JP6657042B2 - Ta5N6の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、窒化タンタル(Ta56)の製造方法に関する。
ここ数年、超硬物質探索において、5d窒化物が注目されており、Pt(白金)、Ir(イリジウム)、Re(レニウム)等の窒化物がダイヤモンド(C)に匹敵する体積弾性率を有すると報告がある。しかし、難窒化性かつ、製造条件が過酷であり、大量製造出来ないという欠点がある。一方、窒化タンタルは、比較的製造が容易であることから、超硬物質として期待されている。
窒化タンタルのうち、超硬物質として期待されているのはTa56であり、その製造法としては、例えば(1)粉末金属タンタル(Ta)を窒素雰囲気中で1200℃、50時間窒化する方法(非特許文献1)、(2)塩化タンタルと窒化カルシウムの混合物を、3GPa、1750℃の条件下で複分解反応を行う方法(非特許文献2)が報告されている。
Monatsh. Chem. 109, 1009-1012(1978) Photon Factory Activity Report 2013. vol. 31(2014)B, AR-NE1/2013G590
しかしながら、非特許文献1記載の方法は、30MPaという高圧が必要であり、非特許文献2記載の方法は3GPa、1750℃という高温高圧が必要であった。
従って、本発明の課題は、工業的に汎用できる手段により、高純度のTa56を製造する方法を提供することにある。
そこで本発明者は、Ta56の工業的な製造法について種々検討した結果、針状の金属タンタルを原料として用い、アンモニア気流中で800〜950℃という特定の温度で窒化させればTa56が高純度かつ高収率で得られることを見出し、本発明を完成した。
すなわち、本発明は、次の〔1〕〜〔3〕を提供するものである。
〔1〕針状の金属タンタルを800〜950℃で、アンモニアガス雰囲気下で窒化することを特徴とする窒化タンタル(Ta56)の製造方法。
〔2〕針状の金属タンタルの平均粒子径(D50)が10μm以下である〔1〕記載の製造方法。
〔3〕アンモニアガス流量が、金属タンタル1gに対して0.03L/min以上2L/min以下で窒化する〔1〕又は〔2〕記載の製造方法。
本発明方法によれば、1000℃以下の低温で、高圧条件とすることなく、安価な金属タンタルとアンモニアから高純度のTa56を高収率で得ることができる。
実施例1で得られたTa56の粉末XRD解析結果を示す。 実施例2で得られたTa56の粉末XRD解析結果を示す。 比較例1で得られたTa35の粉末XRD解析結果を示す。
本発明のTa56の製造方法は、針状の金属タンタルを800〜950℃で、アンモニアガス雰囲気下で窒化することを特徴とする。
原料金属タンタル(Ta)は、針状結晶を用いる。球状タンタルや粒状タンタルを用いて同様の条件で窒化するとTa56ではなく、Ta35が生成する。本発明において、針状とは、アスペクト比(長径/短径)が3以上であることをいい、Ta56を選択的に得る観点から、4以上が好ましく、5以上がより好ましく、5〜20がさらに好ましい。
原料金属タンタルの平均粒子径(D50)は、Ta56を選択的に得る観点から、10μm以下が好ましく、8μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましく、3μm以下が特に好ましい。なお、平均粒子径の下限は0.1μmが好ましい。
なお、平均粒子径は、JIS R 1629「ファインセラミックス原料のレーザ回折・散乱法による粒子径分布測定」により測定した。
このような微細化金属タンタルは、市販の金属タンタルを粉砕することにより得られる。粉砕装置としては遊星ボールミル、振動ミル、アトライターミル等を用いることが可能である。粉砕方法は、乾式または湿式のどちらでも良い。湿式の場合の粉砕助剤としては、エタノール、トリエチルアミン、ヘキサン等が利用できる。
粉砕時間は、10分以上5時間以下が好ましく、さらに好ましくは20分以上3時間以下である。
窒化する温度(窒化温度)は、800℃以上950℃以下が好ましい。800℃未満の場合、窒化が進行しない。950℃を超える場合、Ta56が分解して金属Taとなるため高純度のTa56が得られない。
窒化する際のアンモニア流量は、単相のTa56を得る点、アンモニウムガスの過剰使用を防止する点から、原料の金属タンタル1gに対し0.03L/min以上2L/min以下が好ましい。さらに好ましくは、原料の金属タンタル1gに対し0.05L/min以上1.5L/min以下である。
反応装置は、1000℃程度の熱に耐えられる装置であればよく、例えば、管状炉、電気炉、バッチ式キルン、ロータリーキルンを用いれば良い。反応時間は、10時間以上48時間以下が好ましく15時間以上30時間以下がさらに好ましい。
上記の反応により、反応容器中には高純度Ta56のみが残存するので回収が容易である。得られるTa56の純度は90%以上であり、95%以上であるのがより好ましい。また、得られるTa56中の酸素含有量は4.0mass%以下であるのが好ましく、3.0mass%以下であるのがより好ましい。
次に実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。
実施例1
グローブボックス内にて炉心管(内径50mm、長さ600mm)に針状結晶の金属タンタル5gを入れ、シリコンキャップで密閉した。グローブボックスから取り出した炉心管を管状炉にセットした。その後、アンモニアガスを1L/min雰囲気下で、反応温度850℃、20時間で窒化した。原料の針状結晶の金属タンタルは、平均粒子径(D50)が2.5μm、アスペクト比(長さ/直径)が5であった。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTaが確認された(図1)。得られたTaを窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.48mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は99.8%であった。また、酸素含有量は1.4mass%とであった。
実施例2
反応時間を15時間とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTaが確認された(図2)。得られたTaを窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.34mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は98.1%であった。また、酸素含有量は2.1mass%であった。
実施例3
反応温度を800℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTaであることが確認された。得られたTaを窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は7.94mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は93.4%であった。また、酸素含有量は2.3mass%であった。
実施例4
反応温度を950℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTaであることが確認された。得られたTaを窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.13mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は95.6%であった。また、酸素含有量は1.7mass%であった。
実施例5
アンモニアガスを0.3L/min雰囲気下とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTaであることが確認された。得られたTaを窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は7.78mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は91.5%であった。また、酸素含有量は3.0mass%であった。
実施例6
アンモニアガスを5L/min雰囲気下とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ単相のTaであることが確認された。得られたTaを窒素酸素同時分析計で定量したところ、窒素含有量は8.26mass%であり理論量(8.50mass%)から算出した純度は97.2%であった。また、酸素含有量は1.9mass%であった。
比較例1
出発原料は、平均粒子径(D50)が15μmの球状の金属タンタルとした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところTaが確認された(図3)。
比較例2
反応温度を750℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ金属TaとTaの混合相が確認された。
比較例3
反応温度を1000℃とした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
得られた合成物の粉末XRD解析を行ったところ金属Taが確認された。

Claims (1)

  1. 平均粒子径(D 50 )が10μm以下の針状の金属タンタルを、800〜950℃で、アンモニアガス流量が金属タンタル1gに対して0.03L/min以上2L/min以下のアンモニアガス雰囲気下で、10時間以上48時間以下窒化することを特徴とする窒化タンタル(Ta56)の製造方法。
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