JP6961132B1 - 着磁装置 - Google Patents

Abstract

着磁装置（１）は、第１の方向に延びるコアバック（６１ａ）とコアバック（６１ａ）から突出する１つ以上のティース（６１ｂ）とを有する可動子コア（６１）と、可動子コア（６１）に第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の磁石（６３）とを備えるリニアサーボモータの磁石（６３）を着磁するための着磁装置（１）であって、第１の方向に延びる第１のヨークコア（２）と、第１の方向に延びるとともに、第１のヨークコア（２）と第２の方向に間隔を空けて配置された第２のヨークコア（３）と、第１のヨークコア（２）に第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第１の着磁コイル（４）と、第２のヨークコア（３）に第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第２の着磁コイル（５）と、を備える。第１のヨークコア（２）と第２のヨークコア（３）との間には、可動子コア（６１）を配置可能な空間（Ｓ）が形成されている。

Description

本開示は、リニアサーボモータの磁石を着磁する着磁装置および着磁方法に関する。

従来、可動子と固定子とを備えるリニアサーボモータが知られている。このようなリニアサーボモータとして、可動子が可動子コアとコイルとを有し、固定子が磁石と台座とを有する構造がある。

固定子が磁石を有する構造では、可動子の可動距離を長くするために固定子の長さを長くすると、磁石の数が増えて製造コストが増大するという問題がある。一方、製造コストの増大を抑えるために、単位長さ当たりの磁石の数を減らすと、可動子の推力が低下するという問題がある。

このような問題を解決する技術として、特許文献１には、可動子コア内に磁石を設けた技術が開示されている。特許文献１に開示された技術では、固定子に磁石を設けないため、可動子の可動距離を長くすることによる製造コストの増加を抑制できるとともに、可動子の可動距離を長くした場合でも磁石の数を増やすことなく可動子の推力を確保できる。

特開２０１８−１８３０４３号公報

特許文献１に開示された技術において、可動子コア内に磁石を組み付ける前に磁石を着磁した場合には、磁石の吸引力および反発力によって可動子コア内に磁石を組み付けにくいという問題がある。一方、可動子コア内に磁石を組み付けた後に磁石を着磁した場合には、可動子コア内への磁石の組み付けは容易であるものの、着磁に必要な磁界が磁石の全体に亘って届きにくい。しかしながら、特許文献１には、着磁に必要な磁界が磁石の全体に亘って届きやすくする具体的な着磁装置について何ら開示されていない。そこで、可動子コア内への磁石の組付後でも、磁石全体の着磁が容易になる着磁装置の開発が望まれている。

本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、可動子コア内への磁石の組付後でも、磁石全体の着磁が容易になる着磁装置を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示にかかる着磁装置は、第１の方向に延びるコアバックとコアバックのうち第１の方向と直交する第２の方向に沿った一端部から突出する１つ以上のティースとを有する可動子コアと、可動子コアに第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の磁石とを備えるリニアサーボモータの磁石を着磁するための着磁装置であって、第１の方向に延びる第１のヨークコアと、第１の方向に延びるとともに、第１のヨークコアと第２の方向に間隔を空けて配置された第２のヨークコアと、第１のヨークコアに第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第１の着磁コイルと、第２のヨークコアに第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第２の着磁コイルと、を備える。第１のヨークコアと第２のヨークコアとの間には、可動子コアを配置可能な空間が形成されている。第１のヨークコアは、第１の着磁コイルが配置されて第２のヨークコアの方向を向く第１の内側部と、第２の方向において第１の内側部を挟んで第２のヨークコアと反対側に設けられた第１の外側部と、を有している。第２のヨークコアは、第２の着磁コイルが配置されて第１のヨークコアの方向を向く第２の内側部と、第２の方向において第２の内側部を挟んで第１のヨークコアと反対側に設けられた第２の外側部と、を有している。第１の内側部と第２の内側部とは、磁化容易方向が第２の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されている。第１の外側部のうち第１の着磁コイルと第１の方向において一致する第１の部分は、磁化容易方向が第１の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されている。第２の外側部のうち第２の着磁コイルと第１の方向において一致する第２の部分は、磁化容易方向が第１の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されている。第１の外側部のうち第１の部分を除く部分は、等方性電磁鋼板により形成されている。第２の外側部のうち第２の部分を除く部分は、等方性電磁鋼板により形成されている。

本開示にかかる着磁装置では、可動子コア内への磁石の組付後でも、磁石全体の着磁が容易になるという効果を奏する。

実施の形態１にかかる着磁装置の構成を示す図 実施の形態１にかかる着磁装置にリニアサーボモータの可動子を設置した状態を示す図 実施の形態１にかかる着磁装置によって可動子の磁石を着磁する方法を示す図 実施の形態２にかかる着磁装置の構成を示す図 実施の形態２の変形例にかかる着磁装置の構成を示す図

以下に、実施の形態にかかる着磁装置および着磁方法を図面に基づいて詳細に説明する。

実施の形態１．
図１は、実施の形態１にかかる着磁装置１の構成を示す図である。図２は、実施の形態１にかかる着磁装置１にリニアサーボモータの可動子６を設置した状態を示す図である。はじめに、図２を参照して、リニアサーボモータの可動子６の構成について説明する。各図には、可動子６の可動方向である第１の方向を矢印Ａ、第１の方向と直交する第２の方向を矢印Ｂで示している。

可動子６は、複数の可動子コア６１と、複数のモータコイル６２と、複数の磁石６３とを備える。各可動子コア６１は、第１の方向に延びるコアバック６１ａと、コアバック６１ａのうち第２の方向に沿った一端部から突出する１つのティース６１ｂとを有する。各可動子コア６１は、第１の方向に２分割されたコア６１ｃによって形成されている。各可動子コア６１のコアバック６１ａおよびティース６１ｂは、第１の方向に２分割されている。ティース６１ｂは、第１の方向に互いに間隔を空けて複数配置されている。隣り合うティース６１ｂの間には、スロット６１ｄが形成されている。各ティース６１ｂには、モータコイル６２が巻き付けられている。モータコイル６２は、スロット６１ｄに配置されている。各可動子コア６１において隣り合うコア６１ｃの間には、磁石６３が挟み込まれている。換言すると、磁石６３は、第１の方向に分割されたコア６１ｃによって挟み込まれている。磁石６３は、第２の方向に延びており、コアバック６１ａからティース６１ｂに亘って配置されている。複数の磁石６３は、可動子コア６１に第１の方向に互いに間隔を空けて配置されている。隣り合う可動子コア６１は、第１の方向におけるスロット６１ｄの中央部に対応する位置で分割された構造となっている。

次に、実施の形態１にかかる着磁装置１について説明する。着磁装置１は、リニアサーボモータの磁石６３を着磁するための装置である。着磁装置１は、第１の方向に延びる第１のヨークコア２と、第１の方向に延びるとともに第１のヨークコア２と第２の方向に間隔を空けて配置された第２のヨークコア３とを備える。また、着磁装置１は、第１のヨークコア２に第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第１の着磁コイル４と、第２のヨークコア３に第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第２の着磁コイル５とを備える。第１のヨークコア２と第２のヨークコア３との間には、可動子コア６１を配置可能な空間Ｓが形成されている。

図１に示される第１のヨークコア２および第２のヨークコア３の形状は、特に制限されないが、例えば直方体である。第１のヨークコア２および第２のヨークコア３の材料には、磁性材が用いられる。磁性材は、例えば、炭素鋼板、等方性電磁鋼板である。炭素鋼板には、例えば、ＳＰＣＣ（Steel Plate Cold Commercial）の炭素鋼板、Ｓ４５Ｃの炭素鋼板が用いられる。第１のヨークコア２は、第２のヨークコア３の方向を向く第１の面２１を有する。第１の面２１は、第１の方向に平行な平面である。第１のヨークコア２には、複数の第１の凹部２２が形成されている。複数の第１の凹部２２は、第１の方向に互いに間隔を空けて配置されている。第１の凹部２２は、第１の着磁コイル４を収容するための部分であって、第１の面２１に開口している。

第２のヨークコア３は、第１のヨークコア２の方向を向く第２の面３１を有する。第２の面３１は、第１の方向に平行な平面である。第２のヨークコア３には、複数の第２の凹部３２が形成されている。複数の第２の凹部３２は、第１の方向に互いに間隔を空けて配置されている。第２の凹部３２は、第２の着磁コイル５を収容するための部分であって、第２の面３１に開口している。

第１の着磁コイル４は、第１の凹部２２に１つずつ配置されている。第２の着磁コイル５は、第２の凹部３２に１つずつ配置されている。第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５には、銅線、アルミニウム線などの導線が用いられる。導線の形状は、例えば、丸線、平角線である。第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５とは、第１の方向における位置が一致する。全ての第１の着磁コイル４と全ての第２の着磁コイル５とは、電気的に直列に接続されている。

次に、図２および図３を参照して、リニアサーボモータの可動子６の磁石６３を着磁する着磁方法について説明する。着磁方法は、組立工程と、設置工程と、印加工程と、を含んでいる。図３は、実施の形態１にかかる着磁装置１によって可動子６の磁石６３を着磁する方法を示す図である。なお、図３には、第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５の通電方向Ｃ１，Ｃ２と、第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の流れを図示している。通電方向Ｃ１は、電流が紙面手前から奥へ向かう方向であり、通電方向Ｃ２は、電流が紙面奥から手前へ向かう方向である。

組立工程は、図２に示される可動子コア６１と磁石６３とを組み付けて可動子６を組み立てる工程である。組立工程では、各可動子コア６１において２つのコア６１ｃの間に磁石６３を挟み込むように配置する。組立工程では、各可動子コア６１のティース６１ｂにモータコイル６２を巻き付ける。これにより、図２に示される可動子６が組み立てられる。

設置工程は、第１のヨークコア２と第２のヨークコア３との間に可動子６を設置する工程である。設置工程では、可動子６のコアバック６１ａを第１のヨークコア２に向けて、かつ、可動子６のティース６１ｂの先端部を第２のヨークコア３に向けて、着磁装置１に可動子６を設置する。設置工程では、第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５と磁石６３とは、第１の方向における位置が一致する。

図３に示すように、印加工程は、可動子コア６１のコアバック６１ａ側と、可動子コア６１のティース６１ｂ側との両側から、可動子コア６１内の磁石６３へ同時に着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を印加して磁石６３を着磁する工程である。印加工程では、図示しない電源から第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５とに電力を供給する。印加工程では、第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５とに通電することで着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を発生させる。全ての第１の着磁コイル４と全ての第２の着磁コイル５とが電気的に直列に接続されているため、全ての第１の着磁コイル４と全ての第２の着磁コイル５とが同時に通電される。

印加工程では、第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５とに通電することにより、第１の方向と第２の方向とに垂直な軸周りに環状の着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を発生させる。印加工程では、隣り合う第１の着磁コイル４の通電方向Ｃ１，Ｃ２の正負は、互いに逆である。そのため、隣り合う第１の着磁コイル４から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きは、互いに逆である。すなわち、第１の着磁コイル４では、時計周りの着磁磁界Ｄ１と反時計周りの着磁磁界Ｄ２とが第１の方向に交互に発生する。印加工程では、隣り合う第２の着磁コイル５の通電方向Ｃ１，Ｃ２の正負は、互いに逆である。そのため、隣り合う第２の着磁コイル５から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きは、互いに逆である。すなわち、第２の着磁コイル５では、時計周りの着磁磁界Ｄ１と反時計周りの着磁磁界Ｄ２とが第２の方向に交互に発生する。印加工程では、第１の方向における位置が一致する第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５との通電方向Ｃ１，Ｃ２の正負は、互いに逆である。そのため、第１の方向における位置が一致する第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５のうち一方では、時計周りの着磁磁界Ｄ１が発生して、他方では、反時計周りに着磁磁界Ｄ２が発生する。印加工程を行うことにより、磁石６３の全体が着磁される。

次に、本実施の形態にかかる着磁装置１の効果について説明する。

本実施の形態では、図２に示すように、着磁装置１は、第１の方向に延びる第１のヨークコア２と、第１の方向に延びるとともに第１のヨークコア２と第２の方向に間隔を空けて配置された第２のヨークコア３とを備える。また、着磁装置１は、第１のヨークコア２に第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第１の着磁コイル４と、第２のヨークコア３に第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第２の着磁コイル５とを備える。第１のヨークコア２と第２のヨークコア３との間には、可動子コア６１を配置可能な空間Ｓが形成されている。これらの構成により、図３に示すように、コアバック６１ａ側とティース６１ｂの先端側との両側から同時に磁石６３全体に着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を印加することができる。そのため、コアバック６１ａ側のみまたはティース６１ｂの先端側のみから磁石６３を着磁する場合に比較して、可動子コア６１内への磁石６３の組付後でも、磁石６３全体の着磁が容易になる。特に、第１の着磁コイル４から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２と第２の着磁コイル５から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２とが合成されて、合成された着磁磁界Ｄ１，Ｄ２が磁石６３の第２の方向に沿った中央部に印加されやすくなる。そのため、着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の発生源である第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５から最も離れた磁石６３の第２の方向に沿った中央部も着磁できる。したがって、磁石６３の磁力を高めて可動子６の推力を向上させることができる。

本実施の形態では、図２に示すように、第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５とは、第１の方向における位置が一致することにより、第１の着磁コイル４から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２と第２の着磁コイル５から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２とが合成される。そして、合成された着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きが第１の方向と平行になりやすくなるため、着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を強めることができる。なお、本明細書において平行とは、完全に平行である場合の他、厳密には平行でなく僅かに傾斜した場合も含む意味である。

本実施の形態では、図２に示すように、第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５と磁石６３とは、第１の方向における位置が一致することにより、第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５のそれぞれと磁石６３との距離が近くなる。そのため、第１のヨークコア２および第２のヨークコア３が着磁磁界Ｄ１，Ｄ２で磁気飽和を起こしても、着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を磁石６３に印加することができる。

本実施の形態では、図３に示すように、全ての第１の着磁コイル４と全ての第２の着磁コイル５とが電気的に直列に接続されており、第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５との通電方向Ｃ１，Ｃ２の正負が互いに逆である。このような構成と第１の方向において磁石６３の両側に第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５が配置される構成との相乗効果により、疑似的にソレノイドコイルの内部に磁石６３を配置したときのような強い着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を磁石６３に印加することができるため、磁石６３全体の着磁がより一層容易になる。

なお、図２に示される可動子コア６１は、スロット６１ｄの部分に対応する位置で分割されず、かつ、各可動子コア６１が２つのコア６１ｃに分割されない構造であってもよい。すなわち、可動子コア６１は、第１の方向に延びる単一のコアバック６１ａと、コアバック６１ａのうち第２の方向に沿った一端部から突出する複数のティース６１ｂとを有する構造であってもよい。このような構造の場合には、コアバック６１ａからティース６１ｂに亘って貫通する孔を開けて、孔に磁石６３を埋め込む構成であってもよい。

本実施の形態では、図２に示される第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５とは、第１の方向における位置が一致するが、第１の方向における位置がずれてもよい。また、本実施の形態では、図２に示される第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５と磁石６３とは、第１の方向における位置が一致するが、第１の方向における位置がずれてもよい。また、本実施の形態では、図２に示される全ての第１の着磁コイル４と全ての第２の着磁コイル５とが電気的に直列に接続されているが、電気的に並列に接続されてもよい。また、本実施の形態では、図２に示される第１の着磁コイル４と第２の着磁コイル５との通電方向Ｃ１，Ｃ２の正負が互いに逆であるが、互いに同じであってもよい。

実施の形態２．
次に、図４を参照して、実施の形態２にかかる着磁装置１Ａについて説明する。図４は、実施の形態２にかかる着磁装置１Ａの構成を示す図である。本実施の形態では、第１のヨークコア２および第２のヨークコア３の一部を方向性電磁鋼板により形成した点が前記した実施の形態１と相違する。なお、実施の形態２では、前記した実施の形態１と重複する部分については、同一符号を付して説明を省略する。図４には、方向性電磁鋼板の磁化容易方向を矢印Ｅで示している。

第１のヨークコア２は、第１の着磁コイル４が配置されて第２のヨークコア３の方向を向く第１の内側部２３と、第２の方向において第１の内側部２３を挟んで第２のヨークコア３と反対側に設けられた第１の外側部２４とを有する。第１のヨークコア２は、第１のヨークコア２の第２の方向に沿った中央部を境に、第１の内側部２３と第１の外側部２４とに分けられている。第１の内側部２３には、複数の第１の凹部２２が形成されている。

第２のヨークコア３は、第２の着磁コイル５が配置されて第１のヨークコア２の方向を向く第２の内側部３３と、第２の方向において第２の内側部３３を挟んで第１のヨークコア２と反対側に設けられた第２の外側部３４とを有する。第２のヨークコア３は、第２のヨークコア３の第２の方向に沿った中央部を境に、第２の内側部３３と第２の外側部３４とに分けられている。第２の内側部３３には、複数の第２の凹部３２が形成されている。

第１の内側部２３と第２の内側部３３とは、磁化容易方向Ｅを有する方向性電磁鋼板により形成されている。第１の内側部２３と第２の内側部３３とは、複数の方向性電磁鋼板を第２の方向に積層することにより形成されている。磁化容易方向Ｅは、第１の方向と直交する方向、すなわち第２の方向と平行である。第１の内側部２３のうち第１の着磁コイル４の第１の方向に沿った両側を通る着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きは、第２の方向と平行である。第２の内側部３３のうち第２の着磁コイル５の第１の方向に沿った両側を通る着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きは、第２の方向と平行である。第１の内側部２３および第２の内側部３３の磁化容易方向Ｅは、第１の内側部２３および第２の内側部３３を通る着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きと平行である。第１の外側部２４と第２の外側部３４とは、方向性電磁鋼板以外の鋼板、例えば、等方性電磁鋼板により形成されている。

本実施の形態では、第１のヨークコア２は、第１の着磁コイル４が配置されて第２のヨークコア３の方向を向く第１の内側部２３を有し、第２のヨークコア３は、第２の着磁コイル５が配置されて第１のヨークコア２の方向を向く第２の内側部３３を有する。また、第１の内側部２３と第２の内側部３３とは、磁化容易方向Ｅを有する方向性電磁鋼板により形成されている。これらの構成により、第１の内側部２３および第２の内側部３３の磁化容易方向Ｅを、第１の内側部２３および第２の内側部３３を通る着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きと平行にすることが可能になる。そのため、第１の着磁コイル４から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２が第１の内側部２３を通りやすくなって可動子コア６１に伝わりやすくなるとともに、第２の着磁コイル５から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２が第２の内側部３３を通りやすくなって可動子コア６１に伝わりやすくなる。したがって、着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の発生源である第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５から最も離れた磁石６３の中央部にも着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を印加しやすくなり、可動子コア６１内への磁石６３の組付後でも、磁石６３全体の着磁が容易になる。

図５は、実施の形態２の変形例にかかる着磁装置１Ｂの構成を示す図である。図５に示すように、第１の外側部２４および第２の外側部３４の一部が方向性電磁鋼板により形成されてもよい。第１の外側部２４のうち第１の着磁コイル４と第１の方向において一致する部分は、磁化容易方向Ｆが第１の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されている。以下、第１の外側部２４のうち第１の着磁コイル４と第１の方向において一致する部分を第１の部分２４ａと称する。第２の外側部３４のうち第２の着磁コイル５と第１の方向において一致する部分は、磁化容易方向Ｆが第１の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されている。以下、第２の外側部３４のうち第２の着磁コイル５と第１の方向において一致する部分を第２の部分３４ａと称する。

第１の部分２４ａと第２の部分３４ａとは、複数の方向性電磁鋼板を第２の方向に積層することにより形成されている。第１の部分２４ａおよび第２の部分３４ａを通る着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きは、第１の方向と平行である。第１の部分２４ａおよび第２の部分３４ａの磁化容易方向Ｆは、第１の部分２４ａおよび第２の部分３４ａを通る着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きと平行である。第１の外側部２４のうち第１の部分２４ａを除く部分と第２の外側部３４のうち第２の部分３４ａを除く部分とは、方向性電磁鋼板以外の鋼板、例えば、等方性電磁鋼板により形成されている。

本変形例では、第１の部分２４ａおよび第２の部分３４ａの磁化容易方向Ｆが第１の部分２４ａおよび第２の部分３４ａを通る着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の向きと平行である。そのため、第１の着磁コイル４から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２が第１の部分２４ａを通りやすくなって可動子コア６１に伝わりやすくなるとともに、第２の着磁コイル５から発生する着磁磁界Ｄ１，Ｄ２が第２の部分３４ａを通りやすくなって可動子コア６１に伝わりやすくなる。したがって、着磁磁界Ｄ１，Ｄ２の発生源である第１の着磁コイル４および第２の着磁コイル５から最も離れた磁石６３の中央部にも着磁磁界Ｄ１，Ｄ２を印加しやすくなり、可動子コア６１内への磁石６３の組付後でも、磁石６３全体の着磁が容易になる。

以上の実施の形態に示した構成は、一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、実施の形態同士を組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。

１，１Ａ，１Ｂ 着磁装置、２ 第１のヨークコア、３ 第２のヨークコア、４ 第１の着磁コイル、５ 第２の着磁コイル、６ 可動子、２１ 第１の面、２２ 第１の凹部、２３ 第１の内側部、２４ 第１の外側部、２４ａ 第１の部分、３１ 第２の面、３２ 第２の凹部、３３ 第２の内側部、３４ 第２の外側部、３４ａ 第２の部分、６１ 可動子コア、６１ａ コアバック、６１ｂ ティース、６１ｃ コア、６１ｄ スロット、６２ モータコイル、６３ 磁石、Ｓ 空間。

Claims (4)

1. 第１の方向に延びるコアバックと前記コアバックのうち前記第１の方向と直交する第２の方向に沿った一端部から突出する１つ以上のティースとを有する可動子コアと、前記可動子コアに前記第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の磁石とを備えるリニアサーボモータの前記磁石を着磁するための着磁装置であって、
   前記第１の方向に延びる第１のヨークコアと、
   前記第１の方向に延びるとともに、前記第１のヨークコアと前記第２の方向に間隔を空けて配置された第２のヨークコアと、
   前記第１のヨークコアに前記第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第１の着磁コイルと、
   前記第２のヨークコアに前記第１の方向に互いに間隔を空けて配置された複数の第２の着磁コイルと、を備え、
   前記第１のヨークコアと前記第２のヨークコアとの間には、前記可動子コアを配置可能な空間が形成されており、
   前記第１のヨークコアは、前記第１の着磁コイルが配置されて前記第２のヨークコアの方向を向く第１の内側部と、前記第２の方向において前記第１の内側部を挟んで前記第２のヨークコアと反対側に設けられた第１の外側部と、を有し、
   前記第２のヨークコアは、前記第２の着磁コイルが配置されて前記第１のヨークコアの方向を向く第２の内側部と、前記第２の方向において前記第２の内側部を挟んで前記第１のヨークコアと反対側に設けられた第２の外側部と、を有し、
   前記第１の内側部と前記第２の内側部とは、磁化容易方向が前記第２の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されており、
   前記第１の外側部のうち前記第１の着磁コイルと前記第１の方向において一致する第１の部分は、磁化容易方向が前記第１の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されており、
   前記第２の外側部のうち前記第２の着磁コイルと前記第１の方向において一致する第２の部分は、磁化容易方向が前記第１の方向と平行な方向性電磁鋼板により形成されており、
   前記第１の外側部のうち前記第１の部分を除く部分は、等方性電磁鋼板により形成されており、
   前記第２の外側部のうち前記第２の部分を除く部分は、等方性電磁鋼板により形成されていることを特徴とする着磁装置。
2. 前記第１の着磁コイルと前記第２の着磁コイルとは、前記第１の方向における位置が一致することを特徴とする請求項１に記載の着磁装置。
3. 前記第１の着磁コイルおよび前記第２の着磁コイルと前記磁石とは、前記第１の方向における位置が一致することを特徴とする請求項２に記載の着磁装置。
4. 全ての前記第１の着磁コイルと全ての前記第２の着磁コイルとが電気的に直列に接続されており、
   前記第１の着磁コイルと前記第２の着磁コイルとの通電方向の正負が互いに逆であることを特徴とする請求項２または３に記載の着磁装置。

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