JP6863146B2 - Lens drive device - Google Patents

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本発明は、レンズ駆動装置に関する。 The present invention relates to a lens driving device.
例えば、特許文献1には、携帯電話等に搭載される撮像装置に用いられるレンズ駆動装置が記載されている。特許文献1に開示されたレンズ駆動装置は、レンズユニットを光軸方向に対して直交する2方向に移動させることで、手振れ補正機能を実現している。また、このレンズ駆動装置は、レンズユニットを光軸方向に移動させることでズーム機能(フォーカス機能)を実現している。 For example, Patent Document 1 describes a lens driving device used in an imaging device mounted on a mobile phone or the like. The lens driving device disclosed in Patent Document 1 realizes a camera shake correction function by moving the lens unit in two directions orthogonal to the optical axis direction. Further, this lens driving device realizes a zoom function (focus function) by moving the lens unit in the optical axis direction.
特開2011−65140号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-65140
このようなレンズ駆動装置は、複数の部材を複数のアクチュエータによってそれぞれX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に移動させることによって、手振れ補正機能及びフォーカス機能を実現している。このため、レンズ駆動装置においては、部材同士で移動が妨げられることが無い構成、すなわち、移動する部材同士でクロストークが生じない構成が求められている。 Such a lens driving device realizes a camera shake correction function and a focus function by moving a plurality of members in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction by a plurality of actuators, respectively. Therefore, in the lens driving device, there is a demand for a configuration in which movement is not hindered between the members, that is, a configuration in which crosstalk does not occur between the moving members.
そこで、本発明の一側面は、移動する部材同士でクロストークが生じることを抑制可能なレンズ駆動装置を提供することを目的とする。 Therefore, one aspect of the present invention is to provide a lens driving device capable of suppressing the occurrence of crosstalk between moving members.
本発明の一側面は、レンズを駆動するレンズ駆動装置であって、ベース部材と、可動体と、ベース部材と可動体とを連結し、ベース部材に対して可動体をX軸方向及びX軸方向に直交するY軸方向に移動させる第1アクチュエータと、レンズを取り付け可能なレンズキャリアと、可動体とレンズキャリアとを連結し、可動体に対してレンズキャリアをX軸方向及びY軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第2アクチュエータと、を備える。 One aspect of the present invention is a lens driving device for driving a lens, which connects a base member, a movable body, a base member and a movable body, and connects the movable body to the base member in the X-axis direction and the X-axis. The first actuator that moves in the Y-axis direction orthogonal to the direction, the lens carrier to which the lens can be attached, and the movable body and the lens carrier are connected, and the lens carrier is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the movable body. It includes a second actuator that moves in the orthogonal Z-axis direction.
このレンズ駆動装置によれば、ベース部材、第1アクチュエータ、可動体、第2アクチュエータ、及びレンズキャリアの順で各部材が順次連結される。これにより、第1アクチュエータがベース部材に対して可動体を移動させた場合、第1アクチュエータによって、可動体からレンズキャリアまでの部材全体(可動体、第2アクチュエータ、レンズキャリア)が移動させられる。第2アクチュエータが可動体に対してレンズキャリアを移動させた場合、第2アクチュエータによってレンズキャリアのみが移動させられる。これにより、第1アクチュエータ及び第2アクチュエータがそれぞれ各部材を移動させた場合であっても、部材同士で移動が妨げられることが無い。従って、レンズ駆動装置は、移動する部材同士でクロストークが生じることを抑制できる。 According to this lens driving device, each member is sequentially connected in the order of the base member, the first actuator, the movable body, the second actuator, and the lens carrier. As a result, when the first actuator moves the movable body with respect to the base member, the first actuator moves the entire member (movable body, second actuator, lens carrier) from the movable body to the lens carrier. When the second actuator moves the lens carrier with respect to the movable body, only the lens carrier is moved by the second actuator. As a result, even when the first actuator and the second actuator move each member, the movement is not hindered between the members. Therefore, the lens driving device can suppress the occurrence of crosstalk between the moving members.
可動体は、X軸可動体と、Y軸可動体とを含み、第1アクチュエータは、X軸アクチュエータと、Y軸アクチュエータとを含み、X軸アクチュエータは、ベース部材とX軸可動体とを連結し、ベース部材に対してX軸可動体をX軸方向に移動させ、Y軸アクチュエータは、X軸可動体とY軸可動体とを連結し、X軸可動体に対してY軸可動体をY軸方向に移動させ、第2アクチュエータは、Y軸可動体とレンズキャリアとを連結し、Y軸可動体に対してレンズキャリアをZ軸方向に移動させてもよい。この場合、レンズ駆動装置は、X軸アクチュエータとY軸アクチュエータとを用いて、X軸可動体をX軸方向に移動させ、Y軸可動体をY軸方向に移動させることができる。また、X軸アクチュエータ及びY軸アクチュエータがX軸可動体及びY軸可動体をそれぞれ移動させた場合であっても、移動させられる部材同士で移動が妨げられることが無い。これにより、レンズ駆動装置は、移動する部材同士でクロストークが生じることを抑制できる。 The movable body includes an X-axis movable body and a Y-axis movable body, the first actuator includes an X-axis actuator and a Y-axis actuator, and the X-axis actuator connects a base member and an X-axis movable body. Then, the X-axis movable body is moved in the X-axis direction with respect to the base member, and the Y-axis actuator connects the X-axis movable body and the Y-axis movable body with respect to the X-axis movable body. The second actuator may connect the Y-axis movable body and the lens carrier and move the lens carrier in the Z-axis direction with respect to the Y-axis movable body. In this case, the lens driving device can move the X-axis movable body in the X-axis direction and the Y-axis movable body in the Y-axis direction by using the X-axis actuator and the Y-axis actuator. Further, even when the X-axis actuator and the Y-axis actuator move the X-axis movable body and the Y-axis movable body, respectively, the movement is not hindered between the moved members. As a result, the lens driving device can suppress the occurrence of crosstalk between the moving members.
レンズ駆動装置は、ベース部材とX軸可動体とを接続する複数の第1サスペンションワイヤを更に備え、第1サスペンションワイヤは導電性を有し、Y軸アクチュエータは、第1サスペンションワイヤを介してベース部材に設けられた第1電力供給配線に接続されてもよい。この場合、レンズ駆動装置は、ベース部材に対して移動するY軸アクチュエータに対して第1サスペンションワイヤを介して電力を供給できる。 The lens driving device further includes a plurality of first suspension wires connecting the base member and the X-axis movable body, the first suspension wire has conductivity, and the Y-axis actuator bases via the first suspension wire. It may be connected to the first power supply wiring provided in the member. In this case, the lens driving device can supply electric power to the Y-axis actuator moving with respect to the base member via the first suspension wire.
レンズ駆動装置は、ベース部材とY軸可動体とを接続する複数の第2サスペンションワイヤを更に備え、第2サスペンションワイヤは導電性を有し、第2アクチュエータは、第2サスペンションワイヤを介してベース部材に設けられた第2電力供給配線に接続されてもよい。この場合、レンズ駆動装置は、ベース部材に対して移動する第2アクチュエータに対して第2サスペンションワイヤを介して電力を供給できる。 The lens driving device further includes a plurality of second suspension wires connecting the base member and the Y-axis movable body, the second suspension wire has conductivity, and the second actuator bases via the second suspension wire. It may be connected to the second power supply wiring provided in the member. In this case, the lens driving device can supply electric power to the second actuator moving with respect to the base member via the second suspension wire.
ベース部材は、レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、ベース本体部は、レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、ベース本体部とX軸可動体とは光軸方向に沿って並べて配置され、複数の第1サスペンションワイヤは、隣接する角部同士を連結する辺に沿って並べて配置され、ベース本体部とX軸可動体とをそれぞれ接続していてもよい。これにより、第1サスペンションワイヤの設置場所としてベース本体部の外周縁に沿った細いスペースしか確保できない場合であっても、これらの場所に第1サスペンションワイヤの設置が可能となる。従って、レンズ駆動装置は、装置の小型化を実現できる。 The base member includes a base body portion having an opening through which the optical axis of the lens passes, and the base body portion has a substantially rectangular plate shape having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens. The base main body and the X-axis movable body are arranged side by side along the optical axis direction, and the plurality of first suspension wires are arranged side by side along the side connecting the adjacent corners to form the base main body. And the X-axis movable body may be connected to each other. As a result, even if only a narrow space along the outer peripheral edge of the base main body can be secured as the installation location of the first suspension wire, the first suspension wire can be installed at these locations. Therefore, the lens driving device can realize the miniaturization of the device.
ベース部材は、レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、ベース本体部は、レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、ベース本体部とY軸可動体とは光軸方向に沿って並べて配置され、複数の第2サスペンションワイヤは、隣接する角部同士を連結する辺に沿って並べて配置され、ベース本体部とY軸可動体とをそれぞれ接続していてもよい。これにより、第2サスペンションワイヤの設置場所としてベース本体部の外周縁に沿った細いスペースしか確保できない場合であっても、これらの場所に第1サスペンションワイヤの設置が可能となる。従って、レンズ駆動装置は、装置の小型化を実現できる。 The base member includes a base body portion having an opening through which the optical axis of the lens passes, and the base body portion has a substantially rectangular plate shape having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens. The base main body and the Y-axis movable body are arranged side by side along the optical axis direction, and the plurality of second suspension wires are arranged side by side along the side connecting the adjacent corners to form the base main body. And the Y-axis movable body may be connected to each other. As a result, even if only a narrow space along the outer peripheral edge of the base main body can be secured as the installation location of the second suspension wire, the first suspension wire can be installed at these locations. Therefore, the lens driving device can realize the miniaturization of the device.
レンズ駆動装置は、ベース部材とY軸可動体とを接続する複数の第2サスペンションワイヤを更に備え、第2サスペンションワイヤは導電性を有し、ベース部材は、レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、ベース本体部は、レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、ベース本体部とX軸可動体及びY軸可動体とは光軸方向に沿って並べて配置され、複数の第1サスペンションワイヤは、隣接する角部同士を連結する4つの辺のうちの第1の辺に沿って並べて配置され、ベース本体部とX軸可動体とをそれぞれ接続し、複数の第2サスペンションワイヤは、隣接する角部同士を連結する4つの辺のうちの第1の辺又は第1の辺とは異なる辺に沿って並べて配置され、ベース本体部とY軸可動体とをそれぞれ接続していてもよい。これにより、第1サスペンションワイヤ及び第2サスペンションワイヤの設置場所としてベース本体部の外周縁に沿った細いスペースしか確保できない場合であっても、これらの場所に第1サスペンションワイヤ及び第2サスペンションワイヤの設置が可能となる。従って、レンズ駆動装置は、装置の小型化を実現できる。 The lens driving device further includes a plurality of second suspension wires connecting the base member and the Y-axis movable body, the second suspension wire has conductivity, and the base member has an opening through which the optical axis of the lens passes. The base main body is provided, and the base main body is formed in a substantially rectangular plate shape having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens, and the base main body, the X-axis movable body, and the Y are formed. The axial movable body is arranged side by side along the optical axis direction, and the plurality of first suspension wires are arranged side by side along the first side of the four sides connecting the adjacent corners to each other, and the base main body is arranged. Each of the portions and the X-axis movable body are connected, and the plurality of second suspension wires are along the first side of the four sides connecting the adjacent corners or a side different from the first side. They may be arranged side by side, and the base main body and the Y-axis movable body may be connected to each other. As a result, even if only a narrow space along the outer peripheral edge of the base main body can be secured as a place for installing the first suspension wire and the second suspension wire, the first suspension wire and the second suspension wire can be placed in these places. Installation is possible. Therefore, the lens driving device can realize the miniaturization of the device.
ベース部材は、レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、ベース本体部は、レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、第1アクチュエータ及び第2アクチュエータの少なくともいずれかは、レンズの光軸方向に沿って見たときに、角部と開口部との間の領域に配置されていてもよい。ベース本体部が略矩形の板状であるため、ベース本体部は、角部と開口部との間に部材の設置スペースを確保し易い。このため、レンズ駆動装置は、第1アクチュエータ及び第2アクチュエータの少なくともいずれかをベース本体部の角部に設置することにより、第1アクチュエータ等の設置スペースを確保しつつ、装置の小型化を図ることができる。 The base member includes a base body portion having an opening through which the optical axis of the lens passes, and the base body portion has a substantially rectangular plate shape having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens. At least one of the first actuator and the second actuator formed may be arranged in the region between the corner and the opening when viewed along the optical axis of the lens. Since the base main body has a substantially rectangular plate shape, the base main body can easily secure a space for installing members between the corners and the openings. Therefore, in the lens driving device, at least one of the first actuator and the second actuator is installed at the corner of the base main body to secure the installation space for the first actuator and the like, and to reduce the size of the device. be able to.
第1アクチュエータ及び第2アクチュエータの少なくともいずれかは、レンズの光軸方向に沿って見たときに、角部と開口部との間の領域に配置されている。ベース本体部が略矩形の板状であるため、ベース本体部は、角部と開口部との間に部材の設置スペースを確保し易い。このため、レンズ駆動装置は、第1アクチュエータ及び第2アクチュエータの少なくともいずれかをベース本体部の角部に設置することにより、第1アクチュエータ等の設置スペースを確保しつつ、装置の小型化を図ることができる。 At least one of the first actuator and the second actuator is arranged in the region between the corner and the opening when viewed along the optical axis direction of the lens. Since the base main body has a substantially rectangular plate shape, the base main body can easily secure a space for installing members between the corners and the openings. Therefore, in the lens driving device, at least one of the first actuator and the second actuator is installed at the corner of the base main body to secure the installation space for the first actuator and the like, and to reduce the size of the device. be able to.
Z軸方向とレンズの光軸方向とは同じ方向であり、第1アクチュエータ及び第2アクチュエータの少なくとも一部は、レンズの光軸方向においてレンズキャリアと重なっていてもよい。この場合、レンズ駆動装置は、低背化が可能となる。 The Z-axis direction and the optical axis direction of the lens are the same directions, and at least a part of the first actuator and the second actuator may overlap the lens carrier in the optical axis direction of the lens. In this case, the lens driving device can be made low in height.
ベース部材は、突起部を備え、可動体は、突起部に摺動可能に当接していてもよい。この場合、レンズ駆動装置は、ベース部材と可動体との接触面積を小さくすることができ、ベース部材に対して可動体を移動させるときの摩擦抵抗を抑制できる。 The base member may include protrusions, and the movable body may be slidably in contact with the protrusions. In this case, the lens driving device can reduce the contact area between the base member and the movable body, and can suppress the frictional resistance when moving the movable body with respect to the base member.
本発明の一側面によれば、移動する部材同士でクロストークが生じることを抑制できる。 According to one aspect of the present invention, it is possible to suppress the occurrence of crosstalk between moving members.
第1実施形態に係るレンズ駆動装置の概略構成を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view which shows the schematic structure of the lens driving device which concerns on 1st Embodiment. 図1のベース部材を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the base member of FIG. 図1のベース部材を示す上面図である。It is a top view which shows the base member of FIG. 図2のX軸アクチュエータ支持部周りを拡大して示す斜視図である。It is a perspective view which shows the circumference of the X-axis actuator support part of FIG. 2 enlarged. 図1の補助体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the auxiliary body of FIG. 図1のベース部材に補助体が組み付けられた状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which the auxiliary body is assembled to the base member of FIG. 図6のVII−VII線に沿って切った断面図である。It is sectional drawing cut along the line VII-VII of FIG. 図1の可動体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the movable body of FIG. 図1のベース部材に補助体と可動体とが組み付けられた状態を示す上面図である。It is a top view which shows the state which the auxiliary body and the movable body are assembled with the base member of FIG. 図1のベース部材に補助体と可動体とが組み付けられた状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which the auxiliary body and the movable body are assembled with the base member of FIG. 図10におけるXI−XI線に沿って切った断面図である。It is sectional drawing which cut along the XI-XI line in FIG. 図1のベース部材に補助体と可動体とが組み付けられた状態を別の角度から示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which the auxiliary body and the movable body are assembled with the base member of FIG. 1 from another angle. 図1のレンズキャリアを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the lens carrier of FIG. 図1のレンズキャリアを示す上面図である。It is a top view which shows the lens carrier of FIG. 図1のベース部材に補助体と可動体とレンズキャリアとが組み付けられた状態を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a state in which an auxiliary body, a movable body, and a lens carrier are assembled to the base member of FIG. 図1のベース部材に補助体と可動体とレンズキャリアとが組み付けられた状態を示す上面図である。It is a top view which shows the state which the auxiliary body, the movable body, and the lens carrier are assembled with the base member of FIG. 図1のレンズ駆動装置を光軸方向に沿って切った断面図である。It is sectional drawing which cut the lens drive device of FIG. 1 along the optical axis direction. 第2実施形態に係るレンズ駆動装置の概略構成を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view which shows the schematic structure of the lens driving device which concerns on 2nd Embodiment. 図18のレンズ駆動部をX軸アクチュエータ側から見た斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of the lens driving unit of FIG. 18 as viewed from the X-axis actuator side. 図19のレンズ駆動部をX軸可動体保持部側から見た側面図である。FIG. 19 is a side view of the lens driving portion of FIG. 19 as viewed from the X-axis movable body holding portion side. ベース部材の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the base member. X軸可動体の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the X-axis movable body. ベース部材とX軸可動体とを組み合わせた状態をX軸可動体保持部側から見た斜視図である。It is a perspective view which looked at the state which combined the base member and the X-axis movable body from the X-axis movable body holding part side. ベース部材とX軸可動体とを組み合わせた状態をX軸アクチュエータ側から見た斜視図である。It is a perspective view which looked at the state which combined the base member and the X-axis movable body from the X-axis actuator side. 図24のXXV−XXV線に沿って切った断面図である。It is sectional drawing which cut along the XXV-XXV line of FIG. 図24のXXVI−XXVI線に沿って切った断面図である。It is sectional drawing which cut along the XXVI-XXVI line of FIG. ベース本体部とX軸可動体本体部とを組み合わせた状態をX軸可動体本体部側から見た平面図である。It is a top view which looked at the state which combined the base main body part and the X-axis movable body main body part from the X-axis movable body main body part side. Y軸可動体の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the Y-axis movable body. ベース部材とX軸可動体とY軸可動体とを組み合わせた状態をX軸可動体保持部側から見た斜視図である。It is a perspective view which looked at the state which combined the base member, the X-axis movable body, and the Y-axis movable body from the X-axis movable body holding part side. ベース部材とX軸可動体とY軸可動体とを組み合わせた状態をY軸アクチュエータ側から見た側面図である。It is a side view which looked at the state which combined the base member, the X-axis movable body, and the Y-axis movable body from the Y-axis actuator side. ベース部材とX軸可動体とY軸可動体とを組み合わせた状態をY軸可動体保持部側から見た側面図である。It is a side view which looked at the state which combined the base member, the X-axis movable body, and the Y-axis movable body from the Y-axis movable body holding part side. ベース本体部とX軸可動体本体部とY軸可動体とを組み合わせた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which combined the base body part, the X-axis movable body part, and the Y-axis movable body part. レンズキャリアを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the lens carrier. ベース部材とX軸可動体とY軸可動体とレンズキャリアとを組み合わせた状態をX軸可動体保持部側から見た斜視図である。It is a perspective view which looked at the state which combined the base member, the X-axis movable body, the Y-axis movable body, and a lens carrier from the X-axis movable body holding part side. ベース本体部とX軸可動体本体部とY軸可動体とレンズキャリアとを組み合わせた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which combined the base main body part, the X-axis movable body part, the Y-axis movable body part, and a lens carrier. レンズ駆動部を補助部材側から見た平面図である。It is a top view which looked at the lens drive part from the auxiliary member side. 図36のXXXVII−XXXVII線に沿って切った断面図である。It is sectional drawing which cut along the line XXXVII-XXXVII of FIG.
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
(第1実施形態)
まず、レンズ駆動装置の第1実施形態について説明する。図1に示す第1実施形態に係るレンズ駆動装置1は、例えばデジタルカメラ等の撮像装置に搭載され、レンズ4を駆動する。レンズ駆動装置1は、レンズ駆動部2と、カバー3とを備えている。レンズ駆動装置1は、レンズ駆動部2に取り付けられるべきレンズ4の光軸Lを有する。
(First Embodiment)
First, a first embodiment of the lens driving device will be described. The lens driving device 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1 is mounted on an imaging device such as a digital camera and drives the lens 4. The lens driving device 1 includes a lens driving unit 2 and a cover 3. The lens driving device 1 has an optical axis L of a lens 4 to be attached to the lens driving unit 2.
なお、各図において、説明の便宜上、XYZ直交座標系を示している。Z軸方向が、取り付けられるべきレンズ4の光軸L方向となっている。X軸方向は、光軸L方向に直交している。Y軸方向は、光軸L方向に直交し、且つX軸方向に直交している。 In each figure, the XYZ Cartesian coordinate system is shown for convenience of explanation. The Z-axis direction is the L direction of the optical axis of the lens 4 to be attached. The X-axis direction is orthogonal to the L-direction of the optical axis. The Y-axis direction is orthogonal to the optical axis L direction and orthogonal to the X-axis direction.
レンズ駆動部2は、図1に示されるように、ベース部材100、補助体(X軸可動体)200、可動体(Y軸可動体)300、レンズキャリア400、X軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)130、Y軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)230、及びZ軸アクチュエータ(第2アクチュエータ)330を備えている。レンズ駆動部2は、さらに、レンズキャリア400の周囲を覆うように配置された枠部材500を備えている。 As shown in FIG. 1, the lens driving unit 2 includes a base member 100, an auxiliary body (X-axis movable body) 200, a movable body (Y-axis movable body) 300, a lens carrier 400, and an X-axis actuator (first actuator). It includes 130, a Y-axis actuator (first actuator) 230, and a Z-axis actuator (second actuator) 330. The lens driving unit 2 further includes a frame member 500 arranged so as to cover the periphery of the lens carrier 400.
ベース部材100の一方の面上に、補助体200等の各部材が配置される。レンズキャリア400には、レンズ4が取り付けられる。レンズキャリア400は、X軸アクチュエータ130及びY軸アクチュエータ230の動作によって、ベース部材100に対してX軸方向及びY軸方向に移動させられる。レンズキャリア400は、Z軸アクチュエータ330の動作によってベース部材100に対してZ軸方向に移動させられる。 Each member such as the auxiliary body 200 is arranged on one surface of the base member 100. A lens 4 is attached to the lens carrier 400. The lens carrier 400 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the base member 100 by the operation of the X-axis actuator 130 and the Y-axis actuator 230. The lens carrier 400 is moved in the Z-axis direction with respect to the base member 100 by the operation of the Z-axis actuator 330.
まず、ベース部材100周りの詳細について説明する。図2及び図3に示されるように、ベース部材100は、ベース本体部110、アクチュエータ取付部111、ストッパ部112、第1支柱部113、第2支柱部114、及びX軸アクチュエータ支持部120を備えている。 First, the details around the base member 100 will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, the base member 100 includes a base body portion 110, an actuator mounting portion 111, a stopper portion 112, a first strut portion 113, a second strut portion 114, and an X-axis actuator support portion 120. I have.
ベース本体部110は、光軸L方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成されている。なお、説明の便宜上、光軸L方向に沿って見たときに、ベース本体部110の外周縁を構成する4つの辺を、それぞれ辺H11、辺H12、辺H13、及び辺H14という。辺H11〜H14は、隣接する角部同士をそれぞれ連結している。辺H11と辺H12とが平行であり、Y軸方向に沿って延びている。辺H13と辺H14とが平行であり、X軸方向に沿って延びている。ベース本体部110を光軸L方向に沿って見たときに、辺H11、辺H14、辺H12、及び辺H13の順で各辺が接続されて外周縁が形成されている。辺H11及びH12の長さは、辺H13及びH14の長さよりも短い。 The base main body 110 is formed in a substantially rectangular plate shape having four corners when viewed along the optical axis L direction. For convenience of explanation, the four sides constituting the outer peripheral edge of the base main body 110 when viewed along the optical axis L direction are referred to as side H11, side H12, side H13, and side H14, respectively. The sides H11 to H14 connect adjacent corners to each other. Sides H11 and H12 are parallel and extend along the Y-axis direction. Sides H13 and H14 are parallel and extend along the X-axis direction. When the base main body 110 is viewed along the optical axis L direction, each side is connected in the order of side H11, side H14, side H12, and side H13 to form an outer peripheral edge. The lengths of the sides H11 and H12 are shorter than the lengths of the sides H13 and H14.
ベース本体部110には、光軸Lを中心とする(光軸Lが通る)円形の開口部110aが設けられている。光軸L方向に沿って見たときに、開口部110aの中心位置(光軸L)は、略矩形板状のベース本体部110の中心位置に対して偏心している。具体的には、光軸L方向に沿って見たときに、開口部110aは、辺H11よりも辺H12側に寄った位置に設けられている。 The base main body 110 is provided with a circular opening 110a centered on the optical axis L (through which the optical axis L passes). When viewed along the optical axis L direction, the center position (optical axis L) of the opening 110a is eccentric with respect to the center position of the base main body 110 having a substantially rectangular plate shape. Specifically, the opening 110a is provided at a position closer to the side H12 than the side H11 when viewed along the optical axis L direction.
X軸アクチュエータ支持部120は、ベース本体部110における補助体200が配置される側の面に設けられている。X軸アクチュエータ支持部120は、ベース本体部110の面上において、辺H11と辺H14とが接続される角部近傍に設けられている。X軸アクチュエータ支持部120は、X軸アクチュエータ130(X軸駆動シャフト132)をベース本体部110側から支持する。図4に示されるように、X軸アクチュエータ支持部120は、第1支持部121、第2支持部122、及び壁部123を備えている。なお、図4では、X軸アクチュエータ支持部120の詳細を示すためにX軸アクチュエータ130が省略されている。 The X-axis actuator support portion 120 is provided on the surface of the base main body portion 110 on the side where the auxiliary body 200 is arranged. The X-axis actuator support portion 120 is provided on the surface of the base main body portion 110 in the vicinity of the corner portion where the side H11 and the side H14 are connected. The X-axis actuator support portion 120 supports the X-axis actuator 130 (X-axis drive shaft 132) from the base main body portion 110 side. As shown in FIG. 4, the X-axis actuator support portion 120 includes a first support portion 121, a second support portion 122, and a wall portion 123. In FIG. 4, the X-axis actuator 130 is omitted in order to show the details of the X-axis actuator support portion 120.
第1支持部121と第2支持部122とは、X軸方向に並べて配置されている。第1支持部121は、第2支持部122よりも辺H11側に位置している。第1支持部121と第2支持部122との間には所定の隙間が設けられている。第1支持部121及び第2支持部122の頂部には、X軸方向に沿って延びる断面略U字状の溝121a及び122aがそれぞれ設けられている。壁部123は、第1支持部121と第2支持部122との間に設けられている。壁部123は、第1支持部121及び第2支持部122における辺H14側の端部同士を連結している。ベース本体部110と、X軸アクチュエータ支持部120とは一体的に設けられている。 The first support portion 121 and the second support portion 122 are arranged side by side in the X-axis direction. The first support portion 121 is located on the side H11 side of the second support portion 122. A predetermined gap is provided between the first support portion 121 and the second support portion 122. The tops of the first support portion 121 and the second support portion 122 are provided with grooves 121a and 122a having a substantially U-shaped cross section extending along the X-axis direction, respectively. The wall portion 123 is provided between the first support portion 121 and the second support portion 122. The wall portion 123 connects the ends of the first support portion 121 and the second support portion 122 on the side H14 side. The base main body 110 and the X-axis actuator support 120 are integrally provided.
図2及び図3に示されるように、X軸アクチュエータ130は、ベース本体部110における補助体200が配置される側の面に設けられている。X軸アクチュエータ130は、ベース本体部110における辺H11と辺H14とが接続される角部近傍に設けられている。X軸アクチュエータ130は、光軸L方向に沿って見たときに、辺H11及び辺H14が接続される角部と開口部110aとの間の領域に配置されている。X軸アクチュエータ130は、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。X軸アクチュエータ130は、角柱状のX軸圧電素子131、X軸駆動シャフト132、及び錘部133を備えている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the X-axis actuator 130 is provided on the surface of the base main body 110 on the side where the auxiliary body 200 is arranged. The X-axis actuator 130 is provided in the vicinity of the corner portion where the side H11 and the side H14 of the base main body 110 are connected. The X-axis actuator 130 is arranged in the region between the corner portion to which the side H11 and the side H14 are connected and the opening 110a when viewed along the optical axis L direction. The X-axis actuator 130 is an actuator that constitutes a smooth impact drive mechanism. The X-axis actuator 130 includes a prismatic X-axis piezoelectric element 131, an X-axis drive shaft 132, and a weight portion 133.
X軸圧電素子131は、X軸方向に伸縮可能な素子である。X軸圧電素子131は、圧電材料で構成されている。圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛(いわゆる、PZT)、水晶、ニオブ酸リチウム(LiNbO)、ニオブ酸タンタル酸カリウム(K(Ta,Nb)O)、チタン酸バリウム(BaTiO)、タンタル酸リチウム(LiTaO)及びチタン酸ストロンチウム(SrTiO)等の無機圧電材料を用いることができる。 The X-axis piezoelectric element 131 is an element that can expand and contract in the X-axis direction. The X-axis piezoelectric element 131 is made of a piezoelectric material. As the piezoelectric material, lead zirconate titanate (so-called PZT), crystal, lithium niobate (LiNbO 3 ), potassium tantalate niobate (K (Ta, Nb) O 3 ), barium titanate (BaTIO 3 ), Inorganic piezoelectric materials such as lithium tantalate (LiTaO 3 ) and barium titanate (SrTIO 3) can be used.
X軸圧電素子131は、上記圧電材料からなる複数の圧電層と複数の電極層とが交互に積層された積層構造であってもよい。X軸圧電素子131に印加する電圧を制御することで、X軸圧電素子131の伸縮が制御される。X軸圧電素子131は、X軸方向に伸縮可能な形状であれば、角柱状に限らず、円柱状等であってもよい。 The X-axis piezoelectric element 131 may have a laminated structure in which a plurality of piezoelectric layers made of the above-mentioned piezoelectric material and a plurality of electrode layers are alternately laminated. By controlling the voltage applied to the X-axis piezoelectric element 131, the expansion and contraction of the X-axis piezoelectric element 131 is controlled. The X-axis piezoelectric element 131 is not limited to a prismatic shape, but may be a columnar shape or the like as long as it has a shape that allows expansion and contraction in the X-axis direction.
X軸駆動シャフト132は、円柱状に形成され、円柱形状の軸線がX軸方向に沿って延びるように配置されている。X軸駆動シャフト132は、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。 The X-axis drive shaft 132 is formed in a cylindrical shape, and is arranged so that a cylindrical axis extends along the X-axis direction. The X-axis drive shaft 132 is made of a composite resin material containing fibers such as carbon fiber.
X軸駆動シャフト132におけるX軸方向の一方の端部は、X軸圧電素子131におけるX軸方向の一方の端部に固定されている。X軸駆動シャフト132の両端部は、第1支持部121の溝121a及び第2支持部122の溝122a内にそれぞれ収容される。壁部123の立ち上がり方向の先端部は、光軸L方向に沿って見たときに、ベース本体部110の辺H14側からX軸駆動シャフト132を支持する。 One end of the X-axis drive shaft 132 in the X-axis direction is fixed to one end of the X-axis piezoelectric element 131 in the X-axis direction. Both ends of the X-axis drive shaft 132 are housed in the groove 121a of the first support portion 121 and the groove 122a of the second support portion 122, respectively. The tip of the wall portion 123 in the rising direction supports the X-axis drive shaft 132 from the side H14 side of the base main body portion 110 when viewed along the optical axis L direction.
錘部133は、X軸圧電素子131におけるX軸方向の他方の端部に固定されている。錘部133は、タングステンやタングステン合金など比重の高い材料から形成されており、X軸駆動シャフト132よりも重くなるように設計されている。X軸駆動シャフト132よりも錘部133を重くすることで、X軸圧電素子131が伸縮したときに、X軸駆動シャフト132側を変異させ易くできる。 The weight portion 133 is fixed to the other end portion of the X-axis piezoelectric element 131 in the X-axis direction. The weight portion 133 is formed of a material having a high specific gravity such as tungsten or a tungsten alloy, and is designed to be heavier than the X-axis drive shaft 132. By making the weight portion 133 heavier than the X-axis drive shaft 132, it is possible to easily mutate the X-axis drive shaft 132 side when the X-axis piezoelectric element 131 expands and contracts.
アクチュエータ取付部111は、ベース本体部110における補助体200が配置される側の面に設けられている。アクチュエータ取付部111は、X軸アクチュエータ支持部120よりも辺H12側の位置において、ベース本体部110から立ち上がるように設けられている。錘部133におけるX軸圧電素子131が固定された側に対して反対側の面が、アクチュエータ取付部111に固定されている。これにより、X軸アクチュエータ130は、X軸駆動シャフト132がX軸アクチュエータ支持部120によって支持されつつ、アクチュエータ取付部111に固定された状態となる。 The actuator mounting portion 111 is provided on the surface of the base main body portion 110 on the side where the auxiliary body 200 is arranged. The actuator mounting portion 111 is provided so as to stand up from the base main body portion 110 at a position on the side H12 side of the X-axis actuator support portion 120. The surface of the weight portion 133 opposite to the side to which the X-axis piezoelectric element 131 is fixed is fixed to the actuator mounting portion 111. As a result, the X-axis actuator 130 is in a state where the X-axis drive shaft 132 is supported by the X-axis actuator support portion 120 and fixed to the actuator mounting portion 111.
X軸アクチュエータ130は、光軸L方向に沿って見たときに、X軸駆動シャフト132側が外側を向くように配置される。すなわち、X軸アクチュエータ130におけるX軸駆動シャフト132側の端部は、レンズキャリア400から離れる側を向いている(図15等参照)。 The X-axis actuator 130 is arranged so that the X-axis drive shaft 132 side faces the outside when viewed along the optical axis L direction. That is, the end of the X-axis actuator 130 on the X-axis drive shaft 132 side faces away from the lens carrier 400 (see FIG. 15 and the like).
X軸圧電素子131とX軸駆動シャフト132との固定、X軸圧電素子131と錘部133との固定、及び錘部133とアクチュエータ取付部111との固定には、例えば、エポキシ接着剤等の接着剤が用いられる。 For fixing the X-axis piezoelectric element 131 and the X-axis drive shaft 132, fixing the X-axis piezoelectric element 131 and the weight portion 133, and fixing the weight portion 133 and the actuator mounting portion 111, for example, an epoxy adhesive or the like is used. Adhesives are used.
ストッパ部112、第1支柱部113、及び第2支柱部114は、ベース本体部110における補助体200が配置される側の面にそれぞれ設けられている。ストッパ部112、第1支柱部113、及び第2支柱部114は、ベース本体部110における補助体200が配置される側の面から、それぞれ立ち上がるように設けられている。 The stopper portion 112, the first strut portion 113, and the second strut portion 114 are each provided on the surface of the base main body portion 110 on the side where the auxiliary body 200 is arranged. The stopper portion 112, the first strut portion 113, and the second strut portion 114 are provided so as to stand up from the surface of the base main body portion 110 on the side where the auxiliary body 200 is arranged.
ストッパ部112は、ベース本体部110の辺H13の近傍に設けられている。ストッパ部112は、可動体300におけるX軸方向の移動範囲を制限する。ストッパ部112による移動範囲の制限の詳細については、後述する。 The stopper portion 112 is provided in the vicinity of the side H13 of the base main body portion 110. The stopper portion 112 limits the movement range of the movable body 300 in the X-axis direction. Details of the limitation of the moving range by the stopper portion 112 will be described later.
第1支柱部113は、ベース本体部110の面上において、辺H12と辺H13とが接続される角部に設けられている。第2支柱部114は、ベース本体部110の面上において、辺H12と辺H14とが接続される角部に設けられている。第1支柱部113及び第2支柱部114は、カバー3を内側から支持する。アクチュエータ取付部111、ストッパ部112、第1支柱部113、及び第2支柱部114は、ベース本体部110と一体的に設けられている。 The first strut portion 113 is provided at a corner portion where the side H12 and the side H13 are connected on the surface of the base main body portion 110. The second strut portion 114 is provided at a corner portion where the side H12 and the side H14 are connected on the surface of the base main body portion 110. The first strut portion 113 and the second strut portion 114 support the cover 3 from the inside. The actuator mounting portion 111, the stopper portion 112, the first strut portion 113, and the second strut portion 114 are provided integrally with the base main body portion 110.
ベース本体部110における補助体200が配置される側の面には、突起部T11〜T13が設けられている。突起部T11は、ベース本体部110の面上において、辺H11と辺H13とが接続される角部近傍に設けられている。突起部T12は、ベース本体部110の面上において、ストッパ部112と第1支柱部113との間の位置に設けられている。突起部T13は、ベース本体部110の面上において、辺H12と辺H14とが接続される角部近傍に設けられている。突起部T11〜T13と、ベース本体部110とは一体的に設けられている。突起部T11〜T13は、例えば、半球状であってもよく、頂部が平坦な凸形状であってもよい。 Protrusions T11 to T13 are provided on the surface of the base main body 110 on the side where the auxiliary body 200 is arranged. The protrusion T11 is provided on the surface of the base main body 110 in the vicinity of the corner where the side H11 and the side H13 are connected. The protrusion T12 is provided at a position between the stopper portion 112 and the first support support portion 113 on the surface of the base main body portion 110. The protruding portion T13 is provided on the surface of the base main body portion 110 in the vicinity of the corner portion where the side H12 and the side H14 are connected. The protrusions T11 to T13 and the base main body 110 are integrally provided. The protrusions T11 to T13 may be, for example, hemispherical or may have a convex shape with a flat top.
次に、補助体200の構成の詳細について説明する。図5に示されるように、補助体200は、ベース部材100に組み付けられたときにY軸方向に沿って延びる棒状の部材である。補助体200は、補助体本体部210、及びY軸アクチュエータ支持部220を備えている。補助体本体部210とY軸アクチュエータ支持部220とは一体的に設けられている。 Next, the details of the configuration of the auxiliary body 200 will be described. As shown in FIG. 5, the auxiliary body 200 is a rod-shaped member that extends along the Y-axis direction when assembled to the base member 100. The auxiliary body 200 includes an auxiliary body main body 210 and a Y-axis actuator support 220. The auxiliary body main body 210 and the Y-axis actuator support 220 are integrally provided.
補助体本体部210には、X軸摩擦係合部240が設けられている。X軸摩擦係合部240は、補助体本体部210におけるY軸アクチュエータ支持部220が接続される側に対して反対側の端部に設けられている。X軸摩擦係合部240は、補助体本体部210の外面のうち、補助体200がベース部材100に組み付けられたときにX軸アクチュエータ130側を向く面に設けられている。X軸摩擦係合部240は、補助体200がベース部材100に組み付けられたときにX軸方向に沿って延びる略V字溝状に形成されている。X軸摩擦係合部240には、略V字状の金属板241が取り付けられている(図7参照)。X軸摩擦係合部240は、金属板241を介してX軸駆動シャフト132に当接する。 The auxiliary body main body 210 is provided with an X-axis friction engaging portion 240. The X-axis friction engaging portion 240 is provided at an end portion of the auxiliary body main body portion 210 opposite to the side to which the Y-axis actuator support portion 220 is connected. The X-axis friction engaging portion 240 is provided on the outer surface of the auxiliary body main body 210 facing the X-axis actuator 130 side when the auxiliary body 200 is assembled to the base member 100. The X-axis friction engaging portion 240 is formed in a substantially V-shaped groove extending along the X-axis direction when the auxiliary body 200 is assembled to the base member 100. A substantially V-shaped metal plate 241 is attached to the X-axis friction engaging portion 240 (see FIG. 7). The X-axis friction engaging portion 240 comes into contact with the X-axis drive shaft 132 via the metal plate 241.
補助体本体部210には、第1付勢部242が取り付けられている(図7参照)。第1付勢部242は、弾性部材である。第1付勢部242の一方の端部は補助体本体部210に固定されている。第1付勢部242の他方の端部(先端部)は、X軸摩擦係合部240に対向している。 A first urging portion 242 is attached to the auxiliary body main body portion 210 (see FIG. 7). The first urging portion 242 is an elastic member. One end of the first urging portion 242 is fixed to the auxiliary body main body portion 210. The other end (tip) of the first urging portion 242 faces the X-axis friction engaging portion 240.
補助体本体部210におけるX軸摩擦係合部240が設けられる側に対して反対側の面には、突起部T21が設けられている。突起部T21は、補助体本体部210においてX軸摩擦係合部240が設けられる側の端部近傍に位置している。突起部T21と、補助体本体部210とは一体的に設けられている。突起部T21は、例えば、半球状であってもよく、頂部が平坦な凸形状であってもよい。突起部T21は、補助体200がベース本体部110から浮き上がった場合に、カバー3の内面に当接する。 A protrusion T21 is provided on the surface of the auxiliary body main body 210 opposite to the side on which the X-axis friction engaging portion 240 is provided. The protrusion T21 is located near the end of the auxiliary body main body 210 on the side where the X-axis friction engaging portion 240 is provided. The protrusion T21 and the auxiliary body main body 210 are integrally provided. The protrusion T21 may be, for example, hemispherical or may have a convex shape with a flat top. The protrusion T21 comes into contact with the inner surface of the cover 3 when the auxiliary body 200 is lifted from the base main body 110.
Y軸アクチュエータ支持部220は、補助体200がベース部材100に組み付けられた状態において、Y軸アクチュエータ230(Y軸駆動シャフト232)をベース本体部110側から支持する。Y軸アクチュエータ支持部220は、ベース部材100に設けられたX軸アクチュエータ支持部120と同様の構成を備えている。具体的には、Y軸アクチュエータ支持部220は、第1支持部221、第2支持部222、及び壁部223を備えている。 The Y-axis actuator support portion 220 supports the Y-axis actuator 230 (Y-axis drive shaft 232) from the base main body portion 110 side in a state where the auxiliary body 200 is assembled to the base member 100. The Y-axis actuator support portion 220 has the same configuration as the X-axis actuator support portion 120 provided on the base member 100. Specifically, the Y-axis actuator support portion 220 includes a first support portion 221, a second support portion 222, and a wall portion 223.
第1支持部221と第2支持部222とは、補助体200がベース部材100に組み付けられたときにY軸方向に沿って並ぶように設けられている。第2支持部222は、第1支持部221よりも補助体本体部210側に設けられている。第1支持部221と第2支持部222との間には所定の隙間が設けられている。第1支持部221及び第2支持部222の頂部には、補助体200がベース部材100に組み付けられたときにY軸方向に沿って延びる断面略U字状の溝221a及び222aがそれぞれ設けられている。壁部223は、第1支持部221と第2支持部222との間に設けられ、第1支持部221と第2支持部222とを接続している。壁部223は、補助体200がベース部材100に組み付けられた状態で光軸L方向に沿って見たときに、第1支持部221及び第2支持部222におけるベース本体部110の辺H11側の端部同士を連結している。 The first support portion 221 and the second support portion 222 are provided so as to be arranged along the Y-axis direction when the auxiliary body 200 is assembled to the base member 100. The second support portion 222 is provided on the auxiliary body main body portion 210 side with respect to the first support portion 221. A predetermined gap is provided between the first support portion 221 and the second support portion 222. At the tops of the first support portion 221 and the second support portion 222, grooves 221a and 222a having a substantially U-shaped cross section extending along the Y-axis direction when the auxiliary body 200 is assembled to the base member 100 are provided, respectively. ing. The wall portion 223 is provided between the first support portion 221 and the second support portion 222, and connects the first support portion 221 and the second support portion 222. When the wall portion 223 is viewed along the optical axis L direction with the auxiliary body 200 assembled to the base member 100, the wall portion 223 is on the side H11 side of the base main body portion 110 in the first support portion 221 and the second support portion 222. The ends of the are connected to each other.
次に、補助体200がベース部材100に組み付けられた状態について説明する。図5〜図7に示されるように、補助体200は、ベース部材100における光軸L方向の一方の面上に重ねて配置されている。すなわち、ベース本体部110と補助体200とは、光軸L方向に沿って並べて配置されている。補助体200は、光軸L方向に沿って見たときに、ベース本体部110の面上において開口部110aと辺H11との間の領域に配置される。補助体200におけるX軸摩擦係合部240が設けられる側の端部が、辺H11と辺H14とが接続される角部近傍に位置している。補助体200におけるY軸アクチュエータ支持部220が設けられる側の端部が、辺H11と辺H13とが接続される角部近傍に位置している。 Next, a state in which the auxiliary body 200 is assembled to the base member 100 will be described. As shown in FIGS. 5 to 7, the auxiliary body 200 is arranged so as to be overlapped on one surface of the base member 100 in the optical axis L direction. That is, the base main body 110 and the auxiliary body 200 are arranged side by side along the optical axis L direction. The auxiliary body 200 is arranged in a region between the opening 110a and the side H11 on the surface of the base main body 110 when viewed along the optical axis L direction. The end of the auxiliary body 200 on the side where the X-axis friction engaging portion 240 is provided is located near the corner portion where the side H11 and the side H14 are connected. The end of the auxiliary body 200 on the side where the Y-axis actuator support portion 220 is provided is located near the corner portion where the side H11 and the side H13 are connected.
X軸摩擦係合部240は、金属板241を介してX軸駆動シャフト132に当接する。X軸摩擦係合部240は、X軸アクチュエータ支持部120とによってX軸駆動シャフト132を挟み込むようにしてX軸駆動シャフト132に当接する。第1付勢部242の先端部は、第1支持部121と第2支持部122との間の位置で、X軸駆動シャフト132に当接している。第1付勢部242の先端部は、X軸駆動シャフト132をX軸摩擦係合部240に押し付ける方向に、X軸駆動シャフト132を付勢している。これにより、第1付勢部242の先端部とX軸摩擦係合部240とによってX軸駆動シャフト132が挟まれた状態となる。すなわち、X軸摩擦係合部240が金属板241を介してX軸駆動シャフト132に摩擦係合した状態となる。 The X-axis friction engaging portion 240 comes into contact with the X-axis drive shaft 132 via the metal plate 241. The X-axis friction engaging portion 240 abuts on the X-axis drive shaft 132 so as to sandwich the X-axis drive shaft 132 with the X-axis actuator support portion 120. The tip of the first urging portion 242 is in contact with the X-axis drive shaft 132 at a position between the first support portion 121 and the second support portion 122. The tip of the first urging portion 242 urges the X-axis drive shaft 132 in the direction of pressing the X-axis drive shaft 132 against the X-axis friction engaging portion 240. As a result, the X-axis drive shaft 132 is sandwiched between the tip of the first urging portion 242 and the X-axis friction engaging portion 240. That is, the X-axis friction engaging portion 240 is in a state of frictionally engaging with the X-axis drive shaft 132 via the metal plate 241.
補助体200がベース部材100に組み付けられた状態で、Y軸アクチュエータ支持部220のベース本体部110側の面は、ベース本体部110に設けられた突起部T11に摺動可能に当接している(図7参照)。X軸摩擦係合部240と第1付勢部242とでX軸駆動シャフト132が挟まれることにより、補助体200は、X軸方向に移動可能にベース部材100に支持された状態となる。すなわち、補助体200は、一方の端部がX軸アクチュエータ130を介してベース部材100に支持され、他方の端部が突起部T11によってベース部材100に支持されている。 With the auxiliary body 200 assembled to the base member 100, the surface of the Y-axis actuator support portion 220 on the base main body 110 side is slidably in contact with the protrusion T11 provided on the base main body 110. (See FIG. 7). By sandwiching the X-axis drive shaft 132 between the X-axis friction engaging portion 240 and the first urging portion 242, the auxiliary body 200 is in a state of being movably supported by the base member 100 in the X-axis direction. That is, one end of the auxiliary body 200 is supported by the base member 100 via the X-axis actuator 130, and the other end is supported by the base member 100 by the protrusion T11.
X軸摩擦係合部240がX軸駆動シャフト132に摩擦係合した状態で、X軸圧電素子131がX軸方向に伸縮することにより、補助体200がベース部材100に対してX軸方向に移動させられる。このように、X軸アクチュエータ130は、ベース部材100と補助体200とを連結し、ベース部材100に対して補助体200をX軸方向に移動させる。 With the X-axis friction engaging portion 240 frictionally engaged with the X-axis drive shaft 132, the X-axis piezoelectric element 131 expands and contracts in the X-axis direction, so that the auxiliary body 200 moves in the X-axis direction with respect to the base member 100. Can be moved. In this way, the X-axis actuator 130 connects the base member 100 and the auxiliary body 200, and moves the auxiliary body 200 with respect to the base member 100 in the X-axis direction.
図6及び図7に示されるように、補助体200には、Y軸アクチュエータ230が設けられている。Y軸アクチュエータ230は、光軸L方向に沿って見たときに(図9参照)、ベース本体部110における辺H11と辺H13とが接続される角部近傍に設けられている。Y軸アクチュエータ230は、光軸L方向に沿って見たときに、辺H11及び辺H13が接続される角部と開口部110aとの間の領域に配置されている。Y軸アクチュエータ230は、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。Y軸アクチュエータ230は、角柱状のY軸圧電素子231、Y軸駆動シャフト232、及び錘部233を備えている。 As shown in FIGS. 6 and 7, the auxiliary body 200 is provided with a Y-axis actuator 230. The Y-axis actuator 230 is provided in the vicinity of the corner portion where the side H11 and the side H13 of the base main body 110 are connected when viewed along the optical axis L direction (see FIG. 9). The Y-axis actuator 230 is arranged in the region between the corner portion to which the side H11 and the side H13 are connected and the opening 110a when viewed along the optical axis L direction. The Y-axis actuator 230 is an actuator that constitutes a smooth impact drive mechanism. The Y-axis actuator 230 includes a prismatic Y-axis piezoelectric element 231, a Y-axis drive shaft 232, and a weight portion 233.
Y軸圧電素子231は、Y軸方向に伸縮可能な素子である。Y軸圧電素子231は、圧電材料で構成されている。Y軸圧電素子231の材料及び形状等はX軸圧電素子131と同様であり、詳細な説明を省略する。 The Y-axis piezoelectric element 231 is an element that can expand and contract in the Y-axis direction. The Y-axis piezoelectric element 231 is made of a piezoelectric material. The material and shape of the Y-axis piezoelectric element 231 are the same as those of the X-axis piezoelectric element 131, and detailed description thereof will be omitted.
Y軸駆動シャフト232は、円柱状に形成され、円柱形状の軸線がY軸方向に沿って延びるように配置されている。Y軸駆動シャフト232は、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。 The Y-axis drive shaft 232 is formed in a cylindrical shape, and is arranged so that the cylindrical axis extends along the Y-axis direction. The Y-axis drive shaft 232 is made of a composite resin material containing fibers such as carbon fiber.
Y軸駆動シャフト232におけるY軸方向の一方の端部は、Y軸圧電素子231におけるY軸方向の一方の端部に固定されている。Y軸駆動シャフト232の両端部は、第1支持部221の溝221a及び第2支持部222の溝222a内にそれぞれ収容される。壁部223の立ち上がり方向の先端部は、光軸L方向に沿って見たときに、ベース本体部110の辺H11側からY軸駆動シャフト232を支持する。 One end of the Y-axis drive shaft 232 in the Y-axis direction is fixed to one end of the Y-axis piezoelectric element 231 in the Y-axis direction. Both ends of the Y-axis drive shaft 232 are housed in the groove 221a of the first support portion 221 and the groove 222a of the second support portion 222, respectively. The tip of the wall portion 223 in the rising direction supports the Y-axis drive shaft 232 from the side H11 side of the base main body portion 110 when viewed along the optical axis L direction.
錘部233は、Y軸圧電素子231におけるY軸方向の他方の端部に固定されている。錘部233の材料及び機能等は、錘部133と同様であり、詳細な説明を省略する。 The weight portion 233 is fixed to the other end portion of the Y-axis piezoelectric element 231 in the Y-axis direction. The material and function of the weight portion 233 are the same as those of the weight portion 133, and detailed description thereof will be omitted.
錘部233は、補助体本体部210におけるY軸アクチュエータ支持部220側を向く面に固定されている。これにより、Y軸アクチュエータ230は、Y軸駆動シャフト232がY軸アクチュエータ支持部220によって支持されつつ、補助体本体部210に固定された状態となる。 The weight portion 233 is fixed to the surface of the auxiliary body main body 210 facing the Y-axis actuator support portion 220. As a result, the Y-axis actuator 230 is in a state of being fixed to the auxiliary body main body 210 while the Y-axis drive shaft 232 is supported by the Y-axis actuator support portion 220.
Y軸アクチュエータ230は、光軸L方向に沿って見たときに、Y軸駆動シャフト232側が外側を向くように配置される。すなわち、Y軸アクチュエータ230におけるY軸駆動シャフト232側の端部は、レンズキャリア400から離れる側を向いている(図15等参照)。 The Y-axis actuator 230 is arranged so that the Y-axis drive shaft 232 side faces the outside when viewed along the L direction of the optical axis. That is, the end of the Y-axis actuator 230 on the Y-axis drive shaft 232 side faces away from the lens carrier 400 (see FIG. 15 and the like).
図7に示されるように、X軸方向に沿って見たときに、光軸Lは補助体200を通っている。また、X軸アクチュエータ130とY軸アクチュエータ230とは、X軸方向に沿って見たときに、光軸Lを挟んで対向する位置に設けられている。 As shown in FIG. 7, the optical axis L passes through the auxiliary body 200 when viewed along the X-axis direction. Further, the X-axis actuator 130 and the Y-axis actuator 230 are provided at positions facing each other across the optical axis L when viewed along the X-axis direction.
次に、可動体300の構成の詳細について説明する。図8に示されるように、可動体300は、可動体本体部310、第1側壁部311、第2側壁部312、第3側壁部313、第4側壁部314、隆起部315、張出部316、及びY軸摩擦係合部340を備えている。 Next, the details of the configuration of the movable body 300 will be described. As shown in FIG. 8, the movable body 300 includes a movable body main body portion 310, a first side wall portion 311, a second side wall portion 312, a third side wall portion 313, a fourth side wall portion 314, a raised portion 315, and an overhanging portion. It includes 316 and a Y-axis friction engaging portion 340.
可動体本体部310は、光軸L方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成されている。なお、説明の便宜上、光軸L方向に沿って見たときに、可動体本体部310の外周縁を構成する4つの辺を、それぞれ辺H31、辺H32、辺H33及び辺H34という。可動体本体部310には、光軸Lを中心とする(光軸Lが通る)円形の開口部310aが設けられている。可動体本体部310に設けられた開口部310aの直径は、ベース部材100に設けられた開口部110aの直径よりも所定長さ小さい(図17参照)。 The movable body main body 310 is formed in a substantially rectangular plate shape having four corners when viewed along the optical axis L direction. For convenience of explanation, the four sides constituting the outer peripheral edge of the movable body main body 310 when viewed along the optical axis L direction are referred to as side H31, side H32, side H33, and side H34, respectively. The movable body main body 310 is provided with a circular opening 310a centered on the optical axis L (through which the optical axis L passes). The diameter of the opening 310a provided in the movable body main body 310 is smaller than the diameter of the opening 110a provided in the base member 100 (see FIG. 17).
図8及び図9に示されるように、辺H31は、可動体300がベース部材100に重ねられた状態で光軸L方向に沿って見たときに、開口部310aに対してベース部材100の辺H11側に位置する辺である。同様に、辺H32は、開口部310aに対してベース部材100の辺H12側に位置する辺である。辺H33は、開口部310aに対してベース部材100の辺H13側に位置する辺である。辺H34は、開口部310aに対してベース部材100の辺H14側に位置する辺である。 As shown in FIGS. 8 and 9, the side H31 of the base member 100 with respect to the opening 310a when viewed along the optical axis L direction in a state where the movable body 300 is overlapped with the base member 100. It is a side located on the side H11 side. Similarly, the side H32 is a side located on the side H12 side of the base member 100 with respect to the opening 310a. The side H33 is a side located on the side H13 side of the base member 100 with respect to the opening 310a. The side H34 is a side located on the side H14 side of the base member 100 with respect to the opening 310a.
図8に示されるように、第1側壁部311は、可動体本体部310における辺H31と辺H34とが接続される角部において、可動体本体部310からレンズキャリア400が配置される側に向けて立ち上がっている。第2側壁部312は、可動体本体部310における辺H32と辺H34とが接続される角部において、可動体本体部310からレンズキャリア400が配置される側に向けて立ち上がっている。なお、第2側壁部312は、辺H32と辺H34とが接続される角部から第1側壁部311側に向かって所定長さ延在している。 As shown in FIG. 8, the first side wall portion 311 is located on the side of the movable body main body 310 where the lens carrier 400 is arranged from the movable body main body 310 at the corner where the side H31 and the side H34 are connected. Standing up towards. The second side wall portion 312 stands up from the movable body main body 310 toward the side where the lens carrier 400 is arranged at the corner portion where the side H32 and the side H34 of the movable body main body 310 are connected. The second side wall portion 312 extends a predetermined length from the corner portion where the side H32 and the side H34 are connected toward the first side wall portion 311 side.
第3側壁部313は、可動体本体部310における辺H32と辺H33とが接続される角部において、可動体本体部310からレンズキャリア400が配置される側に向けて立ち上がっている。第4側壁部314は、可動体本体部310における辺H33と辺H31とが接続される角部において、可動体本体部310からレンズキャリア400が配置される側に向けて立ち上がっている。張出部316は、第4側壁部314の立ち上がり方向の先端部に設けられている。張出部316は、第4側壁部314の先端部から外側(開口部310aから離れる側)に向かって張り出している。 The third side wall portion 313 rises from the movable body main body 310 toward the side where the lens carrier 400 is arranged at the corner portion where the side H32 and the side H33 of the movable body main body 310 are connected. The fourth side wall portion 314 stands up from the movable body main body 310 toward the side where the lens carrier 400 is arranged at the corner portion where the side H33 and the side H31 of the movable body main body 310 are connected. The overhanging portion 316 is provided at the tip end portion of the fourth side wall portion 314 in the rising direction. The overhanging portion 316 projects outward from the tip end portion of the fourth side wall portion 314 (the side away from the opening 310a).
可動体本体部310におけるレンズキャリア400が配置される側の面には、矩形状に窪むアクチュエータ保持部310bが設けられている。アクチュエータ保持部310bは、辺H32と辺H34とが接続される角部近傍に位置している。 An actuator holding portion 310b that is recessed in a rectangular shape is provided on the surface of the movable body main body 310 on the side where the lens carrier 400 is arranged. The actuator holding portion 310b is located near the corner portion where the side H32 and the side H34 are connected.
隆起部315は、可動体本体部310におけるレンズキャリア400が配置される側の面において、辺H33の近傍に設けられている。隆起部315は、隆起の頂部がX軸方向に沿って延びている。隆起部315は、Y軸方向における断面が略円弧状となるように可動体本体部310から突出している。隆起部315の隆起の頂部には、平坦部が設けられていてもよい。 The raised portion 315 is provided in the vicinity of the side H33 on the surface of the movable body main body 310 on the side where the lens carrier 400 is arranged. In the raised portion 315, the top of the raised portion extends along the X-axis direction. The raised portion 315 protrudes from the movable body main body portion 310 so that the cross section in the Y-axis direction has a substantially arc shape. A flat portion may be provided on the top of the ridge of the ridge 315.
Y軸摩擦係合部340は、張出部316に設けられている。Y軸摩擦係合部340は、張出部316の外面のうち、可動体300がベース部材100及び補助体200に組み付けられたときにY軸アクチュエータ230側を向く面に設けられている(図10参照)。Y軸摩擦係合部340は、可動体300がベース部材100に組み付けられたときにY軸方向に沿って延びる略V字溝状に形成されている(図10及び図11等参照)。Y軸摩擦係合部340には、略V字状の金属板341が取り付けられている。Y軸摩擦係合部340は、金属板341を介してY軸駆動シャフト232に当接する。 The Y-axis friction engaging portion 340 is provided on the overhanging portion 316. The Y-axis friction engaging portion 340 is provided on the outer surface of the overhanging portion 316 that faces the Y-axis actuator 230 side when the movable body 300 is assembled to the base member 100 and the auxiliary body 200 (FIG. FIG. 10). The Y-axis friction engaging portion 340 is formed in a substantially V-shaped groove extending along the Y-axis direction when the movable body 300 is assembled to the base member 100 (see FIGS. 10 and 11 and the like). A substantially V-shaped metal plate 341 is attached to the Y-axis friction engaging portion 340. The Y-axis friction engaging portion 340 comes into contact with the Y-axis drive shaft 232 via the metal plate 341.
張出部316には、第2付勢部342が取り付けられている。第2付勢部342は、弾性部材である。第2付勢部342の一方の端部は、張出部316に固定されている。第2付勢部342の他方の端部(先端部)は、Y軸摩擦係合部340に対向している。 A second urging portion 342 is attached to the overhanging portion 316. The second urging portion 342 is an elastic member. One end of the second urging portion 342 is fixed to the overhanging portion 316. The other end (tip) of the second urging portion 342 faces the Y-axis friction engaging portion 340.
張出部316には、突起部T31が設けられている。突起部T31は、張出部316においてY軸摩擦係合部340が設けられる側に対して反対側の面に設けられている。突起部T31と、張出部316とは一体的に設けられている。突起部T31は、例えば、半球状であってもよく、頂部が平坦な凸形状であってもよい。突起部T31は、可動体300がベース本体部110から浮き上がった場合に、カバー3の内面に当接する。 A protrusion T31 is provided on the overhanging portion 316. The protrusion T31 is provided on the surface of the overhanging portion 316 opposite to the side on which the Y-axis friction engaging portion 340 is provided. The protrusion T31 and the overhanging portion 316 are integrally provided. The protrusion T31 may be, for example, hemispherical or may have a convex shape with a flat top. The protrusion T31 comes into contact with the inner surface of the cover 3 when the movable body 300 is lifted from the base main body 110.
可動体本体部310の辺H33には、開口部310a側に向けて凹む凹部H33aが設けられている。 The side H33 of the movable body main body 310 is provided with a recess H33a that is recessed toward the opening 310a.
次に、可動体300がベース部材100及び補助体200に組み付けられた状態について説明する。図8〜図12に示されるように、可動体300は、ベース本体部110に対して補助体200と同じ側に重ねて配置されている。すなわち、ベース本体部110と可動体300とは、光軸L方向に沿って並べて配置されている。可動体300は、光軸L方向に沿って見たときに、開口部310aとベース本体部110の開口部110aとが連通するように、ベース本体部110の面上に重ねられる。補助体200と可動体300とは、ベース本体部110における同じ面上に配置され、互いに隣接している。図9に示されるように、光軸L方向に沿って見たときに、補助体200と可動体300とは互いに重なっていない。但し、可動体300の張出部316については、Y軸摩擦係合部340をY軸駆動シャフト232に係合させるために補助体200と重なっている。 Next, a state in which the movable body 300 is assembled to the base member 100 and the auxiliary body 200 will be described. As shown in FIGS. 8 to 12, the movable body 300 is arranged so as to be overlapped with the base main body 110 on the same side as the auxiliary body 200. That is, the base main body 110 and the movable body 300 are arranged side by side along the optical axis L direction. The movable body 300 is stacked on the surface of the base main body 110 so that the opening 310a and the opening 110a of the base main body 110 communicate with each other when viewed along the optical axis L direction. The auxiliary body 200 and the movable body 300 are arranged on the same surface of the base main body 110 and are adjacent to each other. As shown in FIG. 9, when viewed along the optical axis L direction, the auxiliary body 200 and the movable body 300 do not overlap each other. However, the overhanging portion 316 of the movable body 300 overlaps with the auxiliary body 200 in order to engage the Y-axis friction engaging portion 340 with the Y-axis drive shaft 232.
Y軸摩擦係合部340は、金属板341を介してY軸駆動シャフト232に当接する。Y軸摩擦係合部340は、Y軸アクチュエータ支持部220とによってY軸駆動シャフト232を挟み込むようにしてY軸駆動シャフト232に当接する。第2付勢部342の先端部は、第1支持部221と第2支持部222との間の位置で、Y軸駆動シャフト232に当接している。第2付勢部342の先端部は、Y軸駆動シャフト232をY軸摩擦係合部340に押し付ける方向に、Y軸駆動シャフト232を付勢している。これにより、第2付勢部342の先端部とY軸摩擦係合部340とによってY軸駆動シャフト232が挟まれた状態となる。すなわち、Y軸摩擦係合部340が金属板341を介してY軸駆動シャフト232に摩擦係合した状態となる。 The Y-axis friction engaging portion 340 comes into contact with the Y-axis drive shaft 232 via the metal plate 341. The Y-axis friction engaging portion 340 abuts on the Y-axis drive shaft 232 so as to sandwich the Y-axis drive shaft 232 with the Y-axis actuator support portion 220. The tip of the second urging portion 342 is in contact with the Y-axis drive shaft 232 at a position between the first support portion 221 and the second support portion 222. The tip of the second urging portion 342 urges the Y-axis drive shaft 232 in the direction of pressing the Y-axis drive shaft 232 against the Y-axis friction engaging portion 340. As a result, the Y-axis drive shaft 232 is sandwiched between the tip of the second urging portion 342 and the Y-axis friction engaging portion 340. That is, the Y-axis friction engaging portion 340 is in a state of frictionally engaging with the Y-axis drive shaft 232 via the metal plate 341.
可動体300がベース部材100及び補助体200に組み付けられた状態で、可動体本体部310のベース本体部110側の面は、ベース本体部110に設けられた突起部T12及びT13に摺動可能に当接している。Y軸摩擦係合部340と第2付勢部342とでY軸駆動シャフト232が挟まれることにより、可動体300は、Y軸方向に移動可能にベース部材100及び補助体200に支持された状態となる。すなわち、可動体300は、Y軸摩擦係合部340が設けられた側がY軸アクチュエータ230を介して補助体200に支持され、X軸摩擦係合部240が設けられた側に対して反対側が突起部T12及びT13によってベース部材100に支持されている。 With the movable body 300 assembled to the base member 100 and the auxiliary body 200, the surface of the movable body main body 310 on the base main body 110 side can slide on the protrusions T12 and T13 provided on the base main body 110. Is in contact with. By sandwiching the Y-axis drive shaft 232 between the Y-axis friction engaging portion 340 and the second urging portion 342, the movable body 300 is supported by the base member 100 and the auxiliary body 200 so as to be movable in the Y-axis direction. It becomes a state. That is, in the movable body 300, the side provided with the Y-axis friction engaging portion 340 is supported by the auxiliary body 200 via the Y-axis actuator 230, and the side opposite to the side provided with the X-axis friction engaging portion 240 is. It is supported by the base member 100 by the protrusions T12 and T13.
Y軸摩擦係合部340がY軸駆動シャフト232に摩擦係合した状態で、Y軸圧電素子231がY軸方向に伸縮することにより、可動体300が補助体200に対してY軸方向に移動させられる。このように、Y軸アクチュエータ230は、補助体200と可動体300とを連結し、補助体200に対して可動体300をY軸方向に移動させる。 With the Y-axis friction engaging portion 340 frictionally engaged with the Y-axis drive shaft 232, the Y-axis piezoelectric element 231 expands and contracts in the Y-axis direction, so that the movable body 300 moves in the Y-axis direction with respect to the auxiliary body 200. Can be moved. In this way, the Y-axis actuator 230 connects the auxiliary body 200 and the movable body 300, and moves the movable body 300 with respect to the auxiliary body 200 in the Y-axis direction.
Y軸摩擦係合部340がY軸駆動シャフト232に係合していることにより、可動体300は、X軸方向においては補助体200と共に移動する。このため、補助体200がベース部材100に対してX軸方向に移動し、可動体300が補助体200に対してY軸方向に移動することによって、可動体300は、ベース部材100に対してX軸方向及びY軸方向に移動する。すなわち、補助体200及び可動体300は、ベース部材100に対して移動する可動体を構成する。ベース部材100に対して移動する可動体(補助体200及び可動体300)のうち、補助体200は、ベース部材100に対してX軸方向に移動する。ベース部材100に対して移動する可動体(補助体200及び可動体300)のうち、可動体300は、ベース部材100に対してX軸方向及びY軸方向に移動する。 Since the Y-axis friction engaging portion 340 is engaged with the Y-axis drive shaft 232, the movable body 300 moves together with the auxiliary body 200 in the X-axis direction. Therefore, the auxiliary body 200 moves in the X-axis direction with respect to the base member 100, and the movable body 300 moves in the Y-axis direction with respect to the auxiliary body 200, so that the movable body 300 moves with respect to the base member 100. It moves in the X-axis direction and the Y-axis direction. That is, the auxiliary body 200 and the movable body 300 constitute a movable body that moves with respect to the base member 100. Of the movable bodies (auxiliary body 200 and movable body 300) that move with respect to the base member 100, the auxiliary body 200 moves with respect to the base member 100 in the X-axis direction. Of the movable bodies (auxiliary body 200 and movable body 300) that move with respect to the base member 100, the movable body 300 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the base member 100.
図9に示されるように、光軸L方向に沿って見たときに、凹部H33a内にはストッパ部112の一部が入り込んでいる。凹部H33aの壁面とストッパ部112の外面とは、Y軸方向において対向している。また、凹部H33aの壁面とストッパ部112の外面とは、X軸方向において対向している。補助体本体部210の辺H34側の側壁部において、X軸アクチュエータ支持部120の第2支持部122と対向する部位をストッパ部H34aとする。 As shown in FIG. 9, when viewed along the optical axis L direction, a part of the stopper portion 112 is inserted in the recess H33a. The wall surface of the recess H33a and the outer surface of the stopper 112 face each other in the Y-axis direction. Further, the wall surface of the recess H33a and the outer surface of the stopper portion 112 face each other in the X-axis direction. In the side wall portion on the side H34 side of the auxiliary body main body portion 210, the portion of the X-axis actuator support portion 120 facing the second support portion 122 is referred to as the stopper portion H34a.
可動体300がY軸方向に沿ってストッパ部112から離れる側に移動した場合、ストッパ部H34aが第2支持部122に当接する。補助体200がY軸方向に沿ってストッパ部112に近づく方向に移動した場合、凹部H33aの壁面がストッパ部112に当接する。すなわち、ストッパ部112及び第2支持部122が、補助体200のY軸方向の移動範囲を規制するストッパ機構として機能する。補助体200がX軸方向に沿って移動した場合、凹部H33aの壁面がストッパ部112に当接する。すなわち、ストッパ部112が、補助体200のX軸方向の移動範囲を規制するストッパ機構として機能する。 When the movable body 300 moves away from the stopper portion 112 along the Y-axis direction, the stopper portion H34a comes into contact with the second support portion 122. When the auxiliary body 200 moves in the direction approaching the stopper portion 112 along the Y-axis direction, the wall surface of the recess H33a comes into contact with the stopper portion 112. That is, the stopper portion 112 and the second support portion 122 function as a stopper mechanism that regulates the movement range of the auxiliary body 200 in the Y-axis direction. When the auxiliary body 200 moves along the X-axis direction, the wall surface of the recess H33a comes into contact with the stopper portion 112. That is, the stopper portion 112 functions as a stopper mechanism that regulates the movement range of the auxiliary body 200 in the X-axis direction.
ベース部材100には、押え部材150が設けられている。押え部材150の一方の端部はベース本体部110に固定され、他方の端部(先端部)は隆起部315の頂部に当接する。押え部材150は、弾性部材である。押え部材150の先端部は、隆起部315をベース本体部110側に向けて付勢している。これにより、可動体300がベース本体部110から浮き上がることが防止される。Y軸摩擦係合部340がY軸駆動シャフト232に当接しているため、補助体200におけるY軸アクチュエータ支持部220側の端部がベース本体部110から浮き上がることが防止される。これにより、補助体200及び可動体300がベース本体部110から浮き上がることが防止される。 The base member 100 is provided with a pressing member 150. One end of the presser member 150 is fixed to the base body 110, and the other end (tip) abuts on the top of the raised portion 315. The pressing member 150 is an elastic member. The tip portion of the pressing member 150 urges the raised portion 315 toward the base main body portion 110 side. As a result, the movable body 300 is prevented from being lifted from the base main body 110. Since the Y-axis friction engaging portion 340 is in contact with the Y-axis drive shaft 232, it is possible to prevent the end portion of the auxiliary body 200 on the Y-axis actuator support portion 220 side from being lifted from the base main body portion 110. As a result, the auxiliary body 200 and the movable body 300 are prevented from being lifted from the base main body 110.
図9及び図10に示されるように、可動体300には、Z軸アクチュエータ330が取り付けられている。Z軸アクチュエータ330は、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。Z軸アクチュエータ330は、光軸L方向に沿って見たときに、ベース本体部110における辺H12と辺H14とが接続される角部近傍に設けられている。Z軸アクチュエータ330は、光軸L方向に沿って見たときに、辺H12及び辺H14が接続される角部と開口部110aとの間の領域に配置されている。Z軸アクチュエータ330は、角柱状のZ軸圧電素子331、Z軸駆動シャフト332、及び錘部333を備えている。 As shown in FIGS. 9 and 10, a Z-axis actuator 330 is attached to the movable body 300. The Z-axis actuator 330 is an actuator that constitutes a smooth impact drive mechanism. The Z-axis actuator 330 is provided in the vicinity of the corner portion where the side H12 and the side H14 of the base main body 110 are connected when viewed along the optical axis L direction. The Z-axis actuator 330 is arranged in the region between the corner portion to which the side H12 and the side H14 are connected and the opening 110a when viewed along the optical axis L direction. The Z-axis actuator 330 includes a prismatic Z-axis piezoelectric element 331, a Z-axis drive shaft 332, and a weight portion 333.
Z軸圧電素子331は、Z軸方向に伸縮可能な素子である。Z軸圧電素子331は、圧電材料で構成されている。Z軸圧電素子331の材料及び形状等はX軸圧電素子131と同様であり、詳細な説明を省略する。 The Z-axis piezoelectric element 331 is an element that can expand and contract in the Z-axis direction. The Z-axis piezoelectric element 331 is made of a piezoelectric material. The material and shape of the Z-axis piezoelectric element 331 are the same as those of the X-axis piezoelectric element 131, and detailed description thereof will be omitted.
Z軸駆動シャフト332は、円柱状に形成され、円柱形状の軸線がZ軸方向に沿って延びるように配置されている。Z軸駆動シャフト332は、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。 The Z-axis drive shaft 332 is formed in a cylindrical shape, and is arranged so that the cylindrical axis extends along the Z-axis direction. The Z-axis drive shaft 332 is made of a composite resin material containing fibers such as carbon fiber.
Z軸駆動シャフト332におけるZ軸方向の一方の端部は、Z軸圧電素子331におけるZ軸方向の一方の端部に固定されている。錘部333は、Z軸圧電素子331におけるZ軸方向の他方の端部に固定されている。錘部333の材料及び機能等は、錘部133と同様であり、詳細な説明を省略する。 One end of the Z-axis drive shaft 332 in the Z-axis direction is fixed to one end of the Z-axis piezoelectric element 331 in the Z-axis direction. The weight portion 333 is fixed to the other end portion of the Z-axis piezoelectric element 331 in the Z-axis direction. The material and function of the weight portion 333 are the same as those of the weight portion 133, and detailed description thereof will be omitted.
錘部333が、可動体本体部310に設けられたアクチュエータ保持部310bに嵌め込まれて固定されることで、Z軸アクチュエータ330が可動体300に保持される。Z軸アクチュエータ330は、レンズキャリア400を介して補助体200と対向している。 The Z-axis actuator 330 is held by the movable body 300 by fitting and fixing the weight portion 333 to the actuator holding portion 310b provided on the movable body main body portion 310. The Z-axis actuator 330 faces the auxiliary body 200 via the lens carrier 400.
次に、レンズキャリア400の構成の詳細について説明する。図13及び図14に示されるように、レンズキャリア400は、キャリア本体部410、回止め凸部420、第3付勢部430、及びZ軸摩擦係合部440を備えている。 Next, the details of the configuration of the lens carrier 400 will be described. As shown in FIGS. 13 and 14, the lens carrier 400 includes a carrier main body portion 410, a rotation stop convex portion 420, a third urging portion 430, and a Z-axis friction engaging portion 440.
キャリア本体部410には、光軸Lを中心とする円形の開口部410aが設けられている。キャリア本体部410に設けられた開口部410aの直径は、可動体300に設けられた開口部310aの直径よりも所定長さ小さい(図17参照)。キャリア本体部410の開口部410aには、レンズ4が取り付け可能である。すなわち、開口部410aの壁面が、レンズ4(図1)を取り付けるためのレンズ取付部となる。レンズ4は、複数のレンズで構成されたレンズユニットであってもよく、単一のレンズであってもよい。 The carrier main body 410 is provided with a circular opening 410a centered on the optical axis L. The diameter of the opening 410a provided in the carrier main body 410 is smaller than the diameter of the opening 310a provided in the movable body 300 (see FIG. 17). A lens 4 can be attached to the opening 410a of the carrier main body 410. That is, the wall surface of the opening 410a serves as a lens mounting portion for mounting the lens 4 (FIG. 1). The lens 4 may be a lens unit composed of a plurality of lenses, or may be a single lens.
回止め凸部420は、キャリア本体部410の外周面から光軸Lに直交する方向に沿って突出している。 The rotation stop convex portion 420 projects from the outer peripheral surface of the carrier main body portion 410 along the direction orthogonal to the optical axis L.
Z軸摩擦係合部440は、キャリア本体部410の外周面に設けられている。Z軸摩擦係合部440は、光軸Lを挟んで回止め凸部420と略対向する位置に設けられている。Z軸摩擦係合部440は、レンズキャリア400が可動体300に組み付けられたときにZ軸方向に沿って延びる略V字溝状に形成されている。Z軸摩擦係合部440には、略V字状の金属板441が取り付けられている。Z軸摩擦係合部440は、金属板441を介してZ軸駆動シャフト332に当接する。 The Z-axis friction engaging portion 440 is provided on the outer peripheral surface of the carrier main body portion 410. The Z-axis friction engaging portion 440 is provided at a position substantially opposite to the rotation stop convex portion 420 with the optical axis L interposed therebetween. The Z-axis friction engaging portion 440 is formed in a substantially V-shaped groove extending along the Z-axis direction when the lens carrier 400 is assembled to the movable body 300. A substantially V-shaped metal plate 441 is attached to the Z-axis friction engaging portion 440. The Z-axis friction engaging portion 440 comes into contact with the Z-axis drive shaft 332 via the metal plate 441.
第3付勢部430は、キャリア本体部410の外周面に取り付けられている。第3付勢部430は、弾性部材である。第3付勢部430の一方の端部は、キャリア本体部410に固定されている。第3付勢部430の他方の端部(先端部)は、Z軸摩擦係合部440に対向している。 The third urging portion 430 is attached to the outer peripheral surface of the carrier main body portion 410. The third urging portion 430 is an elastic member. One end of the third urging portion 430 is fixed to the carrier body portion 410. The other end (tip) of the third urging portion 430 faces the Z-axis friction engaging portion 440.
次に、レンズキャリア400が可動体300に組み付けられた状態について説明する。図15及び図16に示されるように、レンズキャリア400は、光軸L方向において、可動体300に対してベース部材100が設けられる側(ベース部材100が重なる側)とは反対側に重ねて配置されている。レンズキャリア400は、光軸L方向に沿って見たときに、開口部410aと可動体300の開口部310aとが連通するように、可動体本体部310の面上に重ねられる。 Next, a state in which the lens carrier 400 is assembled to the movable body 300 will be described. As shown in FIGS. 15 and 16, the lens carrier 400 is overlapped with respect to the movable body 300 on the side opposite to the side where the base member 100 is provided (the side on which the base member 100 overlaps) in the optical axis L direction. Have been placed. The lens carrier 400 is superposed on the surface of the movable body main body 310 so that the opening 410a and the opening 310a of the movable body 300 communicate with each other when viewed along the optical axis L direction.
キャリア本体部410は、第1側壁部311、第2側壁部312、第3側壁部313、及び第4側壁部314によって囲まれている。これにより、レンズキャリア400は、可動体300に対するX軸方向及びY軸方向の移動が規制されている。レンズキャリア400は、光軸L方向に移動可能に可動体300に保持されている。図16に示されるように、光軸L方向に沿って見たときに、レンズキャリア400と補助体200とは互いに重なっていない。Z軸アクチュエータ330は、レンズキャリア400を介して補助体200と対向している。 The carrier main body 410 is surrounded by a first side wall 311, a second side wall 312, a third side wall 313, and a fourth side wall 314. As a result, the lens carrier 400 is restricted from moving in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the movable body 300. The lens carrier 400 is held by the movable body 300 so as to be movable in the optical axis L direction. As shown in FIG. 16, the lens carrier 400 and the auxiliary body 200 do not overlap each other when viewed along the L direction of the optical axis. The Z-axis actuator 330 faces the auxiliary body 200 via the lens carrier 400.
ベース部材100の開口部110aは、辺H11よりも辺H12側に寄った位置に設けられている。このため、光軸L方向に沿って見たときに、レンズキャリア400は、ベース部材100の辺H11側の端部よりも辺H12側の端部に近い位置に配置されている。また、補助体200は、ベース部材100の辺H12側の端部よりも辺H11側の端部に近い位置に配置されている。 The opening 110a of the base member 100 is provided at a position closer to the side H12 than the side H11. Therefore, when viewed along the optical axis L direction, the lens carrier 400 is arranged at a position closer to the end on the side H12 side than the end on the side H11 side of the base member 100. Further, the auxiliary body 200 is arranged at a position closer to the end portion on the side H11 side than the end portion on the side H12 side of the base member 100.
回止め凸部420は、Y軸方向において、第1側壁部311と第4側壁部314との間に位置している。回止め凸部420が第1側壁部311と第4側壁部314との間に位置しているため、レンズキャリア400が光軸Lを中心として回転することが防止される。 The rotation stop convex portion 420 is located between the first side wall portion 311 and the fourth side wall portion 314 in the Y-axis direction. Since the rotation stop convex portion 420 is located between the first side wall portion 311 and the fourth side wall portion 314, the lens carrier 400 is prevented from rotating about the optical axis L.
Z軸摩擦係合部440は、金属板441を介してZ軸駆動シャフト332に当接する。第3付勢部430は、キャリア本体部410を介して補助体200に対向している。第3付勢部430の先端部は、Y軸駆動シャフト232に当接している。第3付勢部430の先端部は、Z軸駆動シャフト332をZ軸摩擦係合部440に押し付ける方向に、Z軸駆動シャフト332を付勢している。これにより、第3付勢部430の先端部とZ軸摩擦係合部440とによってZ軸駆動シャフト332が挟まれた状態となる。すなわち、Z軸摩擦係合部440が金属板441を介してZ軸駆動シャフト332に摩擦係合した状態となる。 The Z-axis friction engaging portion 440 comes into contact with the Z-axis drive shaft 332 via the metal plate 441. The third urging portion 430 faces the auxiliary body 200 via the carrier main body portion 410. The tip of the third urging portion 430 is in contact with the Y-axis drive shaft 232. The tip of the third urging portion 430 urges the Z-axis drive shaft 332 in the direction of pressing the Z-axis drive shaft 332 against the Z-axis friction engaging portion 440. As a result, the Z-axis drive shaft 332 is sandwiched between the tip of the third urging portion 430 and the Z-axis friction engaging portion 440. That is, the Z-axis friction engaging portion 440 is in a state of frictionally engaging with the Z-axis drive shaft 332 via the metal plate 441.
Z軸摩擦係合部440がZ軸駆動シャフト332に摩擦係合した状態で、Z軸圧電素子331がZ軸方向に伸縮することにより、レンズキャリア400が可動体300に対してZ軸方向に移動させられる。このように、Z軸アクチュエータ330は、可動体300とレンズキャリア400とを連結し、可動体300に対してレンズキャリア400をZ軸方向に移動させる。 With the Z-axis friction engaging portion 440 frictionally engaged with the Z-axis drive shaft 332, the Z-axis piezoelectric element 331 expands and contracts in the Z-axis direction, so that the lens carrier 400 moves in the Z-axis direction with respect to the movable body 300. Can be moved. In this way, the Z-axis actuator 330 connects the movable body 300 and the lens carrier 400, and moves the lens carrier 400 with respect to the movable body 300 in the Z-axis direction.
図15等に示されるように、X軸アクチュエータ130、Y軸アクチュエータ230、及びZ軸アクチュエータ330の少なくとも一部は、光軸L方向においてレンズキャリア400と重なっている。すなわち、X軸アクチュエータ130、Y軸アクチュエータ230、及びZ軸アクチュエータ330の少なくとも一部は、光軸L方向に直交する方向から見たときに、レンズキャリア400と重なっている。 As shown in FIG. 15 and the like, at least a part of the X-axis actuator 130, the Y-axis actuator 230, and the Z-axis actuator 330 overlaps with the lens carrier 400 in the optical axis L direction. That is, at least a part of the X-axis actuator 130, the Y-axis actuator 230, and the Z-axis actuator 330 overlaps with the lens carrier 400 when viewed from a direction orthogonal to the optical axis L direction.
次に、枠部材500の詳細について説明する。図1に示されるように、枠部材500は、光軸L方向に沿って見たときに、レンズキャリア400を囲む略四角枠形状をなしている。枠部材500は、可動体300に設けられた第1側壁部311、第2側壁部312、第3側壁部313、及び第4側壁部314の先端部に取り付けられている。 Next, the details of the frame member 500 will be described. As shown in FIG. 1, the frame member 500 has a substantially square frame shape surrounding the lens carrier 400 when viewed along the optical axis L direction. The frame member 500 is attached to the tip portions of the first side wall portion 311, the second side wall portion 312, the third side wall portion 313, and the fourth side wall portion 314 provided on the movable body 300.
枠部材500の内周面には、Z軸アクチュエータ330のZ軸駆動シャフト332を支持するZ軸アクチュエータ支持部510が設けられている。Z軸アクチュエータ支持部510は、光軸L方向に沿って見たときに、Z軸駆動シャフト332の外周面のうち光軸Lから遠い側の部位に当接している。 A Z-axis actuator support portion 510 that supports the Z-axis drive shaft 332 of the Z-axis actuator 330 is provided on the inner peripheral surface of the frame member 500. The Z-axis actuator support portion 510 is in contact with a portion of the outer peripheral surface of the Z-axis drive shaft 332 on the side far from the optical axis L when viewed along the optical axis L direction.
次に、カバー3がレンズ駆動部2に取り付けられた状態について説明する。図1及び図16に示されるように、カバー3は、レンズ駆動部2を構成する各構成要素のうちベース部材100以外の構成要素を内部に収容するようにベース本体部110を覆う。カバー3には、光軸Lを中心とする開口部3aが設けられている。ベース部材100に設けられた第1支柱部113及び第2支柱部114の先端部は、カバー3の内面に当接し、カバー3を支持する。 Next, a state in which the cover 3 is attached to the lens driving unit 2 will be described. As shown in FIGS. 1 and 16, the cover 3 covers the base main body 110 so as to internally accommodate the components other than the base member 100 among the components constituting the lens driving unit 2. The cover 3 is provided with an opening 3a centered on the optical axis L. The tip portions of the first strut portion 113 and the second strut portion 114 provided on the base member 100 abut on the inner surface of the cover 3 to support the cover 3.
次に、各アクチュエータに接続される電気配線、補助体200等の位置を検出するセンサ、及び各センサに接続される電気配線について説明する。まず、ベース部材100に設けられる電気配線及びセンサについて説明する。図2及び図3に示されるように、ベース本体部110における可動体300等が配置される側の面には、ホールセンサHS1、ホールセンサHS2、2本の電気配線W11、2本の電気配線(第1電力供給配線)W12,2本の電気配線(第2電力供給配線)W13、4本の電気配線W21、4本の電気配線W22、及び4本の電気配線W23が設けられている。 Next, the electric wiring connected to each actuator, the sensor for detecting the position of the auxiliary body 200 and the like, and the electric wiring connected to each sensor will be described. First, the electrical wiring and the sensor provided on the base member 100 will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, the hall sensor HS1, the hall sensor HS2, the two electric wirings W11, and the two electric wirings are on the surface of the base main body 110 on the side where the movable body 300 and the like are arranged. (First power supply wiring) W12, two electric wirings (second power supply wiring) W13, four electric wirings W21, four electric wirings W22, and four electric wirings W23 are provided.
2本の電気配線W11の一端はX軸アクチュエータ130のX軸圧電素子131にそれぞれ接続され、他端はベース本体部110の辺H11までそれぞれ延びている。電気配線W11は、X軸圧電素子131に電力を供給する。 One end of each of the two electrical wirings W11 is connected to the X-axis piezoelectric element 131 of the X-axis actuator 130, and the other end extends to the side H11 of the base main body 110. The electric wiring W11 supplies electric power to the X-axis piezoelectric element 131.
2本の電気配線W12は、ベース本体部110における辺H11の近傍にそれぞれ設けられている。2本の電気配線W12の一端は、ベース本体部110における辺H11の近傍にそれぞれ位置し、他端はベース本体部110の辺H11までそれぞれ延びている。 The two electric wirings W12 are provided in the vicinity of the side H11 in the base main body 110, respectively. One end of each of the two electrical wirings W12 is located near the side H11 of the base main body 110, and the other end extends to the side H11 of the base main body 110.
2本の電気配線W13は、ベース本体部110の辺H12と辺H14とが接続される角部近傍に設けられている。2本の電気配線W13の一端は、ベース本体部110における辺H14の近傍にそれぞれ位置し、他端はベース本体部110の辺H12までそれぞれ延びている。 The two electrical wirings W13 are provided in the vicinity of the corner portion where the side H12 and the side H14 of the base main body 110 are connected. One end of each of the two electrical wirings W13 is located near the side H14 of the base main body 110, and the other end extends to the side H12 of the base main body 110.
4本の電気配線W23のうち、3本の電気配線W23の一端はベース本体部110における辺H14の近傍にそれぞれ位置し、他端はベース本体部110の辺H12までそれぞれ延びている。残りの1本の電気配線W23の一端はベース本体部110における辺H14の近傍に位置し、他端はベース本体部110の辺H11まで延びている。 Of the four electrical wirings W23, one end of each of the three electrical wirings W23 is located near the side H14 of the base main body 110, and the other end extends to the side H12 of the base main body 110. One end of the remaining one electric wiring W23 is located near the side H14 of the base main body 110, and the other end extends to the side H11 of the base main body 110.
ホールセンサHS1は、ベース部材100に対して移動する補助体200の位置を検出する位置センサとして機能する。ホールセンサHS1は、ベース本体部110の辺H11の近傍に設けられている。ホールセンサHS1には、4本の電気配線W21の一端がそれぞれ接続されている。4本の電気配線W21の他端は、ベース本体部110の辺H11までそれぞれ延びている。 The Hall sensor HS1 functions as a position sensor that detects the position of the auxiliary body 200 that moves with respect to the base member 100. The Hall sensor HS1 is provided in the vicinity of the side H11 of the base main body 110. One end of each of the four electric wirings W21 is connected to the hall sensor HS1. The other ends of the four electric wirings W21 extend to the side H11 of the base main body 110, respectively.
ホールセンサHS2は、ベース部材100に対して移動する可動体300の位置を検出する位置センサとして機能する。ホールセンサHS2は、ベース本体部110の辺H12と辺H13とが接続される角部近傍に設けられている。ホールセンサHS2には、4本の電気配線W22の一端がそれぞれ接続されている。4本の電気配線W22の他端は、ベース本体部110の辺H12までそれぞれ延びている。 The Hall sensor HS2 functions as a position sensor that detects the position of the movable body 300 that moves with respect to the base member 100. The Hall sensor HS2 is provided in the vicinity of the corner portion where the side H12 and the side H13 of the base main body 110 are connected. One end of each of the four electric wirings W22 is connected to the hall sensor HS2. The other ends of the four electrical wirings W22 extend to the side H12 of the base main body 110, respectively.
各電気配線W11〜W13,W21〜W23には、ベース本体部110の端部位置において、制御回路及び駆動回路等の配線がそれぞれ接続される。 Wiring such as a control circuit and a drive circuit is connected to each of the electrical wirings W11 to W13 and W21 to W23 at the end positions of the base main body 110.
次に、補助体200に設けられる電気配線等について説明する。図5に示されるように、補助体200には、磁石MG1、及び2本の電気配線W32が設けられている。磁石MG1は、補助体本体部210におけるベース本体部110と対向する面に取り付けられている。図7等に示されるように、ベース部材100に設けられたホールセンサHS1と磁石MG1とは、Z軸方向において対向している。ホールセンサHS1は、補助体200と共に移動する磁石MG1の磁界の変化に基づいて、ベース部材100に対する補助体200の位置を検出する。X軸アクチュエータ130は、ホールセンサHS1の検出結果に基づいてフィードバック制御される。 Next, the electrical wiring and the like provided on the auxiliary body 200 will be described. As shown in FIG. 5, the auxiliary body 200 is provided with a magnet MG1 and two electric wirings W32. The magnet MG1 is attached to the surface of the auxiliary body main body 210 facing the base main body 110. As shown in FIG. 7 and the like, the Hall sensor HS1 provided on the base member 100 and the magnet MG1 face each other in the Z-axis direction. The Hall sensor HS1 detects the position of the auxiliary body 200 with respect to the base member 100 based on the change in the magnetic field of the magnet MG1 moving together with the auxiliary body 200. The X-axis actuator 130 is feedback-controlled based on the detection result of the Hall sensor HS1.
2本の電気配線W32の一端はY軸アクチュエータ230のY軸圧電素子231に接続されている。2本の電気配線W32の他端は、2本のサスペンションワイヤ(第1サスペンションワイヤ)SW12の一端にそれぞれ接続されている。サスペンションワイヤSW12は、導電性を有する弾性部材である。図6に示されるように、2本のサスペンションワイヤSW12の他端は、電気配線W12の他方の端部にそれぞれ接続されている。このように、レンズ駆動装置1は、ベース部材100と補助体200とを接続する2本のサスペンションワイヤSW12を備えている。2本のサスペンションワイヤSW12は、ベース本体部110の辺(第1の辺)H11に沿って並べて配置されている。Y軸アクチュエータ230は、サスペンションワイヤSW12を介してベース部材100に設けられた電気配線W12に接続される。Y軸圧電素子231に対しては、ベース本体部110に設けられた電気配線W12、サスペンションワイヤSW12、補助体200に設けられた電気配線W32を介して電力が供給される。 One end of the two electric wirings W32 is connected to the Y-axis piezoelectric element 231 of the Y-axis actuator 230. The other ends of the two electric wires W32 are connected to one ends of the two suspension wires (first suspension wire) SW12, respectively. The suspension wire SW12 is an elastic member having conductivity. As shown in FIG. 6, the other ends of the two suspension wires SW12 are connected to the other ends of the electric wiring W12, respectively. As described above, the lens driving device 1 includes two suspension wires SW12 that connect the base member 100 and the auxiliary body 200. The two suspension wires SW12 are arranged side by side along the side (first side) H11 of the base main body 110. The Y-axis actuator 230 is connected to the electrical wiring W12 provided on the base member 100 via the suspension wire SW12. Electric power is supplied to the Y-axis piezoelectric element 231 via the electric wiring W12 provided in the base main body 110, the suspension wire SW12, and the electric wiring W32 provided in the auxiliary body 200.
次に、可動体300に設けられる電気配線等について説明する。図8に示されるように、可動体300には、磁石MG2、ホールセンサHS3、4本の電気配線W33、及び2本の電気配線W43が設けられている。 Next, the electrical wiring and the like provided on the movable body 300 will be described. As shown in FIG. 8, the movable body 300 is provided with a magnet MG2, a hall sensor HS3, four electric wirings W33, and two electric wirings W43.
磁石MG2は、可動体本体部310における第3側壁部313側の角部に設けられている。図11等に示されるように、ベース部材100に設けられたホールセンサHS2と磁石MG2とは、Z軸方向において対向している。ホールセンサHS2は、可動体300と共に移動する磁石MG2の磁界の変化に基づいて、ベース部材100に対する可動体300の位置を検出する。Y軸アクチュエータ230は、ホールセンサHS2の検出結果に基づいてフィードバック制御される。 The magnet MG2 is provided at a corner portion on the third side wall portion 313 side of the movable body main body portion 310. As shown in FIG. 11 and the like, the Hall sensor HS2 provided on the base member 100 and the magnet MG2 face each other in the Z-axis direction. The Hall sensor HS2 detects the position of the movable body 300 with respect to the base member 100 based on the change in the magnetic field of the magnet MG2 that moves together with the movable body 300. The Y-axis actuator 230 is feedback-controlled based on the detection result of the Hall sensor HS2.
図8に示されるように、ホールセンサHS3は、可動体300に対してZ軸方向に移動するレンズキャリア400の位置を検出する位置センサとして機能する。ホールセンサHS3は、第2側壁部312における光軸L側の面に設けられている。ホールセンサHS3には、4本の電気配線W33の一端がそれぞれ接続されている。4本の電気配線W33の他端は、可動体本体部310から立ち上がる第2側壁部312の先端部(頂部)までそれぞれ延びている。 As shown in FIG. 8, the Hall sensor HS3 functions as a position sensor that detects the position of the lens carrier 400 that moves in the Z-axis direction with respect to the movable body 300. The Hall sensor HS3 is provided on the surface of the second side wall portion 312 on the L side of the optical axis. One end of each of the four electric wirings W33 is connected to the hall sensor HS3. The other ends of the four electric wirings W33 extend from the movable body main body 310 to the tip (top) of the second side wall 312 rising from the movable body main body 310.
図2及び図12に示されるように、ベース部材100に設けられた4本の電気配線W23の一端と、可動体300に設けられた4本の電気配線W33の他端とは、4本のサスペンションワイヤSW23によってそれぞれ接続されている。サスペンションワイヤSW23は、導電性を有する弾性部材である。 As shown in FIGS. 2 and 12, one end of the four electric wires W23 provided on the base member 100 and the other end of the four electric wires W33 provided on the movable body 300 are four. They are connected by suspension wires SW23. The suspension wire SW23 is an elastic member having conductivity.
図8及び図10等に示されるように、2本の電気配線W43の一端はZ軸アクチュエータ330のZ軸圧電素子331にそれぞれ接続され、他端は第2側壁部312の先端部までそれぞれ延びている。 As shown in FIGS. 8 and 10, one end of each of the two electric wirings W43 is connected to the Z-axis piezoelectric element 331 of the Z-axis actuator 330, and the other end extends to the tip of the second side wall portion 312. ing.
図2及び図12に示されるように、ベース部材100に設けられた2本の電気配線W13の一端と、可動体300に設けられた2本の電気配線W43の他端とは、2本のサスペンションワイヤ(第2サスペンションワイヤ)SW13によってそれぞれ接続されている。サスペンションワイヤSW13は、導電性を有する弾性部材である。このように、レンズ駆動装置1は、ベース部材100と可動体300とを接続する2本のサスペンションワイヤSW13を備えている。2本のサスペンションワイヤSW13は、ベース本体部110の辺H14に沿って並べて配置されている。Z軸アクチュエータ330は、サスペンションワイヤSW13を介してベース部材100に設けられた電気配線W13に接続される。Z軸圧電素子331に対しては、ベース本体部110に設けられた電気配線W13、サスペンションワイヤSW13、可動体300に設けられた電気配線W43を介して電力が供給される。 As shown in FIGS. 2 and 12, one end of the two electric wires W13 provided on the base member 100 and the other end of the two electric wires W43 provided on the movable body 300 are two. The suspension wires (second suspension wires) SW13 are connected to each other. The suspension wire SW13 is an elastic member having conductivity. As described above, the lens driving device 1 includes two suspension wires SW13 that connect the base member 100 and the movable body 300. The two suspension wires SW13 are arranged side by side along the side H14 of the base main body 110. The Z-axis actuator 330 is connected to the electrical wiring W13 provided on the base member 100 via the suspension wire SW13. Electric power is supplied to the Z-axis piezoelectric element 331 via the electric wiring W13 provided in the base main body 110, the suspension wire SW13, and the electric wiring W43 provided in the movable body 300.
次に、レンズキャリア400について説明する。図14に示されるように、レンズキャリア400には、磁石MG3が設けられている。磁石MG3は、キャリア本体部410の外周面において、Z軸摩擦係合部440の近傍の位置に設けられている。図16等に示されるように、可動体300の第2側壁部312に設けられたホールセンサHS3と磁石MG3とは、Y軸方向において対向している。ホールセンサHS3は、レンズキャリア400と共に移動する磁石MG3の磁界の変化に基づいて、可動体300に対するレンズキャリア400の位置を検出する。Z軸アクチュエータ330は、ホールセンサHS3の検出結果に基づいてフィードバック制御される。 Next, the lens carrier 400 will be described. As shown in FIG. 14, the lens carrier 400 is provided with a magnet MG3. The magnet MG3 is provided at a position near the Z-axis friction engaging portion 440 on the outer peripheral surface of the carrier main body portion 410. As shown in FIG. 16 and the like, the Hall sensor HS3 provided on the second side wall portion 312 of the movable body 300 and the magnet MG3 face each other in the Y-axis direction. The Hall sensor HS3 detects the position of the lens carrier 400 with respect to the movable body 300 based on the change in the magnetic field of the magnet MG3 that moves together with the lens carrier 400. The Z-axis actuator 330 is feedback-controlled based on the detection result of the Hall sensor HS3.
以上のようにレンズ駆動装置1によれば、ベース部材100、X軸アクチュエータ130、補助体200、Y軸アクチュエータ230、可動体300、Z軸アクチュエータ330、及びレンズキャリア400の順で各部材が順次連結される。これにより、X軸アクチュエータ130がベース部材100に対して補助体200を移動させた場合、X軸アクチュエータ130によって、補助体200からレンズキャリア400までの部材全体(補助体200、Y軸アクチュエータ230、可動体300、Z軸アクチュエータ330、及びレンズキャリア400)が移動させられる。Y軸アクチュエータ230が補助体200に対して可動体300を移動させた場合、Y軸アクチュエータ230によって、可動体300からレンズキャリア400までの部材全体(可動体300、Z軸アクチュエータ330、及びレンズキャリア400)が移動させられる。Z軸アクチュエータ330が可動体300に対してレンズキャリア400を移動させた場合、Z軸アクチュエータ330によってレンズキャリア400のみが移動させられる。これにより、X軸アクチュエータ130、Y軸アクチュエータ230、及びZ軸アクチュエータ330がそれぞれ各部材を移動させた場合であっても、部材同士で移動が妨げられることが無い。これにより、レンズ駆動装置1は、移動する部材同士でクロストークが生じることを抑制できる。 As described above, according to the lens driving device 1, each member is sequentially arranged in the order of the base member 100, the X-axis actuator 130, the auxiliary body 200, the Y-axis actuator 230, the movable body 300, the Z-axis actuator 330, and the lens carrier 400. Be connected. As a result, when the X-axis actuator 130 moves the auxiliary body 200 with respect to the base member 100, the X-axis actuator 130 causes the entire member from the auxiliary body 200 to the lens carrier 400 (auxiliary body 200, Y-axis actuator 230, The movable body 300, the Z-axis actuator 330, and the lens carrier 400) are moved. When the Y-axis actuator 230 moves the movable body 300 with respect to the auxiliary body 200, the Y-axis actuator 230 causes the entire member from the movable body 300 to the lens carrier 400 (movable body 300, Z-axis actuator 330, and lens carrier). 400) is moved. When the Z-axis actuator 330 moves the lens carrier 400 with respect to the movable body 300, only the lens carrier 400 is moved by the Z-axis actuator 330. As a result, even when the X-axis actuator 130, the Y-axis actuator 230, and the Z-axis actuator 330 move each member, the movement is not hindered between the members. As a result, the lens driving device 1 can suppress the occurrence of crosstalk between moving members.
レンズ駆動装置1は、ベース部材100と補助体200とを接続する2本のサスペンションワイヤSW12を備えている。この場合、レンズ駆動装置1は、ベース部材100に対して移動するY軸アクチュエータ230に対してサスペンションワイヤSW12を介して電力を供給できる。 The lens driving device 1 includes two suspension wires SW12 that connect the base member 100 and the auxiliary body 200. In this case, the lens driving device 1 can supply electric power to the Y-axis actuator 230 that moves with respect to the base member 100 via the suspension wire SW12.
レンズ駆動装置1は、ベース部材100と可動体300とを接続する2本のサスペンションワイヤSW13を備えている。この場合、レンズ駆動装置1は、ベース部材100に対して移動するZ軸アクチュエータ330に対してサスペンションワイヤSW13を介して電力を供給できる。 The lens driving device 1 includes two suspension wires SW13 that connect the base member 100 and the movable body 300. In this case, the lens driving device 1 can supply electric power to the Z-axis actuator 330 that moves with respect to the base member 100 via the suspension wire SW13.
2本のサスペンションワイヤSW12は、ベース本体部110の辺H11に沿って並べて配置されている。2本のサスペンションワイヤSW13は、ベース本体部110の辺H14に沿って並べて配置されている。これにより、サスペンションワイヤSW12及びSW13の設置場所としてベース本体部110の外周縁に沿った細いスペースしか確保できない場合であっても、これらの場所にサスペンションワイヤSW12及びSW13の設置が可能となる。従って、レンズ駆動装置1は、装置の小型化を実現できる。 The two suspension wires SW12 are arranged side by side along the side H11 of the base main body 110. The two suspension wires SW13 are arranged side by side along the side H14 of the base main body 110. As a result, even if only a narrow space along the outer peripheral edge of the base main body 110 can be secured as the installation location of the suspension wires SW12 and SW13, the suspension wires SW12 and SW13 can be installed at these locations. Therefore, the lens driving device 1 can realize the miniaturization of the device.
X軸アクチュエータ130、Y軸アクチュエータ230、及びZ軸アクチュエータ330は、光軸L方向に沿って見たときに、ベース本体部110の角部と開口部110aとの間の領域に配置されている。ベース本体部110が略矩形の板状であるため、ベース本体部110は、角部と開口部110aとの間に部材の設置スペースを確保し易い。このため、レンズ駆動装置1は、X軸アクチュエータ130等をベース本体部110の角部に設置することにより、X軸アクチュエータ130等の設置スペースを確保しつつ、装置の小型化を図ることができる。 The X-axis actuator 130, the Y-axis actuator 230, and the Z-axis actuator 330 are arranged in the region between the corner portion of the base main body 110 and the opening 110a when viewed along the optical axis L direction. .. Since the base main body 110 has a substantially rectangular plate shape, the base main body 110 can easily secure a space for installing a member between the corner portion and the opening 110a. Therefore, in the lens driving device 1, by installing the X-axis actuator 130 or the like at the corner of the base main body 110, it is possible to reduce the size of the device while securing the installation space for the X-axis actuator 130 or the like. ..
X軸アクチュエータ130、Y軸アクチュエータ230、及びZ軸アクチュエータ330の少なくとも一部は、光軸L方向においてレンズキャリア400と重なっている。この場合、レンズ駆動装置1は、低背化が可能となる。 At least a part of the X-axis actuator 130, the Y-axis actuator 230, and the Z-axis actuator 330 overlaps with the lens carrier 400 in the optical axis L direction. In this case, the lens driving device 1 can be reduced in height.
補助体200及び可動体300は、ベース本体部110に設けられた突起部T11〜T13に摺動可能に当接している。この場合、レンズ駆動装置1は、ベース部材100と補助体200及び可動体300との接触面積を小さくすることができ、ベース部材100に対して補助体200及び可動体300を移動させるときの摩擦抵抗を抑制できる。 The auxiliary body 200 and the movable body 300 are slidably in contact with the protrusions T11 to T13 provided on the base main body 110. In this case, the lens driving device 1 can reduce the contact area between the base member 100 and the auxiliary body 200 and the movable body 300, and friction when moving the auxiliary body 200 and the movable body 300 with respect to the base member 100. Resistance can be suppressed.
(第2実施形態)
次に、レンズ駆動装置の第2実施形態について説明する。図18及び図19に示すレンズ駆動装置1Aは、例えばデジタルカメラ等の撮像装置に搭載され、レンズ4Aを駆動する。レンズ駆動装置1Aは、レンズ駆動部2Aと、カバー3Aとを備えている。レンズ駆動装置1Aは、レンズ駆動部2Aに取り付けられるべきレンズ4Aの光軸Lを有する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the lens driving device will be described. The lens driving device 1A shown in FIGS. 18 and 19 is mounted on an imaging device such as a digital camera and drives the lens 4A. The lens driving device 1A includes a lens driving unit 2A and a cover 3A. The lens driving device 1A has an optical axis L of the lens 4A to be attached to the lens driving unit 2A.
なお、各図において、説明の便宜上、XYZ直交座標系を示している。Z軸方向が、取り付けられるべきレンズ4Aの光軸L方向となっている。X軸方向は、光軸L方向に直交している。Y軸方向は、光軸L方向に直交し、且つX軸方向に直交している。 In each figure, the XYZ Cartesian coordinate system is shown for convenience of explanation. The Z-axis direction is the optical axis L direction of the lens 4A to be attached. The X-axis direction is orthogonal to the L-direction of the optical axis. The Y-axis direction is orthogonal to the optical axis L direction and orthogonal to the X-axis direction.
レンズ駆動部2Aは、図18〜図20に示すように、ベース部材1100、X軸可動体1200、Y軸可動体1300、及びレンズキャリア1400を備えている。ベース部材1100、X軸可動体1200、Y軸可動体1300、及びレンズキャリア1400は、この順番で光軸L方向に沿って並べて配置されている。レンズ駆動部2Aは、さらに、レンズキャリア1400の周囲を覆うように配置された補助部材1500を備えている。 As shown in FIGS. 18 to 20, the lens driving unit 2A includes a base member 1100, an X-axis movable body 1200, a Y-axis movable body 1300, and a lens carrier 1400. The base member 1100, the X-axis movable body 1200, the Y-axis movable body 1300, and the lens carrier 1400 are arranged side by side in this order along the optical axis L direction. The lens driving unit 2A further includes an auxiliary member 1500 arranged so as to cover the periphery of the lens carrier 1400.
具体的には、X軸可動体1200は、ベース部材1100に対して光軸L方向に重ねて配置されている。Y軸可動体1300は、光軸L方向においてX軸可動体1200に対してベース部材1100が設けられる側(ベース部材1100が重なる側)とは反対側に重ねて配置されている。レンズキャリア1400は、光軸L方向において、Y軸可動体1300に対してX軸可動体1200が設けられる側(X軸可動体1200が重なる側)とは反対側に重ねて配置されている。 Specifically, the X-axis movable body 1200 is arranged so as to overlap the base member 1100 in the optical axis L direction. The Y-axis movable body 1300 is arranged so as to be overlapped with respect to the X-axis movable body 1200 on the side opposite to the side where the base member 1100 is provided (the side where the base member 1100 overlaps) in the optical axis L direction. The lens carrier 1400 is arranged so as to be overlapped with respect to the Y-axis movable body 1300 on the side opposite to the side where the X-axis movable body 1200 is provided (the side on which the X-axis movable body 1200 overlaps) in the optical axis L direction.
X軸可動体1200は、ベース部材1100に対してX軸方向に相対移動可能に、ベース部材1100に支持されている。Y軸可動体1300は、X軸可動体1200に対してY軸方向に相対移動可能に、X軸可動体1200に支持されている。レンズキャリア1400は、光軸L方向に移動可能に、Y軸可動体1300に支持されている。 The X-axis movable body 1200 is supported by the base member 1100 so as to be movable relative to the base member 1100 in the X-axis direction. The Y-axis movable body 1300 is supported by the X-axis movable body 1200 so as to be relatively movable in the Y-axis direction with respect to the X-axis movable body 1200. The lens carrier 1400 is supported by the Y-axis movable body 1300 so as to be movable in the optical axis L direction.
まず、ベース部材1100周りの詳細について説明する。図21に示すように、ベース部材1100は、ベース本体部1110、第1凸部1111、及び第2凸部1112を備えている。ベース本体部1110は、光軸L方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状の部材である。なお、説明の便宜上、光軸L方向に沿って見たときに、ベース本体部1110の外周縁を構成する4つの辺を、それぞれ辺H1011、辺H1012、辺H1013、及び辺H1014という。辺H1011〜H1014は、隣接する角部同士をそれぞれ連結している。辺H1011と辺H1012とが平行であり、X軸方向に沿って延びている。辺H1013と辺H1014とが平行であり、Y軸方向に沿って延びている。ベース本体部1110を光軸L方向に沿って見たときに、辺H1011、辺H1014、辺H1012、及び辺H1013の順で各辺が接続されて外周縁が形成されている。 First, the details around the base member 1100 will be described. As shown in FIG. 21, the base member 1100 includes a base main body portion 1110, a first convex portion 1111, and a second convex portion 1112. The base main body portion 1110 is a substantially rectangular plate-shaped member having four corners when viewed along the optical axis L direction. For convenience of explanation, the four sides constituting the outer peripheral edge of the base main body 1110 when viewed along the optical axis L direction are referred to as side H1011, side H1012, side H1013, and side H1014, respectively. The sides H1011 to H1014 connect adjacent corners to each other. The side H1011 and the side H1012 are parallel and extend along the X-axis direction. The side H1013 and the side H1014 are parallel and extend along the Y-axis direction. When the base main body 1110 is viewed along the optical axis L direction, each side is connected in the order of side H1011, side H1014, side H1012, and side H1013 to form an outer peripheral edge.
ベース本体部1110には、光軸Lを中心とする(光軸Lが通る)円形の開口部1110aが設けられている。第1凸部1111及び第2凸部1112は、ベース本体部1110におけるX軸可動体1200側の面(X軸可動体1200が重ねられる側の面)に設けられている。第1凸部1111及び第2凸部1112は、ベース本体部1110の面上において開口部1110aよりも辺H1012側に設けられている。第1凸部1111と第2凸部1112とは、X軸方向に並べて配置されている。第1凸部1111と第2凸部1112との間には、X軸方向に所定の隙間が開いている。第1凸部1111及び第2凸部1112の上面(頂部)、すなわち、第1凸部1111及び第2凸部1112のX軸可動体1200側の面には、X軸方向に沿って延びる略V字状の溝が設けられている。ベース本体部1110と、第1凸部1111及び第2凸部1112とは一体的に設けられている。 The base main body 1110 is provided with a circular opening 1110a centered on the optical axis L (through which the optical axis L passes). The first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 are provided on the surface of the base main body portion 1110 on the X-axis movable body 1200 side (the surface on the side on which the X-axis movable body 1200 is overlapped). The first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 are provided on the surface of the base main body portion 1110 on the side H1012 side of the opening 1110a. The first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 are arranged side by side in the X-axis direction. A predetermined gap is opened in the X-axis direction between the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112. The upper surfaces (tops) of the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112, that is, the surfaces of the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 on the X-axis movable body 1200 side, are substantially extended along the X-axis direction. A V-shaped groove is provided. The base main body portion 1110 and the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 are integrally provided.
ベース本体部1110におけるX軸可動体1200側の面において、開口部1110aよりも辺H1011側には、X軸可動体保持部1120が設けられている。X軸可動体保持部1120は、支持部1121、及びシャフト部1122を備えている。支持部1121は、ベース本体部1110のX軸可動体1200側の面に固定されている。シャフト部1122は、円柱状に形成され、X軸方向に沿って延在するように配置されている。支持部1121は、シャフト部1122の中央部分を支持している。シャフト部1122の両端部と、ベース本体部1110との間には隙間が設けられている。ベース本体部1110とX軸可動体保持部1120とは一体的に設けられている。 An X-axis movable body holding portion 1120 is provided on the side H1011 side of the opening 1110a on the surface of the base main body portion 1110 on the X-axis movable body 1200 side. The X-axis movable body holding portion 1120 includes a support portion 1121 and a shaft portion 1122. The support portion 1121 is fixed to the surface of the base main body portion 1110 on the X-axis movable body 1200 side. The shaft portion 1122 is formed in a columnar shape and is arranged so as to extend along the X-axis direction. The support portion 1121 supports the central portion of the shaft portion 1122. A gap is provided between both ends of the shaft portion 1122 and the base main body portion 1110. The base main body portion 1110 and the X-axis movable body holding portion 1120 are integrally provided.
ベース本体部1110のX軸可動体1200側の面において、開口部1110aよりも辺H1012側には、X軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)1130が設けられている。X軸アクチュエータ1130とX軸可動体保持部1120とは、光軸Lを挟んで対向している。 An X-axis actuator (first actuator) 1130 is provided on the side H1012 side of the opening 1110a on the surface of the base main body portion 1110 on the X-axis movable body 1200 side. The X-axis actuator 1130 and the X-axis movable body holding portion 1120 face each other with the optical axis L interposed therebetween.
X軸アクチュエータ1130は、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。X軸アクチュエータ1130は、角柱状のX軸圧電素子1131、X軸駆動シャフト1132、及び錘部1133を備えている。 The X-axis actuator 1130 is an actuator that constitutes a smooth impact drive mechanism. The X-axis actuator 1130 includes a prismatic X-axis piezoelectric element 1131, an X-axis drive shaft 1132, and a weight portion 1133.
X軸圧電素子1131は、X軸方向に伸縮可能な素子である。X軸圧電素子1131は、圧電材料で構成されている。圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛(いわゆる、PZT)、水晶、ニオブ酸リチウム(LiNbO)、ニオブ酸タンタル酸カリウム(K(Ta,Nb)O)、チタン酸バリウム(BaTiO)、タンタル酸リチウム(LiTaO)及びチタン酸ストロンチウム(SrTiO)等の無機圧電材料を用いることができる。X軸圧電素子1131は、上記圧電材料からなる複数の圧電層と複数の電極層とが交互に積層された積層構造にすることができる。X軸圧電素子1131に印加する電圧を制御することで、X軸圧電素子1131の伸縮を制御することができる。 The X-axis piezoelectric element 1131 is an element that can expand and contract in the X-axis direction. The X-axis piezoelectric element 1131 is made of a piezoelectric material. As the piezoelectric material, lead zirconate titanate (so-called PZT), crystal, lithium niobate (LiNbO 3 ), potassium tantalate niobate (K (Ta, Nb) O 3 ), barium titanate (BaTIO 3 ), Inorganic piezoelectric materials such as lithium tantalate (LiTaO 3 ) and barium titanate (SrTIO 3) can be used. The X-axis piezoelectric element 1131 can have a laminated structure in which a plurality of piezoelectric layers made of the above-mentioned piezoelectric material and a plurality of electrode layers are alternately laminated. By controlling the voltage applied to the X-axis piezoelectric element 1131, the expansion and contraction of the X-axis piezoelectric element 1131 can be controlled.
X軸圧電素子1131は、X軸方向に伸縮可能な形状であれば、角柱状に限らず、円柱状等であってもよい。 The X-axis piezoelectric element 1131 is not limited to a prismatic shape, but may be a cylindrical shape or the like as long as it has a shape that allows expansion and contraction in the X-axis direction.
X軸駆動シャフト1132は、円柱状に形成され、円柱形状の軸線がX軸方向に沿って延びるように配置されている。X軸駆動シャフト1132は、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。 The X-axis drive shaft 1132 is formed in a cylindrical shape, and is arranged so that the cylindrical axis extends along the X-axis direction. The X-axis drive shaft 1132 is made of a composite resin material containing fibers such as carbon fiber.
X軸駆動シャフト1132におけるX軸方向の一方の端部は、X軸圧電素子1131におけるX軸方向の一方の端部に固定されている。X軸駆動シャフト1132におけるベース本体部1110側の面は、ベース本体部1110に設けられた第1凸部1111及び第2凸部1112によって支持されている。X軸駆動シャフト1132は、第1凸部1111及び第2凸部1112に固定されておらず、第1凸部1111及び第2凸部1112に対してX軸方向に沿って摺動可能となっている。 One end of the X-axis drive shaft 1132 in the X-axis direction is fixed to one end of the X-axis piezoelectric element 1131 in the X-axis direction. The surface of the X-axis drive shaft 1132 on the base main body 11110 side is supported by the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 provided on the base main body 1110. The X-axis drive shaft 1132 is not fixed to the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112, and can slide along the X-axis direction with respect to the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112. ing.
錘部1133は、X軸圧電素子1131におけるX軸方向の他方の端部に固定されている。錘部1133は、タングステンやタングステン合金など比重の高い材料から形成されており、X軸駆動シャフト1132よりも重くなるように設計されている。X軸駆動シャフト1132よりも錘部1133を重くすることで、X軸圧電素子1131が伸縮したときに、錘部1133は変位しにくく、X軸駆動シャフト1132のほうを効率よく変位させることができる。 The weight portion 1133 is fixed to the other end portion of the X-axis piezoelectric element 1131 in the X-axis direction. The weight portion 1133 is formed of a material having a high specific gravity such as tungsten or a tungsten alloy, and is designed to be heavier than the X-axis drive shaft 1132. By making the weight portion 1133 heavier than the X-axis drive shaft 1132, when the X-axis piezoelectric element 1131 expands and contracts, the weight portion 1133 is less likely to be displaced, and the X-axis drive shaft 1132 can be displaced more efficiently. ..
ベース本体部1110におけるX軸可動体1200側の面には、X軸可動体1200側に向けて立ち上がるアクチュエータ保持部1110bが設けられている。錘部1133におけるX軸圧電素子1131が固定された側に対して反対側の面が、アクチュエータ保持部1110bに固定されている。これにより、X軸アクチュエータ1130は、X軸駆動シャフト1132が第1凸部1111及び第2凸部1112によって支持されつつ、アクチュエータ保持部1110bに固定された状態となる。 An actuator holding portion 1110b that rises toward the X-axis movable body 1200 side is provided on the surface of the base main body portion 1110 on the X-axis movable body 1200 side. The surface of the weight portion 1133 opposite to the side to which the X-axis piezoelectric element 1131 is fixed is fixed to the actuator holding portion 1110b. As a result, the X-axis actuator 1130 is in a state in which the X-axis drive shaft 1132 is fixed to the actuator holding portion 1110b while being supported by the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112.
X軸圧電素子1131とX軸駆動シャフト1132との固定、X軸圧電素子1131と錘部1133との固定、及び錘部1133とアクチュエータ保持部1110bとの固定には、エポキシ接着剤等の接着剤を用いることができる。 An adhesive such as an epoxy adhesive is used for fixing the X-axis piezoelectric element 1131 and the X-axis drive shaft 1132, fixing the X-axis piezoelectric element 1131 and the weight portion 1133, and fixing the weight portion 1133 and the actuator holding portion 1110b. Can be used.
次に、X軸可動体1200の構成の詳細、及びベース部材1100によるX軸可動体1200の支持構成の詳細について説明する。図22に示すように、X軸可動体1200は、X軸可動体本体部1210、第1凸部1211、第2凸部1212、X軸摩擦係合部1240、及びX軸支持部1250を備えている。 Next, the details of the configuration of the X-axis movable body 1200 and the details of the support configuration of the X-axis movable body 1200 by the base member 1100 will be described. As shown in FIG. 22, the X-axis movable body 1200 includes an X-axis movable body main body portion 1210, a first convex portion 1211, a second convex portion 1212, an X-axis friction engaging portion 1240, and an X-axis support portion 1250. ing.
X軸可動体本体部1210は、光軸L方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形状の板状の部材である。なお、説明の便宜上、光軸L方向に沿って見たときに、X軸可動体本体部1210の外周縁を構成する4つの辺を、それぞれ辺H1021、辺H1022、辺H1023、及び辺H1024(図24参照)という。X軸可動体本体部1210には、光軸Lを中心とする円形の開口部1210aが設けられている。X軸可動体本体部1210に設けられた開口部1210aと、ベース本体部1110に設けられた開口部1110aとは、略同じ大きさとなっている。 The X-axis movable body main body 1210 is a substantially rectangular plate-shaped member having four corners when viewed along the optical axis L direction. For convenience of explanation, when viewed along the L direction of the optical axis, the four sides constituting the outer peripheral edge of the X-axis movable body main body 1210 are arranged on the side H1021, the side H1022, the side H1023, and the side H1024, respectively. (See FIG. 24). The X-axis movable body main body 1210 is provided with a circular opening 1210a centered on the optical axis L. The opening 1210a provided in the X-axis movable body main body 1210 and the opening 1110a provided in the base main body 1110 have substantially the same size.
図21〜図24に示すように、辺H1021は、X軸可動体1200がベース部材1100に重ねられた状態で光軸L方向に沿って見たときに、開口部1210aに対してベース部材1100の辺H1011側に位置する辺である。同様に、辺H1022は、開口部1210aに対してベース部材1100の辺H1012側に位置する辺である。辺H1023は、開口部1210aに対してベース部材1100の辺H1013側に位置する辺である。辺H1024は、開口部1210aに対してベース部材1100の辺H1014側に位置する辺である。 As shown in FIGS. 21 to 24, the side H1021 has a base member 1100 with respect to the opening 1210a when the X-axis movable body 1200 is viewed along the optical axis L direction in a state of being overlapped with the base member 1100. It is a side located on the side H1011 side of. Similarly, the side H1022 is a side located on the side H1012 side of the base member 1100 with respect to the opening 1210a. The side H1023 is a side located on the side H1013 side of the base member 1100 with respect to the opening 1210a. The side H1024 is a side located on the side H1014 side of the base member 1100 with respect to the opening 1210a.
第1凸部1211及び第2凸部1212は、X軸可動体本体部1210におけるY軸可動体1300側の面(Y軸可動体1300が重ねられる側の面)に設けられている。第1凸部1211及び第2凸部1212は、X軸可動体本体部1210の面上において開口部1210aよりも辺H1023側に設けられている。第1凸部1211と第2凸部1212とは、Y軸方向に並べて配置されている。第1凸部1211と第2凸部1212との間には、Y軸方向に所定の隙間が開いている。第1凸部1211及び第2凸部1212の上面(頂部)、すなわち、第1凸部1211及び第2凸部1212のY軸可動体1300側の面には、Y軸方向に沿って延びる略V字状の溝が設けられている。X軸可動体本体部1210と、第1凸部1211及び第2凸部1212とは一体的に設けられている。 The first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 are provided on the surface of the X-axis movable body main body 1210 on the Y-axis movable body 1300 side (the surface on the side on which the Y-axis movable body 1300 is overlapped). The first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 are provided on the surface of the X-axis movable body main body portion 1210 on the side H1023 side of the opening 1210a. The first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 are arranged side by side in the Y-axis direction. A predetermined gap is opened in the Y-axis direction between the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212. The upper surfaces (tops) of the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212, that is, the surfaces of the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 on the Y-axis movable body 1300 side, substantially extend along the Y-axis direction. A V-shaped groove is provided. The X-axis movable body main body portion 1210 and the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 are integrally provided.
X軸可動体本体部1210におけるY軸可動体1300側の面において、開口部1210aよりも辺H1024側には、Y軸可動体保持部1220が設けられている。Y軸可動体保持部1220は、支持部1221、及びシャフト部1222を備えている。支持部1221は、X軸可動体本体部1210のY軸可動体1300側の面に固定されている。シャフト部1222は、円柱状に形成され、Y軸方向に沿って延在するように配置されている。支持部1221は、シャフト部1222の中央部分を支持している。シャフト部1222の両端部と、X軸可動体本体部1210との間には隙間が設けられている。X軸可動体本体部1210とY軸可動体保持部1220とは一体的に設けられている。 On the surface of the X-axis movable body main body 1210 on the Y-axis movable body 1300 side, the Y-axis movable body holding portion 1220 is provided on the side H1024 side of the opening 1210a. The Y-axis movable body holding portion 1220 includes a support portion 1221 and a shaft portion 1222. The support portion 1221 is fixed to the surface of the X-axis movable body main body portion 1210 on the Y-axis movable body 1300 side. The shaft portion 1222 is formed in a columnar shape and is arranged so as to extend along the Y-axis direction. The support portion 1221 supports the central portion of the shaft portion 1222. A gap is provided between both ends of the shaft portion 1222 and the X-axis movable body main body portion 1210. The X-axis movable body main body portion 1210 and the Y-axis movable body holding portion 1220 are integrally provided.
X軸摩擦係合部1240は、X軸可動体本体部1210における辺H1022側の端部に設けられている。X軸摩擦係合部1240は、X軸可動体本体部1210から、Y軸方向に沿って開口部1210aから離れる方向に向けて突出している。X軸摩擦係合部1240におけるY軸可動体1300側の面には、X軸方向に沿って延びる略V字状の溝が設けられている。以下、X軸摩擦係合部1240におけるV字状の溝が設けられた面を、V字面1240aという。 The X-axis friction engaging portion 1240 is provided at an end portion on the side H1022 side of the X-axis movable body main body portion 1210. The X-axis friction engaging portion 1240 projects from the X-axis movable body main body portion 1210 in a direction away from the opening 1210a along the Y-axis direction. A substantially V-shaped groove extending along the X-axis direction is provided on the surface of the X-axis friction engaging portion 1240 on the Y-axis movable body 1300 side. Hereinafter, the surface of the X-axis friction engaging portion 1240 provided with the V-shaped groove is referred to as a V-shaped surface 1240a.
X軸支持部1250は、X軸可動体本体部1210における辺H1021側の端部に設けられている。X軸支持部1250は、X軸第1支持部1251、及びX軸第2支持部1252を備えている。X軸第1支持部1251は、X軸第2支持部1252よりも辺H1023側に位置している。 The X-axis support portion 1250 is provided at an end portion on the side H1021 side of the X-axis movable body main body portion 1210. The X-axis support portion 1250 includes an X-axis first support portion 1251 and an X-axis second support portion 1252. The X-axis first support portion 1251 is located on the side H1023 side of the X-axis second support portion 1252.
X軸第1支持部1251は、一対の板部1251a及び1251bと、隆起部1251cとを備えている。一対の板部1251a及び1251bは、X軸可動体本体部1210における辺H1021側の端部から、Y軸方向に沿って開口部1210aから離れる側に向かって延びている。板部1251aと板部1251bとの間には、光軸L方向において、X軸可動体保持部1120のシャフト部1122の端部を挟み込み可能な所定の隙間が設けられている。板部1251aは、板部1251bよりもベース部材1100側に位置している。隆起部1251cは、板部1251aにおける板部1251b側の面に設けられている。隆起部1251cは、隆起の頂部がY軸方向に沿って延びている。隆起部1251cは、X軸方向における断面が略円弧状となるように板部1251aから突出している。 The X-axis first support portion 1251 includes a pair of plate portions 1251a and 1251b and a raised portion 1251c. The pair of plate portions 1251a and 1251b extend from the end portion of the X-axis movable body main body portion 1210 on the side H1021 side toward the side away from the opening 1210a along the Y-axis direction. A predetermined gap is provided between the plate portion 1251a and the plate portion 1251b so that the end portion of the shaft portion 1122 of the X-axis movable body holding portion 1120 can be sandwiched in the optical axis L direction. The plate portion 1251a is located closer to the base member 1100 than the plate portion 1251b. The raised portion 1251c is provided on the surface of the plate portion 1251a on the plate portion 1251b side. In the raised portion 1251c, the top of the raised portion extends along the Y-axis direction. The raised portion 1251c protrudes from the plate portion 1251a so that the cross section in the X-axis direction has a substantially arc shape.
X軸第2支持部1252は、一対の板部1252a及び1252bと、隆起部1252cとを備えている。一対の板部1252a及び1252bは、X軸可動体本体部1210における辺H1021側の端部から、Y軸方向に沿って開口部1210aから離れる側に向かって延びている。板部1252aと板部1252bとの間には、光軸L方向において、X軸可動体保持部1120のシャフト部1122の端部を挟み込み可能な所定の隙間が設けられている。板部1252aは、板部1252bよりもベース部材1100側に位置している。隆起部1252cは、板部1252aにおける板部1252b側の面に設けられている。隆起部1252cは、隆起の頂部がY軸方向に沿って延びている。隆起部1252cは、X軸方向における断面が略円弧状となるように板部1252aから突出している。 The X-axis second support portion 1252 includes a pair of plate portions 1252a and 1252b and a raised portion 1252c. The pair of plate portions 1252a and 1252b extend from the end portion of the X-axis movable body main body portion 1210 on the side H1021 side toward the side away from the opening 1210a along the Y-axis direction. A predetermined gap is provided between the plate portion 1252a and the plate portion 1252b so that the end portion of the shaft portion 1122 of the X-axis movable body holding portion 1120 can be sandwiched in the optical axis L direction. The plate portion 1252a is located closer to the base member 1100 than the plate portion 1252b. The raised portion 1252c is provided on the surface of the plate portion 1252a on the plate portion 1252b side. In the raised portion 1252c, the top of the raised portion extends along the Y-axis direction. The raised portion 1252c protrudes from the plate portion 1252a so that the cross section in the X-axis direction has a substantially arc shape.
次に、X軸可動体1200がベース部材1100に重ねられた状態について説明する。図23〜図26に示すように、X軸可動体1200がベース部材1100に重ねられた状態で、X軸可動体保持部1120のシャフト部1122の両端部は、それぞれ、X軸支持部1250の板部1251aと板部1251bとの間、及び板部1252aと板部1252bとの間に嵌め込まれている。 Next, a state in which the X-axis movable body 1200 is superposed on the base member 1100 will be described. As shown in FIGS. 23 to 26, in a state where the X-axis movable body 1200 is superposed on the base member 1100, both ends of the shaft portion 1122 of the X-axis movable body holding portion 1120 are of the X-axis support portion 1250, respectively. It is fitted between the plate portion 1251a and the plate portion 1251b, and between the plate portion 1252a and the plate portion 1252b.
また、X軸可動体本体部1210には、一方の端部がX軸可動体本体部1210に固定され、他方の端部がX軸可動体保持部1120のシャフト部1122に当接する押さえ部材1253が設けられている。押さえ部材1253は、弾性を有している。押さえ部材1253は、他方の端部がシャフト部1122に当接することにより、ベース本体部1110から引き離す方向にX軸可動体本体部1210を持ち上げている。 Further, in the X-axis movable body main body 1210, one end is fixed to the X-axis movable body main body 1210, and the other end is in contact with the shaft portion 1122 of the X-axis movable body holding portion 1120. Is provided. The pressing member 1253 has elasticity. The pressing member 1253 lifts the X-axis movable body main body 1210 in the direction of pulling away from the base main body 1110 when the other end abuts on the shaft 1122.
これにより、X軸可動体保持部1120のシャフト部1122の外周面と、X軸第1支持部1251の隆起部1251c及びX軸第2支持部1252の隆起部1252cとが当接する。なお、シャフト部1122の外周面と、隆起部1251c及び252cとは、それぞれ点接触している。X軸第1支持部1251の隆起部1251c及びX軸第2支持部1252の隆起部1252cは、少なくともX軸方向に移動可能にX軸可動体保持部1120のシャフト部1122の外周面に当接している。 As a result, the outer peripheral surface of the shaft portion 1122 of the X-axis movable body holding portion 1120 comes into contact with the raised portion 1251c of the X-axis first support portion 1251 and the raised portion 1252c of the X-axis second support portion 1252. The outer peripheral surface of the shaft portion 1122 and the raised portions 1251c and 252c are in point contact with each other. The raised portion 1251c of the X-axis first support portion 1251 and the raised portion 1252c of the X-axis second support portion 1252 abut on the outer peripheral surface of the shaft portion 1122 of the X-axis movable body holding portion 1120 so as to be movable at least in the X-axis direction. ing.
X軸可動体1200がベース部材1100に重ねられた状態で、X軸摩擦係合部1240は、ベース本体部1110に設けられた第1凸部1111と第2凸部1112との間に位置している。また、X軸摩擦係合部1240は、X軸アクチュエータ1130のX軸駆動シャフト1132とベース本体部1110との間に位置している。 With the X-axis movable body 1200 stacked on the base member 1100, the X-axis friction engaging portion 1240 is located between the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 provided on the base main body portion 1110. ing. Further, the X-axis friction engaging portion 1240 is located between the X-axis drive shaft 1132 of the X-axis actuator 1130 and the base main body portion 1110.
また、X軸可動体本体部1210には、一方の端部がX軸可動体本体部1210に固定され、他方の端部がX軸アクチュエータ1130のX軸駆動シャフト1132に当接する押さえ部材1241が設けられている。押さえ部材1241は、弾性を有している。押さえ部材1241は、他方の端部がX軸駆動シャフト1132に当接することにより、ベース本体部1110から引き離す方向にX軸可動体本体部1210を持ち上げている。 Further, in the X-axis movable body main body 1210, a pressing member 1241 whose one end is fixed to the X-axis movable body main body 1210 and whose other end abuts on the X-axis drive shaft 1132 of the X-axis actuator 1130 is provided. It is provided. The pressing member 1241 has elasticity. The pressing member 1241 lifts the X-axis movable body main body 1210 in the direction of pulling away from the base main body 1110 when the other end abuts on the X-axis drive shaft 1132.
これにより、X軸摩擦係合部1240のV字面1240aが、X軸アクチュエータ1130のX軸駆動シャフト1132の外周面に摩擦係合する。なお、X軸駆動シャフト1132の外周面と、V字面1240aとは、2本線で線接触している。具体的には、V字面1240aにおけるV字を構成する一方の面とX軸駆動シャフト1132の外周面とが線接触し、V字面1240aにおけるV字を構成する他方の面とX軸駆動シャフト1132の外周面とが線接触している。 As a result, the V-shaped surface 1240a of the X-axis friction engaging portion 1240 is frictionally engaged with the outer peripheral surface of the X-axis drive shaft 1132 of the X-axis actuator 1130. The outer peripheral surface of the X-axis drive shaft 1132 and the V-shaped surface 1240a are in line contact with each other by two lines. Specifically, one surface forming the V-shape on the V-shaped surface 1240a and the outer peripheral surface of the X-axis drive shaft 1132 are in line contact with each other, and the other surface forming the V-shape on the V-shaped surface 1240a and the X-axis drive shaft 1132. Is in line contact with the outer peripheral surface of the.
X軸摩擦係合部1240がX軸アクチュエータ1130のX軸駆動シャフト1132に摩擦係合した状態で、X軸圧電素子1131がX軸方向に伸縮することで、X軸可動体1200がX軸方向に移動させられる。このように、X軸アクチュエータ1130は、ベース部材1100とX軸可動体1200とを連結し、ベース部材1100に対してX軸可動体1200をX軸方向に移動させる。 With the X-axis friction engaging portion 1240 frictionally engaged with the X-axis drive shaft 1132 of the X-axis actuator 1130, the X-axis piezoelectric element 1131 expands and contracts in the X-axis direction, so that the X-axis movable body 1200 moves in the X-axis direction. Moved to. In this way, the X-axis actuator 1130 connects the base member 1100 and the X-axis movable body 1200, and moves the X-axis movable body 1200 with respect to the base member 1100 in the X-axis direction.
図27に示すように、X軸摩擦係合部1240におけるX軸方向の長さは、ベース本体部1110に設けられた第1凸部1111と第2凸部1112との間の所定の隙間の長さよりも短い。すなわち、X軸摩擦係合部1240におけるX軸方向の移動が、第1凸部1111及び第2凸部1112によって規制される。このように、ベース本体部1110に設けられた第1凸部1111及び第2凸部1112は、X軸可動体1200におけるX軸方向の移動範囲を規制するX軸ストッパ機構として機能する。 As shown in FIG. 27, the length of the X-axis friction engaging portion 1240 in the X-axis direction is the predetermined gap between the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 provided on the base main body portion 1110. Shorter than the length. That is, the movement of the X-axis friction engaging portion 1240 in the X-axis direction is regulated by the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112. As described above, the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 provided on the base main body portion 1110 function as an X-axis stopper mechanism that regulates the movement range in the X-axis direction of the X-axis movable body 1200.
X軸可動体1200は、ベース部材1100に対し、X軸摩擦係合部1240、X軸第1支持部1251、及びX軸第2支持部1252の3カ所において、X軸方向に移動可能に保持されている。また、押さえ部材1241及び253がX軸可動体本体部1210を持ち上げていることにより、X軸可動体本体部1210はベース本体部1110から浮いた状態となっている。 The X-axis movable body 1200 is movably held in the X-axis direction with respect to the base member 1100 at three locations, the X-axis friction engaging portion 1240, the X-axis first support portion 1251, and the X-axis second support portion 1252. Has been done. Further, since the pressing members 1241 and 253 lift the X-axis movable body main body 1210, the X-axis movable main body 1210 is in a state of floating from the base main body 1110.
図23及び図24に示すように、X軸可動体本体部1210におけるY軸可動体1300側の面において、開口部1210aよりも辺H1023側には、Y軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)1230が設けられている。Y軸アクチュエータ1230とY軸可動体保持部1220とは、光軸Lを挟んで対向している。 As shown in FIGS. 23 and 24, a Y-axis actuator (first actuator) 1230 is provided on the side H1023 side of the opening 1210a on the surface of the X-axis movable body main body 1210 on the Y-axis movable body 1300 side. Has been done. The Y-axis actuator 1230 and the Y-axis movable body holding portion 1220 face each other with the optical axis L interposed therebetween.
Y軸アクチュエータ1230は、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。Y軸アクチュエータ1230は、角柱状のY軸圧電素子1231、Y軸駆動シャフト1232、及び錘部1233を備えている。Y軸圧電素子1231は、Y軸方向に伸縮可能な素子である。Y軸圧電素子1231は、X軸アクチュエータ1130のX軸圧電素子1131と同様の構成を有している。Y軸圧電素子1231に印加する電圧を制御することで、Y軸圧電素子1231の伸縮を制御することができる。 The Y-axis actuator 1230 is an actuator that constitutes a smooth impact drive mechanism. The Y-axis actuator 1230 includes a prismatic Y-axis piezoelectric element 1231, a Y-axis drive shaft 1232, and a weight portion 1233. The Y-axis piezoelectric element 1231 is an element that can expand and contract in the Y-axis direction. The Y-axis piezoelectric element 1231 has the same configuration as the X-axis piezoelectric element 1131 of the X-axis actuator 1130. By controlling the voltage applied to the Y-axis piezoelectric element 1231, the expansion and contraction of the Y-axis piezoelectric element 1231 can be controlled.
Y軸駆動シャフト1232は、円柱状に形成され、円柱形状の軸線がY軸方向に沿って延びるように配置されている。Y軸駆動シャフト1232は、X軸駆動シャフト1132と同様に、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。 The Y-axis drive shaft 1232 is formed in a cylindrical shape, and is arranged so that the cylindrical axis extends along the Y-axis direction. Like the X-axis drive shaft 1132, the Y-axis drive shaft 1232 is made of a composite resin material containing fibers such as carbon fiber.
Y軸駆動シャフト1232におけるY軸方向の一方の端部は、Y軸圧電素子1231におけるY軸方向の一方の端部に固定されている。Y軸駆動シャフト1232におけるX軸可動体本体部1210側の面は、X軸可動体本体部1210に設けられた第1凸部1211及び第2凸部1212によって支持されている。Y軸駆動シャフト1232は、第1凸部1211及び第2凸部1212に固定されておらず、第1凸部1211及び第2凸部1212に対してY軸方向に沿って摺動可能となっている。 One end of the Y-axis drive shaft 1232 in the Y-axis direction is fixed to one end of the Y-axis piezoelectric element 1231 in the Y-axis direction. The surface of the Y-axis drive shaft 1232 on the X-axis movable body main body 1210 side is supported by the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 provided on the X-axis movable body main body 1210. The Y-axis drive shaft 1232 is not fixed to the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212, and can slide along the Y-axis direction with respect to the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212. ing.
錘部1233は、Y軸圧電素子1231におけるY軸方向の他方の端部に固定されている。錘部1233は、錘部1133と同様に、Y軸駆動シャフト1232よりも重くなるように設計されている。 The weight portion 1233 is fixed to the other end portion of the Y-axis piezoelectric element 1231 in the Y-axis direction. The weight portion 1233, like the weight portion 1133, is designed to be heavier than the Y-axis drive shaft 1232.
X軸可動体本体部1210におけるY軸可動体1300側の面には、立上がり部1260が設けられている。立上がり部1260は、X軸可動体本体部1210における辺H1021と辺H1023とが接続される角部から立ち上がるとともに、立上がりの上端部の位置から外側(開口部1210aから離れる側)に向けて張り出している。なお、立上がり部1260において、外側に向けて張り出す部位を、張出部1260aという。錘部1233におけるY軸圧電素子1231が固定された側に対して反対側の面が、立上がり部1260の第1凸部1211側の面に固定されている。これにより、Y軸アクチュエータ1230は、Y軸駆動シャフト1232が第1凸部1211及び第2凸部1212によって支持されつつ、立上がり部1260に固定された状態となる。 A rising portion 1260 is provided on the surface of the X-axis movable body main body 1210 on the Y-axis movable body 1300 side. The rising portion 1260 rises from the corner portion where the side H1021 and the side H1023 are connected in the X-axis movable body main body portion 1210, and projects outward from the position of the rising end portion toward the outside (the side away from the opening 1210a). There is. The portion of the rising portion 1260 that overhangs outward is referred to as the overhanging portion 1260a. The surface of the weight portion 1233 opposite to the side to which the Y-axis piezoelectric element 1231 is fixed is fixed to the surface of the rising portion 1260 on the first convex portion 1211 side. As a result, the Y-axis actuator 1230 is in a state in which the Y-axis drive shaft 1232 is fixed to the rising portion 1260 while being supported by the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212.
Y軸圧電素子1231とY軸駆動シャフト1232との固定、Y軸圧電素子1231と錘部1233との固定、及び錘部1233と立上がり部1260との固定には、エポキシ接着剤等の接着剤を用いることができる。 For fixing the Y-axis piezoelectric element 1231 and the Y-axis drive shaft 1232, fixing the Y-axis piezoelectric element 1231 and the weight portion 1233, and fixing the weight portion 1233 and the rising portion 1260, an adhesive such as an epoxy adhesive is used. Can be used.
次に、Y軸可動体1300の構成の詳細、及びX軸可動体1200によるY軸可動体1300の支持構成の詳細について説明する。図28に示すように、Y軸可動体1300は、Y軸可動体本体部1310、第1側壁部1311a、第2側壁部1311b、第3側壁部1311c、第4側壁部1311d、Y軸摩擦係合部1340、及びY軸支持部1350を備えている。 Next, the details of the configuration of the Y-axis movable body 1300 and the details of the support configuration of the Y-axis movable body 1300 by the X-axis movable body 1200 will be described. As shown in FIG. 28, the Y-axis movable body 1300 includes a Y-axis movable body main body portion 1310, a first side wall portion 1311a, a second side wall portion 1311b, a third side wall portion 1311c, a fourth side wall portion 1311d, and a Y-axis friction section. It includes a joint portion 1340 and a Y-axis support portion 1350.
Y軸可動体本体部1310は、光軸L方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状の部材である。なお、説明の便宜上、光軸L方向に沿って見たときに、Y軸可動体本体部1310の外周縁を構成する4つの辺を、それぞれ辺H1031、辺H1032、辺H1033及び辺H1034という。Y軸可動体本体部1310には、光軸Lを中心とする円形の開口部1310aが設けられている。Y軸可動体本体部1310に設けられた開口部1310aと、X軸可動体本体部1210に設けられた開口部1210aとは、略同じ大きさとなっている。 The Y-axis movable body main body 1310 is a substantially rectangular plate-shaped member having four corners when viewed along the optical axis L direction. For convenience of explanation, the four sides constituting the outer peripheral edge of the Y-axis movable body main body 1310 when viewed along the L direction of the optical axis are referred to as side H1031, side H1032, side H1033, and side H1034, respectively. The Y-axis movable body main body 1310 is provided with a circular opening 1310a centered on the optical axis L. The opening 1310a provided in the Y-axis movable body main body 1310 and the opening 1210a provided in the X-axis movable main body 1210 have substantially the same size.
図28及び図32に示すように、辺H1031は、Y軸可動体1300がX軸可動体1200に重ねられた状態で光軸L方向に沿って見たときに、開口部1310aに対してX軸可動体1200の辺H1021側に位置する辺である。同様に、辺H1032は、開口部1310aに対してX軸可動体1200の辺H1022側に位置する辺である。辺H1033は、開口部1310aに対してX軸可動体1200の辺H1023側に位置する辺である。辺H1034は、開口部1310aに対してX軸可動体1200の辺H1024側に位置する辺である。 As shown in FIGS. 28 and 32, the side H1031 is X with respect to the opening 1310a when the Y-axis movable body 1300 is overlaid on the X-axis movable body 1200 and viewed along the optical axis L direction. It is a side located on the side H1021 side of the shaft movable body 1200. Similarly, the side H1032 is a side located on the side H1022 side of the X-axis movable body 1200 with respect to the opening 1310a. The side H1033 is a side located on the side H1023 side of the X-axis movable body 1200 with respect to the opening 1310a. The side H1034 is a side located on the side H1024 side of the X-axis movable body 1200 with respect to the opening 1310a.
図28に示すように、第1側壁部1311aは、Y軸可動体本体部1310における辺H1031と辺H1034とが接続される角部において、Y軸可動体本体部1310からレンズキャリア1400側に向けて立ち上がっている。第1側壁部1311aの内側には、レンズキャリア1400の回止め凸部1420に対応する位置に、光軸L方向に沿って延在する切欠き部1312が設けられている。第2側壁部1311bは、Y軸可動体本体部1310における辺H1034と辺H1032とが接続される角部において、Y軸可動体本体部1310からレンズキャリア1400側に向けて立ち上がっている。なお、第1側壁部1311aと第2側壁部1311bとは、Y軸可動体本体部1310の辺H1034に沿って延在して互いに繋がっている。 As shown in FIG. 28, the first side wall portion 1311a is directed from the Y-axis movable body main body portion 1310 toward the lens carrier 1400 side at the corner portion where the side H1031 and the side H1034 of the Y-axis movable body main body portion 1310 are connected. Is standing up. Inside the first side wall portion 1311a, a notch portion 1312 extending along the optical axis L direction is provided at a position corresponding to the rotation stop convex portion 1420 of the lens carrier 1400. The second side wall portion 1311b rises from the Y-axis movable body main body 1310 toward the lens carrier 1400 at the corner where the side H1034 and the side H1032 of the Y-axis movable main body 1310 are connected. The first side wall portion 1311a and the second side wall portion 1311b extend along the side H1034 of the Y-axis movable body main body portion 1310 and are connected to each other.
第3側壁部1311cは、Y軸可動体本体部1310における辺H1032と辺H1033とが接続される角部において、Y軸可動体本体部1310からレンズキャリア1400側に向けて立ち上がっている。第4側壁部1311dは、Y軸可動体本体部1310における辺H1033と辺H1031とが接続される角部において、Y軸可動体本体部1310からレンズキャリア1400側に向けて立ち上がっている。 The third side wall portion 1311c rises from the Y-axis movable body main body 1310 toward the lens carrier 1400 at the corner portion where the side H1032 and the side H1033 of the Y-axis movable main body 1310 are connected. The fourth side wall portion 1311d rises from the Y-axis movable body main body 1310 toward the lens carrier 1400 at the corner where the side H1033 and the side H1031 of the Y-axis movable main body 1310 are connected.
Y軸可動体本体部1310におけるレンズキャリア1400側の面には、円状に窪むアクチュエータ保持部1310bが設けられている。アクチュエータ保持部1310bは、第3側壁部1311cと開口部1310aとの間の領域に位置している。 An actuator holding portion 1310b that is recessed in a circular shape is provided on the surface of the Y-axis movable body main body 1310 on the lens carrier 1400 side. The actuator holding portion 1310b is located in the region between the third side wall portion 1311c and the opening 1310a.
図28に示すように、Y軸摩擦係合部1340は、Y軸可動体本体部1310における辺H1033側の端部に設けられている。Y軸摩擦係合部1340は、Y軸可動体本体部1310から、X軸方向に沿って開口部1310aから離れる方向に向けて突出している。Y軸摩擦係合部1340におけるレンズキャリア1400側の面には、Y軸方向に沿って延びる略V字状の溝が設けられている。以下、Y軸摩擦係合部1340におけるV字状の溝が設けられた面を、V字面1340aという。 As shown in FIG. 28, the Y-axis friction engaging portion 1340 is provided at the end portion of the Y-axis movable body main body portion 1310 on the side H1033 side. The Y-axis friction engaging portion 1340 projects from the Y-axis movable body main body portion 1310 in a direction away from the opening 1310a along the X-axis direction. A substantially V-shaped groove extending along the Y-axis direction is provided on the surface of the Y-axis friction engagement portion 1340 on the lens carrier 1400 side. Hereinafter, the surface of the Y-axis friction engaging portion 1340 provided with the V-shaped groove is referred to as a V-shaped surface 1340a.
図28に示すように、Y軸支持部1350は、Y軸可動体本体部1310における辺H1034側の端部に設けられている。Y軸支持部1350は、Y軸第1支持部1351、及びY軸第2支持部1352を備えている。Y軸第1支持部1351は、Y軸第2支持部1352よりも辺H1031側に位置している。 As shown in FIG. 28, the Y-axis support portion 1350 is provided at the end portion of the Y-axis movable body main body portion 1310 on the side H1034 side. The Y-axis support portion 1350 includes a Y-axis first support portion 1351 and a Y-axis second support portion 1352. The Y-axis first support portion 1351 is located on the side H1031 side of the Y-axis second support portion 1352.
Y軸第1支持部1351は、一対の板部1351a及び1351bと、隆起部1351cとを備えている(図28及び図31参照)。一対の板部1351a及び1351bは、Y軸可動体本体部1310における辺H1034側の端部から、X軸方向に沿って開口部1310aから離れる側に向かって延びている。板部1351aと板部1351bとの間には、光軸L方向において、Y軸可動体保持部1220のシャフト部1222の端部を挟み込み可能な所定の隙間が設けられている。板部1351aは、板部1351bよりもX軸可動体1200側に位置している。隆起部1351cは、板部1351aにおける板部1351b側の面に設けられている。隆起部1351cは、隆起の頂部がX軸方向に沿って延びている。隆起部1351cは、Y軸方向における断面が略円弧状となるように板部1351aから突出している。 The Y-axis first support portion 1351 includes a pair of plate portions 1351a and 1351b and a raised portion 1351c (see FIGS. 28 and 31). The pair of plate portions 1351a and 1351b extend from the end portion of the Y-axis movable body main body portion 1310 on the side H1034 side toward the side away from the opening 1310a along the X-axis direction. A predetermined gap is provided between the plate portion 1351a and the plate portion 1351b so that the end portion of the shaft portion 1222 of the Y-axis movable body holding portion 1220 can be sandwiched in the optical axis L direction. The plate portion 1351a is located closer to the X-axis movable body 1200 than the plate portion 1351b. The raised portion 1351c is provided on the surface of the plate portion 1351a on the plate portion 1351b side. In the raised portion 1351c, the top of the raised portion extends along the X-axis direction. The raised portion 1351c protrudes from the plate portion 1351a so that the cross section in the Y-axis direction has a substantially arc shape.
Y軸第2支持部1352は、一対の板部1352a及び1352bと、隆起部1352cとを備えている(図28及び図31参照)。一対の板部1352a及び1352bは、Y軸可動体本体部1310における辺H1034側の端部から、X軸方向に沿って開口部1310aから離れる側に向かって延びている。板部1352aと板部1352bとの間には、光軸L方向において、Y軸可動体保持部1220のシャフト部1222の端部を挟み込み可能な所定の隙間が設けられている。板部1352aは、板部1352bよりもX軸可動体1200側に位置している。隆起部1352cは、板部1352aにおける板部1352b側の面に設けられている。隆起部1352cは、隆起の頂部がX軸方向に沿って延びている。隆起部1352cは、Y軸方向における断面が略円弧状となるように板部1352aから突出している。 The Y-axis second support portion 1352 includes a pair of plate portions 1352a and 1352b and a raised portion 1352c (see FIGS. 28 and 31). The pair of plate portions 1352a and 1352b extend from the end portion of the Y-axis movable body main body portion 1310 on the side H1034 side toward the side away from the opening 1310a along the X-axis direction. A predetermined gap is provided between the plate portion 1352a and the plate portion 1352b so that the end portion of the shaft portion 1222 of the Y-axis movable body holding portion 1220 can be sandwiched in the optical axis L direction. The plate portion 1352a is located closer to the X-axis movable body 1200 than the plate portion 1352b. The raised portion 1352c is provided on the surface of the plate portion 1352a on the plate portion 1352b side. In the raised portion 1352c, the top of the raised portion extends along the X-axis direction. The raised portion 1352c protrudes from the plate portion 1352a so that the cross section in the Y-axis direction has a substantially arc shape.
Y軸可動体1300は、さらに、第1配線接続部1321、第2配線接続部1322、及び第3配線接続部1323を備えている。第1配線接続部1321は、第1側壁部1311aの立ち上がり方向の先端部近傍の位置から、外側(開口部1310aに対して離れる側)に向かって張り出している。第2配線接続部1322は、第2側壁部1311bの立ち上がり方向の先端部近傍の位置から、外側(開口部1310aに対して離れる側)に向かって張り出している。第3配線接続部1323は、第3側壁部1311cの立ち上がり方向の先端部近傍の位置から、外側(開口部1310aに対して離れる側)に向かって張り出している。 The Y-axis movable body 1300 further includes a first wiring connection portion 1321, a second wiring connection portion 1322, and a third wiring connection portion 1323. The first wiring connection portion 1321 projects outward (the side away from the opening 1310a) from a position near the tip portion in the rising direction of the first side wall portion 1311a. The second wiring connection portion 1322 projects outward (the side away from the opening 1310a) from a position near the tip portion in the rising direction of the second side wall portion 1311b. The third wiring connection portion 1323 projects outward (the side away from the opening 1310a) from a position near the tip portion in the rising direction of the third side wall portion 1311c.
次に、Y軸可動体1300がX軸可動体1200に重ねられた状態について説明する。図29〜図31に示すように、Y軸可動体1300がX軸可動体1200に重ねられた状態で、Y軸可動体保持部1220のシャフト部1222の両端部は、それぞれ、Y軸支持部1350の板部1351aと板部1351bとの間、及び板部1352aと板部1352bとの間に嵌め込まれている。 Next, a state in which the Y-axis movable body 1300 is superposed on the X-axis movable body 1200 will be described. As shown in FIGS. 29 to 31, in a state where the Y-axis movable body 1300 is superposed on the X-axis movable body 1200, both ends of the shaft portion 1222 of the Y-axis movable body holding portion 1220 are Y-axis support portions, respectively. It is fitted between the plate portion 1351a and the plate portion 1351b of the 1350 and between the plate portion 1352a and the plate portion 1352b.
また、Y軸可動体本体部1310には、一方の端部がY軸可動体本体部1310に固定され、他方の端部がY軸可動体保持部1220のシャフト部1222に当接する押さえ部材1353が設けられている。押さえ部材1353は、弾性を有している。押さえ部材1353は、他方の端部がシャフト部1222に当接することにより、X軸可動体本体部1210から引き離す方向にY軸可動体本体部1310を持ち上げている。 Further, in the Y-axis movable body main body 1310, one end is fixed to the Y-axis movable body 1310, and the other end is in contact with the shaft portion 1222 of the Y-axis movable body holding portion 1220. Is provided. The pressing member 1353 has elasticity. The pressing member 1353 lifts the Y-axis movable body main body 1310 in the direction of pulling away from the X-axis movable body main body 1210 when the other end abuts on the shaft portion 1222.
これにより、Y軸可動体保持部1220のシャフト部1222の外周面と、Y軸第1支持部1351の隆起部1351c及びY軸第2支持部1352の隆起部1352cとが当接する。なお、シャフト部1222の外周面と、隆起部1351c及び1352cとは、それぞれ点接触している。Y軸第1支持部1351の隆起部1351c及びY軸第2支持部1352の隆起部1352cは、少なくともY軸方向に移動可能にY軸可動体保持部1220のシャフト部1222の外周面に当接している。 As a result, the outer peripheral surface of the shaft portion 1222 of the Y-axis movable body holding portion 1220 comes into contact with the raised portion 1351c of the Y-axis first support portion 1351 and the raised portion 1352c of the Y-axis second support portion 1352. The outer peripheral surface of the shaft portion 1222 and the raised portions 1351c and 1352c are in point contact with each other. The raised portion 1351c of the Y-axis first support portion 1351 and the raised portion 1352c of the Y-axis second support portion 1352 abut on the outer peripheral surface of the shaft portion 1222 of the Y-axis movable body holding portion 1220 so as to be movable at least in the Y-axis direction. ing.
Y軸可動体1300がX軸可動体1200に重ねられた状態で、Y軸摩擦係合部1340は、X軸可動体本体部1210に設けられた第1凸部1211と第2凸部1212との間に位置している。また、Y軸摩擦係合部1340は、Y軸アクチュエータ1230のY軸駆動シャフト1232とX軸可動体本体部1210との間に位置している。 In a state where the Y-axis movable body 1300 is superposed on the X-axis movable body 1200, the Y-axis friction engaging portion 1340 includes the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 provided on the X-axis movable body main body portion 1210. It is located between. Further, the Y-axis friction engaging portion 1340 is located between the Y-axis drive shaft 1232 of the Y-axis actuator 1230 and the X-axis movable body main body portion 1210.
また、Y軸可動体本体部1310には、一方の端部がY軸可動体本体部1310から立ち上がる第3側壁部1311cに固定され、他方の端部がY軸アクチュエータ1230のY軸駆動シャフト1232に当接する押さえ部材1341が設けられている。押さえ部材1341は、弾性を有している。押さえ部材1341は、他方の端部がY軸駆動シャフト1232に当接することにより、X軸可動体本体部1210から引き離す方向にY軸可動体本体部1310を持ち上げている。 Further, one end of the Y-axis movable body main body 1310 is fixed to a third side wall portion 1311c rising from the Y-axis movable body main body 1310, and the other end is the Y-axis drive shaft 1232 of the Y-axis actuator 1230. A pressing member 1341 that comes into contact with the is provided. The pressing member 1341 has elasticity. The pressing member 1341 lifts the Y-axis movable body main body 1310 in the direction of pulling away from the X-axis movable body main body 1210 when the other end abuts on the Y-axis drive shaft 1232.
これにより、Y軸摩擦係合部1340のV字面1340aが、Y軸アクチュエータ1230のY軸駆動シャフト1232の外周面に摩擦係合する。なお、Y軸駆動シャフト1232の外周面と、V字面1340aとは、2本線で線接触している。具体的には、V字面1340aにおけるV字を構成する一方の面とY軸駆動シャフト1232の外周面とが線接触し、V字面1340aにおけるV字を構成する他方の面とY軸駆動シャフト1232の外周面とが線接触している。 As a result, the V-shaped surface 1340a of the Y-axis friction engaging portion 1340 is frictionally engaged with the outer peripheral surface of the Y-axis drive shaft 1232 of the Y-axis actuator 1230. The outer peripheral surface of the Y-axis drive shaft 1232 and the V-shaped surface 1340a are in line contact with each other by two lines. Specifically, one surface forming the V-shape on the V-shaped surface 1340a and the outer peripheral surface of the Y-axis drive shaft 1232 are in line contact with each other, and the other surface forming the V-shape on the V-shaped surface 1340a and the Y-axis drive shaft 1232. Is in line contact with the outer peripheral surface of the.
Y軸摩擦係合部1340がY軸アクチュエータ1230のY軸駆動シャフト1232に摩擦係合した状態で、Y軸圧電素子1231がY軸方向に伸縮することで、Y軸可動体1300がY軸方向に移動させられる。このように、Y軸アクチュエータ1230は、X軸可動体1200とY軸可動体1300とを連結し、X軸可動体1200に対してY軸可動体1300をY軸方向に移動させる。すなわち、X軸可動体1200及びY軸可動体1300は、ベース部材1100に対して移動する可動体を構成する。ベース部材1100に対して移動する可動体(X軸可動体1200及びY軸可動体1300)のうち、X軸可動体1200は、ベース部材1100に対してX軸方向に移動する。ベース部材1100に対して移動する可動体(X軸可動体1200及びY軸可動体1300)のうち、Y軸可動体1300は、ベース部材1100に対してX軸方向及びY軸方向に移動する。 With the Y-axis friction engaging portion 1340 frictionally engaged with the Y-axis drive shaft 1232 of the Y-axis actuator 1230, the Y-axis piezoelectric element 1231 expands and contracts in the Y-axis direction, so that the Y-axis movable body 1300 moves in the Y-axis direction. Moved to. In this way, the Y-axis actuator 1230 connects the X-axis movable body 1200 and the Y-axis movable body 1300, and moves the Y-axis movable body 1300 with respect to the X-axis movable body 1200 in the Y-axis direction. That is, the X-axis movable body 1200 and the Y-axis movable body 1300 constitute a movable body that moves with respect to the base member 1100. Of the movable bodies (X-axis movable body 1200 and Y-axis movable body 1300) that move with respect to the base member 1100, the X-axis movable body 1200 moves in the X-axis direction with respect to the base member 1100. Of the movable bodies (X-axis movable body 1200 and Y-axis movable body 1300) that move with respect to the base member 1100, the Y-axis movable body 1300 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the base member 1100.
図32に示すように、Y軸摩擦係合部1340におけるY軸方向の長さは、X軸可動体本体部1210に設けられた第1凸部1211と第2凸部1212との間の所定の隙間の長さよりも短い。すなわち、Y軸摩擦係合部1340におけるY軸方向の移動が、第1凸部1211及び第2凸部1212によって規制される。このように、X軸可動体本体部1210に設けられた第1凸部1211及び第2凸部1212は、Y軸可動体1300におけるY軸方向の移動範囲を規制するY軸ストッパ機構として機能する。 As shown in FIG. 32, the length of the Y-axis friction engaging portion 1340 in the Y-axis direction is determined between the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 provided on the X-axis movable body main body portion 1210. Shorter than the length of the gap. That is, the movement of the Y-axis friction engaging portion 1340 in the Y-axis direction is regulated by the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212. As described above, the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 provided on the X-axis movable body main body portion 1210 function as a Y-axis stopper mechanism that regulates the movement range in the Y-axis direction of the Y-axis movable body 1300. ..
Y軸可動体1300は、X軸可動体1200に対し、Y軸摩擦係合部1340、Y軸第1支持部1351、及びY軸第2支持部1352の3カ所において、Y軸方向に移動可能に保持されている。押さえ部材1341及び353がY軸可動体本体部1310を持ち上げていることにより、Y軸可動体本体部1310はX軸可動体本体部1210から浮いた状態となっている。 The Y-axis movable body 1300 can move in the Y-axis direction with respect to the X-axis movable body 1200 at three locations, the Y-axis friction engaging portion 1340, the Y-axis first support portion 1351, and the Y-axis second support portion 1352. It is held in. Since the pressing members 1341 and 353 lift the Y-axis movable body main body 1310, the Y-axis movable body 1310 is in a state of floating from the X-axis movable body main body 1210.
図29に示すように、Y軸可動体本体部1310におけるレンズキャリア1400側の面には、Z軸アクチュエータ(第2アクチュエータ)1330が設けられている。Z軸アクチュエータ1330は、Y軸可動体本体部1310に設けられたアクチュエータ保持部1310bによって保持されている。Z軸アクチュエータ1330とY軸可動体1300の切欠き部1312とは、光軸Lを挟んで対向している。 As shown in FIG. 29, a Z-axis actuator (second actuator) 1330 is provided on the surface of the Y-axis movable body main body 1310 on the lens carrier 1400 side. The Z-axis actuator 1330 is held by the actuator holding portion 1310b provided on the Y-axis movable body main body portion 1310. The Z-axis actuator 1330 and the notch 1312 of the Y-axis movable body 1300 face each other with the optical axis L interposed therebetween.
Z軸アクチュエータ1330は、スムーズインパクト駆動機構を構成するアクチュエータである。Z軸アクチュエータ1330は、角柱状のZ軸圧電素子1331、Z軸駆動シャフト1332、及び錘部1333を備えている。Z軸圧電素子1331は、光軸L方向に伸縮可能な素子である。Z軸圧電素子1331は、X軸アクチュエータ1130のX軸圧電素子1131と同様の構成を有している。Z軸圧電素子1331に印加する電圧を制御することで、Z軸圧電素子1331の伸縮を制御することができる。 The Z-axis actuator 1330 is an actuator that constitutes a smooth impact drive mechanism. The Z-axis actuator 1330 includes a prismatic Z-axis piezoelectric element 1331, a Z-axis drive shaft 1332, and a weight portion 1333. The Z-axis piezoelectric element 1331 is an element that can expand and contract in the optical axis L direction. The Z-axis piezoelectric element 1331 has the same configuration as the X-axis piezoelectric element 1131 of the X-axis actuator 1130. By controlling the voltage applied to the Z-axis piezoelectric element 1331, the expansion and contraction of the Z-axis piezoelectric element 1331 can be controlled.
Z軸駆動シャフト1332は、円柱状に形成され、円柱形状の軸線が光軸L方向に沿って延びるように配置されている。Z軸駆動シャフト1332は、X軸駆動シャフト1132と同様に、カーボンファイバ等の繊維を含む複合樹脂材料で構成されている。Z軸駆動シャフト1332における光軸L方向の一方の端部は、Z軸圧電素子1331における光軸L方向の一方の端部に固定されている。 The Z-axis drive shaft 1332 is formed in a cylindrical shape, and is arranged so that a cylindrical axis extends along the optical axis L direction. Like the X-axis drive shaft 1132, the Z-axis drive shaft 1332 is made of a composite resin material containing fibers such as carbon fiber. One end of the Z-axis drive shaft 1332 in the optical axis L direction is fixed to one end of the Z-axis piezoelectric element 1331 in the optical axis L direction.
錘部1333は、Z軸圧電素子1331における光軸L方向の他方の端部に固定されている。錘部1333は、錘部1133と同様に、Z軸駆動シャフト1332よりも重くなるように設計されている。錘部1333が、Y軸可動体本体部1310に設けられたアクチュエータ保持部1310bに嵌め込まれて固定されることで、Z軸アクチュエータ1330がY軸可動体1300に保持される。 The weight portion 1333 is fixed to the other end of the Z-axis piezoelectric element 1331 in the optical axis L direction. The weight portion 1333, like the weight portion 1133, is designed to be heavier than the Z-axis drive shaft 1332. The Z-axis actuator 1330 is held by the Y-axis movable body 1300 by fitting and fixing the weight portion 1333 to the actuator holding portion 1310b provided in the Y-axis movable body main body 1310.
Z軸圧電素子1331とZ軸駆動シャフト1332との固定、Z軸圧電素子1331と錘部1333との固定、錘部1333とアクチュエータ保持部1310bとの固定には、エポキシ接着剤等の接着剤を用いることができる。 For fixing the Z-axis piezoelectric element 1331 and the Z-axis drive shaft 1332, fixing the Z-axis piezoelectric element 1331 and the weight portion 1333, and fixing the weight portion 1333 and the actuator holding portion 1310b, an adhesive such as an epoxy adhesive is used. Can be used.
次に、レンズキャリア1400の構成の詳細、及びY軸可動体1300によるレンズキャリア1400の支持構成の詳細について説明する。図33に示すように、レンズキャリア1400は、キャリア本体部1410、回止め凸部1420、係合部1430、及びキャリア凸部1440を備えている。 Next, the details of the configuration of the lens carrier 1400 and the details of the support configuration of the lens carrier 1400 by the Y-axis movable body 1300 will be described. As shown in FIG. 33, the lens carrier 1400 includes a carrier main body portion 1410, a rotation stop convex portion 1420, an engaging portion 1430, and a carrier convex portion 1440.
図33〜図35に示すように、レンズキャリア1400は、Y軸可動体1300のY軸可動体本体部1310上において、第1側壁部1311a、第2側壁部1311b、第3側壁部1311c及び第4側壁部1311dで囲まれるように配置される。キャリア本体部1410には、光軸Lを中心とする円形の開口部1410aが設けられている。キャリア本体部1410に設けられた開口部1410aと、Y軸可動体本体部1310に設けられた開口部1310aとは、略同じ大きさとなっている。キャリア本体部1410の開口部1410aには、レンズ4Aが取り付けられる。すなわち、開口部1410aの壁面が、レンズ4Aを取り付けるためのレンズ取付部1410bとなる。このように、キャリア本体部1410にレンズ取付部1410bが設けられていることで、レンズキャリア1400は、レンズ4Aを保持可能となる。レンズ4Aは、複数のレンズで構成されたレンズユニットであってもよく、単一のレンズであってもよい。 As shown in FIGS. 33 to 35, the lens carrier 1400 has a first side wall portion 1311a, a second side wall portion 1311b, a third side wall portion 1311c, and a third side wall portion 1311c on the Y-axis movable body main body portion 1310 of the Y-axis movable body 1300. 4 Arranged so as to be surrounded by the side wall portion 1311d. The carrier main body 1410 is provided with a circular opening 1410a centered on the optical axis L. The opening 1410a provided in the carrier main body 1410 and the opening 1310a provided in the Y-axis movable body 1310 have substantially the same size. A lens 4A is attached to the opening 1410a of the carrier main body 1410. That is, the wall surface of the opening 1410a serves as a lens mounting portion 1410b for mounting the lens 4A. By providing the lens mounting portion 1410b on the carrier main body portion 1410 in this way, the lens carrier 1400 can hold the lens 4A. The lens 4A may be a lens unit composed of a plurality of lenses, or may be a single lens.
回止め凸部1420は、キャリア本体部1410の外周面から光軸Lに直交する方向に沿って突出している。また、回止め凸部1420は、キャリア本体部1410の外周面において光軸Lに沿って延在している。回止め凸部1420は、上述したY軸可動体1300の切欠き部1312に嵌り込む。回止め凸部1420の形状および寸法は、切欠き部1312の形状及び寸法とほぼ同じであるが、切欠き部1312のほうがわずかに大きく、回止め凸部1420を切欠き部1312に嵌め込むことができる。レンズキャリア1400の回止め凸部1420とY軸可動体1300の切欠き部1312との嵌合により、レンズキャリア1400の光軸L周りの回転が抑制されている。 The rotation stop convex portion 1420 projects from the outer peripheral surface of the carrier main body portion 1410 along the direction orthogonal to the optical axis L. Further, the rotation stop convex portion 1420 extends along the optical axis L on the outer peripheral surface of the carrier main body portion 1410. The rotation stop convex portion 1420 fits into the notch portion 1312 of the Y-axis movable body 1300 described above. The shape and dimensions of the detent convex portion 1420 are almost the same as the shape and dimensions of the notch portion 1312, but the notch portion 1312 is slightly larger, and the detent convex portion 1420 is fitted into the notch portion 1312. Can be done. The rotation of the lens carrier 1400 around the optical axis L is suppressed by the fitting of the rotation stop convex portion 1420 of the lens carrier 1400 and the notch portion 1312 of the Y-axis movable body 1300.
係合部1430は、Z軸アクチュエータ1330のZ軸駆動シャフト1332に係合する部材である。係合部1430は、弾性を有する金属製部材であり、キャリア本体部1410の外周面に取り付けられている。係合部1430と回止め凸部1420とは、光軸Lを挟んで互いに略対向している。 The engaging portion 1430 is a member that engages with the Z-axis drive shaft 1332 of the Z-axis actuator 1330. The engaging portion 1430 is an elastic metal member, and is attached to the outer peripheral surface of the carrier main body portion 1410. The engaging portion 1430 and the rotating stop convex portion 1420 are substantially opposed to each other with the optical axis L interposed therebetween.
係合部1430は、Z軸駆動シャフト1332に摩擦係合するZ軸摩擦係合部1431と、押さえ部材1432とを備えている。Z軸摩擦係合部1431は、略V字状に形成されている。Z軸摩擦係合部1431において、略V字状の内側面(第1内側面1431a、第2内側面1431b)が、Z軸駆動シャフト1332の外周面に当接している。より詳細には、Z軸摩擦係合部1431(第1内側面1431a、第2内側面1431b)は、Z軸駆動シャフト1332の外周面における光軸L側の部位に当接している。押さえ部材1432は、Z軸摩擦係合部1431とによってZ軸駆動シャフト1332を挟み込んでいる。押さえ部材1432は、弾性を有している。押さえ部材1432の弾性によってZ軸摩擦係合部1431がZ軸駆動シャフト1332側に付勢されることで、Z軸摩擦係合部1431がZ軸駆動シャフト1332に摩擦係合する。 The engaging portion 1430 includes a Z-axis friction engaging portion 1431 that frictionally engages with the Z-axis drive shaft 1332, and a pressing member 1432. The Z-axis friction engaging portion 1431 is formed in a substantially V shape. In the Z-axis friction engaging portion 1431, a substantially V-shaped inner surface surface (first inner surface surface 1431a, second inner surface surface 1431b) is in contact with the outer peripheral surface of the Z-axis drive shaft 1332. More specifically, the Z-axis friction engaging portion 1431 (first inner side surface 1431a, second inner side surface 1431b) is in contact with a portion on the outer peripheral surface of the Z-axis drive shaft 1332 on the optical axis L side. The pressing member 1432 sandwiches the Z-axis drive shaft 1332 with the Z-axis friction engaging portion 1431. The pressing member 1432 has elasticity. The Z-axis friction engaging portion 1431 is urged toward the Z-axis drive shaft 1332 by the elasticity of the pressing member 1432, so that the Z-axis friction engaging portion 1431 is frictionally engaged with the Z-axis drive shaft 1332.
係合部1430のZ軸摩擦係合部1431がZ軸アクチュエータ1330のZ軸駆動シャフト1332に摩擦係合した状態で、Z軸圧電素子1331が光軸L方向に伸縮することで、レンズキャリア1400が光軸L方向に移動させられる。このように、Z軸アクチュエータ1330は、Y軸可動体1300とレンズキャリア1400とを連結し、Y軸可動体1300に対してレンズキャリア1400をZ軸方向に移動させる。 The lens carrier 1400 is formed by expanding and contracting the Z-axis piezoelectric element 1331 in the optical axis L direction while the Z-axis friction engaging portion 1431 of the engaging portion 1430 is frictionally engaged with the Z-axis drive shaft 1332 of the Z-axis actuator 1330. Is moved in the L direction of the optical axis. In this way, the Z-axis actuator 1330 connects the Y-axis movable body 1300 and the lens carrier 1400, and moves the lens carrier 1400 with respect to the Y-axis movable body 1300 in the Z-axis direction.
キャリア凸部1440は、キャリア本体部1410の外周面に設けられ、キャリア本体部1410の外周面から光軸Lに直交する方向に沿って突出している。キャリア凸部1440は、キャリア本体部1410の外周面において、係合部1430の近傍に設けられている。 The carrier convex portion 1440 is provided on the outer peripheral surface of the carrier main body portion 1410, and projects from the outer peripheral surface of the carrier main body portion 1410 along the direction orthogonal to the optical axis L. The carrier convex portion 1440 is provided on the outer peripheral surface of the carrier main body portion 1410 in the vicinity of the engaging portion 1430.
図34等に示されるように、Z軸アクチュエータ1330の少なくとも一部は、光軸L方向においてレンズキャリア1400と重なっている。すなわち、Z軸アクチュエータ1330の少なくとも一部は、光軸L方向に直交する方向から見たときに、レンズキャリア1400と重なっている。 As shown in FIG. 34 and the like, at least a part of the Z-axis actuator 1330 overlaps with the lens carrier 1400 in the optical axis L direction. That is, at least a part of the Z-axis actuator 1330 overlaps with the lens carrier 1400 when viewed from a direction orthogonal to the optical axis L direction.
図36に示すように、補助部材1500は、光軸L方向に沿って見たときに、レンズキャリア1400を囲む略四角枠形状をなしている。補助部材1500は、Y軸可動体1300に取り付けられている。 As shown in FIG. 36, the auxiliary member 1500 has a substantially square frame shape surrounding the lens carrier 1400 when viewed along the optical axis L direction. The auxiliary member 1500 is attached to the Y-axis movable body 1300.
なお、説明の便宜上、光軸L方向に沿って見たときに、補助部材1500の外周縁を構成する4つの辺を、それぞれ辺H1051、辺H1052、辺H1053、及び辺H1054という。図36及び図32に示すように、辺H1051は、補助部材1500がY軸可動体1300に重ねられた状態で光軸L方向に沿って見たときに、光軸Lに対してY軸可動体1300の辺H1031側に位置する辺である。同様に、辺H1052は、光軸Lに対してY軸可動体1300の辺H1032側に位置する辺である。辺H1053は、光軸Lに対してY軸可動体1300の辺H1033側に位置する辺である。辺H1054は、光軸Lに対してY軸可動体1300の辺H1034側に位置する辺である。 For convenience of explanation, the four sides constituting the outer peripheral edge of the auxiliary member 1500 when viewed along the optical axis L direction are referred to as side H1051, side H1052, side H1053, and side H1054, respectively. As shown in FIGS. 36 and 32, the side H1051 is movable with respect to the optical axis L when viewed along the optical axis L direction in a state where the auxiliary member 1500 is superposed on the Y-axis movable body 1300. It is a side located on the side H1031 side of the body 1300. Similarly, the side H1052 is a side located on the side H1032 side of the Y-axis movable body 1300 with respect to the optical axis L. The side H1053 is a side located on the side H1033 side of the Y-axis movable body 1300 with respect to the optical axis L. The side H1054 is a side located on the side H1034 side of the Y-axis movable body 1300 with respect to the optical axis L.
また、辺H1051と辺H1054とが接続されることで形成される角部を、角部K1という。同様に、辺H1054と辺H1052とが接続されることで形成される角部を、角部K2という。辺H1052と辺H1053とが接続されることで形成される角部を、角部K3という。辺H1053と辺H1051とが接続されることで形成される角部を、角部K4という。 Further, the corner portion formed by connecting the side H1051 and the side H1054 is referred to as a corner portion K1. Similarly, the corner portion formed by connecting the side H1054 and the side H1052 is referred to as a corner portion K2. The corner portion formed by connecting the side H1052 and the side H1053 is referred to as a corner portion K3. The corner portion formed by connecting the side H1053 and the side H1051 is referred to as a corner portion K4.
補助部材1500の角部K1は、Y軸可動体1300の第1側壁部1311aに支持(固定)されている。角部K2は、Y軸可動体1300の第2側壁部1311bに支持(固定)されている。角部K3は、Y軸可動体1300の第3側壁部1311cに支持(固定)されている。角部K4は、Y軸可動体1300の第4側壁部1311dに支持(固定)されている。 The corner portion K1 of the auxiliary member 1500 is supported (fixed) to the first side wall portion 1311a of the Y-axis movable body 1300. The corner portion K2 is supported (fixed) to the second side wall portion 1311b of the Y-axis movable body 1300. The corner portion K3 is supported (fixed) to the third side wall portion 1311c of the Y-axis movable body 1300. The corner portion K4 is supported (fixed) to the fourth side wall portion 1311d of the Y-axis movable body 1300.
補助部材1500は、Z軸アクチュエータ1330のZ軸駆動シャフト1332を光軸L方向に移動可能に支持している。補助部材1500は、Z軸駆動シャフト1332の外周面に少なくとも2点で接することで、Z軸アクチュエータ1330を支持する。より詳細には、光軸L方向に沿って見たときに、Z軸アクチュエータ1330は、補助部材1500の枠内において、角部K3の内側に位置している。角部K3の内側面がZ軸駆動シャフト1332の外周面に当接することで、補助部材1500がZ軸アクチュエータ1330を支持している。光軸L方向に沿って見たときに、角部K3の内側面と、係合部1430のZ軸摩擦係合部1431とによってZ軸駆動シャフト1332が挟み込まれている。 The auxiliary member 1500 supports the Z-axis drive shaft 1332 of the Z-axis actuator 1330 so as to be movable in the optical axis L direction. The auxiliary member 1500 supports the Z-axis actuator 1330 by contacting the outer peripheral surface of the Z-axis drive shaft 1332 at at least two points. More specifically, when viewed along the optical axis L direction, the Z-axis actuator 1330 is located inside the corner portion K3 within the frame of the auxiliary member 1500. The auxiliary member 1500 supports the Z-axis actuator 1330 by abutting the inner surface of the corner portion K3 on the outer peripheral surface of the Z-axis drive shaft 1332. When viewed along the L direction of the optical axis, the Z-axis drive shaft 1332 is sandwiched between the inner surface of the corner portion K3 and the Z-axis friction engaging portion 1431 of the engaging portion 1430.
本実施形態では、辺H1053の内側部分に支持凸部1510が設けられている。光軸Lに沿って見たときに、Z軸駆動シャフト1332は、支持凸部1510と辺H1052との間に位置している。Z軸駆動シャフト1332は、辺H1053においては、支持凸部1510よりも辺H1052側の部位、及び支持凸部1510の辺H1052側を向く部位の2カ所で支持されている。また、Z軸駆動シャフト1332は、辺H1052においては、辺H1053が接続される側の端部近傍の部位の1カ所で支持されている。これにより、Z軸駆動シャフト1332は、角部K3において、合計3カ所で支持されている。 In the present embodiment, the support convex portion 1510 is provided on the inner portion of the side H1053. When viewed along the optical axis L, the Z-axis drive shaft 1332 is located between the support convex portion 1510 and the side H1052. The Z-axis drive shaft 1332 is supported on the side H1053 at two locations, a portion on the side H1052 side of the support convex portion 1510 and a portion of the support convex portion 1510 facing the side H1052 side. Further, the Z-axis drive shaft 1332 is supported at one position on the side H1052 near the end on the side to which the side H1053 is connected. As a result, the Z-axis drive shaft 1332 is supported at a total of three locations at the corners K3.
図37に示すように、補助部材1500の辺H1052の内側には、段部1520が設けられている。段部1520は、辺H1052におけるY軸可動体本体部1310側に対して反対側の端部が光軸L側に向かって張り出すことによって形成されている。段部1520におけるY軸可動体1300側を向く面を補助部材側当接部1521とする。補助部材側当接部1521は、光軸L方向に沿って見たときに、キャリア凸部1440の一部と重なっている。キャリア凸部1440における補助部材側当接部1521と対向する面をキャリア側当接部1441とする。すなわち、キャリア側当接部1441は、キャリア凸部1440におけるY軸可動体本体部1310側の面に対して反対側の面である。 As shown in FIG. 37, a step portion 1520 is provided inside the side H1052 of the auxiliary member 1500. The step portion 1520 is formed by projecting an end portion on the side H1052 opposite to the Y-axis movable body main body portion 1310 side toward the optical axis L side. The surface of the step portion 1520 facing the Y-axis movable body 1300 side is referred to as an auxiliary member side contact portion 1521. The auxiliary member side contact portion 1521 overlaps a part of the carrier convex portion 1440 when viewed along the optical axis L direction. The surface of the carrier convex portion 1440 facing the auxiliary member side contact portion 1521 is referred to as the carrier side contact portion 1441. That is, the carrier-side contact portion 1441 is a surface of the carrier convex portion 1440 opposite to the surface of the Y-axis movable body main body portion 1310 side.
このように、補助部材1500の補助部材側当接部1521と、レンズキャリア1400のキャリア側当接部1441とが光軸L方向において対向している。これにより、レンズキャリア1400がY軸可動体1300に対して光軸L方向に所定距離離れた位置に移動したときに、補助部材側当接部1521とキャリア側当接部1441とが当接し、レンズキャリア1400における光軸L方向の移動が制限される。このように、補助部材側当接部1521及びキャリア側当接部1441は、レンズキャリア1400における光軸L方向の移動を制限するキャリアストッパ機構として機能する。 In this way, the auxiliary member-side contact portion 1521 of the auxiliary member 1500 and the carrier-side contact portion 1441 of the lens carrier 1400 face each other in the optical axis L direction. As a result, when the lens carrier 1400 moves to a position separated by a predetermined distance in the optical axis L direction with respect to the Y-axis movable body 1300, the auxiliary member side contact portion 1521 and the carrier side contact portion 1441 come into contact with each other. The movement of the lens carrier 1400 in the L direction of the optical axis is restricted. As described above, the auxiliary member-side contact portion 1521 and the carrier-side contact portion 1441 function as a carrier stopper mechanism that limits the movement of the lens carrier 1400 in the optical axis L direction.
図36に示すように、キャリアストッパ機構を構成する補助部材側当接部1521(段部1520)及びキャリア側当接部1441(キャリア凸部1440)は、補助部材1500の角部のうちZ軸アクチュエータ1330が配置された角部K3に設けられている。 As shown in FIG. 36, the auxiliary member side contact portion 1521 (step portion 1520) and the carrier side contact portion 1441 (carrier convex portion 1440) constituting the carrier stopper mechanism are formed on the Z axis of the corner portions of the auxiliary member 1500. It is provided at the corner K3 where the actuator 1330 is arranged.
次に、各アクチュエータに接続される電気配線、X軸可動体1200等の位置を検出するセンサ、及び各センサに接続される電気配線について説明する。まず、ベース部材1100に設けられる電気配線及びセンサについて説明する。図21に示すように、ベース本体部1110におけるX軸可動体1200が重ねられる側の面には、ホールセンサHS1001001、ホールセンサHS1002、及び電気配線W1101〜W1118が設けられている。 Next, the electric wiring connected to each actuator, the sensor for detecting the position of the X-axis movable body 1200 and the like, and the electric wiring connected to each sensor will be described. First, the electrical wiring and the sensor provided in the base member 1100 will be described. As shown in FIG. 21, a hall sensor HS1001001, a hall sensor HS1002, and electrical wirings W1101 to W1118 are provided on the surface of the base main body 1110 on the side on which the X-axis movable body 1200 is overlapped.
ホールセンサHS1001は、ベース部材1100に対してX軸方向に移動するX軸可動体1200の位置を検出する位置センサとして機能する。ホールセンサHS1001は、ベース本体部1110において開口部1110aよりも辺H1013側に設けられている。ホールセンサHS1001には、電気配線W1101〜W1104の一端側が接続されている。電気配線W1101〜W1104の他端側は、ベース本体部1110の辺H1013まで延びている。 The Hall sensor HS1001 functions as a position sensor that detects the position of the X-axis movable body 1200 that moves in the X-axis direction with respect to the base member 1100. The Hall sensor HS1001 is provided in the base main body portion 1110 on the side H1013 side of the opening 1110a. One end side of the electrical wirings W1101 to W1104 is connected to the hall sensor HS1001. The other end of the electrical wirings W1101 to W1104 extends to the side H1013 of the base body 1110.
電気配線W1105及びW1106の一端側はX軸アクチュエータ1130のX軸圧電素子1131に接続され、他端側はベース本体部1110の辺H1013まで延びている。電気配線W1105及びW1106は、X軸圧電素子1131に電力を供給する。 One end side of the electric wirings W1105 and W1106 is connected to the X-axis piezoelectric element 1131 of the X-axis actuator 1130, and the other end side extends to the side H1013 of the base main body portion 1110. The electrical wirings W1105 and W1106 supply electric power to the X-axis piezoelectric element 1131.
ベース本体部1110における辺H1013と辺H1012とが接続される角部には、凹状の接続点P1031及びP1032が設けられている。電気配線W1107及びW1108の一端側は、それぞれ接続点P1031及びP1032まで延び、他端側はベース本体部1110の辺H1013まで延びている。ベース本体部1110における辺H1013と辺H1011とが接続される角部には、凹状の接続点P1041及びP1042が設けられている。電気配線W1109及びW1110の一端側は、それぞれ接続点P1041及びP1042まで延び、他端側はベース本体部1110の辺H1013まで延びている。 Concave connection points P1031 and P1032 are provided at the corners of the base body 1110 where the sides H1013 and the sides H1012 are connected. One end side of the electrical wiring W1107 and W1108 extends to the connection points P1031 and P1032, respectively, and the other end side extends to the side H1013 of the base main body 1110. Concave connection points P1041 and P1042 are provided at the corners of the base main body 1110 where the sides H1013 and the sides H1011 are connected. One end side of the electrical wiring W1109 and W1110 extends to the connection points P1041 and P1042, respectively, and the other end side extends to the side H1013 of the base main body portion 1110.
ホールセンサHS1002は、ベース部材1100に対してY軸方向に移動するY軸可動体1300の位置を検出する位置センサとして機能する。ホールセンサHS1002は、ベース本体部1110において辺H1011と辺H1014とが接続される角部近傍の位置に設けられている。ホールセンサHS1002は、ベース本体部1110においてY軸可動体1300側に向けて隆起する隆起部1110c上に設けられている。ホールセンサHS1002には、電気配線W1111〜W1114の一端側が接続されている。電気配線W1111〜W1114の他端側は、ベース本体部1110の辺H1014まで延びている。 The Hall sensor HS1002 functions as a position sensor that detects the position of the Y-axis movable body 1300 that moves in the Y-axis direction with respect to the base member 1100. The Hall sensor HS1002 is provided at a position near the corner portion where the side H1011 and the side H1014 are connected in the base main body portion 1110. The Hall sensor HS1002 is provided on a raised portion 1110c that is raised toward the Y-axis movable body 1300 side in the base main body portion 1110. One end side of the electrical wirings W1111 to W1114 is connected to the hall sensor HS1002. The other end of the electrical wirings W1111 to W1114 extends to the side H1014 of the base body 1110.
なお、図23に示すように、X軸可動体1200のX軸可動体本体部1210は、ホールセンサHS1002及び隆起部1110cと干渉しないように、光軸L方向に沿って見たときにホールセンサHS1002及び隆起部1110cを避けた形状となっている。 As shown in FIG. 23, the X-axis movable body main body 1210 of the X-axis movable body 1200 is a hall sensor when viewed along the optical axis L direction so as not to interfere with the hall sensor HS1002 and the raised portion 1110c. The shape avoids the HS1002 and the raised portion 1110c.
図21に示すように、ベース本体部1110における辺H1011と辺H1014とが接続される角部には、凹状の接続点P1011及びP1012が設けられている。電気配線W1115及びW1116の一端側は、それぞれ接続点P1011及びP1012まで延び、他端側はベース本体部1110の辺H1014まで延びている。ベース本体部1110における辺H1012と辺H1014とが接続される角部には、凹状の接続点P1021及びP1022が設けられている。電気配線W1117及びW1118の一端側は、それぞれ接続点P1021及びP1022まで延び、他端側はベース本体部1110の辺H1014まで延びている。 As shown in FIG. 21, concave connection points P1011 and P1012 are provided at the corners where the sides H1011 and the sides H1014 are connected in the base main body 1110. One end side of the electrical wiring W1115 and W1116 extends to the connection points P1011 and P1012, respectively, and the other end side extends to the side H1014 of the base main body 1110. Concave connection points P1021 and P1022 are provided at the corners of the base main body 1110 where the sides H1012 and the sides H1014 are connected. One end side of the electrical wiring W1117 and W1118 extends to the connection points P1021 and P1022, respectively, and the other end side extends to the side H1014 of the base main body 1110.
接続点P1011の開口の縁部は、凹状の底部側に向けて径が小さくなる略テーパ状に形成されている。接続点P1012,P1021,P1022,P1031,P1032,P1041及びP1042の開口の縁部についても、接続点P1011の開口の縁部と同様に、略テーパ状に形成されている。 The edge of the opening of the connection point P1011 is formed in a substantially tapered shape whose diameter decreases toward the concave bottom side. The edges of the openings of the connection points P1012, P1021, P1022, P1031, P1032, P1041 and P1042 are also formed in a substantially tapered shape, similarly to the edges of the openings of the connection point P1011.
次に、X軸可動体1200に設けられる電気配線等について説明する。図23に示すように、X軸可動体1200には、磁石MG1001、電気配線W1201及びW1202が設けられている。磁石MG1001は、X軸可動体本体部1210におけるY軸可動体1300が重ねられる側の面において、第1凸部1211と第2凸部1212との間の位置に設けられた凹部内に取り付けられている。なお、ベース部材1100に設けられたホールセンサHS1001と磁石MG1001とは、光軸L方向において位置が重なっている。ホールセンサHS1001は、X軸可動体本体部1210と共に移動する磁石MG1001の磁界の変化に基づいて、ベース部材1100に対するX軸可動体1200の位置を検出する。X軸アクチュエータ1130は、ホールセンサHS1001の検出結果に基づいてフィードバック制御される。 Next, the electrical wiring and the like provided on the X-axis movable body 1200 will be described. As shown in FIG. 23, the X-axis movable body 1200 is provided with magnets MG1001, electrical wirings W1201 and W1202. The magnet MG1001 is mounted in a recess provided at a position between the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 on the surface of the X-axis movable body main body 1210 on the side on which the Y-axis movable body 1300 is overlapped. ing. The Hall sensor HS1001 provided on the base member 1100 and the magnet MG1001 overlap in position in the L direction of the optical axis. The Hall sensor HS1001 detects the position of the X-axis movable body 1200 with respect to the base member 1100 based on the change in the magnetic field of the magnet MG1001 that moves together with the X-axis movable body main body 1210. The X-axis actuator 1130 is feedback-controlled based on the detection result of the Hall sensor HS1001.
立上がり部1260の張出部1260aにおいてY軸可動体1300側の面には、接続点Q1041及びQ1042が設けられている。接続点Q1041及びQ1042は、張出部1260aを光軸L方向において貫通する孔状となっている。接続点Q1041及びQ1042におけるY軸可動体1300側の開口の縁部は、ベース部材1100側の開口に向けて径が小さくなる略テーパ状に形成されている。 Connection points Q1041 and Q1042 are provided on the surface of the rising portion 1260 on the overhanging portion 1260a on the Y-axis movable body 1300 side. The connection points Q1041 and Q1042 have a hole shape that penetrates the overhanging portion 1260a in the L direction of the optical axis. The edges of the openings on the Y-axis movable body 1300 side at the connection points Q1041 and Q1042 are formed in a substantially tapered shape in which the diameter decreases toward the openings on the base member 1100 side.
X軸可動体1200がベース部材1100に対してX軸基準位置に位置している状態において、光軸Lに沿って見たときに、接続点Q1041及びQ1042は、ベース本体部1110に設けられた接続点P1041及びP1042とそれぞれ位置が一致している。なお、このX軸基準位置とは、ベース部材1100に対してX軸可動体1200をX軸方向に移動させる前の位置(初期位置)である。一例として、X軸可動体1200のX軸摩擦係合部1240がベース部材1100の第1凸部1111と第2凸部1112との中間に位置するときのX軸可動体1200の位置である。 When the X-axis movable body 1200 is located at the X-axis reference position with respect to the base member 1100 and viewed along the optical axis L, the connection points Q1041 and Q1042 are provided on the base main body portion 1110. The positions coincide with the connection points P1041 and P1042, respectively. The X-axis reference position is a position (initial position) before the X-axis movable body 1200 is moved in the X-axis direction with respect to the base member 1100. As an example, it is the position of the X-axis movable body 1200 when the X-axis friction engaging portion 1240 of the X-axis movable body 1200 is located between the first convex portion 1111 and the second convex portion 1112 of the base member 1100.
電気配線W1201及びW1202の一端側はY軸アクチュエータ1230のY軸圧電素子1231に接続され、他端側は張出部1260aに設けられた接続点Q1041及びQ1042までそれぞれ延びている。電気配線W1201及びW1202は、Y軸圧電素子1231に電力を供給する。 One end side of the electrical wiring W1201 and W1202 is connected to the Y-axis piezoelectric element 1231 of the Y-axis actuator 1230, and the other end side extends to the connection points Q1041 and Q1042 provided in the overhanging portion 1260a, respectively. The electrical wirings W1201 and W1202 supply electric power to the Y-axis piezoelectric element 1231.
X軸可動体1200の立上がり部1260に設けられた電気配線W1201と、ベース部材1100に設けられた電気配線(第1電力供給配線)W1109とは、導電性を有するサスペンションワイヤ(第1サスペンションワイヤ)SW1041によって接続されている。立上がり部1260に設けられた電気配線W1202と、ベース部材1100に設けられた電気配線(第1電力供給配線)W1110とは、導電性を有するサスペンションワイヤ(第1サスペンションワイヤ)SW1042によって接続されている。このように、レンズ駆動装置1Aは、ベース部材1100とX軸可動体1200とを接続する2本のサスペンションワイヤSW1041及びSW1042を備えている。Y軸アクチュエータ1230は、サスペンションワイヤSW1041及びSW1042を介してベース部材1100に設けられた電気配線W1109及びW1110にそれぞれ接続される。 The electrical wiring W1201 provided on the rising portion 1260 of the X-axis movable body 1200 and the electrical wiring (first power supply wiring) W1109 provided on the base member 1100 are conductive suspension wires (first suspension wire). It is connected by SW1041. The electric wiring W1202 provided on the rising portion 1260 and the electric wiring (first power supply wiring) W1110 provided on the base member 1100 are connected by a conductive suspension wire (first suspension wire) SW1042. .. As described above, the lens driving device 1A includes two suspension wires SW1041 and SW1042 that connect the base member 1100 and the X-axis movable body 1200. The Y-axis actuator 1230 is connected to the electrical wirings W1109 and W1110 provided on the base member 1100 via suspension wires SW1041 and SW1042, respectively.
具体的には、サスペンションワイヤSW1041の一端は接続点P1041に挿入され、他端は接続点Q1041に通されている。サスペンションワイヤSW1041と電気配線W1109とは、接続点P1041においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。なお、接続点P1041の開口の縁部がテーパ状に形成されていることにより、ハンダ又は導電ペースト等を接続点P1041内に流し込みやすくなり、サスペンションワイヤSW1041と電気配線W1109とを容易に接続できる。また、サスペンションワイヤSW1041を容易に実装することができる。接続点P1042等の他の接続点と、サスペンションワイヤSW1042等の他のサスペンションワイヤとの接続においても、接続点の開口の縁部がテーパ状に形成されているため、接続点P1041の場合と同様の効果を奏する。サスペンションワイヤSW1041と電気配線W1201とは、接続点Q1041においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。 Specifically, one end of the suspension wire SW1041 is inserted into the connection point P1041 and the other end is passed through the connection point Q1041. The suspension wire SW1041 and the electrical wiring W1109 are connected to each other at the connection point P1041 by solder, conductive paste, or the like. Since the edge of the opening of the connection point P1041 is formed in a tapered shape, solder or conductive paste or the like can be easily poured into the connection point P1041, and the suspension wire SW1041 and the electric wiring W1109 can be easily connected. Further, the suspension wire SW1041 can be easily mounted. Also in the connection between another connection point such as the connection point P1042 and another suspension wire such as the suspension wire SW1042, the edge of the opening of the connection point is formed in a tapered shape, so that it is the same as in the case of the connection point P1041. Play the effect of. The suspension wire SW1041 and the electrical wiring W1201 are connected to each other at the connection point Q1041 by solder, conductive paste, or the like.
サスペンションワイヤSW1042の一端は接続点P1042に挿入され、他端は接続点Q1042に通されている。サスペンションワイヤSW1042と電気配線W1110とは、接続点P1042においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。サスペンションワイヤSW1042と電気配線W1202とは、接続点Q1042においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。 One end of the suspension wire SW1042 is inserted into the connection point P1042, and the other end is passed through the connection point Q1042. The suspension wire SW1042 and the electrical wiring W1110 are connected to each other at the connection point P1042 by solder, conductive paste, or the like. The suspension wire SW1042 and the electrical wiring W1202 are connected to each other at the connection point Q1042 by solder, conductive paste, or the like.
ここで、図29に示すように、張出部1260aは、Y軸可動体本体部1310におけるX軸可動体1200側の面よりも、光軸L方向においてレンズキャリア1400側に位置している。すなわち、張出部1260aに設けられた電気配線W1201及びW1202とサスペンションワイヤSW1041及びSW1042とのそれぞれの接続位置は、Y軸可動体本体部1310におけるX軸可動体1200側の面よりも、光軸L方向においてレンズキャリア1400側に位置している。X軸可動体1200に立上がり部1260を設けてサスペンションワイヤSW1041及びSW1042の一端を接続することにより、X軸可動体1200側の電気配線W1201及びW1202とサスペンションワイヤSW1041及びSW1042との接続位置をベース部材1100から離す(遠い位置にする)ことができる。 Here, as shown in FIG. 29, the overhanging portion 1260a is located closer to the lens carrier 1400 in the optical axis L direction than the surface of the Y-axis movable body main body 1310 on the X-axis movable body 1200 side. That is, the connection positions of the electrical wirings W1201 and W1202 provided on the overhanging portion 1260a and the suspension wires SW1041 and SW1042 are located on the optical axis of the Y-axis movable body main body 1310 with respect to the surface on the X-axis movable body 1200 side. It is located on the lens carrier 1400 side in the L direction. By providing a rising portion 1260 on the X-axis movable body 1200 and connecting one end of the suspension wires SW1041 and SW1042, the connection position between the electrical wirings W1201 and W1202 on the X-axis movable body 1200 side and the suspension wires SW1041 and SW1042 is set as a base member. It can be separated from 1100 (far away).
次に、Y軸可動体1300に設けられる電気配線等について説明する。図19及び図29に示すように、Y軸可動体1300には、ホールセンサHS1003、磁石MG1002、電気配線W1301〜W1306が設けられている。磁石MG1002は、Y軸可動体本体部1310における第1側壁部1311aが立ち上がる角部に設けられている。なお、ベース部材1100に設けられたホールセンサHS1002と磁石MG1002とは、光軸L方向において位置が重なっている。ホールセンサHS1002は、Y軸可動体本体部1310と共に移動する磁石MG1002の磁界の変化に基づいて、ベース部材1100に対するY軸可動体1300の位置を検出する。Y軸アクチュエータ1230は、ホールセンサHS1002の検出結果に基づいてフィードバック制御される。 Next, the electrical wiring and the like provided on the Y-axis movable body 1300 will be described. As shown in FIGS. 19 and 29, the Y-axis movable body 1300 is provided with a hall sensor HS1003, a magnet MG1002, and electrical wirings W1301 to W1306. The magnet MG1002 is provided at a corner portion of the Y-axis movable body main body portion 1310 where the first side wall portion 1311a rises. The Hall sensor HS1002 provided on the base member 1100 and the magnet MG1002 overlap in position in the L direction of the optical axis. The Hall sensor HS1002 detects the position of the Y-axis movable body 1300 with respect to the base member 1100 based on the change in the magnetic field of the magnet MG1002 that moves together with the Y-axis movable body main body 1310. The Y-axis actuator 1230 is feedback-controlled based on the detection result of the Hall sensor HS1002.
第1配線接続部1321における補助部材1500側の面には、接続点Q1011及びQ1012が設けられている。接続点Q1011及びQ1012は、第1配線接続部1321を光軸L方向において貫通する孔状となっている。接続点Q1011及びQ1012における補助部材1500側の開口の縁部は、ベース部材1100側の開口に向けて径が小さくなる略テーパ状に形成されている。 Connection points Q1011 and Q1012 are provided on the surface of the first wiring connection portion 1321 on the side of the auxiliary member 1500. The connection points Q1011 and Q1012 have a hole shape that penetrates the first wiring connection portion 1321 in the optical axis L direction. The edges of the openings on the auxiliary member 1500 side at the connection points Q1011 and Q1012 are formed in a substantially tapered shape in which the diameter decreases toward the openings on the base member 1100 side.
第2配線接続部1322における補助部材1500側の面には、接続点Q1021及びQ1022が設けられている。接続点Q1021及びQ1022は、第2配線接続部1322を光軸L方向において貫通する孔状となっている。接続点Q1021及びQ1022における補助部材1500側の開口の縁部は、ベース部材1100側の開口に向けて径が小さくなる略テーパ状に形成されている。 Connection points Q1021 and Q1022 are provided on the surface of the second wiring connection portion 1322 on the auxiliary member 1500 side. The connection points Q1021 and Q1022 have a hole shape that penetrates the second wiring connection portion 1322 in the optical axis L direction. The edges of the openings on the auxiliary member 1500 side at the connection points Q1021 and Q1022 are formed in a substantially tapered shape in which the diameter decreases toward the openings on the base member 1100 side.
第3配線接続部1323における補助部材1500側の面には、接続点Q1031及びQ1032が設けられている。接続点Q1031及びQ1032は、第3配線接続部1323を光軸L方向において貫通する孔状となっている。接続点Q1031及びQ1032における補助部材1500側の開口の縁部は、ベース部材1100側の開口に向けて径が小さくなる略テーパ状に形成されている。 Connection points Q1031 and Q1032 are provided on the surface of the third wiring connection portion 1323 on the side of the auxiliary member 1500. The connection points Q1031 and Q1032 have a hole shape that penetrates the third wiring connection portion 1323 in the optical axis L direction. The edges of the openings on the auxiliary member 1500 side at the connection points Q1031 and Q1032 are formed in a substantially tapered shape in which the diameter decreases toward the openings on the base member 1100 side.
Y軸可動体1300がベース部材1100に対してY軸基準位置に位置し、且つX軸可動体1200がベース部材1100に対してX軸基準位置に位置している状態において、光軸Lに沿って見たときに、接続点Q1011及びQ1012は、ベース本体部1110に設けられた接続点P1011及びP1012とそれぞれ位置が一致している。同様に、接続点Q1021及びQ1022は、ベース本体部1110に設けられた接続点P1021及びP1022とそれぞれ位置が一致している。接続点Q1031及びQ1032は、ベース本体部1110に設けられた接続点P1031及びP1032とそれぞれ位置が一致している。 Along the optical axis L in a state where the Y-axis movable body 1300 is located at the Y-axis reference position with respect to the base member 1100 and the X-axis movable body 1200 is located at the X-axis reference position with respect to the base member 1100. When viewed, the connection points Q1011 and Q1012 are in the same positions as the connection points P1011 and P1012 provided on the base main body 1110, respectively. Similarly, the connection points Q1021 and Q1022 are in the same positions as the connection points P1021 and P1022 provided in the base main body 1110, respectively. The positions of the connection points Q1031 and Q1032 coincide with those of the connection points P1031 and P1032 provided in the base main body 1110, respectively.
なお、このY軸基準位置とは、X軸可動体1200がX軸基準位置に位置し、且つ、ベース部材1100に対してY軸可動体1300をY軸方向に移動させる前の位置(初期位置)である。一例として、X軸可動体1200がX軸基準位置に位置し、且つ、Y軸可動体1300のY軸摩擦係合部1340がX軸可動体1200の第1凸部1211と第2凸部1212との中間に位置するときのY軸可動体1300の位置である。 The Y-axis reference position is a position (initial position) before the X-axis movable body 1200 is located at the X-axis reference position and the Y-axis movable body 1300 is moved in the Y-axis direction with respect to the base member 1100. ). As an example, the X-axis movable body 1200 is located at the X-axis reference position, and the Y-axis friction engaging portion 1340 of the Y-axis movable body 1300 is the first convex portion 1211 and the second convex portion 1212 of the X-axis movable body 1200. It is the position of the Y-axis movable body 1300 when it is located in the middle of.
ホールセンサHS1003は、Y軸可動体1300に対して光軸L方向に移動するレンズキャリア1400の位置を検出する位置センサとして機能する。ホールセンサHS1003は、第2側壁部1311bにおける開口部1310a側の面に設けられている。ホールセンサHS1003には、電気配線W1301〜W1304の一端側が接続されている。電気配線(第2電気配線)W1301及びW1302の他端側は、第1配線接続部1321に設けられた接続点Q1011及びQ1012までそれぞれ延びている。電気配線(第1電気配線)W1303及びW1304の他端側は、第2配線接続部1322に設けられた接続点Q1021及びQ1022までそれぞれ延びている(図19参照)。 The Hall sensor HS1003 functions as a position sensor that detects the position of the lens carrier 1400 that moves in the L direction of the optical axis with respect to the Y-axis movable body 1300. The Hall sensor HS1003 is provided on the surface of the second side wall portion 1311b on the opening 1310a side. One end side of the electrical wirings W1301 to W1304 is connected to the hall sensor HS1003. The other ends of the electrical wiring (second electrical wiring) W1301 and W1302 extend to the connection points Q1011 and Q1012 provided in the first wiring connection portion 1321, respectively. The other ends of the electrical wiring (first electrical wiring) W1303 and W1304 extend to the connection points Q1021 and Q1022 provided in the second wiring connection portion 1322, respectively (see FIG. 19).
電気配線W1305及びW1306の一端側はZ軸アクチュエータ1330のZ軸圧電素子1331に接続され、他端側は第3配線接続部1323に設けられた接続点Q1031及びQ1032までそれぞれ延びている。電気配線W1305及びW1306は、Z軸圧電素子1331に電力を供給する。 One end side of the electrical wiring W1305 and W1306 is connected to the Z-axis piezoelectric element 1331 of the Z-axis actuator 1330, and the other end side extends to the connection points Q1031 and Q1032 provided in the third wiring connection portion 1323, respectively. The electrical wirings W1305 and W1306 supply power to the Z-axis piezoelectric element 1331.
Y軸可動体1300の第1配線接続部1321に設けられた電気配線W1301と、ベース部材1100に設けられた電気配線W1115とは、導電性を有するサスペンションワイヤSW1011によって接続されている。第1配線接続部1321に設けられた電気配線W1302と、ベース部材1100に設けられた電気配線W1116とは、導電性を有するサスペンションワイヤSW1012によって接続されている。 The electric wiring W1301 provided in the first wiring connection portion 1321 of the Y-axis movable body 1300 and the electric wiring W1115 provided in the base member 1100 are connected by a suspension wire SW1011 having conductivity. The electric wiring W1302 provided in the first wiring connection portion 1321 and the electric wiring W1116 provided in the base member 1100 are connected by a conductive suspension wire SW1012.
具体的には、サスペンションワイヤSW1011の一端は接続点P1011に挿入され、他端は接続点Q1011に通されている。サスペンションワイヤSW1011と電気配線W1115とは、接続点P1011においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。サスペンションワイヤSW1011と電気配線W1301とは、接続点Q1011においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。また、サスペンションワイヤSW1012の一端は接続点P1012に挿入され、他端は接続点Q1012に通されている。サスペンションワイヤSW1012と電気配線W1116とは、接続点P1012においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。サスペンションワイヤSW1012と電気配線W1302とは、接続点Q1012においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。 Specifically, one end of the suspension wire SW1011 is inserted into the connection point P1011 and the other end is passed through the connection point Q1011. The suspension wire SW1011 and the electrical wiring W1115 are connected to each other at the connection point P1011 by solder, conductive paste, or the like. The suspension wire SW1011 and the electrical wiring W1301 are connected to each other at the connection point Q1011 by solder, conductive paste, or the like. Further, one end of the suspension wire SW1012 is inserted into the connection point P1012, and the other end is passed through the connection point Q1012. The suspension wire SW1012 and the electrical wiring W1116 are connected to each other at the connection point P1012 by solder, conductive paste, or the like. The suspension wire SW1012 and the electrical wiring W1302 are connected to each other at the connection point Q1012 by solder, conductive paste, or the like.
Y軸可動体1300の第2配線接続部1322に設けられた電気配線W1303と、ベース部材1100に設けられた電気配線W1117とは、導電性を有するサスペンションワイヤSW1021によって接続されている(図19参照)。第2配線接続部1322に設けられた電気配線W1304と、ベース部材1100に設けられた電気配線W1118とは、導電性を有するサスペンションワイヤSW1022によって接続されている。 The electric wiring W1303 provided in the second wiring connection portion 1322 of the Y-axis movable body 1300 and the electric wiring W1117 provided in the base member 1100 are connected by a conductive suspension wire SW1021 (see FIG. 19). ). The electric wiring W1304 provided in the second wiring connection portion 1322 and the electric wiring W1118 provided in the base member 1100 are connected by a conductive suspension wire SW1022.
具体的には、サスペンションワイヤSW1021の一端は接続点P1021に挿入され、他端は接続点Q1021に通されている。サスペンションワイヤSW1021と電気配線W1117とは、接続点P1021においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。サスペンションワイヤSW1021と電気配線W1303とは、接続点Q1021においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。また、サスペンションワイヤSW1022の一端は接続点P1022に挿入され、他端は接続点Q1022に通されている。サスペンションワイヤSW1022と電気配線W1118とは、接続点P1022においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。サスペンションワイヤSW1022と電気配線W1304とは、接続点Q1022においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。 Specifically, one end of the suspension wire SW1021 is inserted into the connection point P1021 and the other end is passed through the connection point Q1021. The suspension wire SW1021 and the electrical wiring W1117 are connected to each other at the connection point P1021 by solder, conductive paste, or the like. The suspension wire SW1021 and the electrical wiring W1303 are connected to each other at the connection point Q1021 by solder, conductive paste, or the like. Further, one end of the suspension wire SW1022 is inserted into the connection point P1022, and the other end is passed through the connection point Q1022. The suspension wire SW1022 and the electrical wiring W1118 are connected to each other at the connection point P1022 by solder, conductive paste, or the like. The suspension wire SW1022 and the electrical wiring W1304 are connected to each other at the connection point Q1022 by solder, conductive paste, or the like.
Y軸可動体1300の第3配線接続部1323に設けられた電気配線W1305と、ベース部材1100に設けられた電気配線(第2電力供給配線)W1107とは、導電性を有するサスペンションワイヤ(第2サスペンションワイヤ)SW1031によって接続されている(図19参照)。第3配線接続部1323に設けられた電気配線W1306と、ベース部材1100に設けられた電気配線(第2電力供給配線)W1108とは、導電性を有するサスペンションワイヤ(第2サスペンションワイヤ)SW1032によって接続されている。このように、レンズ駆動装置1Aは、ベース部材1100とY軸可動体1300とを接続する2本のサスペンションワイヤSW1031及びSW1032を備えている。Z軸アクチュエータ1330は、サスペンションワイヤSW1031及びSW1032を介してベース部材1100に設けられた電気配線W1107及びW1108にそれぞれ接続される。 The electric wiring W1305 provided in the third wiring connection portion 1323 of the Y-axis movable body 1300 and the electric wiring (second power supply wiring) W1107 provided in the base member 1100 are a conductive suspension wire (second). Suspension wire) It is connected by SW1031 (see FIG. 19). The electrical wiring W1306 provided in the third wiring connection portion 1323 and the electrical wiring (second power supply wiring) W1108 provided in the base member 1100 are connected by a conductive suspension wire (second suspension wire) SW1032. Has been done. As described above, the lens driving device 1A includes two suspension wires SW1031 and SW1032 that connect the base member 1100 and the Y-axis movable body 1300. The Z-axis actuator 1330 is connected to the electrical wirings W1107 and W1108 provided on the base member 1100 via the suspension wires SW1031 and SW1032, respectively.
具体的には、サスペンションワイヤSW1031の一端は接続点P1031に挿入され、他端は接続点Q1031に通されている。サスペンションワイヤSW1031と電気配線W1107とは、接続点P1031においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。サスペンションワイヤSW1031と電気配線W1305とは、接続点Q1031においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。また、サスペンションワイヤSW1032の一端は接続点P1032に挿入され、他端は接続点Q1032に通されている。サスペンションワイヤSW1032と電気配線W1108とは、接続点P1032においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。サスペンションワイヤSW1032と電気配線W1306とは、接続点Q1032においてハンダ又は導電ペースト等によって互いに接続されている。 Specifically, one end of the suspension wire SW1031 is inserted into the connection point P1031, and the other end is passed through the connection point Q1031. The suspension wire SW1031 and the electrical wiring W1107 are connected to each other at the connection point P1031 by solder, conductive paste, or the like. The suspension wire SW1031 and the electrical wiring W1305 are connected to each other at the connection point Q1031 by solder, conductive paste, or the like. Further, one end of the suspension wire SW1032 is inserted into the connection point P1032, and the other end is passed through the connection point Q1032. The suspension wire SW1032 and the electrical wiring W1108 are connected to each other at the connection point P1032 by solder, conductive paste, or the like. The suspension wire SW1032 and the electrical wiring W1306 are connected to each other at the connection point Q1032 by solder, conductive paste, or the like.
Y軸可動体1300に設けられた電気配線W1301〜W1306とサスペンションワイヤSW1011,SW1012,SW1021,SW1022,SW1031及びSW1032との各接続位置は、ベース部材1100からの光軸L方向に沿った高さ位置が互いに略同じである。また、Y軸可動体1300に設けられた電気配線W1301とサスペンションワイヤSW1011との接続位置と、X軸可動体1200に設けられた電気配線W1201とサスペンションワイヤSW1041との接続位置とは、ベース部材1100からの光軸L方向に沿った高さ位置が互いに略同じである。なお、ここでの「高さが互いに略同じ」とは、高さが互いに完全に一致している場合、及び、高さを揃えるという趣旨の範囲で多少の差異がある場合も含む。これにより、サスペンションワイヤSW1011,SW1012,SW1021,SW1022,SW1031,SW1032,SW1041及びSW1042の長さが互いに略同じとなる。 The connection positions of the electrical wirings W1301 to W1306 provided on the Y-axis movable body 1300 and the suspension wires SW1011, SW1012, SW1021, SW1022, SW1031 and SW1032 are height positions along the optical axis L direction from the base member 1100. Are almost the same as each other. Further, the connection position between the electric wiring W1301 provided on the Y-axis movable body 1300 and the suspension wire SW1011 and the connection position between the electric wiring W1201 provided on the X-axis movable body 1200 and the suspension wire SW1041 are the base member 1100. The height positions along the L direction of the optical axis from are substantially the same as each other. The term "heights are substantially the same" as used herein includes the case where the heights are completely the same as each other and the case where there is a slight difference within the scope of making the heights uniform. As a result, the lengths of the suspension wires SW1011, SW1012, SW1021, SW1022, SW1031, SW1032, SW1041 and SW1042 are substantially the same.
図21に示すように、サスペンションワイヤSW1011及びSW1012を一組とし、サスペンションワイヤSW1021及びSW1022を一組とし、サスペンションワイヤSW1031及びSW1032を一組とし、サスペンションワイヤSW1041及びSW1042を一組とする。サスペンションワイヤの各組は、ベース部材1100の4つの角部にそれぞれ位置している。 As shown in FIG. 21, the suspension wires SW1011 and SW1012 are paired, the suspension wires SW1021 and SW1022 are paired, the suspension wires SW1031 and SW1032 are paired, and the suspension wires SW1041 and SW1042 are paired. Each set of suspension wires is located at each of the four corners of the base member 1100.
図29等に示すように、サスペンションワイヤSW1041及びSW1042は、立上がり部1260において外側に向けて張り出す張出部1260aに設けられた電気配線W1201及びW1202に接続される。このように張出部1260aを設けることで、X軸可動体1200がベース部材1100に対してX軸方向に移動した場合に、サスペンションワイヤSW1041及びSW1042が立上がり部1260の基端部に当接することを防止できる。 As shown in FIG. 29 and the like, the suspension wires SW1041 and SW1042 are connected to the electrical wirings W1201 and W1202 provided in the overhanging portion 1260a projecting outward in the rising portion 1260. By providing the overhanging portion 1260a in this way, when the X-axis movable body 1200 moves in the X-axis direction with respect to the base member 1100, the suspension wires SW1041 and SW1042 come into contact with the base end portion of the rising portion 1260. Can be prevented.
また、サスペンションワイヤSW1011及びSW1012は、第1側壁部1311aから外側に向けて張り出す第1配線接続部1321に設けられた電気配線W1301及びW1302に接続される。このように、第1配線接続部1321を設けることで、Y軸可動体1300がベース部材1100に対してX軸方向及びY軸方向に移動した場合に、サスペンションワイヤSW1011及びSW1012が第1側壁部1311aの基端部に当接することを防止できる。第2配線接続部1322側及び第3配線接続部1323側についても同様に、サスペンションワイヤSW1021及びSW1022が第2側壁部1311bの基端部に当接すること、及び、サスペンションワイヤSW1031及びSW1032が第3側壁部1311cの基端部に当接することを防止できる。 Further, the suspension wires SW1011 and SW1012 are connected to the electric wires W1301 and W1302 provided in the first wiring connection portion 1321 protruding outward from the first side wall portion 1311a. By providing the first wiring connection portion 1321 in this way, when the Y-axis movable body 1300 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the base member 1100, the suspension wires SW1011 and SW1012 are moved to the first side wall portion. It is possible to prevent the 1311a from coming into contact with the base end portion. Similarly, on the second wiring connection portion 1322 side and the third wiring connection portion 1323 side, the suspension wires SW1021 and SW1022 abut on the base end portion of the second side wall portion 1311b, and the suspension wires SW1031 and SW1032 are the third. It is possible to prevent the side wall portion 1311c from coming into contact with the base end portion.
次に、レンズキャリア1400に設けられる磁石MG1003について説明する。図35に示すように、キャリア本体部1410におけるホールセンサHS1003と対向する位置には、磁石MG1003が設けられる。ホールセンサHS1003は、キャリア本体部1410と共に移動する磁石MG1003の磁界の変化に基づいて、Y軸可動体1300に対するレンズキャリア1400の位置を検出する。Z軸アクチュエータ1330は、ホールセンサHS1003の検出結果に基づいてフィードバック制御される。 Next, the magnet MG1003 provided on the lens carrier 1400 will be described. As shown in FIG. 35, a magnet MG1003 is provided at a position of the carrier main body 1410 facing the Hall sensor HS1003. The Hall sensor HS1003 detects the position of the lens carrier 1400 with respect to the Y-axis movable body 1300 based on the change in the magnetic field of the magnet MG1003 that moves together with the carrier main body 1410. The Z-axis actuator 1330 is feedback-controlled based on the detection result of the Hall sensor HS1003.
以上のようにレンズ駆動装置1によれば、ベース部材1100、X軸アクチュエータ1130、X軸可動体1200、Y軸アクチュエータ1230、Y軸可動体1300、Z軸アクチュエータ1330、及びレンズキャリア1400の順で各部材が順次連結される。これにより、X軸アクチュエータ1130がベース部材1100に対してX軸可動体1200を移動させた場合、X軸アクチュエータ1130によって、X軸可動体1200からレンズキャリア1400までの部材全体(X軸可動体1200、Y軸アクチュエータ1230、Y軸可動体1300、Z軸アクチュエータ1330、及びレンズキャリア1400)が移動させられる。Y軸アクチュエータ1230がX軸可動体1200に対してY軸可動体1300を移動させた場合、Y軸アクチュエータ1230によって、Y軸可動体1300からレンズキャリア1400までの部材全体(Y軸可動体1300、Z軸アクチュエータ1330、及びレンズキャリア1400)が移動させられる。Z軸アクチュエータ1330がY軸可動体1300に対してレンズキャリア1400を移動させた場合、Z軸アクチュエータ1330によってレンズキャリア1400のみが移動させられる。これにより、X軸アクチュエータ1130、Y軸アクチュエータ1230、及びZ軸アクチュエータ1330がそれぞれ各部材を移動させた場合であっても、部材同士で移動が妨げられることが無い。これにより、レンズ駆動装置1Aは、移動する部材同士でクロストークが生じることを抑制できる。 As described above, according to the lens driving device 1, the base member 1100, the X-axis actuator 1130, the X-axis movable body 1200, the Y-axis actuator 1230, the Y-axis movable body 1300, the Z-axis actuator 1330, and the lens carrier 1400 are in this order. Each member is sequentially connected. As a result, when the X-axis actuator 1130 moves the X-axis movable body 1200 with respect to the base member 1100, the X-axis actuator 1130 causes the entire member from the X-axis movable body 1200 to the lens carrier 1400 (X-axis movable body 1200). , Y-axis actuator 1230, Y-axis movable body 1300, Z-axis actuator 1330, and lens carrier 1400) are moved. When the Y-axis actuator 1230 moves the Y-axis movable body 1300 with respect to the X-axis movable body 1200, the entire member from the Y-axis movable body 1300 to the lens carrier 1400 (Y-axis movable body 1300, The Z-axis actuator 1330 and the lens carrier 1400) are moved. When the Z-axis actuator 1330 moves the lens carrier 1400 with respect to the Y-axis movable body 1300, only the lens carrier 1400 is moved by the Z-axis actuator 1330. As a result, even when the X-axis actuator 1130, the Y-axis actuator 1230, and the Z-axis actuator 1330 move each member, the movement is not hindered between the members. As a result, the lens driving device 1A can suppress the occurrence of crosstalk between the moving members.
レンズ駆動装置1Aは、ベース部材1100とX軸可動体1200とを接続する2本のサスペンションワイヤSW1041及びSW1042を備えている。この場合、レンズ駆動装置1Aは、ベース部材1100に対して移動するY軸アクチュエータ1230に対してサスペンションワイヤSW1041及びSW1042を介して電力を供給できる。 The lens driving device 1A includes two suspension wires SW1041 and SW1042 that connect the base member 1100 and the X-axis movable body 1200. In this case, the lens driving device 1A can supply electric power to the Y-axis actuator 1230 moving with respect to the base member 1100 via the suspension wires SW1041 and SW1042.
レンズ駆動装置1Aは、ベース部材1100とY軸可動体1300とを接続する2本のサスペンションワイヤSW1031及びSW1032を備えている。この場合、レンズ駆動装置1Aは、ベース部材1100に対して移動するZ軸アクチュエータ1330に対してサスペンションワイヤSW1031及びSW1032を介して電力を供給できる。 The lens driving device 1A includes two suspension wires SW1031 and SW1032 that connect the base member 1100 and the Y-axis movable body 1300. In this case, the lens driving device 1A can supply electric power to the Z-axis actuator 1330 moving with respect to the base member 1100 via the suspension wires SW1031 and SW1032.
Z軸アクチュエータ1330の少なくとも一部は、光軸L方向においてレンズキャリア1400と重なっている。この場合、レンズ駆動装置1Aは、低背化が可能となる。 At least a part of the Z-axis actuator 1330 overlaps the lens carrier 1400 in the L direction of the optical axis. In this case, the lens driving device 1A can be reduced in height.
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第1実施形態におけるレンズ駆動装置1は、補助体200及び可動体300に代えて、X軸方向及びY軸方向に移動可能なXY可動体を備えていてもよい。この場合、レンズ駆動装置1は、X軸アクチュエータ130及びY軸アクチュエータ230に代えて、XY可動体をX軸方向及びY軸方向に移動させるXY軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)を備えていてもよい。同様に、第2実施形態におけるレンズ駆動装置1Aは、X軸可動体1200及びY軸可動体1300に代えて、X軸方向及びY軸方向に移動可能なXY可動体を備えていてもよい。この場合、レンズ駆動装置1Aは、X軸アクチュエータ1130及びY軸アクチュエータ1230に代えて、XY可動体をX軸方向及びY軸方向に移動させるXY軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)を備えていてもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, the lens driving device 1 in the first embodiment may include an XY movable body that can move in the X-axis direction and the Y-axis direction instead of the auxiliary body 200 and the movable body 300. In this case, the lens driving device 1 may include an XY-axis actuator (first actuator) that moves the XY movable body in the X-axis direction and the Y-axis direction instead of the X-axis actuator 130 and the Y-axis actuator 230. .. Similarly, the lens driving device 1A in the second embodiment may include an XY movable body that can move in the X-axis direction and the Y-axis direction instead of the X-axis movable body 1200 and the Y-axis movable body 1300. In this case, the lens driving device 1A may include an XY-axis actuator (first actuator) that moves the XY movable body in the X-axis direction and the Y-axis direction instead of the X-axis actuator 1130 and the Y-axis actuator 1230. ..
X軸アクチュエータ130,1130、Y軸アクチュエータ230,1230、及びZ軸アクチュエータ330,1330は、圧電素子を用いた機構以外の機構であってもよい。また、レンズ駆動装置1,1Aは、ホールセンサHS1〜HS3,HS1001〜1003を用いて移動する部材の位置を検出したが、ホールセンサ以外の位置センサを用いてもよい。 The X-axis actuators 130, 1130, the Y-axis actuators 230, 1230, and the Z-axis actuators 330, 1330 may be mechanisms other than the mechanism using the piezoelectric element. Further, although the lens driving devices 1 and 1A have detected the position of the moving member by using the hall sensors HS1 to HS3 and HS1001 to 1003, a position sensor other than the hall sensor may be used.
第1実施形態におけるサスペンションワイヤSW12とサスペンションワイヤSW13とは、ベース本体部110における4つの辺H11〜H14のうち、同じ辺に設けられていてもよい。 The suspension wire SW12 and the suspension wire SW13 in the first embodiment may be provided on the same side of the four sides H11 to H14 of the base main body 110.
1,1A…レンズ駆動装置、4,4A…レンズ、100,1100…ベース部材、110,1110…ベース本体部、110a,1110a…開口部、200…補助体(可動体,X軸可動体)、130,1130…X軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)、230,1230…Y軸アクチュエータ(第1アクチュエータ)、300…可動体(Y軸可動体)、330,1330…Z軸アクチュエータ(第2アクチュエータ)、400,1400…レンズキャリア、1200…X軸可動体(可動体)、1300…Y軸可動体(可動体)、L…光軸、SW12,SW1041,SW1042…サスペンションワイヤ(第1サスペンションワイヤ)、SW13,SW1031,SW1032…サスペンションワイヤ(第2サスペンションワイヤ)、T11〜T13…突起部、W12,W1109,W1110…電気配線(第1電力供給配線)、W13,W1107,W1108…電気配線(第2電力供給配線)。 1,1A ... Lens drive device, 4,4A ... Lens, 100, 1100 ... Base member, 110, 1110 ... Base body, 110a, 1110a ... Opening, 200 ... Auxiliary body (movable body, X-axis movable body), 130, 1130 ... X-axis actuator (first actuator), 230, 1230 ... Y-axis actuator (first actuator), 300 ... movable body (Y-axis movable body), 330, 1330 ... Z-axis actuator (second actuator), 400, 1400 ... Lens carrier 1200 ... X-axis movable body (movable body), 1300 ... Y-axis movable body (movable body), L ... Optical axis, SW12, SW1041, SW1042 ... Suspension wire (first suspension wire), SW13 , SW1031, SW1032 ... Suspension wire (second suspension wire), T11 to T13 ... Protrusions, W12, W1109, W1110 ... Electrical wiring (first power supply wiring), W13, W1107, W1108 ... Electrical wiring (second power supply) wiring).

Claims (9)

  1. レンズを駆動するレンズ駆動装置であって、
    ベース部材と、
    可動体と、
    前記ベース部材と前記可動体とを連結し、前記ベース部材に対して前記可動体をX軸方向及び前記X軸方向に直交するY軸方向に移動させる第1アクチュエータと、
    前記レンズを取り付け可能なレンズキャリアと、
    前記可動体と前記レンズキャリアとを連結し、前記可動体に対して前記レンズキャリアを前記X軸方向及び前記Y軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第2アクチュエータと、を備え
    前記可動体は、X軸可動体と、Y軸可動体とを含み、
    前記第1アクチュエータは、X軸アクチュエータと、Y軸アクチュエータとを含み、
    前記X軸アクチュエータは、前記ベース部材と前記X軸可動体とを連結し、前記ベース部材に対して前記X軸可動体を前記X軸方向に移動させ、
    前記Y軸アクチュエータは、前記X軸可動体と前記Y軸可動体とを連結し、前記X軸可動体に対して前記Y軸可動体を前記Y軸方向に移動させ、
    前記第2アクチュエータは、前記Y軸可動体と前記レンズキャリアとを連結し、前記Y軸可動体に対して前記レンズキャリアを前記Z軸方向に移動させ、
    前記ベース部材と前記X軸可動体とを接続する複数の第1サスペンションワイヤを更に備え、
    前記第1サスペンションワイヤは導電性を有し、
    前記Y軸アクチュエータは、前記第1サスペンションワイヤを介して前記ベース部材に設けられた第1電力供給配線に接続される、レンズ駆動装置。
    It is a lens driving device that drives a lens.
    With the base member
    Movable body and
    A first actuator that connects the base member and the movable body and moves the movable body with respect to the base member in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction.
    A lens carrier to which the lens can be attached and
    A second actuator that connects the movable body and the lens carrier and moves the lens carrier with respect to the movable body in the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction is provided .
    The movable body includes an X-axis movable body and a Y-axis movable body.
    The first actuator includes an X-axis actuator and a Y-axis actuator.
    The X-axis actuator connects the base member and the X-axis movable body, and moves the X-axis movable body with respect to the base member in the X-axis direction.
    The Y-axis actuator connects the X-axis movable body and the Y-axis movable body, and moves the Y-axis movable body with respect to the X-axis movable body in the Y-axis direction.
    The second actuator connects the Y-axis movable body and the lens carrier, and moves the lens carrier in the Z-axis direction with respect to the Y-axis movable body.
    A plurality of first suspension wires for connecting the base member and the X-axis movable body are further provided.
    The first suspension wire has conductivity and
    The Y-axis actuator is a lens driving device connected to a first power supply wiring provided on the base member via the first suspension wire.
  2. レンズを駆動するレンズ駆動装置であって、
    ベース部材と、
    可動体と、
    前記ベース部材と前記可動体とを連結し、前記ベース部材に対して前記可動体をX軸方向及び前記X軸方向に直交するY軸方向に移動させる第1アクチュエータと、
    前記レンズを取り付け可能なレンズキャリアと、
    前記可動体と前記レンズキャリアとを連結し、前記可動体に対して前記レンズキャリアを前記X軸方向及び前記Y軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第2アクチュエータと、を備え
    前記可動体は、X軸可動体と、Y軸可動体とを含み、
    前記第1アクチュエータは、X軸アクチュエータと、Y軸アクチュエータとを含み、
    前記X軸アクチュエータは、前記ベース部材と前記X軸可動体とを連結し、前記ベース部材に対して前記X軸可動体を前記X軸方向に移動させ、
    前記Y軸アクチュエータは、前記X軸可動体と前記Y軸可動体とを連結し、前記X軸可動体に対して前記Y軸可動体を前記Y軸方向に移動させ、
    前記第2アクチュエータは、前記Y軸可動体と前記レンズキャリアとを連結し、前記Y軸可動体に対して前記レンズキャリアを前記Z軸方向に移動させ、
    前記ベース部材と前記Y軸可動体とを接続する複数の第2サスペンションワイヤを更に備え、
    前記第2サスペンションワイヤは導電性を有し、
    前記第2アクチュエータは、前記第2サスペンションワイヤを介して前記ベース部材に設けられた第2電力供給配線に接続される、レンズ駆動装置。
    It is a lens driving device that drives a lens.
    With the base member
    Movable body and
    A first actuator that connects the base member and the movable body and moves the movable body with respect to the base member in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction.
    A lens carrier to which the lens can be attached and
    A second actuator that connects the movable body and the lens carrier and moves the lens carrier with respect to the movable body in the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction is provided .
    The movable body includes an X-axis movable body and a Y-axis movable body.
    The first actuator includes an X-axis actuator and a Y-axis actuator.
    The X-axis actuator connects the base member and the X-axis movable body, and moves the X-axis movable body with respect to the base member in the X-axis direction.
    The Y-axis actuator connects the X-axis movable body and the Y-axis movable body, and moves the Y-axis movable body with respect to the X-axis movable body in the Y-axis direction.
    The second actuator connects the Y-axis movable body and the lens carrier, and moves the lens carrier in the Z-axis direction with respect to the Y-axis movable body.
    A plurality of second suspension wires for connecting the base member and the Y-axis movable body are further provided.
    The second suspension wire has conductivity and
    The second actuator is a lens driving device connected to a second power supply wiring provided on the base member via the second suspension wire.
  3. 前記ベース部材は、前記レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、
    前記ベース本体部は、前記レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、
    前記ベース本体部と前記X軸可動体とは前記光軸方向に沿って並べて配置され、
    複数の前記第1サスペンションワイヤは、隣接する前記角部同士を連結する辺に沿って並べて配置され、前記ベース本体部と前記X軸可動体とをそれぞれ接続している、請求項に記載のレンズ駆動装置。
    The base member includes a base body portion having an opening through which the optical axis of the lens passes.
    The base body is formed in the shape of a substantially rectangular plate having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens.
    The base body and the X-axis movable body are arranged side by side along the optical axis direction.
    The plurality of the first suspension wires are arranged side by side along a side connecting the corners between adjacent, and the base body portion and a said X-axis movable body is connected, according to claim 1 Lens drive device.
  4. 前記ベース部材は、前記レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、
    前記ベース本体部は、前記レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、
    前記ベース本体部と前記Y軸可動体とは前記光軸方向に沿って並べて配置され、
    複数の前記第2サスペンションワイヤは、隣接する前記角部同士を連結する辺に沿って並べて配置され、前記ベース本体部と前記Y軸可動体とをそれぞれ接続している、請求項に記載のレンズ駆動装置。
    The base member includes a base body portion having an opening through which the optical axis of the lens passes.
    The base body is formed in the shape of a substantially rectangular plate having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens.
    The base body and the Y-axis movable body are arranged side by side along the optical axis direction.
    A plurality of said second suspension wires are arranged side by side along a side connecting the corners between adjacent, are connected the base body portion and a said Y-axis movable body respectively, according to claim 2 Lens drive device.
  5. 前記ベース部材と前記Y軸可動体とを接続する複数の第2サスペンションワイヤを更に備え、
    前記第2サスペンションワイヤは導電性を有し、
    前記ベース部材は、前記レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、
    前記ベース本体部は、前記レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、
    前記ベース本体部と前記X軸可動体及び前記Y軸可動体とは前記光軸方向に沿って並べて配置され、
    複数の前記第1サスペンションワイヤは、隣接する前記角部同士を連結する4つの辺のうちの第1の辺に沿って並べて配置され、前記ベース本体部と前記X軸可動体とをそれぞれ接続し、
    複数の前記第2サスペンションワイヤは、隣接する前記角部同士を連結する4つの前記辺のうちの前記第1の辺又は前記第1の辺とは異なる前記辺に沿って並べて配置され、前記ベース本体部と前記Y軸可動体とをそれぞれ接続している、請求項に記載のレンズ駆動装置。
    A plurality of second suspension wires for connecting the base member and the Y-axis movable body are further provided.
    The second suspension wire has conductivity and
    The base member includes a base body portion having an opening through which the optical axis of the lens passes.
    The base body is formed in the shape of a substantially rectangular plate having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens.
    The base body, the X-axis movable body, and the Y-axis movable body are arranged side by side along the optical axis direction.
    The plurality of first suspension wires are arranged side by side along the first side of the four sides connecting the adjacent corners, and connect the base main body and the X-axis movable body, respectively. ,
    The plurality of second suspension wires are arranged side by side along the first side of the four sides connecting the adjacent corners or the side different from the first side, and the base. The lens driving device according to claim 1 , wherein the main body and the Y-axis movable body are connected to each other.
  6. 前記ベース部材は、前記レンズの光軸が通る開口部を有するベース本体部を備え、
    前記ベース本体部は、前記レンズの光軸方向に沿って見たときに、4つの角部を有する略矩形の板状に形成され、
    前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータの少なくともいずれかは、前記レンズの光軸方向に沿って見たときに、前記角部と前記開口部との間の領域に配置されている、請求項1又は2に記載のレンズ駆動装置。
    The base member includes a base body portion having an opening through which the optical axis of the lens passes.
    The base body is formed in the shape of a substantially rectangular plate having four corners when viewed along the optical axis direction of the lens.
    Wherein the first actuator and at least one of said second actuator, when viewed along the optical axis direction of the lens, is disposed in a region between said corners the opening, according to claim 1 Or the lens driving device according to 2.
  7. 前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータの少なくともいずれかは、前記レンズの光軸方向に沿って見たときに、前記角部と前記開口部との間の領域に配置されている、請求項3〜5のいずれか一項に記載のレンズ駆動装置。 Wherein the first actuator and at least one of said second actuator, when viewed along the optical axis direction of the lens, is disposed in a region between said corners the opening, according to claim 3 The lens driving device according to any one of 5 to 5.
  8. 前記Z軸方向と前記レンズの光軸方向とは同じ方向であり、
    前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータの少なくとも一部は、前記レンズの光軸方向において前記レンズキャリアと重なっている、請求項1〜のいずれか一項に記載のレンズ駆動装置。
    The Z-axis direction and the optical axis direction of the lens are the same directions.
    The lens driving device according to any one of claims 1 to 7 , wherein at least a part of the first actuator and the second actuator overlaps with the lens carrier in the optical axis direction of the lens.
  9. 前記ベース部材は、突起部を備え、
    前記可動体は、前記突起部に摺動可能に当接している、請求項1〜のいずれか一項に記載のレンズ駆動装置。
    The base member includes protrusions and
    The lens driving device according to any one of claims 1 to 8 , wherein the movable body is slidably in contact with the protrusion.
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