JP6727643B2 - 化合物、表面処理剤、及び表面処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、化合物、表面処理剤、及び表面処理方法に関する。

従来より、無機材料等の表面を化学的修飾による表面処理を行うことで、無機材料等の表面に様々な特性を与えることができる表面処理剤が開発されている。中でも、光分解性の保護基を有する表面処理剤は、光照射により脱保護ができるため、表面の修飾を容易に行うことができ、また、マスキングによって位置選択性を容易にすることができるため、表面改質の時空間的制御が可能である。

一方、ホスホン酸誘導体は、表面処理剤として使用した場合に、安定な自己組織化単分子膜（ＳＡＭ）を形成できることから、近年注目されている。

例えば、特許文献１には、光分解性の２−ニトロベンジルエステルとしてカルボン酸を保護したベンジルホスホン酸誘導体が開示されている。

米国特許第７７３２１１９号明細書

しかしながら、特許文献１に記載されたホスホン酸誘導体は、ＳＡＭの密度、安定性という点では改善の余地があった。

本発明は以上の実情に鑑みてなされたものであり、表面処理剤としての使用に適した、安定性の高い新規な化合物、このような化合物からなる表面処理剤、及び表面処理方法を提供することを目的とする。

本発明者らは、所定の構造を有する化合物が、表面処理剤として使用した場合に、安定なＳＡＭを形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。より具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。

（１） 下記式（Ｉ）で表される化合物。
（Ｒ_１〜Ｒ_４は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基であり、
Ｒ_５は、水素原子又は、置換基としてハロゲン原子を有してもよい炭素数が１〜６であるアルキル基であり、
Ｘは、以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩＩ）のいずれかで表される基であり、
Ｒ_６は、前記Ｘが以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩ）のいずれかで表される基である場合、アルキレン基であり、前記Ｘが以下の式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合、単結合又はアルキレン基である。）

（２） 前記Ｒ_５が、イソプロピル基である、（１）に記載の化合物。

（３） （１）又は（２）に記載の化合物を含有する表面処理剤。

（４） （１）又は（２）に記載の化合物を用いて処理対象物の表面を処理する工程を有する、表面処理方法。

本発明によれば、本発明は以上の実情に鑑みてなされたものであり、表面処理剤としての使用に適した、安定性の高い新規な化合物、このような化合物を含有する表面処理剤、及び表面処理方法を提供することができる。

本発明の式（Ｉ）で表される化合物により表面処理が施され、表面が修飾された処理対象物に対して、光照射を行った場合の光分解反応を示す図である。（ａ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合の反応を示す。（ｂ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＩＶ）又は式（ＶＩＩ）で表される基である場合の反応を示す。（ｃ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＩＩＩ）又は式（ＶＩ）で表される基である場合の反応を示す。（ｄ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＩＩ）又は式（Ｖ）で表される基である場合の反応を示す。 本発明の合成例に係る化合物を用いて、ＩＴＯ基板に対して表面処理を施した後に、光照射を行った後の基板の表面についてＸＰＳ測定を行った際の測定結果を示す図である。 画像を示す図である。（ａ）は、フォトマスクの画像を示す。（ｂ）は、本発明の合成例に係る化合物を用いて表面修飾を行った基板表面に対して、フォトマスクで固定した状態で光照射を行い、次いで蛍光試薬による処理を行った後に、基板表面を蛍光顕微鏡により観察した画像の図を示す。

以下、本発明の実施形態について説明するが、本発明は特にこれに限定されない。

＜化合物＞
本発明の化合物は、以下の式（Ｉ）で表される。
（式（Ｉ）中、Ｒ_１〜Ｒ_４は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基であり、Ｒ_５は、水素原子又は置換基としてハロゲン原子を有してもよい炭素数が１〜６であるアルキル基であり、Ｒ_６は、アルキレン基であり、Ｘは、式（ＩＩ）〜（ＶＩＩＩ）のいずれかで表される基である。）

本発明の式（Ｉ）で表される化合物は、光分解性の保護基として、ニトロベンジル基を有するため、光分解性カップリング剤として機能する。そのため、光照射により脱保護ができるため、表面の修飾を容易に行うことができ、また、マスキングによって位置選択性を容易にすることができるため、表面改質の時空間的制御が可能である。そのため、本発明の式（Ｉ）で表される化合物は、表面処理剤としての使用に適している。そして、本発明の式（Ｉ）で表される化合物は、ホスホン酸誘導体であるところ、表面処理剤として使用した場合、安定なＳＡＭを形成することができるため、高い安定性を有する。その理由は、以下のとおりであると推測される。

特許文献１に記載されたような、従来のホスホン酸誘導体の表面処理剤は、本発明の式（Ｉ）で表される化合物におけるホスホン酸基とＸとに直接結合するＲ_６に相当する炭化水素基が、ベンゼン環を含むものである。これに対し、本発明は、Ｒ_６がアルキレン基であるため、化合物の構造が密になり、結果として、安定なＳＡＭを形成することができるものと推測される。

式（Ｉ）におけるＲ_１〜Ｒ_４は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基であれば、特に限定されない。これらは、式（Ｉ）で表される化合物の光の吸収波長を調整するために、適宜選択することができる。

Ｒ_１〜Ｒ_４のアルキル基は、直鎖であってもよく、分鎖であってもよい。また、Ｒ_１〜Ｒ_４のアルキル基の炭素数は、特に限定されないが、式（Ｉ）で表される化合物を表面処理剤として使用した場合、アルキル基が長すぎると、化合物同士の相互作用が強くなってＳＡＭの構造が密になって安定化するが、逆に光照射に対する感度が低下する可能性がある。つまり、ＳＡＭの安定化と光照射に対する感度の向上のバランスという観点では、Ｒ_１〜Ｒ_４のアルキル基は一定程度短い方が好ましい。より具体的には、Ｒ_１〜Ｒ_４のアルキル基の炭素数は、２５以下であることが好ましく、２０以下であることがより好ましく、１５以下であることが更に好ましく、１２以下であることがより一層好ましく、６以下であることが最も好ましい。また、アルキル基の炭素数の下限は、特に限定されず、例えば、１以上（２以上、４以上、８以上、１０以上、１５以上等）であってもよい。

Ｒ_１〜Ｒ_４のアルコキシ基は、上述のとおり、置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよく、有さなくてもよい。つまり、本明細書において、「置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基」とは、置換基としてパーフルオロアルキル基を有するアルコキシ基又は非置換のアルコキシ基の何れであってもよいことを意味する。

Ｒ_１〜Ｒ_４のアルコキシ基の炭素数は、特に限定されず、例えば、アルコキシ基がパーフルオロアルキル基を有するか否かや、パーフルオロアルキル基を有する場合のパーフルオロアルキル基の炭素数等に応じで、適宜設定することができ、例えば、１以上（２以上、４以上、６以上、８以上、１０以上等）であってもよく、２５以下（２０以下、１８以下、１５以下、１０以下、８以下、４以下等）であってもよい。また、アルコキシ基の炭素鎖は、直鎖であってもよく、分鎖であってもよいが、直鎖であることが好ましい。

アルコキシ基が有してもよいパーフルオロアルキル基の炭素数は、特に限定されず、例えば、上記アルコキシ基の炭素数の数等に応じて、適宜設定することができ、例えば、１以上（２以上、４以上、６以上、８以上、１０以上等）であってもよく、２０以下（１８以下、１４以下、１０以下、８以下、６以下、４以下等）であってもよい。

式（Ｉ）で表される化合物を表面処理剤として使用した場合、パーフルオロアルキル基が長すぎると、化合物同士の相互作用が強くなってＳＡＭの構造が密になって安定化するが、逆に光照射に対する感度が低下する可能性があるため、ＳＡＭの安定化と光照射に対する感度の向上のバランスという観点では、Ｒ_１〜Ｒ_４のアルコキシ基と、該アルコキシ基が有するパーフルオロアルキル基との合計の長さが一定程度短い方が好ましい。より具体的には、Ｒ_１〜Ｒ_４のアルコキシ基と、該アルコキシ基が有するパーフルオロアルキル基との合計の炭素数は、２５以下であることが好ましく、２０以下であることがより好ましく、１５以下であることが更に好ましく、１２以下であることがより一層好ましく、６以下であることが最も好ましい。また、Ｒ_１〜Ｒ_４のアルコキシ基と、該アルコキシ基が有するパーフルオロアルキル基との合計の炭素数の下限は、特に限定されず、例えば、１以上（２以上、４以上、８以上、１０以上、１５以上等）であってもよい。また、アルコキシ基が有してもよいパーフルオロアルキル基の炭素鎖は、直鎖であってもよく、分鎖であってもよいが、直鎖であることが好ましい。

式（Ｉ）におけるＲ_１〜Ｒ_４の組合せとして、化合物を表面処理剤として使用した場合、高い安定性を有することができることから、Ｒ_１、Ｒ_４がいずれも水素原子であり、Ｒ_２、Ｒ_３がいずれも、置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基であることが好ましい。

Ｒ_５は、水素原子又は、置換基としてハロゲン原子を有してもよい炭素数が１〜６であるアルキル基であれば、特に限定されないが、式（Ｉ）で表される化合物を表面処理剤として使用した場合、高い安定性を有することから、Ｒ_５がアルキル基であるときは、炭素数が１〜６の範囲であれば、目的に応じて炭素数を適宜変更してもよい。例えば、２以上（３以上、４以上、５以上等）であってもよく、５以下（４以下、３以下、２以下等）であってもよい。また、Ｒ_５はアルキル基であるとき、直鎖であっても、分鎖であってもよいが、式（Ｉ）で表される化合物を表面処理剤として使用した場合、光照射に対する感度が高いことから、分鎖であることが好ましい。Ｒ_５がアルキル基であるときは、イソプロピル基、ｔ−ブチル基であることが最も好ましい。また、Ｒ_５が有してもよいハロゲン原子は、特に限定されず、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等であってもよい。また、置換されるハロゲン原子の数は特に限定されず、１級炭素に結合した水素原子を、１、２又は３つのハロゲン原子に置換してもよく、２級炭素に結合した水素原子を、１又は２つのハロゲン原子に置換してもよい。

Ｒ_６は、Ｘが式（ＩＩ）〜（ＶＩＩ）のいずれかで表される基である場合、アルキレン基であり、Ｘが式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合、単結合又はアルキレン基である。

Ｒ_６におけるアルキレン基は、特に限定されず、例えば、炭素数は１〜５０であってもよいが、式（Ｉ）で表される化合物を表面処理剤として使用した場合、アルキレン基が長ければ長いほど、アルキレン基の表面積が大きくなり、化合物同士の相互作用が強くなるため、分子間の距離が短くなり、結果的により化合物同士が密な構造となって、安定性の高いＳＡＭを形成することができる。このことから、アルキレン基の炭素数は、多いほど好ましく、より具体的には、５以上であることが好ましく、８以上であることがより好ましく、１２以上であることが更に好ましく、１６以上であることが最も好ましい。他方、別の観点で、アルキレン基が長すぎると、疎水性が強くなるため、表面処理剤と使用する際に、高い親水性を必要とする場合は、短い方が好ましい。例えば、アルキレン基の炭素数は、４０以下であることが好ましく、３０以下であることがより好ましく、２０以下であることが最も好ましい。また、Ｒ_６は、直鎖であっても、分鎖であってもよいが、式（Ｉ）で表される化合物を表面処理剤として使用した場合、アルキレン基の表面積が大きくなり、結果的により高い安定性を有することができることから、直鎖であることが好ましい。

Ｘが式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合、ホスホン酸に炭素原子が直接結合できることから、Ｒ_６は単結合であってもよい。

Ｘは、式（ＩＩ）〜（ＶＩＩＩ）のいずれかで表される基であれば、特に限定されず、用途や目的に応じて、式（ＩＩ）〜（ＶＩＩＩ）の官能基を使い分けることができる。

なお、本願明細書における他の式中のＲ_１〜Ｒ_４、Ｒ_５、Ｒ_６、Ｘは、上記の式（Ｉ）中のＲ_１〜Ｒ_４、Ｒ_５、Ｒ_６、Ｘと同様である。

＜化合物の製造方法＞
本発明の上記式（Ｉ）で表される化合物の製造方法は、特に限定されないが、例えば、以下の工程（Ａ）又は（Ｂ）により、式（５）で表される化合物を合成した後に、工程（Ｃ）により、式（５）で表される化合物におけるホスホン酸エステルの部分を分解し、式（Ｉ）で表される化合物を製造することができる。その合成工程を以下に示す。

式（１）、（３）、（５）中のＲ_７としては、例えば、メチル基、エチル基、トリメチルシリル基、ｔ−ブチル基、その他のアルキル基等が挙げられる。これらは、必要に応じて、適宜好ましいものを選択することができ、例えば、式（５）で表される化合物の合成を行いやすいという観点からは、Ｒ_７は、エチル基であることが好ましい。他方、最終的に得られる式（Ｉ）で表される化合物を得る際に、弱酸で加水分解できることから、ｔ−ブチル基であることが好ましく、あるいは、中性条件で加水分解又は加アルコール分解できることから、トリメチルシリル基であることが好ましい。なお、本明細書における他の式中のＲ_７は、上記の式（１）、（３）、（５）中のＲ_７と同様である。

式（３）中のＸは、第１級アミノ基、チオール基、ヒドロキシ基、又はカルボキシ基のいずれかである。最終的に得られる式（Ｉ）で表される化合物におけるＸが式（ＩＩ）及び式（Ｖ）で表される基である場合、Ｘは第１級アミノ基であり、式（Ｉ）で表される化合物におけるＸが式（ＩＩＩ）及び式（ＶＩ）で表される基である場合、Ｘはチオール基であり、式（Ｉ）で表される化合物におけるＸが式（ＩＶ）及び式（ＶＩＩ）で表される基である場合、Ｘはヒドロキシ基であり、式（Ｉ）で表される化合物におけるＸが式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合、Ｘはカルボキシ基である。

式（４）中のＹは、以下の式（ＩＸ）で表される基か、ヒドロキシ基のいずれかである。式（３）中のＸが、第１級アミノ基、チオール基、又はヒドロキシ基のいずれかである場合、Ｙは、式（ＩＸ）で表される基を用いることが好ましい。式（３）中のＸが、カルボキシ基である場合、Ｙは、ヒドロキシ基であることが好ましい。

以下に、本発明の式（Ｉ）で表される化合物のより具体的な製造方法を説明する。

（工程（Ａ））
工程（Ａ）の合成方法は、例えば、あらかじめニトロベンジル基で保護した臭化物（式（２）で表される化合物）を合成した後に、Ａｒｂｕｚｏｖ反応（Ｐ−Ｃ結合生成反応）により、ホスホン酸エステル（式（５）で表される化合物）を合成することができる。この式（５）で表される化合物を用いて、工程（Ｃ）により、式（Ｉ）で表される化合物を製造することができる。

工程（Ａ）の具体的操作としては、Ａｒｂｕｚｏｖ反応（Ｐ−Ｃ結合生成反応）を生ずるような操作を用いることができ、例えば、式（１）で表される化合物であるトリアルキルホスファイト（トリメチルホスファイト、トリエチルホスファイト、トリストリメチルシリルホスファイト等）と式（２）で表される化合物を加熱させることにより行うことができる。

Ｘが、式（ＩＩ）〜（ＩＶ）で表される基であった場合、工程（Ａ）の前に、例えば、以下のような工程により、式（２−１）で表される化合物を合成し、それを用いて、式（５）で表される化合物（以下の工程では、式（５−１）で表される化合物）を製造することができる。

上記（ａ）の工程は、芳香環のニトロ化を行う操作であり、その具体的方法は、例えば式（６）で表される化合物に濃硝酸（例えば、７０％硝酸等）を作用させることにより行うことができる。

上記（ｂ）の工程は、工程（ａ）で得られたニトロ化合物のカルボニル基の還元によりアルコールへと変換し、式（７）で表される化合物の合成を行う操作であり、その具体的方法は、例えば水素化ホウ素ナトリウムにより行うことができる。また、溶媒としては、メタノール、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）等を用いてもよい。

上記（ｃ）の工程は、式（８）で表される活性カーボナートの合成を行う操作であり、その具体的方法は、例えば式（７）で表される化合物とジ−Ｎ−スクシニミジルカーボナートの反応により行うことができる。また、溶媒としては、ＴＥＡ（トリエチルアミン）、乾燥アセトニトリル等を用いてもよい。

上記（ｄ）の工程は、末端にブロモ基をもつ式（２−１）で表される化合物を合成するための反応を行う操作であり、その具体的方法は、例えば塩基としてのトリエチルアミン存在下で、乾燥された溶媒（例えば、ドライ−ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）等）を用いて、式（９）で表される臭化物と式（８）で表される活性カーボナートとの反応により行うことができる。

Ｘが、式（ＶＩＩＩ）で表される基であった場合、例えば、以下のような工程により式（５）で表される化合物（以下の工程では、式（５−２）で表される化合物）を製造することができる。

上記（ｅ）の工程は、式（９−１）で表されるブロモカルボン酸と式（１０）で表されるアルコールとの脱水縮合反応を行う操作であり、その具体的方法は、例えば脱水縮合剤として水溶性のカルボジイミド（１−（３−ジメチルアミノプロピル）−３−エチルカルボジイミド塩酸塩、ＥＤＣ・ＨＣｌ）、塩基としてＮ，Ｎ−ジエチルアミノピリジン（ＤＭＡＰ）を用いることにより行うことができる。

（工程（Ｂ））
工程（Ｂ）の合成方法は、特に限定されないが、末端に一級アミン、アルコール、チオール、又はカルボン酸の官能基を有するホスホン酸エステル（式（３）で表される化合物）を合成した後に、この化合物に対して、式（４）で表される化合物を用いてニトロベンジル基を導入することによって、式（５）で表される化合物を合成することができる。この式（５）で表される化合物を用いて、工程（Ｃ）により、式（Ｉ）で表される化合物を製造することができる。

工程（Ｂ）の操作は、式（３）で表される化合物に対して、式（４）で表される化合物を用いてニトロベンジル基を導入する操作を用いることができ、具体的には、例えば、上記（ｄ）と同様に、例えば塩基としてのトリエチルアミン存在下で、乾燥された溶媒（例えば、乾燥ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）等）として式（３）で表される化合物と式（４）で表される化合物との反応により行うことができる。

Ｘが、式（ＩＩ）で表される基であった場合、工程（Ｂ）も含め、例えば、以下のような方法により式（Ｉ）で表される化合物を製造することができる。また、この合成工程は、式（Ｉ）で表される化合物が具体的には式（Ｉ−１）で表される化合物である場合の合成工程であり、つまり、Ｒ_７がｔ−ブチル基である場合の合成工程である。Ｒ_７がｔ−ブチル基である場合、特に効率的に、最終的な目的である式（Ｉ）で表される化合物を得られることから、この合成工程は好ましい。また、式（４−１）で表される化合物は、式（４）で表される化合物におけるＹが、式（ＩＸ）で表される基である場合の化合物である。なお、以下の方法における工程（ｊ）は、工程（Ｃ）（詳細は後述する）の一つの工程である。

上記（ｆ）の工程は、上述の工程（Ａ）と同様に、Ａｒｂｕｚｏｖ反応によりホスホン酸を形成する反応を行う操作であり、その具体的方法は、例えば式（１−１）で表されるトリエチルホスファイトと式（１１）で表される臭化物を加熱させることにより行うことができる。

上記（ｇ）の工程は、式（１２）で表されるホスホン酸ジエチルエステルの式（１３）で表されるホスホン酸への変換を行う操作であり、その具体的方法は、例えばトリメチルブロモシランを作用させて一旦トリメチルシリルエステルへ変換した後、加メタノール分解により行うことができる。

上記（ｈ）の工程は、上記（ｇ）の工程により得られた式（１３）で表されるホスホン酸を式（１４）で表されるｔ−ブチルエステルへの変換を行う操作であり、その具体的方法は、例えばｔ−ブチル２，２，２−トリクロロアセトイミダートを反応させることにより行うことができる。溶媒としては、例えば、ジクロロメタン等を用いることができる。

上記（ｉ）の工程は、式（１４）で表されるガブリエル合成の中間体であるフタルイミドの式（３−１）で表されるアミンへの変換を行う操作であり、その具体的方法は、例えばフタルイミドのヒドラジン分解により行うことができる。また、溶媒としては、例えば、エタノール等を用いることができる。

上記（ｊ）の工程は、後述する工程（Ｃ）の方法を用いることができ、例えば、希塩酸分解を用いることができる。溶媒としては、例えば、メタノール等を用いてもよい。

Ｘが式（ＩＩＩ）で表される基であった場合、例えば、以下のような方法により式（５）で表される化合物（以下の工程では、式（５−４）で表される化合物）を合成することができる。

上記（ｋ）の工程は、前述した工程（Ａ）の方法と同様の方法を用いることができる。つまり、（ｋ）の工程は、Ａｒｂｕｚｏｖ反応（Ｐ−Ｃ結合生成反応）を生ずるような操作を用いることができる。例えば、トリアルキルホスファイト（トリメチルホスファイト、トリエチルホスファイト、トリストリメチルシリルホスファイト等）と式（９−２）で表される化合物を加熱させることにより行うことができる。

Ｘが式（ＩＶ）で表される基であった場合、例えば、以下のような方法により式（５）で表される化合物（以下の工程では、式（５−５）で表される化合物）を合成することができる。

上記（ｌ）の工程は、式（９−３）で表されるアルコールに保護基を導入し、式（１５）で表される化合物であるテトラヒドロピラニルエーテルの合成を行う操作であり、その具体的方法は、例えば酸触媒の存在下ジヒドロピランを作用させることにより行うことができる。

上記（ｍ）の工程は、前述した工程（Ａ）の方法と同様の方法を用いることができる。つまり、（ｍ）の工程は、Ａｒｂｕｚｏｖ反応（Ｐ−Ｃ結合生成反応）を生ずるような操作を用いることができる。例えば、トリアルキルホスファイト（トリメチルホスファイト、トリエチルホスファイト、トリストリメチルシリルホスファイト等）と式（１５）で表される化合物を加熱させることにより行うことができる。

上記（ｎ）の工程は、式（１６）で表される化合物の保護基であるテトラヒドロピラニルエーテルの除去を行う操作であり、その具体的方法は、例えばテトラヒドロフラン―水を溶媒とした酢酸による加水分解により行うことができる。

Ｘが、式（Ｖ）、（ＶＩ）、又は（ＶＩＩ）で表される基である場合に、上述の述べた工程（Ｂ）と同様の方法で、式（３）で表される化合物に対して、ニトロベンジル基を導入することによって、式（５）で表される化合物を製造可能である。ただし、Ｘが、式（Ｖ）、式（ＶＩ）、又は（ＶＩＩ）で表される基である場合、上述の式（４）で表される化合物の代わりに、式（４’）で表される化合物を用いることができる。式（４’）で表される化合物は、式（４）で表される化合物におけるＹをＹ_２に置き換えたものである。また、工程（Ｂ）の前に、工程（ｏ）又は工程（ｐ）を行ってもよい。以下に、かかる場合における工程（Ｂ）の具体的態様である工程（Ｂ−１）、（Ｂ−２）及び（Ｂ−３）と、これらの前工程である工程（ｏ）、工程（ｐ）を用いることで、式（５）で表される化合物（以下の工程では、式（５−６）、（５−７）、又は（５−８）で表される化合物）を製造するための反応スキームを示す。

上記の工程（ｏ）及び（ｐ）は、式（７）で表される化合物を、アミン化合物（式（３−１）で表される化合物、チオール化合物（式（３−２）で表される化合物）又はアルコール化合物（式（３−３）で表される化合物）と反応させるための中間体（例えば、式（４’）で表される化合物のような塩化物、臭化物、ｐ−トルエンスルホナート等）に導くための工程である。より具体的には、工程（ｏ）では、例えば、式（７）で表される化合物を三塩化リン又は三臭化リンと反応させることで、式（４’−１）で表される化合物を得ることができる。工程（ｐ）では、例えば、式（７）で表される化合物を塩化ｐ−トルエンスルホニル（式（１７）で表される化合物）と反応させることにより式（４’−２）で表される中間体を得ることができる。なお、Ｙ_２の一つであるＴｓＯとは、以下の式（Ｘ）で表される基である。

工程（Ｂ−１）は、式（３−１）で表されるアミン化合物と式（４’）で表される化合物をカップリングさせて、式（５−６）で表される化合物を合成する操作であり、その具体的な方法は、例えば、水素化ナトリウムにより式（３−２）の化合物をナトリウムアミドとした後、式（４’）で表される化合物と反応させることにより、式（５−６）で表される化合物を得ることができる。

工程（Ｂ−２）は、式（３−２）で表されるチオール化合物と式（４’）で表される化合物をカップリングさせて、式（５−７）で表される化合物を合成する操作であり、その具体的な方法は、例えば、水素化ナトリウムにより式（３−２）の化合物をナトリウムチオラートとした後、式（４’）で表される化合物と反応させることにより、式（５−７）で表される化合物を得ることができる。

工程（Ｂ−３）は、式（３−３）で表されるアルコール化合物と式（４’）で表される中間体をカップリングさせて、式（５−８）で表される化合物を合成する操作であり、その具体的な方法は、水素化ナトリウムにより式（３−３）で表される化合物をナトリウムアルコラートとした後、式（４’）で表される化合物と反応させることにより、式（５−８）で表される化合物を得ることができる。

Ｘが式（ＶＩＩＩ）で表される基であった場合、例えば、以下のような方法により式（５）で表される化合物（以下の工程では、式（５−２）で表される化合物）を合成することができる。

上記（ｑ）の工程は、式（１８）で表されるカルボン酸エチルエステルの加水分解を行う操作であり、その具体的方法は、例えばテトラヒドロフラン中アルカリ水溶液により行うことができる。その後、工程（Ｂ）を経ることにより、式（５）で表される化合物を合成することができる。

（工程（Ｃ））
工程（Ｃ）は、式（５）で表される化合物におけるホスホン酸エステルの部分を分解して、式（Ｉ）を得る方法であり、Ｒ_７の種類に応じて適宜選択することができる。

上記（Ｃ）の工程は、式（５）で表される化合物におけるホスホン酸エステルの部分を分解して、式（Ｉ）で表される化合物を得る操作であれば、特に限定されず、例えば、酸加水分解、シリルエステルに変換後の加アルコール分解により行うことができる。これらの方法の中から、合成に使用する材料や、目的とする化合物の性質に応じて、適切な方法を選択することができる。

式（５）中のＲ_７が、エチル基である場合（以下の工程における式（５−ａ）で表される化合物）、工程（Ｃ）としては、以下の示す工程（Ｃ−１）により、式（Ｉ）で表される化合物を合成することができる。

上記（Ｃ−１）の工程は、上記（Ｃ）の工程を用いることができるが、クロロトリメチルシラン（ＴＭＳ−Ｃｌ）とアルカリ金属ヨウ化物又はブロモトリメチルシランにより行うことが好ましい。また、溶媒として、例えば、メタノール等を用いてもよい。

式（５）中のＲ_７が、トリメチルシリル基である場合（以下の工程における式（５−ｂ）で表される化合物）、工程（Ｃ）としては、以下の示す工程（Ｃ−２）により、式（Ｉ）で表される化合物を合成することができる。

上記（Ｃ−２）の工程は、上記（Ｃ）の工程を用いることができるが、メタノール処理により行うことが好ましい。

式（５）中のＲ_７が、ｔ−ブチル基である場合（以下の工程における式（５−ｃ）で表される化合物）、以下の示す工程により、式（Ｉ）で表される化合物を合成することができる。また、必要に応じて、以下に示すように、工程（ｒ）、上述の工程（Ｂ）を経て、以下の式（５−ｃ）で表される化合物を合成してもよい。

上記（ｒ）の工程は、式（１９）で表される化合物のジｔ−ブチルエステルへの変換を行う操作であり、その具体的方法は、例えばｔ−ブチル２，２，２−トリクロロアセトイミダートでの処理により行うことができる。また、溶媒として、例えば、ジクロロメタン等を用いてもよい。

上記（Ｃ−３）の工程は、上記（Ｃ）の工程を用いることができるが、希塩酸処理により行うことが好ましい。また、溶媒として、例えば、メタノール等を用いてもよい。

＜表面処理剤＞
本発明は、上記で述べた式（Ｉ）で表される化合物を含有する表面処理剤を包含する。式（Ｉ）におけるＲ_６が、アルキレン基であるため、安定なＳＡＭを形成することができる。

本発明の表面処理剤は、処理対象物の表面を処理して修飾するために用いられるものであれば、その用途は特に限定されない。例えば、上記で述べた式（Ｉ）で表される化合物におけるホスホン酸基と、処理対象物の表面にあるヒドロキシ基とを脱水縮合反応させて、その表面を修飾するために用いることができる。

＜表面処理方法＞
本発明は、上記式（Ｉ）で表される化合物を用いて処理対象物の表面を処理する工程を有する、表面処理方法を包含する。

（表面処理工程）
本発明の表面処理方法における表面処理工程は、上記式（Ｉ）で表される化合物を用いて処理対象物の表面を処理する工程を有する。

処理対象物とは、上記式（Ｉ）で表される化合物が処理される対象の物を指し、より具体的には、その表面に、上記式（Ｉ）におけるホスホン酸基と、例えば、脱水縮合反応等を行うことで表面が修飾されるものである。上記式（Ｉ）におけるホスホン酸基と脱水縮合反応をする基とは、例えば、ヒドロキシ基のことを指す。

処理対象物の処理される対象となる表面は、無機材料であってもよく、有機材料であってもよいが、無機材料であることが好ましい。無機材料としては、金属（表面の酸化層との反応による）及び金属酸化物、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：インジウム錫酸化物）、シリコン、シリカゲル、ガラス、アルミナ、酸化チタン、酸化ジルコニウム、マイカ等が挙げられる。有機材料としては、例えば、ポリエステル、ポリカ―ボナート、ポリイミド、カーボンナノチューブ、グラフェン等が挙げられる。

処理対象物の表面を処理する方法は、特に限定されず、上記式（Ｉ）で表される化合物を直接処理対象物の表面に塗布してもよく、あるいは、化合物が溶解する溶媒（例えば、エタノール、２―プロパノール、テトラヒドロフラン等）に溶かした状態で、処理対象物の表面に塗布してもよい。また、上記式（Ｉ）で表される化合物を直接処理対象物の表面に塗布等を行って表面を修飾した後に、その表面に対して光照射を行い表面から光分解性基を脱離させ、表面に官能基を導入してもよい。更に、表面に導入された官能基に対して、官能基と反応可能な基を反応させ、更に表面を修飾してもよい。

処理対象物の処理される表面の形状は、特に限定されないが、平面状であってもよく、球面状であってもよく、あるいはこれらのいずれの部分も含んでいてもよい。

（その他）
本発明の表面処理方法は、上記の表面処理工程以外の従来の公知の工程を含んでもよく、含まなくてもよい。

例えば、上記の表面処理工程の前に、処理対象物を洗浄（液体による洗浄、超音波洗浄等）、乾燥、ＵＶ照射等の前処理を行う工程があってもよい。

図１に、式（Ｉ）で表される化合物により表面処理が施され、表面が修飾された処理対象物（図１の左側）に対して、光照射を行った後（図１の右側）の光分解反応を示す。図１中、（ａ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合の反応を示す。（ｂ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＩＶ）又は式（ＶＩＩ）で表される基である場合の反応を示す。（ｃ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＩＩＩ）又は式（ＶＩ）で表される基である場合の反応を示す。（ｄ）は、式（Ｉ）におけるＸが、式（ＩＩ）又は式（Ｖ）で表される基である場合の反応を示す。また、図１の左側に示される処理対象物の表面は、式（Ｉ）で表される化合物におけるホスホン酸と、処理対象物の表面にあるヒドロキシ基とが表面処理により脱水縮合されたものである。

＜合成例＞
［１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル Ｎ−スクシニミジル カ―ボナートの合成］
窒素雰囲気下で、１００ｍＬ二口ナスフラスコに１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロパノール２．７９ｇ（１０．９ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）（式（２０）で表される化合物）、ドライ−アセトニトリル４５ｍＬ、トリエチルアミン３．３１ｇ（４．５５ｍＬ，３２．７ｍｍｏｌ，３．０ｅｑ．）、ジ（Ｎ−スクシニミジル）カ―ボナート４．１０ｇ（１６．０ｍｍｏｌ，１．５ｅｑ．）（式（２１）で表される化合物）を入れ、室温で１６時間攪拌を行った。Ｈ_２Ｏ１００ｍＬ，２ＮＨＣｌ １７ｍＬを加えた後、酢酸エチル１００ｍＬを加えて分液を行ったがエマルジョンが起きたため、ｓａｔ．ＮａＣｌａｑ．（飽和塩化ナトリウム水溶液）１５ｍＬを加えた。その後、更に酢酸エチル１００ｍＬを一回、５０ｍＬを一回加えて、計２５０ｍＬの有機層を抽出し、乾燥（無水ＭｇＳＯ_４）を行った。その後、濃縮、再結晶（酢酸エチル，室温）、吸引ろ過、真空乾燥を行い、１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル Ｎ−スクシニミジル カ―ボナート（式（４−ａ）で表される化合物）を得た。得られた結晶は、淡黄色結晶であった。収量は、３．１６ｇ（７．９２ｍｍｏｌ）であり、収率７３％であった。式（４−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
Ｒｆ ０．４０（ヘキサン：酢酸エチル＝１：１）
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ）４００ＭＨｚ
δ＝１．０４ａｎｄ１．１０（６Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．８）
＝２．２８（１Ｈ，ｍ）
＝２．７９（４Ｈ，ｓ）
＝３．９６ａｎｄ４．０６（６Ｈ，ｓ）
＝６．４１（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝４．８）
＝６．９８（１Ｈ，ｓ）
＝７．６７（１Ｈ，ｓ）

ＦＴ−ＩＲ（ＫＢｒ）
１７４７ｃｍ^−１（Ｃ＝Ｏ）
１７８３ｃｍ^−１（Ｃ＝Ｏ，スクシニミジル）
１５２１，１３７４ｃｍ^−１（ＮＯ_２）

［１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル（３−（ジエトキシホスホリル）プロピル）カルバマートの合成］
３０ｍＬ二口ナスフラスコにジ−ｔｅｒｔ−ブチル ３−アミノプロピルホスホナート（式（３−ａ−１）で表される化合物）０．５５２ｇ（２．２０ｍｍｏｌ，１．２ｅｑ．）、ドライ−ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）２ｍＬ，１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル Ｎ−スクシニミジル カ―ボナート（式（４−ａ）で表される化合物）０．７３７ｇ（１．８３ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）を加えて３５℃で４時間攪拌した。水３０ｍＬを加えクロロホルム３０ｍＬで３回で抽出した。その後、乾燥（無水ＭｇＳＯ４）、カラムクロマトグラフィー（条件：ジクロロメタン：メタノール＝１９：１，直径４．５ｃｍ，高さ２５ｃｍ）、濃縮、真空乾燥を行い、黄色粘体の１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル Ｎ−（３−（ジ−ｔｅｒｔ−ブチルホスホリル）プロピル）カルバマート（式（５−ｃ−１）で表される化合物）を得た。収量８３２ｍｇ（１．５６ｍｍｏｌ）であり、収率８５％であった。式（５−ｃ−１）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
Ｒｆ０．４３（ジクロロメタン：メタノール＝１９：１）
^１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ）４００ＭＨｚ
δ＝０．９７３（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．１）ａｎｄ０．９９２（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．１）
＝１．４７（９Ｈ，ｓ） ａｎｄ １．４９（９Ｈ，ｓ）
＝１．６４（２Ｈ，ｍ）
＝１．７６（２Ｈ，ｍ）
＝２．１４（１Ｈ，ｍ）
＝３．２３（２Ｈ，ｍ）
＝３．９３ ａｎｄ ３．９５（３Ｈ×２，ｓ×２）
＝５．３６（１Ｈ，ｓ）
＝６．２４（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝５．６）
＝６．９２（１Ｈ，ｓ）
＝７．６０（１Ｈ，ｓ）

^１３Ｃ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ）１００ＭＨｚ
δ＝１７．２，１９．４（ｓ）
＝２３．７（ｄ，Ｊ＝５．５）
＝２７．５（ｄ，Ｊ＝１４６）
＝３０．４（ｔ，Ｊ＝３．３）
＝３３．４（ｓ）
＝４１．１（ｄ，Ｊ＝１４．３）
＝５６．３，５６．４（ｓ）
＝７５．６（ｓ）
＝８１．８（ｑ，Ｊ＝５．５）
＝１０７．９（ｓ））
＝１０９．０（ｓ）
＝１３２．１（ｓ）
＝１４０．７（ｓ）
＝１４７．７（ｓ）
＝１５３．０（ｓ）
＝１５５．８（ｓ）
^３１Ｐ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／８５％ＰＯ４Ｈ３）１６０ＭＨｚ
δ＝２３．５
ＦＴ−ＩＲ
３２７１ｃｍ^−１（ＮＨ_２）
１７２３ｃｍ^−１（Ｃ＝Ｏ）
１５

［（３−（（（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）カルボニル）アミノ）プロピル）ホスホン酸の合成］
２５ｍＬナスフラスコに１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル Ｎ−（３−（ジ−ｔｅｒｔ−ブチルホスホリル）プロピル）カルバマート（式（５−ｃ−１）で表される化合物）１０１ｍｇ（１．９０×１０^−４ｍｏｌ），メタノール５ｍＬ，２Ｎ ＨＣＬ水溶液１１ｍＬの順に加え、室温で２４時間攪拌させた。水１０ｍＬ，５％ＮａＨＣＯ_３水溶液３０ｍＬを加え溶液が塩基性になっていることを確認してからクロロホルム１００ｍＬを加え、水層を洗浄した。次に、塩基性の水層を２Ｎ ＨＣｌ水溶液で酸性にしてから、酢酸エチル１００ｍＬで５回抽出し、乾燥（無水ＭｇＳＯ_４）、ろ過、濃縮、真空乾燥（７０℃）を行い、（３−（（（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）カルボニル）アミノ）プロピル）ホスホン酸（式（Ｉ−ａ）で表される化合物）の黄色固体を得た。収量６９ｍｇ（１．４８×１０^−４ｍｏｌ）、収率６９％であった。式（Ｉ−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
^１Ｈ−ＮＭＲ（ＭｅＯＨ−ｄ^４／ＴＭＳ）４００ＭＨｚ
δ＝０．９７１（３Ｈ， ｄ， Ｊ＝２．８）ａｎｄ ０．９８８（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝３．１）
＝１．５８−１．７８（４Ｈ，ｍ）
＝２．２１（１Ｈ，ｓｅｐｔ）
＝３．１１（２Ｈ，ｔ）
＝３．９０−３．９２（６Ｈ，ｓ）
＝６．６１（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝５．４）
＝７．０５（１Ｈ，ｓ）
＝７．６７（１Ｈ，ｓ）

^１３Ｃ−ＮＭＲ（ＭｅＯＨ−ｄ４／ＴＭＳ）４００ ＭＨｚ
δ＝１７．６，１９．８（ｓ）
＝２４．６（ｄ，Ｊ＝４．３）
＝２５．５（ｄ，Ｊ＝１４０）
＝３４．６（ｓ）
＝４２．２（ｄ，Ｊ＝１９．２）
＝５６．８，５６．９（ｓ）
＝７６．８（ｓ）ｇ
＝１０９．１（ｓ）
＝１１０．４（ｓ）
＝１３２．９（ｓ）
＝１４２．０（ｓ）
＝１４９．６（ｓ）
＝１５４．９（ｓ）
＝１５８．４（ｓ）

^３１Ｐ−ＮＭＲ（ＭｅＯＨ−ｄ^４／８５％PO4Ｈ３）１６０ＭＨｚ
δ＝２８．３
ＦＴ−ＩＲ
３６００−２０００ｃｍ^−１（ＯＨ）
３３８４ｃｍ^−１（ＮＨ）
１６９８ｃｍ^−１（Ｃ＝Ｏ）
１５２２ｃｍ^−１（ＮＯ_２）

元素分析
Ｆｏｕｎｄ；Ｃ： ４４．９７ Ｈ： ６．０８ Ｎ： ６．４０
Ｃａｌｃｄ；Ｃ： ４５．７２ Ｈ： ５．９９ Ｎ： ６．６６

＜感光性ＳＡＭの調製と評価＞
上記式（Ｉ−ａ）で表されるホスホン酸誘導体（（３−（（（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）カルボニル）アミノ）プロピル）ホスホン酸）を用いて、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：インジウム錫酸化物）基板にＳＡＭを調製した。ＳＡＭの調製方法として、ＩＴＯ基板に直接表面修飾する方法を行った。調製したＳＡＭに光照射し、光照射前後のＳＡＭについて、水の静的接触角測定（液滴法）、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）、パターニングを行い評価した。以下に、具体的な操作を示す。

［ＩＴＯへの表面修飾及び光照射］
（前処理）
ＩＴＯ基板を純水、メタノール、アセトンの順で各５分間ずつ超音波洗浄を行い、窒素気流により乾燥させた後、ＵＶオゾンクリーナーを用いて酸素注入６Ｌ／ｍｉｎで３分間、ＵＶ照射時間１時間３０分、窒素注入６Ｌ／ｍｉｎで１０分間の条件で前処理を行った。

（３−（（（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）カルボニル）アミノ）プロピル）ホスホン酸による表面修飾と光分解反応）

表面修飾
前処理したＩＴＯ基板を式（Ｉ−ａ）で表される化合物の１ｍＭエタノール溶液に室温で２４時間浸漬させた後、エタノール、クロロホルムでリンスして窒素気流により乾燥させた。１２０℃のホットプレートで１８０分アニーリングを行い、その後、エタノール、クロロホルムでリンスして窒素気流で乾燥、接触角測定とＸＰＳ測定を行った。

光分解反応
超高圧水銀灯を起動し、光量が安定するまで３０分暖気した後、照度計で２５ｍＷ／ｃｍ^２の位置に調製した基板を固定し、９０秒間光照射を行った。光照射後、基板をエタノールとクロロホルムでリンスし窒素気流で乾燥してから接触角，ＸＰＳ測定を行った。

測定結果を表１に、ＸＰＳ（Ｎ１ｓ）の重ね書き（表面処理後（ｍｏｄｉｆｉｅｄ）、照射後（ｉｒｒａｄｉａｔｉｅｄ））を図２に示す。なお、表１中、矢印の左側の数値が、光照射前の基板の表面についての数値であり、矢印の右側の数値が、光照射後の基板の表面についての数値である。

表１及び図２の結果より、３−（（（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）カルボニル）アミノ）プロピル）ホスホン酸による表面修飾と、光照射による光分解性基の光分解反応が生じたことが確認された。

［カルボン酸塩系蛍光試薬によるパターニング］
前述と同じ操作により調製したＳＡＭを使用して、カルボン酸塩系蛍光試薬によるパターニングを行った。まず、超高圧水銀灯を起動し、光量が安定するまで３０分暖気した後、照度計で２５ｍＷ／ｃｍ^２の位置に調製した基板をフォトマスク（線幅２０μｍ）を介して固定し、９０秒間光照射を行った。光照射後、基板をクロロホルムでリンスし窒素気流で乾燥させた。続いて、基板を１Ｍ ＨＣｌ溶液に１分間浸漬、純水で洗浄、蛍光試薬ＦｌｕｏＳｏｈｅｒｅｓ ｃａｒｂｏｘｙｌａｔｅ，０．５μｍ，ｙｅｌｌｏｗｇｒｅｅｎ（１ｄｒｏｐ／１０ｍＬ ｗａｔｅｒ）に５０分間浸漬、純水で洗浄、窒素気流で乾燥の順で処理を行い、蛍光顕微鏡で観察した。

［観察結果］
蛍光顕微鏡で観察した結果を図３に示す。図３中、（ａ）は、フォトマスクの画像を示し、（ｂ）は、表面修飾後の基板表面に対してフォトマスクで固定した状態で光照射を行い、次いで蛍光試薬による処理を行った後の基板表面を、蛍光顕微鏡で観察した画像を示す。

図３の結果から、露光した部分のみに蛍光試薬がのっていることにより、露光部分がアミンになっていることが確認出来た。この結果より、表面修飾が正常に行われたことが確認された。

＜合成例２＞
［３−（ジエトキシホスホリル）プロパン酸の合成］ １００ ｍＬナスフラスコにエチル ３−（ジエトキシホスホリル）プロパノエート（（式１８−ａ）で表される化合物、分子量：２３８．２２）２．８９ｇ（１２．１ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）をいれＨ_２Ｏ２０ｍＬに溶かした。さらに０．７４Ｍ ＫＯＨａｑ．（０．８３０ｇ，１４．８ｍｍｏｌ，１．２ｅｑ．）をＨ_２Ｏ２０ｍＬで調製し、加えた後に室温で３時間攪拌した。２Ｎ ＨＣｌでｐＨ＝１にし、ＣＨ_２Ｃｌ_２で（１００ｍＬ×３回）で抽出した。有機層を無水ＭｇＳＯ４で乾燥し、ろ過、濃縮、真空乾燥を行い透明粘体の式（３−４−ａ）で表される化合物（３−（ジエトキシホスホリル）プロパン酸、分子量：２１０．１７）を得た。収量は２．１２ｇ（１０．１ｍｍｏｌ）、収率は８３％であった。式（３−４−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。なお、式中、「Ｅｔ」は、エチル基を意味する。
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝１．３３（６Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．２Ｈｚ）
＝２．１０（２Ｈ，ｍ）
＝２．６５（２Ｈ，ｍ）
＝４．１１（４Ｈ，ｍ）

［１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル ３−（ジエトキシホスホリル）プロパノエートの合成］
窒素雰囲気下、３０ｍｌ二口ナスフラスコにＥＤＣ・ＨＣｌ２２８ｍｇ（１．１９ｍｍｏｌ，１．５ｅｑ．）を入れ、ドライ−ＴＨＦ８ｍＬで溶かし、氷浴で１０分攪拌した。その後、式（４−ｂ）で表される化合物（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロパン−１−オル、分子量：２５５．２７）１９９ｍｇ（０．７８０ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）、式（３−４−ａ）で表される化合物（３−（ジエトキシホスホリル）プロパン酸、分子量：２１０．１７）３４８ｍｇ（１．６６ｍｍｏｌ，２．１ｅｑ．）をドライ−ＴＨＦ４ｍＬに溶かし滴下し、さらにＤＭＡＰ１１４ｍｇ（０．９３３ｍｍｏｌ，１．２ｅｑ．）を入れた。１０分攪拌後、氷浴をはずし室温で１７時間攪拌した。反応溶液を濃縮し、酢酸エチル（１０ｍＬ×４回）、Ｈ_２Ｏ１２ｍＬ、２Ｎ ＨＣｌ４ｍＬを加え酸性にして抽出、５％ＮａＨＣＯ_３（１０ｍＬ×２回）で洗浄した。有機層を無水ＭｇＳＯ４で乾燥、ろ過、濃縮をした。カラムクロマトグラフィー（クロロホルム：メタノール＝９：１，半径２．１５ｃｍ，高さ１５ｃｍ）で単離精製、濃縮、真空乾燥し黄色粘体の式（５−２−ａ）で表される化合物（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル ３−（ジエトキシホスホリル）プロパノエート、分子量：４４７．４２）を得た。収量は３４１ｍｇ（０．７６２ｍｍｏｌ）、収率は９７％であった。式（５−２−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。なお、式中、「^ｉＰｒ」は、イソプロピル基を意味する。
Ｒｆ値（クロロホルム：メタノール＝９：１）（１２モリブド（ＩＶ）リン酸ｎ水和物）
目的物（式（５−２−ａ）で表される化合物）：０．４５
原料（式（３−４−ａ）で表される化合物（３−（ジエトキシホスホリル）プロパン酸））：０．１７
１Ｈ−ＮＭＲ（ｍｅｔｈａｎｏｌ−Ｄ４／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝１．０１（６Ｈ，ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ）
＝１．２４（６Ｈ，ｍ）
＝２．１０（２Ｈ，ｍ）
＝２．２４（１Ｈ，ｍ）
＝２．６４（２Ｈ，ｍ）
＝３．８９（３Ｈ，ｓ）
＝３．９４（３Ｈ，ｓ）
＝４．０２（４Ｈ，ｍ）
＝６．２２（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．８Ｈｚ）
＝７．０３（１Ｈ，ｓ）
＝７．６０（１Ｈ，ｓ）

［（３−（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）−３−オキソプロピル）ホスホン酸の合成］
１０ｍＬすり付き試験管に式（５−２−ａ）で表される化合物（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル ３−（ジエトキシホスホリル）プロパノエート、分子量：４４７．４２）１１３ｍｇ（０．２５３ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）を入れ，ドライ−アセトニトリル１ｍＬを入れ、ブロモトリメチルシラン０．１０ｍＬ（０．７５８ｍｍｏｌ，３ｅｑ．）を添加し、窒素雰囲気下室温で１９時間撹拌した。濃縮後、メタノール１ｍＬを入れ、室温で２時間撹拌した。濃縮、真空乾燥し、黄色オイルの式（１−ｂ）で表される化合物（（３−（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）−３−オキソプロピル）ホスホン酸、分子量：３９１．３１）を得た。収量は１０２ｍｇ（０．２６１ｍｍｏｌ）、収率は約１００％であった。式（１−ｂ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
Ｒｆ値（クロロホルム：メタノール＝９：１）
目的物（式（１−ｂ）で表される化合物）：０．００
原料（式（５−２−ａ）で表される化合物） ０．６５
１Ｈ−ＮＭＲ（ｍｅｔｈａｎｏｌ−Ｄ４／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝０．９６（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ）
＝１．０５（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．８Ｈｚ）
＝１．９２−２．０６（２Ｈ，ｍ）
＝２．１８−２．３０（１Ｈ，ｍ）
＝２．５５−２．７５（２Ｈ，ｍ）
＝３．８９（３Ｈ，ｓ）
＝３．９４（３Ｈ，ｓ）
＝６．２３（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．５Ｈｚ）
＝７．０２（１Ｈ，ｓ）
＝７．６０（１Ｈ，ｓ）

＜合成例３＞
［ジエチル（３−ブロモプロピル）ホスホネートの合成］
２００ｍＬナスフラスコに式（２２）で表される化合物（１，３−ジブロモプロパン、分子量：２０１．８９）３０．０ｇ（１４９ｍｍｏｌ，５．０ｅｑ．）、式（１−１）で表される化合物（トリエチルホスファイト、分子量：１６６．１６）５．０３ｇ（３１．４ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）を加えて、３時間還流を行った。その後、減圧留去を行い、透明粘体の式（２３）で表される化合物（ジエチル（３−ブロモプロピル）ホスホネート、分子量：２５９．０８）を得た。収量は６．４４ｇ（２４．９ｍｍｏｌ）、収率は７９％であった。式（２３）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝１．３４（６Ｈ，ｍ）
＝１．９０（２Ｈ，ｍ）
＝２．１６（２Ｈ，ｍ）
＝３．４８（２Ｈ，ｔ，Ｊ＝５．６）
＝４．１０（４Ｈ，ｍ）

［Ｓ−（３−（ジエトキシホスホリル）プロピル）エタンチオエートの合成］
１００ｍＬナスフラスコに式（２３）で表される化合物（ジエチル（３−ブロモプロピル）ホスホネート、分子量：２５９．０８）３．００ｇ（１１．７ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）、ジクロロメタン２４ｍＬ、トリエチルアミン１．２９ｇ（１２．７ｍｍｏｌ，１．１ｅｑ．）、に式（２４）で表される化合物（チオ酢酸、分子量：７６．１１）０．９８１ｇ（１２．９ｍｍｏｌ，１．１ｅｑ．）を加えて、室温で３時間撹拌した。ジエチルエーテル２５ｍＬを加えて、生じた沈殿を吸引ろ過を行い除去し、ろ液を濃縮した。この操作をもう一度行った後、真空乾燥を行った。１Ｈ−ＮＭＲで反応の進行を確認した後、カラムクロマトグラフィー（ヘキサン：酢酸エチル＝１：３ ｔｈｅｎ 酢酸エチルｏｎｌｙ，直径：５ｃｍ，高さ：２０ｃｍ）、濃縮、真空乾燥を行い、黄色粘体の式（２５）で表される化合物（Ｓ−（３−（ジエトキシホスホリル）プロピル）エタンチオエート、分子量：２５４．２８）を得た。収量は２．４５ｇ（８．８１ｍｍｏｌ）、収率は７５％であった。式（２５）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
Ｒｆ値＝０．１７（ヘキサン：酢酸エチル＝１：３）
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝１．３２（６Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．１）
＝１．７６−１．９６（４Ｈ，ｍ）
＝２．３４（３Ｈ，ｓ）
＝３．４８（２Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．１）
＝４．１０（４Ｈ，ｍ）

［ジエチル（３−メルカプトプロピル）ホスホネートの合成］
１００ｍＬナスフラスコに式（２５）で表される化合物（Ｓ−（３−（ジエトキシホスホリル）プロピル）エタンチオエート、分子量：２５４．２８）１．９６ｇ（７．７１ｍｍｏｌ）のＴＨＦ溶液２０ｍＬ、とＮａＯＨ_５０_７ｍｇ（１２．７ｍｍｏｌ）の水溶液２０ｍＬを加え、室温で３時間撹拌した。２Ｎ ＨＣｌ７ｍＬを加え、減圧下ＴＨＦを留去したのち、水相からクロロホルム（２０ｍＬ，１０ｍＬ，１０ｍＬ）で抽出し、有機相をマグネシウムスルフェートで乾燥、ろ過し、ろ液を減圧か濃縮した。残渣を減圧蒸留し、目的物（ｂｐ＝９３−９８℃／０．１ｍｍＨｇ）である式（３−２−ａ）で表される化合物（ジエチル（３−メルカプトプロピル）ホスホネート、分子量：２１２．２４）を得た。収量は１．０７ｇ（５．０５ｍｍｏｌ）、収率は６５％であった。式（３−２−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝１．３２（６Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．１）
＝１．３６（１Ｈ，ｔ，Ｊ＝８．１）
＝１．８２−１．９５（４Ｈ，ｍ）
＝２．６２（２Ｈ，ｍ）
＝４．１０（４Ｈ，ｍ）

３１Ｐ−ＮＭＲ−ｄｅｃｏｕｐｌｉｎｇ（ＣＤＣｌ３／Ｈ３ＰＯ４，１６０ＭＨｚ）
δ＝３１．４

［ジエチル（３−（（２−ニトロベンジル）チオ）プロピル）ホスホネートの合成］
５０ｍＬナスフラスコに式（３−２−ａ）で表される化合物（ジエチル（３−メルカプトプロピル）ホスホネート、分子量：２１２．２４）１．０２４ｇ（４．８３ｍｍｏｌ）、式（４’ａ）で表される化合物（２−ニトロベンジルブロミド）１．０３５ｇ（４．８０ｍｍｏｌ），セシウムカルボネート１．６７ｇ（５．７６ｍｍｏｌ），ドライ・アセトニトリル２０ｍＬを加え、６０℃で１５時間撹拌した。沈殿をろ過し、アセトニトリルで洗浄し、ろ液と洗液を合わせて減圧下濃縮した。これをシリカゲルカラム（５０ｇ）で分離し（溶出液：酢酸エチル）、目的物である式（５−７−ａ）で表される化合物（ジエチル（３−（（２−ニトロベンジル）チオ）プロピル）ホスホネート、分子量：３４７．３７）を得た。収量は０．８２９ｇ（２．３９ｍｍｏｌ）、収率は４９％であった。式（５−７−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
Ｒｆ値＝０．２（酢酸エチル）
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝１．３１（６Ｈ，ｔｄ，Ｊ＝７．１、１．６Ｈｚ）
＝１．７５−１．９２ （４Ｈ，ｍ）
＝２．５３（２Ｈ，ｔ，Ｊ＝６．２Ｈｚ）
＝４．００−４．１５（６Ｈ，ｍ）
＝７．４２（１Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．８Ｈｚ）
＝７．４７（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝７．８Ｈｚ）
＝７．５６（１Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．６Ｈｚ）
＝７．９６（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝８．１Ｈｚ）

［（３−（（２−ニトロベンジル）チオ）プロピル）ホスホン酸の合成］
３０ｍＬナスフラスコに式（５−７−ａ）で表される化合物（ジエチル（３−（（２−ニトロベンジル）チオ）プロピル）ホスホネート、分子量：３４７．３７）１１４ｍｇ（０．３２９ｍｍｏｌ）をとり、窒素下でドライＣＨ_２Ｃｌ_２５ｍＬを加え、さらにブロモチリメチルシラン０．２０ｍＬ（１．６ｍｍｏｌ）を加え、室温で３．５時間撹拌した。減圧下ブロモトリメチルシランと溶媒を留去した後、メタノール１０ｍＬを加え、さらに室温で１８時間撹拌した後、減圧下メタノールを留去し、粘性の液体として、式（１−ｃ）で表される化合物（（３−（（２−ニトロベンジル）チオ）プロピル）ホスホン酸、分子量：２９１．２６）を得た。収量は０．１０１ｇ（０．３４７ｍｍｏｌ）、収率は約１００％であった。式（１−ｃ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤ３ＯＤ／ＴＭＳ，４００ＭＨｚ）
δ＝１．７２−１．８８ （４Ｈ，ｍ）
＝２．５３（２Ｈ，ｔ，Ｊ＝６．６Ｈｚ）
＝４．０７（２Ｈ，ｓ）
＝７．４７（１Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．７Ｈｚ）
＝７．５２（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝７．６Ｈｚ）
＝７．６１（１Ｈ，ｔ，Ｊ＝７．４Ｈｚ）
＝７．９５（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝８．０Ｈｚ）

＜合成例４＞
［２−（３−ブロモプロポキシ）テトラヒドロ−２Ｈ−ピランの合成］
３００ｍＬ二口ナスフラスコに式（９−３−ａ）で表される化合物（３−ブロモ−１−プロパノール、分子量：１３８．９９）６．０８９ｇ（４３．８ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）、ジクロロメタン（Ｓｕｐｅｒ Ｄｅｈｙｄｒａｔｅｄ）２５０ｍＬ、ジヒドロピラン（ＤＨＰ）４．４６４ｇ（５３．１ｍｍｏｌ，１．２２ｅｑ．）、ピリジニウムｐ−トルエンスルフォネート２．２０ｇ（８．７５ｍｍｏｌ，０．２０ｅｑ．）を加え、室温、窒素下で１８時間攪拌した。攪拌終了後、濃縮、カラムクロマトグラフィー（ヘキサン：酢酸エチル＝９：１）により目的物のみ単離した。その後、濃縮、真空乾燥により溶媒を取り除き、無色のオイル状体の式（１５−ａ）で表される化合物（２−（３−ブロモプロポキシ）テトラヒドロ−２Ｈ−ピラン、分子量：２２２．１１）６．５５５ｇを得た。収量は６．５５５ｇ（２５．２ｍｍｏｌ）、収率は６７％であった。式（１５−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，Ｃｈｌｏｒｏｆｏｒｍ−Ｄ，ＴＭＳ）
δ＝１．５０〜１．６３ （４Ｈ，ｍ）
＝１．６９〜１．８５ （２Ｈ，ｍ）
＝２．１０〜２．６７ （２Ｈ，ｑ）
＝３．４９〜３．５５ （４Ｈ，ｍ）
＝３．８４〜３．９０ （２Ｈ，ｍ）
＝４．６０〜４．６１ （１Ｈ，ｔ）

［ジエチル３−（テトラヒドロ−２Ｈ−ピラン−２−イルオキシ）プロピルホスホネートの合成］
１００ｍＬナスフラスコに式（１５−ａ）で表される化合物（２−（３−ブロモプロポキシ）テトラヒドロ−２Ｈ−ピラン、分子量：２２２．１１）６．４８７ｇ（２９．２ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）、トリエチルホスファイト６２．８４３ｇ（３７６．７ｍｍｏｌ，１２．９ｅｑ．）を加え、約１６５℃のオイルバスで４時間還流した。その後、過剰なトリエチルホスファイトを減圧留去（１００℃）により取り除き、無色のオイル状の目的物の式（１６−ａ）で表される化合物（ジエチル３−（テトラヒドロ−２Ｈ−ピラン−２−イルオキシ）プロピルホスホネート、分子量：２８０．３０）７．５３ｇ（２６．９ｍｍｏｌ）を得た。収量は７．５３ｇ（２６．９ｍｍｏｌ）、収率は９２％であった。式（１６−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，Ｃｈｌｏｒｏｆｏｒｍ−Ｄ，ＴＭＳ）
δ＝１．３１〜１．３５ （６Ｈ，ｔ）
＝１．５１〜１．６０ （４Ｈ，ｍ）
＝１．６８〜１．９２ （６Ｈ，ｍ）
＝３．４１〜３．５２ （２Ｈ，ｍ）
＝３．７４〜３．８６ （２Ｈ，ｍ）
＝４．０５〜４．１５ （４Ｈ，ｍ）
＝４．５８〜４．５９ （１Ｈ，ｔ）

［ジエチル（３−ヒドロキシプロピル）ホスホネートの合成］
５００ｍＬナスフラスコに式（１６−ａ）で表される化合物（ジエチル ３−（テトラヒドロ−２Ｈ−ピラン−２−イルオキシ）プロピルホスホネート、分子量：２８０．３０）２．０３８ｇ（１．４５ｍｍｏｌ，１．０ｅｑ．）、ピリジニウム ｐ−トルエンスルフォネート（ＰＰＴＳ）０．１８６ｇ（０．１４ｍｍｏｌ，０．１ｅｑ．）、エタノール５００ｍＬを加え、約１００℃のオイルバスで３時間還流した。その後濃縮、真空乾燥により過剰なエタノールを取り除き、カラムクロマトグラフィー（クロロホルム：メタノール＝１０：１）により目的物のみ単離した。無色のオイル状の目的物の式（３−３−ａ）で表される化合物（ジエチル（３−ヒドロキシプロピル）ホスホネート、分子量：１９６．１８）１．３４ｇ（６．８３ｍｍｏｌ）得た。収量は１．３４ｇ（６．８３ｍｍｏｌ）、収率は９３％であった。式（３−３−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，Ｃｈｌｏｒｏｆｏｒｍ−Ｄ，ＴＭＳ）
δ＝１．３２〜１．３５ （６Ｈ，ｔ）
＝１．８１〜１．９１ （４Ｈ，ｍ）
＝２．７４〜２．７７ （１Ｈ，ｔ）
＝３．６９〜３．７３ （２Ｈ，ｍ）
＝４．０６〜４．１６ （４Ｈ，ｍ）

［３−（ジエトキシホスホリル）プロピル（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル）カルボネートの合成］
１００ｍＬ二口ナスフラスコに、上述の合成例１における式（４−ａ）で表される化合物（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル Ｎ−スクシニミジル カ―ボナート、分子量：３９６．３５）０．３０１ｇ（０．７６ｍｍｏｌ，、１．０ｅｑ．）、ドライ−ＴＨＦ３０ｍＬ、式（３−３−ａ）で表される化合物（ジエチル（３−ヒドロキシプロピル）ホスホネート）０．３０７ｇ（１．５７ｍｍｏｌ、２．０ｅｑ．）、ＤＭＡＰ０．１８７ｇ（１．５３ｍｍｏｌ、２．０ｅｑ．）を加え、室温、窒素下で約４日間撹拌した。濃縮後カラムクロマトグラフィー（ヘキサン：酢酸エチル＝１：１）により目的物の単離を行った。その後、濃縮、真空乾燥を行い、黄褐色の粘体として、式（５−５−ａ）で表される化合物（３−（ジエトキシホスホリル）プロピル（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル）カルボネート、分子量：４７７．４５）０．２１０ｇ（０．４４ｍｍｏｌ）を得た。収量は０．２１０ｇ（０．４４ｍｍｏｌ）、収率は５７％であった。式（５−５−ａ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，Ｃｈｌｏｒｏｆｏｒｍ−Ｄ，ＴＭＳ）
δ＝０．９９（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．８Ｈｚ）
＝１．０５（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．７Ｈｚ）
＝１．３１（６Ｈ，ｔｄ，Ｊ＝７．０，０．８Ｈｚ）
＝１．７１〜１．８２（２Ｈ，ｍ）
＝１．８９〜２．００（２Ｈ，ｍ）
＝２．１５〜２．２５（１Ｈ，ｍ）
＝３．９５（３Ｈ，ｓ）
＝３．９７（３Ｈ，ｓ）
＝４．０３〜４．１９（６Ｈ，ｍ）
＝６．２２（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．２Ｈｚ）
＝６．９５（１Ｈ，ｓ）
＝７．６０（１Ｈ，ｓ）

［（３−（（（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）カルボニル）オキシ）プロピル）ホスホン酸の合成］
５０ｍＬナスフラスコに式（５−５−ａ）で表される化合物（３−（ジエトキシホスホリル）プロピル（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロピル）カルボネート、分子量：４７７．４５）１６８ｍｇ（０．３６７ｍｍｏｌ）をとり、窒素下でドライＣＨ_３ＣＮ_２ｍＬを加え、さらにブロモトリメチルシラン０．２０ｍＬ（１．６ｍｍｏｌ）を加え、室温で１２時間撹拌した。減圧下ブロモトリメチルシランと溶媒を留去した後、メタノール５ｍＬを加え、さらに室温で４時間撹拌した後、減圧下メタノールを留去し、粘性の液体として、式（１−ｄ）で表される化合物（３−（（（１−（４，５−ジメトキシ−２−ニトロフェニル）−２−メチルプロポキシ）カルボニル）オキシ）プロピル）ホスホン酸、分子量：４２１．３４）を得た。収量は１６４ｍｇ（０．３９０ｍｍｏｌ）、収率は約１００％であった。式（１−ｄ）で表される化合物の物性及びこの反応スキームを以下に示す。
１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，ＣＤ３ＯＤ，ＴＭＳ）
δ＝０．９７（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ）
＝１．０５（３Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．７Ｈｚ）
＝１．６６〜１．７８ （２Ｈ，ｍ）
＝１．８４〜１．９７ （２Ｈ，ｍ）
＝２．１８〜２．２８ （１Ｈ，ｍ）
＝３．９１（３Ｈ，ｓ）
＝３．９３（３Ｈ，ｓ）
＝４．１４（２Ｈ，ｔｄ，Ｊ＝６．４，１．９Ｈｚ）
＝６．１１（１Ｈ，ｄ，Ｊ＝６．４Ｈｚ）
＝７．０３（１Ｈ，ｓ）
＝７．６３（１Ｈ，ｓ）

１ 処理対象物の表面

Claims (4)

1. 下記式（Ｉ）で表される化合物（但し、Ｎ−ｎｉｔｒｏｖｅｒａｔｒｙｌｏｘｙｃａｒｂｏｎｙｌ−ａｍｉｎｏｍｅｔｈｙｌｐｈｏｓｐｈｏｎｉｃ ａｃｉｄを除く。）。
   （Ｒ_１〜Ｒ_４は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基であり、
   Ｒ_５は、水素原子又は、置換基としてハロゲン原子を有してもよい炭素数が１〜６であるアルキル基であり、
   Ｘは、以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩＩ）のいずれかで表される基であり、
   Ｒ_６は、前記Ｘが以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩ）のいずれかで表される基である場合、アルキレン基であり、前記Ｘが以下の式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合、単結合又はアルキレン基である。）
   
2. 前記Ｒ_５が、イソプロピル基である、請求項１に記載の化合物。
3. 下記式（Ｉ）で表される化合物を含有する表面処理剤。
   （Ｒ _１ 〜Ｒ _４ は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基であり、
   Ｒ _５ は、水素原子又は、置換基としてハロゲン原子を有してもよい炭素数が１〜６であるアルキル基であり、
   Ｘは、以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩＩ）のいずれかで表される基であり、
   Ｒ _６ は、前記Ｘが以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩ）のいずれかで表される基である場合、アルキレン基であり、前記Ｘが以下の式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合、単結合又はアルキレン基である。）
   
4. 下記式（Ｉ）で表される化合物を用いて処理対象物の表面を処理する工程を有する、表面処理方法。
   （Ｒ _１ 〜Ｒ _４ は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は置換基としてパーフルオロアルキル基を有してもよいアルコキシ基であり、
   Ｒ _５ は、水素原子又は、置換基としてハロゲン原子を有してもよい炭素数が１〜６であるアルキル基であり、
   Ｘは、以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩＩ）のいずれかで表される基であり、
   Ｒ _６ は、前記Ｘが以下の式（ＩＩ）〜（ＶＩＩ）のいずれかで表される基である場合、アルキレン基であり、前記Ｘが以下の式（ＶＩＩＩ）で表される基である場合、単結合又はアルキレン基である。）