JP6632288B2 - 情報処理装置、情報処理方法、プログラム - Google Patents

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Description

本発明は、物体を撮像しその撮像された画像に基づいて、物体の正常異常を判定する方法に関する。
画像等の信号が入力され、入力信号の属性等を識別器によって識別する際、識別結果の根拠をユーザに可視化して提示する物がある。例えば自動外観検査のような分野においては、検査対象を含む画像を用いて、検査対象が正常であるか異常であるかを判定する際に、異常であると判定した結果と共に、異常と判定した根拠を提示できればユーザにとって有益な情報となる。つまり、異常の原因となる領域を画像として可視化すれば自動外観検査装置の判定基準をユーザが直感的に知ることができる。そうすると、検査に関わるパラメータを調整する際や特定の異常パターン発生の多寡を知りその対応として生産ラインの工程にフィードバックを与えて改善を行う際に役立つ。
例えば特許文献1では、検査対象物を複数の照明条件で撮影することにより得られる複数の画像から、1枚の判定用画像を作成し、該判定用画像を用いて正常か異常かの検査を行うことが開示されている。特許文献1の方法で作成された判定用画像は、異常と判定された場合に、異常の存在する領域が他の正常な領域とは異なって可視化されており、ユーザにとってどの領域が異常であるか容易に理解しやすい。
しかし、特許文献1における判定用画像の生成は、予め定められた所望の検査項目に応じて最適化されており、複雑な検査や未知の欠陥に対応することが難しい。
そこで、特許文献2には、特許文献1のような判定用画像を生成せずに、入力された画像から予め選択された特徴量を抽出し、該特徴量を使って正常か異常かを判定する方法が開示されている。この方法は、判定用画像を生成せずに、正常か異常かの識別に影響のある特徴量を予め学習しておくことにより、精度良く正常か異常かを判別することが可能である。
特開2010−175305号公報 特開2010―102690号公報
しかしながら、特許文献2のように、判定用画像を作成せずに検査結果を出力する方法を使った場合であっても、結果の分析も行いたいという場合もある。すなわち、部品の外観検査において、正常/異常の識別精度は非常に重要である一方で、副次的な情報である異常原因(異常の種類、場所等)を知り傾向を容易に把握するということもユーザにとって有益な情報になるケースも多く存在する。特許文献2の方法では、異常原因をユーザに提示することができないという課題があった。
そこで、本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、入力データに対する判定結果とともに、その判定結果の根拠をユーザに提示することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の情報処理装置は、例えば、検査対象物を含む画像から複数の特徴量を抽出する抽出手段と、前記抽出された特徴量に基づいて、前記検査対象物の異常度を判定する判定手段と、前記画像から、前記特徴量それぞれのスコアを表す複数のスコアマップを生成するマップ生成手段と、前記判定手段により判定される異常度に対する前記特徴量それぞれの寄与度に基づいて、前記複数のスコアマップを統合することにより、前記検査対象物が異常であると判定された根拠となる欠陥を表す欠陥表示画像を生成する画像生成手段とを備えることを特徴とする。
また、本発明の別の側面の情報処理装置は、例えば、検査対象物を含む複数の画像から複数の特徴量を抽出する抽出手段と、前記抽出された特徴量に基づいて、前記検査対象物の異常度を判定する判定手段と、前記複数の画像から、前記特徴量それぞれのスコアを表す複数のスコアマップを生成するマップ生成手段と、前記判定手段により判定される異常度に対する前記特徴量それぞれの寄与度に基づいて、前記複数のスコアマップを統合することにより、前記検査対象物が異常であると判定された根拠となる欠陥を強調表示する画像を生成する画像生成手段とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、入力データに対する判定結果とともに、その判定結果の根拠をユーザに提示することができる。
第1の実施形態における情報処理装置を用いた検査システムの構成例を示した図である。 第1の実施形態における表示装置104の表示例である。 第1の実施形態の処理フローチャートである。 第1の実施形態の処理フローチャートである。 第1の実施形態における従来の装置の機能ブロック図と、本実施形態の情報処理装置の機能ブロック図を示す。 第1の実施形態における図5のマップ統合部の処理内容を詳細に表した構成図である。 第1、第2の実施形態における異常度スコアにおける各特徴量の重要度を決定する際の説明のための図である。 第2、第3の実施形態における情報処理装置を用いた検査システムの構成例を示した図である。 第2の実施形態における情報処理装置の機能ブロック図を示す。 第2の実施形態における図9のマップ統合部の処理内容を詳細に表した構成図である。 第3の実施形態における情報処理装置の機能ブロック図を示す。 第3の実施形態における図11の画像合成部の処理内容を詳細に表した構成図である。 第4の実施形態における情報処理装置の機能ブロック図を示す。 第4の実施形態における図13のマップ統合部の処理内容を詳細に表した構成図である。 第3の実施形態の処理フローチャートである。
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態(実施形態)について説明する。
本発明にかかる各実施形態を説明するのに先立ち、各実施形態に示す情報処理装置101が実装されるハードウェア構成について、図1を用いて説明する。
同図において、CPU1010は、バス1000を介して接続する各デバイスを統括的に制御する。CPU1010は、読み出し専用メモリ(ROM)1020に記憶された処理ステップやプログラムを読み出して実行する。オペレーティングシステム(OS)をはじめ、本実施形態に係る各処理プログラム、デバイスドライバ等はROM1020に記憶されており、ランダムアクセスメモリ(RAM)1030に一時記憶され、CPU1010によって適宜実行される。また、入力I/F1040は、外部の装置(表示装置や操作装置など)から情報処理装置1で処理可能な形式で入力信号として入力する。また、出力I/F1050は、外部の装置(表示装置)へ表示装置が処理可能な形式で出力信号として出力する。
(第1の実施形態)
以下、図面を参照して本発明が適用される第1の実施形態を詳細に説明する。
図1は、本実施形態の情報処理装置101をつかった外観検査システムの概念図である。
撮像装置103は、検査対象物102の表面の映像(画像パターン)を取得可能なビデオカメラなどから構成され、取得した映像を情報処理装置101に送信する。情報処理装置101は、送信されたビデオ映像を用いて外観検査のための情報処理を行う。
検査対象物102は、情報処理装置101によって、良品であるか不良品であるかを判定される対象となる物体である。検査対象物102の例としては、工業製品に利用されるゴム成型品、金属部品、レンズ等ガラス成型品、プラスチック成型品等である。検査対象物102は、表面には、良品には見られない凹凸や表面の加工工程におけるムラやキズがあることがあり、外観検査によってこれらが検出され、不良品として検出される。
表示装置104はモニタなどから構成される。表示装置104への判定結果表示例を図2に示した。領域201には画像がいくつか表示されており、領域201内で選択され太枠強調表示された画像に対応する正常/異常分類結果が領域202にOK/NGとして表示され、そのときの識別器による異常度スコアが領域203に表示されている。そして選択されている画像に対する異常度スコアマップが領域204に表示されており、画像だけでは視認することが困難であった大きなキズ状の異常が、領域204に表示された異常度スコアマップでは容易に視認できる様子を表している。つまり、領域204に表示された画像をユーザが確認する事によって、なぜ領域201で選択された画像が異常と判定されたのかを理解することが容易となる。
図6(A)は、特許文献1に記載されているような、入力画像400から判定用画像を生成して可視化する従来の装置の機能ブロック図である。そして、図6(B)は本実施形態の機能ブロック図である。図6(A)では入力画像400が判定用画像生成部402で判定用中間画像403が生成され、該判定用中間画像403の結果を元に識別部404にて正常であるか異常であるかを識別している。以下、図6(B)における本実施形態の情報処理装置を構成する各機能について説明する。
入力画像401は、撮像部によって検査対象物体が撮像された画像である。
特徴抽出部405は、入力画像401から特徴量を抽出する。本実施形態では、特徴量として、入力画像を変換した画像から、最大値や平均値、分散、尖度、歪度やコントラスト、最大勾配等を抽出する。具体的な処理については後述する。
識別部406は、特徴抽出部405により抽出された特徴量を使って、入力画像401に含まれている検査対象物が正常か異常かを判定する。
マップ生成部407は、入力画像401から抽出特徴に対応した各特徴量のマップが407にて生成される。
マップ統合部408は、識別部406で識別時に得られた識別結果に対する各特徴量の寄与度を参照して、マップ生成部407で特徴量毎に生成された複数のマップを統合することにより、欠陥候補領域を可視化した可視化画像409を生成する。マップ統合部408は、生成された可視化画像409を出力する。
これらの各機能部は、CPU1010が、ROM1020に格納されたプログラムをRAM1030に展開し、後述する各フローチャートに従った処理を実行することで実現されている。また例えば、CPU1010を用いたソフトウェア処理の代替としてハードウェアを構成する場合には、ここで説明する各機能部の処理に対応させた演算部や回路を構成すればよい。
以下、本実施形態の処理フローチャートを、図3を参照しながら説明する。
(ステップS301)
ステップS301では、特徴抽出部405は、検査対象の画像である入力画像401からN個の特徴を抽出する。以下では、本実施形態において画像から抽出される特徴量をどのように決定するかに関して以下で説明する。
まず、入力画像401をHaar Wavelet(ハールウェーブレット)変換によるフィルタ処理により高周波数成分から低周波数成分の垂直、水平および対角方向の周波数成分の画像に分解して複数の階層画像を生成する。そして、生成された複数の階層画像から複数の特徴量を抽出する。ハールウェーブレット変換による処理は、入力画像401に対して以下の4種の行列で表されるフィルタ(式1−A〜1−D)にて行う。

式1−Aが垂直方向高周波数成分フィルタ、式1−Bが水平方向高周波数成分フィルタ、式1−Cが対角方向高周波数成分フィルタ、式1−Dが低周波数成分フィルタを表している。入力画像401内の2×2の画素に対し、式1−A〜1−Dで示されるフィルタを用いて内積計算を行うことにより新規に得られた、周波数成分で分解された画像の対応する画素値を格納した新たな画像を生成する。このフィルタ処理を2×2の領域を重複させずに、入力が画像401内の全領域を移動させ、垂直方向高周波成分画像、水平方向高周波成分画像、対角方向高周波成分画像、低周波成分画像の4種類の画像サイズが縦横ともにサイズが2分の1になった画像が獲得される。
そして、低周波成分画像を入力画像と同様にさらにフィルタ処理を行うことによって次の階層の垂直方向高周波成分画像、水平方向高周波成分画像、対角方向高周波成分画像、低周波成分画像の4種類の画像を取得する。
以上の周波数ごとに信号を分離する処理を繰り返すことによって画像サイズが縦横2分の1になった画像の生成が繰り返され、最終的にそれ以上分離が不可能なレベルの階層まで繰り返して終了する。尚、何階層まで分離するかは入力画像401のサイズに依存することになるが、例えば8階層まで分解すると1階層あたり4種の画像が獲得されるため8×4=32種の画像が獲得される(階層画像生成)。
次に、32種の画像から複数の統計的特徴量を抽出する。ここで抽出される特徴量は各々の周波数成分画像内(階層画像内の)の画素値の最大値、平均値、分散、尖度、歪度、コントラスト、最大勾配等の値とする。ここで各周波数成分画像から抽出する特徴量の数を20個だとすると、最終的に1つの元画像から抽出される特徴量の数は32×20=640個となる。しかし、640もの多数の特徴量を全て使った識別処理は扱う情報の次元数が高次元になってしまい、一般的に『次元の呪い』と呼ばれる現象により汎化能力が下がることが多い。そこで事前に正常と異常を精度よく分離する特徴量セットを探索する機械学習的な方法によって識別処理に適した特徴量の組合せを選択しておき、実際の検査では精度の高い識別処理を実現することができる。良好な特徴量の組合せを探索する特徴選択方法としては様々な方法が知られており、それらはLASSOやグラフカット、遺伝的アルゴリズムを用いた特徴選択手法等多様な手法がある。以降では事前に特徴選択処理によって最終的に選ばれた特徴量はN個(数10個程度)であるものとする。尚、識別器はどのような物を用いても良いが、本実施形態では部分空間法を用いる。また、本実施形態では、Haar Wavelet変換を用いたが、本発明はこれに限られるものではなく、入力画像401から複数の画像を生成することができる所定の変換でよい。
(ステップS302)
ステップS302では、識別部406は、ステップS301で抽出されたN個の特徴量を取得し、部分空間法によって正常の分布として学習されていた正常の領域を表す高次元面からの距離によって異常であるかどうかを判定する。異常度スコアは識別器によって正常の分布からの距離等をスコア化したものとして定義される。本実施形態では識別部406による識別方法として部分空間法を用いている。図7に示すように入力される全特徴量をXとすると事前の学習時の訓練正常データによってパターンの分布の分散が最大となる向きを持つ超平面が学習されている。そして、テスト時に新規に入力されたデータから超平面に対して直交する方向成分における距離Dを正常の分布から離れた距離、つまり異常度スコアとして利用する。よって、検査用の中間画像は存在せず、正常/異常を識別することができる。距離Dを求めるためには正常データの平均ベクトルMc(c=1,2,…,C)と超平面構成ベクトルφcl(l=1,2,…,L)によって表現したい正常の特徴空間における分布を超平面による近似表現で行うことができる。前記lは以降説明で適切な次元数Lを決定しL次元超平面を設定すると良い。
外観検査において、cは正常状態のクラス数であり、例えば2つの正常状態が混交している中での検査ならばc=2として実施すれば良い。c=2の場合の距離Dは2つの正常クラス(c=1およびc=2)で定義される2つの距離を算出し、2つの距離のうちのどちらかが事前に閾値設定した距離以下であれば正常と判定することができる。ただし、一般的に精密さが求められる外観検査では2種類の部品の検査を1つの検査工程で同時に行うという可能性は極めて低い為、以降ではc=1であるとする。また、正常データの数をtとする。このとき、Mcは式2のように表される。

分散共分散行列Σcは、特徴ベクトルXciを用いて示すことができる。分散共分散行列Σcを式3に示す。

近似超平面を定義するためには式3で得られたΣcを用いて式4に示される固有値問題を解く。

そして、Σcの第l番目の固有値、固有ベクトルをそれぞれλcl、φclとしてλclの大きい方からL個を選びそれに対応するφclによって式2のMcを通る超平面を正常の分布を説明する面として定義する。異常度スコアとなる距離Dは、テストサンプルから抽出された特徴ベクトルX’がN次元の特徴ベクトルであった場合、j番目(1≦j≦N)の要素をxjとし、同様に平均ベクトルMcのj次元目の要素をmjcとし、式5のように表せる。

さらに、ここで異常度スコアD(距離D)算出とともにN個ある特徴量の異常度スコアDへの寄与度を出力する。ここでいう寄与度は、異常度スコアDに対する該特徴量それぞれの寄与する割合のことであり、後段で異常度スコアマップを可視化する際にステップS312で読込んで利用する。寄与度の算出方法は例えば以下のように計算することができる。X’に対する重みWのj次元目の要素をwj、固有ベクトルをeとすると、異常度スコアDとの関係は式6のように表すことができる。

これによって求めるべきj次元目の特徴量の寄与度wjは式7として算出される。

ここで算出されたwjをステップS306の可視化ステップで利用するため出力する。また、異常度スコアDに対して事前に閾値を設定しておき、ステップS303では、識別部は、正常であるか異常であるかを判定する。
(ステップS304)
ステップS304では、異常度スコアマップによる欠陥候補領域可視化をするかどうかを判定する。欠陥候補領域可視化をするかどうかは、ユーザにより予め設定されていればよい。異常度スコアマップ可視化をしないと設定されていた場合は、ステップS305に処理が進む。異常度スコアマップを可視化すると設定されていた場合は、ステップS306に処理が進み、欠陥領域候補の可視化を行う。また、ステップS304にて正常か異常かという判定結果によってステップS306に進むかステップS305に進むか決定をすればよい。すなわち、異常と判定された場合には、自動的にステップS306に処理が進むようにしてもよい。
(ステップS305)
ステップS305では、マップ統合部408は、正常であるか異常であるか、異常度スコア等の情報を表示装置104に出力する。
(ステップS306)
ステップS306では、欠陥領域を可視化する。この処理については図4の処理フローチャートを用いて説明する。
(ステップS308)
ステップS308では、マップ生成部407は、入力画像401を取得する。
(ステップS309)
ステップS309では、マップ生成部407は、ステップS301で抽出された特徴量のスコアを表すスコアマップを算出する。例えば、ステップS301で抽出したN個の特徴量の1つがHaarWavelet変換し得られた階層画像の最大値であったとすると、マップ生成部407が生成するマップはステップS301で最大値を抽出するための階層画像と同一である。また、ステップS301で抽出したN個の特徴量の1つがHaarWavelet変換し得られた階層画像の平均値であったとすると、階層画像を任意のサイズのグリッドに分割し、各グリッド内の平均値を算出して得られる画像をスコアマップとする。
(ステップS310)
ステップS310では、マップ生成部407は、ステップS309で得られたスコアマップの正規化を行う。事前に、欠陥のない検査対象物を含んだ複数の訓練画像を、ステップS309と同様の方法で、各特徴に対応するスコアマップに変換し、得られたスコアマップの平均値及び標準偏差を求めておき、例えばROM1020に保持しておく。そして、保持されている平均値および標準偏差を読み出し、読み出された値を用いて、ステップS309で得られたスコアマップを正規化する。
(ステップS311)
ステップS311では、マップ統合部408は、スコアマップの閾値以上のみの値を残すか、全ての値を残すかをユーザの設定によって決定し、もし閾値切りを行う設定をしていた場合はステップS313にて閾値以下の領域を全て0にする。
(ステップS312)
ステップS312では、マップ統合部408は、ステップS302で出力していた特徴量の寄与度を読込み、その寄与度を各スコアマップの重要度として用いて各スコアマップを統合することにより、欠陥表示画像を作成する。このときの重要度を反映させた画像を作成する過程を図6の概念図に示す。図6の概念図は図5(B)のマップ統合部408を詳細に表現している。
式7で算出した重要度Wは入力されたN個の特徴量についてそれぞれ図6に示したように各w1〜wNの重みを保持しており、これらの重みが識別部406からマップ統合部408へ送られる。そしてN個の特徴量から算出された各マップがそれぞれFmap1〜FmapNとしてマップ生成部407から送られる。そして各対応するマップに重要度が積算され、全てのマップの同一画素ごとに線形和をとり、1枚の欠陥表示画像を生成する。なお、各スコアマップを統合する際には、各スコアマップをいったん元の入力画像401と同じ解像度に変換してから統合する。欠陥表示画像は、欠陥の領域を強調して示す画像であり、識別部406により異常と判定された根拠を示す画像である。
(ステップS313)
ステップS313では、マップ統合部408は、ステップS310で正規化された各マップにおいて、閾値以下のスコアをもつ領域のスコアを全て0にする。これにより、欠陥領域のみスコアをもつようになるため、入力画像401に重畳して表示した場合に、欠陥領域の位置がより認識しやすくなる。
(ステップS307)
ステップS307では、マップ統合部408は、ステップS306で生成されたスコアマップを表示装置104に出力し、表示させる。ステップS305で正常であるか異常であるか、異常度スコアなどを出力して、処理を終了する。
本実施形態により、ユーザは、異常判定の結果と共になぜ異常であると判定したのか直感的に知ることができる。そのため、検査に関わるパラメータを調整する際や特定の異常パターン発生の多寡を知り、その対応として生産ラインの工程にフィードバックを与えて改善を行うこともできる。
(第2の実施形態)
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための第2の形態(実施形態)について説明する。第2の実施形態は単一の検査対象を撮影して複数の画像が取得され、各々の画像から特徴量を抽出して外観検査を行う場合に検査結果の根拠を示す画像を生成する場合である。
本実施形態に示す情報処理装置801が実装されるハードウェア構成について、図8を用いて説明する。図8の構成は図1の構成に似るが、検査対象802は表面に大きな凹凸構造がありそれら凹凸の上のテクスチャ異常を精度良く検出するための構成となっている。よって、図1と比較して805〜812の8個の照明装置が加わりこれらが情報処理装置801にて制御されることによる差異が有る。
図8は本実施形態の情報処理装置801を使った外観検査システムの概念図である。
撮像装置803は、検査対象802の表面の映像(画像パターン)を取得可能なビデオカメラなどから構成され、取得した映像を情報処理装置801に送信する。ここで撮像装置803の撮像と同期して805〜812の照明装置の照明時期が制御され、検査対象802に関する複数種の画像を撮影する。図8では805〜812の照明装置は照射角度の異なる照明として例示したが、これらは可視光や一様照明に限らず、赤外線でも任意のパターン照明でも良い。特に検査対象802の立体構造を取得して利用する場合は複数のパターン照明を照射して撮像することが有り得る。さらにこれらの8個の照明の組合せによる照明条件下撮影することも有り得る。本実施形態ではそれぞれ単一の照明条件下1度の撮影を行い8個の入力画像が取得され、処理を行うものとして説明する。
以上により情報処理装置801は、805〜812の照明装置を制御して撮像装置803により撮影し送信された複数種のビデオ映像を用いて異常検出のための情報処理を行う。
検査対象物802は、情報処理装置801によって、正常であるか異常であるかを判定される対象となる物体である。
表示装置804はモニタなどから構成される。表示装置804への判定結果表示例は第1の実施形態と同様で図2に示した通りであり第1の実施形態と同様である。
図9は本実施形態の機能ブロック図である。以下、図9における本実施形態の情報処理装置を構成する各機能について説明する。
入力画像9005〜9012は前記照明装置805〜812による照明環境下で検査対象物体が撮像部803によって撮影された画像である。特徴抽出部9050〜9057は、それぞれ入力画像9005〜9012から特徴量を抽出する。本実施形態では第1の実施形態と同様、特徴量として、入力画像を変換した周波数した画像から、最大値や平均値、分散、尖度、歪度やコントラスト、最大勾配等を抽出する。
識別部906は、特徴抽出部9050〜9057により抽出された特徴量を使って、入力画像9005〜9012に含まれている検査対象物が正常か異常かを判定する。
マップ生成部9070〜9077では、それぞれ対応する入力画像9005〜9012からの抽出特徴に対応した各特徴量のマップが生成される。
マップ統合部908は、識別部906で識別時に得られた識別結果に対する各特徴量の寄与度を参照して、マップ生成部9070〜9077で特徴量毎に生成された複数のマップを統合することにより、欠陥候補領域を可視化した可視化画像909を生成する。可視化画像909を生成する処理は、第1の実施形態と同様に行うが、違いは入力画像の数である。第1の実施形態では1つの入力画像から抽出した特徴量群によって検査を行ったが、本実施形態では複数の画像から抽出した特徴量群を第1の実施形態の1つの入力画像から抽出した特徴量群と同様に用いて検査を行う。ここで可視化画像を生成する方法を図10の概念図を参照して説明する。図10の概念図は図9のマップ統合部908を詳細に表現している。
以下、本実施形態の処理フローチャートを、図3を参照しながら説明する。
(ステップS301)
ステップS301における一連の特徴抽出等処理は第1の実施形態と同様である。入力画像9005〜9012から各々と対応する特徴抽出部9050〜9057によってそれぞれ特徴量が抽出される。1つの入力画像からの特徴抽出方法はHaar Wavelet(ハールウェーブレット)変換によるフィルタ処理により高周波数成分から低周波数成分の垂直、水平および対角方向の周波数成分の画像に分解して複数の階層画像を生成する。そして、生成された複数の階層画像から複数の特徴量を抽出する。ここで抽出される特徴量に関しても第1の実施形態と同様、事前に異常データを高精度に検出できる特徴量を選択している。ただし、本実施形態では特徴選択前の特徴抽出処理が入力画像8個全てで行われるため、抽出される特徴量は第1の実施形態と比して8倍の特徴量が抽出された状態から選択される。そしてこれら全抽出特徴から良好な特徴量の組合せを探索する。特徴選択方法としては良く知られたLASSOやグラフカット、遺伝的アルゴリズムを用いた特徴選択手法等によって選択すれば良い。特徴選択した結果、特徴抽出部9050〜9057で抽出される特徴量がそれぞれ同じ特徴量セットになる必要は無く、抽出される特徴量の数も等しくする必要は無い。場合によってはいくつかの照明条件下で撮影された画像からの抽出特徴数が0という場合も有り得る。
以降では事前に特徴選択処理によって最終的に選ばれた特徴量は全入力画像から抽出される特徴量の合計が数10個程度であるものとする。
(ステップS302)
ステップS302では、ステップS301で抽出された特徴量が特徴抽出部9050〜9057から送られ、識別部906によって正常/異常判定される。尚、本実施形態では第1の実施形態と同様に識別部906では部分空間法によって正常の分布として学習されていた正常の領域を表す高次元面からの距離によって異常であるかどうかを判定する。異常度スコアに対する各特徴量の寄与度の算出方法は第1の実施形態と同様に行い、算出された各特徴量の寄与度を出力する。ステップS303では、識別部は、正常であるか異常であるかを判定する。
(ステップS304)
ステップS304では、異常度スコアマップによる欠陥候補領域可視化をするかどうかを判定する。欠陥候補領域可視化をするかどうかは、ユーザにより予め設定されていればよい。異常度スコアマップ可視化をしないと設定されていた場合は、ステップS305に処理が進む。異常度スコアマップを可視化すると設定されていた場合は、ステップS306に処理が進み、欠陥領域候補の可視化を行う。また、ステップS304にて正常か異常かという判定結果によってステップS306に進むかステップS305に進むか決定をすればよい。すなわち、異常と判定された場合には、自動的にステップS306に処理が進むようにしてもよい。
(ステップS305)
ステップS305では、マップ統合部908は、正常であるか異常であるか、異常度スコア等の情報を表示装置104に出力する。
(ステップS306)
ステップS306では、欠陥領域を可視化する。この処理については図4の処理フローチャートを用いて説明する。
(ステップS308)
ステップS308では、マップ生成部9070〜9077は、入力画像9005〜9012を取得する。
(ステップS309)
ステップS309では、マップ生成部9070〜9077は、第1の実施形態と同様にステップS301で抽出された特徴量のスコアを表すスコアマップを算出する。
(ステップS310)
ステップS310では、マップ生成部9070〜9077は、第1の実施形態と同様にステップS309で得られたスコアマップの正規化を行う。
(ステップS311)
ステップS311では、マップ統合部908は、スコアマップの閾値以上のみの値を残すか、全ての値を残すかをユーザの設定によって決定し、もし閾値切りを行う設定をしていた場合はステップS313にて閾値以下の領域を全て0にする。
(ステップS312)
ステップS312では、マップ統合部908は、ステップS302で出力していた特徴量の寄与度を読込み、その寄与度を各スコアマップの重要度として用いて各スコアマップを統合することにより、欠陥表示画像を作成する。このときの重要度を反映させた画像を作成する過程を図10の概念図に示す。図10の概念図は図9のマップ統合部908を詳細に表現している。ここでのマップ統合も入力画像数が複数あるが、各々の特徴量から算出された各マップがそれぞれFmap90701〜FmapNまでが対応する重要度との積算を行い、全てのマップの同一画素ごとに線形和をとり、1枚の欠陥表示画像を生成する。なお、各スコアマップを統合する際には、各スコアマップをいったん元の入力画像9005〜9012と同じ解像度に変換してから統合する。もし9005〜9012の画像サイズが異なるような場合があれば、それらを同一のサイズに変換し(例えば最大の入力画像サイズに合わせる)、結合する。
欠陥表示画像は、欠陥の領域を強調して示す画像であり、識別部406により異常と判定された根拠を示す画像である。
(ステップS313)
ステップS313では、マップ統合部908は、ステップS310で正規化された各マップにおいて、閾値以下のスコアをもつ領域のスコアを全て0にする。これにより、欠陥領域のみスコアをもつようになるため、入力画像401に重畳して表示した場合に、欠陥領域の位置がより認識しやすくなる。
(ステップS307)
ステップS307では、マップ統合部908は、ステップS306で生成されたスコアマップを表示装置104に出力し、表示させる。ステップS305で正常であるか異常であるか、異常度スコアなどを出力して、処理を終了する。
本実施形態により、ユーザは、異常判定の結果と共になぜ異常であると判定したのか直感的に知ることができる。そのため、検査に関わるパラメータを調整する際や特定の異常パターン発生の多寡を知り、その対応として生産ラインの工程にフィードバックを与えて改善を行うこともできる。その他、複数の照明条件による撮影画像と各々画像に対応してS302で出力される特徴量の寄与度によって重要な撮影条件やどの撮影条件のときに認識されやすい欠陥であるかといった傾向を知ることができる。
(第3の実施形態)
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための第3の形態(実施形態)について説明する。第3の実施形態は第2の実施形態と同様に単一の検査対象を撮影して複数の画像が取得され、各々の画像から特徴量を抽出して外観検査を行う場合に検査結果の根拠を示す画像を異常度スコアマップによる可視化画像ではなく、複数の照明条件で撮影された入力画像から異常領域が強調されて撮影された合成画像を可視化結果として表示する方法である。本実施形態によると、例えば初期設定では図8の805〜812に示すように照明条件を調整せずに撮影して検査を行ったとしても、最適な該照明条件の組合せによって得られる欠陥領域強調画像としてユーザが直感的に認識やすい画像として合成し、提示することができる。
本実施形態と第2の実施形態との差分を図9と図11の比較によって説明する。本実施形態では第2の実施形態におけるマップ生成部9070〜9077およびマップ統合部908が存在せず、代わりに画像合成部910が存在し入力画像を受信して可視化画像911を出力する。よって、図3で表されるS301〜S307に関する処理フローは第2の実施形態と同様である。S306欠陥領域可視化のフローは本実施形態では図15に変わる。
(ステップS314)
ステップS314では、入力画像9005〜9012が読み込まれ、画像合成部910に送信される。
(ステップS315)
ステップS302で出力した各特徴量の寄与度(重要度)が識別部906から画像合成部910へ送られる。そして、各入力画像に対応する重要度を計算する。図12は画像統合部910での処理の例を詳細に表している。各入力画像9005〜9012に対する重要度は各々の特徴量重要度の内、各入力画像に対応する重要度の和によって定義される。各入力画像に対し前記算出された重要度を積算し得られる物は各画素値が小数の形態を許容し、0〜255の輝度の範囲を超える二次元の行列の形態になる。これら得られた結果を累積し、最終的に得られた2次元の行列を再度0〜255に納まるように正規化することによって可視化画像911を得る。
(第4の実施形態)
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための第4の形態(実施形態)について説明する。第4の実施形態は単一の検査対象を撮影して複数の画像が取得され、画像から特徴量を抽出して外観検査を行う場合、各々の画像について識別器による異常度が算出され、入力画像の個数分の異常度を統合して再度正常であるか異常であるかを判定し、またそのときの複数の異常度スコアを基準にして検査結果の根拠を示す画像を生成する場合である。
第2の実施形態では複数の照明条件による撮影画像が入力されるとそれらから抽出した特徴量はまとめられて一つの識別器によって正常か異常かを判定した。しかし、特に生産ラインにおける実際のユースケースでは各々の撮影には時間がかかるため、全ての撮影が終了するまで検査が行われないとタクトタイム上不都合となることがある。そこで、このような検査を行う場合は各入力画像ごとに傾向の異なる異常を検出する検査装置を並べたラインを設計することが多い。そういった場合にも各識別器が出力した異常度スコアを用いて検査結果の根拠を示す画像を生成することを目的とする。
図13で入力画像9005〜9012が入力され、各々から特徴抽出部9050〜9057において事前に選択された特徴量が抽出される。そして各々抽出された特徴量が識別部9060〜9067にて異常度D130〜D137が算出される。ここで、識別部9060〜9067は例えば部分空間法などによって識別し、正常データの分布からの距離を異常度として算出できる方法を用いる。またこの各々の識別処理とマップ統合部9080〜9087がマップを出力する処理は、1個の入力画像が撮影されて識別処理及び可視化画像生成を行う第1の実施形態と同様である。そして入力画像個数分の異常度がさらに識別部90600に送信され、結果を総合的に判断して検査対象が正常であるか異常であるかを判定する。識別部90600はどのような識別方法でも良いが、例えば異常度D130〜D137の合計値を閾値判定する方法や、D130〜D137各々に閾値を予め設定しておき、1つでも閾値を超えていた場合は異常として判定するといった単純な方法で良い。そして、各マップ統合部9080〜9087によって算出された特徴量マップFmap1300〜Fmap1307はマップ統合部90800に送られる。そしてマップ統合部90800は識別部9060〜9067が出力した異常度D130〜D137を受信し、図14に示すように各特徴量スコアマップに対して対応する異常度が積算され、累積することによって可視化画像909を生成する。これは異常度が大きい物が各異常傾向を強く反映していると考えられる為、第1〜第3の実施形態における重要度と同等に扱えるという考えに基いている。
(その他の実施形態)
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア(プログラム)を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ(またはCPUやMPU等)がプログラムを読み出して実行する処理である。

Claims (10)

  1. 検査対象物を含む画像から複数の特徴量を抽出する抽出手段と、
    前記抽出された特徴量に基づいて、前記検査対象物の異常度を判定する判定手段と、
    前記画像から、前記特徴量それぞれのスコアを表す複数のスコアマップを生成するマップ生成手段と、
    前記判定手段により判定される異常度に対する前記特徴量それぞれの寄与度に基づいて、前記複数のスコアマップを統合することにより、前記検査対象物が異常であると判定された根拠となる欠陥を表す欠陥表示画像を生成する画像生成手段と、
    を備えることを特徴とする情報処理装置。
  2. 検査対象物を含む複数の画像から複数の特徴量を抽出する抽出手段と、
    前記抽出された特徴量に基づいて、前記検査対象物の異常度を判定する判定手段と、
    前記複数の画像から、前記特徴量それぞれのスコアを表す複数のスコアマップを生成するマップ生成手段と、
    前記判定手段により判定される異常度に対する前記特徴量それぞれの寄与度に基づいて、前記複数のスコアマップを統合することにより、前記検査対象物が異常であると判定された根拠となる欠陥を強調表示する画像を生成する画像生成手段とを備えることを特徴とする情報処理装置。
  3. 前記複数の画像は、異なるパターン照明がそれぞれ照射された前記検査対象物を含む画像であることを特徴とする請求項2に記載の情報処理装置。
  4. 更に、前記異常度に基づいて前記検査対象物が正常であるか異常であるかを判定する判定手段を備え、
    前記画像生成手段は、前記判定手段による判定結果に対する前記特徴量それぞれの寄与度に基づいて、前記複数のスコアマップを統合することにより、前記検査対象物が異常であると判定された根拠となる欠陥を表す欠陥表示画像を生成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の情報処理装置。
  5. 更に、前記画像に対して、所定の変換を行い、解像度の異なる複数の階層画像を生成する階層画像生成手段を備え、
    前記抽出手段は、前記階層画像から前記特徴量を抽出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の情報処理装置。
  6. 前記特徴量は、前記階層画像内の画素値の最大値、平均値、分散、尖度、歪度、コントラスト、最大勾配のうち、少なくともいずれか1つを含むことを特徴とする請求項5に記載の情報処理装置。
  7. 前記所定の変換は、ウェーブレット変換であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
  8. 検査対象物を含む画像から複数の特徴量を抽出する抽出ステップと、
    前記抽出された特徴量に基づいて、前記検査対象物の異常度を判定する判定ステップと、
    前記画像から、前記特徴量それぞれのスコアを表す複数のスコアマップを生成するマップ生成ステップと、
    前記判定ステップで判定される異常度に対する前記特徴量それぞれの寄与度に基づいて、前記複数のスコアマップを統合することにより、前記検査対象物が異常であると判定された根拠となる欠陥を表す欠陥表示画像を生成する画像生成ステップと、
    前記欠陥表示画像を出力する出力工程とを備えることを特徴とする情報処理方法。
  9. 検査対象物を含む複数の画像から複数の特徴量を抽出する抽出ステップと、
    前記抽出された特徴量に基づいて、前記検査対象物の異常度を判定する判定ステップと、
    前記複数の画像から、前記特徴量それぞれのスコアを表す複数のスコアマップを生成するマップ生成ステップと、
    前記判定ステップで判定される異常度に対する前記特徴量それぞれの寄与度に基づいて、前記複数のスコアマップを統合することにより、前記検査対象物が異常であると判定された根拠となる欠陥を強調表示する画像を生成する画像生成ステップとを備えることを特徴とする情報処理方法。
  10. コンピュータを、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の情報処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6897042B2 (ja) * 2016-09-27 2021-06-30 日本電気株式会社 画像検査装置、画像検査方法および画像検査プログラム
JP6795788B2 (ja) * 2017-01-24 2020-12-02 株式会社安川電機 産業機器用の画像認識装置及び画像認識方法
JP7032623B2 (ja) * 2017-10-31 2022-03-09 株式会社デンソー 推論装置、推論方法及びプログラム
CN111712769B (zh) * 2018-03-06 2023-08-01 欧姆龙株式会社 用于设定照明条件的方法、装置、系统以及存储介质
JP7214432B2 (ja) 2018-10-22 2023-01-30 キヤノン株式会社 画像処理方法、画像処理プログラム、記録媒体、画像処理装置、生産システム、物品の製造方法
JP7287791B2 (ja) * 2019-02-01 2023-06-06 株式会社キーエンス 画像検査装置
JP7239824B2 (ja) * 2019-04-09 2023-03-15 富士通株式会社 画像検査システム、画像検査装置及び画像検査プログラム
CN113835947B (zh) * 2020-06-08 2024-01-26 支付宝(杭州)信息技术有限公司 一种基于异常识别结果确定异常原因的方法和系统
WO2022123654A1 (ja) * 2020-12-08 2022-06-16 三菱電機株式会社 情報処理装置及び情報処理方法
CN113255929B (zh) * 2021-05-27 2023-04-18 支付宝(中国)网络技术有限公司 异常用户可解释原因的获取方法和装置
JP2023076992A (ja) * 2021-11-24 2023-06-05 東レエンジニアリング株式会社 自動欠陥分類装置
JP7240780B1 (ja) * 2022-10-04 2023-03-16 株式会社 システムスクエア 検査装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1325015C (zh) * 2001-01-26 2007-07-11 三西斯医学股份有限公司 通过组织的光学特性的葡萄糖非侵入性测量
DE60216411T2 (de) * 2001-08-23 2007-10-04 Sony Corp. Robotervorrichtung, gesichtserkennungsverfahren und gesichtserkennungsvorrichtung
US6983065B1 (en) * 2001-12-28 2006-01-03 Cognex Technology And Investment Corporation Method for extracting features from an image using oriented filters
JP3944439B2 (ja) * 2002-09-26 2007-07-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子線を用いた検査方法および検査装置
JP4379913B2 (ja) * 2003-10-24 2009-12-09 横河電機株式会社 画質検査装置
JP4532915B2 (ja) * 2004-01-29 2010-08-25 キヤノン株式会社 パターン認識用学習方法、パターン認識用学習装置、画像入力装置、コンピュータプログラム、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
GB0405741D0 (en) * 2004-03-15 2004-04-21 Bae Systems Plc Apparatus for enhancing a signal and related method
JP4700445B2 (ja) * 2005-09-01 2011-06-15 オリンパス株式会社 画像処理装置および画像処理プログラム
JP4321645B2 (ja) * 2006-12-08 2009-08-26 ソニー株式会社 情報処理装置および情報処理方法、認識装置および情報認識方法、並びに、プログラム
JP4257374B2 (ja) * 2007-08-27 2009-04-22 シャープ株式会社 表示制御装置、検査システム、表示制御方法、プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP5414416B2 (ja) 2008-09-24 2014-02-12 キヤノン株式会社 情報処理装置及び方法
JP5461841B2 (ja) * 2009-01-27 2014-04-02 株式会社サキコーポレーション 被検査体の検査装置
KR101830679B1 (ko) * 2010-07-29 2018-02-22 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 검사 장치 및 그 방법
KR101083245B1 (ko) * 2011-01-31 2011-11-14 주식회사 서전지구 지역정보 추출방법, 지역정보 출력방법, 및 이를 위한 장치
US9158976B2 (en) * 2011-05-18 2015-10-13 International Business Machines Corporation Efficient retrieval of anomalous events with priority learning
CN102305798B (zh) * 2011-08-02 2013-05-22 上海交通大学 基于机器视觉的玻璃缺陷的检测与分类方法
JP6338429B2 (ja) * 2014-04-15 2018-06-06 キヤノン株式会社 被写体検出装置、被写体検出方法及びプログラム
US9959482B2 (en) * 2014-11-28 2018-05-01 Canon Kabushiki Kaisha Classifying method, storage medium, inspection method, and inspection apparatus
US10248888B2 (en) * 2014-11-28 2019-04-02 Canon Kabushiki Kaisha Classifying method, storage medium, inspection method, and inspection apparatus
CN105893920B (zh) * 2015-01-26 2019-12-27 阿里巴巴集团控股有限公司 一种人脸活体检测方法和装置
JP6324338B2 (ja) * 2015-03-25 2018-05-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 細胞診断支援装置、細胞診断支援方法、遠隔診断支援システム、及びサービス提供システム

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