JP6995099B2 - Sample mounting device - Google Patents
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Description
本発明は、例えば荷電粒子線装置や電子顕微鏡によって観察されるカートリッジに試料をセットする試料取付装置に関する。 The present invention relates to, for example, a charged particle beam device or a sample mounting device for setting a sample in a cartridge observed by an electron microscope.
一般的に、荷電粒子装置や電子顕微鏡によって観察される試料は、平板状のカートリッジに取り付けられて用いられる。また、試料は、弾性を有するCリングからなる保持具を介してカートリッジに取り付けられる。 Generally, a sample observed by a charged particle device or an electron microscope is attached to a flat plate cartridge and used. The sample is also attached to the cartridge via a retainer consisting of an elastic C-ring.
さらに、カートリッジに試料をセットする装置としては、例えば、特許文献1に記載されているようなものがある。特許文献1には、カートリッジに設けた試料取付部への試料の取り付け作業が可能な作業面部を有する載置台と、載置台の作業面部に形成され、カートリッジが摺動可能に載置される溝部と、を備えた技術が記載されている。 Further, as a device for setting a sample in the cartridge, for example, there is a device as described in Patent Document 1. Patent Document 1 describes a mounting table having a work surface portion capable of mounting a sample on a sample mounting portion provided on the cartridge, and a groove portion formed on the working surface portion of the mounting table and on which the cartridge is slidably mounted. And, the technology with is described.
また、載置台を液体窒素等の液体内に配置した状態で、カートリッジに試料や保持具をセットする作業が行われる。 Further, the work of setting the sample and the holder in the cartridge is performed with the mounting table placed in a liquid such as liquid nitrogen.
しかしながら、特許文献1に記載された技術では、試料や保持具をカートリッジにセットする際に、カートリッジと溝部の間に介在された液体から試料に圧力が加わり、試料が破損するおそれがあった。 However, in the technique described in Patent Document 1, when the sample or the holder is set in the cartridge, pressure is applied to the sample from the liquid interposed between the cartridge and the groove, and the sample may be damaged.
本発明の目的は、上記の問題点を考慮し、試料の破損を防止することができる試料取付装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a sample mounting device capable of preventing damage to a sample in consideration of the above problems.
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の試料取付装置は、カートリッジに試料を、保持具を介して取り付ける試料取付装置である。試料取付装置は、載置第と、載置凹部と、液体及び気泡が通過可能な圧力開放凹部と、を備えている。載置台は、液体内に収容される。載置凹部は、載置台に形成され、カートリッジが載置される。圧力開放凹部は、載置凹部に形成され、載置凹部にカートリッジを載置した際に、カートリッジにおける上下方向の下側に位置する。 In order to solve the above problems and achieve the object of the present invention, the sample mounting device of the present invention is a sample mounting device for mounting a sample on a cartridge via a holder. The sample mounting device includes a mounting position, a mounting recess, and a pressure release recess through which liquids and air bubbles can pass. The platform is housed in a liquid. The mounting recess is formed on a mounting table on which a cartridge is mounted. The pressure release recess is formed in the mounting recess and is located on the lower side in the vertical direction of the cartridge when the cartridge is mounted in the mounting recess.
本発明の試料取付装置によれば、試料の破損を防止することができる。 According to the sample mounting device of the present invention, damage to the sample can be prevented.
以下、本発明の試料取付装置の実施の形態例について、図1~図15を参照して説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付している。また、説明は以下の順序で行うが、本発明は、必ずしも以下の形態に限定されるものではない。 Hereinafter, examples of embodiments of the sample mounting device of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 15. The common members in each figure are designated by the same reference numerals. Moreover, although the description is given in the following order, the present invention is not necessarily limited to the following forms.
1.第1の実施の形態例
1-1.試料取付装置の構成
まず、本発明の第1の実施の形態例(以下、「本例」という。)にかかる試料取付装置について図1から図4を参照して説明する。
図1は、本例の試料取付装置を示す概略構成図である。
1. 1. First Embodiment 1-1. Configuration of Sample Mounting Device First, the sample mounting device according to the first embodiment of the present invention (hereinafter referred to as “this example”) will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a sample mounting device of this example.
図1に示す装置は、例えば、試料を凍結させて観察を行うクライオ電子顕微鏡に用いられるカートリッジに試料をセットする試料取付装置である。図1に示すように、試料取付装置1は、収容部2と、試料取付ユニット3と、を備えている。また、試料取付装置1は、仮セット治具200(図9参照)及びCリング押出治具300(図10A参照)、を備えている。
The device shown in FIG. 1 is, for example, a sample mounting device for setting a sample in a cartridge used for a cryo-electron microscope for observing by freezing the sample. As shown in FIG. 1, the sample mounting device 1 includes a
収容部2は、上下方向の上面が開口した容器状に形成されている。収容部2の内部には、試料取付ユニット3が配置される。この収容部2の内部には、例えば、液体窒素M1が充填される。収容部2の内部に配置された試料取付ユニット3の全てが浸かる量の液体窒素M1が収容部2に収容される。なお、収容部2の内壁に、液体窒素M1を入れる量の目安となる目印を設けてもよい。
The
また、液体として液体窒素M1を適用した例を説明したが、これに限定されるものではなく、その他各種の冷却用の液体が適用されるものである。 Further, although an example in which liquid nitrogen M1 is applied as a liquid has been described, the present invention is not limited to this, and various other cooling liquids are applied.
[試料取付ユニット]
次に、図2から図4を参照して試料取付ユニット3について説明する。
図2は、試料取付ユニット3を示す斜視図である。図3は、試料取付ユニット3を示す平面図、図4は、試料取付ユニット3を示す断面図である。
[Sample mounting unit]
Next, the
FIG. 2 is a perspective view showing the
図2及び図3に示すように、試料取付ユニット3は、載置台11と、保持具ガイド部材の一例を示すCリングガイド部材13、ガイド保持部14と、2つの軸支持部17、17とを有している。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
載置台11は、略直方体状に形成されている。また、載置台11は、試料S1及びCリング105(図5参照)の取付作業を行う作業面部11aを有している。以下、水平方向と平行でかつ載置台11の長手方向と平行をなす方向を第1の方向Xとする。水平方向と平行でかつ載置台11の短手方向と平行をなす方向、すなわち第1の方向Xと直交する方向を第2の方向Yとする。また、第1の方向X及び第2の方向Yと直交する方向、すなわち水平方向と直交する方向を第3の方向Zとする。
The mounting table 11 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. Further, the mounting table 11 has a
作業面部11aは、載置台11における第3の方向Zの一側の上面部に形成されている。作業面部11aには、載置凹部15が形成されている。載置凹部15は、作業面部11aにおける第1の方向Xの一端部から他端部にかけて延在している。載置凹部15は、作業面部11aから第3の方向Zの他側に向けて一段凹んだ凹部である。この載置凹部15には、カートリッジ100が摺動可能に配置される。
The
作業面部11aには、Cリングガイド部材13と、ガイド保持部14が設けられている。また、作業面部11aには、軸支持部17、17が設けられている。Cリングガイド部材13と、ガイド保持部14及び軸支持部17、17は、載置凹部15の近傍に配置されている。Cリングガイド部材13及び軸支持部17、17は、載置凹部15の第2の方向Yの一側に配置され、ガイド保持部14は、第2の方向Yの他側に配置されている。
The
2つの軸支持部17、17は、載置凹部15が延在する方向、すなわち第1の方向Xに間隔を空けて配置されている。軸支持部17、17には、回動軸18が設けられている。回動軸18は、その軸方向が第1の方向Xと平行になるように配置される。回動軸18には、Cリングガイド部材13が回動可能に支持されている。
The two
Cリングガイド部材13は、ガイド部材21と、支持部材22とを有している。支持部材22は、舌片状の回動片24と、軸受け部25とを有している。軸受け部25は、回動軸18に回動可能に支持される。回動片24は、軸受け部25から突出している。軸受け部25が回動軸18を中心に回動すると、回動片24は、載置凹部15と第3の方向Zに間隔を空けて対向する。
The C-
回動片24には、貫通孔24aが形成されている(図3参照)。この貫通孔24aには、ガイド部材21が挿入される(図4参照)。
A through
ガイド部材21は、略円筒状のガイド筒部26と、フランジ部27とを有している。ガイド筒部26の筒孔26aは、軸方向の一端から他端に向かうにつれて内径が連続的に小さくなるようにテーパー状に形成されている。この筒孔26aには、Cリング105及び後述する仮セット治具200及びCリング押出治具300が挿入される。
The
ガイド筒部26は、回動片24の貫通孔24aに挿入される。また、ガイド筒部26の外径は、貫通孔24aの直径よりも小さく設定されている。ガイド筒部26を貫通孔24aに挿入した際、ガイド筒部26の軸方向の他端部は、回動片24における載置凹部15と対向する一面から突出する。
The
ガイド筒部26の筒孔26aは、その外径が軸方向の先端部(他端部)に近づくにつれて連続して小さくなるテーパー状に形成されている。そして、ガイド部材21は、ガイド筒部26の筒孔26aに挿入されたCリング105を後述するカートリッジ100に設けた試料取付部101に向けて案内する。
The
フランジ部27は、ガイド筒部26の外周面における軸方向の一端部から半径方向の外側に向けて突出している。ガイド筒部26を貫通孔24aに挿入した際、フランジ部27は、回動片24における載置凹部15と対向する一面とは反対側の他面に載置される。フランジ部27を回動片24の他面に、例えば固定ねじによって固定することで、ガイド部材21は、支持部材22に固定される。
The
上述したように、貫通孔24aの直径をガイド筒部26の外径よりも大きく形成したことで、ガイド筒部26を貫通孔24aに挿入した後に、ガイド部材21における支持部材22に対する位置を調整することができる。
As described above, by forming the diameter of the through
ガイド保持部14は、回転軸14aを介して、作業面部11aに回転可能に支持されている。ガイド保持部14が回転すると、ガイド保持部14は、支持部材22の回動片24に重なり合う。これにより、ガイド保持部14は、作業中にガイド部材21及び支持部材22が回動することを防止している。
The
また、載置凹部15には、圧力開放凹部16が形成されている。圧力開放凹部16は、載置凹部15から第3の方向Zの他側に向けて凹んだ凹部である。また、圧力開放凹部16は、載置凹部15の第1の方向Xの一端部から他端部にかけて延在している。圧力開放凹部16における第1の方向Xの長さは、カートリッジ100の第1の方向Xの長さよりも長く設定されている。また、圧力開放凹部16の第2の方向Yの長さは、載置凹部15及びカートリッジ100の第2の方向Yの長さよりも短く設定されている。
Further, a
また、載置凹部15にカートリッジ100を載置した際、圧力開放凹部16は、カートリッジ100における第3の方向Zの他側に位置する。試料S1をセットする際に、カートリッジ100と載置凹部15の間の液体窒素M1(図1参照)及び気泡Q1は、圧力開放凹部16に流れる。これにより、試料S1をセットする際に、液体窒素M1からの圧力が試料S1に加わることを防ぐことがきる。
Further, when the
圧力開放凹部16におけるガイド筒部26の筒孔26aと対向する箇所である対向部16aの第3の方向Zの長さ、すなわち深さは、圧力開放凹部16の第1の方向Xの両端部16bの深さよりも短く設定されている。圧力開放凹部16における対向部16aの深さが最も浅く設定されている。すなわち、圧力開放凹部16は、対向部16aから両端部16bにかけて連続して深さが深くなるように傾斜している。そして、圧力開放凹部16の対向部16aの容積は、両端部16bの容積よりも小さい。
The length, that is, the depth of the facing
[カートリッジ]
次に、上述した試料取付装置1に収容されるカートリッジ100の構成について図5から図8を参照して説明する。
図5は、カートリッジ100及び試料S1を示す斜視図、図6は、カートリッジを示す平面図、図7は、カートリッジ100の試料取付部101を拡大して示す平面図、図8は、カートリッジの試料取付部101を示す断面図である。
[cartridge]
Next, the configuration of the
5 is a perspective view showing the
図5及び図6に示すように、カートリッジ100は、矩形をなす略平板状に形成されている。カートリッジ100には、試料取付部101が形成されている。試料取付部101は、略円形に開口した貫通孔である。
As shown in FIGS. 5 and 6, the
図7及び図8に示すように、試料取付部101は、載置部101aと、嵌合部101bとを有している。試料取付部101には、試料S1と保持具の一例を示すCリング105が取り付けられる。載置部101aは、試料取付部101の軸方向の中途部に形成されている。また、載置部101aは、試料取付部101の内壁から半径方向の内側に向けて突出する内フランジ部である。この載置部101aには、試料S1が載置される。
As shown in FIGS. 7 and 8, the
嵌合部101bは、試料取付部101において載置部101aよりもCリング105及び試料S1が挿入される側に形成されている。嵌合部101bは、載置部101aから試料取付部101におけるCリング105及び試料S1が挿入される側の開口にかけてその内径が連続的に小さくなるように形成されている。この嵌合部101bと載置部101aの間には、挿入されたCリング105が嵌合される。
The
載置部101a及び嵌合部101bの外縁部には、2つの切り欠き101c、101cが形成されている。2つの切り欠き101c、101cは、互いに対向する位置に形成されている。2つの切り欠き101c、101cには、載置部101aや嵌合部101b内の液体窒素M1が通過する。
Two
Cリング105は、後述する仮セット治具200を用いて、ガイド筒部26の筒孔26aに押し込まれる。また、Cリング105及びS1は、後述するCリング押出治具300を用いて試料取付部101に押し込まれる。
The
[仮セット治具]
次に、仮セット治具200について図9を参照して説明する。
図9は、仮セット治具200を示す正面図である。
[Temporary set jig]
Next, the
FIG. 9 is a front view showing the
図9に示すように、仮セット治具200は、使用者が把持する把持部201と、軸部202と、押出部203と、ストッパ204と、を有している。軸部202は、棒状に形成されており、その一端部が把持部201に接続されている。軸部202の軸方向の他端部(先端部)には、押出部203及びストッパ204が設けられている。
As shown in FIG. 9, the
押出部203は、略円筒状に形成されている。また、押出部203には、複数のスリット203aが形成されている。押出部203の外周面には、ストッパ204が形成されている。押出部203は、ストッパ204の先端部から所定の長さで突出している。
The extruded
ストッパ204の先端部には、その外径が軸方向の先端部に近づくにつれて連続して小さくなるテーパー部204aが形成されている。また、ストッパ204のテーパー部204aの外径は、ガイド筒部26の筒孔26aにおける最も直径が小さくなる箇所よりも大きく設定されている。
The tip of the
そして、押出部203及びストッパ204をガイド筒部26の筒孔26aに挿入した際に、ストッパ204のテーパー部204aは、筒孔26aの内壁面に当接する(図11参照)。また、押出部203におけるストッパ204からの突出長さは、テーパー部204aが筒孔26aに当接したときにおける、テーパー部204aの先端から筒孔26aの先端までの長さよりも短く設定される。この仮セット治具200は、Cリング105をガイド筒部26の筒孔26a内に仮セットする。
Then, when the
[Cリング押出治具]
次に、押出治具を示すCリング押出治具300について図10A及び図10Bを参照して説明する。
図10Aは、Cリング押出治具300を示す正面図、図10Bは、Cリング押出治具300の先端部を示す断面図である。
[C-ring extrusion jig]
Next, the C-
10A is a front view showing the C-
図10Aに示すように、Cリング押出治具300は、使用者が把持する把持部301と、軸部302と、押出部303と、を有している。図10Bに示すように、軸部302は、中空の筒状に形成されている。軸部302の軸方向の一端部は、把持部301に接続されている。
As shown in FIG. 10A, the C-
軸部302には、軸方向の一端部から他端部にかけて連続する通路305が形成されている。また、軸部302の外周面には、複数の孔302aが形成されている。孔302aは、軸部302の外周面を貫通し、通路305に連通している。
The
軸部302の軸方向の他端部(先端部)には、押出部303が接続されている。押出部303は、その外径が軸方向の先端部に近づくにつれて連続して小さくなる、いわゆるテーパー状に形成されている。
An extruded
また、押出部303の先端部には、複数のスリット303aが形成されている。スリット303aは、押出部303の先端部から軸方向に沿って所定の長さで形成されている。複数のスリット303aが設けられたことで、押出部303の先端部は、半径方向の中心に向かって縮径可能に構成されている。
Further, a plurality of
また、押出部303の筒孔は、連通路306を介して、軸部302に設けた通路305に連通している。そして、連通路306、通路305及び孔302aには、液体窒素M1や気泡Q1が通過する。
Further, the tubular hole of the
1-2.試料取付装置を用いた試料のセット作業
次に、上述した試料取付装置1を用いて試料S1をカートリッジ100にセットする作業の一例について図1、図4、図11、図12を参照して説明する。
図11は、Cリング105を仮セットする状態を示す図、図12は、試料S1及びCリングをセットする状態を示す図である。
1-2. Sample setting work using the sample mounting device Next, an example of the work of setting the sample S1 in the
FIG. 11 is a diagram showing a state in which the
予め図1に示すように、収容部2には液体窒素M1が収容され、試料取付ユニット3、カートリッジ100が冷却されている。まず、Cリングガイド部材13を回動させ、載置凹部15の上方を開放させる。次に、カートリッジ100を載置凹部15に載置させる。
As shown in FIG. 1 in advance, liquid nitrogen M1 is accommodated in the
そして、Cリングガイド部材13を回動させて、ガイド部材21をカートリッジ100の上方に配置させる。これにより、ガイド部材21のガイド筒部26がカートリッジ100の試料取付部101に対向する。また、図2に示すように、ガイド保持部14を回転させて、支持部材22の回動片24にガイド保持部14を重ねる。これにより、Cリングガイド部材13の回動動作を規制し、Cリングガイド部材13のガタツキや位置ずれを抑制することができる。
Then, the C
次に、図11に示すように、ガイド筒部26の筒孔26aにCリング105を挿入し、仮セット治具200を用いてCリング105を筒孔26aの軸方向の他端部に向けて押し込む。Cリング105は、ガイド筒部26の筒孔26aによって弾性変形し、縮径する。
Next, as shown in FIG. 11, the
また、仮セット治具200におけるストッパ204のテーパー部204aがガイド筒部26の筒孔26aに当接する。これにより、仮セット治具200における挿入動作が規制される。
Further, the tapered
上述したように、押出部203におけるストッパ204からの突出長さは、テーパー部204aが筒孔26aに当接したときにおける、テーパー部204aの先端から筒孔26aの先端までの長さよりも短く設定されている。そのため、押出部203の先端部は、筒孔26aにおける軸方向の他端部で停止する。これにより、押出部203によって押圧されたCリング105は、筒孔26aにおける軸方向の他端部(下端部)に仮セットされる。
As described above, the protruding length of the extruded
次に、作業者は、Cリングガイド部材13を回動させ、カートリッジ100の試料取付部101の上方を開放させる。作業者は、試料取付部101の載置部101aに試料S1を載置する。そして、再びCリングガイド部材13を回動させて、ガイド筒部26がカートリッジ100の試料取付部101に対向させる。
Next, the operator rotates the C
このとき、カートリッジ100に設けられたねじ103等の微小な隙間や突起から気泡Q1が発生する。そして、この気泡Q1により試料S1やCリング105が浮き上がるおそれがあった。
At this time, bubbles Q1 are generated from minute gaps or protrusions of the
なお、後述するカートリッジ100に設けられたねじ103等の微小な隙間や突起から気泡Q1が発生する。そして、この気泡Q1により試料S1が浮き上がるおそれがあった。これに対して、本例の試料取付ユニット3の載置凹部15には、液体及び気泡Q1が通過可能な圧力開放凹部16が形成されている。そして、図4に示すように、発生した気泡Q1は、圧力開放凹部16を移動する。
Bubbles Q1 are generated from minute gaps and protrusions of
また、圧力開放凹部16は、対向部16aから両端部16bにかけて連続して深さが深くなるように傾斜している。そのため、発生した気泡Q1は、容積の小さい対向部16aから圧力開放凹部16を通り、容積の大きい両端部16bに移動する。
Further, the
上述したように、圧力開放凹部16の第1の方向Xの長さは、カートリッジ100の第1の方向Xの長さよりも長く設定されている。両端部16bに移動した気泡Q1を、カートリッジ100の第1の方向Xの両端部から逃がすことができる。すなわち、気泡Q1をガイド筒部26と対向する対向部16aから遠ざかる方向に逃がすことができる。これにより、気泡Q1によって試料S1が浮き上がることを防止することができる。
As described above, the length of the
次に、図12に示すように、Cリング押出治具300を用いてCリング105を試料取付部101に向けて押し込む。なお、筒孔26aの他端部に仮セットされたCリング105は、弾性変形することで拡径する方向に力が発生している。そのため、Cリング105は、Cリング押出治具300の押出部303の先端面に沿って略平行に押し込まれる。
Next, as shown in FIG. 12, the
Cリング105をさらに押し込むと、Cリング105は、ガイド筒部26の筒孔26aから試料取付部101の嵌合部101bに移動する。また、嵌合部101bは、挿入側の開口から載置部101aに近づくにつれてその内径が広がっているため、Cリング105は、嵌合部101bの内壁に沿って拡径する。そのため、Cリング105が嵌合部101bと嵌合する。そして、試料S1は、その縁部がCリング105と載置部101aで挟持されて、試料取付部101に固定される。その結果、試料S1のセット作業が完了する。
When the
このとき、Cリング押出治具300における押出部303のテーパー部がガイド筒部26の筒孔26aに当接する。そして、Cリング押出治具300におけるカートリッジ100に近接する向きの移動がガイド筒部26によって規制される。その結果、Cリング押出治具300が試料取付部101にセットされた試料S1に触れて、試料S1に傷が付くことを防ぐことができる。
At this time, the tapered portion of the
また、Cリング105は、仮セット治具200により試料取付部101の近傍である筒孔26aの軸方向の他端部に仮セットされている。そのため、筒孔26aの軸方向の一端部から移動する試料取付部101に移動する場合よりも、Cリング105における筒孔26aから試料取付部101への移動距離が短くなる。これにより、Cリング105が筒孔26aから試料取付部101の嵌合部101bに移動する際に生じる衝撃力を軽減することができる。その結果、Cリング105が移動する際に生じる衝撃力により試料S1が破損することを防ぐことができる。
Further, the
また、載置部101aや嵌合部101bに位置する液体窒素M1は、切り欠き101cと通過して、載置部101aや嵌合部101bの外側に移動する。これにより、試料S1をセットする際に生じる液体窒素M1から試料S1に加わる圧力を軽減することができる。
Further, the liquid nitrogen M1 located in the mounting
さらに、試料S1をセットする際に、カートリッジ100と載置凹部15の間の液体窒素M1や気泡Q1は、圧力開放凹部16に流れる。これにより、試料S1をセットする際に、液体窒素M1や気泡Q1から試料S1に加わる圧力を軽減することがき、試料S1が圧力によって破損することを防ぐことができる。
Further, when the sample S1 is set, the liquid nitrogen M1 and the bubble Q1 between the
また、Cリング押出治具300によってCリング105を押圧する際に、押出部303と試料S1との間に存在する液体窒素M1や発生した気泡Q1は、押出部303の筒孔及び連通路306を通過して軸部302の通路305に移動する。そして、気泡Q1は、通路305から外部に移動する。これにより、押出部303と試料S1との間に存在する液体窒素M1や発生した気泡Q1から試料S1に加わる圧力を軽減することができる。その結果、試料S1が圧力によって破損することを防ぐことができる。
Further, when the
2.第2の実施の形態例
次に、図13及び図14を参照して第2の実施の形態例にかかる試料取付装置について説明する。
図13は、第2の実施の形態例にかかる試料取付装置の試料取付ユニットを示す断面図である。
2. 2. Example of Second Embodiment Next, the sample attachment device according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 13 and 14.
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a sample mounting unit of the sample mounting device according to the second embodiment.
この第2の実施の形態例にかかる試料取付装置が、第1の実施の形態例にかかる試料取付装置1と異なる点は、試料取付けユニットの構成である。そのため、ここでは、試料取付ユニットについて説明し、第1の実施の形態例にかかる試料取付装置1と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。 The difference between the sample mounting device according to the second embodiment and the sample mounting device 1 according to the first embodiment is the configuration of the sample mounting unit. Therefore, here, the sample mounting unit will be described, and the same reference numerals will be given to the parts common to the sample mounting device 1 according to the first embodiment, and duplicate description will be omitted.
図13に示すように、試料取付ユニット40は、載置台41と、Cリングガイド部材43と、を有している。載置台41には、載置凹部45と、圧力開放凹部46が形成されている。Cリングガイド部材43及び載置凹部45の構成は、第1の実施の形態例にかかるCリングガイド部材13及び載置凹部15の構成と同様であるためその説明は省略する。
As shown in FIG. 13, the
圧力開放凹部46は、載置凹部45から第3の方向Zの他側に向けて凹んだ凹部である。第2の実施の形態例にかかる圧力開放凹部46では、対向部46aと両端部46bの深さは同一に設定されている。
The
また、圧力開放凹部46には、気泡規制突起47が設けられている。気泡規制突起47は、圧力開放凹部46の底面から第3の方向Zの一側に向けて突出している。気泡規制突起47は、圧力開放凹部46におけるガイド筒部51と対向する対向部46aに設けられている。また、気泡規制突起47は、対向部46aにおける第1の方向Xの両側に配置されている。
Further, the
気泡規制突起47は、カートリッジ100に設けたねじ103等の微小な隙間や突起から気泡Q1が、圧力開放凹部46を介して対向部46aに移動することを規制している。これにより、試料S1が気泡Q1によって浮き上がることを防止することができる。
The
図14は、ねじ103が設けられていないカートリッジ100Bを試料取付ユニット40に載置した状態を示す断面図である。
図14に示すように、ねじ103が設けられていないカートリッジ100Bにおいても、気泡規制突起47により気泡Q1が対向部46aに流れることを防ぐことができる。これにより、気泡Q1によって試料S1が浮き上がることを防止することができる。
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a state in which the
As shown in FIG. 14, even in the
その他の構成は、上述した第1の実施の形態例にかかる試料取付ユニット3と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有する試料取付ユニット40においても、上述した第1の実施の形態例にかかる試料取付ユニット3と同様の作用及び効果を得ることができる。
Since other configurations are the same as those of the
なお、気泡規制突起47を対向部46aにおける第1の方向Xの両側に配置した例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、カートリッジ100、100Bにおける突起や隙間等の気泡Q1が発生する起因がある部材側の片側のみに気泡規制突起47を設けてもよい。
Although the example in which the
3.第3の実施の形態例
次に、図15を参照して第3の実施の形態例にかかる試料取付装置について説明する。
図15は、第3の実施の形態例にかかる試料取付装置の試料取付ユニットを示す断面図である。
3. 3. Example of Third Embodiment Next, the sample mounting device according to the third embodiment of the third embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 15 is a cross-sectional view showing a sample mounting unit of the sample mounting device according to the third embodiment.
この第3の実施の形態例にかかる試料取付装置は、第1の実施の形態例にかかる試料取付ユニット3の構成と、第2の実施の形態例にかかる試料取付ユニット40の構成を組み合わせたものである。そのため、ここでは、試料取付ユニットについて説明し、第1の実施の形態例にかかる試料取付装置1と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
The sample mounting device according to the third embodiment is a combination of the configuration of the
図15に示すように、試料取付ユニット70は、載置台71と、Cリングガイド部材73と、を有している。載置台71には、載置凹部75と、圧力開放凹部76が形成されている。Cリングガイド部材73及び載置凹部75の構成は、第1の実施の形態例にかかるCリングガイド部材13及び載置凹部15の構成と同様であるためその説明は省略する。
As shown in FIG. 15, the
圧力開放凹部76は、載置凹部75から第3の方向Zの他側に向けて凹んだ凹部である。圧力開放凹部76におけるCリングガイド部材73のガイド筒部81と対向する対向部76aは、その深さが最も浅く設定されている。そして、圧力開放凹部76は、対向部76aから第1の方向Xの両端部76bに向かうにつれて、その深さが連続して深くなるように形成されている。
The
また、圧力開放凹部76には、気泡規制突起77が設けられている。気泡規制突起77は、圧力開放凹部76の底面から第3の方向Zの一側に向けて突出している。気泡規制突起77は、対向部76aに設けられている。また、気泡規制突起47は、対向部76aにおける第1の方向Xの両側に配置されている。
Further, the
その他の構成は、上述した第1の実施の形態例にかかる試料取付ユニット3及び第2の実施の形態例にかかる試料取付ユニット40と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有する試料取付ユニット70においても、上述した第1の実施の形態例にかかる試料取付ユニット3及び第2の実施の形態例にかかる試料取付ユニット40と同様の作用及び効果を得ることができる。
Since other configurations are the same as the
なお、本発明は上述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。 The present invention is not limited to the embodiment described above and shown in the drawings, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention described in the claims.
なお、本明細書において、「平行」及び「直交」等の単語を使用したが、これらは厳密な「平行」及び「直交」のみを意味するものではなく、「平行」及び「直交」を含み、さらにその機能を発揮し得る範囲にある、「略平行」や「略直交」の状態であってもよい。 Although words such as "parallel" and "orthogonal" are used in the present specification, these do not mean only strict "parallel" and "orthogonal", but include "parallel" and "orthogonal". Further, it may be in a "substantially parallel" or "substantially orthogonal" state within a range in which the function can be exhibited.
1…試料取付装置、 2…収容部、 3、40、70…試料取付ユニット、 11、41、71…載置台、 11a…作業面部、 13、43、73…Cリングガイド部材、 14…ガイド保持部、 14a…回転軸、 15、45、75…載置凹部、 16、46、76…圧力開放凹部、 16a、46a、76a…対向部、 16b、46b、76b…両端部、 17…軸支持部、 18…回動軸、 21…ガイド部材、 22…支持部材、 24…回動片、 24a…貫通孔、 25…軸受け部、 26、51、81…ガイド筒部、 26a…筒孔、 27…フランジ部、 47、77…気泡規制突起、 100、100B…カートリッジ、 101…試料取付部、 101a…載置部、 101b…嵌合部、 105…Cリング(保持具)、 200…仮セット治具、 201…把持部、 202…軸部、 203…押出部、 204…ストッパ、 204a…テーパー部、 300…Cリング押出治具(押出治具)、 301…把持部、 302…軸部、 302a…孔、 303…押出部、 305…通路、 306…連通路、 M1…液体窒素(液体)、 Q1…気泡、 S1…試料 1 ... sample mounting device, 2 ... accommodating section, 3, 40, 70 ... sample mounting unit, 11, 41, 71 ... mounting table, 11a ... working surface section, 13, 43, 73 ... C ring guide member, 14 ... guide holding Parts, 14a ... Rotating shaft, 15, 45, 75 ... Mounting recesses, 16, 46, 76 ... Pressure release recesses, 16a, 46a, 76a ... Opposing parts, 16b, 46b, 76b ... Both ends, 17 ... Shaft support parts , 18 ... Rotating shaft, 21 ... Guide member, 22 ... Support member, 24 ... Rotating piece, 24a ... Through hole, 25 ... Bearing part, 26, 51, 81 ... Guide cylinder part, 26a ... Tube hole, 27 ... Flange part, 47, 77 ... Bubble regulation protrusion, 100, 100B ... Cartridge, 101 ... Sample mounting part, 101a ... Mounting part, 101b ... Fitting part, 105 ... C ring (holder), 200 ... Temporary set jig , 201 ... grip part, 202 ... shaft part, 203 ... extrusion part, 204 ... stopper, 204a ... taper part, 300 ... C ring extrusion jig (extrusion jig), 301 ... grip part, 302 ... shaft part, 302a ... Hole, 303 ... Extruded part, 305 ... Passage, 306 ... Continuous passage, M1 ... Liquid nitrogen (liquid), Q1 ... Bubble, S1 ... Sample
Claims (8)
液体内に収容される載置台と、
前記載置台に形成され、前記カートリッジが載置される載置凹部と、
前記載置凹部に形成され、前記載置凹部に前記カートリッジを載置した際に、前記カートリッジにおける上下方向の下側に位置し、前記液体及び気泡が通過可能な圧力開放凹部と、
を備えた試料取付装置。 In the sample mounting device that mounts the sample to the cartridge via the holder.
A mounting table that is housed in the liquid,
A mounting recess formed on the above-mentioned stand on which the cartridge is mounted, and
A pressure release recess formed in the previously described recess, which is located on the lower side in the vertical direction of the cartridge when the cartridge is placed in the previously described recess, and through which the liquid and air bubbles can pass.
A sample mounting device equipped with.
前記ガイド部材は、前記載置凹部及び前記圧力開放凹部と対向し、前記保持具が挿入される筒孔が形成されたガイド筒部を有する
請求項1に記載の試料取付装置。 A guide member provided on the above-mentioned stand and guiding the holder toward the sample mounting portion of the cartridge is provided.
The sample mounting device according to claim 1, wherein the guide member has a guide cylinder portion that faces the above-mentioned recess and the pressure release recess and has a cylinder hole into which the holder is inserted.
請求項1又は2に記載の試料取付装置。 The sample mounting device according to claim 1 or 2, wherein the recess is formed so as to extend longer than the length of the cartridge in the longitudinal direction.
請求項2に記載の試料取付装置。 The second aspect of the present invention, wherein the pressure release recess is formed to have the shallowest vertical depth in the facing portion facing the guide cylinder portion, and deeper in the facing portion toward the end portion. Sample mounting device.
請求項2又は4に記載の試料取付装置。 The sample mounting device according to claim 2 or 4, wherein the facing portion of the pressure release recess facing the guide cylinder portion is provided with a bubble regulating protrusion that regulates the movement of the bubbles toward the facing portion.
請求項2に記載の試料取付装置。 The sample mounting device according to claim 2, wherein the pedestal described above is provided with a guide holding portion for holding the guide member.
前記押出治具は、
前記液体及び前記気泡が通過可能な通路が形成された筒状の軸部と、
前記軸部の先端部に接続され、前記保持具に当接する筒状の押出部と、を有し、
前記軸部には、前記通路に連通し、前記液体及び前記気泡が通過可能な孔が形成され、
前記押出部の筒孔は、前記軸部の前記通路に連通路を介して連通する
請求項2に記載の試料取付装置。 An extrusion jig for pushing the holder arranged in the cylinder hole toward the sample mounting portion is provided.
The extrusion jig is
A cylindrical shaft portion having a passage through which the liquid and the bubbles can pass, and a cylindrical shaft portion.
It has a tubular extruded portion that is connected to the tip of the shaft portion and abuts on the holder.
A hole is formed in the shaft portion so as to communicate with the passage and allow the liquid and the bubble to pass through.
The sample mounting device according to claim 2, wherein the tubular hole of the extrusion portion communicates with the passage of the shaft portion via a communication passage.
前記仮セット治具は、
前記保持具に当接する押出部と、
前記押出部に設けられ、前記筒孔の内壁面に当接するストッパと、を有し、
前記押出治具は、前記仮セット治具により仮セットされた前記保持具を前記試料取付部に向けて押し込む
請求項7に記載の試料取付装置。 A temporary setting jig for pushing the holder arranged in the cylinder hole to the lower end portion in the vertical direction of the cylinder hole and temporarily setting the holder to the lower end portion of the cylinder hole is provided.
The temporary set jig is
An extruded portion that comes into contact with the holder and
It has a stopper provided in the extruded portion and abutting on the inner wall surface of the tubular hole.
The sample mounting device according to claim 7, wherein the extrusion jig pushes the holder temporarily set by the temporary setting jig toward the sample mounting portion.
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