JP6813900B2 - 流体移送部材の製造方法 - Google Patents
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Description
先ず、本発明に係る流体移送部材の実施の形態について、図1を参照して説明する。図1に示すように、本実施の形態に係る流体移送部材は、対象部材10上に、金属めっき膜20と、ダイヤモンド膜30とを少なくとも備える。
次いで、本発明に係る流体移送部材の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る流体移送部材の製造方法は、金属めっき膜形成工程と、凹部形成工程と、ダイヤモンド膜形成工程とを少なくとも含む。
1.1.無電解ニッケルめっき処理
試験例1では、円板状の対象部材の試験片(厚み:3mm、直径:50mm)を準備し、これに無電解ニッケルめっき処理を施すことによって対象部材上にニッケルめっき膜を成膜した。無電解ニッケルめっき処理は、次亜リン酸塩を還元剤とした硫酸ニッケル浴中で行った。また、試験例2では、試験例1と同様に、対象部材の試験片を準備し、これに無電解ニッケルめっき処理を施した。試験例1では、ニッケルめっき膜の膜厚を25μm程度とし、試験例2では、ニッケルめっき膜の膜厚を20μm程度とした。
試験例1の試験片について、研磨によりニッケルめっき膜の表面に凹部を顕在化した。凹部形成処理後のニッケルめっき膜の膜厚は、試験例2と同様の20μm程度とした。
試験例1及び2の各試験片について、ダイヤモンド膜形成処理として、PBII&D装置を用いた自己放電型プラズマイオン注入成膜法を施した。試験例2の試験片には、ダイヤモンド膜を成膜することはできなかった。試験例1では、ダイヤモンド膜の膜厚を2μm程度とした。
次いで、試験例3として、対象部材にニッケルめっき処理のみを試験例2と同様に施した試験片を準備した。試験例1及び試験例3の各試験片について、ガス曝露試験を施すことにより、これらの耐食性を検証した。具体的には、日本工業規格JIS C60068−2−42(1993)に準拠して、各試験片を、40℃の温度及び80%の相対湿度の条件下で、腐食性ガスとして二酸化硫黄(SO2)の濃度が25ppmの二酸化硫黄ガスに96時間暴露した。
耐食性試験後、試験例1及び試験例3の各試験片に対して、マイクロスコープを用いて各試験例の表面の拡大写真(30倍)を撮影し、目視による外観検査を行うことにより、耐食性を判定した。各試験例の部材の変色、光沢等を鑑みて、その耐食性を「良好」、「腐食あり」と判定した。外観検査の結果を、図2(a1)〜(b2)に示す。また、下記表1に、耐食性試験の結果を示す。
次いで、試験例4として、対象部材にニッケルめっき処理と凹部形成処理を試験例1と同様に施した試験片を準備し、試験例5として、対象部材にニッケルめっき処理のみを試験例2と同様に施した試験片を準備した。試験例4及び5の各試験片に対して、マイクロスコープを用いて各試験例のニッケルめっき膜の表面の拡大写真(2500倍)を撮影し、目視による外観検査を行った。図3(a1)及び(a2)に、試験例4の拡大写真を示し、図3(b1)及び(b2)に、試験例5の拡大写真を示す。
試験例1の試験片に対して、マイクロスコープを用いて試験例1のダイヤモンド膜の表面の拡大写真(2000倍)を撮影し、目視による外観検査を行った。図4に、試験例1の拡大写真を示す。図4に示すように、ニッケルめっき膜上にダイヤモンド膜を成膜した試験例1では、ダイヤモンド膜上に、試験例4と同様の凹部が観察された。
試験例1の各試験片について、スクラッチ試験機(Revetest:CSEM社製)を用いて日本機械学会基準JSME S010(ISO 20502:2005)に準拠したスクラッチ試験を行い、得られた密着強度(N)から対象部材に対する膜の成膜性を検証した。スクラッチ試験では、密着強度として、試験例毎に3つの試験片を準備し、それらの平均値を採用した。試験結果より、ニッケルめっき膜上にダイヤモンド膜を成膜した試験例1の密着強度は、十分な強度であることを確認した。
20 金属めっき膜
20A、30A 凹部
30 ダイヤモンド膜
Claims (8)
- 対象部材にめっき処理を施すことにより、前記対象部材上に金属めっき膜を形成する金属めっき膜形成工程と、
前記金属めっき膜上に凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部を有する金属めっき膜上にドライプロセス法を用いてダイヤモンド膜を形成するダイヤモンド膜形成工程と
を含み、
前記凹部形成工程では、前記金属めっき膜に内在する空部が、穿刺、研磨又は加熱により前記凹部として前記金属めっき膜の表面に顕在化したものであり、1×10-6〜1×10-3個/μm2の前記凹部を前記金属めっき膜上に形成することを特徴とする流体移送部材の製造方法。 - 前記金属めっき膜を、無電解めっき処理を施すことにより形成した無電解ニッケルめっき膜とすることを特徴とする請求項1に記載の流体移送部材の製造方法。
- 前記凹部形成工程では、研磨により前記空部を前記凹部として顕在化することを特徴とする請求項1又は2に記載の流体移送部材の製造方法。
- 前記凹部形成工程では、前記金属めっき膜の表面における開口部を円状と仮定した直径で、30〜100μmの大きさの前記凹部を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の流体移送部材の製造方法。
- 前記金属めっき膜の膜厚を、5〜50μmとし、前記ダイヤモンド膜の膜厚を、1〜20μmとすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の流体移送部材の製造方法。
- 前記金属めっき膜形成工程では、前記めっき処理として無電解ニッケルリンめっき処理を用い、ニッケル−リン合金からなる無電解ニッケルめっき膜を形成することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の流体移送部材の製造方法。
- 前記ダイヤモンド膜形成工程では、前記ドライプロセス法として、アークイオンプレーティング、非平衡マグネトロンスパッタリング、フィルタードアークイオンプレーティング、高周波プラズマCVD法、パルス直流プラズマCVD法、イオン化蒸着法又は自己放電型プラズマイオン注入成膜法を用いて、ダイヤモンドライクカーボン膜を形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の流体移送部材の製造方法。
- 前記ダイヤモンド膜形成工程では、自己放電型プラズマイオン注入成膜法を用いて、ダイヤモンドライクカーボン膜を形成することを特徴とする請求項7に記載の流体移送部材の製造方法。
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