JP6657865B2 - Resin sheet - Google Patents
Resin sheet Download PDFInfo
- Publication number
- JP6657865B2 JP6657865B2 JP2015234803A JP2015234803A JP6657865B2 JP 6657865 B2 JP6657865 B2 JP 6657865B2 JP 2015234803 A JP2015234803 A JP 2015234803A JP 2015234803 A JP2015234803 A JP 2015234803A JP 6657865 B2 JP6657865 B2 JP 6657865B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- epoxy resin
- resin composition
- composition layer
- curable resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 226
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 226
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 177
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 175
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 164
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 63
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 58
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 46
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 45
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 40
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 35
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 32
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 31
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 27
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims description 22
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 claims description 21
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 18
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N urethane group Chemical group NC(=O)OCC JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 125000004018 acid anhydride group Chemical group 0.000 claims description 10
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 5
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000005529 alkyleneoxy group Chemical group 0.000 claims description 3
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 230
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 102
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 69
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 description 56
- 239000000463 material Substances 0.000 description 39
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 36
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 34
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 31
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 28
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 28
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 27
- 239000000047 product Substances 0.000 description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 26
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 26
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 24
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 22
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 20
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 16
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 15
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 14
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 14
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 14
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 150000002148 esters Chemical group 0.000 description 13
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 13
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 4-Dimethylaminopyridine Chemical compound CN(C)C1=CC=NC=C1 VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 12
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 12
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 12
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 12
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 12
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 12
- 206010042674 Swelling Diseases 0.000 description 11
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 11
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 11
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 11
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 11
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 10
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 10
- 235000013824 polyphenols Nutrition 0.000 description 10
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 9
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 9
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 9
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 8
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol AF Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C=C1 ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 7
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 7
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 7
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 6
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 6
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 6
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 6
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 6
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 6
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 6
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 5
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 5
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 5
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 5
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N Guanidine Chemical compound NC(N)=N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N N-methyl-guanidine Natural products CNC(N)=N CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 4
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KGSFMPRFQVLGTJ-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-triphenylethylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)CC1=CC=CC=C1 KGSFMPRFQVLGTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XZKLXPPYISZJCV-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-phenylimidazole Chemical compound C1=CN=C(C=2C=CC=CC=2)N1CC1=CC=CC=C1 XZKLXPPYISZJCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 3
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 239000004842 bisphenol F epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 3
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoamidine Natural products CN(C)C(N)=N SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 3
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000012756 surface treatment agent Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GIWQSPITLQVMSG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1C GIWQSPITLQVMSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 2-methoxypropan-1-ol Chemical compound COC(C)CO YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 2-naphthol Chemical compound C1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CMLFRMDBDNHMRA-UHFFFAOYSA-N 2h-1,2-benzoxazine Chemical compound C1=CC=C2C=CNOC2=C1 CMLFRMDBDNHMRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 3,4,6,7,8,9-hexahydro-2H-pyrimido[1,2-a]pyrimidine Chemical compound C1CCN2CCCNC2=N1 FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960000549 4-dimethylaminophenol Drugs 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- AHZMUXQJTGRNHT-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-cyanatophenyl)propan-2-yl]phenyl] cyanate Chemical compound C=1C=C(OC#N)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC#N)C=C1 AHZMUXQJTGRNHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 150000001718 carbodiimides Chemical class 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- IUYOGGFTLHZHEG-UHFFFAOYSA-N copper titanium Chemical compound [Ti].[Cu] IUYOGGFTLHZHEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DEKLIKGLDMCMJG-UHFFFAOYSA-M decanoate;tetrabutylphosphanium Chemical compound CCCCCCCCCC([O-])=O.CCCC[P+](CCCC)(CCCC)CCCC DEKLIKGLDMCMJG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002440 hydroxy compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N isophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 150000007974 melamines Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- KJFMBFZCATUALV-UHFFFAOYSA-N phenolphthalein Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)C2=CC=CC=C2C(=O)O1 KJFMBFZCATUALV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N phenyl mercaptan Natural products SC1=CC=CC=C1 RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- ODLMAHJVESYWTB-UHFFFAOYSA-N propylbenzene Chemical compound CCCC1=CC=CC=C1 ODLMAHJVESYWTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N pyromellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=C1C(O)=O CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 2
- IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N triethylenediamine Chemical compound C1CN2CCN1CC2 IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DEQUKPCANKRTPZ-UHFFFAOYSA-N (2,3-dihydroxyphenyl)-phenylmethanone Chemical compound OC1=CC=CC(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1O DEQUKPCANKRTPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDUWQMDIQSWWIE-UHFFFAOYSA-N (3-cyanato-5-methylidenecyclohexa-1,3-dien-1-yl) cyanate Chemical compound C=C1CC(OC#N)=CC(OC#N)=C1 SDUWQMDIQSWWIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEZMWWAKWCSUCB-PHDIDXHHSA-N (3R,4R)-3,4-dihydroxycyclohexa-1,5-diene-1-carboxylic acid Chemical compound O[C@@H]1C=CC(C(O)=O)=C[C@H]1O HEZMWWAKWCSUCB-PHDIDXHHSA-N 0.000 description 1
- AILUJKZWHGGGRF-UHFFFAOYSA-M (4-methylphenyl)-triphenylphosphanium;thiocyanate Chemical compound [S-]C#N.C1=CC(C)=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AILUJKZWHGGGRF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N (5-methyl-2-phenyl-1h-imidazol-4-yl)methanol Chemical compound OCC1=C(C)NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISNICOKBNZOJQG-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,3,3-pentamethylguanidine Chemical compound CN=C(N(C)C)N(C)C ISNICOKBNZOJQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEBONNVPKOBPEA-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trimethylcyclohexane Chemical group CC1CCCCC1(C)C MEBONNVPKOBPEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQOFYFRKWDXGJP-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trimethylguanidine Chemical compound CN=C(N)N(C)C NQOFYFRKWDXGJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYVBNYUBXIEUFW-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylguanidine Chemical compound CN(C)C(=N)N(C)C KYVBNYUBXIEUFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSUJUUNLZQVZMO-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,8,9,10,10a-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCC=CN2CCCNC21 SSUJUUNLZQVZMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LINDOXZENKYESA-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylguanidine Chemical compound CNC(N)=NC LINDOXZENKYESA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 1,3-diphenylguanidine Chemical compound C=1C=CC=CC=1NC(=N)NC1=CC=CC=C1 OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRASJONUBLZVQX-UHFFFAOYSA-N 1,4-dioxonaphthalene Natural products C1=CC=C2C(=O)C=CC(=O)C2=C1 FRASJONUBLZVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOKGTLAJQHTOKE-UHFFFAOYSA-N 1,5-dihydroxynaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1O BOKGTLAJQHTOKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWFPIJRFFLYWRN-UHFFFAOYSA-N 1-(diaminomethylidene)-2-ethylguanidine Chemical compound CCN=C(N)N=C(N)N XWFPIJRFFLYWRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLPWQEHTPOFCPG-UHFFFAOYSA-N 1-(diaminomethylidene)-2-methylguanidine Chemical compound CN=C(N)N=C(N)N JLPWQEHTPOFCPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNWJUMZPXYLPGT-UHFFFAOYSA-N 1-(diaminomethylidene)-2-octadecylguanidine Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCN=C(N)N=C(N)N MNWJUMZPXYLPGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UBJPWXQSHUPNPG-UHFFFAOYSA-N 1-(diaminomethylidene)-2-prop-2-enylguanidine Chemical compound NC(N)=NC(N)=NCC=C UBJPWXQSHUPNPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-methylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1CC1=CC=CC=C1 FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKEWNNWXZIIRRB-UHFFFAOYSA-N 1-benzylimidazole;hydrochloride Chemical compound Cl.C1=CN=CN1CC1=CC=CC=C1 DKEWNNWXZIIRRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GMOKBQLJIIVDQQ-UHFFFAOYSA-N 1-dodecyl-2-methylimidazole Chemical class CCCCCCCCCCCCN1C=CN=C1C GMOKBQLJIIVDQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEBXWWBYZJNKRK-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-2,3,4,6,7,8-hexahydropyrimido[1,2-a]pyrimidine Chemical compound C1CCN=C2N(C)CCCN21 OEBXWWBYZJNKRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTQNYBBTZSBWKL-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-trihydroxbenzophenone Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HTQNYBBTZSBWKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1h-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2N(CCC3)C3=NC2=C1 RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHDSRXYHVZECER-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-tris[(dimethylamino)methyl]phenol Chemical compound CN(C)CC1=CC(CN(C)C)=C(O)C(CN(C)C)=C1 AHDSRXYHVZECER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOC(C)=O FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVFVRTNNLLZXAL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylphenyl)guanidine Chemical compound CC1=CC=CC=C1N=C(N)N VVFVRTNNLLZXAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 2-(n-methyl-4-nitroanilino)acetonitrile Chemical compound N#CCN(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USGCMNLQYSXCDU-UHFFFAOYSA-N 2-cyclohexyl-1-(diaminomethylidene)guanidine Chemical compound NC(N)=NC(N)=NC1CCCCC1 USGCMNLQYSXCDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJGAPBXTFUSKNJ-UHFFFAOYSA-N 2-cyclohexylguanidine Chemical compound NC(=N)NC1CCCCC1 AJGAPBXTFUSKNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEWLVUBYGUZFKX-UHFFFAOYSA-N 2-ethylguanidine Chemical compound CCNC(N)=N KEWLVUBYGUZFKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VWSLLSXLURJCDF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4,5-dihydro-1h-imidazole Chemical compound CC1=NCCN1 VWSLLSXLURJCDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTRPRMNBTVRDFH-UHFFFAOYSA-N 2-n-methyl-1,3,5-triazine-2,4,6-triamine Chemical compound CNC1=NC(N)=NC(N)=N1 CTRPRMNBTVRDFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1NC(=O)NC(=O)N1.C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BKCCAYLNRIRKDJ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-4,5-dihydro-1h-imidazole Chemical compound N1CCN=C1C1=CC=CC=C1 BKCCAYLNRIRKDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRJZGVVKGFIGLI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylguanidine Chemical compound NC(=N)NC1=CC=CC=C1 QRJZGVVKGFIGLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIDDPPKZYZTEGS-UHFFFAOYSA-N 3-(2-ethyl-4-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCC1=NC(C)=CN1CCC#N UIDDPPKZYZTEGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CC1=NC=CN1CCC#N SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound N#CCCN1C=CN=C1C1=CC=CC=C1 BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 3-(2-undecylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1CCC#N SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTTNMYWPMMYGIS-UHFFFAOYSA-N 3-(diaminomethylidene)-1,1-diethylguanidine Chemical compound CCN(CC)C(=N)NC(N)=N RTTNMYWPMMYGIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 3-amino-2-(4-chlorophenyl)-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(CN)C1=CC=C(Cl)C=C1 JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound N1C(C)=CN=C1C1=CC=CC=C1 TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 108010054404 Adenylyl-sulfate kinase Proteins 0.000 description 1
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- 229940123208 Biguanide Drugs 0.000 description 1
- XNCOSPRUTUOJCJ-UHFFFAOYSA-N Biguanide Chemical compound NC(N)=NC(N)=N XNCOSPRUTUOJCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000570 Cupronickel Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229920002121 Hydroxyl-terminated polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100410148 Pinus taeda PT30 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100039024 Sphingosine kinase 1 Human genes 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N [4-(hydroxymethyl)-2-phenyl-1h-imidazol-5-yl]methanol Chemical compound N1C(CO)=C(CO)N=C1C1=CC=CC=C1 UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNCRKOQSRHDNIO-UHFFFAOYSA-N [4-[(4-cyanato-3,5-dimethylphenyl)methyl]-2,6-dimethylphenyl] cyanate Chemical compound CC1=C(OC#N)C(C)=CC(CC=2C=C(C)C(OC#N)=C(C)C=2)=C1 JNCRKOQSRHDNIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INHGSGHLQLYYND-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-cyanatophenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]phenyl] cyanate Chemical compound C=1C=C(OC#N)C=CC=1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(OC#N)C=C1 INHGSGHLQLYYND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L [dibutyl(dodecanoyloxy)stannyl] dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)O[Sn](CCCC)(CCCC)OC(=O)CCCCCCCCCCC UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 229920006397 acrylic thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical group C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 239000004844 aliphatic epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 125000004849 alkoxymethyl group Chemical group 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N aluminum;borate Chemical compound [Al+3].[O-]B([O-])[O-] OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005577 anthracene group Chemical group 0.000 description 1
- RRZKHZBOZDIQJG-UHFFFAOYSA-N azane;manganese Chemical compound N.[Mn] RRZKHZBOZDIQJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- XBYNNYGGLWJASC-UHFFFAOYSA-N barium titanium Chemical compound [Ti].[Ba] XBYNNYGGLWJASC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L barium(2+);oxomethanediolate Chemical compound [Ba+2].[O-][14C]([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002115 bismuth titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- XSEUMFJMFFMCIU-UHFFFAOYSA-N buformin Chemical compound CCCC\N=C(/N)N=C(N)N XSEUMFJMFFMCIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- DAQREMPZDNTSMS-UHFFFAOYSA-M butyl(triphenyl)phosphanium;thiocyanate Chemical compound [S-]C#N.C=1C=CC=CC=1[P+](C=1C=CC=CC=1)(CCCC)C1=CC=CC=C1 DAQREMPZDNTSMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001869 cobalt compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 1
- YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N copper nickel Chemical compound [Ni].[Cu] YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- VEIOBOXBGYWJIT-UHFFFAOYSA-N cyclohexane;methanol Chemical compound OC.OC.C1CCCCC1 VEIOBOXBGYWJIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A dialuminum;hexamagnesium;carbonate;hexadecahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 229910001701 hydrotalcite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960001545 hydrotalcite Drugs 0.000 description 1
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N hydroxyformaldehyde Chemical compound O[14CH]=O BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 238000007561 laser diffraction method Methods 0.000 description 1
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- XZWYZXLIPXDOLR-UHFFFAOYSA-N metformin Chemical compound CN(C)C(=N)NC(N)=N XZWYZXLIPXDOLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GLTDLAUASUFHNK-UHFFFAOYSA-N n-silylaniline Chemical compound [SiH3]NC1=CC=CC=C1 GLTDLAUASUFHNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZZQNEVOYIYFPF-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,6-diol Chemical compound OC1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 FZZQNEVOYIYFPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNZMMCVIXORAQL-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,6-diol Chemical compound C1=C(O)C=CC2=CC(O)=CC=C21 MNZMMCVIXORAQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003518 norbornenyl group Chemical group C12(C=CC(CC1)C2)* 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 125000001477 organic nitrogen group Chemical group 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- CUQCMXFWIMOWRP-UHFFFAOYSA-N phenyl biguanide Chemical compound NC(N)=NC(N)=NC1=CC=CC=C1 CUQCMXFWIMOWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYKRPDCJKSXAHS-UHFFFAOYSA-N phenyl-(2,3,4,5-tetrahydroxyphenyl)methanone Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1O LYKRPDCJKSXAHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCDYQQDYXPDABM-UHFFFAOYSA-N phloroglucinol Chemical compound OC1=CC(O)=CC(O)=C1 QCDYQQDYXPDABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001553 phloroglucinol Drugs 0.000 description 1
- SDKTUKJXHDZWMB-UHFFFAOYSA-N phosphoric acid zirconium Chemical compound [Zr].P(O)(O)(O)=O SDKTUKJXHDZWMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920003987 resole Polymers 0.000 description 1
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001755 resorcinol Drugs 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 description 1
- 229910000018 strontium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N sulfanylsilane Chemical compound S[SiH3] TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHPYAGKTTCKKDF-UHFFFAOYSA-M tetraphenylphosphanium;thiocyanate Chemical compound [S-]C#N.C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 GHPYAGKTTCKKDF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 125000005270 trialkylamine group Chemical group 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013638 trimer Substances 0.000 description 1
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000166 zirconium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- LEHFSLREWWMLPU-UHFFFAOYSA-B zirconium(4+);tetraphosphate Chemical compound [Zr+4].[Zr+4].[Zr+4].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O LEHFSLREWWMLPU-UHFFFAOYSA-B 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/386—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/34—Silicon-containing compounds
- C08K3/36—Silica
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
- B32B27/20—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using fillers, pigments, thixotroping agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/38—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
- C08K2201/002—Physical properties
- C08K2201/003—Additives being defined by their diameter
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
- C08K2201/002—Physical properties
- C08K2201/006—Additives being defined by their surface area
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
本発明は、樹脂シート、配線板、および半導体装置に関する。 The present invention relates to a resin sheet, a wiring board, and a semiconductor device.
近年、スマートフォン、タブレットPCといった小型の高機能電子機器の需要が増大している。それに伴いこれら小型の電子機器に用いられるプリント配線板の更なる高機能化及び小型化が求められている。 In recent years, demand for small high-performance electronic devices such as smartphones and tablet PCs has been increasing. Along with this, there is a demand for further enhanced functions and smaller size of printed wiring boards used for these small electronic devices.
プリント配線板には、ベアチップ、チップ状コンデンサ、チップ状インダクタ等の部品が実装される。従来このような部品は、プリント配線板の表面回路のみに実装されていたが、その実装量は限られており、近年のプリント配線板の更なる高機能化、小型化の要求に対応するのは困難であった。 Components such as bare chips, chip capacitors, and chip inductors are mounted on the printed wiring board. Conventionally, such components have been mounted only on the surface circuit of the printed wiring board, but the mounting amount is limited, and it is necessary to respond to recent demands for higher functionality and smaller size of printed wiring boards. Was difficult.
上記問題を解決するものとして、部品を内層回路基板に内蔵させることにより部品の搭載量を増やしつつ小型化(薄型化)を図った部品内蔵回路板が提案されている(例えば特許文献1を参照)。 As a solution to the above problem, there has been proposed a component built-in circuit board that is reduced in size (thinned) while increasing the mounting amount of the component by incorporating the component into an inner circuit board (for example, see Patent Document 1). ).
ところで、部品内蔵回路板の部品が配される凹部(キャビティ)における部品埋め込み性を優れたものとするには、レジンフローを重視して部品埋め込みに用いる樹脂組成物中の無機充填材の含有量を抑えつつ、比較的分子量の小さい樹脂を使用することが考えられるが、熱膨張率が高くなり基板反りが大きくなりやすい。一方、部品内蔵回路板の基板反りを低減するには、樹脂組成物中の無機充填材の含有量を多くすることが考えられるが、これにより溶融粘度が高くなりキャビティにおける部品埋め込み性が低下しやすいという問題があった。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、基板の反りを低減しかつ、部品埋め込み性に優れた樹脂シートを提供することである。
By the way, in order to improve the component embedding property in the concave portion (cavity) where the component of the component built-in circuit board is arranged, the content of the inorganic filler in the resin composition used for embedding the component with emphasis on resin flow. It is conceivable to use a resin having a relatively small molecular weight while suppressing the thermal expansion. On the other hand, in order to reduce the substrate warpage of the component built-in circuit board, it is conceivable to increase the content of the inorganic filler in the resin composition, but this increases the melt viscosity and decreases the component embedding property in the cavity. There was a problem that it was easy.
Therefore, an object of the present invention is to provide a resin sheet that reduces the warpage of a substrate and has excellent component embedding properties.
本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、硬化性樹脂組成物層を形成する硬化性樹脂組成物中に、平均粒径が1.6μm以下であるとともに、比表面積[m2/g]と真密度[g/cm3]との積が6〜8である無機充填材を74質量%以上含む構成とし、硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度を12000poise以下とすることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明はかかる新規な知見に基づくものである。 The present inventors have conducted intensive studies on the above problems, and as a result, the curable resin composition forming the curable resin composition layer has an average particle size of 1.6 μm or less and a specific surface area [m 2 / g] and a product of the true density [g / cm 3 ] of at least 74% by mass of an inorganic filler having a value of 6 to 8, and by setting the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer to 12000 poise or less, The inventors have found that the above problems can be solved, and have completed the present invention. The present invention is based on such a new finding.
すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1]支持体と、支持体上に設けられた硬化性樹脂組成物層と、を備える樹脂シートであって、硬化性樹脂組成物層は、無機充填材を含み、硬化性樹脂組成物層中の無機充填材の含有量は74質量%以上であり、無機充填材の平均粒径が1.6μm以下であり、無機充填材の比表面積[m2/g]と真密度[g/cm3]との積が6〜8であり、硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度が12000poise以下である、樹脂シート。
[2]無機充填材がシリカである[1]に記載の樹脂シート。
[3]硬化性樹脂組成物層が、(a)エポキシ樹脂を含み、該エポキシ樹脂が、液状エポキシ樹脂を含み、硬化性樹脂組成物層中の液状のエポキシ樹脂の含有量が1質量%以上である[1]または[2]に記載の樹脂シート。
[4](a)エポキシ樹脂が、さらに固体状エポキシ樹脂を含み、硬化性樹脂組成物層中の液状エポキシ樹脂の質量MLに対する固体状エポキシ樹脂の質量MSの比(MS/ML)が、0.6〜10である[3]に記載の樹脂シート。
[5](a)エポキシ樹脂が、(a’)芳香族構造を有するエポキシ樹脂である、[3]または[4]に記載の樹脂シート。
[6]硬化性樹脂組成物層が、さらに、(d)成分:ガラス転移温度が25℃以下である官能基を有する樹脂、及び25℃で液状である官能基を有する樹脂から選択される1種以上の樹脂、を含む[3]〜[5]のいずれかに記載の樹脂シート。
[7](d)成分は、ヒドロキシル基、酸無水物基、フェノール性水酸基、エポキシ基、イソシアネート基及びウレタン基から選ばれる1種以上の官能基を有するとともに、アルキレン構造単位、アルキレンオキシ構造単位、ブタジエン構造単位、イソプレン構造単位、イソブチレン構造単位、クロロプレン構造単位、ウレタン構造単位、ポリカーボネート構造単位、(メタ)アクリレート構造単位、及びポリシロキサン構造単位から選択される1以上の構造単位を有する[6]に記載の樹脂シート。
[8]部品内蔵回路板用である[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂シート。
[9][1]〜[8]のいずれかに記載の樹脂シートの硬化性樹脂組成物層を硬化させてなる絶縁層と、導体層と、を備える配線板。
[10][9]に記載の配線板を備える半導体装置。
That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin sheet comprising a support and a curable resin composition layer provided on the support, wherein the curable resin composition layer contains an inorganic filler, and the curable resin composition layer The content of the inorganic filler therein is 74% by mass or more, the average particle size of the inorganic filler is 1.6 μm or less, the specific surface area [m 2 / g] of the inorganic filler and the true density [g / cm]. 3 ], and the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer is 12000 poise or less.
[2] The resin sheet according to [1], wherein the inorganic filler is silica.
[3] The curable resin composition layer contains (a) an epoxy resin, the epoxy resin contains a liquid epoxy resin, and the content of the liquid epoxy resin in the curable resin composition layer is 1% by mass or more. The resin sheet according to [1] or [2], wherein
[4] (a) an epoxy resin further comprises a solid epoxy resin, solid ratio of epoxy resin mass M S (M S / M L relative to the mass M L of liquid epoxy resin of the curable resin composition layer ) Is 0.6 to 10, and the resin sheet according to [3].
[5] The resin sheet according to [3] or [4], wherein (a) the epoxy resin is (a ′) an epoxy resin having an aromatic structure.
[6] The curable resin composition layer further comprises component (d): a resin having a functional group having a glass transition temperature of 25 ° C. or lower and a resin having a functional group which is liquid at 25 ° C. 1 The resin sheet according to any one of [3] to [5], comprising at least one kind of resin.
[7] The component (d) has at least one functional group selected from a hydroxyl group, an acid anhydride group, a phenolic hydroxyl group, an epoxy group, an isocyanate group and a urethane group, and has an alkylene structural unit and an alkyleneoxy structural unit. Having one or more structural units selected from butadiene structural units, isoprene structural units, isobutylene structural units, chloroprene structural units, urethane structural units, polycarbonate structural units, (meth) acrylate structural units, and polysiloxane structural units [6. ] The resin sheet according to [1].
[8] The resin sheet according to any one of [1] to [7], which is for a circuit board with a built-in component.
[9] A wiring board comprising: an insulating layer obtained by curing the curable resin composition layer of the resin sheet according to any one of [1] to [8]; and a conductor layer.
[10] A semiconductor device comprising the wiring board according to [9].
本発明によれば、基板の反りを低減しかつ、部品埋め込み性に優れた樹脂シートを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the curvature of a board | substrate can be reduced and the resin sheet excellent in the component embedding property can be provided.
本発明の樹脂シートについて詳細に説明する前に、本発明の樹脂シートにおいて、硬化性樹脂組成物層(「樹脂組成物層」ともいう)を形成する際に使用する硬化性樹脂組成物(「樹脂組成物」ともいう)について説明する。 Before describing the resin sheet of the present invention in detail, in the resin sheet of the present invention, the curable resin composition (“the resin composition layer”) used to form the curable resin composition layer (also referred to as “resin composition layer”) Resin composition ”).
<硬化性樹脂組成物>
硬化性樹脂組成物層を形成する硬化性樹脂組成物は、平均粒径が1.6μm以下であるとともに、比表面積[m2/g]と真密度[g/cm3]との積が6〜8である無機充填材を含むものであれば特に限定されず、その硬化物(絶縁層)が十分な硬度と絶縁性を有するものであればよい。硬化性樹脂組成物としては、例えば、無機充填材とともに、硬化性樹脂とその硬化剤を含む組成物が挙げられる。硬化性樹脂としては、プリント配線板の絶縁層を形成する際に使用される従来公知の硬化性樹脂を用いることができ、中でもエポキシ樹脂が好ましい。したがって一実施形態において、硬化性樹脂組成物は、(a)エポキシ樹脂、(b)硬化剤及び(c)無機充填材を含む。また、好適な一実施形態において、硬化性樹脂組成物は、(a’)芳香族構造を有するエポキシ樹脂、(b)硬化剤、(c)無機充填材、並びに、(d)ガラス転移温度が25℃以下である官能基を有する樹脂、及び25℃で液状である官能基を有する樹脂から選択される1種以上の樹脂、を含む。本発明において、硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、さらに、熱可塑性樹脂、硬化促進剤、難燃剤及びゴム粒子等の添加剤を含んでいてもよい。
<Curable resin composition>
The curable resin composition forming the curable resin composition layer has an average particle diameter of 1.6 μm or less and a product of the specific surface area [m 2 / g] and the true density [g / cm 3 ] of 6. No particular limitation is imposed as long as the cured product (insulating layer) has sufficient hardness and insulating properties. Examples of the curable resin composition include a composition containing a curable resin and a curing agent thereof together with an inorganic filler. As the curable resin, a conventionally known curable resin used for forming an insulating layer of a printed wiring board can be used, and among them, an epoxy resin is preferable. Thus, in one embodiment, the curable resin composition comprises (a) an epoxy resin, (b) a curing agent, and (c) an inorganic filler. In one preferred embodiment, the curable resin composition has (a ′) an epoxy resin having an aromatic structure, (b) a curing agent, (c) an inorganic filler, and (d) a glass transition temperature. It includes a resin having a functional group at 25 ° C. or lower, and one or more resins selected from a resin having a functional group that is liquid at 25 ° C. In the present invention, the curable resin composition may further contain, if necessary, additives such as a thermoplastic resin, a curing accelerator, a flame retardant, and rubber particles.
以下、硬化性樹脂組成物の材料として使用し得る(a)エポキシ樹脂、(b)硬化剤、(c)無機充填材、(d)ガラス転移温度が25℃以下である官能基を有する樹脂、及び25℃で液状である官能基を有する樹脂から選択される1種以上の樹脂、並びに(e)添加剤について説明する。 Hereinafter, (a) an epoxy resin, (b) a curing agent, (c) an inorganic filler, (d) a resin having a functional group having a glass transition temperature of 25 ° C. or lower, which can be used as a material of the curable resin composition, And at least one resin selected from resins having a functional group which is liquid at 25 ° C., and (e) additives.
(a)エポキシ樹脂
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(A) Epoxy resin Examples of the epoxy resin include bisphenol A epoxy resins, bisphenol F epoxy resins, bisphenol S epoxy resins, bisphenol AF epoxy resins, and other bisphenol epoxy resins, dicyclopentadiene epoxy resins, and tris Phenol type epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type Epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic Examples include a formula epoxy resin, a heterocyclic epoxy resin, a spiro ring-containing epoxy resin, a cyclohexane dimethanol type epoxy resin, a naphthylene ether type epoxy resin, a trimethylol type epoxy resin, and a tetraphenylethane type epoxy resin. One epoxy resin may be used alone, or two or more epoxy resins may be used in combination.
エポキシ樹脂としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フッ素系エポキシ樹脂(例えばビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びこれらのエポキシ樹脂の混合物からなる群から選択される一種または二種以上のエポキシ樹脂を用いるのが好ましい。 The epoxy resin is selected from the group consisting of bisphenol type epoxy resin, fluorine type epoxy resin (for example, bisphenol AF type epoxy resin), dicyclopentadiene type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin and a mixture of these epoxy resins. It is preferable to use one or more selected epoxy resins.
好適な一実施形態において、(a)エポキシ樹脂としては、芳香族構造を有するエポキシ樹脂(a’)が好ましい。芳香族構造を有するエポキシ樹脂(a’)としては、芳香族構造を有していれば特に限定されないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。 In a preferred embodiment, the epoxy resin (a) is preferably an epoxy resin (a ') having an aromatic structure. The epoxy resin (a ') having an aromatic structure is not particularly limited as long as it has an aromatic structure. For example, bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, bisphenol AF Bisphenol type epoxy resin such as type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol Type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, tetraphenylethane type epoxy resin and the like. That.
硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度を低くすることができるという観点から、エポキシ樹脂としては常温で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)を含むことが好ましい。なお、本明細書において、「常温」とは25℃を意味する。 From the viewpoint that the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer can be reduced, the epoxy resin preferably contains a liquid epoxy resin at room temperature (hereinafter, referred to as a “liquid epoxy resin”). In addition, in this specification, "normal temperature" means 25 degreeC.
また、エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。中でも、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂と、1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、常温で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)と、を含むことが好ましい。エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用することで、優れた可撓性を有する硬化性樹脂組成物が得られる。また、硬化性樹脂組成物の硬化物(絶縁層)の破断強度も向上する。 Further, the epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, a liquid epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule and an epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule and solid at normal temperature (hereinafter referred to as “solid epoxy resin”). ) Is preferable. By using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin together as the epoxy resin, a curable resin composition having excellent flexibility can be obtained. Further, the breaking strength of the cured product (insulating layer) of the curable resin composition is also improved.
液状エポキシ樹脂(a1)としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。特に芳香族骨格含有エポキシ樹脂は、平均線熱膨張率を低下させるのにも好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「828US」、「jER828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)、ナガセケムテックス(株)製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂)、(株)ダイセル製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂)、「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂)が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the liquid epoxy resin (a1) include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, and alicyclic ring having ester skeleton. Formula epoxy resins and epoxy resins having a butadiene structure are preferred, and bisphenol A epoxy resins, bisphenol F epoxy resins, bisphenol AF epoxy resins, and naphthalene epoxy resins are more preferred. Particularly, an epoxy resin containing an aromatic skeleton is also preferable for lowering the average linear thermal expansion coefficient. Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032”, “HP4032D”, and “HP4032SS” (naphthalene-type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, “828US” and “jER828EL” (bisphenol A) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Type epoxy resin), "jER807" (bisphenol F type epoxy resin), "jER152" (phenol novolak type epoxy resin), "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin), "ZX1059" (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) A mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin), "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation, "Celoxide 2021P" (ester skeleton) manufactured by Daicel Corporation Alicyclic epoxy with Resin), "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure) and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
固体状エポキシ樹脂(a2)としては、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。特に多官能エポキシ樹脂は、架橋点が多くなり、平均線熱膨張率を低下させるのに好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」、「HP−7200HH」「HP−7200L」、(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「EXA7311」、「EXA7311−G3」、「EXA7311−G4」、「EXA7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬(株)製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、大阪ガスケミカル(株)製の「PG−100」、「CG−500」、三菱化学(株)製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。 Examples of the solid epoxy resin (a2) include a naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, a cresol novolak type epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, a trisphenol type epoxy resin, a naphthol type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a naphthylene ether type An epoxy resin, an anthracene type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, and a tetraphenylethane type epoxy resin are preferred, and a naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, a naphthol type epoxy resin, and a biphenyl type epoxy resin are more preferred. In particular, a polyfunctional epoxy resin is preferable for increasing the number of crosslinking points and lowering the average coefficient of linear thermal expansion. Specific examples of the solid epoxy resin include “HP4032H” (naphthalene-type epoxy resin), “HP-4700”, “HP-4710” (naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin), and “N-690” manufactured by DIC Corporation. (Cresol novolak epoxy resin), "N-695" (cresol novolak epoxy resin), "HP-7200", "HP-7200HH" "HP-7200L", (dicyclopentadiene epoxy resin), "EXA7311" "EXA7311-G3", "EXA7311-G4", "EXA7311-G4S", "HP6000" (naphthylene ether type epoxy resin), "EPPN-502H" (Nippon Kayaku Co., Ltd.) (trisphenol type epoxy) Resin), "NC7000L" (naphthol novolak type epoxy) Fat), "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3100" (biphenyl type epoxy resin), "ESN475V" (naphthol type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., "ESN485" (naphthol novolak type) Epoxy resin), "YX4000H", "YL6121" (biphenyl type epoxy resin), "YX4000HK" (bixylenol type epoxy resin), "YX8800" (anthracene type epoxy resin), Osaka Gas Chemical (Mitsubishi Chemical Corporation) "PG-100" and "CG-500" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "YL7800" (fluorene type epoxy resin), "jER1010" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (solid bisphenol A type epoxy) Resin), “jER1031S” (tetraphenyl Tan epoxy resin) and the like.
エポキシ樹脂が、固体状エポキシ樹脂と液状エポキシ樹脂を含んでいる場合、液状エポキシ樹脂の質量MLに対する固体状エポキシ樹脂の質量MSの比(MS/ML)は、0.6〜10の範囲が好ましい。MS/MLを、斯かる範囲とすることにより、i)樹脂シートの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)樹脂シートの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)十分な破断強度を有する硬化物(絶縁層)を得ることができる等の効果が得られる。 Epoxy resin, if it contains solid epoxy resin and liquid epoxy resin, the ratio of the mass M S of solid epoxy resin to the weight M L of the liquid epoxy resin (M S / M L) is 0.6 to 10 Is preferable. The M S / M L, With such a range, i) moderate tackiness is brought when used in the form of a resin sheet, ii) sufficient flexibility when used in the form of a resin sheet And iii) an effect of obtaining a cured product (insulating layer) having a sufficient breaking strength can be obtained.
硬化性樹脂組成物中の(a)エポキシ樹脂の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは40質量%以下、より好ましくは35質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下である。
したがって硬化性樹脂組成物中の(a)エポキシ樹脂の含有量は、好ましくは0.1〜50質量%、より好ましくは10〜45質量%、さらに好ましくは20〜42質量%である。なお、本発明において、硬化性樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。
The content of the epoxy resin (a) in the curable resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. And more preferably 5% by mass or more. The upper limit of the content of the epoxy resin is not particularly limited as long as the effects of the present invention are exerted, but is preferably 40% by mass or less, more preferably 35% by mass or less, and further preferably 30% by mass or less.
Therefore, the content of the epoxy resin (a) in the curable resin composition is preferably 0.1 to 50% by mass, more preferably 10 to 45% by mass, and still more preferably 20 to 42% by mass. In the present invention, the content of each component in the curable resin composition is a value when the nonvolatile component in the curable resin composition is 100% by mass, unless otherwise specified.
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、さらにより好ましくは110〜1000である。この範囲となることで、硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。 The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably from 50 to 5,000, more preferably from 50 to 3,000, further preferably from 80 to 2,000, and still more preferably from 110 to 1,000. When the content falls within this range, the crosslinked density of the cured product becomes sufficient and an insulating layer having a small surface roughness can be obtained. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236 and is the mass of a resin containing one equivalent of an epoxy group.
エポキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The weight average molecular weight of the epoxy resin is preferably from 100 to 5000, more preferably from 250 to 3000, and still more preferably from 400 to 1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.
(b)硬化剤
硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されないが、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
(B) Curing agent The curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing the epoxy resin. Examples thereof include a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent, an active ester-based curing agent, a benzoxazine-based curing agent, and a cyanate ester. And a carbodiimide-based curing agent. One type of curing agent may be used alone, or two or more types may be used in combination.
フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層(回路配線)との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン構造含有フェノール樹脂およびトリアジン構造含有アルキルフェノール樹脂がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性(剥離強度)を高度に満足させる観点から、トリアジン構造含有フェノール系硬化剤を用いることが好ましい。 As the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. Further, from the viewpoint of adhesion to a conductor layer (circuit wiring), a nitrogen-containing phenol-based curing agent is preferable, and a phenol resin having a triazine structure and an alkylphenol resin having a triazine structure are more preferable. Among them, it is preferable to use a triazine structure-containing phenol-based curing agent from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion (peeling strength) with the conductor layer.
フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成(株)製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」、日本化薬(株)製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、東都化成(株)製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN375」、「SN395」、DIC(株)製の「LA7052」、「LA7054」、「LA3018」等が挙げられる。 Specific examples of the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent include, for example, “MEH-7700”, “MEH-7810”, “MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., and “MEH-7851” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. “NHN”, “CBN”, “GPH”, “SN170”, “SN180”, “SN190”, “SN475”, “SN485”, “SN495”, “SN375”, “SN395” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. "LA7052", "LA7054" and "LA3018" manufactured by DIC Corporation.
活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。 The active ester-based curing agent is not particularly limited, but generally has a highly reactive ester group such as a phenol ester, a thiophenol ester, an N-hydroxyamine ester, or an ester of a heterocyclic hydroxy compound in one molecule. Are preferably used. The active ester-based curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester-based curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester-based curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalein, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, Benzene triol, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolak and the like can be mentioned.
具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。 Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated phenol novolak, and an active ester compound containing a benzoylated phenol novolak are preferred. Among them, an active ester compound having a naphthalene structure and an active ester compound having a dicyclopentadienyl diphenol structure are more preferable.
活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱化学(株)製)などが挙げられる。 As a commercially available active ester-based curing agent, as an active ester compound having a dicyclopentadienyl diphenol structure, "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000-65T" (DIC Corporation) EXB9416-70BK (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound having a naphthalene structure, and DCDC (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated phenol novolak. Examples of an active ester compound containing a benzoyl compound include “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).
ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。 Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., and “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Chemicals.
シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート))、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester-based curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate)), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4'-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5- Bifunctional cyanate resins such as dimethylphenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether; Phenol novolak and Polyfunctional cyanate resin derived from resol novolac, these cyanate resins and partially triazine of prepolymer. Specific examples of the cyanate ester-based curing agent include “PT30” and “PT60” (both are phenol novolac-type polyfunctional cyanate ester resins) and “BA230” (part or all of bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. Is a tripolymer which is triazine-modified to form a trimer).
カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル(株)製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。 Specific examples of the carbodiimide-based curing agent include “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Inc.
本発明において(b)硬化剤は、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含んでいるのが好ましく、トリアジン構造含有フェノール系樹脂、トリアジン構造含有アルキルフェノール系樹脂、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含んでいることがより好ましい。 In the present invention, (b) the curing agent preferably contains at least one selected from a phenol-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and an active ester-based curing agent. More preferably, the composition contains at least one selected from an alkylphenol-based resin, a cyanate ester-based curing agent, and an active ester-based curing agent.
硬化性樹脂組成物中の(b)硬化剤の含有量は特に限定されないが、ピール強度が高く低誘電正接の絶縁層を得る観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上である。(b)硬化剤の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。
したがって硬化性樹脂組成物中の(b)硬化剤の含有量は、好ましくは0.1〜30質量%、より好ましくは0.5〜25質量%、さらに好ましくは1〜20質量%である。
The content of the curing agent (b) in the curable resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.1% by mass, from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a high peel strength and a low dielectric loss tangent. It is at least 5% by mass, more preferably at least 1% by mass. (B) The upper limit of the content of the curing agent is not particularly limited as long as the effects of the present invention are exerted, but is preferably 30% by mass or less, more preferably 25% by mass or less, and still more preferably 20% by mass or less. is there.
Therefore, the content of the curing agent (b) in the curable resin composition is preferably 0.1 to 30% by mass, more preferably 0.5 to 25% by mass, and still more preferably 1 to 20% by mass.
(a)エポキシ樹脂と(b)硬化剤との量比は、[(a)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[(b)硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.2〜1:2の範囲が好ましく、1:0.3〜1:1.5がより好ましく、1:0.4〜1:1がさらに好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、硬化性樹脂組成物の硬化物(絶縁層)の耐熱性がより向上する。 The amount ratio of (a) the epoxy resin to the (b) curing agent is a ratio of [(a) the total number of epoxy groups of the epoxy resin]: [(b) the total number of reactive groups of the curing agent], and is 1: The range is preferably from 0.2 to 1: 2, more preferably from 1: 0.3 to 1: 1.5, and still more preferably from 1: 0.4 to 1: 1. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group, or the like, and differs depending on the type of the curing agent. In addition, the total number of epoxy groups of the epoxy resin is a value obtained by summing a value obtained by dividing the mass of the solid content of each epoxy resin by an epoxy equivalent for the epoxy resin, and the total number of reactive groups of the curing agent is The value obtained by dividing the mass of the solid content of the agent by the equivalent of the reactive group is the sum of all the curing agents. By setting the ratio between the epoxy resin and the curing agent in such a range, the heat resistance of the cured product (insulating layer) of the curable resin composition is further improved.
(c)無機充填材
無機充填材としては、平均粒径が1.6μm以下であるとともに、比表面積[m2/g]と真密度[g/cm3]との積(比表面積×真密度)が6〜8であるものであれば限定されないが、具体的には、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。またシリカとしては球状シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。無機充填材として用いるシリカの市販品としては、例えば(株)アドマテックス製「アドマファイン」、電気化学工業(株)製「SFPシリーズ」、新日鉄住金マテリアルズ(株)製「SP(H)シリーズ」、堺化学工業(株)製「Sciqasシリーズ」、(株)日本触媒製「シーホスターシリーズ」等が挙げられ、アルミナの市販品としては、新日鉄住金マテリアルズ(株)製の「AZ,AXシリーズ」等が挙げられる。
(C) Inorganic Filler The inorganic filler has an average particle diameter of 1.6 μm or less and a product of specific surface area [m 2 / g] and true density [g / cm 3 ] (specific surface area × true density). Is not limited as long as it is 6 to 8, specifically, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, Hydrotalcite, boehmite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate , Bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate, titanium Barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and phosphoric acid zirconium tungstate, and the like. Among these, silica is particularly preferred. As the silica, spherical silica is preferable. One kind of the inorganic filler may be used alone, or two or more kinds may be used in combination. Commercially available silica used as an inorganic filler include, for example, "Admafine" manufactured by Admatechs Co., Ltd., "SFP Series" manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., and "SP (H) Series" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Materials Co., Ltd. , "Sciqas Series" manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., "Sea Hostar Series" manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd., and commercial products of alumina include "AZ, AX" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Materials Co., Ltd. Series "and the like.
本発明において、無機充填材の平均粒径は1.6μm以下である。無機充填材の平均粒径は1.5μm以下が好ましく、1.4μm以下がさらに好ましい。一方、硬化性樹脂組成物を使用して樹脂ワニスを形成する際に適度な粘度を有し取り扱い性の良好な樹脂ワニスを得る観点、硬化性樹脂組成物層の溶融粘度の上昇を防止する観点等から、無機充填材の平均粒径は、0.5μm以上が好ましく、0.6μm以上がより好ましく、0.7μm以上がさらに好ましい。 In the present invention, the average particle size of the inorganic filler is 1.6 μm or less. The average particle size of the inorganic filler is preferably 1.5 μm or less, more preferably 1.4 μm or less. On the other hand, from the viewpoint of obtaining a resin varnish having an appropriate viscosity and having good handleability when forming a resin varnish using the curable resin composition, and a viewpoint of preventing an increase in melt viscosity of the curable resin composition layer. For example, the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.5 μm or more, more preferably 0.6 μm or more, and further preferably 0.7 μm or more.
無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折粒度分布測定装置としては、(株)島津製作所製「SALD−2200」等を使用することができる。 The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be measured on a volume basis by a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter can be measured by setting the median diameter as the average particle diameter. As the measurement sample, a sample in which an inorganic filler is dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As a laser diffraction particle size distribution measuring device, “SALD-2200” manufactured by Shimadzu Corporation can be used.
無機充填材の比表面積はBET法により測定することができる。比表面積の測定には、BET全自動比表面積測定装置((株)マウンテック製Macsorb HM−1210)等を使用することができる。無機充填材の真密度は、マイクロ・ウルトラピクノメータ(カンタクローム・インスツルメンツ・ジャパン(同)製MUPY−21T)を使用して、測定することができる。 The specific surface area of the inorganic filler can be measured by the BET method. For the measurement of the specific surface area, a BET fully automatic specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountech Co., Ltd.) or the like can be used. The true density of the inorganic filler can be measured by using a micro ultra pycnometer (MUPY-21T manufactured by Kantachrome Instruments Japan (the same)).
本発明によれば、無機充填材の比表面積[m2/g]と真密度[g/cm3]との積を6以上とすることにより硬化性樹脂組成物のキャビティへの流れ込みを良好なものとし、当該積を8以下とすることにより平均線熱膨張率を低くすることができる。無機充填材の比表面積と真密度との積の下限値は6.1以上が好ましく、6.3以上がより好ましい。また、無機充填材の比表面積と真密度との積は7.7以下が好ましく、7.5以下がより好ましい。 According to the present invention, the product of the specific surface area [m 2 / g] of the inorganic filler and the true density [g / cm 3 ] is 6 or more, so that the curable resin composition can flow into the cavity well. By setting the product to 8 or less, the average coefficient of linear thermal expansion can be reduced. The lower limit of the product of the specific surface area and the true density of the inorganic filler is preferably 6.1 or more, more preferably 6.3 or more. The product of the specific surface area and the true density of the inorganic filler is preferably 7.7 or less, more preferably 7.5 or less.
無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の1種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業(株)製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM−4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)等が挙げられる。 From the viewpoint of increasing the moisture resistance and dispersibility of the inorganic filler, aminosilane-based coupling agents, epoxysilane-based coupling agents, mercaptosilane-based coupling agents, silane-based coupling agents, organosilazane compounds, titanate-based coupling agents And the like, and is preferably treated with one or more surface treating agents. Examples of commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. and “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxy) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Silane), "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "SZ-31" (hexamethyldisilazane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM103" (phenyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-4803" (long-chain epoxy type) Silane coupling agent).
表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m2以上が好ましく、0.1mg/m2以上がより好ましく、0.2mg/m2以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m2以下が好ましく、0.8mg/m2以下がより好ましく、0.5mg/m2以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. Carbon content per unit surface area of the inorganic filler, from the viewpoint of improving dispersibility of the inorganic filler is preferably 0.02 mg / m 2 or more, 0.1 mg / m 2 or more preferably, 0.2 mg / m 2 The above is more preferred. On the other hand, from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity at the melt viscosity or sheet form a resin varnish, preferably 1 mg / m 2 or less, more preferably 0.8 mg / m 2 or less, 0.5 mg / m 2 or less is more preferable.
無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、(株)堀場製作所製「EMIA−320V」等を使用することができる。 The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the inorganic filler after the surface treatment is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid content, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.
硬化性樹脂組成物中の(c)無機充填材の含有量は、74質量%以上であり、76質量%以上が好ましく、78質量%以上がより好ましい。(c)無機充填材の含有量の上限値は、その上に微細な配線を形成し得る絶縁層を得る観点から、好ましくは90質量%以下、より好ましくは85質量%以下である。 The content of the inorganic filler (c) in the curable resin composition is 74% by mass or more, preferably 76% by mass or more, and more preferably 78% by mass or more. (C) The upper limit of the content of the inorganic filler is preferably 90% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, from the viewpoint of obtaining an insulating layer on which fine wiring can be formed.
(d)ガラス転移温度が25℃以下である官能基を有する樹脂、及び25℃で液状である官能基を有する樹脂から選択される1種以上の樹脂((d)成分)。
好適な一実施形態において、硬化性樹脂組成物は、芳香族構造を有するエポキシ樹脂(a’)((a’)成分)とともに(d)成分を含む。(d)成分のような柔軟な樹脂を含むことで、硬化性樹脂組成物層の硬化物(絶縁層)の弾性率及び熱膨張率を低下させ、且つ本発明の樹脂シートを用いて製造され得る配線板の反りの発生を抑制することができる。
(D) at least one resin selected from a resin having a functional group having a glass transition temperature of 25 ° C. or lower and a resin having a functional group which is liquid at 25 ° C. (component (d)).
In one preferred embodiment, the curable resin composition contains the component (d) together with the epoxy resin (a ′) having the aromatic structure (the component (a ′)). By containing a flexible resin such as the component (d), the cured product (insulating layer) of the curable resin composition layer is reduced in elastic modulus and thermal expansion coefficient, and is manufactured using the resin sheet of the present invention. It is possible to suppress the occurrence of warpage of the obtained wiring board.
(d)成分のガラス転移温度(Tg)が25℃以下である官能基を有する樹脂のガラス転移温度は、好ましくは20℃以下、より好ましくは15℃以下である。(d)成分のガラス転移温度の下限は特に限定されないが、通常−15℃以上とし得る。 The glass transition temperature of the resin having a functional group having a glass transition temperature (Tg) of the component (d) of 25 ° C. or lower is preferably 20 ° C. or lower, more preferably 15 ° C. or lower. Although the lower limit of the glass transition temperature of the component (d) is not particularly limited, it can be usually -15 ° C or higher.
25℃で液状である官能基を有する樹脂において、25℃で液状であれば、該樹脂のTgも当然にして25℃以下と考えられる。 In a resin having a functional group that is liquid at 25 ° C., if the resin is liquid at 25 ° C., the Tg of the resin is naturally considered to be 25 ° C. or less.
(d)成分が有する官能基としては、(a)または(a’)成分と反応し得る官能基を有することが好ましい。好適な一実施形態において、(d)成分が有する官能基は、ヒドロキシル基、酸無水物基、フェノール性水酸基、エポキシ基、イソシアネート基及びウレタン基からなる群から選択される1種以上の官能基である。中でも、当該官能基としては、ヒドロキシル基、酸無水物基、エポキシ基、フェノール性水酸基が好ましく、ヒドロキシル基、酸無水物基、エポキシ基がより好ましい。ただし、官能基としてエポキシ基を含む場合、(d)成分は芳香族構造を有さない。 The component (d) preferably has a functional group capable of reacting with the component (a) or (a '). In a preferred embodiment, the functional group of the component (d) has at least one functional group selected from the group consisting of a hydroxyl group, an acid anhydride group, a phenolic hydroxyl group, an epoxy group, an isocyanate group, and a urethane group. It is. Among them, as the functional group, a hydroxyl group, an acid anhydride group, an epoxy group, and a phenolic hydroxyl group are preferable, and a hydroxyl group, an acid anhydride group, and an epoxy group are more preferable. However, when an epoxy group is included as a functional group, the component (d) does not have an aromatic structure.
(d)成分は、弾性率が低い硬化性樹脂組成物層を得る観点から、炭素原子数2〜15のアルキレン構造単位(好ましくは炭素原子数3〜10、より好ましくは炭素原子数5〜6)、炭素原子数2〜15のアルキレンオキシ構造単位(好ましくは炭素原子数3〜10、より好ましくは炭素原子数5〜6)、ブタジエン構造単位、イソプレン構造単位、イソブチレン構造単位、クロロプレン構造単位、ウレタン構造単位、ポリカーボネート構造単位、(メタ)アクリレート構造単位、及びポリシロキサン構造単位から選択される1以上の構造単位を有することが好ましく、ブタジエン構造単位、ウレタン構造単位、(メタ)アクリレート構造単位から選択される1以上の構造単位を有することがより好ましい。なお、「(メタ)アクリレート」とは、メタクリレート及びアクリレートを指す。 The component (d) is an alkylene structural unit having 2 to 15 carbon atoms (preferably 3 to 10 carbon atoms, more preferably 5 to 6 carbon atoms) from the viewpoint of obtaining a curable resin composition layer having a low elastic modulus. ), An alkyleneoxy structural unit having 2 to 15 carbon atoms (preferably having 3 to 10 carbon atoms, more preferably having 5 to 6 carbon atoms), a butadiene structural unit, an isoprene structural unit, an isobutylene structural unit, a chloroprene structural unit, It preferably has at least one structural unit selected from a urethane structural unit, a polycarbonate structural unit, a (meth) acrylate structural unit, and a polysiloxane structural unit, and preferably includes a butadiene structural unit, a urethane structural unit, and a (meth) acrylate structural unit. It is more preferred to have one or more structural units selected. In addition, "(meth) acrylate" refers to methacrylate and acrylate.
(d)成分の好適な一実施形態は、25℃で液状の官能基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂である。25℃で液状の官能基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂としては、25℃で液状の酸無水物基含有飽和及び/又はブタジエン樹脂、25℃で液状のフェノール性水酸基含有飽和及び/又はブタジエン樹脂、25℃で液状のエポキシ基含有飽和及び/又はブタジエン樹脂、25℃で液状のイソシアネート基含有飽和及び/又はブタジエン樹脂、及び25℃で液状のウレタン基含有飽和及び/又はブタジエン樹脂からなる群から選択される1種以上の樹脂が好ましい。ここで、「飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂」とは、飽和ブタジエン骨格及び/又は不飽和ブタジエン骨格を含有する樹脂をいい、これらの樹脂において飽和ブタジエン骨格及び/又は不飽和ブタジエン骨格は主鎖に含まれていても側鎖に含まれていてもよい。 One preferred embodiment of component (d) is a functional group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin that is liquid at 25 ° C. Examples of the functional group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin which is liquid at 25 ° C. include acid anhydride group-containing saturated and / or butadiene resin which is liquid at 25 ° C., and phenolic hydroxyl group-containing saturated and / or butadiene which is liquid at 25 ° C. A resin, a liquid epoxy group-containing saturated and / or butadiene resin at 25 ° C., a liquid isocyanate group-containing saturated and / or butadiene resin liquid at 25 ° C., and a urethane group-containing saturated and / or butadiene resin liquid at 25 ° C. One or more resins selected from Here, the term “saturated and / or unsaturated butadiene resin” refers to a resin containing a saturated butadiene skeleton and / or unsaturated butadiene skeleton. In these resins, the saturated butadiene skeleton and / or unsaturated butadiene skeleton has a main chain. Or in the side chain.
25℃で液状の官能基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂の数平均分子量(Mn)は、好ましくは500〜50000、より好ましくは1000〜10000である。ここで、樹脂の数平均分子量(Mn)は、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)を使用して測定されるポリスチレン換算の数平均分子量である。 The number average molecular weight (Mn) of the functional group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin liquid at 25 ° C. is preferably 500 to 50,000, more preferably 1,000 to 10,000. Here, the number average molecular weight (Mn) of the resin is a number average molecular weight in terms of polystyrene measured using GPC (gel permeation chromatography).
25℃で液状の官能基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂の官能基当量は、好ましくは100〜10000、より好ましくは200〜5000である。なお、官能基当量とは、1当量の官能基を含む樹脂の質量である。例えば、樹脂のエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 The functional group equivalent of the functional group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin which is liquid at 25 ° C. is preferably 100 to 10000, more preferably 200 to 5000. The functional group equivalent is the mass of a resin containing one equivalent of a functional group. For example, the epoxy equivalent of the resin can be measured according to JIS K7236.
25℃で液状のエポキシ基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂としては、25℃で液状の飽和及び/又はブタジエン骨格含有エポキシ樹脂が好ましく、25℃で液状のポリブタジエン骨格含有エポキシ樹脂、25℃で液状の水素化ポリブタジエン骨格含有エポキシ樹脂がより好ましく、25℃で液状のポリブタジエン骨格含有エポキシ樹脂、25℃で液状の水素化ポリブタジエン骨格含有エポキシ樹脂がさらに好ましい。ここで、「水素化ポリブタジエン骨格含有エポキシ樹脂」とは、ポリブタジエン骨格の少なくとも一部が水素化されたエポキシ樹脂をいい、必ずしもポリブタジエン骨格が完全に水素化されたエポキシ樹脂である必要はない。25℃で液状のポリブタジエン骨格含有樹脂及び25℃で液状の水素化ポリブタジエン骨格含有樹脂の具体例としては、(株)ダイセル製の「PB3600」、「PB4700」(ポリブタジエン骨格エポキシ樹脂)、ナガセケムテックス(株)製の「FCA−061L」(水素化ポリブタジエン骨格エポキシ樹脂)等が挙げられる。 As the epoxy group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin liquid at 25 ° C., a saturated and / or butadiene skeleton-containing epoxy resin liquid at 25 ° C. is preferable, and a polybutadiene skeleton-containing epoxy resin liquid at 25 ° C. A liquid hydrogenated polybutadiene skeleton-containing epoxy resin is more preferable, and a liquid polybutadiene skeleton-containing epoxy resin liquid at 25 ° C. and a hydrogenated polybutadiene skeleton-containing epoxy resin liquid at 25 ° C. are even more preferable. Here, the “hydrogenated polybutadiene skeleton-containing epoxy resin” refers to an epoxy resin in which at least a part of the polybutadiene skeleton is hydrogenated, and does not necessarily need to be an epoxy resin in which the polybutadiene skeleton is completely hydrogenated. Specific examples of the polybutadiene skeleton-containing resin liquid at 25 ° C. and the hydrogenated polybutadiene skeleton-containing resin liquid at 25 ° C. include “PB3600” and “PB4700” (polybutadiene skeleton epoxy resin) manufactured by Daicel Corporation, and Nagase Chemtex. And "FCA-061L" (hydrogenated polybutadiene skeleton epoxy resin).
25℃で液状の酸無水物基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂としては、25℃で液状の飽和及び/又は不飽和ブタジエン骨格含有酸無水物樹脂が好ましい。25℃で液状のフェノール性水酸基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂としては、25℃で液状の飽和及び/又は不飽和ブタジエン骨格含有フェノール樹脂が好ましい。25℃で液状のイソシアネート基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂としては、25℃で液状の飽和及び/又は不飽和ブタジエン骨格含有イソシアネート樹脂が好ましい。25℃で液状のウレタン基含有飽和及び/又は不飽和ブタジエン樹脂としては、25℃で液状の飽和及び/又は不飽和ブタジエン骨格含有ウレタン樹脂が好ましい。 As the acid anhydride group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin liquid at 25 ° C., a saturated and / or unsaturated butadiene skeleton-containing acid anhydride resin liquid at 25 ° C. is preferable. As the phenolic hydroxyl group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin liquid at 25 ° C., a saturated and / or unsaturated butadiene skeleton-containing phenol resin liquid at 25 ° C. is preferable. As the isocyanate group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin liquid at 25 ° C., a saturated and / or unsaturated butadiene skeleton-containing isocyanate resin liquid at 25 ° C. is preferable. As the urethane group-containing saturated and / or unsaturated butadiene resin which is liquid at 25 ° C., a saturated and / or unsaturated butadiene skeleton-containing urethane resin which is liquid at 25 ° C. is preferable.
(d)成分の他の好適な一実施形態は、Tgが25℃以下の官能基含有アクリル樹脂である。Tgが25℃以下の官能基含有アクリル樹脂としては、Tgが25℃以下の酸無水物基含有アクリル樹脂、Tgが25℃以下のフェノール性水酸基含有アクリル樹脂、Tgが25℃以下のイソシアネート基含有アクリル樹脂、Tgが25℃以下のウレタン基含有アクリル樹脂、及びTgが25℃以下のエポキシ基含有アクリル樹脂からなる群から選択される1種以上の樹脂が好ましい。 Another preferred embodiment of the component (d) is a functional group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or lower. Examples of the functional group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less include an acid anhydride group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less, a phenolic hydroxyl group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less, and an isocyanate group containing a Tg of 25 ° C. or less. One or more resins selected from the group consisting of an acrylic resin, a urethane group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less, and an epoxy group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less are preferable.
Tgが25℃以下の官能基含有アクリル樹脂の数平均分子量(Mn)は、好ましくは10000〜1000000、より好ましくは30000〜900000である。ここで、樹脂の数平均分子量(Mn)は、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)を使用して測定されるポリスチレン換算の数平均分子量である。 The number average molecular weight (Mn) of the functional group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less is preferably 10,000 to 1,000,000, and more preferably 30,000 to 9,000,000. Here, the number average molecular weight (Mn) of the resin is a number average molecular weight in terms of polystyrene measured using GPC (gel permeation chromatography).
Tgが25℃以下の官能基含有アクリル樹脂の官能基当量は、好ましくは1000〜50000、より好ましくは2500〜30000である。 The functional group equivalent of the functional group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or lower is preferably 1,000 to 50,000, more preferably 2,500 to 30,000.
Tgが25℃以下のエポキシ基含有アクリル樹脂としては、Tgが25℃以下のエポキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂が好ましく、その具体例としては、ナガセケムテックス(株)製の「SG−80H」(エポキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂(数平均分子量Mn:350000g/mol、エポキシ価0.07eq/kg、Tg11℃))、ナガセケムテックス(株)製の「SG−P3」(エポキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂(数平均分子量Mn:850000g/mol、エポキシ価0.21eq/kg、Tg12℃))が挙げられる。
As the epoxy group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less, an epoxy group-containing acrylate copolymer resin having a Tg of 25 ° C. or less is preferable, and specific examples thereof include “SG-” manufactured by Nagase ChemteX Corporation. 80H "(epoxy group-containing acrylate copolymer resin (number-average molecular weight Mn: 350,000 g / mol, epoxy value 0.07 eq / kg,
Tgが25℃以下の酸無水物基含有アクリル樹脂としては、Tgが25℃以下の酸無水物基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂が好ましい。 As the acid anhydride group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less, an acid anhydride group-containing acrylate copolymer resin having a Tg of 25 ° C. or less is preferable.
Tgが25℃以下のフェノール性水酸基含有アクリル樹脂としては、Tgが25℃以下のフェノール性水酸基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂が好ましく、その具体例としては、ナガセケムテックス(株)製の「SG−790」(エポキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂(数平均分子量Mn:500000g/mol、水酸基価40mgKOH/kg、Tg−32℃))が挙げられる。 As the phenolic hydroxyl group-containing acrylic resin having a Tg of 25 ° C. or less, a phenolic hydroxyl group-containing acrylate copolymer resin having a Tg of 25 ° C. or less is preferable. As a specific example thereof, Nagase ChemteX Corp. SG-790 "(epoxy group-containing acrylate copolymer resin (number average molecular weight Mn: 500,000 g / mol, hydroxyl value 40 mg KOH / kg, Tg-32 ° C)).
また、(d)成分の好適な一実施形態は、分子内にブタジエン構造単位、ウレタン構造単位、及びイミド構造単位を有するポリイミド樹脂であり、該ポリイミド樹脂は分子末端にフェノール構造を有することが好ましい。 A preferred embodiment of the component (d) is a polyimide resin having a butadiene structural unit, a urethane structural unit, and an imide structural unit in the molecule, and the polyimide resin preferably has a phenol structure at a molecular terminal. .
該ポリイミド樹脂の数平均分子量(Mn)は、好ましくは1000〜100000、より好ましくは10000〜15000である。ここで、樹脂の数平均分子量(Mn)は、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)を使用して測定されるポリスチレン換算の数平均分子量である。 The number average molecular weight (Mn) of the polyimide resin is preferably from 1,000 to 100,000, more preferably from 10,000 to 15,000. Here, the number average molecular weight (Mn) of the resin is a number average molecular weight in terms of polystyrene measured using GPC (gel permeation chromatography).
該ポリイミド樹脂の酸価は、好ましくは1KOH/g〜30KOH/g、より好ましくは10KOH/g〜20KOH/gである。 The acid value of the polyimide resin is preferably 1 KOH / g to 30 KOH / g, and more preferably 10 KOH / g to 20 KOH / g.
該ポリイミド樹脂のブタジエン構造の含有率は、好ましくは60質量%〜95質量%、より好ましくは75質量%〜85質量%である。 The butadiene structure content of the polyimide resin is preferably 60% by mass to 95% by mass, and more preferably 75% by mass to 85% by mass.
該ポリイミド樹脂の詳細は、国際公開2008/153208号の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。 For details of the polyimide resin, the description of International Publication WO 2008/153208 can be referred to, and the contents thereof are incorporated herein.
破断強度を向上させる観点から、(d)成分は、(d)成分以外の成分との相溶性が高いことが好ましい。すなわち、硬化性樹脂組成物層中に(d)成分が分散していることが好ましい。 From the viewpoint of improving the breaking strength, the component (d) preferably has high compatibility with components other than the component (d). That is, it is preferable that the component (d) is dispersed in the curable resin composition layer.
硬化性樹脂組成物中の(d)成分の含有量は特に限定されないが、好ましくは14質量%以下、より好ましくは13質量%以下、さらに好ましくは12質量%以下である。また、下限は、好ましくは2質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは4質量%以上である。 The content of the component (d) in the curable resin composition is not particularly limited, but is preferably 14% by mass or less, more preferably 13% by mass or less, and further preferably 12% by mass or less. The lower limit is preferably 2% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, and further preferably 4% by mass or more.
硬化性樹脂組成物は上記(a)、(b)、(c)、(d)以外に、熱可塑性樹脂、硬化促進剤、難燃剤及びゴム粒子等の添加剤(e)を含んでいてもよい。 The curable resin composition may contain additives (e) such as a thermoplastic resin, a curing accelerator, a flame retardant, and rubber particles in addition to the above (a), (b), (c), and (d). Good.
(e)添加剤
−熱可塑性樹脂−
熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂が挙げられ、これらのうち、フェノキシ樹脂が好ましい。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(E) Additive-thermoplastic resin-
As the thermoplastic resin, for example, phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, polyether Thermoplastic resins such as an ether ketone resin and a polyester resin are exemplified, and among these, a phenoxy resin is preferable. The thermoplastic resins may be used alone or in combination of two or more.
熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は5,000〜100,000の範囲が好ましく、10,000〜60,000の範囲がより好ましく、20,000〜60,000の範囲がさらに好ましい。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度を40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。 The weight average molecular weight of the thermoplastic resin in terms of polystyrene is preferably in the range of 5,000 to 100,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin in terms of polystyrene is determined by using LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be calculated using a calibration curve of standard polystyrene by measuring column temperature at 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase.
フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学(株)製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学(株)製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学(株)製の「YL6954BH30」、「YX7553」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenol acetophenone skeleton, novolak skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene Phenoxy resins having one or more skeletons selected from the group consisting of a skeleton and a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group and an epoxy group. The phenoxy resins may be used alone or in combination of two or more. Specific examples of the phenoxy resin include “1256” and “4250” (both phenoloxy resins containing a bisphenol A skeleton), “YX8100” (phenoxy resin containing a bisphenol S skeleton), and “YX6954” (produced by Mitsubishi Chemical Corporation). Bisphenol acetophenone skeleton-containing phenoxy resin), as well as "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., "YL6954BH30", "YX7553", "YL7769BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “YL6794”, “YL7213”, “YL7290”, “YL7482” and the like.
ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、例えば、電気化学工業(株)製の「電化ブチラール4000−2」、「電化ブチラール5000−A」、「電化ブチラール6000−C」、「電化ブチラール6000−EP」、積水化学工業(株)製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。 Examples of the polyvinyl acetal resin include a polyvinyl formal resin and a polyvinyl butyral resin, and a polyvinyl butyral resin is preferable. Specific examples of the polyvinyl acetal resin include, for example, “Electric Butyral 4000-2”, “Electric Butyral 5000-A”, “Electric Butyral 6000-C”, and “Electric Butyral 6000-EP” manufactured by Denki Kagaku Kogyo KK. , S-Lek BH series, BX series, KS series, BL series, BM series, etc., manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.
ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化(株)製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報及び特開2000−319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyimide resin include “Licacoat SN20” and “Licacoat PN20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. Specific examples of the polyimide resin include a linear polyimide (polyimide described in JP-A-2006-37083) obtained by reacting a bifunctional hydroxyl-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride, and a polysiloxane skeleton. Modified polyimides such as contained polyimides (polyimides described in JP-A-2002-12667 and JP-A-2000-319386) are exemplified.
ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績(株)製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業(株)製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyamide-imide resin include “Viromax HR11NN” and “Viromax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamide-imide resin include modified polyamide-imides such as “KS9100” and “KS9300” (polysiloxane skeleton-containing polyamideimide) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学(株)製の「PES5003P」等が挙げられる。 Specific examples of the polyether sulfone resin include “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.
ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ(株)製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of the polysulfone resin include Polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.
中でも、他の成分との組み合わせにおいて、表面粗度がさらに低く導体層との密着性により優れる絶縁層を得る観点から、熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。したがって好適な一実施形態において、熱可塑性樹脂成分は、フェノキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂からなる群から選択される1種以上を含む。 Among them, a phenoxy resin and a polyvinyl acetal resin are preferable as the thermoplastic resin from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a lower surface roughness and having better adhesion to the conductor layer in combination with other components. Therefore, in a preferred embodiment, the thermoplastic resin component includes at least one selected from the group consisting of a phenoxy resin and a polyvinyl acetal resin.
硬化性樹脂組成物中の熱可塑性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物層の溶融粘度を適度に調整する観点から、好ましくは0質量%〜20質量%、より好ましくは0.5質量%〜10質量%、さらに好ましくは0.6質量%〜8質量%である。 The content of the thermoplastic resin in the curable resin composition is preferably 0% by mass to 20% by mass, more preferably 0.5% by mass, from the viewpoint of appropriately adjusting the melt viscosity of the curable resin composition layer. 10 to 10% by mass, more preferably 0.6 to 8% by mass.
−硬化促進剤−
硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤がより好ましい。硬化促進剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
-Curing accelerator-
Examples of the curing accelerator include a phosphorus-based curing accelerator, an amine-based curing accelerator, an imidazole-based curing accelerator, a guanidine-based curing accelerator, and the like; a phosphorus-based curing accelerator, an amine-based curing accelerator, and an imidazole-based curing accelerator A curing accelerator is preferred, and an amine-based curing accelerator and an imidazole-based curing accelerator are more preferred. The curing accelerator may be used alone or in combination of two or more.
リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。 Examples of the phosphorus-based curing accelerator include triphenylphosphine, a phosphonium borate compound, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, and (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate , Tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate and the like, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferred.
アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン等が挙げられ、4−ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが好ましい。 Examples of the amine-based curing accelerator include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol, and 1,8-diazabicyclo. (5,4,0) -undecene and the like are preferable, and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferable.
イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。 Examples of the imidazole-based curing accelerator include, for example, 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2 Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-Ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl- 4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl Imidazole compounds such as 3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline and 2-phenylimidazoline, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins; 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenyl Imidazole is preferred.
イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱化学(株)製の「P200−H50」等が挙げられる。 As the imidazole-based curing accelerator, a commercially available product may be used, and examples thereof include “P200-H50” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.
グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エンが好ましい。 Examples of the guanidine curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1 -Allyl biguanide, 1-phenyl biguanide, 1- ( - tolyl) biguanide, and the like, dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene are preferred.
硬化性樹脂組成物中の硬化促進剤の含有量は特に限定されないが、0.05質量%〜3質量%の範囲で使用することが好ましい。 The content of the curing accelerator in the curable resin composition is not particularly limited, but is preferably used in the range of 0.05% by mass to 3% by mass.
−難燃剤−
硬化性樹脂組成物は、難燃剤を含んでもよい。難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
-Flame retardant-
The curable resin composition may include a flame retardant. Examples of the flame retardant include organic phosphorus-based flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, silicone-based flame retardants, metal hydroxides, and the like. The flame retardants may be used alone or in combination of two or more.
難燃剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三光(株)製の「HCA−HQ」、第八化学工業(株)製の「PX−200]等が挙げられる。 As the flame retardant, commercially available products may be used, and examples thereof include "HCA-HQ" manufactured by Sanko Co., Ltd. and "PX-200" manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd.
硬化性樹脂組成物中の難燃剤の含有量は特に限定されないが、好ましくは0.5質量%〜20質量%、より好ましくは1質量%〜15質量%、さらに好ましくは1.5質量%〜10質量%がさらに好ましい。 The content of the flame retardant in the curable resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 20% by mass, more preferably 1% by mass to 15% by mass, and still more preferably 1.5% by mass. 10% by mass is more preferred.
−有機充填材−
硬化性樹脂組成物は、さらに有機充填材を含んでもよい。有機充填材としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子等が挙げられ、ゴム粒子が好ましい。
-Organic filler-
The curable resin composition may further include an organic filler. As the organic filler, any organic filler that can be used when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used, and examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, and silicone particles, and rubber particles are preferable.
ゴム粒子としては、市販品を用いてもよく、例えば、ダウ・ケミカル日本(株)製「EXL2655」、アイカ工業(株)製の「AC3816N」等が挙げられる。 As the rubber particles, commercially available products may be used, for example, “EXL2655” manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd., “AC3816N” manufactured by Aika Kogyo KK, and the like.
硬化性樹脂組成物中の有機充填材の含有量は、好ましくは0.5質量%〜20質量%、より好ましくは0.7質量%〜10質量%である。 The content of the organic filler in the curable resin composition is preferably 0.5% by mass to 20% by mass, and more preferably 0.7% by mass to 10% by mass.
硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、難燃剤、及び有機充填材以外の他の添加剤を含んでいてもよく、斯かる他の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに有機フィラー、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、及び着色剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。 The curable resin composition may further contain, if necessary, a flame retardant, and other additives other than the organic filler.As such other additives, for example, an organic copper compound, an organic zinc Examples include organic metal compounds such as compounds and organic cobalt compounds, and resin additives such as organic fillers, thickeners, defoamers, leveling agents, adhesion promoters, and colorants.
−液状のアミノ樹脂―
硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度を12000poise以下とするという観点から、硬化性樹脂組成物は、常温で液状のアミノ樹脂(液状アミノ樹脂)をさらに含んでいてもよい。液状アミノ樹脂は液状エポキシ樹脂に代えて、あるいは液状エポキシ樹脂とともに用いることができる。液状アミノ樹脂としては、メチルメラミンなどのアルキル化メラミン樹脂が挙げられる。アルキル化メラミン樹脂は、例えば、メラミンをホルムアルデヒドと反応させてアミノ基の水素原子の一部又は全部をメチロール基と置換した後、さらにアルコール化合物と反応させてメチロール基の一部又は全部をアルコキシメチル基へと転化させて得られる。
-Liquid amino resin-
From the viewpoint of setting the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer to 12000 poise or less, the curable resin composition may further include an amino resin that is liquid at normal temperature (liquid amino resin). The liquid amino resin can be used in place of the liquid epoxy resin or together with the liquid epoxy resin. Liquid amino resins include alkylated melamine resins such as methylmelamine. The alkylated melamine resin is, for example, reacting melamine with formaldehyde to replace a part or all of the hydrogen atoms of the amino group with a methylol group, and then further reacting with an alcohol compound to convert a part or all of the methylol group with alkoxymethyl. It is obtained by conversion to a group.
[樹脂シート]
以下、本発明の樹脂シートについて、説明する。
[Resin sheet]
Hereinafter, the resin sheet of the present invention will be described.
本発明の樹脂シートは、支持体と、硬化性樹脂組成物により形成される硬化性樹脂組成物層と、を備え、硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度が12000poise以下であることを特徴とする。さらに前記硬化性樹脂組成物層を硬化させてなる絶縁層(硬化物)の25℃から150℃までの間の平均線熱膨張率が17ppm/℃以下であることが好ましい。 The resin sheet of the present invention includes a support and a curable resin composition layer formed of the curable resin composition, wherein the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer is 12000 poise or less. I do. Further, the average linear thermal expansion coefficient between 25 ° C. and 150 ° C. of the insulating layer (cured product) obtained by curing the curable resin composition layer is preferably 17 ppm / ° C. or less.
本発明の樹脂シートの一例を図2に示す。図2において、樹脂シート10は、支持体11と、支持体11の上に設けられた硬化性樹脂組成物層12と、を備える。
FIG. 2 shows an example of the resin sheet of the present invention. In FIG. 2, the
<支持体>
支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。
<Support>
Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.
支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミドなどが挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, the plastic material may be, for example, polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”) or polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PEN”). .), Acrylics such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), and polyethers. Ketone, polyimide and the like can be mentioned. Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.
支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include a copper foil and an aluminum foil, and a copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. May be used.
支持体は、硬化性樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。 The support may be subjected to a mat treatment or a corona treatment on a surface to be joined to the curable resin composition layer.
また、支持体としては、硬化性樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、東レ(株)製の「ルミラーT6AM」、リンテック(株)製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」などが挙げられる。 Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be joined to the curable resin composition layer may be used. Examples of the release agent used in the release layer of the support having a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . The support with a release layer may be a commercially available product, for example, a PET film having a release layer containing an alkyd resin-based release agent as a main component, "Lumirror T6AM" manufactured by Toray Industries, Inc. Examples include "SK-1", "AL-5", and "AL-7" manufactured by Lintec Corporation.
支持体の厚みは、特に限定されないが、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚みが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When a support with a release layer is used, the thickness of the entire support with a release layer is preferably within the above range.
<硬化性樹脂組成物層>
本発明において、硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度は、部品内蔵回路板を製造するに際してキャビティ内部の部品の良好な埋め込み性を実現する観点から、12000poise以下であり、好ましくは10000poise以下、より好ましくは8000poise以下である。硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度の下限は特に限定されず、通常、500poise以上、1000poise以上などとし得る。
<Curable resin composition layer>
In the present invention, the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer is 12000 poise or less, preferably 10000 poise or less, from the viewpoint of achieving good embedding of components inside the cavity when manufacturing a component-containing circuit board. Preferably it is 8000 poise or less. The lower limit of the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer is not particularly limited, and may be generally 500 poise or more, 1000 poise or more.
ここで、硬化性樹脂組成物層の「最低溶融粘度」とは、硬化性樹脂組成物層の樹脂が溶融した際に硬化性樹脂組成物層が呈する最低の粘度をいう。詳細には、一定の昇温速度で硬化性樹脂組成物層を加熱して樹脂を溶融させると、初期の段階は溶融粘度が温度上昇とともに低下し、その後、ある温度を超えると温度上昇とともに溶融粘度が上昇する。「最低溶融粘度」とは、斯かる極小点の溶融粘度をいう。硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度は、動的粘弾性法により測定することができる。具体的には、硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度は、測定開始温度60℃、昇温速度5℃/分、振動数1Hz、ひずみ1degの条件で動的粘弾性測定を行うことにより得ることができる。動的粘弾性測定装置としては、例えば、(株)ユー・ビー・エム製の「Rheosol−G3000」が挙げられる。 Here, the “minimum melt viscosity” of the curable resin composition layer refers to the lowest viscosity exhibited by the curable resin composition layer when the resin of the curable resin composition layer is melted. In detail, when the curable resin composition layer is heated at a constant heating rate to melt the resin, the melt viscosity decreases with the temperature rise in the initial stage, and then melts with the temperature rise when the temperature exceeds a certain temperature. The viscosity increases. “Minimum melt viscosity” refers to the melt viscosity at such a minimum point. The minimum melt viscosity of the curable resin composition layer can be measured by a dynamic viscoelasticity method. Specifically, the minimum melt viscosity of the curable resin composition layer is obtained by performing dynamic viscoelasticity measurement under the conditions of a measurement start temperature of 60 ° C., a heating rate of 5 ° C./min, a frequency of 1 Hz, and a strain of 1 deg. be able to. As the dynamic viscoelasticity measuring device, for example, "Rheosol-G3000" manufactured by UBM Co., Ltd. may be mentioned.
本発明において、硬化性樹脂組成物層を硬化させてなる絶縁層の25℃から150℃までの間の平均線熱膨張率は、反りの問題の抑制された部品内蔵回路板を実現する観点から、17ppm/℃以下であり、好ましくは16ppm/℃以下、より好ましくは15ppm/℃以下である。該平均線熱膨張率の下限は特に限定されないが、通常、1ppm/℃以上、2ppm/℃以上、3ppm/℃以上などとし得る。平均線熱膨張率は、例えば、熱機械分析等の公知の方法により測定することができる。熱機械分析装置としては、例えば、(株)リガク製の「Thermo Plus TMA8310」が挙げられる。本発明において、絶縁層の平均線熱膨張率は、引張加重法で熱機械分析を行った際の、平面方向の25〜150℃の平均線熱膨張率である。 In the present invention, the average linear thermal expansion coefficient between 25 ° C. and 150 ° C. of the insulating layer obtained by curing the curable resin composition layer is from the viewpoint of realizing a component built-in circuit board in which the problem of warpage is suppressed. , 17 ppm / ° C. or lower, preferably 16 ppm / ° C. or lower, more preferably 15 ppm / ° C. or lower. Although the lower limit of the average linear thermal expansion coefficient is not particularly limited, it can be usually 1 ppm / ° C. or more, 2 ppm / ° C. or more, 3 ppm / ° C. or more. The average coefficient of linear thermal expansion can be measured by a known method such as thermomechanical analysis. As the thermomechanical analyzer, for example, "Thermo Plus TMA8310" manufactured by Rigaku Corporation can be mentioned. In the present invention, the average coefficient of linear thermal expansion of the insulating layer is the average coefficient of linear thermal expansion in the plane direction at 25 to 150 ° C. when thermomechanical analysis is performed by a tensile load method.
本発明において、硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂組成物層の厚みは、好ましくは300μm以下であり、さらに好ましくは200μm以下である。硬化性樹脂組成物層の厚みの下限は、特に限定されないが、粗化処理後に導体層に対し優れた剥離強度を呈する絶縁層を得る観点、樹脂シートの製造容易性の観点から、通常、10μm以上、20μm以上などとし得る。 In the present invention, the thickness of the curable resin composition layer made of the curable resin composition is preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less. The lower limit of the thickness of the curable resin composition layer is not particularly limited, but is usually 10 μm from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting excellent peel strength to the conductor layer after the roughening treatment, and from the viewpoint of ease of production of the resin sheet. Above, it can be 20 μm or more.
本発明の樹脂シート10は、硬化性樹脂組成物層12の支持体11と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に、保護フィルムをさらに含んでもよい。保護フィルムは、硬化性樹脂組成物層12の表面へのゴミ等の付着やキズの防止に寄与する。保護フィルムの材料としては、支持体11について説明した材料と同じものを用いてよい。保護フィルムの厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm〜40μmである。樹脂シート10は、プリント配線板を製造する際には、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。
The
本発明の樹脂シートは、部品内蔵回路板の製造に際してキャビティ内部の部品の良好な埋め込み性を実現する共に、反りの問題の抑制された部品内蔵回路板を実現することができる。したがって本発明の樹脂シートは、部品内蔵回路板の製造に際してキャビティ内部の部品を埋め込むため(キャビティ埋め込み用)に特に好適に使用することができ、モールドアンダーフィル(封止)の用途においても、好適に使用することができる。本発明の樹脂シートはまた、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)に使用することができる。本発明の樹脂シートは、その上に微細な配線を形成し得る絶縁層をもたらすことができるため、ビルドアップ方式によるプリント配線板の製造において、絶縁層を形成するため(プリント配線板のビルドアップ絶縁層用)に好適に使用することができ、メッキにより導体層を形成するため(メッキにより導体層を形成するプリント配線板のビルドアップ絶縁層用)により好適に使用することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION The resin sheet of this invention can implement | achieve the favorable embedding | flush-mounting property of the component inside a cavity at the time of manufacture of a component built-in circuit board, and can implement | achieve the component built-in circuit board which suppressed the problem of the curvature. Therefore, the resin sheet of the present invention can be particularly preferably used for embedding components inside a cavity (for embedding a cavity) when manufacturing a circuit board with a built-in component, and is also suitable for use in mold underfill (sealing). Can be used for The resin sheet of the present invention can also be used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board). Since the resin sheet of the present invention can provide an insulating layer on which fine wiring can be formed, it can be used to form an insulating layer in the manufacture of a printed wiring board by a build-up method. It can be suitably used for forming a conductor layer by plating (for a build-up insulating layer of a printed wiring board in which a conductor layer is formed by plating).
<樹脂シートの製造方法>
以下、本発明の樹脂シートの製造方法の一例を説明する。支持体上に、硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂組成物層を形成する。
<Production method of resin sheet>
Hereinafter, an example of the method for producing the resin sheet of the present invention will be described. A curable resin composition layer composed of a curable resin composition is formed on a support.
硬化性樹脂組成物層を形成する方法としては、例えば、支持体に硬化性樹脂組成物を塗布して塗布膜を乾燥して硬化性樹脂組成物層を設ける方法が挙げられる。 As a method of forming the curable resin composition layer, for example, there is a method of applying the curable resin composition to a support, drying the applied film, and providing the curable resin composition layer.
この方法において、硬化性樹脂組成物層は、有機溶剤に硬化性樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーターなどを用いて支持体上に塗布し、樹脂ワニスを乾燥させることによって作製することができる。 In this method, the curable resin composition layer prepares a resin varnish obtained by dissolving the curable resin composition in an organic solvent, and coats the resin varnish on a support using a die coater or the like. It can be produced by drying.
有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。 Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, and carbitols such as cellosolve and butyl carbitol. , Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. One organic solvent may be used alone, or two or more organic solvents may be used in combination.
樹脂ワニスの乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の乾燥方法により実施してよい。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、支持体上に硬化性樹脂組成物層を形成することができる。 Drying of the resin varnish may be performed by a known drying method such as heating or blowing hot air. Depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of an organic solvent is used, the support is dried at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. A curable resin composition layer can be formed thereon.
また、本発明においては、例えば、保護フィルム上に硬化性樹脂組成物層を形成した後に、硬化性樹脂組成物層上に支持体を積層して樹脂シートを作製してもよい。 In the present invention, for example, a resin sheet may be prepared by forming a curable resin composition layer on a protective film and then laminating a support on the curable resin composition layer.
<配線板>
本発明の配線板は、本発明の樹脂シートの硬化性樹脂組成物層を硬化させてなる絶縁層と、導体層とを備える。以下、本発明の配線板の一実施形態である部品内蔵回路板について説明する。
<Wiring board>
The wiring board of the present invention includes an insulating layer obtained by curing the curable resin composition layer of the resin sheet of the present invention, and a conductor layer. Hereinafter, a component built-in circuit board which is an embodiment of the wiring board of the present invention will be described.
部品内蔵回路板は、(A)第1及び第2の主面を有し、該第1及び第2の主面間を貫通するキャビティが形成された回路基板と、該回路基板の第2の主面と接合している仮付け材料と、前記回路基板のキャビティの内部において前記仮付け材料によって仮付けされた部品とを含む、部品が仮付けされた回路基板に、本発明の樹脂シートを、硬化性樹脂組成物層が回路基板の第1の主面と接合するように、真空積層する第1の積層工程と、(B)前記樹脂シートを積層した回路基板を加熱処理する加熱処理工程と、(C)回路基板の第2の主面から仮付け材料を剥離した後、第2の樹脂シートを、該硬化性樹脂組成物層が回路基板の第2の主面と接合するように、真空積層する第2の積層工程と、(D)前記樹脂シートの硬化性樹脂組成物層及び第2の樹脂シートの硬化性樹脂組成物層を熱硬化する工程と、をこの順序で含む製造方法により作製することができる。各工程の説明に先立ち、本発明の樹脂シート10を使用する「部品が仮付けされた回路基板」について説明する。
The component built-in circuit board includes: (A) a circuit board having a first and a second main surface, and a cavity formed through the first and the second main surface; and a second circuit board of the circuit board. The resin sheet of the present invention is applied to a circuit board to which components are temporarily attached, including a temporary attachment material joined to the main surface and a component temporarily attached by the temporary attachment material inside the cavity of the circuit board. A first laminating step of vacuum lamination such that the curable resin composition layer is bonded to the first main surface of the circuit board; and (B) a heat treatment step of heat-treating the circuit board on which the resin sheet is laminated. And (C) removing the temporary bonding material from the second main surface of the circuit board, and then bonding the second resin sheet so that the curable resin composition layer is bonded to the second main surface of the circuit board. A second laminating step of vacuum laminating, and (D) a curable resin composition layer of the resin sheet. A step of thermally curing the curable resin composition layer of the second resin sheet, a can be prepared by a production method comprising in this order. Prior to the description of each step, a “circuit board to which components are temporarily attached” using the
(部品が仮付けされた回路基板)
部品が仮付けされた回路基板(以下、「部品仮付け回路基板」、「キャビティ基板」ともいう。)は、第1及び第2の主面を有し、該第1及び第2の主面間を貫通するキャビティが形成された回路基板と、該回路基板の第2の主面と接合している仮付け材料と、前記回路基板のキャビティの内部において前記仮付け材料によって仮付けされた部品とを含む。
(Circuit board with parts temporarily attached)
A circuit board to which components are temporarily attached (hereinafter, also referred to as a “component temporary attachment circuit board” or a “cavity board”) has first and second main surfaces, and the first and second main surfaces. A circuit board having a cavity formed therethrough, a temporary material joined to a second main surface of the circuit board, and a component temporarily attached by the temporary material inside the cavity of the circuit board And
部品仮付け回路基板は、部品内蔵回路板の製造に際し、従来公知の任意の手順に従って用意することができる。以下、図1A〜図1Dを参照して、部品仮付け回路基板を用意する手順の一例を説明するが、下記手順に限定されるものではない。 The component temporary-attached circuit board can be prepared according to a conventionally known arbitrary procedure when manufacturing the component built-in circuit board. Hereinafter, an example of a procedure for preparing a component temporary-attached circuit board will be described with reference to FIGS. 1A to 1D, but the procedure is not limited to the following procedure.
まず、回路基板を用意する(図1A)。「回路基板」とは、対向する第1及び第2の主面を有し、該第1及び第2の主面の片方又は両方にパターン加工された回路配線を有する板状の基板をいう。図1Aにおいては、回路基板1の端面を模式的に示しており、回路基板1は、基板2と、ビア配線、表面配線等の回路配線3とを含む。以下の説明においては、便宜的に、回路基板の第1の主面とは、図示する回路基板の上側主面を表し、回路基板の第2の主面とは、図示する回路基板の下側主面を表すこととする。
First, a circuit board is prepared (FIG. 1A). “Circuit board” refers to a plate-like substrate having opposing first and second main surfaces and having circuit wiring patterned on one or both of the first and second main surfaces. FIG. 1A schematically shows an end face of the
回路基板1に用いられる基板2としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられ、ガラスエポキシ基板が好ましい。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も「回路基板」に含まれる。
Examples of the
回路基板1の基板2の厚みは、部品内蔵回路板の薄型化の観点から、薄い方が好適であり、好ましくは400μm未満、より好ましくは350μm以下、さらに好ましくは300μm以下、さらにより好ましくは250μm以下、特に好ましくは200μm以下、180μm以下、170μm以下、160μm以下、又は150μm以下である。基板2の厚みの下限は特に制限されないが、搬送時の取り扱い性向上の観点から、好ましくは50μm以上、より好ましくは80μm以上、さらに好ましくは100μm以上である。
The thickness of the
回路基板1の備える回路配線3の寸法は、所望の特性に応じて決定してよい。例えば、表面配線の厚みは、部品内蔵回路板の薄型化の観点から、好ましくは40μm以下、より好ましくは35μm以下、さらに好ましくは30μm以下、さらにより好ましくは25μm以下、特に好ましくは20μm以下、19μm以下、又は18μm以下である。表面配線の厚みの下限は特に制限されないが、通常、1μm以上、3μm以上、5μm以上などである。
The dimensions of the
次に、部品を収容するためのキャビティ(凹部)を回路基板に設ける(図1B)。図1Bに模式的に示すように、基板2の所定の位置に、回路基板の第1及び第2の主面間を貫通するキャビティ2aを設けることができる。キャビティ2aは、基板2の特性を考慮して、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ、エッチング媒体等を用いる公知の方法により形成することができる。
Next, a cavity (recess) for accommodating components is provided on the circuit board (FIG. 1B). As schematically shown in FIG. 1B, a
図1Bには、1つのキャビティ2aのみを示しているが、キャビティ2aは、互いに所定の間隔をあけて複数設けることができる。キャビティ2a間のピッチは、部品内蔵回路板の小型化の観点から、短いことが好適である。キャビティ2a間のピッチは、キャビティ2a自体の開口寸法にもよるが、好ましくは10mm以下、より好ましくは9mm以下、さらに好ましくは8mm以下、さらにより好ましくは7mm以下、特に好ましくは6mm以下である。本発明の方法によれば、キャビティを斯かる短いピッチにて設ける場合であっても、基板反りの発生を抑制することができる。キャビティ2a間のピッチの下限は、キャビティ2a自体の開口寸法にもよるが、通常、1mm以上、2mm以上などである。キャビティ2a間の各ピッチは、回路基板にわたって同じである必要はなく、異なっていてもよい。
Although FIG. 1B shows only one
キャビティ2aの開口形状は特に制限されず、矩形、円形、略矩形、略円形等の任意の形状としてよい。また、キャビティ2aの開口寸法は、回路配線の設計にもよるが、例えば、キャビティ2aの開口形状が矩形の場合、5mm×5mm以下が好ましく、3mm×3mm以下、又は2mm×2mm以下がより好ましい。当該開口寸法の下限は、収容する部品の寸法にもよるが、通常、0.5mm×0.5mm以上である。キャビティ2aの開口形状及び開口寸法は、回路基板にわたって同じである必要はなく、異なっていてもよい。
The opening shape of the
次に、キャビティを設けた回路基板の第2の主面に仮付け材料を積層する(図1C)。仮付け材料としては、部品を仮付けするのに十分な粘着性を示す粘着面を有する限り特に制限されず、部品内蔵回路板の製造に際し従来公知の任意の仮付け材料を使用してよい。図1Cに模式的に示す態様では、フィルム状の仮付け材料4を、該仮付け材料4の粘着面が回路基板の第2の主面と接合するように積層している。これにより、キャビティ2aを介して仮付け材料4の粘着面が露出するようになる。
Next, a temporary bonding material is laminated on the second main surface of the circuit board provided with the cavity (FIG. 1C). The temporary attachment material is not particularly limited as long as it has an adhesive surface showing sufficient adhesiveness for temporarily attaching the component, and any conventionally known temporary attachment material may be used in the production of the component built-in circuit board. In the embodiment schematically shown in FIG. 1C, the film-like temporary attaching
フィルム状の仮付け材料としては、例えば、古河電気工業(株)製のUCシリーズ(ウエハダイシング用UVテープ)が挙げられる。 Examples of the film-like temporary attaching material include UC series (UV tape for wafer dicing) manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.
次に、キャビティを介して露出した仮付け材料の粘着面に部品を仮付けする(図1D)。図1Dに模式的に示す態様では、キャビティ2aを介して露出した仮付け材料4の粘着面に部品5を仮付けしている。
Next, the component is temporarily attached to the adhesive surface of the temporary attachment material exposed through the cavity (FIG. 1D). In the mode schematically shown in FIG. 1D, the
部品5としては、所望の特性に応じて適切な電気部品を選択してよく、例えば、コンデンサ、インダクタ、抵抗等の受動部品、半導体ベアチップ等の能動部品を挙げることができる。全てのキャビティに同じ部品5を用いてもよく、キャビティごとに異なる部品5を用いてもよい。
As the
部品仮付け回路基板を製造する際には、上記方法以外に、例えば、基板2にキャビティ2aを形成した後に、回路配線3を設けてもよいし、仮付け材料4を回路基板の第2の主面に積層した後に、キャビティ2aを形成してもよい。
When manufacturing the component temporary-attached circuit board, in addition to the above-described method, for example, the
本発明の樹脂シートを用いて部品内蔵回路板を製造する方法について説明する。以下の説明において、部品内蔵回路板の第1の主面及び第2の主面に積層される本発明の樹脂シートを、それぞれ、「第1の樹脂シート10」及び「第2の樹脂シート20」と記載する場合がある。第1の樹脂シート10と第2の樹脂シート20としては、同一のものを用いてもよいし、相違するものを用いてもよい。以下の説明においては、第1の樹脂シート10と第2の樹脂シート20とを区別するために、第1の樹脂シート10の支持体11を、第1の支持体11と記載することがある。
A method for manufacturing a component built-in circuit board using the resin sheet of the present invention will be described. In the following description, the resin sheet of the present invention laminated on the first main surface and the second main surface of the component built-in circuit board will be referred to as a “
<(A)第1の積層工程(第1の樹脂シートの積層)>
まず、部品が仮付けされた回路基板に本発明の樹脂シート(第1の樹脂シート10)を積層する(第1の積層工程)。詳しくは、部品が仮付けされた回路基板1’に、第1の樹脂シート10を、硬化性樹脂組成物層12が回路基板の第1の主面と接合するように真空積層する(図3Aを参照)。ここで、第1の樹脂シート10が硬化性樹脂組成物層12を覆う保護フィルムを備える構成である場合、保護フィルムを剥離してから、回路基板への積層を行う。
<(A) First lamination step (lamination of first resin sheet)>
First, the resin sheet (first resin sheet 10) of the present invention is laminated on a circuit board to which components are temporarily attached (first lamination step). Specifically, the
部品仮付け回路基板1’への第1の樹脂シート10の真空積層は、例えば、減圧条件下、支持体11側から、第1の樹脂シート10を部品仮付け回路基板1’に加熱圧着することにより行うことができる。第1の樹脂シート10を部品仮付け回路基板1’に加熱圧着する部材(図示せず;以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を第1の樹脂シート10に直接プレスするのではなく、部品仮付け回路基板1’の回路配線3やキャビティ2aに起因する凹凸に第1の樹脂シート10が十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。
The vacuum lamination of the
加熱圧着温度は、好ましくは80℃〜160℃、より好ましくは100℃〜140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間の範囲である。真空積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 The thermocompression bonding temperature is preferably in the range of 80 ° C to 160 ° C, more preferably 100 ° C to 140 ° C, and the thermocompression bonding pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0.29 MPa to 1. It is in the range of 47 MPa, and the heating and pressing time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, and more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. The vacuum lamination is preferably performed under a reduced pressure condition of a pressure of 26.7 hPa or less.
真空積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン(株)製バキュームアップリケーター、ニチゴー・モートン(株)製2ステージビルドアップラミネーター等が挙げられる。 Vacuum lamination can be performed by a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd., and a two-stage build-up laminator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.
第1の積層工程の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を第1の支持体11側からプレスすることにより、積層された第1の樹脂シート10の平滑化処理を行う平滑化工程を行うことが好ましい。平滑化工程のプレス条件は、上記真空積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。
After the first laminating step, a smoothing process of the laminated
平滑化工程は、市販のラミネーターによって実行することができる。なお、第1の積層工程と平滑化工程は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 The smoothing step can be performed by a commercially available laminator. The first laminating step and the smoothing step may be continuously performed using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.
第1の積層工程を経た後、硬化性樹脂組成物層12は、キャビティ2a内に充填され、キャビティ2a内に仮付けされていた部品5は硬化性樹脂組成物層12に埋め込まれる(図3Bを参照)。
After the first laminating step, the curable
<(B)加熱処理工程>
次に、第1の樹脂シート10を積層した回路基板を加熱処理する(加熱処理工程)。当該工程における加熱温度は、好ましくは155℃以下、より好ましくは150℃以下、さらに好ましくは145℃以下、さらにより好ましくは140℃以下である。加熱温度の下限は、好ましくは110℃以上、より好ましくは115℃以上、さらに好ましくは120℃以上、さらにより好ましくは125℃以上である。
<(B) Heat treatment step>
Next, the circuit board on which the
加熱処理工程における加熱時間は、加熱温度にもよるが、好ましくは10分間以上、より好ましくは15分間以上、さらに好ましくは20分間以上である。加熱時間の上限は特に制限されないが、通常、60分間以下とし得る。 The heating time in the heat treatment step depends on the heating temperature, but is preferably 10 minutes or more, more preferably 15 minutes or more, and further preferably 20 minutes or more. The upper limit of the heating time is not particularly limited, but may be generally 60 minutes or less.
加熱処理工程における硬化性樹脂組成物層12の加熱処理は、大気圧下(常圧下)にて行うことが好ましい。
The heat treatment of the curable
加熱処理工程における硬化性樹脂組成物層12の加熱処理は、第1の支持体11が硬化性樹脂組成物層12に付いた状態で実施してもよく、第1の支持体11を剥離し硬化性樹脂組成物層12を露出させた後に実施してもよい。好適な一実施形態においては、硬化性樹脂組成物層12の加熱処理は、第1の支持体11が第1の硬化性樹脂組成物層12に付いた状態で実施する。これにより、異物付着の防止、硬化性樹脂組成物層のダメージ防止という点で有利となる。
The heat treatment of the curable
加熱処理工程における硬化性樹脂組成物層12の加熱処理を、第1の支持体11が付いた状態で実施する場合、第1の支持体11は、硬化性樹脂組成物層12を硬化させて得られる絶縁層(硬化物)に導体層(回路配線)を設ける工程の前に剥離すればよく、例えば、第1の加熱処理工程と後述する第2の積層工程との間に剥離してもよく、第2の積層工程と熱硬化工程(後述する)との間に剥離してもよく、熱硬化工程の後に剥離してもよい。好適な一実施形態において、第1の支持体11は、熱硬化工程の後に剥離する。なお、第1の支持体11として銅箔等の金属箔を用いた場合は、後述するとおり、斯かる金属箔を使用して導体層(回路配線)を設けることが可能であるため、第1の支持体11は剥離しなくてもよい。
When the heat treatment of the curable
好適な一実施形態において、第1の積層工程との加熱処理工程との間に、回路基板を常温(室温)に冷ます処理を実施してよい。 In a preferred embodiment, a process of cooling the circuit board to room temperature (room temperature) may be performed between the first laminating step and the heat treatment step.
好適な一実施形態において、加熱処理工程を経ることにより、硬化性樹脂組成物層12は、硬化性樹脂組成物層(加熱処理体)12’となる(図3Cを参照)。なお、図3Cでは、第1の支持体11が付いた状態で加熱処理して硬化性樹脂組成物層(加熱処理体)12’を得る態様を示している。
In a preferred embodiment, the curable
<(C)第2の積層工程(第2の樹脂シートの積層)>
加熱処理工程の後、回路基板の第2の主面から仮付け材料4を剥離して、回路基板2の第2の主面を露出させる。そして、第2の樹脂シート20を、硬化性樹脂組成物層22が回路基板2の第2の主面(図示下側面)と接合するように、真空積層する(図3Dを参照)。ここで、第2の樹脂シートは支持体21(第2の支持体ともいう)及び該支持体と接合する硬化性樹脂組成物層22(第2の硬化性樹脂組成物層ともいう)を含む。第2の樹脂シートとしては、本発明の樹脂シートを使用するのが好ましい。第2の支持体や第2の硬化性樹脂組成物層の構成は上述の本発明の樹脂シートの支持体および硬化性樹脂組成物層と同様である。なお、第2の樹脂シートとしては、第1の樹脂シートとは相違する構成の樹脂シート(例えば、相違する組成の硬化性樹脂組成物層を複数備える樹脂シートや、本発明における所期の最低溶融粘度条件、平均線熱膨張率条件を満たさない硬化性樹脂組成物層を備えるもの)を使用してもよい。
<(C) Second lamination step (lamination of second resin sheet)>
After the heat treatment step, the temporary attaching
仮付け材料4の剥離は、仮付け材料4の種類に応じて、従来公知の方法に従って行ってよい。例えば、仮付け材料4として、古河電気工業株式会社製のUCシリーズ等のウエハダイシング用UVテープを使用する場合、仮付け材料4をUV照射した後、仮付け材料4を剥離することができる。UV照射量等の条件は、部品内蔵回路板の製造に際して通常採用される公知の条件とし得る。
The peeling of the temporary attaching
加熱処理工程を経ることで、キャビティ密度の高い回路基板や厚みの薄い回路基板を使用する場合などにおいても、基板反りの発生を抑制することができるため、加熱処理工程から第2の積層工程までの基板搬送に支障をきたさず、円滑に第2の積層工程を実施することができる。さらには、硬化性樹脂組成物層を、特定の条件にて加熱処理しているため、第2の積層工程の真空積層に伴う、部品の位置変化(ズレ)も抑えることができ、部品の配置精度に優れる部品内蔵回路板を歩留まりよく実現することができる。 Through the heat treatment step, even when a circuit board having a high cavity density or a thin circuit board is used, the occurrence of substrate warpage can be suppressed, and therefore, from the heat treatment step to the second lamination step. The second laminating step can be smoothly performed without hindering the substrate transfer. Furthermore, since the curable resin composition layer is subjected to heat treatment under specific conditions, a change in position (displacement) of components due to vacuum lamination in the second laminating step can be suppressed, and component placement can be suppressed. A component built-in circuit board having excellent accuracy can be realized with high yield.
第2の積層工程における第2の樹脂シート20の真空積層は、第1の積層工程における第1の樹脂シート10の真空積層と同様の方法、条件を採用してよい。
The vacuum lamination of the
好適な一実施形態において、加熱処理工程と第2の積層工程との間に、回路基板を常温(室温)に冷ます処理を実施してよい。 In a preferred embodiment, a process of cooling the circuit board to room temperature (room temperature) may be performed between the heat treatment step and the second lamination step.
第2の積層工程において、回路基板2の第2の主面に第2の硬化性樹脂組成物層22及び第2の支持体21が積層される(図3Eを参照)。
In the second laminating step, the second curable
第2の支持体21は、第2の硬化性樹脂組成物層22を硬化させて得られる絶縁層に導体層(回路配線)を設ける工程の前に剥離すればよく、例えば、第2の積層工程と後述する硬化工程との間に剥離してもよく、硬化工程の後に剥離してもよい。好適な一実施形態において、第2の支持体21は、硬化工程の後に剥離する。なお、第2の支持体21として銅箔等の金属箔を用いた場合は、後述するとおり、斯かる金属箔を使用して導体層(回路配線)を設けることが可能であるため、第2の支持体21は剥離しなくてもよい。
The
<(D)硬化工程>
硬化工程において、第1の樹脂シート10の硬化性樹脂組成物層12及び第2の樹脂シート20の第2の硬化性樹脂組成物層22を熱硬化する。これにより、回路基板2の第1の主面では、硬化性樹脂組成物層(加熱処理体)12’が絶縁層12”(硬化物)を形成し、回路基板2の第2の主面では、第2の硬化性樹脂組成物層22が絶縁層22”(硬化物)を形成する(図3Fを参照)。
<(D) Curing process>
In the curing step, the curable
熱硬化の条件は特に限定されず、部品内蔵回路板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 The conditions for the thermosetting are not particularly limited, and conditions usually employed when forming the insulating layer of the component built-in circuit board may be used.
第1及び第2の樹脂シート10,20の硬化性樹脂組成物層12,22の熱硬化条件は、各硬化性樹脂組成物層に用いる硬化性樹脂組成物の組成等によっても異なるが、硬化温度は120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜210℃の範囲、より好ましくは170℃〜190℃の範囲)、硬化時間は5分間〜90分間の範囲(好ましくは10分間〜75分間、より好ましくは15分間〜60分間)とすることができる。
The thermosetting conditions of the curable resin composition layers 12 and 22 of the first and
熱硬化させる前に、硬化性樹脂組成物層12及び第2の硬化性樹脂組成物層12,22を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、熱硬化に先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、硬化性樹脂組成物層12,22を5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。予備加熱を行う場合、斯かる予備加熱も硬化工程に含まれることとする。
Before thermosetting, the curable
硬化工程における各硬化性樹脂組成物層の熱硬化は、大気圧下(常圧下)にて行うことが好ましい。 The thermal curing of each curable resin composition layer in the curing step is preferably performed under atmospheric pressure (under normal pressure).
好適な一実施形態において、第2の積層工程と硬化工程の間に、回路基板を常温(室温)に冷ます処理を実施してよい。 In a preferred embodiment, a process of cooling the circuit board to room temperature (room temperature) may be performed between the second laminating step and the curing step.
本発明において、硬化性樹脂組成物層12及び第2の硬化性樹脂組成物層22を硬化させてなる絶縁層12”,22”の25℃から150℃までの間の平均線熱膨張率は、基板反りを低減するという観点から、好ましくは、17ppm/℃以下であり、より好ましくは15ppm/℃以下である。
In the present invention, the average linear thermal expansion coefficient between 25 ° C. and 150 ° C. of the insulating
以上、仮付け材料を使用する実施形態について詳細に説明したが、仮付け材料に代えて、樹脂シートを使用して部品内蔵回路板を製造してもよい。仮付け材料に代えて使用し得る樹脂シートは、上記の第2の樹脂シートと同様としてよく、本発明の樹脂シートであっても、他の樹脂シートであってもよい。仮付け材料に代えて樹脂シートを使用する場合、仮付け材料の剥離工程は不要である。 As described above, the embodiment using the temporary attachment material has been described in detail. However, instead of the temporary attachment material, a circuit board with a built-in component may be manufactured using a resin sheet. The resin sheet that can be used in place of the temporary attaching material may be the same as the second resin sheet described above, and may be the resin sheet of the present invention or another resin sheet. When a resin sheet is used instead of the temporary bonding material, the step of removing the temporary bonding material is unnecessary.
<その他の工程>
部品内蔵回路板を製造する際には、さらに、絶縁層に穴あけする工程(穴あけ工程)、絶縁層の表面を粗化処理する工程(粗化工程)、粗化された絶縁層表面に導体層を形成する工程(導体層形成工程)を含んでもよい。これらの工程は、部品内蔵回路板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、各樹脂シート10,20の支持体11,21を硬化工程の後に剥離する場合、支持体11,21の剥離は、硬化工程と穴あけ工程との間、穴あけ工程と粗化工程との間、又は粗化工程と導体層形成工程との間に実施してよい。
<Other steps>
When manufacturing a component built-in circuit board, a step of drilling an insulating layer (drilling step), a step of roughening the surface of the insulating layer (roughening step), and a step of forming a conductor layer on the roughened insulating layer surface (Conductor layer forming step). These steps may be performed according to various methods known to those skilled in the art used for manufacturing a circuit board with a built-in component. When the supports 11 and 21 of the
穴あけ工程は、絶縁層12”,22”(硬化物)に穴あけする工程であり、これにより絶縁層12”,22”にビアホール等のホールを形成することができる。例えば、ドリル、レーザー(炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等)、プラズマ等を使用して絶縁層12”,22”にホールを形成することができる。部品内蔵回路板において、絶縁層12”,22”は、一般に、ビアホールにより導通が行われる。
The piercing step is a step of piercing the insulating
粗化工程は、絶縁層12”,22”を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、部品内蔵回路板の絶縁層12”,22”を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、絶縁層12”,22”の粗化処理は、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層12”,22”を粗化処理することができる。膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のスウェリング・ディップ・セキュリガンスP、スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30〜90℃の膨潤液に絶縁層12”,22”を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層12”,22”の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40〜80℃の膨潤液に絶縁層12”,22”を5秒間〜15分間浸漬させることが好ましい。酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に第1及び第2の絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のコンセントレート・コンパクトP、ドージングソリューション・セキュリガンスP等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のリダクションショリューシン・セキュリガントPが挙げられる。中和液による処理は、酸化剤溶液による粗化処理がなされた処理面を30〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤溶液による粗化処理がなされた対象物を、40〜70℃の中和液に5分間〜20分間浸漬する方法が好ましい。
The roughening step is a step of performing a roughening treatment on the insulating
導体層形成工程は、粗化された絶縁層表面に導体層(回路配線)を形成する工程である。 The conductor layer forming step is a step of forming a conductor layer (circuit wiring) on the roughened insulating layer surface.
導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductive layer is one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Including metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. As the alloy layer, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, nickel-chromium alloy, copper Nickel alloy and copper-titanium alloy). Among them, from the viewpoints of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or a nickel-chromium alloy, copper A nickel alloy or an alloy layer of copper-titanium alloy is preferable, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of nickel-chromium alloy is more preferable. Metal layers are more preferred.
導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single-layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are stacked. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc, or titanium, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy.
導体層の厚みは、所望の部品内蔵回路板のデザインによるが、一般に3μm〜35μm、好ましくは5μm〜30μmである。 The thickness of the conductive layer depends on the design of the desired component-containing circuit board, but is generally 3 μm to 35 μm, preferably 5 μm to 30 μm.
導体層の形成方法は、所望のパターンを有する導体層(回路配線)を形成し得る限り特に限定されない。好適な一実施形態において、導体層は、メッキにより形成することができる。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により第1及び第2の絶縁層の表面にメッキして、所望のパターンを有する導体層(回路配線)を形成することができる。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 The method for forming the conductor layer is not particularly limited as long as a conductor layer (circuit wiring) having a desired pattern can be formed. In a preferred embodiment, the conductor layer can be formed by plating. For example, a conductor layer (circuit wiring) having a desired pattern can be formed by plating the surfaces of the first and second insulating layers by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method. Hereinafter, an example in which a conductor layer is formed by a semi-additive method will be described.
まず、2つの絶縁層12”,22”の表面に、無電解メッキによりメッキシード層を形成する。次いで、形成されたメッキシード層上に、所望の配線パターンに対応してメッキシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出したメッキシード層上に、電解メッキにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なメッキシード層をエッチングなどにより除去して、所望のパターンを有する導体層を形成することができる。
First, a plating seed layer is formed on the surfaces of the two insulating
これらの工程によりビアホール内にも導体(ビア配線)が形成され、絶縁層12”及び22”の表面に設けられた回路配線3と回路基板の回路配線とが電気的に接続され、部品内蔵回路板100が得られる(図3Gを参照)。
Through these steps, a conductor (via wiring) is also formed in the via hole, and the
第1の支持体11及び第2の支持体21として、銅箔等の金属箔を用いた場合には、この金属箔を利用するサブトラクティブ法などによって、導体層を形成してもよい。また、金属箔をメッキシード層として、電解メッキにより導体層を形成してもよい。
When a metal foil such as a copper foil is used as the
部品内蔵回路板の製造方法はまた、部品内蔵回路板を個片化する工程を含んでもよい。 The method of manufacturing a component-embedded circuit board may also include a step of singulating the component-embedded circuit board.
個片化工程においては、例えば、回転刃を備える従来公知のダイシング装置により研削して、得られた構造体を個々の部品内蔵回路板ユニットへと個片化することができる。 In the singulation step, for example, the structure obtained can be singulated into individual component built-in circuit board units by grinding with a conventionally known dicing device having a rotary blade.
[半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明の配線板(例えば上記部品内蔵回路板)を備える。
[Semiconductor device]
A semiconductor device of the present invention includes the wiring board of the present invention (for example, the above-described circuit board with a built-in component).
かかる半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of such a semiconductor device include various semiconductor devices provided for electric appliances (for example, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, and the like) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircrafts). .
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。 Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In the following description, “parts” and “%” mean “parts by mass” and “% by mass”, respectively, unless otherwise specified.
<樹脂シートの作製>
以下の手順により調製した樹脂ワニス(硬化性樹脂組成物)を用いて、実施例及び比較例の樹脂シートを作製した。
<Preparation of resin sheet>
Using resin varnish (curable resin composition) prepared by the following procedure, resin sheets of Examples and Comparative Examples were produced.
(無機充填材の準備)
シリカ1〜6としては、(株)アドマテックス製「アドマファイン」、電気化学工業(株)製「SFPシリーズ」、新日鉄住金マテリアルズ(株)製「SP(H)シリーズ」、堺化学工業(株)製「Sciqasシリーズ」、(株)日本触媒製「シーホスターシリーズ」を単独又は組み合わせて表面処理を行った後、以下の方法により、粒度分布、比表面積を測定し、実施例及び比較例に使用した。
アルミナとしては、新日鉄住金マテリアルズ(株)製「AZシリーズ」および「AXシリーズ」を用いて表面処理を行った後、以下の方法により、粒度分布、比表面積を測定し、実施例4に使用した。
(Preparation of inorganic filler)
Examples of the
After performing surface treatment using "AZ series" and "AX series" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Materials Co., Ltd., the particle size distribution and specific surface area were measured by the following method and used for Example 4. did.
(1)平均粒径の測定
シリカ1〜6の粉体100mgまたはアルミナ紛体100mg、分散剤(サンノプコ(株)製「SN9228」)0.1g、メチルエチルケトン10gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて20分間分散した。レーザー回折式粒度分布測定装置((株)島津製作所製SALD−2200を使用して、回分セル方式で粒度分布を測定し、平均粒径を算出し表2に示した。
(1) Measurement of
(2)比表面積の測定
シリカ1〜6及びアルミナの比表面積を、BET全自動比表面積測定装置((株)マウンテック製Macsorb HM−1210)を使用して測定し表2に示した。
(2) Measurement of Specific Surface Area The specific surface areas of
(3)真密度の測定
シリカ1〜6及びアルミナの真密度を、マイクロ・ウルトラピクノメータ(カンタクローム・インスツルメンツ・ジャパン(同)製MUPY−21T)により測定し表2に示した。
(3) Measurement of True Density The true densities of
(樹脂ワニス1の調製)
ビスフェノール型液状エポキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)製「ZX1059」、エポキシ当量約169、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品)4部、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂(DIC(株)製「EXA−7311−G4」、エポキシ当量約213)10部、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)6部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量約272)10部、及び難燃剤(大八化学工業(株)製「PX−200」)4部を、ソルベントナフサ20部及びシクロヘキサノン10部の混合溶媒に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却した後、そこへ、トリアジン骨格含有クレゾールノボラック系硬化剤(DIC(株)製「LA3018−50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2−メトキシプロパノール溶液)10部、トリアジン骨格含有フェノールノボラック系硬化剤(DIC(株)製「LA−7054」、水酸基当量約125、固形分60%のMEK溶液)4部、ナフトール系硬化剤(新日鉄住金化学(株)製「SN−495V」、水酸基当量約231、固形分60%のMEK溶液)10部、アミン系硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分5質量%のMEK溶液)1部、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球状シリカ1(平均粒径1.47μm、比表面積 3.07m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.30mg/m2)220部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散した後に、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP050」)で濾過して、樹脂ワニス1を調製した。
(Preparation of resin varnish 1)
4 parts of bisphenol type liquid epoxy resin (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent about 169, 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type), naphthylene ether type epoxy resin (DIC Corporation) 10 parts of “EXA-7311-G4”, epoxy equivalent about 213), 6 parts of bixylenol type epoxy resin (“YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 185), 6 parts, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku ( (NC3000L), 10 parts of epoxy equivalent about 272) and 4 parts of a flame retardant (“PX-200” manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd.) were stirred in a mixed solvent of 20 parts of solvent naphtha and 10 parts of cyclohexanone. While heating. After cooling to room temperature, 10 parts of a triazine skeleton-containing cresol novolak-based curing agent ("LA3018-50P" manufactured by DIC Corporation, a hydroxyl group equivalent of about 151, a 2-methoxypropanol solution having a solid content of 50%), and
(樹脂ワニス2の調製)
グリシジルアミン型液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「630LSD」、エポキシ当量約95)6部、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)6部、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7760」、エポキシ当量約238)6部、ナフタレン型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)製「ESN475V」、エポキシ当量約330)15部、及びフェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX7553BH30」、固形分30質量%のシクロヘキサノン:メチルエチルケトン(MEK)の1:1溶液)8部を、ソルベントナフサ20部及びシクロヘキサノン5部の混合溶媒に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却した後、そこへ、トリアジン骨格含有クレゾールノボラック系硬化剤(DIC(株)製「LA3018−50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2−メトキシプロパノール溶液)12部、活性エステル系硬化剤(DIC(株)製「EXB−8000L−65M」、活性基当量約220、不揮発成分65質量%のMEK溶液)12部、アミン系硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分5質量%のMEK溶液)1部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径2μm)2部、ゴム粒子(ダウ・ケミカル日本(株)製、EXL2655)2部、フェニルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製「KBM103」)で表面処理された球状シリカ2(平均粒径1.33μm、比表面積 3.38m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.28mg/m2)190部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散した後に、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP050」)で濾過して、樹脂ワニス2を調製した。
(Preparation of resin varnish 2)
6 parts of a glycidylamine type liquid epoxy resin (“630LSD” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent: about 95), 6 parts of a bixylenol type epoxy resin (“YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent: about 185), bisphenol 6 parts of AF type epoxy resin (“YL7760” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent: about 238), 15 parts of naphthalene type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent: about 330), and phenoxy resin 8 parts of “YX7553BH30” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, 1: 1 solution of cyclohexanone: methylethylketone (MEK) having a solid content of 30% by mass) is heated and dissolved in a mixed solvent of 20 parts of solvent naphtha and 5 parts of cyclohexanone with stirring. I let it. After cooling to room temperature, 12 parts of a triazine skeleton-containing cresol novolak-based curing agent (“LA3018-50P” manufactured by DIC Corporation, 2-methoxypropanol solution having a hydroxyl equivalent of about 151 and a solid content of 50%) were added thereto, 12 parts of an ester-based curing agent ("EXB-8000L-65M" manufactured by DIC Corporation, an active group equivalent of about 220, a MEK solution of a nonvolatile component of 65% by mass), and an amine-based curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP)) , 5 parts by mass of MEK solution), 1 part of a flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd., 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phospha) 2 parts of phenanthrene-10-oxide, average particle size 2 μm, 2 parts of rubber particles (EXL2655, manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd.), phenyltrimethoate Shishiran (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM103") surface-treated with spherical silica 2 (average particle size 1.33, specific surface area 3.38m 2 / g, per unit surface area of carbon amount 0.28 mg / m 2 ) 190 parts were mixed and uniformly dispersed by a high-speed rotation mixer, and then filtered through a cartridge filter (“SHP050” manufactured by ROKITECHNO) to prepare a resin varnish 2.
(樹脂ワニス3の調製)
ビスフェノール型液状エポキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)製「ZX1059」、エポキシ当量約169、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品)8部、ナフタレン型液状エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4032SS」、エポキシ当量約144)4部、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP−4710」、エポキシ当量約170)3部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量約272)12部、及びフェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX7553BH30」、固形分30質量%のシクロヘキサノン:メチルエチルケトン(MEK)の1:1溶液)5部を、ソルベントナフサ20部及びシクロヘキサノン5部の混合溶媒に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却した後、そこへ、トリアジン骨格含有フェノールノボラック系硬化剤(DIC(株)製「LA−7054」、水酸基当量約125、固形分60%のMEK溶液)8部、ナフトール系硬化剤(新日鉄住金化学(株)製「SN−485」、水酸基当量約212、固形分60%のMEK溶液)12部、イミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業(株)製「1B2PZ」1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、固形分5%のMEK溶液)1部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径2μm)4部、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球状シリカ3(平均粒径1.06μm、比表面積 3.01m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.31mg/m2)140部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散した後に、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP050」)で濾過して、樹脂ワニス3を調製した。
(Preparation of resin varnish 3)
8 parts of bisphenol type liquid epoxy resin (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent about 169, 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type), naphthalene type liquid epoxy resin (manufactured by DIC Corporation) 4 parts of “HP4032SS”, epoxy equivalent of about 144), 3 parts of naphthalene type epoxy resin (“HP-4710”, epoxy equivalent of about 170) manufactured by DIC, and biphenyl type epoxy resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) , Epoxy equivalent of about 272) and 12 parts of phenoxy resin ("YX7553BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1: 1 solution of cyclohexanone: methyl ethyl ketone (MEK) having a solid content of 30% by mass) in 20 parts of solvent naphtha. And a mixed solvent of 5 parts of cyclohexanone with heating while stirring. After cooling to room temperature, 8 parts of a triazine skeleton-containing phenol novolak-based curing agent ("LA-7054" manufactured by DIC Corporation, an MEK solution having a hydroxyl equivalent of about 125 and a solid content of 60%), and a naphthol-based curing agent (“NS-485” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., MEK solution having a hydroxyl equivalent of about 212 and a solid content of 60%) 12 parts, imidazole-based hardening accelerator (“1B2PZ” 1-benzyl-manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.) 1 part of 2-phenylimidazole, 5% solids MEK solution), a flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.), 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10 4 parts of phosphaphenanthrene-10-oxide, average particle diameter of 2 μm, and surface-treated with an aminosilane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Spherical silica 3 (average particle size 1.06 .mu.m, specific surface area 3.01m 2 / g, carbon content 0.31 mg / m 2 per unit surface area) 140 parts were mixed, after uniformly dispersed in a high-speed rotary mixer, the cartridge The mixture was filtered through a filter (“SHP050” manufactured by ROKITECHNO) to prepare a
(樹脂ワニス4の調製)
下記のように製造した(d)成分を50部、ビスフェノール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量169)3部、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7760」、エポキシ当量約238)2部、及び難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径2μm)2部を、ソルベントナフサ15部及びシクロヘキサノン5部の混合溶媒に撹拌しながら加熱溶解させた。そこへ、活性エステル系硬化剤(DIC(株)製「EXB−8000L−65M」、活性基当量約220、不揮発成分65質量%のMEK溶液)2部、イミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業(株)製「1B2PZ」1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、固形分5%のMEK溶液)1部、及びフェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形アルミナ(平均粒径1.52μm、比表面積 1.70m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.11mg/m2)190部、を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP050」)で濾過して、樹脂ワニス4を作製した。
(Preparation of resin varnish 4)
50 parts of component (d) produced as described below, bisphenol epoxy resin (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent 169) 3 Parts, bisphenol AF type epoxy resin (“YL7760” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent: about 238), 2 parts, and a flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.), 10- (2,5-dihydroxyphenyl) 2))-10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide,
[(d)成分の製造]
反応容器にG−3000(2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、数平均分子量=5047(GPC法)、ヒドロキシル基当量=1798g/eq.、固形分100質量%:日本曹達(株)製)50gと、イプゾール150(芳香族炭化水素系混合溶媒:出光石油化学(株)製)23.5g、ジブチル錫ラウレート0.005gを混合し均一に溶解させた。均一になったところで50℃に昇温し、更に撹拌しながら、トルエン−2,4−ジイソシアネート(イソシアネート基当量=87.08g/eq.)4.8gを添加し約3時間反応を行った。次いで、この反応物を室温まで冷却してから、これにベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(酸無水物当量=161.1g/eq.)8.96gと、トリエチレンジアミン0.07gと、エチルジグリコールアセテート((株)ダイセル製)40.4gを添加し、攪拌しながら130℃まで昇温し、約4時間反応を行った。FT−IRより2250cm−1のNCOピークの消失の確認を行った。NCOピーク消失の確認をもって反応の終点とみなし、反応物を室温まで降温してから100メッシュの濾布で濾過して、イミド骨格、ウレタン骨格、ブタジエン骨格を有する高分子樹脂Aを得た。
粘度:7.5Pa・s(25℃、E型粘度計)
酸価:16.9mgKOH/g
固形分:50質量%
数平均分子量:13723
ガラス転移温度:−10℃
ポリブタジエン構造部分の含有率:50/(50+4.8+8.96)×100=78.4質量%
[Production of (d) component]
50 g of G-3000 (bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, number average molecular weight = 5047 (GPC method), hydroxyl equivalent weight = 1798 g / eq.,
Viscosity: 7.5 Pa · s (25 ° C., E-type viscometer)
Acid value: 16.9 mgKOH / g
Solid content: 50% by mass
Number average molecular weight: 13723
Glass transition temperature: -10 ° C
Content of polybutadiene structure: 50 / (50 + 4.8 + 8.96) × 100 = 78.4% by mass
(樹脂ワニス5の調製)
樹脂ワニス1のシリカ1、220部に代えて、シリカ4(平均粒径1.73μm、比表面積2.71m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.26mg/m2)220部を用い、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP100」)とすること以外は、樹脂ワニス1と同様にして樹脂ワニス5を調製した。
(Preparation of resin varnish 5)
In place of 1,220 parts of silica of the
(樹脂ワニス6の調製)
樹脂ワニス2のシリカ2、190部に代えて、シリカ5(平均粒径1.11μm、比表面積 2.66m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.22mg/m2)190部を用いること以外は、樹脂ワニス2と同様にして樹脂ワニス6を調製した。
(Preparation of resin varnish 6)
190 parts of silica 5 (average particle size 1.11 μm, specific surface area 2.66 m 2 / g, carbon amount per unit surface area 0.22 mg / m 2 ) is used instead of silica 2 and 190 parts of
(樹脂ワニス7の調製)
樹脂ワニス3のシリカ3、140部に代えて、シリカ6(平均粒径0.77μm、比表面積 5.76m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.35mg/m2)120部を用いること以外は、樹脂ワニス3と同様にして樹脂ワニス7を調製した。
(Preparation of resin varnish 7)
Using 120 parts of silica 6 (average particle diameter 0.77 μm, specific surface area 5.76 m 2 / g, carbon amount per unit surface area 0.35 mg / m 2 ) instead of
(樹脂ワニス8の調製)
ナフタレン型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)製「ESN475V」、エポキシ当量約330)10部、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP−4710」、エポキシ当量約170)5部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量約272)12部、及びフェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX7553BH30」、固形分30質量%のシクロヘキサノン:メチルエチルケトン(MEK)の1:1溶液)5部を、ソルベントナフサ20部及びシクロヘキサノン10部の混合溶媒に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却した後、そこへ、トリアジン骨格含有フェノールノボラック系硬化剤(DIC(株)製「LA−7054」、水酸基当量約125、固形分60%のMEK溶液)8部、ナフトール系硬化剤(新日鉄住金化学(株)製「SN−485」、水酸基当量約212、固形分60%のMEK溶液)12部、イミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業(株)製「1B2PZ」1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、固形分5%のMEK溶液)1部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径2μm)4部、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球状シリカ3(平均粒径1.06μm、比表面積 3.01m2/g、単位表面積当たりのカーボン量0.31mg/m2)140部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散した後に、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP050」)で濾過して、樹脂ワニス8を調製した。
(Preparation of resin varnish 8)
10 parts of naphthalene type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent about 330), 5 parts of naphthalene type epoxy resin (“HP-4710” manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent about 170),
各樹脂ワニスの作製に用いた材料とその配合量(不揮発分の質量部)を表1に示した。(a1)液状エポキシ樹脂と(c)無機充填材については、不揮発成分中の含有量(質量%)も表1に併せて示した。 Table 1 shows the materials used for preparing each resin varnish and the amounts (parts by mass of non-volatile components) thereof. With respect to (a1) the liquid epoxy resin and (c) the inorganic filler, the contents (% by mass) in the nonvolatile components are also shown in Table 1.
(実施例1〜4及び比較例1〜4:樹脂シートの作製)
支持体として、アルキド樹脂系離型剤(リンテック(株)製「AL−5」)で離型処理したPETフィルム(東レ(株)製「ルミラーT6AM」、厚み38μm、軟化点130℃、「離型PET」)を用意した。
各樹脂ワニスを離型PET上に、乾燥後の硬化性樹脂組成物層の厚みが25μmになるよう、ダイコーターにて均一に塗布し、80℃から110℃で4分間乾燥することにより、離型PET上に硬化性樹脂組成物層を得た。次いで、硬化性樹脂組成物層の支持体と接合していない面に、保護フィルムとしてポリプロピレンフィルム(王子エフテックス(株)製「アルファンMA−430」、厚み20μm)を、硬化性樹脂組成物層と接合するように積層した。これにより、支持体、硬化性樹脂組成物層、及び保護フィルムの順からなる樹脂シートを得た。
(Examples 1-4 and Comparative Examples 1-4: Preparation of resin sheet)
As a support, a PET film (“Lumirror T6AM” manufactured by Toray Industries, Inc.) that has been release-treated with an alkyd resin-based release agent (“AL-5” manufactured by Lintec Corporation), a thickness of 38 μm, a softening point of 130 ° C., and “release” PET ") was prepared.
Each resin varnish was uniformly coated on a release PET by a die coater so that the thickness of the curable resin composition layer after drying became 25 μm, and dried at 80 ° C. to 110 ° C. for 4 minutes to release. A curable resin composition layer was obtained on the mold PET. Then, a polypropylene film ("Alphan MA-430" manufactured by Oji Ftex Co., Ltd., thickness: 20 m) is provided as a protective film on the surface of the curable resin composition layer that is not bonded to the support, and the curable resin composition The layers were laminated so as to be joined. Thus, a resin sheet comprising a support, a curable resin composition layer, and a protective film in this order was obtained.
(硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度の測定)
(1)最低溶融粘度の測定
離型PETから硬化性樹脂組成物層のみを剥離し、金型で圧縮することにより測定用ペレット(直径18mm、1.2〜1.3g)を作製した。
測定用ペレットを使用し、動的粘弾性測定装置((株)ユー・ビー・エム製「Rheosol−G3000」)を用い、試料樹脂組成物層1gについて、直径18mmのパラレルプレートを使用して、開始温度60℃から200℃まで昇温速度5℃/分にて昇温し、測定温度間隔2.5℃、振動数1Hz、ひずみ1degの測定条件にて動的粘弾性率を測定し、最低溶融粘度(poise)を算出し、表2に示した。
(Measurement of minimum melt viscosity of curable resin composition layer)
(1) Measurement of Minimum Melt Viscosity Only the curable resin composition layer was peeled from the release PET, and compressed with a mold to produce a measurement pellet (diameter: 18 mm, 1.2 to 1.3 g).
Using a pellet for measurement, using a dynamic viscoelasticity measurement device (“Rheosol-G3000” manufactured by UBM), using a parallel plate having a diameter of 18 mm for 1 g of the sample resin composition layer, The temperature was raised from a starting temperature of 60 ° C. to 200 ° C. at a heating rate of 5 ° C./min. The melt viscosity (poise) was calculated and is shown in Table 2.
(硬化性樹脂組成物層の硬化物(絶縁層)の平均線熱膨張率の測定)
離型PETフィルム(リンテック(株)製「501010」、厚み38μm、240mm角)の未処理面がガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(松下電工(株)製「R5715ES」、厚み0.7mm、255mm角)に接するように、ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板上に設置し、該離型PETフィルムの四辺をポリイミド接着テープ(幅10mm)で固定した。
(Measurement of average linear thermal expansion coefficient of cured product (insulating layer) of curable resin composition layer)
The untreated surface of the release PET film (“51010” manufactured by Lintec Co., Ltd., thickness 38 μm, 240 mm square) is a glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (“R5715ES” manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd .; 7 mm, 255 mm square) on a glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate, and four sides of the release PET film were fixed with polyimide adhesive tape (10 mm width).
実施例及び比較例で作製した各樹脂シート(200mm角)を、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)ニチゴー・モートン製2ステージビルドアップラミネーター CVP700)を用いて、硬化性樹脂組成物層が離型PETフィルムの離型面と接するように、中央にラミネート処理した。ラミネート処理は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。 The curable resin composition layer was separated from each of the resin sheets (200 mm square) produced in Examples and Comparative Examples using a batch-type vacuum pressure laminator (Nichigo Morton's two-stage build-up laminator CVP700). Lamination processing was performed at the center so as to be in contact with the release surface of the mold PET film. The lamination process was performed by reducing the pressure to 13 hPa or less by reducing the pressure for 30 seconds, and then performing pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.
次いで、100℃の温度条件で、100℃のオーブンに投入後30分間、次いで175℃の温度条件で、175℃のオーブンに移し替えた後30分間、熱硬化させた。その後、基板を室温雰囲気下に取り出し、樹脂シートから離型PET(支持体)を剥離した後、さらに190℃のオーブンに投入後90分間の硬化条件で硬化性樹脂組成物層を熱硬化させた。 Next, it was thermally cured at 100 ° C. for 30 minutes after being put into an oven at 100 ° C., and then transferred at 175 ° C. to an oven at 175 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the substrate was taken out in an atmosphere at room temperature, the release PET (support) was peeled off from the resin sheet, and the curable resin composition layer was thermally cured under a curing condition of 90 minutes after being put into an oven at 190 ° C. .
熱硬化後、ポリイミド接着テープを剥がし、硬化性樹脂組成物層をガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板から取り外した。更に硬化性樹脂組成物層が積層されていた離型PETフィルム(リンテック(株)製「501010」)を剥離して、シート状の硬化物を得た。得られた硬化物を、幅5mm、長さ15mmの試験片に切断し、熱機械分析装置((株)リガク製「Thermo Plus TMA8310」)を用いて、引張加重法にて熱機械分析を行った。詳細には、試験片を前記熱機械分析装置に装着した後、荷重1g、昇温速度5℃/分の測定条件にて連続して2回測定した。そして2回の測定において、30℃から150℃までの範囲における平面方向の平均線熱膨張率(ppm/℃)を算出し表2に示した。 After the heat curing, the polyimide adhesive tape was peeled off, and the curable resin composition layer was removed from the glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate. Further, the release PET film ("501010" manufactured by Lintec Co., Ltd.) on which the curable resin composition layer was laminated was peeled off to obtain a sheet-shaped cured product. The obtained cured product was cut into a test piece having a width of 5 mm and a length of 15 mm, and subjected to thermomechanical analysis by a tensile load method using a thermomechanical analyzer (“Thermo Plus TMA8310” manufactured by Rigaku Corporation). Was. Specifically, after the test piece was mounted on the thermomechanical analyzer, the measurement was continuously performed twice at a load of 1 g and at a heating rate of 5 ° C./min. Then, in two measurements, the average linear thermal expansion coefficient (ppm / ° C.) in the plane direction in the range from 30 ° C. to 150 ° C. was calculated and shown in Table 2.
<評価試験>
1.部品埋め込み性の評価
実施例及び比較例で作成した樹脂シートを用いて、以下の手順に沿って部品仮付回路基板を作製し部品埋め込み性を評価した。
<Evaluation test>
1. Evaluation of Component Embedding Property Using the resin sheets prepared in Examples and Comparative Examples, a component temporary-attached circuit board was prepared according to the following procedure, and the component embedding property was evaluated.
(1)部品仮付け回路基板(キャビティ基板)の準備
ガラス布基材BTレジン両面銅張積層板(銅箔の厚み18μm、基板厚み0.15mm、三菱ガス化学(株)製「HL832NSF LCA」)255*340mmサイズの全面に、0.7x1.1mmのキャビティ及び導体パターンを添付資料のデザインで形成した。次いで、両面をマイクロエッチング剤(メック(株)製「CZ8100」)にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理を行い、さらに防錆処理(メック(株)製「CL8300」)を施し、180℃で30分間乾燥した。
(1) Preparation of a circuit board (cavity substrate) for temporarily attaching components A glass-clad base material BT resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.15 mm, “HL832NSF LCA” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) A cavity and a conductor pattern of 0.7 × 1.1 mm were formed on the entire surface of the size of 255 * 340 mm according to the design of the attached document. Next, the both surfaces were etched with a microetching agent (“CZ8100” manufactured by MEC Corporation) at 1 μm to roughen the copper surface, and then subjected to a rust prevention treatment (“CL8300” manufactured by MEC Corporation). Dry at 30 ° C. for 30 minutes.
(2)部品仮付け回路基板の作製
(1)で得られた基板の片面に、25um厚の粘着剤付ポリイミドフィルム(ポリイミド38um厚、(株)有沢製作所製、「PFDKE−1525TT」)をバッチ式真空加圧ラミネーター((株)ニチゴー・モートン製2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、粘着剤が基板と接合するように配置し、片面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、80℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。次いで、積層セラミックコンデンサ部品(1005=1*0.5mmサイズ、厚み0.14mm)をキャビティ内に1つずつ仮付けし、部品仮付け回路基板(キャビティ基板)を作製した。
(2) Fabrication of a component temporary-attached circuit board A 25-μm-thick polyimide film with adhesive (38 μm-thick polyimide, “PFDKE-1525TT” manufactured by Arisawa Seisakusho Co., Ltd.) is batched on one side of the board obtained in (1). The adhesive was arranged so as to be bonded to the substrate using a vacuum vacuum laminator (Nichigo Morton's two-stage build-up laminator “CVP700”) and laminated on one side. The lamination was performed by reducing the pressure to 13 hPa or less by reducing the pressure for 30 seconds, and then performing pressure bonding at 80 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Next, a multilayer ceramic capacitor component (1005 = 1 * 0.5 mm size, thickness 0.14 mm) was temporarily attached to the cavity one by one to produce a component temporary attachment circuit board (cavity substrate).
(3)部品埋め込み性の評価試験
バッチ式真空加圧ラミネーター((株)ニチゴー・モートン製2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、実施例及び比較例で作製した樹脂シートから保護フィルムを剥離して露出した硬化性樹脂組成物層と、(2)で作製した部品仮付け回路基板(キャビティー基板)の粘着剤付ポリイミドフィルム配置面とは反対側の面とを、接合するように積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、120℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。次いで、積層された樹脂シートを、大気圧下、120℃、圧力0.5MPaにて60秒間熱プレスして平滑化した。室温にまで冷却した部品仮付回路基板から粘着剤付ポリイミドフィルムを剥離することにより評価用基板Aを作製した。評価用基板Aのポリイミドフィルムを剥離した面から、キャビティ内の樹脂流れを光学顕微鏡(150倍)で観察し(10キャビティ)、下記基準により部品埋め込み性を評価し、結果を表2に示した。
○:全てのキャビティにおいて、積層セラミックコンデンサ部品の外周部が樹脂で覆われている。
×:キャビティの1つでも、ボイドが発生しているか又は積層セラミックコンデンサ部品の外周部に樹脂が埋め込まれていないものがある。
と判断した。
(3) Evaluation test of component embedding property Using a batch-type vacuum pressurizing laminator (Nichigo Morton's two-stage build-up laminator “CVP700”), a protective film was formed from the resin sheets prepared in Examples and Comparative Examples. The curable resin composition layer that has been peeled off and exposed is bonded to the surface of the component temporary-attached circuit board (cavity substrate) prepared in (2) opposite to the surface on which the polyimide film with the adhesive is disposed. Laminated. The lamination was performed by reducing the pressure to 13 hPa or less by reducing the pressure for 30 seconds, and then performing pressure bonding at 120 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Next, the laminated resin sheet was smoothed by hot pressing under atmospheric pressure at 120 ° C. and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds. An evaluation substrate A was prepared by peeling the polyimide film with the adhesive from the component temporary-attached circuit board cooled to room temperature. From the surface of the evaluation substrate A from which the polyimide film was peeled off, the resin flow in the cavity was observed with an optical microscope (magnification: 150) (10 cavities), and the component embedding property was evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 2. .
:: In all cavities, the outer peripheral portion of the multilayer ceramic capacitor component is covered with resin.
X: Even in one of the cavities, there is one in which voids are generated or resin is not embedded in the outer peripheral portion of the multilayer ceramic capacitor component.
Was determined.
2.反り量の評価
(1)樹脂シートの硬化
1.(3)で作製した評価用基板Aを、100℃の温度条件で、100℃のオーブンに投入後30分間熱処理を行い、室温まで冷却した後、粘着剤付ポリイミドフィルムを剥離した面に、同じ樹脂シートを1.(3)と同じ条件で貼り合わせた。その後、100℃の温度条件で、100℃のオーブンに投入後30分間、次いで175℃の温度条件で、175℃のオーブンに移し替えた後30分間、熱硬化し、基板の両面に絶縁層を形成した。その後、両面に絶縁層を形成した基板を室温雰囲気下に取り出し、両面の離型PETを剥離し、さらに190℃で、190℃のオーブンに投入後90分間の硬化条件で熱硬化性樹脂組成物層を熱硬化させることにより部品内蔵回路板を作製し、評価基板Bとした。
2. Evaluation of warpage (1) Curing of resin sheet The substrate for evaluation A prepared in (3) was placed in an oven at 100 ° C. under a temperature condition of 100 ° C., heat-treated for 30 minutes, cooled to room temperature, and then placed on the surface from which the polyimide film with the adhesive was peeled off.
(2)反り量の評価試験
評価基板Bを45mm角の個片に切り出した後(n=5)、ピーク温度260℃の半田リフロー温度を再現するリフロー装置(日本アントム(株)製「HAS−6116」)に一回通した(リフロー温度プロファイルはIPC/JEDEC J−STD−020Cに準拠)。次いで、シャドウモアレ装置(Akrometrix社製「TherMoire AXP」)を用いて、IPC/JEDEC J−STD−020C(ピーク温度260℃)に準拠したリフロー温度プロファイルにて、基板下面を加熱し、基板中央の10mm角部分の変位(μm)を測定し、結果を表2に示した。
(2) Evaluation test of warpage amount After cutting out the evaluation board B into 45 mm square pieces (n = 5), a reflow apparatus (“HAS- manufactured by Antom Japan Co., Ltd.”) that reproduces a solder reflow temperature of 260 ° C. peak temperature is used. 6116 ") (the reflow temperature profile conforms to IPC / JEDEC J-STD-020C). Then, using a shadow moiré apparatus (“Thermoire AXP” manufactured by Akrometrix), the lower surface of the substrate is heated with a reflow temperature profile conforming to IPC / JEDEC J-STD-020C (peak temperature 260 ° C.). The displacement (μm) of the 10 mm square portion was measured, and the results are shown in Table 2.
表2には、評価結果とともに、実施例および比較例の樹脂シートにおける、各硬化性樹脂組成物層の形成に用いた樹脂ワニスの種類、無機充填材の種類、含有量(質量%)、平均粒径(μm)、比表面積(m2/g)、真密度(g/cm3)、真密度と比表面積との積、硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度(poise)、絶縁層の平均線熱膨張率(ppm/℃)も併せて示した。 In Table 2, along with the evaluation results, the types of the resin varnish used for forming each curable resin composition layer, the types of the inorganic filler, the content (% by mass), and the average in the resin sheets of Examples and Comparative Examples Particle diameter (μm), specific surface area (m 2 / g), true density (g / cm 3 ), product of true density and specific surface area, minimum melt viscosity (poise) of curable resin composition layer, insulation layer The average coefficient of linear thermal expansion (ppm / ° C.) is also shown.
1…回路基板
2…基板
2a…キャビティ
3…導体層(回路配線)
4…仮付け材料
5…部品
10…樹脂シート(第1の樹脂シート)
11…支持体(第1の支持体)
12…硬化性樹脂組成物層
12’…硬化性樹脂組成物層(加熱処理体)
12”…絶縁層
20…第2の樹脂シート
21…第2の支持体
22…第2の硬化性樹脂組成物層
22’…第2の硬化性樹脂組成物層(加熱処理体)
22”…絶縁層
100…配線板(部品内蔵回路板)
DESCRIPTION OF
4.
11 Support (first support)
12: Curable
22 "... insulating
Claims (11)
硬化性樹脂組成物層は、無機充填材を含み、
硬化性樹脂組成物層中の無機充填材の含有量は74質量%以上であり、
無機充填材の平均粒径が1.6μm以下であり、無機充填材の比表面積[m2/g]と真密度[g/cm3]との積が6〜8であり、
硬化性樹脂組成物層の最低溶融粘度が12000poise以下である、樹脂シート。 A resin sheet comprising a support and a curable resin composition layer provided on the support,
The curable resin composition layer contains an inorganic filler,
The content of the inorganic filler in the curable resin composition layer is 74% by mass or more,
The average particle size of the inorganic filler is 1.6 μm or less, and the product of the specific surface area [m 2 / g] of the inorganic filler and the true density [g / cm 3 ] is 6 to 8,
A resin sheet in which the curable resin composition layer has a minimum melt viscosity of 12000 poise or less.
該エポキシ樹脂が、液状エポキシ樹脂を含み、
硬化性樹脂組成物層中の液状のエポキシ樹脂の含有量が1質量%以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂シート。 The curable resin composition layer contains (a) an epoxy resin,
The epoxy resin comprises a liquid epoxy resin,
The resin sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the liquid epoxy resin in the curable resin composition layer is 1% by mass or more.
硬化性樹脂組成物層中の液状エポキシ樹脂の質量MLに対する固体状エポキシ樹脂の質量MSの比(MS/ML)が、0.6〜10である請求項4に記載の樹脂シート。 (A) the epoxy resin further comprises a solid epoxy resin,
The ratio of the mass M S of solid epoxy resin to the weight M L of the liquid epoxy resin of the curable resin composition layer (M S / M L) is a resin sheet of claim 4 wherein 0.6 to 10 .
を含む請求項4〜6のいずれか1項に記載の樹脂シート。 The curable resin composition layer further comprises one or more components selected from component (d): a resin having a functional group having a glass transition temperature of 25 ° C. or lower, and a resin having a functional group that is liquid at 25 ° C. resin,
The resin sheet according to any one of claims 4 to 6 , comprising:
アルキレン構造単位、アルキレンオキシ構造単位、ブタジエン構造単位、イソプレン構造単位、イソブチレン構造単位、クロロプレン構造単位、ウレタン構造単位、ポリカーボネート構造単位、(メタ)アクリレート構造単位、及びポリシロキサン構造単位から選択される1以上の構造単位を有する請求項7に記載の樹脂シート。 The component (d) has at least one functional group selected from a hydroxyl group, an acid anhydride group, a phenolic hydroxyl group, an epoxy group, an isocyanate group, and a urethane group,
1 selected from alkylene structural units, alkyleneoxy structural units, butadiene structural units, isoprene structural units, isobutylene structural units, chloroprene structural units, urethane structural units, polycarbonate structural units, (meth) acrylate structural units, and polysiloxane structural units The resin sheet according to claim 7 having the above structural unit.
導体層と、を備える配線板。 An insulating layer obtained by curing the curable resin composition layer of the resin sheet according to any one of claims 1 to 9 ,
A wiring board comprising: a conductor layer.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015234803A JP6657865B2 (en) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | Resin sheet |
TW105138435A TWI748969B (en) | 2015-12-01 | 2016-11-23 | Resin sheet |
CN201611070720.0A CN106995585B (en) | 2015-12-01 | 2016-11-29 | Resin sheet |
KR1020160160701A KR102649395B1 (en) | 2015-12-01 | 2016-11-29 | Resin sheet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015234803A JP6657865B2 (en) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | Resin sheet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017103329A JP2017103329A (en) | 2017-06-08 |
JP6657865B2 true JP6657865B2 (en) | 2020-03-04 |
Family
ID=59017028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015234803A Active JP6657865B2 (en) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | Resin sheet |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6657865B2 (en) |
KR (1) | KR102649395B1 (en) |
CN (1) | CN106995585B (en) |
TW (1) | TWI748969B (en) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019167182A1 (en) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 日立化成株式会社 | Compound powder |
WO2020067016A1 (en) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 日立化成株式会社 | Sealing resin composition, electronic component device, and manufacturing method of electronic component device |
JPWO2020129248A1 (en) * | 2018-12-21 | 2021-12-02 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | Encapsulating resin composition and electronic component equipment |
KR20220029666A (en) * | 2019-06-28 | 2022-03-08 | 도아고세이가부시키가이샤 | A resin composition, a laminate with a resin composition layer, a laminate, and an electromagnetic wave shielding film |
JP2021014546A (en) * | 2019-07-12 | 2021-02-12 | 味の素株式会社 | Resin composition |
JP7255411B2 (en) * | 2019-07-30 | 2023-04-11 | 味の素株式会社 | resin composition |
JP7439497B2 (en) | 2019-12-20 | 2024-02-28 | Toppanホールディングス株式会社 | Glass core multilayer wiring board manufacturing method, glass core multilayer wiring board and high frequency module board |
KR102403966B1 (en) * | 2020-07-13 | 2022-05-31 | 주식회사 테라온 | Igbt power semiconductor package with excellent coooling performance and manufacturing method thereof |
CN111763403A (en) * | 2020-07-15 | 2020-10-13 | 深圳先进电子材料国际创新研究院 | Liquid epoxy resin composition and preparation method and application thereof |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5413522B1 (en) * | 2012-01-23 | 2014-02-12 | 味の素株式会社 | Resin composition |
JP6123243B2 (en) * | 2012-11-12 | 2017-05-10 | 味の素株式会社 | Insulating resin material |
JP6318690B2 (en) * | 2013-02-21 | 2018-05-09 | 味の素株式会社 | Manufacturing method of component built-in circuit board and semiconductor device |
TWI610606B (en) * | 2013-02-21 | 2018-01-01 | 味之素股份有限公司 | Manufacturing method and semiconductor device for built-in wiring board of parts |
JP6350093B2 (en) * | 2013-12-16 | 2018-07-04 | 味の素株式会社 | Method for manufacturing component-embedded substrate and semiconductor device |
JP6269294B2 (en) * | 2014-04-24 | 2018-01-31 | 味の素株式会社 | Resin composition for insulating layer of printed wiring board |
-
2015
- 2015-12-01 JP JP2015234803A patent/JP6657865B2/en active Active
-
2016
- 2016-11-23 TW TW105138435A patent/TWI748969B/en active
- 2016-11-29 CN CN201611070720.0A patent/CN106995585B/en active Active
- 2016-11-29 KR KR1020160160701A patent/KR102649395B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102649395B1 (en) | 2024-03-21 |
KR20170064478A (en) | 2017-06-09 |
CN106995585A (en) | 2017-08-01 |
TW201728456A (en) | 2017-08-16 |
TWI748969B (en) | 2021-12-11 |
CN106995585B (en) | 2021-02-02 |
JP2017103329A (en) | 2017-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6657865B2 (en) | Resin sheet | |
KR102579969B1 (en) | Resin composition | |
KR102610333B1 (en) | Resin Composition | |
KR102556112B1 (en) | Adhesive film | |
JP6668712B2 (en) | Resin composition | |
KR102324901B1 (en) | Resin sheet | |
KR102314255B1 (en) | Thermosetting resin composition | |
JP6648425B2 (en) | Resin composition | |
KR102336087B1 (en) | Resin compositions | |
KR102400207B1 (en) | Resin composition | |
JP6459279B2 (en) | Resin sheet | |
JP6710955B2 (en) | Prepreg | |
JP7338413B2 (en) | resin composition | |
KR102511657B1 (en) | Resin sheet with support | |
JP6318690B2 (en) | Manufacturing method of component built-in circuit board and semiconductor device | |
JP6776874B2 (en) | Manufacturing method of printed wiring board | |
JP7131593B2 (en) | resin composition | |
JP6610612B2 (en) | Resin sheet with support | |
JP6642194B2 (en) | Manufacturing method of printed wiring board | |
JP6947246B2 (en) | Prepreg | |
JP6881552B2 (en) | Resin composition | |
JP7067594B2 (en) | Resin composition | |
JP7427455B2 (en) | Adhesive films, printed wiring boards and semiconductor devices |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180919 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190604 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190919 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6657865 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |