JP6657042B2 - Ta5N6の製造方法 - Google Patents
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Description
従って、本発明の課題は、工業的に汎用できる手段により、高純度のTa5N6を製造する方法を提供することにある。
〔2〕針状の金属タンタルの平均粒子径(D50)が10μm以下である〔1〕記載の製造方法。
〔3〕アンモニアガス流量が、金属タンタル1gに対して0.03L/min以上2L/min以下で窒化する〔1〕又は〔2〕記載の製造方法。
なお、平均粒子径は、JIS R 1629「ファインセラミックス原料のレーザ回折・散乱法による粒子径分布測定」により測定した。
粉砕時間は、10分以上5時間以下が好ましく、さらに好ましくは20分以上3時間以下である。
グローブボックス内にて炉心管(内径50mm、長さ600mm)に針状結晶の金属タンタル5gを入れ、シリコンキャップで密閉した。グローブボックスから取り出した炉心管を管状炉にセットした。その後、アンモニアガスを1L/min雰囲気下で、反応温度850℃、20時間で窒化した。原料の針状結晶の金属タンタルは、平均粒子径(D50)が2.5μm、アスペクト比(長さ/直径)が5であった。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTa5N6が確認された(図1)。得られたTa5N6を窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.48mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は99.8%であった。また、酸素含有量は1.4mass%とであった。
反応時間を15時間とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTa5N6が確認された(図2)。得られたTa5N6を窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.34mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は98.1%であった。また、酸素含有量は2.1mass%であった。
反応温度を800℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTa5N6であることが確認された。得られたTa5N6を窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は7.94mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は93.4%であった。また、酸素含有量は2.3mass%であった。
反応温度を950℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTa5N6であることが確認された。得られたTa5N6を窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.13mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は95.6%であった。また、酸素含有量は1.7mass%であった。
アンモニアガスを0.3L/min雰囲気下とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTa5N6であることが確認された。得られたTa5N6を窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は7.78mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は91.5%であった。また、酸素含有量は3.0mass%であった。
アンモニアガスを5L/min雰囲気下とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTa5N6であることが確認された。得られたTa5N6を窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.26mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は97.2%であった。また、酸素含有量は1.9mass%であった。
出発原料は、平均粒子径(D50)が15μmの球状の金属タンタルとした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところTa3N5が確認された(図3)。
反応温度を750℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ金属TaとTa5N6の混合相が確認された。
反応温度を1000℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ金属Taが確認された。
Claims (1)
- 平均粒子径(D 50 )が10μm以下の針状の金属タンタルを、800〜950℃で、アンモニアガス流量が金属タンタル1gに対して0.03L/min以上2L/min以下のアンモニアガス雰囲気下で、10時間以上48時間以下窒化することを特徴とする窒化タンタル(Ta5N6)の製造方法。
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