JP6874548B2 - ダイレクトドライブモータ及び処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、ダイレクトドライブモータ及び処理装置に関する。

特許文献１には、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達するダイレクトドライブモータが開示されている。ダイレクトドライブモータは、動力を発生するモータ部と、モータ部の回転を検出する回転検出器と、モータ部及び回転検出器を保持するハウジングと、を備える。モータ部は、ステータとロータとを有する。ステータは、コイルと、コイルを支持するステータコアと、コイルに接続されるリード線とを有する。リード線は、コネクタを介して電力供給部と接続される。ロータは、永久磁石を含む。また、特許文献２には、第１ロータと、第２ロータと、第１ロータと第２ロータとの位相差を検出する位相差検出器とを備えるモータが開示されている。

特開２０１６−２５７０９号公報 特開２００８−０２９１４７号公報

ダイレクトドライブモータの出力軸には、ステージ等の被回転体が取り付けられる。出力軸に被回転体を効率良く取り付けることが望まれている。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、被回転体を効率良く取り付けることができるダイレクトドライブモータ及び処理装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、一態様に係るダイレクトドライブモータは、ステータと、前記ステータに対して回転可能なロータとを有するモータ部と、前記ステータが取り付けられるステータハウジングと、前記ロータが取り付けられるロータハウジングと、前記ステータハウジングに対して前記ロータハウジングを回転可能に支持する軸受と、前記ステータハウジングに対する前記ロータハウジングの回転角度を検出する角度検出部と、を備え、前記ロータハウジングは、前記角度検出部が検出する前記回転角度の基準位置を示す第１マークを有する。これによれば、第１マークを見ることによって、回転角度の基準位置を把握することができる。

望ましい態様として、前記角度検出部は、前記ロータハウジングの回転の軸方向において、前記ロータハウジングの第１端側に取り付けられる被着磁体と、前記ステータハウジングに取り付けられ、前記被着磁体と対向する位置に配置される磁気センサと、を有し、前記第１マークは、前記ロータハウジングの前記第１端側とは反対側の第２端側に設けられている。これによれば、被着磁体の周囲に磁気センサ等の他の部材が配置され、他の部材に遮られて被着磁体を見ることが難しい場合でも、第１マークを見ることが可能である。

望ましい態様として、前記被着磁体は、前記基準位置を示す第２マークを有する。これによれば、ロータハウジングに被着磁体を取り付けるときに、第１マークと第２マークとを位置合わせすることによって、第１マークを回転角度の基準位置に合わせることができる。

望ましい態様として、前記回転の軸方向において、前記第１マークと前記第２マークとが重なっている。これによれば、第１マークは回転角度の基準位置を精度良く示すことができる。

一態様に係る処理装置は、上記のダイレクトドライブモータと、前記ロータハウジングの回転により移動する対象物に予め設定された処理を施す処理部と、を有する。これによれば、ダイレクトドライブモータに被回転体を効率良く取り付けることができるため、組立性に優れた処理装置を提供することができる。

本発明によれば、被回転体を効率良く取り付けることができるダイレクトドライブモータ及び処理装置を提供することができる。

図１は、実施形態１に係るダイレクトドライブモータの構成例を示す断面図である。 図２は、実施形態１に係るダイレクトドライブモータの構成例を示す平面図である。 図３Ａは、ロータハウジングの上端面を示す図である。 図３Ｂは、ロータハウジングの下端面を示す図である。 図４Ａは、エンコーダドラムの上面を示す図である。 図４Ｂは、エンコーダドラムの下面を示す図である。 図５は、着磁部の一例を模式的に示す平面図である。 図６は、実施形態１のＤＤモータの製造方法を工程順に示すフローチャートである。 図７は、実施形態１の着磁装置の構成例を示す模式図である。 図８は、実施形態１の変形例１のロータハウジングを示す図である。 図９は、実施形態１の変形例２のロータハウジングを示す図である。 図１０は、実施形態１の変形例３のロータハウジングを示す図である。 図１１Ａは、実施形態１の変形例４のエンコーダドラムの上面を示す図である。 図１１Ｂは、実施形態１の変形例４のエンコーダドラムの下面を示す図である。 図１２Ａは、実施形態１の変形例５のエンコーダドラムの上面を示す図である。 図１２Ｂは、実施形態１の変形例５のエンコーダドラムの下面を示す図である。 図１３Ａは、実施形態１の変形例６のエンコーダドラムの上面を示す図である。 図１３Ｂは、実施形態１の変形例６のエンコーダドラムの下面を示す図である。 図１４は、実施形態１の変形例７のロータハウジングの下端面を示す図である。 図１５は、実施形態２のＤＤモータの構成例を示す断面図である。 図１６は、実施形態２の窓部と蓋体とを示す図である。 図１７は、実施形態２の窓部が蓋体で閉じられている状態を示す図である。 図１８は、実施形態３に係るＤＤモータの構成例を示す断面図である。 図１９は、実施形態３のＤＤモータの製造方法を工程順に示すフローチャートである。 図２０は、実施形態４に係る検査装置の構成例を示す模式図である。 図２１は、実施形態５に係る工作機械の構成例を示す模式図である。

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。また、下記実施形態において、前述したものと同様の構成要素には同一の符号を付して、重複する説明は適宜省略することがある。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るダイレクトドライブモータの構成例を示す断面図である。図２は、実施形態１に係るダイレクトドライブモータの構成例を示す平面図である。図２をＸ１−Ｘ２線で切断した図が、図１に示す断面図である。ダイレクトドライブモータ（以下、ＤＤモータという）１００は、減速機構（例えば、減速ギア、伝動ベルトなど）を介在させること無く被回転体（例えば、後述のステージ８０など）に回転力をダイレクトに伝達し、被回転体を所定方向に回転させることができるモータである。ＤＤモータ１００は、出力軸と被回転体とを直結したモータである。

なお、実施形態１では、ＤＤモータ１００の各構成部において、図１における左右方向をＸ方向で示し、図１における上下方向をＺ方向で示し、図１のＸ−Ｚ平面に垂直な方向をＹ方向で示す。後述する実施形態２のＤＤモータ２００（図１８参照）の各構成部においても、実施形態１と同様にＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向を示す。Ｚ方向は、後述するロータハウジング２の回転軸（仮想軸）Ａｘの方向と一致する。Ｚ方向において、ボルト穴２３が開口している側を上側といい、その反対側を下側という。後述するロータハウジング２において、Ｚ方向の上側に位置する部位を上部といい、Ｚ方向の下側に位置する部位を下部という。

実施形態１のＤＤモータ１００は、ロータ２５の外周側にステータ１５を配した、いわゆるアウターステータタイプである。図１及び図２に示すように、実施形態１のＤＤモータ１００は、ステータハウジング１と、ロータハウジング２と、軸受３と、軸受３の固定輪３１をステータハウジング１に取り付けるための第１取付部品４と、軸受３の回転輪３２をロータハウジング２に取り付けるための第２取付部品５と、角度検出部６と、モータ部１０と、を備える。軸受３は、ステータハウジング１とロータハウジング２との間に介在し、ステータハウジング１に対してロータハウジング２を回転可能に支持している。また、モータ部１０は、ステータ１５及びロータ２５を有する。

ステータハウジング１は、第１部位１１と、ステータハウジング１の基台となる第２部位１２と、第１部位１１に第２部位１２を取り付けるためのボルト１３と、ステータ１５を支持する支持部１６と、支持部１６を第２部位１２に取り付けるためのボルト１６１と、ステータ１５を覆うカバー部１７と、カバー部１７を支持部１６に取り付けるためのボルト１７１と、を有する。第１部位１１は、円筒状に形成されている。第２部位１２は、平面視で円環状に形成されている。これにより、ステータハウジング１は、その中央部に開口部Ｈ１を有する。

ステータハウジング１の第１部位１１の外周側に、ロータハウジング２が配置されている。ロータハウジング２の外周面２ｃにロータ２５が固定されている。ロータハウジング２は円筒状に形成されており、その中央部に開口部Ｈ２を有する。平面視で、第１部位１１の開口部Ｈ１と、ロータハウジング２の開口部Ｈ２の形状は互いに同一（例えば、正円形）である。第１部位１１の開口部Ｈ１の直径Ｒ１よりも、ロータハウジング２の開口部Ｈ２の直径Ｒ２の方が大きい。開口部Ｈ１、Ｈ２は、同心状に配置されている。

ロータハウジング２の上側の端面（以下、上端面）２ａには、ステージ８０等を取り付けることが可能となっている。例えば、ロータハウジング２の上部には、上端面２ａに開口したボルト穴２３が設けられている。ボルト８０２を、ステージ８０の貫通孔８０１に通して、ボルト穴２３に締結することにより、ロータハウジング２の上端面２ａにステージ８０が固定される。ロータハウジング２の上端面２ａにステージ８０が固定された状態で、ロータハウジング２が回転すると、ロータハウジング２と共にステージ８０も回転する。ロータハウジング２の回転軸Ａｘは、開口部Ｈ１、Ｈ２の中心と重なっている。ロータハウジング２は、モータ部１０の動作によって回転するため、ＤＤモータ１００の出力軸として機能する。また、ロータハウジング２の上端面２ａには、角度検出部６が検出する回転角度の基準位置を示す第１マークＭ１が設けられている。上端面２ａは、ロータハウジング２の第２端側の一例である。回転角度の基準位置及び第１マークＭ１については、後述する。

軸受３は、固定輪（内輪）３１と、回転輪（外輪）３２と、固定輪３１と回転輪３２との間に設けられた複数の転動体３３とを備える。軸受３は、１つでアキシアル荷重とモーメント荷重の両方を負荷することが可能なものであることが好ましく、例えば、４点接触玉軸受、３点接触玉軸受、深溝玉軸受、あるいはクロスローラ軸受などを採用することができる。クロスローラ軸受を採用する場合には、一般的な内輪もしくは外輪が分割構造となるものではなく、内外輪とも一体構造のものを使用することが望ましい。

ステータハウジング１の第１部位１１の外周面１１ｃには、軸受３の固定輪３１を支持するための第１突起部１１１が設けられている。第１突起部１１１は、外周面１１ｃの全周に亘って設けられている。ロータハウジング２の回転軸方向において、第１突起部１１１は第１取付部品４と対向している。第１取付部品４はナットであり、例えば、緩み止め効果に優れたロックナットである。ロックナットは、２つのナットを使用したダブルナットでもよい。ナットは、内周面に雌ねじが切られている部品である。ナットは、ボルトなどの、外周面に雄ねじが切られている部品と組み合わせて使用される。

第１取付部品４は、第１部位１１の外周面１１ｃに螺合している。具体的には、第１部位１１の外周面１１ｃにおいて、軸受３が取り付けられる領域よりも上側の領域に、ねじ山が形成されている。第１取付部品４の内周面４ｄにもねじ山が形成されている。第１部位１１の外周面１１ｃのねじ山と第１取付部品４の内周面４ｄのねじ山は互いに噛合うように形成されており、第１部位１１に第１取付部品４が嵌め込まれている。

第１取付部品４と第１突起部１１１との間に軸受３の固定輪３１が配置されている。第１取付部品４は第１突起部１１１に近づく方向に締められており、第１取付部品４は固定輪３１を第１突起部１１１側に押圧している。これにより、第１取付部品４と第１突起部１１１とが固定輪３１を挟持している。固定輪３１は、第１取付部品４と第１突起部１１１とに挟持されることによって、第１部位１１の外周面１１ｃに固定されている。

ロータハウジング２の内周面２ｄには、軸受３の回転輪３２を支持するための第２突起部２１１が設けられている。第２突起部２１１は、内周面２ｄの全周に亘って設けられている。ロータハウジング２の回転軸方向において、第２突起部２１１は第２取付部品５と対向している。第２取付部品５は円環状の部品である。第２取付部品５と第２突起部２１１との間に軸受３の回転輪３２が配置されている。第２取付部品５は回転輪３２を第２突起部２１１側に押圧しており、第２取付部品５と第２突起部２１１とが回転輪３２を挟持している。これにより、回転輪３２は、ロータハウジング２の内周面２ｄに固定されている。

モータ部１０は、ロータハウジング２の外周側に配置されたステータ１５と、ロータハウジング２の外周面２ｃに固定されたロータ２５と、を備える。ステータ１５は、ロータハウジング２の回転方向に沿って所定間隔（例えば、等間隔）で同心状に配列された複数個のコア１５１と、各コア１５１に素線が多重に巻回されてなるコイル１５２と、を有する。ステータ１５には、電力を供給するための配線（図示せず）が接続されており、配線を通じてコイル１５２に電力が供給される。ロータ２５は、ロータハウジング２の回転方向に沿って所定間隔（例えば、等間隔）で同心状に配列された複数個の永久磁石を有する。ステータ１５のコイル１５２に通電されると、フレミングの左手の法則に従ってロータ２５に回転力が与えられ、ロータ２５が取り付けられているロータハウジング２は所定方向に回転する。

角度検出部６は、エンコーダドラム６１と、エンコーダ基板６２と、エンコーダ基板６２に接続する配線６２１と、を有する。エンコーダドラム６１は被着磁体の一例である。ロータハウジング２の回転軸方向において、ロータハウジング２の下部の端面（以下、下端面）２ｂに、エンコーダドラム６１が取り付けられている。下端面２ｂは、ロータハウジング２の第１端側の一例である。エンコーダ基板６２は、磁気センサを有する。磁気センサは、例えば、ホール素子と、ホール素子の出力信号に基づいて磁束密度等を検出する検出回路とを有する。エンコーダ基板６２は、ステータハウジング１の第１部位１１に取り付けられており、エンコーダドラム６１と対向している。また、エンコーダドラム６１には、角度検出部６が検出する回転角度の基準位置を示す第２マークＭ２（図４Ａ参照）が設けられている。第２マークＭ２については、後述する。

図３Ａは、ロータハウジングの上端面を示す図である。図３Ｂは、ロータハウジングの下端面を示す図である。図３Ａに示すように、ロータハウジング２の上端面２ａはリング状である。ロータハウジング２の上端面２ａには、複数のボルト穴２３と、１つの第１マークＭ１とが設けられている。上述したように、ボルト穴２３には、ロータハウジング２の上端面２ａにステージ８０（図１参照）等が取り付けられる際に、ボルト８０２（図１参照）が締結される。複数のボルト穴２３は、上端面２ａの円周方向に等間隔で配置されている。例えば、複数のボルト穴２３は、回転軸Ａｘを中心に３０°の間隔で配置されている。ボルト穴２３は、回転軸Ａｘを通り且つＸ方向若しくはＹ方向に平行な直線上の位置、又は、回転軸Ａｘを通り且つＸ方向若しくはＹ方向に対して３０°傾いている直線上の位置に配置されている。

第１マークＭ１は、ロータハウジング２の上端面２ａに１つだけ設けられている。第１マークＭ１は、例えばピン孔である。第１マークＭ１（ピン孔）の内周面は平滑であり、ねじ山は設けられていない。第１マークＭ１の直径は、ボルト穴２３の直径よりも小さい。また、回転軸Ａｘを中心とする円周上において、第１マークＭ１とボルト穴２３との間隔は、ボルト穴２３同士の間隔と異なる。ロータハウジング２の回転軸方向から見て、第１マークＭ１はボルト穴２３と大きさが異なり、第１マークＭ１とボルト穴２３との間隔はボルト穴２３同士の間隔とも異なる。このため、第１マークＭ１とボルト穴２３とを識別することが容易となっている。第１マークＭ１は、ロータハウジング２の回転軸方向から見て、角度検出部６が検出する回転角度の基準位置ＯＲ（図５参照）と重なる位置に設けられている。

図３Ｂに示すように、ロータハウジング２の下端面２ｂもリング状である。ロータハウジング２の下端面２ｂには、複数のボルト穴２７が設けられている。ボルト穴２７の内周面には、ねじ山が設けられている。ロータハウジング２の下端面２ｂにエンコーダドラム６１が取り付けられる際に、後述の貫通孔６１５（図４Ｂ参照）を通して、ボルト穴２７にボルト（図示せず）が締結される。図３Ｂに示すように、複数のボルト穴２７は、下端面２ｂの円周方向に等間隔で配置されている。例えば、複数のボルト穴２７は、回転軸Ａｘを中心に４５°の間隔で配置されている。ボルト穴２７は、回転軸Ａｘを通りＸ方向若しくはＹ方向に平行な直線上の位置、又は、回転軸Ａｘを通り且つＸ方向に対して４５°傾いている直線上の位置に配置されている。

図４Ａは、エンコーダドラムの上面を示す図である。図４Ｂは、エンコーダドラムの下面を示す図である。図４Ａ及び図４Ｂに示すように、エンコーダドラム６１の平面視による形状は、リング状である。エンコーダドラム６１の下面６１ｂには、着磁部６１１と、着磁部６１１の外周側に位置する非着磁部６１２とが設けられている。着磁部６１１及び非着磁部６１２はそれぞれリング状である。着磁部６１１のリングの中心と、非着磁部６１２のリングの中心は互いに同じ位置にある。また、エンコーダドラム６１は、着磁部６１１の内周側に位置する開口部６１３を有する。開口部６１３には、上述したステータハウジング１の第１部位１１（図１参照）が配置される。エンコーダドラム６１は、着磁部６１１と非着磁部６１２の各リングの中心を回転軸Ａｘが通るように、ロータハウジング２に取り付けられている。非着磁部６１２には、複数の貫通孔６１５と、１つの第２マークＭ２とが設けられている。

複数の貫通孔６１５は、非着磁部６１２の円周方向に等間隔で配置されている。例えば、複数の貫通孔６１５は、回転軸Ａｘを中心に４５°の間隔で配置されている。一例を挙げると、貫通孔６１５は、回転軸Ａｘを通りＸ方向若しくはＹ方向に平行な直線上の位置、又は、回転軸Ａｘを通り且つＸ方向に対して４５°傾いている直線上の位置に配置されている。貫通孔６１５は、エンコーダドラム６１の上面６１ａと下面６１ｂとの間を貫いている。貫通孔６１５の内周面は平滑であり、ねじ山は設けられていない。上述したように、貫通孔６１５を通して、ボルト穴２７（図３Ｂ参照）にボルト（図示せず）が締結されることによって、エンコーダドラム６１はロータハウジング２の下端面２ｂに取り付けられる。

また、貫通孔６１５と同様に、第２マークＭ２も、エンコーダドラム６１の上面６１ａと下面６１ｂとの間を貫く貫通孔である。第２マークＭ２（貫通孔）の内周面も平滑であり、ねじ山は設けられていない。回転軸Ａｘを中心とする円周上において、第２マークＭ２と貫通孔６１５との間隔は、貫通孔６１５同士の間隔と異なる。このため、第２マークＭ２と貫通孔６１５と識別することが容易となっている。第２マークＭ２は、角度検出部６が検出する回転角度の基準位置ＯＲ（図５参照）と重なる位置に設けられている。

図５は、着磁部の一例を模式的に示す平面図である。図５に示すように、着磁部６１１は、円周方向に沿って極性が交互に変化するよう磁化された信号パターンを有する。例えば、着磁部６１１は、信号パターンとして、第１着磁列Ｃ１と、第１着磁列Ｃ１の内周側に配置された第２着磁列Ｃ２と、を有する。第１着磁列Ｃ１及び第２着磁列Ｃ２はそれぞれ、円周方向に極性が交互に変化する着磁列である。第１着磁列Ｃ１は第２着磁列Ｃ２よりも径が大きい。第１着磁列Ｃ１と第２着磁列Ｃ２とは、互いの着磁列が重複しない。

図５では、磁極対Ｗ１の数が磁極対Ｗ２の数よりも多い場合を例示しているが、数の多少関係は逆であってもよい。磁極対Ｗ１、Ｗ２はそれぞれ、Ｎ極とＳ極を１つずつ含む。着磁部６１１の円周方向の一か所において、第１着磁列Ｃ１の磁極対Ｗ１の端部Ｗ１Ｅと、第２着磁列Ｃ２の磁極対Ｗ２の端部Ｗ２Ｅとが、同一直線上で並ぶ。

実施形態における回転角度の基準位置ＯＲとは、上述した信号パターンの所定位置に対して、エンコーダドラム６１の回転角度が既知となっている位置のことである。一例を挙げると、信号パターンの所定位置は、上記の端部Ｗ１Ｅと端部Ｗ２Ｅとが同一直線上で並ぶ位置である。実施形態では、端部Ｗ１Ｅと端部Ｗ２Ｅとが同一直線上で並ぶ位置に対してエンコーダドラム６１の回転角度は０°に定められており、この位置を基準位置ＯＲとしている。

第２マークＭ２は、非着磁部６１２（図４Ｂ参照）であって、基準位置ＯＲの延長線上に位置する。第２マークＭ２と回転軸Ａｘを結ぶ直線が、基準位置ＯＲと一致している。また、ロータハウジング２（図１参照）にエンコーダ基板６１（図１参照）が取り付けられている状態では、ロータハウジング２の回転軸方向において、第１マークＭ１は第２マークＭ２と重なっている。

次に、図１及び図６を参照しながら、ＤＤモータ１００の製造方法を説明する。図６は、実施形態１のＤＤモータの製造方法を工程順に示すフローチャートである。ＤＤモータ１００を製造するための製造装置（図示せず）は、図１及び図６に示すように、ロータハウジング２の外周面２ｃにロータ２５を取り付ける（ステップＳＴ１）。例えば、ロータ２５の被取付面には接着剤が塗布されている。製造装置は、ロータ２５の接着剤が塗布されている被取付面を、ロータハウジング２の外周面２ｃに接触させる。接着剤が硬化すると、ロータ２５は外周面２ｃに固定される。

次に、製造装置は、ロータハウジング２に軸受３を取り付ける（ステップＳＴ２）。例えば、製造装置は、ロータハウジング２の下端面２ｂの側から開口部Ｈ２内に軸受３を挿入する。そして、製造装置は、軸受３の回転輪３２を下側から上側へ移動させ、ロータハウジング２の第２突起部２１１に接触させる。次に、製造装置は、ロータハウジング２の下端面２ｂの側から、ロータハウジング２内側の開口部Ｈ２内に第２取付部品５を嵌めて、軸受３側に押圧する。これにより、軸受３の回転輪３２は、第２取付部品５と第２突起部２１１とに挟持されて、ロータハウジング２の内周面２ｄに固定される。

次に、製造装置は、ステータハウジング１に軸受３を取り付ける（ステップＳＴ３）。例えば、製造装置は、ロータハウジング２の下端面２ｂの側から固定輪３１の内側の開口部Ｈ３内に、第１部位１１を挿入する。そして、製造装置は、第１部位１１を下側から上側へ移動させ、第１部位１１の第１突起部１１１を固定輪３１に接触させる。次に、製造装置は、第１部位１１の上端面１１ａの側から、第１部位１１に第１取付部品４を嵌める。上述したように、第１取付部品４は例えばロックナットである。製造装置は、第１取付部品４を第１部位１１に嵌め、第１取付部品４を締まる方向に回転させる。これにより、製造装置は、第１部位１１を上側から下側へ移動させ、第１取付部品４を軸受３側に押圧する。第１取付部品４が軸受３側に押圧されると、軸受３の固定輪３１は、第１取付部品４と第１突起部１１１とに挟持されて、第１部位１１の外周面１１ｃに固定される。

実施形態１では、上述のステップＳＴ１からＳＴ３と並行して、ステップＳＴ４が行われる。ステップＳＴ４では、製造装置は、エンコーダドラム６１の着磁部６１１（図４Ｂ参照）に信号パターンを着磁する（着磁工程）。信号パターンは、例えば図５に示した第１着磁列Ｃ１及び第２着磁列Ｃ２である。ステップＳＴ４の着磁工程及び、着磁工程で用いられる製造装置（着磁装置）については、後で図７を参照しながら説明する。

次に、製造装置は、信号パターンが着磁されたエンコーダドラム６１をロータハウジング２に取り付ける（ステップＳＴ５）。例えば、製造装置は、ロータハウジング２の下端面２ｂにエンコーダドラム６１を取り付ける。この取り付けには接着剤が用いられる。一例を挙げると、エンコーダドラム６１の上面６１ａ（図４Ａ参照）に接着剤が塗布されている。製造装置は、エンコーダドラム６１の上面６１ａを、ロータハウジング２の下端面２ｂ及び第２取付部品５に接触させる。接着剤が硬化すると、エンコーダドラム６１は、ロータハウジング２の下端面２ｂ及び第２取付部品５に固定される。ステップＳＴ５では、図５に示したように、ロータハウジング２の回転軸方向において第１マークＭ１と第２マークＭ２とが重なるように、第１マークＭ１に対して第２マークＭ２が位置合わせされる。

次に、製造装置は、ステータハウジング１にエンコーダ基板６２を取り付ける（ステップＳＴ６）。例えば、製造装置は、第１部位１１の下部にエンコーダ基板６２を取り付けて、エンコーダドラム６１の下面６１ｂ（図４Ｂ参照）と対向させる。この取り付けには、ねじ６３が用いられる。なお、エンコーダ基板６２の平面視による形状は例えば矩形である。エンコーダ基板６２は、着磁部６１１の全部ではなく、一部のみを覆う。

次に、製造装置（図示せず）は、ステータハウジング１にステータ１５を取り付ける（ステップＳＴ７）。例えば、製造装置は、ステータハウジング１の第２部位１２にステータ１５を取り付ける。製造装置は、ステータ１５を支持する支持部１６と第２部位１２とにボルト１６１を通すことで、支持部１６を介してステータ１５を第２部位１２に固定する。また、製造装置は、ステータ１５を覆うカバー部１７と支持部１６とにボルト１７１を通すことで、支持部１６を介してカバー部１７を第２部位１２に固定する。次に、製造装置は、第１部位１１と第２部位１２とにボルト１３を通すことで、第１部位１１と第２部位１２とを互いに固定する。これにより、ステータハウジング１にステータ１５が取り付けられて、ＤＤモータ１００が完成する。

次に、ステップＳＴ４の着磁工程及び着磁装置について説明する。図７は、実施形態１の着磁装置の構成例を示す模式図である。図７に示すように、実施形態１の着磁装置５００は、エンコーダドラム６１が載置されるステージ５１０と、ステージ５１０の中心部に取り付けられた回転軸５１１と、回転軸５１１を回転させるモータ５１２と、ステージ５１０の上方に配置された着磁ヘッド５２０と、ステージ５１０の上方に配置された撮像装置５２５と、着磁ヘッド５２０を昇降動作させるアクチュエータ５３１と、を備える。着磁ヘッド５２０及び撮像装置５２５は、ステージ５１０の外周部の上方に配置されている。なお、ステージ５１０は、エンコーダドラム６１をステージ５１０に固定するためのチャック機構（図示せず）を備えてもよい。

また、着磁装置５００は、電源装置５４０と、制御部５５０と、記憶部５６０と、表示部５７０と、磁気検出部５８０と、を備える。電源装置５４０は、着磁ヘッド５２０に電流を与える装置であり、例えばスイッチング素子を用いたインバータ回路である。スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ周期を制御することで、任意の周波数の交流電流を得ることができる。

制御部５５０は、その機能として、アクチュエータ５３１の動作を制御するアクチュエータ制御部５５１と、エンコーダドラム６１が有する第２マークＭ２（図４Ｂ参照）を検出するマーク検出部５５２と、電源装置５４０を制御する電源制御部５５３と、エンコーダドラム６１に対する着磁処理が正常に行われたか否かの判断を行う磁気データ判断部５５４と、モータ５１２を制御するモータ制御部５５５と、を有する。例えば、アクチュエータ制御部５５１は、アクチュエータ５３１の駆動を制御して、着磁ヘッド５２０をステージ５１０に近づけたり、ステージ５１０から遠ざけたりする。マーク検出部５５２は、撮像装置５２５が撮像する画像に基づいて、第２マークＭ２を検出する。電源制御部５５３は、電源装置５４０が着磁ヘッド５２０に供給する交流電流の周期を制御する。磁気データ判断部５５４は、着磁されたエンコーダドラム６１の磁束密度等に関するデータを磁気検出部５８０から取得し、取得したデータに基づいて着磁処理が正常に行われたか否かの判断を行う。

記憶部５６０は、その機能として、着磁処理のプログラム等を格納するプログラム格納部５６１と、各種のデータを格納するデータ格納部５６２とを有する。例えば、データ格納部５６２は、磁気データ判断部５５４から出力される判断結果等を含むデータを格納する。また、表示部５７０は、動作中のハードウエアやプログラムの状態、磁気データ判断部５５４から出力される判断結果等を表示する。表示部５７０は、例えば、液晶ディスプレイ等で構成されている。磁気検出部５８０は、例えば、ホール素子と、ホール素子の出力信号に基づいて磁束密度等を検出する検出回路とを有する。磁気検出部５８０は、ステージ５１０の外周部の上方に配置されている。

なお、着磁装置５００は、演算処理装置としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）と、記憶装置としてのハードディスク、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、等を備える。制御部５５０の上述した各機能は、例えばＣＰＵの演算処理によって実現される。記憶部５６０の上述した各機能は、例えばハードディスク、ＲＡＭ、ＲＯＭ等によって実現される。

図６に示した着磁工程（ステップＳＴ４）では、エンコーダドラム６１は、着磁部６１１を撮像装置５２５側に向けた状態でステージ５１０上に載置される。次に、モータ制御部５５５はモータ５１２を駆動制御して、ステージ５１０を所定の角速度で回転させる。これにより、ステージ５１０と共に、エンコーダドラム６１が回転する。また、エンコーダドラム６１の回転前又は回転中に、マーク検出部５５２は第２マークＭ２を検出する。アクチュエータ制御部５５１は、着磁ヘッド５２０をステージ５１０に近づける。

次に、エンコーダドラム６１が回転している間、電源制御部５５３は電源装置５４０を駆動制御して、着磁ヘッド５２０からエンコーダドラム６１に磁界を印加させる。これにより、エンコーダドラム６１の着磁部６１１は、円周方向に沿って極性が交互に変化するように着磁される。例えば図５に示したように、着磁部６１１に第１着磁列Ｃ１及び第２着磁列Ｃ２が形成される。実施形態では、第２マークＭ２が示す位置が、回転角度の基準位置となるように、第１着磁列Ｃ１及び第２着磁列Ｃ２が形成される。第２マークＭ２が示す位置とは、例えば、回転軸Ａｘ及び第２マークＭ２を結ぶ線分と、着磁部６１１とが重なる位置である。

着磁工程（ステップＳＴ４）では、着磁ヘッド５２０とは異なる位置で、エンコーダドラム６１と対向している磁気検出部５８０が、着磁されたエンコーダドラム６１の磁気（例えば、磁束密度）を検出する。磁気データ判断部５５４は、磁気検出部５８０が検出した磁気に関するデータ（以下、磁気データ）を取得し、取得した磁気データに基づいて着磁処理が正常に行われたか否かの判断を行う。着磁工程の後、アクチュエータ制御部５５１はアクチュエータ５３１を駆動制御して、着磁ヘッド５２０をステージ５１０の上方に移動させる。これにより、着磁後のＤＤモータ１００は着磁装置５００から取り外される。

以上説明したように、実施形態１のＤＤモータ１００は、ステータ１５と、ステータ１５に対して回転可能なロータ２５とを有するモータ部１０と、ステータ１５が取り付けられるステータハウジング１と、ロータ２５が取り付けられるロータハウジング２と、ステータハウジング１に対してロータハウジング２を回転可能に支持する軸受３と、ステータハウジング１に対するロータハウジング２の回転角度を検出する角度検出部６と、を備える。ロータハウジング２は、角度検出部６が検出する回転角度の基準位置ＯＲを示す第１マークＭ１を有する。

これによれば、作業者が第１マークＭ１を目視したり、撮像装置５２５が第１マークＭ１を撮像したりすることによって、基準位置ＯＲを把握することができる。ＤＤモータ１００の外観から、回転角度の基準位置ＯＲを把握することができる。これにより、ロータハウジング２にステージ５１０を取り付けるときに、ステージ５１０の所定位置を基準位置ＯＲに合わせることが容易となる。例えば、ステージ５１０の所定位置を回転角度の基準位置に合わせるために、角度検出部６に計測機を接続して、信号パターン（例えば、第１着磁列Ｃ１及び第２着磁列Ｃ２）の位相を調べる必要はない。このため、ＤＤモータ１００にステージ５１０を効率良く取付けることが可能である。

また、角度検出部６は、ロータハウジング２の回転軸方向において、ロータハウジング２の下端面２ｂに取り付けられるエンコーダドラム６１と、ステータハウジング１に取り付けられ、エンコーダドラム６１と対向する位置に配置されるエンコーダ基板６２と、を有する。第１マークＭ１は、ロータハウジング２の上端面２ａに設けられている。これによれば、エンコーダドラム６１の周囲にエンコーダ基板６２やステータハウジング１等が配置され、これらに遮られてエンコーダドラム６１を見ることが難しい場合でも、作業者が第１マークＭ１を目視したり、撮像装置５２５が第１マークＭ１を撮像したりすることができる。

また、エンコーダドラム６１は、回転角度の基準位置ＯＲを示す第２マークＭ２を有する。これによれば、ステップＳＴ４の着磁工程（図６参照）では、第２マークＭ２が示す位置が回転角度の基準位置となるように、エンコーダドラム６１に信号パターンを着磁することができる。また、ステップＳＴ５のロータハウジング２にエンコーダドラム６１を取り付ける工程（図６参照）では、第１マークＭ１と第２マークＭ２とを位置合わせすることによって、第１マークＭ１を基準位置ＯＲに合わせることができる。例えば、ロータハウジング２の回転軸方向において、第１マークＭ１と第２マークＭ２とが重なっていれば、第１マークＭ１は基準位置ＯＲを精度良く示すことができる。

（実施形態１の変形例）
実施形態１は、例えば、変形例１から７に示す態様であってもよい。図８は、実施形態１の変形例１のロータハウジングの上端面を示す図である。図８に示すように、ロータハウジング２は、図３Ａに示した第１マークＭ１に代えて、基準位置ＯＲを示す第１マークＭ１Ａを備えてもよい。第１マークＭ１Ａは、上端面２ａに開口したボルト穴である。第１マークＭ１Ａは、ボルト穴２３と同じ形状で、且つ同じ大きさである。実施形態１の変形例１は、図３Ａに示した態様と比較して、ボルト穴２３が１つ少ない。このため、時計周りの方向で隣り合う他のボルト穴との間隔よりも、反時計周りの方向で隣り合う他のボルト穴との配置間隔の方が大きい特定のボルト穴が１つだけ存在する。この特定のボルト穴が第１マークＭ１Ａである。実施形態１の変形例１では、ボルト穴２３の配置間隔に基づいて第１マークＭ１Ａを特定することができる。

図９は、実施形態１の変形例２のロータハウジングの上端面を示す図である。図９に示すように、ロータハウジング２は、図３Ａに示した第１マークＭ１に代えて、基準位置ＯＲを示す第１マークＭ１Ｂを備えてもよい。第１マークＭ１Ｂは、上端面２ａに開口したボルト穴である。第１マークＭ１Ｂは、ボルト穴２３と同じ形状で、且つ同じ大きさである。実施形態１の変形例２では、図３Ａに示した態様と比較して、ボルト穴の１つがＸ方向からずれて配置されている。このＸ方向からずれて配置されているボルト穴が、第１マークＭ１Ｂである。第１マークＭ１Ｂは、時計周りの方向で隣り合うボルト穴２３に対して３０°の配置間隔ではなく、反時計周りの方向で隣り合うボルト穴２３に対しても３０°の配置間隔ではない。図９に示すロータハウジング２において、第１マークＭ１Ｂと同じ配置間隔のボルト穴２３は存在しない。このため、実施形態１の変形例２においても、ボルト穴２３の配置間隔に基づいて第１マークＭ１Ｂを特定することができる。

図１０は、実施形態１の変形例３のロータハウジングの上端面を示す図である。図１０に示すように、ロータハウジング２は、図３Ａに示した第１マークＭ１に代えて、基準位置ＯＲを示す第１マークＭ１Ｃを備えてもよい。第１マークＭ１Ｃは、上端面２ａに開口したボルト穴である。第１マークＭ１Ｃは、ボルト穴２３と同じ形状で、且つボルト穴２３よりも直径が大きい。実施形態１の変形例３では、ボルト穴２３の大きさに基づいて第１マークＭ１Ｃを特定することができる。

図１１Ａは、実施形態１の変形例４のエンコーダドラムの上面を示す図である。図１１Ｂは、実施形態１の変形例４のエンコーダドラムの下面を示す図である。図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、エンコーダドラム６１は、図４Ａ及び図４Ｂに示した第２マークＭ２に代えて、基準位置ＯＲを示す第２マークＭ２Ａを備えてもよい。第２マークＭ２Ａは、例えば貫通孔である。第２マークＭ２Ａは、貫通孔６１５と同じ形状で、且つ同じ大きさである。実施形態１の変形例４は、図４Ａ及び図４Ｂに示した態様と比較して、貫通孔６１５が１つ少ない。このため、時計周りの方向で隣り合う他の貫通孔６１５との間隔よりも、反時計周りの方向で隣り合う他の貫通孔６１５との配置間隔の方が大きい特定の貫通孔が１つだけ存在する。この特定の貫通孔が第２マークＭ２Ａである。実施形態１の変形例４では、貫通孔６１５の配置間隔に基づいて第２マークＭ２Ａを特定することができる。

図１２Ａは、実施形態１の変形例５のエンコーダドラムの上面を示す図である。図１２Ｂは、実施形態１の変形例５のエンコーダドラムの下面を示す図である。図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、エンコーダドラム６１は、図４Ａ及び図４Ｂに示した第２マークＭ２に代えて、基準位置ＯＲを示す第２マークＭ２Ｂを備えてもよい。第２マークＭ２Ｂは例えば貫通孔である。第２マークＭ２Ｂは、貫通孔６１５と同じ形状で、且つ同じ大きさである。実施形態１の変形例５は、図４Ａ及び図４Ｂに示した態様と比較して、貫通孔の１つがＸ方向からずれて配置されている。このＸ方向からずれて配置されている貫通孔が第２マークＭ２Ｂである。第２マークＭ２Ｂは、時計周りの方向で隣り合う貫通孔６１５に対して３０°の配置間隔ではなく、反時計周りの方向で隣り合う貫通孔６１５に対しても３０°の配置間隔ではない。図１２Ａ及び図１２Ｂに示すエンコーダドラム６１において、第２マークＭ２Ｂと同じ配置間隔の貫通孔６１５は存在しない。このため、実施形態１の変形例５においても、貫通孔６１５の配置間隔に基づいて第２マークＭ２Ｂを特定することができる。

図１３Ａは、実施形態１の変形例６のエンコーダドラムの上面を示す図である。図１３Ｂは、実施形態１の変形例６のエンコーダドラムの下面を示す図である。図１３Ａ及び１３Ｂに示すように、エンコーダドラム６１は、図４Ａ及び図４Ｂに示した第２マークＭ２に代えて、基準位置ＯＲを示す第２マークＭ２Ｃを備えてもよい。第２マークＭ２Ｃは貫通孔である。第２マークＭＣ２は、貫通孔６１５と同じ形状で、且つ貫通孔６１５よりも直径が大きい。実施形態１の変形例６では、貫通孔６１５の大きさに基づいて、第２マークＭ２Ｃを特定することができる。

また、ロータハウジング２は、第１マークＭ１に加えて、基準位置ＯＲを示す第３マークを備えてもよい。図１４は、実施形態１の変形例７のロータハウジングの下端面を示す図である。図１４に示すように、ロータハウジング２は、下端面２ｂに設けられた第３マークＭ３を備えてもよい。第３マークＭ３は、例えばボルト穴であり、基準位置ＯＲを示している。ロータハウジング２の回転軸方向において、第３マークＭ３は第１マークＭ１（図３Ａ参照）と重なる位置に設けられている。

実施形態１の変形例７によれば、ロータハウジング２の下端面２ｂにエンコーダドラム６１を取り付けるときに、第２マークＭ２と第３マークＭ３とを位置合わせすることで、第１マークＭ１を基準位置ＯＲに合わせることができる。第２マークＭ２及び第３マークＭ３は同じ側（例えば、図１の下側）に位置するため、第２マークＭ２を第１マークＭ１に位置合わせするよりも、第２マークＭ２を第３マークＭ３に位置合わせする方が容易となる場合がある。その場合は、ロータハウジング２にエンコーダドラム６１を取り付ける工程（ステップＳＴ５）を、より容易に実施できる可能性がある。

実施形態では、実施形態１と変形例１から７とを任意に組み合わせてよい。例えば、実施形態１のＤＤモータ１００は、第１マークＭ１、Ｍ１Ａ、Ｍ１Ｂ、Ｍ１Ｃのいずれか１つを有するロータハウジング２と、第２マークＭ２、Ｍ２Ａ、Ｍ２Ｂ、Ｍ２Ｃのいずれか１つを有するエンコーダドラム６１とを備えてもよい。また、ロータハウジング２は、第１マークＭ１、Ｍ１Ａ、Ｍ１Ｂ、Ｍ１Ｃのいずれか１つと、第３マークＭ３とを備えてもよい。

また、実施形態において、基準位置ＯＲに対応する、エンコーダドラム６１の回転角度は０°に限定されるものではない。基準位置ＯＲに対応する回転角度は任意の角度に設定することができ、例えば、９０°、１８０°又は２７０°に設定してもよい。

（実施形態２）
実施形態１では、ステータハウジング１の第２部位１２にステータ１５が取り付けられる前に、エンコーダドラム６１が着磁されることについて説明した。しかしながら、実施形態はこれに限定されない。実施形態では、第２部位１２にステータ１５が取り付けられ、第１部位１１と第２部位１２とがボルト１３で互いに固定された後で、エンコーダドラム６１が着磁されてもよい。その場合は、ステータハウジング１に、着磁ヘッド５２０を挿入するための窓部が設けられていてもよい。

また、実施形態１では、第１部位１１と第２部位１２とがボルト１３で互いに固定されることについて説明した。しかしながら、実施形態はこれに限定されない。実施形態では、第１部位１１と第２部位１２とが別部品ではなく、一つの部品として一体に形成されていてもよい。この場合も、ステータハウジング１に、着磁ヘッド５２０を挿入するための窓部が設けられていてもよい。

図１５は、実施形態２のＤＤモータの構成例を示す断面図である。図１５は、図１と異なり、ＤＤモータ１００Ａを上下逆さまに示している。図１５に示すように、実施形態２のＤＤモータ１００Ａでは、着磁ヘッド５２０を挿入するための窓部１２１が第２部位１２に設けられている。窓部１２１は、第２部位１２をＺ軸方向に貫通する開口部である。窓部１２１はエンコーダドラム６１と対向する位置にある。これによれば、ステータハウジング１に軸受３やステータ１５が取り付けられた後でも、着磁装置５００（図７参照）は、窓部１２１を介してエンコーダドラム６１に着磁することができる。

また、ＤＤモータ１００Ａは、窓部１２１を閉じるための蓋体を有してもよい。着磁工程の後で、製造装置は、窓部１２１を蓋体で閉じてもよい。その場合、窓部１２１は、第１開口部１２１ａと、第１開口部１２１ａに連通する第２開口部１２１ｂとを有することが好ましい。図１６は、実施形態２の窓部と蓋体とを示す図である。図１７は、実施形態２の窓部が蓋体で閉じられている状態を示す図である。図１６及び図１７は、図１５と同様に、ＤＤモータ１００Ａを上下逆さまに示している。第１開口部１２１ａは第２部位１２の上端面１２ａ側に開口し、第２開口部１２１ｂは第２部位１２の下面１２ｂ側に開口している。第１開口部１２１ａ及び第２開口部１２１ｂの平面視による形状は任意であるが、一例を挙げると、円形である。第１開口部１２１ａよりも第２開口部１２１ｂの方が、直径が大きい。第２開口部１２１ｂの周縁部の底部には、ねじ穴１２２が設けられている。

エンコーダドラム６１が着磁された後、製造装置は、蓋体１２３を第２開口部１２１ｂ内に配置する。そして、製造装置は、蓋体１２３に設けられた貫通孔１２４にねじ１２５を通した状態で、ねじ１２５をねじ穴１２２に嵌めて、蓋体１２３をステータハウジング１に固定する。これによれば、着磁工程の後、窓部１２１は蓋体１２３で閉じられるので、窓部１２１を介してＤＤモータ１００Ａの外部から内部に異物等が侵入することを防ぐことができる。

（実施形態３）
実施形態のＤＤモータは、ロータの内周側にステータを配した、いわゆるインナーステータタイプであってもよい。図１８は、実施形態３に係るＤＤモータの構成例を示す断面図である。実施形態３のＤＤモータ２００は、ロータ２５の内周側にステータ１５を配した、インナーステータタイプである。図１８に示すように、実施形態３のＤＤモータ２００は、ステータハウジング１と、ロータハウジング２と、軸受３と、軸受３の固定輪３１をステータハウジング１に取り付けるための第１取付部品４と、軸受３の回転輪３２をロータハウジング２に取り付けるための第２取付部品５と、角度検出部６と、モータ部１０と、を備える。軸受３は、ステータハウジング１とロータハウジング２との間に介在し、ステータハウジング１に対してロータハウジング２を回転可能に支持している。また、モータ部１０は、ステータ１５及びロータ２５を有する。

実施形態３のＤＤモータ２００においても、ロータハウジング２は第１マークＭ１（図３Ａ参照）を有し、エンコーダドラム６１は第２マークＭ２（図４Ｂ参照）を有する。実施形態１と同様に、第１マークＭ１は、例えばピン孔又はボルト穴である。第１マークＭ１は、ボルト穴２３が開口している側の面（上端面）に設けられている。第２マークＭ１は例えば貫通穴である。第２マークＭ２は、エンコーダドラム６１の非着磁部６１２に設けられている。ＤＤモータ２００では、エンコーダドラム６１は、第２取付部品５を介して、ロータハウジング２の上部２１０に取り付けられている。エンコーダ基板６２は、ステータハウジング１に取り付けられており、エンコーダドラム６１と対向している。

図１９は、実施形態３のＤＤモータの製造方法を工程順に示すフローチャートである。図１９において、ロータハウジング２にロータ２５を取り付ける工程（ステップＳＴ１１）と、ロータハウジング２に軸受３を取り付ける工程（ステップＳＴ１２）は、実施形態１で説明したステップＳＴ１、ステップＳＴ２とそれぞれ同じである。図１９に示すように、実施形態３では、ステップＳＴ１２の後で、ステータハウジング１にステータ１５を取り付ける工程（ステップＳＴ１３）が行われる。例えば、製造装置はステータハウジング１の外周面１ｃ（図１８参照）にステータ１５を取り付ける。外周面１ｃに対するステータ１５の取り付けには、接着剤が用いられてもよいし、ねじ等が用いられてもよい。次に、ステータハウジング１に軸受３を取り付ける工程（ステップＳＴ１４）が行われる。ステップＳＴ１４は、実施形態１で説明したステップＳＴ３と同じである。

実施形態３では、上述のステップＳＴ１１からＳＴ１４と並行して、ステップＳＴ１５（着磁工程）が行われる。ステップＳＴ１５は、実施形態１で説明したステップＳＴ４と同じである。ステップＳＴ１５では、製造装置は、エンコーダドラム６１の着磁部６１１（図４Ｂ参照）に信号パターンを着磁する。

次に、ロータハウジング２にエンコーダドラム６１を取り付ける工程（ステップＳＴ１６）と、ステータハウジング１にエンコーダ基板６２を取り付ける工程（ステップＳＴ１７）とが、この順番で行われる。ステップＳＴ１６、ＳＴ１７は、実施形態１で説明したステップＳＴ５、ＳＴ６とそれぞれ同じである。実施形態３では、ステップＳＴ１７の後で、エンコーダドラム６１やエンコーダ基板６２を覆うカバー部１７が第１取付部品４に取り付けられる。以上により、ＤＤモータ２００が完成する。

以上説明したように、実施形態３のＤＤモータ２００においても、ロータハウジング２は、回転角度の基準位置ＯＲを示す第１マークＭ１を有する。これによれば、ＤＤモータ２００の外観から、回転角度の基準位置ＯＲを把握することができる。また、エンコーダドラム６１は、基準位置ＯＲを示す第２マークＭ２を有する。これによれば、ロータハウジング２にエンコーダドラム６１を取り付けるときに、第１マークＭ１と第２マークＭ２とを位置合わせすることによって、第１マークＭ１を基準位置ＯＲに合わせることができる。このため、ＤＤモータ２００にステージ５１０（図１参照）を効率良く取付けることが可能である。

（実施形態４）
図２０は、実施形態４に係る検査装置の構成例を示す模式図である。実施形態４の検査装置３００は、処理装置の一例であり、実施形態１で説明したＤＤモータ１００と、ステージ８０と、カメラ８２とを備える。カメラ８２は、ロータハウジング２の回転により移動する対象物に予め設定された処理を施す処理部の一例である。ＤＤモータ１００のロータハウジング２の上端面２ａには、ステージ８０が取り付けられている。検査装置３００では、ロータハウジング２と共に、ステージ８０が回転する。ＤＤモータ１００とステージ８０は、搬送装置を構成している。ステージ８０の縁部には、複数の検査対象物８１が等間隔で配置される。検査対象物８１は、ＤＤモータ１００の運転により、ステージ８０と共に回転して搬送される。また、ステージ８０の縁部の上方には、ステージ８０と共に回転する検査対象物８１を撮影するためのカメラ８２が配置されている。検査装置３００は、カメラ８２が撮影する画像に基づいて、検査対象物８１の外観等を検査する。

実施形態４によれば、第１マークＭ１を目印に、ＤＤモータ１００にステージ８０を効率良く取り付けることができるため、取付けの効率がよい。これにより、組立性に優れた検査装置３００を提供することができる。

なお、実施形態４の検査装置３００は、実施形態１で説明したアウターステータタイプのＤＤモータ１００の代わりに、第２実施形態で説明したアウターステータタイプのＤＤモータ１００Ａを備えてもよいし、実施形態３で説明したインナーステータタイプのＤＤモータ２００を備えていてもよい。

（実施形態５）
図２１は、実施形態５に係る工作機械の構成例を示す模式図である。実施形態５の工作機械４００は、処理装置の一例であり、実施形態１で説明したＤＤモータ１００と、ステージ８０と、ロボットアーム８５、８６とを備える。ロボットアーム８５、８６は、ロータハウジング２の回転により移動する対象物に予め設定された処理を施す処理部の一例である。ＤＤモータ１００のロータハウジング２の上端面２ａには、ステージ８０が取り付けられている。工作機械４００では、ロータハウジング２と共に、ステージ８０が回転する。ＤＤモータ１００とステージ８０は、搬送装置を構成している。ステージ８０の縁部には、複数の加工対象物９１が等間隔で配置される。また、ステージ８０の縁部の上方には、ロボットアーム８５、８６が配置されている。ロボットアーム８５は、加工対象物９１に部品９２を積載する。ロボットアーム８６は、部品９２上に部品９３を積載する。ロボットアーム８５、８６は、アームの先端部で部品９２、９３を吸着してもよいし、把持してもよい。

実施形態５の工作機械４００によれば、第１マークＭ１を目印にＤＤモータ１００にステージ８０を取り付けることができるため、取付けの効率がよい。これにより、組立性に優れた検査装置３００を提供することができる。

なお、実施形態５の工作機械４００は、実施形態１で説明したアウターステータタイプのＤＤモータ１００の代わりに、第２実施形態で説明したアウターステータタイプのＤＤモータ１００Ａを備えてもよいし、実施形態３で説明したインナーステータタイプのＤＤモータ２００を備えていてもよい。

１ ステータハウジング
２ ロータハウジング
２ａ 上面
２ｂ 下面
２ｃ 外周面
２ｄ 内周面
３ 軸受
４ 第１取付部品
５ 第２取付部品
６ 角度検出部
１０ モータ部
１１ 第１部位
１２ 第２部位
１５ ステータ
１６ 支持部
１７ カバー部
２３、２７ ボルト穴
２５ ロータ
３１ 固定輪
３２ 回転輪
３３ 転動体
６１ エンコーダドラム
６１ａ 上面
６１ｂ 下面
６２ エンコーダ基板
８０ ステージ
１００、１００Ａ、２００ ダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ
１１１ 第１突起部
１２１ 窓部
１２１ａ 第１開口部
１２１ｂ 第２開口部
１２３ 蓋体
２１１ 第２突起部
６１５ 貫通孔
Ａｘ 回転軸
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３ 開口部
Ｍ１、Ｍ１Ａ、Ｍ１Ｂ、Ｍ１Ｃ 第１マーク
Ｍ２、Ｍ２Ａ、Ｍ２Ｂ、Ｍ２Ｃ 第２マーク
Ｍ３ 第３マーク

Claims (5)

1. ステータと、前記ステータに対して回転可能なロータとを有するモータ部と、
   前記ステータが取り付けられるステータハウジングと、
   前記ロータが取り付けられるロータハウジングと、
   前記ステータハウジングに対して前記ロータハウジングを回転可能に支持する軸受と、
   前記ステータハウジングに対する前記ロータハウジングの回転角度を検出する角度検出部と、を備え、
   前記ロータハウジングは、
   前記角度検出部が検出する前記回転角度の基準位置を示す第１マークを有し、
   前記角度検出部は、
   前記ロータハウジングの回転の軸方向において、前記ロータハウジングの第１端側に取り付けられる被着磁体と、
   前記ステータハウジングに取り付けられ、前記被着磁体と対向する位置に配置される磁気センサと、を有し、
   前記第１マークは、前記ロータハウジングの前記第１端側とは反対側の第２端側に設けられ、
   前記被着磁体は、前記基準位置を示す第２マークを有し、
   前記ステータハウジングは、前記被着磁体と対向する位置に設けられた窓部を有している、ダイレクトドライブモータ。
2. 前記ステータハウジングは、前記窓部を閉じる蓋体を有する、請求項１に記載のダイレクトドライブモータ。
3. 前記回転の軸方向において、前記第１マークと前記第２マークとが重なっている、請求項１又は２に記載のダイレクトドライブモータ。
4. 前記第２マークは、前記被着磁体の貫通孔である、請求項３に記載のダイレクトドライブモータ。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載のダイレクトドライブモータと、
   前記ロータハウジングの回転により移動する対象物に予め設定された処理を施す処理部と、を有する処理装置。

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