol and the like. Further, the solvent used may contain a mixed solvent which is a mixture of these compounds.
As the solvent, a mixed solvent of methyl ethyl ketone and propylene glycol monomethyl ether acetate or a mixed solvent of diethylene glycol ethyl methyl ether and propylene glycol monomethyl ether acetate is preferable.

溶剤を使用する場合、感光性樹脂組成物の固形分含有量としては、感光性樹脂組成物の全量に対し、5質量%~80質量%が好ましく、5質量%~40質量%がより好ましく、5質量%~30質量%が特に好ましい。 When a solvent is used, the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 5% by mass to 80% by mass, more preferably 5% by mass to 40% by mass, based on the total amount of the photosensitive resin composition. 5% by mass to 30% by mass is particularly preferable.

また、溶剤を使用する場合、感光性樹脂組成物の粘度(25℃)は、塗布性の観点から、1mPa・s~50mPa・sが好ましく、2mPa・s~40mPa・sがより好ましく、3mPa・s~30mPa・sが特に好ましい。
粘度は、例えば、VISCOMETER TV-22(東機産業(株)製)を用いて測定する。
感光性樹脂組成物が溶剤を含有する場合、感光性樹脂組成物の表面張力(25℃)は、塗布性の観点から、5mN/m~100mN/mが好ましく、10mN/m~80mN/mがより好ましく、15mN/m~40mN/mが特に好ましい。
表面張力は、例えば、Automatic Surface Tensiometer CBVP-Z(協和界面科学(株)製)を用いて測定する。
When a solvent is used, the viscosity (25 ° C.) of the photosensitive resin composition is preferably 1 mPa · s to 50 mPa · s, more preferably 2 mPa · s to 40 mPa · s, and 3 mPa · s from the viewpoint of coatability. s to 30 mPa · s is particularly preferable.
The viscosity is measured using, for example, VISCOMETER TV-22 (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).
When the photosensitive resin composition contains a solvent, the surface tension (25 ° C.) of the photosensitive resin composition is preferably 5 mN / m to 100 mN / m, preferably 10 mN / m to 80 mN / m, from the viewpoint of coatability. More preferably, 15 mN / m to 40 mN / m is particularly preferable.
The surface tension is measured using, for example, Automatic Surface Tensiometer CBVP-Z (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.).

溶剤としては、米国特許出願公開第2005/282073号明細書の段落0054及び0055に記載のSolventを用いることもでき、この明細書の内容は本明細書に組み込まれる。
また、溶剤として、必要に応じて沸点が180℃~250℃である有機溶剤(高沸点溶剤)を使用することもできる。
As the solvent, the Solvent described in paragraphs 0054 and 0055 of US Patent Application Publication No. 2005/282073 can also be used, the contents of which are incorporated herein.
Further, as the solvent, an organic solvent (high boiling point solvent) having a boiling point of 180 ° C. to 250 ° C. can be used, if necessary.

(硬化膜)
本開示に係る硬化膜は、本開示に係る感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜である。なお、本開示に係る感光性樹脂組成物が溶剤を含む場合は、本開示に係る硬化膜は、本開示に係る感光性樹脂組成物の固形分を硬化してなる硬化膜である。
また、本開示に係る感光性樹脂組成物が溶剤を含む場合は、膜状に本開示に係る感光性樹脂組成物を基材へ塗布した後、加熱乾燥、風乾、減圧乾燥等の公知の方法により、溶剤の少なくとも一部を除去し、その後硬化を行い、硬化膜を形成することが好ましい。
また、上記硬化膜は、所望のパターン形状であってもよい。
本開示に係る硬化膜は、層間絶縁膜(絶縁膜)やオーバーコート膜(保護膜)として好適に用いることができ、タッチパネル用保護膜としてより好適に用いられる。
本開示に係る感光性樹脂組成物の固形分を硬化してなる硬化膜は、膜物性に優れるため、有機EL表示装置や液晶表示装置の用途に有用である。
中でも、本開示に係る硬化膜は、タッチパネル用保護膜としてより好適に用いることができ、タッチパネル配線用保護膜としてより好適に用いることができる。
上記硬化膜の厚さは、特に制限はないが、1μm以上20μm以下が好ましく、2μm以上15μm以下がより好ましく、3μm以上12μm以下が特に好ましい。
(Hardened film)
The cured film according to the present disclosure is a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition according to the present disclosure. When the photosensitive resin composition according to the present disclosure contains a solvent, the cured film according to the present disclosure is a cured film obtained by curing the solid content of the photosensitive resin composition according to the present disclosure.
When the photosensitive resin composition according to the present disclosure contains a solvent, a known method such as heat-drying, air-drying, and vacuum-drying after applying the photosensitive resin composition according to the present disclosure to a substrate in the form of a film is performed. It is preferable to remove at least a part of the solvent and then perform curing to form a cured film.
Further, the cured film may have a desired pattern shape.
The cured film according to the present disclosure can be suitably used as an interlayer insulating film (insulating film) or an overcoat film (protective film), and is more preferably used as a protective film for a touch panel.
The cured film obtained by curing the solid content of the photosensitive resin composition according to the present disclosure has excellent film physical characteristics, and is therefore useful for applications in organic EL display devices and liquid crystal display devices.
Above all, the cured film according to the present disclosure can be more preferably used as a protective film for a touch panel, and can be more preferably used as a protective film for touch panel wiring.
The thickness of the cured film is not particularly limited, but is preferably 1 μm or more and 20 μm or less, more preferably 2 μm or more and 15 μm or less, and particularly preferably 3 μm or more and 12 μm or less.

(転写フィルム)
本開示に係る転写フィルムは、仮支持体と、本開示に係る感光性樹脂組成物を含む層(以下、「感光性層」ともいう。)と、を備える。
(Transfer film)
The transfer film according to the present disclosure includes a temporary support and a layer containing the photosensitive resin composition according to the present disclosure (hereinafter, also referred to as “photosensitive layer”).

<仮支持体>
本開示に係る転写フィルムは、仮支持体を有する。
仮支持体は、フィルムであることが好ましく、樹脂フィルムであることがより好ましい。
仮支持体としては、可撓性を有し、かつ、加圧下、又は、加圧及び加熱下において、著しい変形、収縮又は伸びを生じないフィルムを用いることができる。
このようなフィルムとして、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリイミドフィルム、及びポリカーボネートフィルムが挙げられる。
中でも、2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
また、仮支持体として使用するフィルムは、シワ等の変形や、傷がないものであることが好ましい。
<Temporary support>
The transfer film according to the present disclosure has a temporary support.
The temporary support is preferably a film, more preferably a resin film.
As the temporary support, a film having flexibility and not causing significant deformation, shrinkage or elongation under pressure, or under pressure and heating can be used.
Examples of such a film include a polyethylene terephthalate film, a cellulose triacetate film, a polystyrene film, a polyimide film, and a polycarbonate film.
Of these, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.
Further, it is preferable that the film used as the temporary support is not deformed such as wrinkles or scratched.

仮支持体の厚みは、特に制限はないが、5μm~200μmであることが好ましく、取扱い易さ及び汎用性の観点から、10μm~150μmであることが特に好ましい。 The thickness of the temporary support is not particularly limited, but is preferably 5 μm to 200 μm, and is particularly preferably 10 μm to 150 μm from the viewpoint of ease of handling and versatility.

<感光性層>
本開示に係る転写フィルムは、本開示に係る感光性樹脂組成物を含む層(感光性層)を備える。
上記感光性層は、本開示に係る感光性樹脂組成物を含む層であればよいが、本開示に係る感光性樹脂組成物からなる層、又は、本開示に係る感光性樹脂組成物の固形分からなる層であることが好ましい。
上記感光性樹脂組成物が溶剤を含む場合には、公知の方法により少なくとも一部の溶剤を除去し、上記感光性層を形成することが好ましい。溶剤は、完全に除去されている必要はないが、上記感光性層における溶剤の含有量は、上記感光性層の全質量に対し、1質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以下であることがより好ましい。
<Photosensitive layer>
The transfer film according to the present disclosure includes a layer (photosensitive layer) containing the photosensitive resin composition according to the present disclosure.
The photosensitive layer may be a layer containing the photosensitive resin composition according to the present disclosure, but may be a layer composed of the photosensitive resin composition according to the present disclosure or a solid of the photosensitive resin composition according to the present disclosure. It is preferably a layer composed of components.
When the photosensitive resin composition contains a solvent, it is preferable to remove at least a part of the solvent by a known method to form the photosensitive layer. The solvent does not need to be completely removed, but the content of the solvent in the photosensitive layer is preferably 1% by mass or less, preferably 0.5% by mass, based on the total mass of the photosensitive layer. The following is more preferable.

上記感光性層の厚さは、20μm以下が好ましく、15μm以下がより好ましく、12μm以下が特に好ましい。
上記感光性層の厚さが、20μm以下であると、転写フィルム全体の薄膜化、感光性層又は得られる硬化膜の透過率向上、感光性層又は得られる硬化膜の黄着色化抑制等の面で有利である。
上記感光性層の厚さは、製造適性の観点から、1μm以上が好ましく、2μm以上がより好ましく、3μm以上が特に好ましい。
The thickness of the photosensitive layer is preferably 20 μm or less, more preferably 15 μm or less, and particularly preferably 12 μm or less.
When the thickness of the photosensitive layer is 20 μm or less, the entire transfer film is thinned, the transmittance of the photosensitive layer or the obtained cured film is improved, and the yellow coloring of the photosensitive layer or the obtained cured film is suppressed. It is advantageous in terms of.
From the viewpoint of manufacturing suitability, the thickness of the photosensitive layer is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more, and particularly preferably 3 μm or more.

上記感光性層の屈折率としては、1.47~1.56が好ましく、1.50~1.53がより好ましく、1.50~1.52が更に好ましく、1.51~1.52が特に好ましい。
本開示において、「屈折率」は、波長550nmにおける屈折率を指す。
本開示における「屈折率」は、特に断りが無い限り、温度23℃において波長550nmの可視光で、エリプソメトリーによって測定した値を意味する。
The refractive index of the photosensitive layer is preferably 1.47 to 1.56, more preferably 1.50 to 1.53, further preferably 1.50 to 1.52, and 1.51 to 1.52. Especially preferable.
In the present disclosure, "refractive index" refers to the refractive index at a wavelength of 550 nm.
Unless otherwise specified, the "refractive index" in the present disclosure means a value measured by ellipsometry with visible light having a wavelength of 550 nm at a temperature of 23 ° C.

上記感光性層の形成方法には、特に限定はなく、公知の方法を用いることができる。
上記感光性層の形成方法の一例として、仮支持体上に、溶剤を含有する感光性樹脂組成物を塗布し、必要に応じ乾燥させることにより形成する方法が挙げられる。
塗布の方法としては、公知の方法を用いることができ、例えば、印刷法、スプレー法、ロールコート法、バーコート法、カーテンコート法、スピンコート法、ダイコート法(即ち、スリットコート法)等が挙げられ、ダイコート法が好ましい。
乾燥の方法としては、自然乾燥、加熱乾燥、減圧乾燥等の公知の方法を、単独で、又は複数組み合わせて適用することができる。
The method for forming the photosensitive layer is not particularly limited, and a known method can be used.
As an example of the method for forming the photosensitive layer, there is a method of applying a photosensitive resin composition containing a solvent on a temporary support and drying it if necessary.
As a coating method, a known method can be used, and for example, a printing method, a spray method, a roll coating method, a bar coating method, a curtain coating method, a spin coating method, a die coating method (that is, a slit coating method) and the like can be used. The die coat method is preferable.
As a drying method, known methods such as natural drying, heat drying, and vacuum drying can be applied alone or in combination of two or more.

<第二の樹脂層>
本開示に係る転写フィルムは、更に、感光性層からみて仮支持体が存在する側とは反対側に、第二の樹脂層を備えてもよい(例えば、後述する転写フィルムの具体例参照)。
第二の樹脂層としては、屈折率調整層が好ましく挙げられる。
屈折率調整層を備える態様の転写フィルムによれば、透明電極パターンを備えるタッチパネル用基板に対し、転写フィルムの屈折率調整層及び感光性層を転写することによりタッチパネル用保護層を形成した場合において、透明電極パターンがより視認されにくくなる(すなわち、透明電極パターンの隠蔽性がより向上する。)。透明電極パターンが視認される現象は、一般に、「骨見え」と称されている。
透明電極パターンが視認される現象、及び、透明電極パターンの隠蔽性については、特開2014-10814号公報及び特開2014-108541号公報を適宜参照できる。
<Second resin layer>
The transfer film according to the present disclosure may further be provided with a second resin layer on the side opposite to the side where the temporary support is present when viewed from the photosensitive layer (see, for example, specific examples of the transfer film described later). ..
As the second resin layer, a refractive index adjusting layer is preferably mentioned.
According to the transfer film provided with the refractive index adjusting layer, when the touch panel protective layer is formed by transferring the refractive index adjusting layer and the photosensitive layer of the transfer film to the touch panel substrate provided with the transparent electrode pattern. , The transparent electrode pattern becomes less visible (that is, the concealing property of the transparent electrode pattern is further improved). The phenomenon in which the transparent electrode pattern is visually recognized is generally referred to as "bone visibility".
Regarding the phenomenon in which the transparent electrode pattern is visually recognized and the concealing property of the transparent electrode pattern, JP-A-2014-10814 and JP-A-2014-108541 can be appropriately referred to.

第二の樹脂層は、感光性層に隣接して配置されることが好ましい。
第二の樹脂層の屈折率は、骨見え抑制の観点から、感光性層の屈折率よりも高いことが好ましい。
第二の樹脂層の屈折率は、好ましくは1.50以上、より好ましくは1.55以上、特に好ましくは1.60以上である。
第二の樹脂層の屈折率の上限は特に制限されないが、2.10以下が好ましく、1.85以下がより好ましく、1.78以下が更に好ましく、1.74以下が特に好ましい。
The second resin layer is preferably arranged adjacent to the photosensitive layer.
The refractive index of the second resin layer is preferably higher than that of the photosensitive layer from the viewpoint of suppressing the appearance of bone.
The refractive index of the second resin layer is preferably 1.50 or more, more preferably 1.55 or more, and particularly preferably 1.60 or more.
The upper limit of the refractive index of the second resin layer is not particularly limited, but is preferably 2.10 or less, more preferably 1.85 or less, still more preferably 1.78 or less, and particularly preferably 1.74 or less.

第二の樹脂層は、光硬化性(すなわち、感光性)を有してもよいし、熱硬化性を有していてもよいし、光硬化性及び熱硬化性の両方を有してもよい。
転写後の光硬化により、強度に優れた硬化膜を形成する観点からは、第二の樹脂層は光硬化性を有することが好ましい。
また、熱硬化により、硬化膜の強度をより向上させることができる観点から、第二の樹脂層は熱硬化性を有することが好ましい。
第二の樹脂層は、熱硬化性及び光硬化性を有することが好ましい。
第二の樹脂層は、アルカリ可溶性(例えば、弱アルカリ水溶液に対する溶解性)を有することが好ましい。
The second resin layer may have photocurability (that is, photosensitive), may have thermosetting property, or may have both photocurability and thermosetting property. good.
From the viewpoint of forming a cured film having excellent strength by photocuring after transfer, the second resin layer is preferably photocurable.
Further, the second resin layer is preferably thermosetting from the viewpoint that the strength of the cured film can be further improved by thermosetting.
The second resin layer is preferably thermosetting and photocurable.
The second resin layer is preferably alkaline soluble (eg, soluble in a weak alkaline aqueous solution).

第二の樹脂層が感光性を有する態様は、転写後において、基板上に転写された感光性層及び第二の樹脂層を、一度のフォトリソグラフィによってまとめてパターニングできるという利点を有する。 The aspect in which the second resin layer is photosensitive has an advantage that the photosensitive layer and the second resin layer transferred onto the substrate can be collectively patterned by a single photolithography after the transfer.

第二の樹脂層の膜厚としては、500nm以下が好ましく、110nm以下がより好ましく、100nm以下が特に好ましい。
また、第二の樹脂層の膜厚は、20nm以上が好ましく、50nm以上がより好ましく、55nm以上が更に好ましく、60nm以上が特に好ましい。
The film thickness of the second resin layer is preferably 500 nm or less, more preferably 110 nm or less, and particularly preferably 100 nm or less.
The film thickness of the second resin layer is preferably 20 nm or more, more preferably 50 nm or more, further preferably 55 nm or more, and particularly preferably 60 nm or more.

第二の樹脂層の屈折率は、透明電極パターンの屈折率に応じて調整することが好ましい。
例えば、ITO(Indium Tin Oxide;酸化インジウムスズ)からなる透明電極パターンのように透明電極パターンの屈折率が1.8~2.0の範囲である場合は、第二の樹脂層の屈折率は、1.60以上が好ましい。この場合の第二の樹脂層の屈折率の上限は特に制限されないが、2.1以下が好ましく、1.85以下がより好ましく、1.78以下が更に好ましく、1.74以下が特に好ましい。
また、例えば、IZO(Indium Zinc Oxide;酸化インジウム亜鉛)からなる透明電極パターンのように、透明電極パターンの屈折率が2.0を超える場合は、第二の樹脂層の屈折率は、1.70以上1.85以下が好ましい。
The refractive index of the second resin layer is preferably adjusted according to the refractive index of the transparent electrode pattern.
For example, when the refractive index of the transparent electrode pattern is in the range of 1.8 to 2.0, such as a transparent electrode pattern made of ITO (Indium Tin Oxide), the refractive index of the second resin layer is , 1.60 or more is preferable. In this case, the upper limit of the refractive index of the second resin layer is not particularly limited, but is preferably 2.1 or less, more preferably 1.85 or less, still more preferably 1.78 or less, and particularly preferably 1.74 or less.
Further, when the refractive index of the transparent electrode pattern exceeds 2.0, for example, as in the transparent electrode pattern made of IZO (Indium Zinc Oxide), the refractive index of the second resin layer is 1. It is preferably 70 or more and 1.85 or less.

第二の樹脂層の屈折率を制御する方法は、特に制限されず、例えば、所定の屈折率の樹脂を単独で用いる方法、樹脂と金属酸化物粒子又は金属粒子とを用いる方法、金属塩と樹脂との複合体を用いる方法、等が挙げられる。金属酸化物粒子の種類としては、特に制限はなく、公知の金属酸化物粒子を用いることができる。具体的には、酸化ジルコニウム粒子(ZrO粒子)、Nb粒子、酸化チタン粒子(TiO粒子)及び二酸化珪素粒子(SiO粒子)のうちの少なくとも一つを含有することが好ましい。中でも、第二の樹脂層の屈折率を1.6以上に調整しやすい点で、酸化ジルコニウム粒子又は酸化チタン粒子がより好ましい。 The method for controlling the refractive index of the second resin layer is not particularly limited, and for example, a method using a resin having a predetermined refractive index alone, a method using a resin and metal oxide particles or metal particles, and a metal salt. Examples thereof include a method using a composite with a resin. The type of the metal oxide particles is not particularly limited, and known metal oxide particles can be used. Specifically, it preferably contains at least one of zirconium oxide particles (ZrO 2 particles), Nb 2 O 5 particles, titanium oxide particles (TiO 2 particles) and silicon dioxide particles (SiO 2 particles). Among them, zirconium oxide particles or titanium oxide particles are more preferable because the refractive index of the second resin layer can be easily adjusted to 1.6 or more.

二酸化珪素粒子としては、例えば、コロイダルシリカ、フュームドシリカ等が挙げられ、上市されている市販品の例として、日産化学工業(株)製のスノーテックスST-N(コロイダルシリカ;不揮発分20%)、スノーテックスST-C(コロイダルシリカ;不揮発分20%)等が挙げられる。
酸化ジルコニウム粒子の例としては、日産化学工業(株)製のナノユースOZ-S30M(メタノール分散液、不揮発分30.5質量%)、堺化学工業(株)製のSZR-CW
(水分散液、不揮発分30質量%)、SZR-M(メタノール分散液、不揮発分30質量%)等が挙げられる。
酸化チタン粒子の例としては、テイカ(株)製のTS-020(水分散液、不揮発分25.6質量%)、日産化学工業(株)製チタニアゾルR(メタノール分散液、不揮発分32.1質量%)等が挙げられる。
Examples of silicon dioxide particles include colloidal silica and fumed silica, and examples of commercially available products on the market include Snowtex ST-N (coloidal silica; non-volatile content 20%) manufactured by Nissan Chemical Industry Co., Ltd. ), Snowtex ST-C (colloidal silica; non-volatile content 20%) and the like.
Examples of zirconium oxide particles include Nanouse OZ-S30M (methanol dispersion, non-volatile content 30.5% by mass) manufactured by Nissan Chemical Industry Co., Ltd. and SZR-CW manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.
(Water dispersion, non-volatile content 30% by mass), SZR-M (methanol dispersion, non-volatile content 30% by mass) and the like can be mentioned.
Examples of titanium oxide particles include TS-020 (water dispersion, non-volatile content 25.6% by mass) manufactured by TAYCA Corporation, and titaniasol R (methanol dispersion, non-volatile content 32.1) manufactured by Nissan Chemical Industry Co., Ltd. Mass%) and the like.

金属酸化物粒子として酸化ジルコニウム粒子を用いる場合、電極パターン等の被隠蔽物の隠蔽性が良好になり、被隠蔽物の視認性を効果的に改善することができるという観点から、酸化ジルコニウム粒子の含有量は、第二の樹脂層の全質量に対して、1質量%~95質量%が好ましく、20質量%~90質量%がより好ましく、40質量%~85質量%が更に好ましい。
金属酸化物粒子として酸化チタンを用いる場合、電極パターン等の被隠蔽物の隠蔽性が良好になり、被隠蔽物の視認性を効果的に改善することができるという観点から、酸化チタン粒子の含有量は、第二の樹脂層の全質量に対して、1質量%~95質量%が好ましく、20質量%~90質量%がより好ましく、40質量%~85質量%が更に好ましい。
When zirconium oxide particles are used as the metal oxide particles, the hiding power of the concealed object such as an electrode pattern is improved, and the visibility of the concealed object can be effectively improved. The content is preferably 1% by mass to 95% by mass, more preferably 20% by mass to 90% by mass, still more preferably 40% by mass to 85% by mass, based on the total mass of the second resin layer.
When titanium oxide is used as the metal oxide particles, the titanium oxide particles are contained from the viewpoint that the concealing property of the concealed object such as an electrode pattern is improved and the visibility of the concealed object can be effectively improved. The amount is preferably 1% by mass to 95% by mass, more preferably 20% by mass to 90% by mass, still more preferably 40% by mass to 85% by mass, based on the total mass of the second resin layer.

また、第二の樹脂層は、バインダーポリマー及びエチレン性不飽和化合物を含有することが好ましい。
第二の樹脂層の成分については、特開2014-108541号公報の段落0019~0040及び0144~0150に記載されている硬化性第二の樹脂層の成分、特開2014-10814号公報の段落0024~0035及び0110~0112に記載されている透明層の成分、国際公開第2016/009980号の段落0034~段落0056に記載されているアンモニウム塩を有する組成物の成分等を参照することができる。
また、第二の樹脂層が含有するバインダーポリマー及びエチレン性不飽和化合物としては、上記第一の樹脂層が含有するバインダーポリマー及びエチレン性不飽和化合物と同様のものを使用することができ、好ましい範囲も同様である。
Further, the second resin layer preferably contains a binder polymer and an ethylenically unsaturated compound.
Regarding the components of the second resin layer, paragraphs 0019 to 0040 and 0144 to 0150 of JP-A-2014-108541, paragraphs of JP-A-2014-10814, which are components of the curable second resin layer. The components of the transparent layer described in 0024 to 0035 and 0110 to 0112, the components of the composition having an ammonium salt described in paragraphs 0034 to 0056 of International Publication No. 2016/099980, and the like can be referred to. ..
Further, as the binder polymer and ethylenically unsaturated compound contained in the second resin layer, the same binder polymer and ethylenically unsaturated compound contained in the first resin layer can be used, which is preferable. The range is similar.

また、第二の樹脂層は、金属酸化抑制剤を少なくとも1種含有することが好ましい。
第二の樹脂層が金属酸化抑制剤を含有する場合には、第二の樹脂層を基板(即ち、転写対象物)上に転写する際に、第二の樹脂層と直接接する部材(例えば、基板上に形成された導電性部材)を表面処理することができる。この表面処理は、第二の樹脂層と直接接する部材に対し金属酸化抑制機能(保護性)を付与する。
金属酸化抑制剤としては、上述したものが挙げられる。
Further, the second resin layer preferably contains at least one metal oxidation inhibitor.
When the second resin layer contains a metal oxidation inhibitor, a member (for example, for example) that is in direct contact with the second resin layer when the second resin layer is transferred onto a substrate (that is, a transfer target). The conductive member) formed on the substrate can be surface-treated. This surface treatment imparts a metal oxidation suppressing function (protective property) to a member that is in direct contact with the second resin layer.
Examples of the metal oxidation inhibitor include those described above.

第二の樹脂層は、上述した成分以外のその他の成分を含有していてもよい。
第二の樹脂層に含有され得るその他の成分としては、上述した感光性層に含まれる各成分と同様のものが挙げられる。
第二の樹脂層は、その他の成分として、界面活性剤を含有することが好ましい。
The second resin layer may contain other components other than the above-mentioned components.
Examples of other components that can be contained in the second resin layer include the same components as those contained in the above-mentioned photosensitive layer.
The second resin layer preferably contains a surfactant as another component.

第二の樹脂層の形成方法には特に限定はない。
第二の樹脂層の形成方法の一例として、仮支持体上に形成された上述の感光性層上に、水系溶剤を含有する態様の第二の樹脂層形成用組成物を塗布し、必要に応じ乾燥させることにより形成する方法が挙げられる。
塗布及び乾燥の方法の具体例は、それぞれ、感光性層を形成する際の塗布及び乾燥の具体例と同様である。
The method for forming the second resin layer is not particularly limited.
As an example of the method for forming the second resin layer, the composition for forming the second resin layer in the embodiment containing an aqueous solvent is applied onto the above-mentioned photosensitive layer formed on the temporary support, and it is necessary. A method of forming by drying is mentioned.
Specific examples of the coating and drying methods are the same as the specific examples of coating and drying when forming the photosensitive layer, respectively.

第二の樹脂層形成用組成物は、上述した第二の樹脂層の各成分を含有し得る。
第二の樹脂層形成用組成物は、例えば、バインダーポリマー、エチレン性不飽和化合物、粒子、及び水系溶剤を含有する。
また、第二の樹脂層形成用組成物としては、国際公開第2016/009980号の段落0034~0056に記載されている、アンモニウム塩を有する組成物も好ましい。
The composition for forming the second resin layer may contain each component of the second resin layer described above.
The composition for forming the second resin layer contains, for example, a binder polymer, an ethylenically unsaturated compound, particles, and an aqueous solvent.
Further, as the second resin layer forming composition, the composition having an ammonium salt described in paragraphs 0034 to 0056 of International Publication No. 2016/099980 is also preferable.

<保護フィルム>
本開示に係る転写フィルムは、更に、感光性層からみて仮支持体とは反対側に、保護フィルムを備えていてもよい。
本開示に係る転写フィルムが、感光性層からみて仮支持体とは反対側に第二の樹脂層を備える場合には、保護フィルムは、好ましくは、第二の樹脂層からみて仮支持体とは反対側に配置される。
保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、及びポリカーボネートフィルムが挙げられる。
保護フィルムとしては、例えば、特開2006-259138号公報の段落0083~0087及び0093に記載のものを用いてもよい。
<Protective film>
The transfer film according to the present disclosure may further include a protective film on the side opposite to the temporary support when viewed from the photosensitive layer.
When the transfer film according to the present disclosure includes a second resin layer on the side opposite to the temporary support when viewed from the photosensitive layer, the protective film is preferably a temporary support when viewed from the second resin layer. Is placed on the opposite side.
Examples of the protective film include polyethylene terephthalate film, polypropylene film, polystyrene film, and polycarbonate film.
As the protective film, for example, those described in paragraphs 0083 to 0087 and 093 of JP-A-2006-259138 may be used.

<熱可塑性樹脂層>
本開示に係る転写フィルムは、更に、仮支持体と感光性層との間に、熱可塑性樹脂層を備えていてもよい。
転写フィルムが熱可塑性樹脂層を備える場合には、転写フィルムを基板に転写して積層体を形成した場合に、積層体の各要素に気泡が発生しにくくなる。この積層体を画像表示装置に用いた場合には、画像ムラなどが発生し難くなり、優れた表示特性が得られる。
熱可塑性樹脂層は、アルカリ可溶性を有することが好ましい。
熱可塑性樹脂層は、転写時において、基板表面の凹凸を吸収するクッション材として機能する。
基板表面の凹凸には、既に形成されている、画像、電極、配線なども含まれる。熱可塑性樹脂層は、凹凸に応じて変形し得る性質を有していることが好ましい。
<Thermoplastic resin layer>
The transfer film according to the present disclosure may further include a thermoplastic resin layer between the temporary support and the photosensitive layer.
When the transfer film includes a thermoplastic resin layer, when the transfer film is transferred to a substrate to form a laminate, bubbles are less likely to be generated in each element of the laminate. When this laminated body is used in an image display device, image unevenness and the like are less likely to occur, and excellent display characteristics can be obtained.
The thermoplastic resin layer preferably has alkali solubility.
The thermoplastic resin layer functions as a cushioning material that absorbs irregularities on the surface of the substrate during transfer.
The irregularities on the surface of the substrate include images, electrodes, wiring, etc. that have already been formed. It is preferable that the thermoplastic resin layer has a property of being deformable according to the unevenness.

熱可塑性樹脂層は、特開平5-72724号公報に記載の有機高分子物質を含むことが好ましく、ヴィカー(Vicat)法(具体的には、アメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質を含むことがより好ましい。 The thermoplastic resin layer preferably contains the organic polymer substance described in JP-A-5-72724, and the polymer softening point according to the Vicat method (specifically, the American material test method ASTMD1235). It is more preferable to contain an organic polymer substance having a softening point of about 80 ° C. or lower according to the measurement method).

熱可塑性樹脂層の厚さとしては、3μm~30μmが好ましく、4μm~25μmがより好ましく、5μm~20μmが更に好ましい。
熱可塑性樹脂層の厚さが3μm以上であると、基板表面の凹凸に対する追従性が向上するので、基板表面の凹凸をより効果的に吸収できる。
熱可塑性樹脂層の厚さが30μm以下であると、プロセス適性がより向上する。例えば、仮支持体に熱可塑性樹脂層を塗布形成する際の乾燥(溶剤除去)の負荷がより軽減され、また、転写後の熱可塑性樹脂層の現像時間が短縮される。
The thickness of the thermoplastic resin layer is preferably 3 μm to 30 μm, more preferably 4 μm to 25 μm, still more preferably 5 μm to 20 μm.
When the thickness of the thermoplastic resin layer is 3 μm or more, the followability to the unevenness of the substrate surface is improved, so that the unevenness of the substrate surface can be absorbed more effectively.
When the thickness of the thermoplastic resin layer is 30 μm or less, the process suitability is further improved. For example, the load of drying (solvent removal) when the thermoplastic resin layer is applied and formed on the temporary support is further reduced, and the development time of the thermoplastic resin layer after transfer is shortened.

熱可塑性樹脂層は、溶剤及び熱可塑性の有機高分子を含む熱可塑性樹脂層形成用組成物を仮支持体に塗布し、必要に応じ乾燥させることによって形成され得る。
塗布及び乾燥の方法の具体例は、それぞれ、感光性層を形成する際の塗布及び乾燥の具体例と同様である。
溶剤としては、熱可塑性樹脂層を形成する高分子成分を溶解するものであれば、特に制限されず、有機溶剤(例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、n-プロパノール、及び2-プロパノール)が挙げられる。
The thermoplastic resin layer can be formed by applying a composition for forming a thermoplastic resin layer containing a solvent and a thermoplastic organic polymer to a temporary support and drying it if necessary.
Specific examples of the coating and drying methods are the same as the specific examples of coating and drying when forming the photosensitive layer, respectively.
The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the polymer component forming the thermoplastic resin layer, and is an organic solvent (for example, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether acetate, n-propanol, and 2-propanol. ).

熱可塑性樹脂層は、100℃で測定した粘度が1,000~10,000Pa・sであることが好ましい。また、100℃で測定した熱可塑性樹脂層の粘度が、100℃で測定した感光性層の粘度よりも低いことが好ましい The thermoplastic resin layer preferably has a viscosity measured at 100 ° C. of 1,000 to 10,000 Pa · s. Further, it is preferable that the viscosity of the thermoplastic resin layer measured at 100 ° C. is lower than the viscosity of the photosensitive layer measured at 100 ° C.

<中間層>
本開示に係る転写フィルムは、更に、仮支持体と感光性層との間に、中間層を備えていてもよい。
本開示に係る転写フィルムが熱可塑性樹脂層を備える場合、中間層は、好ましくは、熱可塑性樹脂層と感光性層との間に配置される。
中間層の成分としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、セルロース、又は、これらのうちの少なくとも2種を含む混合物である樹脂が挙げられる。
また、中間層としては、特開平5-72724号公報に「分離層」として記載されているものを用いることもできる。
<Middle layer>
The transfer film according to the present disclosure may further include an intermediate layer between the temporary support and the photosensitive layer.
When the transfer film according to the present disclosure includes a thermoplastic resin layer, the intermediate layer is preferably arranged between the thermoplastic resin layer and the photosensitive layer.
Examples of the components of the intermediate layer include polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, cellulose, or a resin which is a mixture containing at least two of them.
Further, as the intermediate layer, a layer described as a "separation layer" in JP-A-5-72724 can also be used.

仮支持体上に熱可塑性樹脂層、中間層、及び感光性層をこの順に備える態様の転写フィルムを製造する場合において、中間層は、例えば、熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤と、中間層の成分としての上記樹脂と、を含有する中間層形成用組成物を塗布し、必要に応じ乾燥させることによって形成され得る。塗布及び乾燥の方法の具体例は、それぞれ、感光性層を形成する際の塗布及び乾燥の具体例と同様である。
上記の場合、例えば、まず、仮支持体上に熱可塑性樹脂層形成用組成物を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を形成する。次いで、この熱可塑性樹脂層上に中間層形成用組成物を塗布し、乾燥させて中間層を形成する。その後、中間層上に、有機溶剤を含有する態様の感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて感光性層を形成する。この場合の有機溶剤は、中間層を溶解しない有機溶剤であることが好ましい。
In the case of producing a transfer film in which a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive layer are provided in this order on a temporary support, the intermediate layer is, for example, a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer and an intermediate layer. It can be formed by applying a composition for forming an intermediate layer containing the above resin as a component and drying it if necessary. Specific examples of the coating and drying methods are the same as the specific examples of coating and drying when forming the photosensitive layer, respectively.
In the above case, for example, first, the composition for forming a thermoplastic resin layer is first applied on the temporary support and dried to form the thermoplastic resin layer. Next, the composition for forming an intermediate layer is applied onto the thermoplastic resin layer and dried to form an intermediate layer. Then, a photosensitive resin composition containing an organic solvent is applied onto the intermediate layer and dried to form a photosensitive layer. The organic solvent in this case is preferably an organic solvent that does not dissolve the intermediate layer.

<転写フィルムの具体例>
図1は、本開示に係る転写フィルムの一具体例である転写フィルム10の概略断面図である。
図1に示されるように、転写フィルム10は、保護フィルム16/第二の樹脂層20A/感光性層18A/仮支持体12の積層構造(即ち、仮支持体12と、感光性層18Aと、第二の樹脂層20Aと、保護フィルム16と、がこの順に配置された積層構造)を有する。
ただし、本開示に係る転写フィルムは、転写フィルム10であることには限定されず、例えば、第二の樹脂層20A及び保護フィルム16は省略されていてもよい。また、仮支持体12と感光性層18Aとの間に、上述の熱可塑性樹脂層及び中間層の少なくとも一方を備えていてもよい。
<Specific example of transfer film>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a transfer film 10 which is a specific example of the transfer film according to the present disclosure.
As shown in FIG. 1, the transfer film 10 has a laminated structure of a protective film 16 / a second resin layer 20A / a photosensitive layer 18A / a temporary support 12 (that is, a temporary support 12 and a photosensitive layer 18A. , The second resin layer 20A and the protective film 16 are arranged in this order).
However, the transfer film according to the present disclosure is not limited to the transfer film 10, and for example, the second resin layer 20A and the protective film 16 may be omitted. Further, at least one of the above-mentioned thermoplastic resin layer and intermediate layer may be provided between the temporary support 12 and the photosensitive layer 18A.

第二の樹脂層20Aは、感光性層18Aからみて仮支持体12が存在する側とは反対側に配置された層であり、波長550nmにおける屈折率が1.50以上である層である。
転写フィルム10は、ネガ型材料(ネガ型フィルム)である。
The second resin layer 20A is a layer arranged on the side opposite to the side where the temporary support 12 exists when viewed from the photosensitive layer 18A, and has a refractive index of 1.50 or more at a wavelength of 550 nm.
The transfer film 10 is a negative type material (negative type film).

転写フィルム10の製造方法は、特に制限されない。
転写フィルム10の製造方法は、例えば、仮支持体12上に感光性層18Aを形成する工程と、感光性層18A上に第二の樹脂層20Aを形成する工程と、第二の樹脂層20A上に保護フィルム16を形成する工程と、をこの順に含む。
転写フィルム10の製造方法は、第二の樹脂層20Aを形成する工程と保護フィルム16を形成する工程との間に、国際公開第2016/009980号の段落0056に記載されている、アンモニアを揮発させる工程を含んでもよい。
The method for producing the transfer film 10 is not particularly limited.
The method for producing the transfer film 10 includes, for example, a step of forming a photosensitive layer 18A on the temporary support 12, a step of forming a second resin layer 20A on the photosensitive layer 18A, and a second resin layer 20A. The steps of forming the protective film 16 on the top are included in this order.
The method for producing the transfer film 10 is described in paragraph 0056 of International Publication No. 2016/099980, which volatilizes ammonia between the step of forming the second resin layer 20A and the step of forming the protective film 16. It may include a step of causing.

(積層体、及び、静電容量型入力装置)
以下に述べる本開示に係る積層体は、本開示に係る硬化膜を有していればよいが、基板、電極、及び、本開示に係る硬化膜をこの順に積層してなる積層体であることが好ましい。
また、上記感光性層は、所望のパターン形状であってもよい。
また、本開示に係る積層体は、基板上に、本開示に係る転写フィルムから仮支持体を除いた後の感光性層を有することが好ましい。
本開示に係る静電容量型入力装置は、本開示に係る硬化膜、又は、本開示に係る積層体を有する。
上記基板は、静電容量型入力装置の電極を含む基板であることが好ましい。
また、上記電極は、静電容量型入力装置の電極であることが好ましい。
(Laminated body and capacitance type input device)
The laminate according to the present disclosure described below may have a cured film according to the present disclosure, but is a laminate formed by laminating a substrate, electrodes, and a cured film according to the present disclosure in this order. Is preferable.
Further, the photosensitive layer may have a desired pattern shape.
Further, it is preferable that the laminate according to the present disclosure has a photosensitive layer on the substrate after removing the temporary support from the transfer film according to the present disclosure.
The capacitance type input device according to the present disclosure has a cured film according to the present disclosure or a laminate according to the present disclosure.
The substrate is preferably a substrate including an electrode of a capacitance type input device.
Further, the electrode is preferably an electrode of a capacitance type input device.

静電容量型入力装置の電極は、透明電極パターンであっても、引き回し配線であってもよい。積層体は、静電容量型入力装置の電極が、電極パターンであることが好ましく、透明電極パターンであることがより好ましい。 The electrode of the capacitance type input device may be a transparent electrode pattern or a routing wiring. In the laminated body, the electrodes of the capacitance type input device are preferably an electrode pattern, and more preferably a transparent electrode pattern.

本開示に係る積層体においては、基板と、透明電極パターンと、透明電極パターンに隣接して配置された第二の樹脂層と、第二の樹脂層に隣接して配置された感光性層と、を有し、第二の樹脂層の屈折率が感光性層の屈折率よりも高いことが好ましい。第二の樹脂層の屈折率は、1.6以上であることが好ましい。
既述の積層体の構成とすることにより、透明電極パターンの隠蔽性が良好となる。
In the laminate according to the present disclosure, the substrate, the transparent electrode pattern, the second resin layer arranged adjacent to the transparent electrode pattern, and the photosensitive layer arranged adjacent to the second resin layer are used. , And the refractive index of the second resin layer is preferably higher than that of the photosensitive layer. The refractive index of the second resin layer is preferably 1.6 or more.
By adopting the above-mentioned laminated body configuration, the concealing property of the transparent electrode pattern is improved.

上記基板としては、ガラス基板又は樹脂基板が好ましい。
また、基板は、透明な基板であることが好ましく、透明な樹脂基板であることがより好ましい。本開示における透明とは、全可視光線の透過率が85%以上であることを意図し、90%以上が好ましく、95%以上がより好ましい。
基板の屈折率は、1.50~1.52が好ましい。
ガラス基板としては、例えば、コーニング社のゴリラガラス(登録商標)などの強化ガラスを用いることができる。
樹脂基板としては、光学的に歪みがないもの及び透明度が高いものの少なくとも一方を用いることが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリイミド(PI)、ポリベンゾオキサゾール(PBO)、シクロオレフィンポリマー(COP)等の樹脂からなる基板が挙げられる。
透明な基板の材質としては、特開2010-86684号公報、特開2010-152809号公報、及び特開2010-257492号公報に記載されている材質が好ましく用いられる。
As the substrate, a glass substrate or a resin substrate is preferable.
Further, the substrate is preferably a transparent substrate, and more preferably a transparent resin substrate. Transparency in the present disclosure is intended to have a transmittance of 85% or more for all visible light, and is preferably 90% or more, more preferably 95% or more.
The refractive index of the substrate is preferably 1.50 to 1.52.
As the glass substrate, for example, tempered glass such as Corning's gorilla glass (registered trademark) can be used.
As the resin substrate, it is preferable to use at least one of which is optically free and has high transparency. For example, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate (PC), and triacetyl cellulose (TAC) are used. ), Polyimide (PI), polybenzoxazole (PBO), cycloolefin polymer (COP) and other resins.
As the material of the transparent substrate, the materials described in JP-A-2010-86684, JP-A-2010-152809, and JP-A-2010-257492 are preferably used.

上記静電容量型入力装置としては、タッチパネルが好適に挙げられる。
タッチパネル用電極としては、例えば、タッチパネルの少なくとも画像表示領域に配置される透明電極パターンが挙げられる。タッチパネル用電極は、画像表示領域からタッチパネルの枠部にまで延びていてもよい。
タッチパネル用配線としては、例えば、タッチパネルの枠部に配置される引き回し配線(取り出し配線)が挙げられる。
タッチパネル用基板及びタッチパネルの好ましい態様は、透明電極パターンのタッチパネルの枠部に延びている部分に、引き回し配線の一部が積層されることにより、透明電極パターンと引き回し配線とが電気的に接続されている態様が好適である。
A touch panel is preferably mentioned as the capacitance type input device.
Examples of the touch panel electrode include a transparent electrode pattern arranged in at least an image display area of the touch panel. The touch panel electrode may extend from the image display area to the frame portion of the touch panel.
Examples of the wiring for the touch panel include wiring wiring (take-out wiring) arranged in the frame portion of the touch panel.
A preferred embodiment of the touch panel substrate and the touch panel is that the transparent electrode pattern and the routing wiring are electrically connected by laminating a part of the routing wiring on the portion extending to the frame portion of the touch panel of the transparent electrode pattern. Is preferable.

透明電極パターンの材質としては、ITO(酸化インジウムスズ)、IZO(酸化インジウム亜鉛)等の金属酸化膜が好ましい。
引き回し配線の材質としては、金属が好ましい。引き回し配線の材質である金属としては、金、銀、銅、モリブデン、アルミニウム、チタン、クロム、亜鉛及びマンガン、並びに、これらの金属元素の2種以上からなる合金が挙げられる。引き回し配線の材質としては、銅、モリブデン、アルミニウム又はチタンが好ましく、銅が特に好ましい。
As the material of the transparent electrode pattern, a metal oxide film such as ITO (indium tin oxide) or IZO (zinc oxide) is preferable.
Metal is preferable as the material of the routing wiring. Examples of the metal that is the material of the routing wiring include gold, silver, copper, molybdenum, aluminum, titanium, chromium, zinc and manganese, and alloys composed of two or more of these metal elements. As the material of the routing wiring, copper, molybdenum, aluminum or titanium is preferable, and copper is particularly preferable.

本開示に係る転写フィルムを用いて形成されたタッチパネル用電極保護膜は、電極等(すなわち、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方)を保護する目的で、電極等を直接又は他の層を介して覆うように設けられる。
タッチパネル用電極保護膜の厚さの好ましい範囲は、上述した感光性層の厚さの好ましい範囲と同様である。
The touch panel electrode protective film formed by using the transfer film according to the present disclosure has an electrode or the like directly or another layer for the purpose of protecting the electrode or the like (that is, at least one of the touch panel electrode and the touch panel wiring). It is provided so as to cover through.
The preferred range of the thickness of the electrode protective film for the touch panel is the same as the preferred range of the thickness of the photosensitive layer described above.

また、上記タッチパネル用保護膜は、上記タッチパネルにおける折り曲げ領域に設けられていることが好ましい。上記態様であると、曲げ耐性に優れる本開示に係る感光性樹脂組成物より形成された硬化膜の効果をより発揮することができる。
なお、本開示において、折り曲げ領域とは、所定の曲率半径で折り曲げられた領域又は所定の曲率半径で折り曲げることができる領域を意味する。所定の曲率半径とは、好ましくは40mm以下、より好ましくは10mm以下、特に好ましくは5mm以下である。
他の実施態様においては、上記タッチパネルは、折り曲げ領域で、折りたたまれていてもよい。また、他の実施態様においては、上記タッチパネルは、その中央部付近に折り曲げ領域を有していてもよい。
Further, it is preferable that the protective film for the touch panel is provided in the bent region of the touch panel. According to the above aspect, the effect of the cured film formed from the photosensitive resin composition according to the present disclosure, which is excellent in bending resistance, can be further exerted.
In the present disclosure, the bent region means a region bent with a predetermined radius of curvature or a region that can be bent with a predetermined radius of curvature. The predetermined radius of curvature is preferably 40 mm or less, more preferably 10 mm or less, and particularly preferably 5 mm or less.
In another embodiment, the touch panel may be folded in the bent region. Further, in another embodiment, the touch panel may have a bent region in the vicinity of the central portion thereof.

本開示に係る電極保護膜、好ましくはタッチパネル用電極保護膜は、開口部を有していてもよい。
上記開口部は、感光性層の非露光部が現像液によって溶解されることによって形成され得る。
この場合において、タッチパネル用電極保護膜が、転写フィルムを用いて高温のラミネート条件で形成された場合においても、タッチパネル用電極保護膜の開口部における現像残渣が抑制される。
The electrode protective film according to the present disclosure, preferably the electrode protective film for a touch panel, may have an opening.
The opening can be formed by dissolving the non-exposed portion of the photosensitive layer with a developer.
In this case, even when the touch panel electrode protective film is formed by using a transfer film under high temperature laminating conditions, the development residue at the opening of the touch panel electrode protective film is suppressed.

タッチパネルは、更に、電極等とタッチパネル用電極保護層との間に第一屈折率調整層を備えていてもよい(例えば、後述するタッチパネルの第1具体例参照)。
第一屈折率調整層の好ましい態様は、転写フィルムに備えられ得る第二の樹脂層の好ましい態様と同様である。第一屈折率調整層は、第一屈折率調整層形成用組成物の塗布及び乾燥によって形成されてもよいし、別途、屈折率調整層を備える転写フィルムの屈折率調整層を転写することによって形成されてもよい。
第一屈折率調整層を備える態様のタッチパネルは、好ましくは、第二の樹脂層を備える態様の本開示に係る転写フィルムを用い、転写フィルムにおける感光性層及び第二の樹脂層を転写することによって形成することが好ましい。この場合、転写フィルムにおける感光性層からタッチパネル用電極保護層が形成され、転写フィルムにおける第二の樹脂層から第一屈折率調整層が形成される。
The touch panel may further include a first refractive index adjusting layer between the electrodes and the like and the electrode protective layer for the touch panel (see, for example, the first specific example of the touch panel described later).
The preferred embodiment of the first refractive index adjusting layer is the same as the preferred embodiment of the second resin layer that can be provided on the transfer film. The first refractive index adjusting layer may be formed by applying and drying the composition for forming the first refractive index adjusting layer, or by separately transferring the refractive index adjusting layer of the transfer film provided with the refractive index adjusting layer. It may be formed.
The touch panel in the embodiment including the first refractive index adjusting layer preferably uses the transfer film according to the present disclosure in the embodiment including the second resin layer to transfer the photosensitive layer and the second resin layer in the transfer film. It is preferable to form by. In this case, the touch panel electrode protective layer is formed from the photosensitive layer of the transfer film, and the first refractive index adjusting layer is formed from the second resin layer of the transfer film.

また、タッチパネル又はタッチパネル用基板は、基板と電極等との間に、第二屈折率調整層を備えていてもよい(例えば、後述するタッチパネルの第1具体例参照)。
第二屈折率調整層の好ましい態様は、転写フィルムに備えられ得る第二の樹脂層の好ましい態様と同様である。
Further, the touch panel or the touch panel substrate may be provided with a second refractive index adjusting layer between the substrate and the electrodes (see, for example, the first specific example of the touch panel described later).
The preferred embodiment of the second refractive index adjusting layer is the same as the preferred embodiment of the second resin layer that can be provided on the transfer film.

タッチパネルが第一屈折率調整層を備える態様(より好ましくは第一屈折率調整層及び第二屈折率調整層を備える態様)は、電極等が視認されにくくなる(即ち、いわゆる骨見えが抑制される)という利点を有する。 In the embodiment in which the touch panel includes the first refractive index adjusting layer (more preferably, the first refractive index adjusting layer and the second refractive index adjusting layer are provided), the electrodes and the like are less likely to be visually recognized (that is, so-called bone visibility is suppressed). It has the advantage of.

タッチパネルの構造については、特開2014-10814号公報又は特開2014-108541号公報に記載の静電容量型入力装置の構造を参照してもよい。 For the structure of the touch panel, the structure of the capacitance type input device described in JP-A-2014-10814 or JP-A-2014-108541 may be referred to.

<タッチパネルの第1具体例>
図2は、本開示に係るタッチパネルの第1具体例であるタッチパネル30の概略断面図である。より詳細には、図2は、タッチパネル30の画像表示領域の概略断面図である。
図2に示されるように、タッチパネル30は、基板32と、第二屈折率調整層36と、タッチパネル用電極としての透明電極パターン34と、第一屈折率調整層20と、タッチパネル用電極保護膜18と、がこの順序で配置された構造を有する。
タッチパネル30では、タッチパネル用電極保護膜18及び第一屈折率調整層20が、透明電極パターン34の全体を覆っている。しかし本開示に係るタッチパネルはこの態様には限定されない。タッチパネル用電極保護膜18及び第一屈折率調整層20は、透明電極パターン34の少なくとも一部を覆っていればよい。
<First specific example of touch panel>
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a touch panel 30 which is a first specific example of the touch panel according to the present disclosure. More specifically, FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of an image display area of the touch panel 30.
As shown in FIG. 2, the touch panel 30 includes a substrate 32, a second refractive index adjusting layer 36, a transparent electrode pattern 34 as a touch panel electrode, a first refractive index adjusting layer 20, and a touch panel electrode protective film. 18 and have a structure arranged in this order.
In the touch panel 30, the touch panel electrode protective film 18 and the first refractive index adjusting layer 20 cover the entire transparent electrode pattern 34. However, the touch panel according to the present disclosure is not limited to this aspect. The electrode protective film 18 for the touch panel and the first refractive index adjusting layer 20 may cover at least a part of the transparent electrode pattern 34.

また、第二屈折率調整層36及び第一屈折率調整層20は、それぞれ、透明電極パターン34が存在する第1領域40及び透明電極パターン34が存在しない第2領域42を、直接又は他の層を介して連続して被覆することが好ましい。これにより、透明電極パターン34がより視認されにくくなる。
第二屈折率調整層36及び第一屈折率調整層20は、第1領域40及び第2領域42の両方を、他の層を介して被覆するよりも、直接被覆することが好ましい。「他の層」としては、例えば、絶縁層、透明電極パターン34以外の電極パターン、等が挙げられる。
Further, the second refractive index adjusting layer 36 and the first refractive index adjusting layer 20 directly or other the first region 40 in which the transparent electrode pattern 34 exists and the second region 42 in which the transparent electrode pattern 34 does not exist, respectively. It is preferable to continuously cover the layers. This makes the transparent electrode pattern 34 less visible.
It is preferable that the second refractive index adjusting layer 36 and the first refractive index adjusting layer 20 directly cover both the first region 40 and the second region 42 rather than covering them through other layers. Examples of the "other layer" include an insulating layer, an electrode pattern other than the transparent electrode pattern 34, and the like.

第一屈折率調整層20は、第1領域40及び第2領域42の両方にまたがって積層されている。第一屈折率調整層20は、第二屈折率調整層36と隣接しており、更に、透明電極パターン34とも隣接している。
第二屈折率調整層36と接触する箇所における透明電極パターン34の端部の形状が、図2に示される如きテーパー形状である場合は、テーパー形状に沿って(すなわち、テーパー角と同じ傾きで)、第一屈折率調整層20が積層されていることが好ましい。
The first refractive index adjusting layer 20 is laminated over both the first region 40 and the second region 42. The first refractive index adjusting layer 20 is adjacent to the second refractive index adjusting layer 36, and is also adjacent to the transparent electrode pattern 34.
When the shape of the end portion of the transparent electrode pattern 34 at the point of contact with the second refractive index adjusting layer 36 is a tapered shape as shown in FIG. 2, the shape is along the tapered shape (that is, at the same inclination as the taper angle). ), It is preferable that the first refractive index adjusting layer 20 is laminated.

透明電極パターン34としては、ITO透明電極パターンが好適である。
透明電極パターン34は、例えば、以下の方法により形成できる。
第二屈折率調整層36が形成された基板32の上に、スパッタリングにより電極用薄膜(例えばITO膜)を形成する。この電極用薄膜の上に、エッチング用感光性レジストを塗布することにより、又は、エッチング用感光性フィルムを転写することにより、エッチング保護層を形成する。次いで、露光及び現像により、このエッチング保護層を所望とするパターン形状にパターニングする。次いで、エッチングにより、電極用薄膜のうちパターニングされたエッチング保護層に覆われていない部分を除去する。これにより、電極用薄膜を所望の形状のパターン(すなわち、透明電極パターン34)とする。続いて、剥離液によりパターニングされたエッチング保護層を除去する。
As the transparent electrode pattern 34, the ITO transparent electrode pattern is suitable.
The transparent electrode pattern 34 can be formed, for example, by the following method.
A thin film for electrodes (for example, an ITO film) is formed by sputtering on the substrate 32 on which the second refractive index adjusting layer 36 is formed. An etching protective layer is formed by applying a photosensitive resist for etching on the thin film for electrodes or by transferring a photosensitive film for etching. Next, the etching protective layer is patterned into a desired pattern shape by exposure and development. Then, the portion of the electrode thin film that is not covered by the patterned etching protective layer is removed by etching. As a result, the thin film for electrodes is formed into a pattern having a desired shape (that is, a transparent electrode pattern 34). Subsequently, the etching protective layer patterned by the stripping liquid is removed.

第一屈折率調整層20及びタッチパネル用電極保護膜18は、例えば以下のようにして、第二屈折率調整層36及び透明電極パターン34が順次設けられた基板32(即ち、タッチパネル用基板)の上に形成される。
まず、図1に示した転写フィルム10(すなわち、保護フィルム16/第二の樹脂層20A/感光性層18A/仮支持体12の積層構造を有する転写フィルム10)を準備する。
次に、転写フィルム10から保護フィルム16を取り除く。
次に、保護フィルム16が取り除かれた転写フィルム10を、第二屈折率調整層36及び透明電極パターン34が順次設けられた基板32(即ち、タッチパネル用基板)の上にラミネートする。ラミネートは、保護フィルム16が取り除かれた転写フィルム10の第二の樹脂層20Aと、透明電極パターン34と、が接する向きで行う。このラミネートにより、仮支持体12/感光性層18A/第二の樹脂層20A/透明電極パターン34/第二屈折率調整層36/基板32の積層構造を有する積層体が得られる。
次に、積層体から仮支持体12を取り除く。
次に、仮支持体12が取り除かれた積層体をパターン露光することにより、感光性層18A及び第二の樹脂層20Aをパターン状に硬化させる。感光性層18A及び第二の樹脂層20Aのパターン状に硬化は、それぞれ別個のパターン露光によって別個に行ってもよいが、1回のパターン露光によって同時に行うことが好ましい。
次に、現像によって感光性層18A及び第二の樹脂層20Aの非露光部(即ち、非硬化部)を除去することにより、感光性層18Aのパターン状の硬化物であるタッチパネル用電極保護膜18(パターン形状については不図示)、及び、第二の樹脂層20Aのパターン状の硬化物である第一屈折率調整層20(パターン形状については不図示)をそれぞれ得る。パターン露光後の感光性層18A及び第二の樹脂層20Aの現像は、それぞれ別個の現像によって別個に行ってもよいが、1回の現像によって同時に行うことが好ましい。
The first refractive index adjusting layer 20 and the touch panel electrode protective film 18 are, for example, the substrate 32 (that is, the touch panel substrate) in which the second refractive index adjusting layer 36 and the transparent electrode pattern 34 are sequentially provided as follows. Formed on top.
First, the transfer film 10 shown in FIG. 1 (that is, the transfer film 10 having a laminated structure of the protective film 16 / the second resin layer 20A / the photosensitive layer 18A / the temporary support 12) is prepared.
Next, the protective film 16 is removed from the transfer film 10.
Next, the transfer film 10 from which the protective film 16 has been removed is laminated on a substrate 32 (that is, a touch panel substrate) in which the second refractive index adjusting layer 36 and the transparent electrode pattern 34 are sequentially provided. Lamination is performed in the direction in which the second resin layer 20A of the transfer film 10 from which the protective film 16 has been removed and the transparent electrode pattern 34 are in contact with each other. By this laminating, a laminated body having a laminated structure of a temporary support 12 / a photosensitive layer 18A / a second resin layer 20A / a transparent electrode pattern 34 / a second refractive index adjusting layer 36 / a substrate 32 can be obtained.
Next, the temporary support 12 is removed from the laminated body.
Next, the photosensitive layer 18A and the second resin layer 20A are cured in a pattern by pattern-exposing the laminate from which the temporary support 12 has been removed. The photosensitive layer 18A and the second resin layer 20A may be cured separately in a pattern by separate pattern exposures, but it is preferably performed simultaneously by one pattern exposure.
Next, by removing the non-exposed portion (that is, the non-curing portion) of the photosensitive layer 18A and the second resin layer 20A by development, the electrode protective film for a touch panel which is a patterned cured product of the photosensitive layer 18A. 18 (not shown for the pattern shape) and the first refractive index adjusting layer 20 (not shown for the pattern shape), which is a cured product of the pattern of the second resin layer 20A, are obtained, respectively. The development of the photosensitive layer 18A and the second resin layer 20A after the pattern exposure may be performed separately by separate development, but it is preferable that the development is performed simultaneously by one development.

ラミネート、パターン露光、現像の好ましい態様は後述する。 Preferred embodiments of laminating, pattern exposure and development will be described later.

タッチパネルの構造については、特開2014-10814号公報又は特開2014-108541号公報に記載の静電容量型入力装置の構造を参照してもよい。 For the structure of the touch panel, the structure of the capacitance type input device described in JP-A-2014-10814 or JP-A-2014-108541 may be referred to.

<タッチパネルの第2具体例>
図3は、本開示に係るタッチパネルの第2具体例であるタッチパネル90の概略断面図である。
図3に示されるように、タッチパネル90は、画像表示領域74及び画像非表示領域75(すなわち、枠部)を有する。
図3に示されるように、タッチパネル90は、基板32の両面にタッチパネル用電極を備えている。詳細には、タッチパネル90は、基板32の一方の面に第1透明電極パターン70を備え、他方の面に第2透明電極パターン72を備えている。
タッチパネル90では、第1透明電極パターン70及び第2透明電極パターン72のそれぞれに、引き回し配線56が接続されている。引き回し配線56は、例えば銅配線である。
タッチパネル90では、基板32の一方の面において、第1透明電極パターン70及び引き回し配線56を覆うようにタッチパネル用電極保護膜18が形成されており、基板32の他方の面において、第2透明電極パターン72及び引き回し配線56を覆うようにタッチパネル用電極保護膜18が形成されている。
基板32の一方の面及び他方の面には、それぞれ、第1具体例における第一屈折率調整層及び第二屈折率調整層が設けられていてもよい。
<Second specific example of touch panel>
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a touch panel 90, which is a second specific example of the touch panel according to the present disclosure.
As shown in FIG. 3, the touch panel 90 has an image display area 74 and an image non-display area 75 (that is, a frame portion).
As shown in FIG. 3, the touch panel 90 includes touch panel electrodes on both sides of the substrate 32. Specifically, the touch panel 90 is provided with a first transparent electrode pattern 70 on one surface of the substrate 32 and a second transparent electrode pattern 72 on the other surface.
In the touch panel 90, the routing wiring 56 is connected to each of the first transparent electrode pattern 70 and the second transparent electrode pattern 72. The routing wiring 56 is, for example, a copper wiring.
In the touch panel 90, a touch panel electrode protective film 18 is formed on one surface of the substrate 32 so as to cover the first transparent electrode pattern 70 and the routing wiring 56, and the second transparent electrode is formed on the other surface of the substrate 32. A touch panel electrode protective film 18 is formed so as to cover the pattern 72 and the routing wiring 56.
The first refractive index adjusting layer and the second refractive index adjusting layer in the first specific example may be provided on one surface and the other surface of the substrate 32, respectively.

(タッチパネルの製造方法)
本開示に係るタッチパネルを製造する方法には、特に制限はないが、以下の製造方法が好ましい。
本開示に係るタッチパネルの好ましい製造方法は、
基板上に電極等(すなわち、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方)が配置された構造を有するタッチパネル用基板を準備すること(以下、「準備工程」ともいう。)と、
タッチパネル用基板の電極等が配置された側の面の上に、本開示に係る転写フィルムを用いて感光性層を形成すること(以下、「感光性層形成工程」ともいう。)と、
タッチパネル用基板の上記面の上に形成された感光性層をパターン露光すること(以下、「パターン露光工程」ともいう。)と、
パターン露光された感光性層を現像することにより、電極等の少なくとも一部を保護するタッチパネル用電極保護膜を得ること(以下、「現像工程」ともいう。)と、
を含む。
(Manufacturing method of touch panel)
The method for manufacturing the touch panel according to the present disclosure is not particularly limited, but the following manufacturing method is preferable.
A preferred method for manufacturing a touch panel according to the present disclosure is
Preparing a touch panel substrate having a structure in which electrodes and the like (that is, at least one of the touch panel electrodes and the touch panel wiring) are arranged on the substrate (hereinafter, also referred to as “preparation step”).
Forming a photosensitive layer using the transfer film according to the present disclosure on the surface of the touch panel substrate on the side where the electrodes and the like are arranged (hereinafter, also referred to as “photosensitive layer forming step”).
Pattern exposure of the photosensitive layer formed on the above-mentioned surface of the touch panel substrate (hereinafter, also referred to as "pattern exposure step") is performed.
By developing the photosensitive layer exposed to the pattern, an electrode protective film for a touch panel that protects at least a part of an electrode or the like is obtained (hereinafter, also referred to as "development process").
including.

上記好ましい製造方法によれば、曲げ耐性に優れたタッチパネル用電極保護膜を備えるタッチパネルを製造できる。
また、上記タッチパネル用保護膜は、上記タッチパネルの折り曲げ領域に設けられることが好ましい。上記態様であると、曲げ耐性に優れたタッチパネル用電極保護膜の効果をより発揮することができる。
更に、上記好ましい製造方法では、本開示に係る転写フィルムを用い高温のラミネート条件で感光性層を形成した場合においても、現像後の感光性層の非露光部において、現像残渣の発生が抑制される。
According to the above-mentioned preferable manufacturing method, a touch panel provided with an electrode protective film for a touch panel having excellent bending resistance can be manufactured.
Further, it is preferable that the protective film for the touch panel is provided in the bent region of the touch panel. According to the above aspect, the effect of the electrode protective film for a touch panel having excellent bending resistance can be further exhibited.
Further, in the above preferred production method, even when the photosensitive layer is formed under high temperature laminating conditions using the transfer film according to the present disclosure, the generation of development residue is suppressed in the non-exposed portion of the photosensitive layer after development. To.

以下、上記好ましい製造方法の各工程について説明する。 Hereinafter, each step of the above preferable manufacturing method will be described.

<準備工程>
準備工程は、便宜上の工程であり、基板上に電極等(すなわち、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方)が配置された構造を有するタッチパネル用基板を準備する工程である。
準備工程は、予め製造されたタッチパネル用基板を単に準備するだけの工程であってもよいし、タッチパネル用基板を製造する工程であってもよい。
タッチパネル用基板の好ましい態様は、上述のとおりである。
<Preparation process>
The preparation step is a step for convenience, and is a step of preparing a touch panel substrate having a structure in which electrodes and the like (that is, at least one of a touch panel electrode and a touch panel wiring) are arranged on the substrate.
The preparation step may be a step of simply preparing a touch panel substrate manufactured in advance, or a step of manufacturing a touch panel substrate.
The preferred embodiment of the touch panel substrate is as described above.

<感光性層形成工程>
感光性層形成工程は、タッチパネル用基板の電極等が配置された側の面の上に、本開示に係る転写フィルムを用いて感光性層を形成する工程である。
<Photosensitive layer forming process>
The photosensitive layer forming step is a step of forming a photosensitive layer on the surface of the touch panel substrate on the side where the electrodes and the like are arranged by using the transfer film according to the present disclosure.

以下、感光性層形成工程において、本開示に係る転写フィルムを用いる態様について説明する。
この態様では、本開示に係る転写フィルムをタッチパネル用基板の電極等が配置された側の面の上にラミネートし、本開示に係る転写フィルムの感光性層を上記面の上に転写することにより、上記面の上に感光性層を形成する。
ラミネート(感光性層の転写)は、真空ラミネーター、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターを用いて行うことができる。
Hereinafter, an embodiment in which the transfer film according to the present disclosure is used in the photosensitive layer forming step will be described.
In this aspect, the transfer film according to the present disclosure is laminated on the surface on the side where the electrodes and the like of the touch panel substrate are arranged, and the photosensitive layer of the transfer film according to the present disclosure is transferred onto the surface. , A photosensitive layer is formed on the above surface.
Lamination (transfer of the photosensitive layer) can be performed using a known laminator such as a vacuum laminator or an auto-cut laminator.

ラミネート条件としては、一般的な条件を適用できる。
ラミネート温度としては、80℃~150℃が好ましく、90℃~150℃がより好ましく、100℃~150℃が特に好ましい。
上述のとおり、本開示に係る転写フィルムを用いる態様では、ラミネート温度が高温(例えば120℃~150℃)である場合においても、熱かぶりによる現像残渣の発生が抑制される。
ゴムローラーを備えたラミネーターを用いる場合、ラミネート温度は、ゴムローラー温度を指す。
ラミネート時の基板温度には特に制限はない。ラミネート時の基板温度としては、10℃~150℃が挙げられ、20℃~150℃が好ましく、30℃~150℃がより好ましい。基板として樹脂基板を用いる場合には、ラミネート時の基板温度としては、10℃~80℃が好ましく、20℃~60℃がより好ましく、30℃~50℃が特に好ましい。
また、ラミネート時の線圧としては、0.5N/cm~20N/cmが好ましく、1N/cm~10N/cmがより好ましく、1N/cm~5N/cmが特に好ましい。
また、ラミネート時の搬送速度(ラミネート速度)としては、0.5m/分~5m/分が好ましく、1.5m/分~3m/分がより好ましい。
As the laminating condition, general conditions can be applied.
The laminating temperature is preferably 80 ° C. to 150 ° C., more preferably 90 ° C. to 150 ° C., and particularly preferably 100 ° C. to 150 ° C.
As described above, in the embodiment using the transfer film according to the present disclosure, the generation of development residue due to heat fog is suppressed even when the laminating temperature is high (for example, 120 ° C. to 150 ° C.).
When using a laminator equipped with a rubber roller, the laminating temperature refers to the rubber roller temperature.
There is no particular limitation on the substrate temperature during laminating. Examples of the substrate temperature at the time of laminating include 10 ° C. to 150 ° C., preferably 20 ° C. to 150 ° C., and more preferably 30 ° C. to 150 ° C. When a resin substrate is used as the substrate, the substrate temperature at the time of laminating is preferably 10 ° C to 80 ° C, more preferably 20 ° C to 60 ° C, and particularly preferably 30 ° C to 50 ° C.
The linear pressure at the time of laminating is preferably 0.5 N / cm to 20 N / cm, more preferably 1 N / cm to 10 N / cm, and particularly preferably 1 N / cm to 5 N / cm.
The transport speed (lamination speed) at the time of laminating is preferably 0.5 m / min to 5 m / min, more preferably 1.5 m / min to 3 m / min.

保護フィルム/感光性層/中間層/熱可塑性樹脂層/仮支持体の積層構造を有する転写フィルムを用いる場合には、まず、転写フィルムから保護フィルムを剥離して感光性層を露出させ、次いで、露出した感光性層とタッチパネル用基板の電極等が配置された側の面とが接するようにして、転写フィルムとタッチパネル用基板とを貼り合わせ、次いで加熱及び加圧を施す。これにより、転写フィルムの感光性層が、タッチパネル用基板の電極等が配置された側の面上に転写され、仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性層/電極等/基板の積層構造を有する積層体が形成される。この積層構造のうち、「電極等/基板」の部分が、タッチパネル用基板である。
その後、必要に応じ、上記積層体から仮支持体を剥離する。ただし、仮支持体を残したまま、後述のパターン露光を行うこともできる。
When using a transfer film having a laminated structure of a protective film / photosensitive layer / intermediate layer / thermoplastic resin layer / temporary support, first, the protective film is peeled off from the transfer film to expose the photosensitive layer, and then the photosensitive layer is exposed. The transfer film and the touch panel substrate are bonded to each other so that the exposed photosensitive layer and the surface on the side where the electrodes of the touch panel substrate are arranged are in contact with each other, and then heating and pressurization are applied. As a result, the photosensitive layer of the transfer film is transferred onto the surface of the touch panel substrate on the side where the electrodes and the like are arranged, and the temporary support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / photosensitive layer / electrodes and the like / substrate. A laminated body having a laminated structure is formed. In this laminated structure, the portion of "electrodes and the like / substrate" is a touch panel substrate.
Then, if necessary, the temporary support is peeled off from the laminated body. However, it is also possible to perform the pattern exposure described later while leaving the temporary support.

タッチパネル用基板上に転写フィルムの感光性層を転写し、パターン露光し、現像する方法の例としては、特開2006-23696号公報の段落0035~0051の記載を参照することもできる。 As an example of a method of transferring the photosensitive layer of the transfer film onto the touch panel substrate, subjecting it to a pattern, and developing it, the description in paragraphs 0035 to 0051 of JP-A-2006-23696 can also be referred to.

<パターン露光工程>
パターン露光工程は、タッチパネル用基板上に形成された感光性層をパターン露光する工程である。
ここで、パターン露光とは、パターン状に露光する態様、すなわち、露光部と非露光部とが存在する態様の露光を指す。
タッチパネル用基板上の感光性層のうち、パターン露光における露光部が硬化され、最終的に硬化膜となる。
一方、タッチパネル用基板上の感光性層のうち、パターン露光における非露光部は硬化せず、次の現像工程で、現像液によって除去(溶解)される。非露光部は、現像工程後、硬化膜の開口部を形成し得る。
パターン露光は、マスクを介した露光でもよいし、レーザー等を用いたデジタル露光でもよい。
<Pattern exposure process>
The pattern exposure step is a step of pattern exposure of the photosensitive layer formed on the touch panel substrate.
Here, the pattern exposure refers to an aspect of exposing in a pattern, that is, an aspect in which an exposed portion and a non-exposed portion are present.
Of the photosensitive layers on the touch panel substrate, the exposed portion in pattern exposure is cured and finally becomes a cured film.
On the other hand, of the photosensitive layer on the touch panel substrate, the non-exposed portion in the pattern exposure is not cured and is removed (dissolved) by the developing solution in the next developing step. The unexposed portion may form an opening in the cured film after the developing step.
The pattern exposure may be an exposure through a mask or a digital exposure using a laser or the like.

パターン露光の光源としては、感光性層を硬化し得る波長域の光(例えば、365nm又は405nm)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。光源としては、例えば、各種レーザー、発光ダイオード(LED)、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、及び、メタルハライドランプが挙げられる。露光量は、好ましくは5mJ/cm~200mJ/cmであり、より好ましくは10mJ/cm~200mJ/cmである。 As the light source for pattern exposure, any light source in a wavelength range capable of curing the photosensitive layer (for example, 365 nm or 405 nm) can be appropriately selected and used. Examples of the light source include various lasers, light emitting diodes (LEDs), ultra-high pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps, and metal halide lamps. The exposure amount is preferably 5 mJ / cm 2 to 200 mJ / cm 2 , and more preferably 10 mJ / cm 2 to 200 mJ / cm 2 .

転写フィルムを用いて基板上に感光性層を形成した場合には、パターン露光は、仮支持体を剥離してから行ってもよいし、仮支持体を剥離する前に露光し、その後、仮支持体を剥離してもよい。
また、露光工程では、パターン露光後であって現像前に、感光性層に対し熱処理(いわゆるPEB(Post Exposure Bake))を施してもよい。
When the photosensitive layer is formed on the substrate by using the transfer film, the pattern exposure may be performed after the temporary support is peeled off, or the temporary support is exposed before the temporary support is peeled off, and then the temporary support is temporarily peeled off. The support may be peeled off.
Further, in the exposure step, the photosensitive layer may be heat-treated (so-called PEB (Post Exposure Bake)) after pattern exposure and before development.

<現像工程>
現像工程は、パターン露光された感光性層を現像することにより(即ち、パターン露光における非露光部を現像液に溶解させることにより)、電極等の少なくとも一部を保護するタッチパネル用電極保護膜を得る工程である。
<Development process>
In the developing step, an electrode protective film for a touch panel that protects at least a part of an electrode or the like is provided by developing a photosensitive layer exposed to a pattern (that is, by dissolving a non-exposed portion in a pattern exposure in a developing solution). This is the process of obtaining.

現像に用いる現像液は特に制限されず、特開平5-72724号公報に記載の現像液など、公知の現像液を用いることができる。
現像液としては、アルカリ性水溶液を用いることが好ましい。
アルカリ性水溶液に含有され得るアルカリ性化合物としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、コリン(2-ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド)、等が挙げられる。
アルカリ性水溶液の25℃におけるpHとしては、8~13が好ましく、9~12がより好ましく、10~12が特に好ましい。
アルカリ性水溶液中におけるアルカリ性化合物の含有量は、アルカリ性水溶液全量に対し、0.1質量%~5質量%が好ましく、0.1質量%~3質量%がより好ましい。
The developer used for development is not particularly limited, and a known developer such as the developer described in JP-A-5-72724 can be used.
It is preferable to use an alkaline aqueous solution as the developing solution.
Examples of the alkaline compound that can be contained in the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogencarbonate, potassium hydrogencarbonate, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, and tetrapropylammonium hydroxide. , Tetrabutylammonium hydroxide, choline (2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide), and the like.
The pH of the alkaline aqueous solution at 25 ° C. is preferably 8 to 13, more preferably 9 to 12, and particularly preferably 10 to 12.
The content of the alkaline compound in the alkaline aqueous solution is preferably 0.1% by mass to 5% by mass, more preferably 0.1% by mass to 3% by mass, based on the total amount of the alkaline aqueous solution.

現像液は、水に対して混和性を有する有機溶剤を含有してもよい。
有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、2-プロパノール、1-プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε-カプロラクトン、γ-ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε-カプロラクタム、及び、N-メチルピロリドンを挙げることができる。
有機溶剤の濃度は、0.1質量%~30質量%が好ましい。
現像液は、公知の界面活性剤を含んでもよい。界面活性剤の濃度は0.01質量%~10質量%が好ましい。
現像液の液温度は20℃~40℃が好ましい。
The developer may contain an organic solvent that is miscible with water.
Examples of the organic solvent include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone and methyl ethyl ketone. , Cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, and N-methylpyrrolidone.
The concentration of the organic solvent is preferably 0.1% by mass to 30% by mass.
The developer may contain a known surfactant. The concentration of the surfactant is preferably 0.01% by mass to 10% by mass.
The liquid temperature of the developing solution is preferably 20 ° C to 40 ° C.

現像の方式としては、例えば、パドル現像、シャワー現像、シャワー及びスピン現像、ディップ現像、等の方式が挙げられる。
シャワー現像を行う場合、パターン露光後の感光性層に現像液をシャワー状に吹き付けることにより、感光性層の非露光部を除去する。感光性層と熱可塑性樹脂層及び中間層の少なくとも一方とを備える転写フィルムを用いた場合には、これらの層の基板上への転写後であって感光性層の現像の前に、感光性層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワー状に吹き付け、熱可塑性樹脂層及び中間層の少なくとも一方(両方存在する場合には両方)を予め除去してもよい。
また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付けつつブラシなどで擦ることにより、現像残渣を除去することが好ましい。
現像液の液温度は、20℃~40℃が好ましい。
Examples of the development method include paddle development, shower development, shower and spin development, dip development, and the like.
When shower development is performed, the non-exposed portion of the photosensitive layer is removed by spraying the developer on the photosensitive layer after pattern exposure in a shower shape. When a transfer film including a photosensitive layer and at least one of a thermoplastic resin layer and an intermediate layer is used, the photosensitive layer is photosensitive after transfer onto the substrate and before the development of the photosensitive layer. At least one of the thermoplastic resin layer and the intermediate layer (both if both are present) may be removed in advance by spraying an alkaline liquid having low solubility of the layer in a shower manner.
Further, after development, it is preferable to remove the development residue by rubbing with a brush or the like while spraying a cleaning agent or the like with a shower.
The liquid temperature of the developing solution is preferably 20 ° C to 40 ° C.

現像工程は、上記現像を行う段階と、上記現像によって得られた硬化膜を加熱処理(以下、「ポストベーク」ともいう)する段階と、を含んでいてもよい。
基板が樹脂基板である場合には、ポストベークの温度は、100℃~160℃が好ましく、130℃~160℃がより好ましい。
このポストベークにより、透明電極パターンの抵抗値を調整することもできる。
また、感光性層がカルボキシ基含有(メタ)アクリル樹脂を含む場合には、ポストベークにより、カルボキシ基含有(メタ)アクリル樹脂の少なくとも一部をカルボン酸無水物に変化させることができる。これにより、現像性、及び、硬化膜の強度に優れる。
The developing step may include a step of performing the above-mentioned development and a step of heat-treating (hereinafter, also referred to as “post-baking”) the cured film obtained by the above-mentioned development.
When the substrate is a resin substrate, the post-baking temperature is preferably 100 ° C. to 160 ° C., more preferably 130 ° C. to 160 ° C.
By this post-baking, the resistance value of the transparent electrode pattern can also be adjusted.
When the photosensitive layer contains a carboxy group-containing (meth) acrylic resin, at least a part of the carboxy group-containing (meth) acrylic resin can be changed to a carboxylic acid anhydride by post-baking. As a result, the developability and the strength of the cured film are excellent.

また、現像工程は、上記現像を行う段階と、上記現像によって得られた硬化膜を露光(以下、「ポスト露光」ともいう。)する段階と、を含んでいてもよい。
現像工程がポスト露光する段階及びポストベークする段階を含む場合、好ましくは、ポスト露光、ポストベークの順序で実施する。
Further, the developing step may include a step of performing the above-mentioned development and a step of exposing the cured film obtained by the above-mentioned development (hereinafter, also referred to as “post-exposure”).
When the developing step includes a post-exposure step and a post-baking step, it is preferably carried out in the order of post-exposure and post-baking.

パターン露光、現像などについては、例えば、特開2006-23696号公報の段落0035~0051の記載を参照することもできる。 For pattern exposure, development, and the like, for example, the description in paragraphs 0035 to 0051 of JP-A-2006-23696 can also be referred to.

本開示に係るタッチパネルの好ましい製造方法は、上述した工程以外のその他の工程を含んでいてもよい。その他の工程としては、通常のフォトリソグラフィ工程に設けられることがある工程(例えば、洗浄工程など)を特に制限なく適用できる。 The preferred manufacturing method of the touch panel according to the present disclosure may include other steps other than the above-mentioned steps. As other steps, a step (for example, a cleaning step) that may be provided in a normal photolithography step can be applied without particular limitation.

(画像表示装置)
本開示に係る画像表示装置は、本開示に係る静電容量型入力装置、好ましくは本開示に係るタッチパネル(例えば、第1~第2具体例のタッチパネル)を備える。
本開示に係る画像表示装置としては、本開示に係るタッチパネルを公知の液晶表示素子と重ね合わせた構造を有する液晶表示装置が好ましい。
タッチパネルを備える画像表示装置の構造としては、例えば、『最新タッチパネル技術』(2009年7月6日発行(株)テクノタイムズ)、三谷雄二監修、『タッチパネルの技術と開発』、シーエムシー出版(2004,12)、FPD International 2009 Forum T-11講演テキストブック、Cypress Semiconductor Corporation アプリケーションノートAN2292に開示されている構造を適用することができる。
(Image display device)
The image display device according to the present disclosure includes a capacitance type input device according to the present disclosure, preferably a touch panel according to the present disclosure (for example, a touch panel according to the first and second specific examples).
As the image display device according to the present disclosure, a liquid crystal display device having a structure in which the touch panel according to the present disclosure is superimposed on a known liquid crystal display element is preferable.
The structure of the image display device equipped with a touch panel is, for example, "Latest Touch Panel Technology" (Published on July 6, 2009, Techno Times Co., Ltd.), supervised by Yuji Mitani, "Touch Panel Technology and Development", CMC Publishing (2004). , 12), FPD International 2009 Forum T-11 Lecture Textbook, Cypress Semiconductor Corporation Application Note AN2292 can be applied.

以下に実施例を挙げて本開示を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本開示の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本開示の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は質量基準である。 The present disclosure will be described in more detail with reference to examples below. The materials, amounts used, ratios, treatment contents, treatment procedures, etc. shown in the following examples may be appropriately changed as long as they do not deviate from the gist of the present disclosure. Therefore, the scope of the present disclosure is not limited to the specific examples shown below. Unless otherwise specified, "part" and "%" are based on mass.

(実施例1)
<感光性転写材料(転写フィルム)の作製>
<<感光性層の形成>>
厚み16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(仮支持体、16QS62(東レ株式会社製))の上に、スリット状ノズルを用いて、下記の処方101からなる感光性層用塗布液を、乾燥後の厚みが9.0μmになるように調整して塗布し、75℃から120℃の温度勾配をもつ熱風対流式乾燥機で乾燥して溶剤を除去して、感光性層を形成した。
(Example 1)
<Preparation of photosensitive transfer material (transfer film)>
<< Formation of photosensitive layer >>
Using a slit-shaped nozzle on a 16 μm-thick polyethylene terephthalate film (temporary support, 16QS62 (manufactured by Toray Industries, Inc.)), a coating liquid for a photosensitive layer consisting of the following formulation 101 is applied to a coating liquid for a photosensitive layer having a thickness of 9 after drying. The film was adjusted to 0.0 μm and applied, and dried with a hot air convection dryer having a temperature gradient of 75 ° C. to 120 ° C. to remove the solvent to form a photosensitive layer.

-感光性層用塗布液:処方101(有機溶剤系樹脂組成物)-
・化合物(1)(エチレン性不飽和化合物A、下記化合物、合成品):12.51部
-Coating liquid for photosensitive layer: Formulation 101 (organic solvent-based resin composition)-
-Compound (1) (Ethylene unsaturated compound A, the following compound, synthetic product): 12.51 parts

Figure 0007010796000031
Figure 0007010796000031

<化合物(1)の合成方法>
3,6-ジチア-1,8-オクタンジオール60g、トリエチルアミン73.3g、アセトニトリル500mLを混合した。これに氷冷下アクリル酸クロリド65.5gをアセトニトリル100mLに溶解させた液を2時間かけて滴下した。反応液を室温まで昇温し、更に1時間反応させた。反応液に水10mLを加え10分間撹拌した後、酢酸エチル900mlを加えた。有機層を水洗、乾燥した後、p-メトキシフェノール0.6gを加え濃縮すると粗生成物が得られた。これをカラムクロマトグラフィーにより精製すると化合物(1)が65g得られた。
<Method for synthesizing compound (1)>
60 g of 3,6-dithia-1,8-octanediol, 73.3 g of triethylamine and 500 mL of acetonitrile were mixed. A solution prepared by dissolving 65.5 g of acrylic acid chloride under ice-cooling in 100 mL of acetonitrile was added dropwise over 2 hours. The reaction solution was heated to room temperature and reacted for another 1 hour. After adding 10 mL of water to the reaction solution and stirring for 10 minutes, 900 ml of ethyl acetate was added. The organic layer was washed with water and dried, and then 0.6 g of p-methoxyphenol was added and concentrated to obtain a crude product. When this was purified by column chromatography, 65 g of compound (1) was obtained.

・トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(エチレン性不飽和化合物B、A-DCP、新中村化学工業(株)製):18.30部
・カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物(アロニックスTO2349、東亞合成(株)製):3.05部
・重合体A(バインダーポリマー、下記に示す樹脂、酸価95mgKOH/g、Mw=27,000):50.82部
-Tricyclodecanedimethanol diacrylate (ethylenically unsaturated compound B, A-DCP, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.): 18.30 parts-Multifunctional ethylenically unsaturated compound having a carboxylic acid group (Aronix TO2349) , Toa Synthetic Co., Ltd.): 3.05 parts ・ Polymer A (binder polymer, resin shown below, acid value 95 mgKOH / g, Mw = 27,000): 50.82 parts

Figure 0007010796000032
Figure 0007010796000032

なお、各構成単位の括弧の右下の数字の単位は、mol%である。 The unit of the number in the lower right of the parentheses of each structural unit is mol%.

・1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタノン-1-(O-アセチルオキシム)(光重合開始剤、Irgacure OXE-02、BASF社製):0.39部
・2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン(光重合開始剤、Irgacure 907、BASF社製):0.77部
・アクリロイル基を有するブロックイソシアネート化合物(熱架橋性化合物、カレンズAOI-BM、昭和電工(株)製):12.50部
・防錆剤(1,2,4-トリアゾール、東京化成工業(株)製):0.20部
・水素供与性化合物(N-フェニルグリシン、純正化学(株)製):0.10部
・スチレン/無水マレイン酸=4:1(モル比)の共重合体(SMA EF-40、酸無水物価1.94mmol/g、重量平均分子量10,500、Cray Valley社製):1.20部
・界面活性剤(メガファック F551、DIC(株)製):0.16部
・1-メトキシ-2-プロピルアセテート:122.41部
・メチルエチルケトン:122.41部
1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] etanone-1- (O-acetyloxime) (photopolymerization initiator, Irgacure OXE-02, manufactured by BASF) : 0.39 part ・ 2-Methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one (photopolymerization initiator, Irgacure 907, manufactured by BASF): 0.77 part ・ Acryloyl group Blocked isocyanate compound (thermally crosslinkable compound, Karenz AOI-BM, manufactured by Showa Denko Co., Ltd.): 12.50 parts, rust preventive agent (1,2,4-triazole, manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.): 0 .20 parts-hydrogen donating compound (N-phenylglycine, manufactured by Genuine Kagaku Co., Ltd.): 0.10 parts-styrene / maleic anhydride = 4: 1 (molar ratio) copolymer (SMA EF-40, Acid anhydride price 1.94 mmol / g, weight average polymer weight 10,500, manufactured by Cray Valley): 1.20 parts, surfactant (Megafuck F551, manufactured by DIC Co., Ltd.): 0.16 parts, 1-methoxy -2-propyl acetate: 122.41 parts, methyl ethyl ketone: 122.41 parts

<<第二の樹脂層の形成>>
次に、前記の感光性層上に、スリット状ノズルを用いて、下記の処方201からなる第二の樹脂層用塗布液を、乾燥後の厚みが70nmになるように調整して塗布し、40℃から95℃の温度勾配をもつ熱風対流式乾燥機で乾燥して溶剤を除去し、感光性層に直接接して配置された第二の樹脂層を形成した。
ここで、処方201は、酸基を有する樹脂と、アンモニア水溶液を用いて調製しており、酸基を有する樹脂はアンモニア水溶液で中和され、酸基を有する樹脂のアンモニウム塩を含む水系樹脂組成物である第二の樹脂層用塗布液を調製した。
<< Formation of second resin layer >>
Next, on the photosensitive layer, the coating liquid for the second resin layer consisting of the following formulation 201 was adjusted and applied so that the thickness after drying was 70 nm using a slit-shaped nozzle. The solvent was removed by drying with a hot air convection dryer having a temperature gradient of 40 ° C. to 95 ° C. to form a second resin layer arranged in direct contact with the photosensitive layer.
Here, Formulation 201 is prepared using a resin having an acid group and an aqueous ammonia solution, and the resin having an acid group is neutralized with the aqueous ammonia solution and contains an ammonium salt of the resin having an acid group. A coating liquid for the second resin layer, which is a product, was prepared.

-第二の樹脂層用塗布液:処方201(水系樹脂組成物)-
・アクリル樹脂(ZB-015M、富士フイルムファインケミカル(株)製、メタクリル酸/メタクリル酸アリルの共重合樹脂、重量平均分子量2.5万、組成比(モル比)=20/80、固形分5.00%、アンモニア水溶液):4.92部
・カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物(アロニックス TO-2349、東亞合成(株)製):0.04部
・ZrO粒子(ナノユースOZ-S30M、固形分30.5%、メタノール69.5%、屈折率が2.2、平均粒径:約12nm、日産化学工業(株)製):4.34部
・防錆剤(ベンゾトリアゾール誘導体、BT-LX、城北化学工業(株)製):0.03部
・界面活性剤(メガファックF444、DIC(株)製):0.01部
・蒸留水:24.83部
・メタノール:65.83部
-Coating liquid for the second resin layer: Formulation 201 (water-based resin composition)-
Acrylic resin (ZB-015M, manufactured by Fujifilm Fine Chemicals Co., Ltd., methacrylic acid / allyl methacrylate copolymer resin, weight average molecular weight 25,000, composition ratio (molar ratio) = 20/80, solid content 5. 00%, aqueous ammonia solution): 4.92 parts, polyfunctional ethylenically unsaturated compound having a carboxylic acid group (Aronix TO-2349, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.): 0.04 parts, ZrO 2 particles (nano-use OZ-) S30M, solid content 30.5%, methanol 69.5%, refractive acid 2.2, average particle size: about 12 nm, manufactured by Nissan Chemical Industry Co., Ltd.): 4.34 parts, rust preventive (benzotriazole derivative) , BT-LX, manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd.): 0.03 parts ・ Surfactant (Megafuck F444, manufactured by DIC Co., Ltd.): 0.01 parts ・ Distilled water: 24.83 parts ・ Methanol: 65 .83 copies

<<保護フィルムの形成>>
上記のようにして得られた、仮支持体の上に感光性層と、感光性層に直接接して配置された第二の樹脂層とをこの順で設けた積層体に対し、その第二の樹脂層の上に、厚み16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(保護フィルム、16QS62(東レ(株)製))を圧着し、実施例1の感光性転写材料を作製した。
<< Formation of protective film >>
The second of the laminated bodies obtained as described above in which the photosensitive layer and the second resin layer arranged in direct contact with the photosensitive layer are provided on the temporary support in this order. A polyethylene terephthalate film (protective film, 16QS62 (manufactured by Toray Industries, Inc.)) having a thickness of 16 μm was pressure-bonded onto the resin layer of Example 1 to prepare a photosensitive transfer material of Example 1.

(実施例2~10、及び、比較例1~5)
固形分の比率が下記表1又は表2に示す組成の感光性層用塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして、実施例2~19、及び、比較例1~5の感光性転写材料(転写フィルム)をそれぞれ作製した。
(Examples 2 to 10 and Comparative Examples 1 to 5)
Photosensitivity of Examples 2 to 19 and Comparative Examples 1 to 5 in the same manner as in Example 1 except that the solid content ratio was changed to the coating liquid for a photosensitive layer having the composition shown in Table 1 or Table 2 below. Sex transfer materials (transfer films) were prepared respectively.

得られた感光性転写材料を用い、以下のように評価した。評価結果を表1又は表2に示す。 The obtained photosensitive transfer material was used and evaluated as follows. The evaluation results are shown in Table 1 or Table 2.

<評価方法>
<<曲げ耐性の評価>>
-曲げ耐性評価用試料の作製-
得られた感光性転写材料を、保護フィルムを剥離してから、145℃30分間の熱処理をした東洋紡(株)製ポリエチレンテレフタレートフィルムのコスモシャインA4300(厚み50μm)の両方の面の上にラミネートし、仮支持体/感光性層/第二の樹脂層/コスモシャインA4300(厚み50μm)/第二の樹脂層/感光性層/仮支持体の層構造を有する積層体Aを形成した。ラミネートの条件は、ラミロール温度100℃、線圧3N/cm、搬送速度4m/分とした。
その後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、仮支持体を介して露光量120mJ/cm(i線)で両面を全面露光した。両面の仮支持体を剥離してから、更に露光量375mJ/cm(i線)で両面露光した後、145℃、30分間のポストベークを行うことにより、感光性層を硬化させて硬化膜を形成した。
このようにして、厚さ8μmの硬化膜/コスモシャインA4300(厚み50μm)/厚さ8μmの硬化膜からなる曲げ耐性評価用試料を得た。
<Evaluation method>
<< Evaluation of bending resistance >>
-Preparation of sample for bending resistance evaluation-
The obtained photosensitive transfer material was laminated on both surfaces of Cosmoshine A4300 (thickness 50 μm) of a polyethylene terephthalate film manufactured by Toyobo Co., Ltd., which had been heat-treated at 145 ° C. for 30 minutes after peeling off the protective film. , A laminated body A having a layered structure of temporary support / photosensitive layer / second resin layer / Cosmoshine A4300 (thickness 50 μm) / second resin layer / photosensitive layer / temporary support was formed. The laminating conditions were a lamirol temperature of 100 ° C., a linear pressure of 3 N / cm, and a transport speed of 4 m / min.
Then, using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) equipped with an ultra-high pressure mercury lamp, both sides were exposed on the entire surface with an exposure amount of 120 mJ / cm 2 (i-line) via a temporary support. After peeling off the temporary supports on both sides, double-sided exposure is performed with an exposure amount of 375 mJ / cm 2 (i-line), and then post-baking is performed at 145 ° C. for 30 minutes to cure the photosensitive layer and cure the film. Was formed.
In this way, a bending resistance evaluation sample composed of a cured film having a thickness of 8 μm / Cosmoshine A4300 (thickness 50 μm) / a cured film having a thickness of 8 μm was obtained.

-曲げ耐性の評価-
曲げ耐性評価用試料を用い、以下のようにして曲げ耐性を評価した。
図4は、曲げ耐性評価における曲げ耐性評価用試料の状態を示す断面模式図である。
上記で得られた曲げ耐性評価用試料を5cm×12cmの長方形に裁断した。図4に示すように、裁断した曲げ耐性評価用試料102のうち、短辺の一方に100gのおもり104をつけて加重し、直径dミリメートルの金属製ロッド106に90°の角度で接するように保持する(図4における曲げ耐性評価用試料102の状態)。その後、金属製ロッド106に巻きつくように曲げ耐性評価用試料102を180°に曲げた状態(図4における曲げ後の曲げ耐性評価用試料102Aの状態)となるまで曲げ耐性評価用試料を屈曲させ、元の位置に戻す運動(往復方向D)を10往復させ、試料の表面のクラックの有無を目視で確認した。
この金属製ロッド106の直径dを変えながら、上記の動作を行い、クラックが発生しない最も小さいdを求めた。下記評価基準において、Aが曲げ耐性が最も良く、Eが曲げ耐性が最も悪い。A、B及びCのいずれかであることが好ましく、Aが最も好ましい。
A:クラックが発生しない最も小さいdが2mm以下
B:クラックが発生しない最も小さいdが2mmより大きく3mm以下
C:クラックが発生しない最も小さいdが3mmより大きく4mm以下
D:クラックが発生しない最も小さいdが4mmより大きく5mm以下
E:クラックが発生しない最も小さいdが5mmより大きい
-Evaluation of bending resistance-
Bending resistance was evaluated as follows using a sample for bending resistance evaluation.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a state of a sample for bending resistance evaluation in bending resistance evaluation.
The bending resistance evaluation sample obtained above was cut into a rectangle of 5 cm × 12 cm. As shown in FIG. 4, of the cut bending resistance evaluation sample 102, a weight 104 of 100 g is attached to one of the short sides and weighted so as to be in contact with the metal rod 106 having a diameter of d mm at an angle of 90 °. Hold (state of sample 102 for bending resistance evaluation in FIG. 4). Then, the bending resistance evaluation sample is bent to a state in which the bending resistance evaluation sample 102 is bent 180 ° so as to be wound around the metal rod 106 (the state of the bending resistance evaluation sample 102A after bending in FIG. 4). Then, the motion of returning to the original position (reciprocating direction D) was reciprocated 10 times, and the presence or absence of cracks on the surface of the sample was visually confirmed.
The above operation was performed while changing the diameter d of the metal rod 106, and the smallest d at which cracks did not occur was obtained. In the following evaluation criteria, A has the best bending resistance and E has the worst bending resistance. It is preferably any of A, B and C, and A is most preferable.
A: The smallest d that does not generate cracks is 2 mm or less B: The smallest d that does not generate cracks is larger than 2 mm and 3 mm or less C: The smallest d that does not generate cracks is larger than 3 mm and 4 mm or less D: The smallest that does not generate cracks d is greater than 4 mm and 5 mm or less E: The smallest d that does not generate cracks is greater than 5 mm

<<水蒸気透過度(WVTR)の評価>>
-透湿度測定用試料の作製-
各実施例又は比較例の感光性転写材料を、保護フィルムを剥離してから、住友電気工業(株)製PTFE(四フッ化エチレン樹脂)メンブレンフィルターFP-100-100上にラミネートし、仮支持体/感光性層/第二の樹脂層/メンブレンフィルターの層構造を有する積層体Aを形成した。ラミネートの条件は、メンブレンフィルター温度40℃、ラミロール温度100℃、線圧3N/cm、搬送速度4m/分とした。
更に、積層体Aから仮支持体を剥離し、感光性層に保護フィルムを剥離した転写フィルムを上記と同様にさらに4回ラミネートして、仮支持体/(感光性層/第二の樹脂層)×4層/メンブレンフィルターの積層構造を有する積層体Bを形成した。
得られた積層体Bの感光性層を、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、仮支持体を介して露光量120mJ/cm(i線)で露光した。仮支持体を剥離してから、更に露光量375mJ/cm(i線)で露光した後、145℃、30分間のポストベークを行うことにより、感光性層を硬化させて硬化膜を形成した。
以上により、合計膜厚40μmの硬化膜/メンブレンフィルターの積層構造を有する透湿度測定用試料を得た。
<< Evaluation of Moisture Vapor Transmission (WVTR) >>
-Preparation of sample for moisture permeability measurement-
The photosensitive transfer material of each example or comparative example is temporarily supported by peeling off the protective film and then laminating it on a PTFE (tetrafluoroethylene resin) membrane filter FP-100-100 manufactured by Sumitomo Electric Industries, Ltd. A laminated body A having a layer structure of a body / photosensitive layer / second resin layer / membrane filter was formed. The laminating conditions were a membrane filter temperature of 40 ° C., a lamirol temperature of 100 ° C., a linear pressure of 3 N / cm, and a transport speed of 4 m / min.
Further, the temporary support is peeled off from the laminated body A, and the transfer film from which the protective film is peeled off is laminated on the photosensitive layer four more times in the same manner as described above, and the temporary support / (photosensitive layer / second resin layer) is laminated. ) X 4 layers / laminated body B having a laminated structure of a membrane filter was formed.
The photosensitive layer of the obtained laminate B was exposed to an exposure amount of 120 mJ / cm 2 (i) via a temporary support using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) equipped with an ultra-high pressure mercury lamp. It was exposed with a line). After peeling off the temporary support, the photosensitive layer was further exposed to an exposure amount of 375 mJ / cm 2 (i-line) and then post-baked at 145 ° C. for 30 minutes to cure the photosensitive layer and form a cured film. ..
From the above, a sample for moisture permeability measurement having a laminated structure of a cured film / membrane filter having a total film thickness of 40 μm was obtained.

-水蒸気透過度(WVTR)の測定-
透湿度測定用試料を用い、JIS-Z-0208(1976)を参考にして、カップ法による透湿度測定を実施した。以下、詳細を説明する。
まず、透湿度測定用試料から直径70mmの円形試料を切り出した。次に、測定カップ内に乾燥させた20gの塩化カルシウムを入れ、次いで上記円形試料によって蓋をすることにより、蓋付き測定カップを準備した。
この蓋付き測定カップを、恒温恒湿槽内にて65℃、90%RHの条件で24時間放置した。上記放置前後での蓋付き測定カップの質量変化から、円形試料の水蒸気透過度(WVTR)(単位:g/(m・day))を算出した。
上記測定を3回実施し、3回の測定でのWVTRの平均値を算出した。WVTRの平均値に基づき、下記評価基準に従い、水蒸気透過度(WVTR)を評価した。下記評価基準において、A、B、Cのいずれかであることが好ましく、A又はBがより好ましく、Aが最も好ましい。
結果を表1又は表2に示す。
なお、上記測定では、上述のとおり、硬化膜/メンブレンフィルターの積層構造を有する円形試料のWVTRを測定した。しかし、メンブレンフィルターのWVTRが硬化膜のWVTRと比較して極めて高いことから、上記測定では、実質的には、硬化膜自体のWVTRを測定したことになる。
-Measurement of water vapor transmission rate (WVTR)-
Using a sample for measuring moisture permeability, the moisture permeability was measured by the cup method with reference to JIS-Z-0208 (1976). The details will be described below.
First, a circular sample having a diameter of 70 mm was cut out from the sample for measuring moisture permeability. Next, a measuring cup with a lid was prepared by putting 20 g of dried calcium chloride in the measuring cup and then covering with the above circular sample.
This measuring cup with a lid was left in a constant temperature and humidity chamber at 65 ° C. and 90% RH for 24 hours. The water vapor transmission rate (WVTR) (unit: g / (m 2 · day)) of the circular sample was calculated from the mass change of the measuring cup with a lid before and after the standing.
The above measurement was carried out three times, and the average value of WVTR in the three measurements was calculated. The water vapor transmission rate (WVTR) was evaluated according to the following evaluation criteria based on the average value of WVTR. In the following evaluation criteria, any of A, B, and C is preferable, A or B is more preferable, and A is most preferable.
The results are shown in Table 1 or Table 2.
In the above measurement, as described above, the WVTR of a circular sample having a laminated structure of a cured film / membrane filter was measured. However, since the WVTR of the membrane filter is extremely high as compared with the WVTR of the cured film, in the above measurement, the WVTR of the cured film itself is substantially measured.

-水蒸気透過度(WVTR)の評価基準-
A:WVTRの平均値が220g/(m・day)未満
B:WVTRの平均値が220g/(m・day)以上240g/(m・day)未満
C:WVTRの平均値が240g/(m・day)以上260g/(m・day)未満
D:WVTRの平均値が260g/(m・day)以上280g/(m・day)未満
E:WVTRの平均値が280g/(m・day)以上
-Evaluation criteria for water vapor transmission rate (WVTR)-
A: The average value of WVTR is less than 220 g / ( m2・ day) B: The average value of WVTR is 220 g / ( m2・ day) or more and less than 240 g / ( m2・ day) C: The average value of WVTR is 240 g / (M 2 · day) or more and less than 260 g / (m 2 · day) D: Average value of WVTR is 260 g / (m 2 · day) or more and less than 280 g / (m 2 · day) E: Average value of WVTR is 280 g / ( M2・ day) or more

<<現像残渣の評価>>
得られた感光性転写材料を、保護フィルムを剥離してから、銅板の上の片面にラミネートした。ラミネートの条件は、ラミロール温度100℃、線圧3N/cm、搬送速度4m/分とした。
その後、得られた露光前の積層体に、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、露光マスク(オーバーコート形成用パターンを有す石英露光マスク、1mmのラインアンドスペース:5ライン)面と仮支持体との間の距離を125μmに設定し、仮支持体を介して露光量100mJ/cm(i線)でパターン露光した。
仮支持体を剥離後、パターン露光後の積層体を炭酸ソーダ1%水溶液33℃で45秒間洗浄処理した。洗浄処理後の銅基板に超高圧洗浄ノズルから超純水を噴射した。引き続き、空気を吹きかけて銅基板上の水分を除去した。
このパターンのスペース部分の残渣を目視及び光学式顕微鏡で確認した。
下記評価基準において、Aが最も良く、Eが最も悪い。A、B及びCのいずれかであることが好ましく、Aが最も好ましい。
A:目視及び顕微鏡で観察して、全く残渣が無い
B:目視では残渣は観察されないが、顕微鏡で観察すると、パターン近傍にのみ僅かに残渣がある
C:目視では残渣は観察されないが、顕微鏡で観察すると、スペース部分に僅かに残渣がある
D:目視では残渣は観察されないが、顕微鏡で観察すると、スペース部分に顕著に残渣がある
E:目視観察で、残渣が顕著に観察される。
<< Evaluation of development residue >>
The obtained photosensitive transfer material was peeled off from the protective film and then laminated on one side of the copper plate. The laminating conditions were a lamirol temperature of 100 ° C., a linear pressure of 3 N / cm, and a transport speed of 4 m / min.
After that, an exposure mask (quartz exposure mask having an overcoat forming pattern) was used on the obtained unexposed laminate using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) equipped with an ultra-high pressure mercury lamp. The distance between the 1 mm line and space: 5 lines) surface and the temporary support was set to 125 μm, and the pattern was exposed through the temporary support with an exposure amount of 100 mJ / cm 2 (i-line).
After peeling off the temporary support, the laminate after pattern exposure was washed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 33 ° C. for 45 seconds. Ultrapure water was sprayed onto the copper substrate after the cleaning treatment from an ultrahigh pressure cleaning nozzle. Subsequently, air was blown to remove the moisture on the copper substrate.
The residue in the space portion of this pattern was confirmed visually and with an optical microscope.
In the following evaluation criteria, A is the best and E is the worst. It is preferably any of A, B and C, and A is most preferable.
A: No residue at all when observed visually and under a microscope B: No residue is observed visually, but there is a slight residue only near the pattern when observed under a microscope C: No residue is observed visually but under a microscope When observed, there is a slight residue in the space part. D: No residue is observed visually, but when observed under a microscope, there is a remarkable residue in the space part. E: The residue is noticeably observed in the visual observation.

Figure 0007010796000033
Figure 0007010796000033

Figure 0007010796000034
Figure 0007010796000034

上述した以外の表1及び表2に示す成分の詳細を以下に示す。
・化合物(2)~(8)、(C1)及び(C2):下記化合物
Details of the components shown in Tables 1 and 2 other than those described above are shown below.
-Compounds (2) to (8), (C1) and (C2): The following compounds

Figure 0007010796000035
Figure 0007010796000035

Figure 0007010796000036
Figure 0007010796000036

<化合物(2)の合成方法>
1,6-ヘキサンジチオール80g、2-ブロモエタノール136.4g、メタノール1,200mLを混合し、これに水酸化カリウム72.2gをゆっくりと加えた。4時間還流した後室温まで放冷し、これを水2Lへ注いだ。析出した固体をろ取、乾燥すると3,10-ジチア-1,12-ドデカンジオール88gが得られた。得られた3,10-ジチア-1,12-ドデカンジオールを3,6-ジチア-1,8-オクタンジオールの代わりに用いた以外は化合物(1)の合成と同様の手法を用いて化合物(2)が得られた。
<Method for synthesizing compound (2)>
80 g of 1,6-hexanedithiol, 136.4 g of 2-bromoethanol and 1,200 mL of methanol were mixed, and 72.2 g of potassium hydroxide was slowly added thereto. After refluxing for 4 hours, the mixture was allowed to cool to room temperature, and this was poured into 2 L of water. The precipitated solid was collected by filtration and dried to obtain 88 g of 3,10-dithia-1,12-dodecanediol. The compound (1) was synthesized using the same method as that of the compound (1) except that the obtained 3,10-dithia-1,12-dodecanediol was used in place of the 3,6-dithia-1,8-octanediol. 2) was obtained.

<化合物(3)の合成方法>
1,6-ヘキサンジチオールの代わりに1,10-ドデカンジチオールを用いた以外は化合物(2)と同様の手法を用いて化合物(3)を合成した。
<Method for synthesizing compound (3)>
Compound (3) was synthesized using the same method as compound (2) except that 1,10-dodecanedithiol was used instead of 1,6-hexanedithiol.

<化合物(4)の合成方法>
1,6-ヘキサンジチオールの代わりに3,7-ジチア-1,9-ノナンジチオールを用いた以外は化合物(2)と同様の手法を用いて化合物(4)を合成した。
<Method for synthesizing compound (4)>
Compound (4) was synthesized using the same method as compound (2) except that 3,7-dithia-1,9-nonanedithiol was used instead of 1,6-hexanedithiol.

<化合物(5)の合成方法>
チオジグリコールとアクリル酸クロリドを用い、化合物(2)の合成と同様の手法を用いて化合物(5)を合成した。
<Method for synthesizing compound (5)>
Compound (5) was synthesized using the same method as that for compound (2) using thiodiglycol and acrylate chloride.

<化合物(6)の合成方法>
化合物(2)の合成と同様の手法を用いて化合物(6)を合成した。
<Method for synthesizing compound (6)>
Compound (6) was synthesized using the same method as that for compound (2).

<化合物(7)の合成方法>
2,3-ジメルカプト-1-プロパノールを原料として用い、化合物(2)の合成と同様の手法により、チオエーテル連結を導入した後にアクリル酸クロリドと反応させることにより化合物(7)を得た。
<Method for synthesizing compound (7)>
Using 2,3-dimercapto-1-propanol as a raw material, compound (7) was obtained by reacting with acrylate chloride after introducing thioether linkage by the same method as the synthesis of compound (2).

<化合物(8)の合成方法>
ジチオエリスリトールを原料として用い、化合物(2)の合成と同様の手法により、チオエーテル連結を導入した後にアクリル酸クロリドと反応させることにより化合物(8)を得た。
<Method for synthesizing compound (8)>
Using dithioerythritol as a raw material, compound (8) was obtained by reacting with acrylate chloride after introducing thioether linkage by the same method as in the synthesis of compound (2).

<化合物(C1)の合成方法>
3,6-ジチア-1,8-オクタンジオールの代わりに、1,8-オクタンジオールを用いた以外は化合物(1)と同様の手法を用いて化合物(C1)を合成した。
<Method for synthesizing compound (C1)>
Compound (C1) was synthesized using the same method as compound (1) except that 1,8-octanediol was used instead of 3,6-dithia-1,8-octanediol.

<化合物(C2)の合成方法>
3,6-ジチア-1,8-オクタンジオールの代わりに1,16-ヘキサデカンジオールを用いた以外は化合物(1)と同様の手法を用いて化合物(C2)を合成した。
<Method for synthesizing compound (C2)>
Compound (C2) was synthesized using the same method as compound (1) except that 1,16-hexadecanediol was used instead of 3,6-dithia-1,8-octanediol.

・単官能チオエーテルモノマー(化合物(C3)) -Monofunctional thioether monomer (compound (C3))

Figure 0007010796000037
Figure 0007010796000037

<化合物(C3)の合成方法>
ドデカンチオール20g、2-ブロモエタノール13.7g、メタノール200mLを混合し、これに水酸化カリウム7.2gをゆっくりと加えた。4時間還流した後室温まで放冷し、これに酢酸エチル500mL加えた。有機層を水洗、乾燥、濃縮すると、3-チア-1-ペンタデカノールが22g得られた。3-チア-1-ペンタデカノール22g、トリエチルアミン10.8g、及び、テトラヒドロフラン200mLを混合し、これに氷冷下アクリル酸クロリド8.9gを30分間かけて滴下した。室温まで昇温し更に1時間反応させた後水10mLを加え10分撹拌した後、酢酸エチル500mLを加えた。有機層を水洗、乾燥した後、p-メトキシフェノール0.6gを加え濃縮すると粗生成物が得られた。これをカラムクロマトグラフィーにより精製すると比較用化合物(C3)が20g得られた。
<Method for synthesizing compound (C3)>
20 g of dodecanethiol, 13.7 g of 2-bromoethanol and 200 mL of methanol were mixed, and 7.2 g of potassium hydroxide was slowly added thereto. After refluxing for 4 hours, the mixture was allowed to cool to room temperature, and 500 mL of ethyl acetate was added thereto. The organic layer was washed with water, dried and concentrated to obtain 22 g of 3-thia-1-pentadecanol. 22 g of 3-thia-1-pentadecanol, 10.8 g of triethylamine, and 200 mL of tetrahydrofuran were mixed, and 8.9 g of acrylic acid chloride under ice-cooling was added dropwise over 30 minutes. After raising the temperature to room temperature and reacting for another 1 hour, 10 mL of water was added, and the mixture was stirred for 10 minutes, and then 500 mL of ethyl acetate was added. The organic layer was washed with water and dried, and then 0.6 g of p-methoxyphenol was added and concentrated to obtain a crude product. When this was purified by column chromatography, 20 g of the comparative compound (C3) was obtained.

・重合体B(下記に示す樹脂、酸価103mgKOH/g、Mw=20,000) Polymer B (resin shown below, acid value 103 mgKOH / g, Mw = 20,000)

Figure 0007010796000038
Figure 0007010796000038

なお、各構成単位の括弧の右下の数字の単位は、mol%である。 The unit of the number in the lower right of the parentheses of each structural unit is mol%.

・デュラネートTPA-B80E(熱架橋性化合物、ブロックイソシアネート化合物、旭化成ケミカルズ(株)製) Duranate TPA-B80E (thermocrosslinkable compound, blocked isocyanate compound, manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd.)

表1及び表2に記載の結果から、実施例1~19の感光性樹脂組成物は、比較例1~5の感光性樹脂組成物に比べて、現像残渣抑制性に優れ、得られる硬化膜の透湿度が低く、得られる硬化膜の曲げ耐性に優れることがわかる。 From the results shown in Tables 1 and 2, the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 19 are more excellent in developing residue inhibitory than the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 to 5, and the obtained cured film is obtained. It can be seen that the moisture permeability is low and the obtained cured film has excellent bending resistance.

10:転写フィルム
12:仮支持体
16:保護フィルム
18,18A:感光性層
20,20A:第二の樹脂層(第一屈折率調製層)
30:タッチパネル
32:基板
34:透明電極パターン
36:第二屈折率調整層
40:透明電極パターンが存在する第1領域
42:透明電極パターンが存在しない第2領域
56:引き回し配線
70:第1透明電極パターン
72:第2透明電極パターン
74:画像表示領域
75:画像非表示領域
90:タッチパネル
102:曲げ耐性評価用試料
102A:180°に曲げた状態の曲げ耐性評価用試料
104:おもり
106:金属製ロッド
D:往復方向
d:金属製ロッド106の直径
10: Transfer film 12: Temporary support 16: Protective film 18, 18A: Photosensitive layer 20, 20A: Second resin layer (first refractive index adjusting layer)
30: Touch panel 32: Substrate 34: Transparent electrode pattern 36: Second refractive index adjusting layer 40: First region 42 in which the transparent electrode pattern exists: Second region 56 in which the transparent electrode pattern does not exist 56: Routing wiring 70: First transparent Electrode pattern 72: Second transparent electrode pattern 74: Image display area 75: Image non-display area 90: Touch panel 102: Bending resistance evaluation sample 102A: Bending resistance evaluation sample 104 in a state of being bent at 180 °: Weight 106: Metal Rod D: Reciprocating direction d: Diameter of metal rod 106

Claims (14)

バインダーポリマーと、
エチレン性不飽和化合物と、
光重合開始剤と、を含有し、
前記エチレン性不飽和化合物が、チオエーテル結合を有する2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aを含み、
前記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが、下記式(A-1)若しくは式(A-2)で表される化合物、化合物(7)又は化合物(8)である
感光性樹脂組成物。
Figure 0007010796000039

式(A-1)及び式(A-2)中、R A1 ~R A4 はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、L A1 及びL A3 はそれぞれ独立に、アルキレン基又は-L A6 (SL A7 nA -を表し、L A2 及びL A4 ~L A7 はそれぞれ独立に、アルキレン基を表し、nAは1~8の整数を表す。
Figure 0007010796000040
Binder polymer and
Ethylene unsaturated compounds and
Contains a photopolymerization initiator,
The ethylenically unsaturated compound contains a bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A having a thioether bond.
The bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a compound, compound (7) or compound (8) represented by the following formula (A-1) or formula (A-2).
Photosensitive resin composition.
Figure 0007010796000039

In formulas (A-1) and (A-2), RA1 to RA4 independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and LA1 and LA3 independently represent an alkylene group or -LA6 ( respectively) . SL A7 ) represents nA- , LA2 and LA4 to LA7 independently represent an alkylene group, and nA represents an integer of 1 to 8.
Figure 0007010796000040
前記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aにおける少なくとも2つのエチレン性不飽和結合の間を連結する最短の連結鎖の原子数が、10個~30個である請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin according to claim 1, wherein the shortest linking chain of the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A having at least two ethylenically unsaturated bonds has 10 to 30 atoms. Composition. 前記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aにおける前記連結鎖が、炭素原子、酸素原子及び硫黄原子からなる鎖である請求項1又は請求項2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the linking chain in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a chain composed of a carbon atom, an oxygen atom and a sulfur atom. 前記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが有する硫黄原子の数が、1個以上4個以下である請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the number of sulfur atoms contained in the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is 1 or more and 4 or less. 前記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが、2官能エチレン性不飽和化合物である請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a bifunctional ethylenically unsaturated compound. 前記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aが、上記式A-1で表される化合物である請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A is a compound represented by the above formula A-1. 前記エチレン性不飽和化合物が、脂環構造を有するエチレン性不飽和化合物Bを含む請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the ethylenically unsaturated compound contains an ethylenically unsaturated compound B having an alicyclic structure. 前記2官能以上のエチレン性不飽和化合物Aの含有量Mと前記エチレン性不飽和化合物Bの含有量Mとの質量比M/Mの値が、0.2~1.5である請求項7に記載の感光性樹脂組成物。 The mass ratio MA / MB of the content MA of the bifunctional or higher functional ethylenically unsaturated compound A and the content MB of the ethylenically unsaturated compound B is 0.2 to 1.5. The photosensitive resin composition according to claim 7. タッチパネル保護膜形成用である請求項1~請求項8のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 8, which is used for forming a touch panel protective film. 仮支持体と、
請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性層とを有する
転写フィルム。
Temporary support and
A transfer film having a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 9.
請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。 A cured film obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 9. 基板、及び、
請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜を有する
積層体。
Board and
A laminate having a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 9.
基板上にタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された構造を有するタッチパネル用基板を準備することと、
前記タッチパネル用基板の前記タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された側の面の上に、請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を含有する感光性層を形成することと、
前記タッチパネル用基板上に形成された前記感光性層をパターン露光することと、
パターン露光された前記感光性層を現像することにより、前記タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方の少なくとも一部を保護するタッチパネル用保護膜を得ることと、を含む
タッチパネルの製造方法。
To prepare a touch panel board having a structure in which at least one of a touch panel electrode and a touch panel wiring is arranged on the board.
The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 9 is contained on the surface of the touch panel substrate on the side where at least one of the touch panel electrode and the touch panel wiring is arranged. Forming a photosensitive layer and
Pattern exposure of the photosensitive layer formed on the touch panel substrate and
A method for manufacturing a touch panel, comprising developing a photosensitive layer exposed to a pattern to obtain a protective film for a touch panel that protects at least a part of the electrode for the touch panel and wiring for the touch panel.
前記タッチパネル用保護膜が、前記タッチパネルの折り曲げ領域に設けられる請求項13に記載のタッチパネルの製造方法。
The method for manufacturing a touch panel according to claim 13, wherein the touch panel protective film is provided in a bent region of the touch panel.
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