JP6984855B2 - 下地基板 - Google Patents
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Description
下地基板準備工程では、半導体基板を製造するために用いられる図1A〜1Cに示すような下地基板10を準備する。
半導体結晶成長工程では、気相成長装置を用い、気相成長法のHVPE法で、反応室で下地基板10のマスク12を設けた側の面に原料ガスを接触させることにより半導体のGaNの結晶成長を行う。原料ガスには、Ga源ガスとしてGaClガスが挙げられ、N源ガスとしてNH3ガスが挙げられる。また、キャリアガスとして例えばH2ガスやN2ガスが挙げられる。なお、このとき、気相成長法としてMOVPE法(有機金属気相成長法:Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy)等を用いてもよい。
GaNは、下地基板10上のマスク12により結晶成長が規制されるため、マスク12間の各開口部13からエピタキシャル成長する。従って、開口部13から基板本体11の主面がc面のGaNが露出していれば、GaNがc面成長する。このとき、図3A〜3Cに示すように、GaNは、各開口部13において、結晶成長するに従ってマスク幅方向の寸法が両側から漸次短くなった後に最終的に線状に収束した頂上を構成し、このとき、マスク幅方向に沿った断面形状が上に頂点を有する三角形の突状に構成された幅が100μm以上の大きな三角ファセット構造21を形成する。ここで、本出願における「三角形」には、3本の線分の辺で構成された三角形の他、3本の辺のうちの少なくとも1本が弓形に外向きに膨出又は内向きに没入した略三角形も含まれる。
三角ファセット構造21形成ステップの後、引き続きGaNを結晶成長させる。このとき、図4Aに示すように、GaNは、複数の三角ファセット構造21のそれぞれの斜面の斜めファセット面から結晶成長して相互に隣接する三角ファセット構造21間の凹部を埋め込むように第1厚膜成長層22を形成すると同時に(第1厚膜成長ステップ)、複数の三角ファセット構造21のそれぞれの上に、その頂上に連続して、三角ファセット構造21の底面、従って、下地基板10の基板本体11におけるマスク12間の開口部13から露出する基板表面と同一の結晶成長面で結晶成長し、結晶成長に伴ってマスク幅方向の寸法が両側に漸次拡大して、成長領域の履歴であるマスク幅方向に沿った断面形状が逆三角形となるように第2厚膜成長層を形成し(第2厚膜成長ステップ)、そして、三角ファセット構造21を含んで全体として単一のGaN層20(半導体層)を構成する。
実験1では、主面がc面のサファイア基板上にMOVPE法により厚さ3μm程度のGaN膜をエピタキシャル成長させた基板本体上に、幅を2〜500μmの範囲で少しずつ広くした厚さ200nmのSiO2のストライプ状のマスクを、開口部の幅が10μmとなり且つマスク幅方向がm軸方向となるように設けた試験用の下地基板を作製した。続いて、この下地基板にHVPE法によりGaNを結晶成長させた。結晶成長条件は、Ga源ガス流量に対するN源ガス流量の比(V/III)を10、反応室内の圧力を常圧、結晶成長温度を1040℃、及び結晶成長時間を15分とした。そして、得られたGaN層のa面断面を蛍光顕微鏡観察することにより三角ファセット構造の形成・不形成を確認した。
実験2-1では、実験1で用いたのと同様の基板本体上に、幅10μm及び厚さ200nmのSiO2のストライプ状のマスクを、開口部の幅が200μmとなり且つマスク幅方向がm軸方向となるように設けた試験用の下地基板を作製した。続いて、この下地基板にHVPE法によりGaNを結晶成長させた。結晶成長条件は、Ga源ガス流量に対するN源ガス流量の比(V/III)を60、反応室内の圧力を常圧、結晶成長温度を1040℃、及び結晶成長時間を540分とした。そして、得られたGaN層のa面断面を蛍光顕微鏡観察することにより三角ファセット構造の形成・不形成を確認した。また、実験2-2及び2-3では、開口部の幅をそれぞれ1000μm及び2000μmとして実験2-1と同様の操作を行った。
実験3-1〜3-16では、実験1で用いたのと同様の基板本体上、又は、主面がc面のGaN基板の基板本体上に、ストライプ状のSiO2又はSiNxのマスクを、マスクの幅及び開口部の幅を種々組み合わせ、マスク幅方向がm軸方向となるように設けた試験用の下地基板を作製した。続いて、この下地基板にHVPE法によりGaNを結晶成長させた。結晶成長条件は、反応室内の圧力を常圧とした他は、Ga源ガス流量に対するN源ガス流量の比(V/III)、結晶成長温度、及び結晶成長時間を種々組み合わせた。そして、得られたGaN層のa面断面を蛍光顕微鏡観察することにより三角ファセット構造の形成・不形成を確認した。
実験4-1では、実験1で用いたのと同様の基板本体上に、幅10μm及び厚さ200nmのSiO2のストライプ状のマスクを、開口部の幅が200μmとなり且つマスク幅方向がm軸方向となるように設けた試験用の下地基板を作製した。続いて、この下地基板にHVPE法によりGaNを結晶成長させた。結晶成長条件は、Ga源ガス流量に対するN源ガス流量の比(V/III)を60、反応室内の圧力を常圧、結晶成長温度を1040℃、及び結晶成長時間を540分とした。そして、得られたGaN層のa面断面を蛍光顕微鏡観察することにより三角ファセット構造の形成・不形成を確認した。また、基板内の5点以上の基準点の測定結果を平均して平均膜厚と平均転位密度を測定し、対消滅の理論と実験結果をフッティングして求めた対消滅だけの転位低減のモデル式に基づいて求めた転位密度の計算値から平均転位密度を減じ、それの転位密度の計算値に対する転位低減効率を算出した。
11 基板本体
12 マスク
13 開口部
20 GaN層(半導体層)
21 三角ファセット構造
22 第1厚膜成長層
23 第2厚膜成長層
Claims (5)
- 半導体基板を製造するために用いられる下地基板であって、
基板本体と前記基板本体上に設けられたマスクとを有し、
前記基板本体上の面内において、前記マスクと前記基板本体が露出した開口部とが所定方向に交互に配設された部分を含むと共に、前記所定方向において、前記マスクの幅が10μm以上20μm以下及び前記マスクの幅に対する前記開口部の幅の比が10以上50以下であり、且つ前記マスク上に半導体の結晶成長が生じることなく、各々、前記開口部から露出する前記基板本体を底面として、前記半導体が前記所定方向に沿った断面形状が三角形となるように結晶成長した複数の三角ファセット構造を形成した後、前記半導体が、前記複数の三角ファセット構造のそれぞれの斜面の斜めファセット面から結晶成長して、相互に隣接する前記三角ファセット構造間の凹部を埋め込むように第1厚膜成長層を形成し、そして、前記第1厚膜成長層が会合すると共に、その会合部に転位が集中し、また、前記半導体が、前記複数の三角ファセット構造のそれぞれの斜面の斜めファセット面から結晶成長すると同時に、前記半導体が、前記複数の三角ファセット構造のそれぞれの上に、前記三角ファセット構造の頂上に連続して、前記三角ファセット構造の底面と同一の結晶成長面で、且つ前記所定方向の寸法が両側に漸次拡大して前記所定方向に沿った断面形状が逆三角形となるように結晶成長して第2厚膜成長層を形成し、そして、前記第2厚膜成長層が合体して前記第1厚膜成長層を埋設すると共に、その表面において転位が分散する下地基板。 - 請求項1に記載された下地基板において、
前記所定方向が前記開口部から露出した前記基板本体のa軸方向又はm軸方向である下地基板。 - 請求項1又は2に記載された下地基板において、
前記開口部から露出した前記基板本体が前記開口部から結晶成長させるのと同一の半導体で構成されている下地基板。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載された下地基板において、
前記マスクが前記基板本体上にストライプ状に設けられている下地基板。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載された下地基板において、
前記半導体がGaNである下地基板。
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