JP6623711B2 - Inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、検査装置に関し、特に、蛍光体を含有する波長変換部材を検査する検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection device, and more particularly, to an inspection device that inspects a wavelength conversion member containing a phosphor.
白色を発する白色発光装置して、青色光を発光する光素子と、蛍光体を含有する波長変換部材とを備えたものが知られている。この白色発光装置では、光素子から放出される青色の光(励起光)を波長変換部材に照射することで、波長変換部材に含まれる蛍光体から発する蛍光と、波長変換部材を反射あるいは透過した青色光とが混色され白色の発光を実現する。 2. Description of the Related Art There is known a white light emitting device that emits white light and includes an optical element that emits blue light and a wavelength conversion member containing a phosphor. In this white light emitting device, by irradiating the wavelength conversion member with blue light (excitation light) emitted from the optical element, fluorescence emitted from the phosphor contained in the wavelength conversion member and reflected or transmitted by the wavelength conversion member are reflected. Blue light is mixed to achieve white light emission.
上記のような波長変換部材は、例えば蛍光体を樹脂やセラミックスなどの基材中に分散させた蛍光体含有組成物をシート状に成形し、その後、青色光を発光する光素子に応じた所定形状に切り分けられて製造されるが、一定の条件で製造しても波長変換部材に含まれる蛍光体の濃度や波長変換部材の厚さにバラツキが生じ、白色発光装置の色相に影響を及ぼすことがある。 The wavelength conversion member as described above is formed, for example, by forming a phosphor-containing composition in which a phosphor is dispersed in a base material such as a resin or a ceramic into a sheet shape, and then forming a predetermined material corresponding to an optical element that emits blue light. Although it is manufactured by being cut into shapes, even if manufactured under certain conditions, the concentration of the phosphor contained in the wavelength conversion member and the thickness of the wavelength conversion member may vary, affecting the hue of the white light emitting device. There is.
このようなバラツキを抑えるため、波長変換部材を光素子に組み付けて白色発光装置を製造する前段階で波長変化部材の色度を測定することが提案されている(例えば、下記特許文献1参照)。 In order to suppress such variations, it has been proposed to measure the chromaticity of the wavelength changing member before the white light emitting device is manufactured by assembling the wavelength converting member to the optical element (for example, see Patent Document 1 below). .
従来、波長変化部材の色度は、積分球の内部で波長変化部材に対して励起光を照射し、波長変化部材を透過した励起光(透過光)及び波長変化部材から放射される蛍光を積分球に設けられた受光窓を通して分光器で検出することで測定される。 Conventionally, the chromaticity of the wavelength changing member is calculated by irradiating the wavelength changing member with excitation light inside the integrating sphere and integrating the excitation light (transmitted light) transmitted through the wavelength changing member and the fluorescence emitted from the wavelength changing member. It is measured by detecting with a spectroscope through a light receiving window provided in the sphere.
しかし、積分球を用いて色度を検出する場合、積分球へ透過光及び蛍光を入射するポートに波長変換部材を接触させる必要があるため、小片に切り分ける前のシート状の波長変換部材について色度の面内分布を測定したり、あるいは、小片に切り分けられ格子状に近接配置された多数の波長変化部材について個々に色度を測定したりすることが困難となる問題がある。 However, when detecting chromaticity using an integrating sphere, it is necessary to bring the wavelength converting member into contact with the port through which the transmitted light and the fluorescent light enter the integrating sphere. There is a problem that it is difficult to measure the in-plane distribution of the degree, or to measure the chromaticity of a large number of wavelength changing members which are cut into small pieces and closely arranged in a grid.
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであって、蛍光体を含有する波長変換部材について色度の面内分布を測定したり、あるいは、小片に切り分けられ格子状に近接配置された多数の波長変化部材について個々に色度を測定したりすることができる検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and measures the in-plane distribution of chromaticity of a wavelength conversion member containing a phosphor, or cuts into small pieces and arranges them in close proximity in a lattice shape. It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus capable of individually measuring chromaticity of the wavelength changing member.
本発明に係る検査装置は、蛍光体を含有する波長変換部材を検査する検査装置において、前記波長変換部材を支持する支持部と、前記波長変換部材に拡散光である励起光を照射する光源部と、前記励起光の照射により前記波長変換部材から発する蛍光と前記波長変換部材を透過した前記励起光とを取り込む対物レンズと、前記対物レンズ及び前記波長変換部材の少なくとも一方を移動させる移動機構と、前記対物レンズが取り込んだ光のスペクトルを測定する分光器とを備え、前記波長変換部材の異なる複数の位置において、前記対物レンズが前記波長変換部材における前記励起光の照射範囲より狭い実視野範囲から発する前記蛍光と該実視野範囲を透過した前記励起光を取り込み、前記対物レンズが取り込んだ光のスペクトルを前記分光器が測定するものである。 An inspection apparatus according to the present invention is an inspection apparatus for inspecting a wavelength conversion member containing a phosphor, wherein a light source unit that irradiates the wavelength conversion member with excitation light that is diffused light. And an objective lens that captures the fluorescence emitted from the wavelength conversion member by irradiation of the excitation light and the excitation light transmitted through the wavelength conversion member, and a moving mechanism that moves at least one of the objective lens and the wavelength conversion member. A spectroscope for measuring the spectrum of light captured by the objective lens, wherein the objective lens is located at a plurality of different positions of the wavelength conversion member, and the objective lens has an actual field of view narrower than the irradiation range of the excitation light on the wavelength conversion member . the fluorescence and said actual field of view captures the excitation light transmitted through the spectrometer spectra of the objective lens is taken light emanating from It is intended to be measured.
本発明の検査装置において、光源部が波長変換部材に照射する励起光が拡散光であることが好ましい。 In the inspection device of the present invention, it is preferable that the excitation light emitted from the light source unit to the wavelength conversion member is diffused light.
また、本発明の検査装置において、移動機構は、光源部及び対物レンズを停止した状態で、波長変換部材を移動させてもよい。 In the inspection device of the present invention, the moving mechanism may move the wavelength conversion member in a state where the light source unit and the objective lens are stopped.
また、本発明の検査装置において、移動機構は、波長変換部材を停止した状態で対物レンズを移動させてもよい。この場合に、光源移動機構を設けて光源部を対物レンズに同期して移動させてもよい。 In the inspection device of the present invention, the moving mechanism may move the objective lens with the wavelength conversion member stopped. In this case, a light source moving mechanism may be provided to move the light source unit in synchronization with the objective lens.
また、本発明の検査装置において、移動機構は、対物レンズの光軸に対する波長変換部材の角度を変化させてもよい。 In the inspection device of the present invention, the moving mechanism may change the angle of the wavelength conversion member with respect to the optical axis of the objective lens.
また、本発明の検査装置は、光源部の温度を制御する温度調節部を備えてもよい。その場合、温度調節部が光源部の温度を変更させて光源部から放出される励起光の波長を変更してもよい。 Further, the inspection device of the present invention may include a temperature control unit that controls the temperature of the light source unit. In that case, the temperature control unit may change the temperature of the light source unit to change the wavelength of the excitation light emitted from the light source unit.
また、本発明の検査装置において、支持部は、波長変換部材を接着により固定する透明な保持シートを備えてもよい。 In the inspection device of the present invention, the support may include a transparent holding sheet for fixing the wavelength conversion member by bonding.
本発明によれば、蛍光体を含有する波長変換部材について色度の面内分布を測定したり、あるいは、小片に切り分けられ格子状に近接配置された多数の波長変化部材について個々に色度を測定したりすることができる。 According to the present invention, the in-plane distribution of chromaticity is measured for a wavelength conversion member containing a phosphor, or the chromaticity is individually measured for a large number of wavelength change members that are cut into small pieces and arranged close to each other in a lattice shape. Can be measured.
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施形態に係る検査装置10は、蛍光体を含有する波長変換部材11に励起光を照射したときに波長変換部材11から放出される光の色度座標を、1つの波長変換部材11の複数箇所で測定する装置であり、波長変換部材11を支持する支持部12と、波長変換部材11に励起光を照射する光源部13と、波長変換部材11から放出される光を取り込む対物レンズ14と、支持部12に支持された波長変換部材11を移動させる移動機構15と、対物レンズ14を通過した光のスペクトルを測定する分光器16と、光源部13の温度を制御する温度調節部44と、これらを駆動制御する制御部19とを備える。
The
波長変換部材11は、セラミックスや合成樹脂に黄色蛍光体を混合した蛍光体組成物をシート状に成型したものである。波長変換部材11は、中心波長が435〜480nmの青色領域の励起光を透過するとともに、透過する励起光によって黄色蛍光体が励起され中心波長が530〜580nmの黄色領域の蛍光を発生させる。つまり、波長変換部材11は、青色領域の励起光が照射されると、青色領域の励起光と黄色領域の蛍光とが放出され、これらの光が合成されることにより白色光(疑似白色光)となって放出される。
The
支持部12は、粘着シート18と円環状のシート保持枠20とを備える。粘着シート18は、合成樹脂等のような伸縮性を有するビニールシートやポリエステルシート等からなり、シート保持枠20の中空部20aを覆うようにシート保持枠20の一方面に貼付されている。円環状の粘着シート18は、その片側表面に接着剤が塗布され波長変換部材11が貼り付けられる。なお、波長変換部材11に貼付される粘着シート18は無色透明で有ることが好ましい。
The
シート保持枠20は、波長変換部材11が貼付された粘着シート18の周縁部に取り付けられ、移動機構15に着脱可能に固定される。
The
移動機構15は、ベース部17上に設置された水平面内にある一方向(X軸方向)に延びるXガイドレール24と、Xガイドレール24に摺動可能に設けられたXテーブル26と、水平面内でX軸方向に対して垂直な方向(Y軸方向)に延びるYガイドレール28と、Yガイドレール28に摺動可能に設けられたYテーブル30とを備える。
The
Xテーブル26は、X軸駆動モータ27(図2参照)によって駆動され、ガイドレール24上をX軸方向に移動する。Xテーブル26上には、ガイドレール28及びYテーブル30が設けられている。Xテーブル26及びYテーブル30には、上下に連通する中空部32が設けられている。
The X table 26 is driven by an X-axis drive motor 27 (see FIG. 2), and moves on the
Yテーブル30は、中空部32の上方に粘着シート18が位置するように支持部12を着脱可能に固定する。本実施形態では、支持部12は、粘着シート18の上方に波長変換部材11が位置するようにYテーブル30に取り付けられる。Yテーブル30は、Y軸駆動モータ31によって駆動され、ガイドレール28上をY軸方向に移動する。これにより、Yテーブル30上に固定された支持部12がベース部17に対してX軸方向及びY軸方向に移動可能になっている。
The Y table 30 detachably fixes the
Xテーブル26及びYテーブル30に設けられた中空部32の下方には、ベース部17に固定された光源部13が設けられ、支持部12に支持された波長変換部材11と光源部13が上下に対向するようになっている。
A
光源部13は、波長変換部材11に照射する励起光を発生する青色LED(Light Emitting Diode)からなる励起光源34と、所定の波長帯の光のみが透過する励起フィルター36とを備え、励起光源34から放出された光のうち所定の波長帯の光のみを励起光として下方より波長変換部材11に照射する。光源部13が波長変換部材11の下方から励起光を照射すると、波長変換部材11を透過した励起光(透過光)と、波長変換部材11を透過する際に黄色蛍光体が励起され発生した蛍光とが、波長変換部材11の上面より放出される。
The
なお、光源部13が波長変換部材11に照射する励起光は、コンデンサレンズなどによって集光されず指向性のない拡散光で有ることが好ましい。光源部13が波長変換部材11を照射する領域は、対物レンズ14の実視野の範囲より充分に広い領域を照射することが好ましく、波長変換部材11の下面全体を照射してもよく、また、波長変換部材11の下面の一部を照射してもよい。例えば、励起光源34の発光面から波長変換部材11までの距離Dが、励起光源34の発光面の直径φの10倍以上であることが好ましい。このように上記距離Dを励起光源34の発光面の直径φの10倍以上とすることで、波長変換部材11に均一な光量の光(拡散光)を照射することができる。また、上記距離Dを上記直径φの10倍以上とすることに加え、あるいは、上記距離Dを上記直径φの10倍以上とすることに変えて、励起光源34と波長変換部材11との間に光拡散フィルムや光学系を設けて波長変換部材11に均一な光量の光(拡散光)を照射してもよい。
The excitation light emitted from the
支持部12に支持された波長変換部材11の上方には、鏡胴38の下端に取り付けられた対物レンズ14が配置されている。対物レンズ14は、光源部13と波長変換部材11を間に挟んで対向し、この例では、光源部13の上方に配設されている。対物レンズ14は、光源部13が下方より励起光を波長変換部材11に照射することで波長変換部材11の上面より放出される波長変換部材11を透過した励起光(透過光)と黄色蛍光体が励起され発生した蛍光とのうち、実視野の範囲内から放出される励起光及び蛍光のみを取り込む。
An
鏡胴38の上端には、対物レンズ14で捕捉した光を分光器16へと導く受光ファイバー40が接続されている。
A
分光器16は、対物レンズ14が取り込んだ光を分光してこの光のスペクトルを検出し、検出したスペクトルを制御部19へ入力する。
The
温度調節部44は、光源部13と接触し熱交換可能な状態でベース部17に設けられている。温度調節部44は、ペルチェ素子等の熱又は冷熱を発生する熱源と、光源部13の温度を検出する温度センサとを備え、光源部13と熱交換可能な状態でベース部17に設けられている。温度調節部44は、温度センサで光源部13の温度を検出しつつ、熱源から発生する熱又は冷熱によって光源部13を加熱又は冷却することで、光源部13が所定温度になるように制御する。また、必要に応じて、温度調節部44は、光源部13の温度を変更することで光源部13から放出される励起光の中心波長を変化させる。
The
制御部19は、コンピュータを備え、図2に示すように、光源部13、分光器16、X軸駆動モータ27、Y軸駆動モータ31、カメラ42及び温度調節部44と接続されている。
The
制御部19は、予め定められたプログラムに従って光源部13、X軸駆動モータ27、Y軸駆動モータ31及び温度調節部44を制御するとともに、JIS Z8724:1997(色の測定方法−光源色−)に基づいて、分光器16で検出されたスペクトルからCIE 1931色度図上のxy色度座標を計算する。
The
また、制御部19は、支持部12に支持された波長変換部材11を撮像するカメラ42(図2参照)から入力される波長変換部材11の位置及び大きさに関する情報と、X軸駆動モータ27及びY軸駆動モータ31から入力されるXテーブル26及びYテーブル30の位置情報から、対物レンズ14が励起光及び蛍光を取り込んだ波長変換部材11上の位置を検出する。
The
次に、検査装置10の動作について説明する。
Next, the operation of the
まず、粘着シート18に波長変換部材11を貼付した支持部12を移動機構15のYテーブル30にセットすると、カメラ42によって波長変換部材11を撮像し、波長変換部材11の位置及び大きさを検出する。また、制御部19は、検査装置10の動作中継続して光源部13が所定の一定温度に保持されるように温度調節部44を制御する。
First, when the
なお、制御部19は、必要に応じて温度調節部44を制御して光源部13の温度を変更することで、光源部13が放出する励起光の中心波長を変化させ、波長変換部11へ照射する励起光の波長を所望波長になるように調整してもよい。
The
次いで、制御部19は、光源部13の励起光源34を点灯させて下方から励起光を波長変換部材11に照射した状態で、波長変換部材11の上方から放出される励起光及び蛍光を対物レンズ14で取り込み、分光器16で対物レンズ14から取り込んだ光のスペクトルを検出し、その検出結果からxy色度座標を計算する。
Next, the
合わせて、制御部19は、対物レンズ14が励起光及び蛍光を取り込んだ波長変換部材11の位置情報を検出し、検出した位置情報とその位置において得られたxy色度座標を関連づけて記憶する。
In addition, the
そして、制御部19が、移動機構15のX軸駆動モータ27及びY軸駆動モータ31を制御して、対物レンズ14の実視野に相当する大きさだけ波長変換部材11を移動させて、再び、波長変換部材11の上方から放出される励起光及び蛍光を対物レンズ14で取り込み、分光器16で対物レンズ14から取り込んだ光のスペクトルを検出し、その検出結果からxy色度座標を算出するとともに、当該xy色度座標を得た波長変換部材11の位置情報を記憶する。なお、波長変換部材11の移動中に光源部13を消灯し、波長変換部材11が停止し分光器16の測定中に光源部13を点灯させてもよく、また、波長変換部材11の移動及び停止に関わらず光源部13を点灯させ続けてもよい。
Then, the
以後、上記した波長変換部材11の移動とxy色度座標の算出を繰り返して、波長変換部材11の全面についてxy色度座標を測定することで、対物レンズ14の実視野に相当するピッチで波長変換部材11のxy色度座標の面内分布を測定することができる。
Thereafter, the movement of the
以上のような本実施形態の検査装置10では、波長変換部材11のうち対物レンズ14の実視野に相当する狭い領域から放出される透過光及び蛍光のみを分光器16へ取り込みxy色度座標を得ることができるため、測定位置に近接する位置から放出される光の影響を受けることがなく、波長変換部材11の色度座標の面内分布を簡便に精度良く測定することができる。
In the
しかも、対物レンズ14の倍率を変更することでxy色度座標を測定するピッチを簡単に変更することができる。
Moreover, the pitch for measuring the xy chromaticity coordinates can be easily changed by changing the magnification of the
また、本実施形態の検査装置10では、波長変換部材11に照射する励起光が指向性のない拡散光であるため、励起光として集光した光を波長変換部材11に照射する場合に比べ、波長変換部材11を透過する際に黄色蛍光体を励起して蛍光が発生しやすくなり、透過光と蛍光とを同一の測定系で精度良く測定することができる。
In addition, in the
また、本実施形態の検査装置10では、波長変換部材11を移動させ、光源部13及び対物レンズ14が停止しているため、移動機構15の構成が簡便となる。これに加え、対物レンズ14の位置が安定しやすくなるとともに、対物レンズ14に対する光源部13の位置が変化せず、波長変換部材11に対して同一条件で励起光を照射することができ、波長変換部材11の色度座標を精度良く測定することができる。
In the
また、本実施形態では、温度調節部44によって光源部13の温度が一定温度になるように温度制御されているため、光源部13が波長変換部材11に照射する励起光の波長が変化しにくくなり、高精度な測定が可能となる。
Further, in the present embodiment, since the temperature of the
また、本実施形態では、波長変換部材11に貼付される粘着シート18が無色透明であるため、波長変換部材11に照射される励起光が粘着シート18の影響を受けることなくなり、精度良く波長変換部材11の色度座標を測定することができる。
Further, in the present embodiment, since the pressure-
また、本実施形態では、光源部13の励起光源34がLEDであり励起光源34から放出される光の波長に幅があるため、励起フィルター36などによって波長変換部材11へ照射する励起光の波長を選択することができ、異なる波長の励起光を波長変換部材11に照射することができる。
In the present embodiment, since the
次に上記した実施形態の変更例を説明する。 Next, a modification of the above embodiment will be described.
(変更例1)
上記した実施形態では、波長変換部材11が1枚のシート状の波長変換部材11について色度座標の面内分布を測定する場合について説明したが、小片に切り分けられ格子状に近接配置された多数の波長変化部材について、対物レンズ14の実視野を1の波長変換部材の大きさに設定することで、個々の波長変換部材の色度座標を測定することもできる。
(Modification 1)
In the above-described embodiment, the case where the
また、本実施形態では、対物レンズ14の実視野に相当するピッチで間欠的に波長変換部材11を移動させたが、一定速度で波長変換部材11を移動させて色度座標を面内で連続的に測定しても良い。
Further, in the present embodiment, the
(変更例2)
上記した本実施形態では、移動機構15が、波長変換部材11を対物レンズ14に対して移動させる場合について説明したが、波長変換部材11を停止させつつ、対物レンズ14を移動させてもよい。その場合、波長変換部材11に対して同一条件で励起光を照射するため、光源部13を移動させる光源移動機構を設け、光源部13と対物レンズ14が波長変換部材11を挟んで上下に対向するように対物レンズ14と同期させて光源部13も移動させることが好ましい。
(Modification 2)
In the above-described embodiment, the case where the moving
(変更例3)
上記した実施形態では、移動機構15が波長変換部材11を水平面(XY平面)内で移動させる場合について説明したが、例えば、移動機構15がYテーブル30を水平な軸回りに回転させたり、あるいは、波長変換部材11の上面を中心として対物レンズ14を旋回させたりして、対物レンズ14の光軸に対する波長変換部材11の角度を変化させても良い。このような場合であると、波長変換部材11の厚さ方向に対して傾斜した方向に励起光が透過した場合のxy色度座標を測定することができる。
(Modification 3)
In the above-described embodiment, the case where the moving
(変更例4)
上記した実施形態では、温度調節部44により検査装置10の動作中継続して光源部13を一定温度に保持したが、例えば、温度調節部44が光源部13を第1温度T1に保持した状態で波長変換部材11について色度座標の面内分布を測定し、その後、温度調節部44が光源部13の温度を第1温度T1から異なる第2温度T2に変更し光源部13から放出される励起光の波長を変更してから、再び、波長変換部材11の色度座標の面内分布を測定してもよい。
(Modification 4)
In the above-described embodiment, the
このように異なる複数の波長の励起光を波長変換部材に照射して色度座標を測定することで、励起光の波長が変化した場合の波長変換部材11の色度特性の変化も検査することができる。
By irradiating the wavelength conversion member with excitation light having a plurality of different wavelengths and measuring the chromaticity coordinates in this manner, it is also possible to inspect the change in the chromaticity characteristics of the
(変更例5)
上記した実施形態では、波長変換部材11に照射する励起光を発生する光源部13の励起光源34としてLEDを用いたが、例えば、LD(Laser Diode)を励起光源34に用いても良い。
(Modification 5)
In the above-described embodiment, an LED is used as the
光源部13の励起光源34としてLDを用いることで単色性の高い光を励起光として波長変換部材11に照射することができる。特に、励起光源34がLDであると温度調節部44によって光源部13の温度を変化させたときの励起光源34から放出される光の波長変化が顕著となり、励起光の波長が変化した場合の波長変換部材11の色度特性の変化を精度良く検査することができる。
By using an LD as the
なお、光源部13の励起光源としてLDを用いる場合、励起光源34と波長変換部材11との間に光拡散フィルムや光学系を設けて波長変換部材11の広い範囲に均一な光量の光(拡散光)を照射することが好ましい。
When an LD is used as the excitation light source of the
(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は例として提示したものであり、
発明の範囲を限定することを意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実
施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変
更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様
に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
(Other embodiments)
As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, this embodiment is presented as an example.
It is not intended to limit the scope of the invention. This embodiment can be implemented in other various forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. This embodiment and its modifications are included in the scope and gist of the invention, and are also included in the invention described in the claims and equivalents thereof.
10…検査装置、11…波長変換部材、12…支持部、13…光源部、14…対物レンズ、15…移動機構、16…分光器、17…ベース部、18…粘着シート、19…制御部、20…シート保持枠、24…Xガイドレール、26…Xテーブル、27…X軸駆動モータ、28…Yガイドレール、30…Yテーブル、31…Y軸駆動モータ、32…中空部、34…励起光源、36…励起フィルター、38…鏡胴、40…受光ファイバー、42…カメラ
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記波長変換部材を支持する支持部と、
前記波長変換部材に拡散光である励起光を照射する光源部と、
前記励起光の照射により前記波長変換部材から発する蛍光と前記波長変換部材を透過した前記励起光とを取り込む対物レンズと、
前記対物レンズ及び前記波長変換部材の少なくとも一方を移動させる移動機構と、
前記対物レンズが取り込んだ光のスペクトルを測定する分光器とを備え、
前記波長変換部材の異なる複数の位置において、前記対物レンズが前記波長変換部材における前記励起光の照射範囲より狭い実視野範囲から発する前記蛍光と該実視野範囲を透過した前記励起光を取り込み、前記対物レンズが取り込んだ光のスペクトルを前記分光器が測定する検査装置。 In an inspection device for inspecting a wavelength conversion member containing a phosphor,
A support for supporting the wavelength conversion member,
A light source unit that irradiates the wavelength conversion member with excitation light that is diffused light ,
An objective lens that captures the fluorescence emitted from the wavelength conversion member by the irradiation of the excitation light and the excitation light transmitted through the wavelength conversion member,
A moving mechanism that moves at least one of the objective lens and the wavelength conversion member,
A spectroscope for measuring the spectrum of the light captured by the objective lens,
Wherein the plurality of different positions wavelength converting member takes the objective lens is said excitation light transmitted through the fluorescent and said actual viewing range emanating from a narrow actual field of view than the irradiation range of the excitation light in the wavelength conversion member, wherein An inspection apparatus in which the spectroscope measures the spectrum of light captured by the objective lens.
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