JP6601332B2 - Sheet peeling method and sheet peeling apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、シート剥離方法およびシート剥離装置に関するものである。   The present invention relates to a sheet peeling method and a sheet peeling apparatus.

キャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離させる方法および装置が、特開２０００−２５２１６１号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１では、キャリアフィルム上に保持されて搬送されるセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロールによって加熱するとともに、テーブル上の積層体に押し付けて圧着させている。このようにしてセラミックグリーンシートが圧着した積層体を剥離領域に搬送する一方で、方向転換用当接治具を支点としてキャリアフィルムを所定の角度で方向転換させることにより、キャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離させている。   A method and apparatus for peeling a carrier film from a ceramic green sheet is described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-252161 (Patent Document 1). In Patent Document 1, a ceramic green sheet held and transported on a carrier film is heated by a rotatable heating roll and pressed against a laminated body on a table to be pressure-bonded. In this way, while the laminated body to which the ceramic green sheet is pressure-bonded is conveyed to the peeling area, the carrier film is turned at a predetermined angle by using the direction changing contact jig as a fulcrum, so that the carrier film is changed to the ceramic green sheet. Is peeled off.

特開２０００−２５２１６１号公報JP 2000-252161 A

特許文献１では、搬送方向に移動させたテーブルを元の位置に戻すなどの動作が必要であり、その動作の際には、それまで連続的に行なってきた積層処理などが行なえない。したがって、搬送などの動作が間欠的にならざるを得ない。このように間欠的に行なわれる動作を以下「間欠動作」という。間欠動作を行なう場合、剥離機構を停止したり、搬送速度を落としたりする必要がある。搬送動作を停止したり減速したりした場合、通常速度に戻すために一定時間を要する。通常速度に戻るまでの間に行なわれる剥離には不具合を生じるおそれがある。言い換えれば、本来予定されている搬送速度より低い速度で剥離が行なわれることによって剥離の状態が本来予定されているものと異なり、不具合が生じうる。   In Patent Document 1, an operation such as returning the table moved in the conveyance direction to the original position is necessary, and in the operation, the stacking processing that has been continuously performed cannot be performed. Therefore, operations such as conveyance must be intermittent. Such an intermittent operation is hereinafter referred to as “intermittent operation”. When performing the intermittent operation, it is necessary to stop the peeling mechanism or reduce the conveyance speed. When the transport operation is stopped or decelerated, it takes a certain time to return to the normal speed. There is a possibility of causing a defect in the peeling performed before returning to the normal speed. In other words, when the peeling is performed at a speed lower than the originally scheduled conveyance speed, the peeling state may be different from the originally planned state.

特許文献１では、上述のように、剥離工程の後にテーブルを戻す工程があることにより剥離工程が間欠動作となる例が示されている。このような理由に限らず、たとえば、長尺状のキャリアフィルム付きシートを搬送する際に、剥離工程の前に印刷工程（印刷に要する時間は搬送が停止する。）が存在する場合などのように間欠動作で行なわざるを得ない種類の工程を行なうことにより、剥離工程のための搬送の進行が間欠動作となってしまう場合もありうる。   In Patent Document 1, as described above, an example in which the peeling process becomes an intermittent operation due to the step of returning the table after the peeling process is shown. For example, when a long sheet with a carrier film is conveyed, there is a printing process (the conveyance is stopped during the time required for printing) before the peeling process. In addition, by performing a type of process that must be performed intermittently, there is a case where the conveyance for the peeling process becomes an intermittent operation.

特許文献１ではキャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離することについて記載されているが、剥離して得たい物がセラミックグリーンシートである場合に限らず、他の種類のシートである場合も含めて、一般的に同様の不都合は問題となりうる。   Patent Document 1 describes that the carrier film is peeled from the ceramic green sheet, but not only when the desired product is a ceramic green sheet, but also includes other types of sheets, In general, similar inconveniences can be problematic.

長尺状のキャリアフィルム付きシートを搬送しながら剥離を行ない、なおかつ、搬送が間欠動作となる場合、キャリアフィルム付きシートには、本来予定されている搬送速度より低い速度でキャリアフィルムの剥離が進行する領域が生じる。このような領域では、不具合が生じている可能性があるので、これらの領域は不良領域であるものとして扱われる。これらの不良領域から剥離されて得られた物は製品としては採用できない。不良領域の増加は、製品の歩留まりの悪化や生産コストの増加をもたらす。   When peeling is performed while transporting a sheet with a long carrier film, and the transport is intermittent, the carrier film is peeled off at a lower speed than the originally scheduled transport speed. An area to be generated occurs. In such an area, there is a possibility that a defect has occurred, so these areas are treated as being defective areas. Products obtained by peeling from these defective areas cannot be used as products. An increase in defective areas leads to a deterioration in product yield and an increase in production costs.

そこで、本発明は、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができるシート剥離方法およびシート剥離装置を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the sheet | seat peeling method and sheet | seat peeling apparatus which can reduce the area | region used as a defective area as much as possible.

上記目的を達成するため、本発明に基づくシート剥離方法は、長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを第１の向きに第１速度以上の速度で搬送しつつ、上記第１シートと上記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において上記第１シートが上記基材から剥離し続ける第１工程と、上記第１工程が行なわれる状態から、上記基材の搬送速度が上記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程と、上記基材を上記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに搬送することによって、上記分岐点を上記基材にとって相対的に上記第１の向きに変位させる第３工程と、上記分岐点を上記基材にとって相対的に上記第１の向きとは反対の第２の向きに変位させつつ、上記分岐点から見た相対的な上記基材の搬送速度を上記第１速度以上まで上げることによって、上記第１工程を再開する第４工程とを含む。   In order to achieve the above object, the sheet peeling method according to the present invention has a first speed in a first direction in which a long first sheet adheres to the surface of a long and sheet-like substrate. The first step in which the first sheet continues to peel from the base material at a branch point where the first sheet and the base material are divided and advanced in different directions while being conveyed at the above speed, and the first step is A second step of decelerating or stopping the substrate so that the conveyance speed of the substrate is less than the first speed, and a second direction that is opposite to the first direction. And the third step of displacing the branch point relative to the base material in the first direction, and the branch point relative to the base material relative to the first direction. Relative from the above bifurcation point while displacing in the second direction By increasing the transport speed of the substrate to the first speed or above, and a fourth step to resume the first step.

本発明によれば、逆搬送により戻された部分を助走区間として利用して搬送速度を上げて剥離を再開することとなるので、不良領域の比率を小さくすることができる。   According to the present invention, since the part returned by the reverse conveyance is used as a run-up section and the conveyance speed is increased and peeling is resumed, the ratio of defective areas can be reduced.

本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法のフローチャートである。It is a flowchart of the sheet | seat peeling method in Embodiment 1 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法により分岐点において第１シートが基材から剥離する様子の説明図である。It is explanatory drawing of a mode that a 1st sheet | seat peels from a base material in a branch point by the sheet | seat peeling method in Embodiment 1 based on this invention. 比較例における搬送距離と搬送速度との関係を示す模式的なグラフである。It is a typical graph which shows the relationship between the conveyance distance and conveyance speed in a comparative example. 本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法における搬送距離と搬送速度との関係を示す模式的なグラフである。It is a typical graph which shows the relationship between the conveyance distance and the conveyance speed in the sheet peeling method in Embodiment 1 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法の第２工程を終えた状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which finished the 2nd process of the sheet peeling method in Embodiment 1 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法の第３工程を終えた状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which finished the 3rd process of the sheet peeling method in Embodiment 1 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the sheet peeling apparatus in Embodiment 2 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第１の例の説明図である。It is explanatory drawing of the 1st example of the mechanism employable for conveyance with the sheet peeling apparatus in Embodiment 2 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第２の例の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd example of the mechanism employable for conveyance with the sheet peeling apparatus in Embodiment 2 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第３の例の説明図である。It is explanatory drawing of the 3rd example of the mechanism employable for conveyance with the sheet peeling apparatus in Embodiment 2 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第４の例の説明図である。It is explanatory drawing of the 4th example of the mechanism employable for conveyance with the sheet peeling apparatus in Embodiment 2 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第１の状態の説明図である。It is explanatory drawing of the 1st state of the sheet peeling method in Embodiment 3 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第２の状態の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd state of the sheet peeling method in Embodiment 3 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第３の状態の説明図である。It is explanatory drawing of the 3rd state of the sheet peeling method in Embodiment 3 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法における時間と速度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between time and speed in the sheet peeling method in Embodiment 3 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第４の状態の説明図である。It is explanatory drawing of the 4th state of the sheet peeling method in Embodiment 3 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態４におけるシート剥離装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the sheet peeling apparatus in Embodiment 4 based on this invention.

図面において示す寸法比は、必ずしも忠実に現実のとおりを表しているとは限らず、説明の便宜のために寸法比を誇張して示している場合がある。以下の説明において、上または下の概念に言及する際には、絶対的な上または下を意味するとは限らず、図示された姿勢の中での相対的な上または下を意味する場合がある。   The dimensional ratios shown in the drawings do not always faithfully represent the actual ones, and the dimensional ratios may be exaggerated for convenience of explanation. In the following description, when referring to a concept above or below, it does not necessarily mean absolute above or below, but may mean relative above or below in the illustrated posture. .

本来予定されている搬送速度より低い速度で剥離が行なわれることによって剥離の状態が本来予定されているものと異なる結果として生じてしまう不都合の一例としては、たとえば以下のようなものが挙げられる。たとえば、セラミックグリーンシートを貫通するように導体ビアを形成するために、基材としてのキャリアフィルムがセラミックグリーンシートを支持している状態で、基材およびセラミックグリーンシートを一括して貫通するように設けられた貫通孔に導体ペーストを充填した後、基材をセラミックグリーンシートから剥離する場合を想定する。ある程度以上の速度でキャリアフィルムの剥離が行なわれた場合には、剥離後にもセラミックグリーンシートの貫通孔の内部に導体ペーストが正しく残る。しかし、低すぎる速度でキャリアフィルムの剥離が行なわれた場合には、キャリアフィルムの貫通孔の内部にある導体ペーストに引きずられてセラミックグリーンシートの貫通孔から必要以上に導体ペーストが脱落してしまうという事態が起こりうる。したがって、適用可能な剥離速度に下限が存在する。これはあくまで不具合の一例であり、剥離速度が一定以上でないと不具合が生じる事例は、この他にもさまざまに存在する。   As an example of the inconvenience that may occur as a result of the peeling state being different from the originally scheduled state due to the peeling performed at a speed lower than the originally scheduled conveyance speed, for example, the following may be mentioned. For example, in order to form a conductor via so as to penetrate the ceramic green sheet, the carrier film as the base material may penetrate the base material and the ceramic green sheet all together while supporting the ceramic green sheet. It is assumed that the base material is peeled from the ceramic green sheet after filling the through-hole provided with the conductor paste. When the carrier film is peeled off at a rate higher than a certain level, the conductor paste remains correctly inside the through hole of the ceramic green sheet even after peeling. However, if the carrier film is peeled off at a speed that is too low, the conductor paste will drop more than necessary from the through hole of the ceramic green sheet by being dragged by the conductor paste inside the through hole of the carrier film. This can happen. Therefore, there is a lower limit to the applicable peeling rate. This is merely an example of a problem, and there are various other cases where the problem occurs if the peeling speed is not equal to or greater than a certain value.

以下では、正常に剥離が行なえるために必要な最低限の速度を「第１速度」として扱っている。   In the following, the minimum speed required for normal peeling is treated as the “first speed”.

（実施の形態１）
（シート剥離方法）
図１を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法について説明する。本実施の形態におけるシート剥離方法のフローチャートを図１に示す。 (Embodiment 1)
(Sheet peeling method)
With reference to FIG. 1, the sheet peeling method in Embodiment 1 based on this invention is demonstrated. A flowchart of the sheet peeling method in the present embodiment is shown in FIG.

本実施の形態におけるシート剥離方法は、長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを第１の向きに第１速度以上で搬送しつつ、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第１工程Ｓ１と、前記第１工程が行なわれる状態から、前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程Ｓ２と、前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに搬送することによって、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させる第３工程Ｓ３と、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きとは反対の第２の向きに変位させつつ、前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、第１工程Ｓ１を再開する第４工程Ｓ４とを含む。   In the sheet peeling method according to the present embodiment, while the long first sheet is adhered to the surface of the long and sheet-like base material, while conveying the first direction in the first direction at the first speed or higher, From the state in which the first sheet continues to peel from the base material at a branching point where the first sheet and the base material travel in different directions, the base is By transporting the base material in a second direction that is opposite to the first direction, a second step S2 that decelerates or stops so that the transport speed of the material is less than the first speed, A third step S3 for displacing the branch point relative to the substrate in the first direction; and a second direction relative to the substrate relative to the first direction relative to the substrate. Displacement of the base material relative to the branch point By increasing the feed speed to the first speed or more, and a fourth step S4 resume first step S1.

第１工程Ｓ１では、図２に示すように、長尺状かつシート状の基材１の表面に長尺状の第１シート２が付着しているもの（以下「基材付き第１シート」ともいう。）が第１の向き８１に搬送されており、分岐点Ｐ２において第１シート２が基材１から剥離し続ける。図２に示した例では、剥離ロール２１，２２によって、第１シート２と基材１とが異なる向きに分かれて進行している。本実施の形態では、基材付き第１シートを、より上流で行なわれる前工程（たとえば導体ペーストの印刷工程）から続けて搬送しており、この前工程で間欠動作（たとえば印刷動作）を行なっているものを想定している。前工程で間欠動作を行なっていることにより、後に続くこの剥離工程においても間欠動作が発生している。なお、本発明は上述のような状況のものに限らず、剥離工程の後の工程が間欠動作になることによって剥離工程に間欠動作が発生するものであってもよい。また、剥離工程そのものが何らかの理由で間欠動作を行なわなければならない場合であってもよい。   In the first step S1, as shown in FIG. 2, the first sheet 2 having a long shape is attached to the surface of the long and sheet-shaped base material 1 (hereinafter referred to as “first sheet with base material”). Is also conveyed in the first direction 81, and the first sheet 2 continues to peel from the substrate 1 at the branch point P2. In the example illustrated in FIG. 2, the first sheet 2 and the base material 1 are divided and advanced in different directions by the peeling rolls 21 and 22. In the present embodiment, the first sheet with the base material is conveyed continuously from the previous process (for example, the printing process of the conductor paste) performed further upstream, and the intermittent operation (for example, the printing operation) is performed in this previous process. Assumes that Since the intermittent operation is performed in the previous process, the intermittent operation is also generated in the subsequent peeling process. Note that the present invention is not limited to the above-described situation, and an intermittent operation may be generated in the peeling step when the step after the peeling step becomes an intermittent operation. Further, the peeling process itself may be a case where an intermittent operation must be performed for some reason.

基材１の搬送距離と搬送速度との関係を模式的なグラフにして説明する。
比較のために、本実施の形態におけるシート剥離方法とは異なり、第３工程Ｓ３を行なわない場合を図３に示す。図３に示したのはあくまで比較例である。この比較例では、第１工程Ｓ１および第２工程Ｓ２を行なうが、第３工程Ｓ３および第４工程Ｓ４を行なわない。区間３０１では基材１が加速している。区間３０２では、基材１は第１速度以上の速度で搬送されている。この状態では分岐点Ｐ２において剥離が続いている。この工程は第１工程Ｓ１に相当する。区間３０３では基材１が減速している。この工程は第２工程Ｓ２に相当する。その後、速度０になっている点があるが、この時点で基材１は完全に停止している。区間３０６では、基材１は再び加速し、第１速度を超え、区間３０７では、再び基材１は第１速度を超える一定速度で搬送され、分岐点Ｐ２において剥離が続く状態となる。この場合、図３における領域Ａは第１速度を超える一定速度で搬送されつつ剥離が行なわれているので、剥離して得られた第１シート２は製品として採用できるが、領域Ｂは第１速度を下回る速度で剥離が行なわれているので不良領域となる。このように間欠動作を繰り返せば、領域Ａと領域Ｂとが交互に繰り返されることになり、剥離して得られる第１シート２上には不良領域が一定の比率で発生してしまう。 The relationship between the conveyance distance and the conveyance speed of the base material 1 will be described using a schematic graph.
For comparison, FIG. 3 shows a case where the third step S3 is not performed, unlike the sheet peeling method in the present embodiment. FIG. 3 shows only a comparative example. In this comparative example, the first step S1 and the second step S2 are performed, but the third step S3 and the fourth step S4 are not performed. In the section 301, the base material 1 is accelerating. In the section 302, the base material 1 is conveyed at a speed equal to or higher than the first speed. In this state, peeling continues at the branch point P2. This step corresponds to the first step S1. In the section 303, the base material 1 is decelerated. This step corresponds to the second step S2. After that, there is a point where the speed is 0, but the base material 1 is completely stopped at this point. In the section 306, the base material 1 is accelerated again and exceeds the first speed. In the section 307, the base material 1 is again transported at a constant speed exceeding the first speed, and the peeling continues at the branch point P2. In this case, since the area A in FIG. 3 is peeled while being conveyed at a constant speed exceeding the first speed, the first sheet 2 obtained by peeling can be used as a product, but the area B is the first. Since peeling is performed at a speed lower than the speed, it becomes a defective area. If the intermittent operation is repeated in this way, the region A and the region B are alternately repeated, and defective regions are generated at a constant ratio on the first sheet 2 obtained by peeling.

これに対して、本実施の形態におけるシート剥離方法では、図４に示すようになる。区間３０１では基材１が加速している。区間３０２では、第１工程Ｓ１として、基材１は第１の向き８１に第１速度以上の速度で搬送され、分岐点Ｐ２において剥離が続いている。区間３０３では、工程Ｓ２として基材１の搬送速度が第１速度未満になるように減速している。そして、最終的には速度０となっている。その後、区間３０４，３０５にあるように、基材１は第２の向き８２に搬送される。これが第３工程Ｓ３に相当する。図４に示すＰは、加工ピッチを表す。ここで示すように、第３工程Ｓ３は、基材１を第２の向き８２に搬送することによって行なわれる。このように行なわれる第３工程Ｓ３について以下に詳しく説明する。   On the other hand, in the sheet peeling method in the present embodiment, it is as shown in FIG. In the section 301, the base material 1 is accelerating. In the section 302, as the first step S1, the base material 1 is transported in the first direction 81 at a speed equal to or higher than the first speed, and peeling is continued at the branch point P2. In section 303, it decelerates so that conveyance speed of substrate 1 may become less than the 1st speed as process S2. Finally, the speed is zero. Thereafter, the base material 1 is conveyed in the second direction 82 as in the sections 304 and 305. This corresponds to the third step S3. P shown in FIG. 4 represents a processing pitch. As shown here, the third step S <b> 3 is performed by transporting the base material 1 in the second direction 82. The third step S3 performed in this way will be described in detail below.

たとえば区間３０３と区間３０４との境目の時点で図５に示す状態にあるものとする。これは第２工程Ｓ２を終えた状態である。この状態に至るまでは、基材１は第１の向き８１に搬送されていたが、この時点では停止しており、基材１の搬送速度は０である。図５には基準点Ｐ０、剥離点Ｐ１、分岐点Ｐ２が示されている。基準点Ｐ０は、説明の便宜のために基材１上の特定の位置に定められた目印としての点であり、基材１が移動すれば基準点Ｐ０も移動する。剥離点Ｐ１とは、基材１と第１シート２との間の剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点を意味する。この時点までは、剥離ロール２１，２２によって規定される分岐点Ｐ２において剥離が続いていたので、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とは一致している。この状態から、図６に示すように、基材１を第２の向き８２に搬送する。こうすることにより、基準点Ｐ０と剥離点Ｐ１との間の距離は一定に保たれたまま、基準点Ｐ０および剥離点Ｐ１は第２の向き８２に移動する。分岐点Ｐ２は、基材１の動きにかかわらず剥離ロール２１，２２の位置によって定まるものであるので、分岐点Ｐ２の位置は変わらず、結果的に図６に示すように、分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１から離れていく。基材１自体は第２の向き８２に移動するが、基材１から見れば、分岐点Ｐ２が第１の向き８１に変位する。図４に示す区間３０４，３０５においては、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させているといえ、これは第３工程Ｓ３に相当する。こうして区間３０５を終えた時点では、図６に示すようになる。この時点で、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２との間の距離は最大となっている。   For example, it is assumed that the state shown in FIG. This is the state after the second step S2. Until this state is reached, the base material 1 has been transported in the first direction 81, but is stopped at this point, and the transport speed of the base material 1 is zero. FIG. 5 shows a reference point P0, a peeling point P1, and a branch point P2. The reference point P0 is a point as a mark set at a specific position on the base material 1 for convenience of explanation. When the base material 1 moves, the reference point P0 also moves. The peeling point P1 means a point that is a boundary between a section where the base material 1 and the first sheet 2 are already peeled and a section where the peeling is not yet performed. Until this time, since peeling continued at the branch point P2 defined by the peeling rolls 21 and 22, the peeling point P1 and the branch point P2 coincide. From this state, as shown in FIG. 6, the substrate 1 is transported in the second direction 82. By doing so, the reference point P0 and the peeling point P1 move in the second direction 82 while the distance between the reference point P0 and the peeling point P1 is kept constant. Since the branch point P2 is determined by the position of the peeling rolls 21 and 22 regardless of the movement of the substrate 1, the position of the branch point P2 does not change. As a result, as shown in FIG. It moves away from the peeling point P1. The base material 1 itself moves in the second direction 82, but when viewed from the base material 1, the branch point P <b> 2 is displaced in the first direction 81. In the sections 304 and 305 shown in FIG. 4, it can be said that the branch point P2 is displaced relative to the base material 1 in the first direction 81, and this corresponds to the third step S3. When the section 305 is finished in this way, it becomes as shown in FIG. At this time, the distance between the peeling point P1 and the branch point P2 is the maximum.

次に第４工程Ｓ４として、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第２の向き８２に変位させつつ基材１の搬送速度を第１速度以上まで上げることによって、第１工程Ｓ１を再開する。これは図４における区間３０６に相当する。第４工程Ｓ４では、基材１は第１の向き８１に搬送されつつ加速する。これにより、基準点Ｐ０と剥離点Ｐ１との間の距離は一定に保たれたまま、基準点Ｐ０および剥離点Ｐ１は第１の向き８１に移動する。分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第２の向き８２に変位する。分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１に接近し、最終的には分岐点Ｐ２は再び剥離点Ｐ１と一致するようになる。ここまでの間に搬送速度は第１速度以上となる。図４における区間３０７では再び第１工程Ｓ１が行なわれる。区間３０７の始まりに達するところまでが、第４工程Ｓ４である。   Next, as the fourth step S4, the first step S1 is resumed by increasing the conveyance speed of the base material 1 to the first speed or more while displacing the branch point P2 in the second direction 82 relative to the base material 1. To do. This corresponds to the section 306 in FIG. In the fourth step S <b> 4, the base material 1 is accelerated while being conveyed in the first direction 81. As a result, the reference point P0 and the peeling point P1 move in the first direction 81 while the distance between the reference point P0 and the peeling point P1 is kept constant. The branch point P2 is displaced relative to the substrate 1 in the second direction 82. The branch point P2 approaches the peeling point P1, and finally the branch point P2 again coincides with the peeling point P1. Up to this point, the conveyance speed is equal to or higher than the first speed. In the section 307 in FIG. 4, the first step S1 is performed again. The process up to the beginning of the section 307 is the fourth step S4.

（作用・効果）
本実施の形態では、第３工程Ｓ３において区間３０４，３０５（図４参照）に示されるように基材１を逆搬送しており、第４工程Ｓ４において区間３０６に示されるように基材１を再加速する際には、既に剥離して逆搬送により戻された部分を助走区間として利用して搬送速度を上げている。このように搬送速度を上げて剥離が再開される。したがって、図４では、図３に比べて領域Ｂが小さくなっている。言い換えれば、不良領域の比率が小さくなっている。 (Action / Effect)
In the present embodiment, the base material 1 is reversely conveyed as shown in the sections 304 and 305 (see FIG. 4) in the third step S3, and the base material 1 is shown in the section 306 in the fourth step S4. When re-acceleration, the part already peeled and returned by reverse conveyance is used as a run-up section to increase the conveyance speed. In this way, peeling is resumed by increasing the conveyance speed. Therefore, in FIG. 4, the region B is smaller than that in FIG. In other words, the ratio of defective areas is small.

本実施の形態におけるシート剥離方法によれば、このようにして、不良領域となる領域を少なくすることができる。   According to the sheet peeling method in the present embodiment, it is possible to reduce the areas that are defective areas in this way.

実施の形態１で説明したシート剥離方法は、たとえば以下に述べるシート剥離装置によって実施することができる。   The sheet peeling method described in the first embodiment can be performed by, for example, a sheet peeling apparatus described below.

（実施の形態２）
（シート剥離装置）
図７を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置について説明する。 (Embodiment 2)
(Sheet peeling device)
With reference to FIG. 7, the sheet peeling apparatus in Embodiment 2 based on this invention is demonstrated.

本実施の形態におけるシート剥離装置１０１は、図７に示すように、長尺状かつシート状の基材１の表面に長尺状の第１シート２が付着しているものを搬送する搬送装置４０と、第１シート２と基材１とを異なる向きに分かれて進行させることによって分岐点Ｐ２において第１シート２を基材１から剥離させる分岐進行装置１３とを備える。搬送装置４０は、基材１を第１の向き８１に第１速度以上の速度で搬送する定常搬送制御部４１と、基材１の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止するように搬送状況を制御する間欠動作制御部４３と、基材１を第１の向き８１とは反対の向きである第２の向き８２に搬送することによって、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させるように搬送状況を制御する逆搬送制御部４２と、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１とは反対の第２の向き８２に変位させつつ分岐点Ｐ２から見た相対的な基材１の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、定常搬送制御部４１による搬送のもとで第１シート２を基材１から剥離させる状態を再開する再開制御部４４とを備える。ここではいくつかの種類の制御部について言及したが、これらの制御部は、それぞれ物理的に別体であるとは限らない。たとえば１つの装置が複数の種類の制御部の役割を兼ねていることもありうる。   As shown in FIG. 7, the sheet peeling apparatus 101 according to the present embodiment conveys a long and sheet-like substrate 1 on which the long first sheet 2 is attached. 40, and a branch progression device 13 that separates the first sheet 2 and the base material 1 in different directions and separates the first sheet 2 from the base material 1 at the branch point P2. The transport device 40 decelerates or stops so that the steady transport control unit 41 transports the base material 1 in the first direction 81 at a speed equal to or higher than the first speed, and the transport speed of the base material 1 is less than the first speed. As described above, the intermittent operation control unit 43 that controls the conveyance status and the substrate 1 in the second direction 82 that is the direction opposite to the first direction 81, make the branch point P <b> 2 for the substrate 1. The reverse conveyance control unit 42 that controls the conveyance state so as to be relatively displaced in the first direction 81, and the second direction 82 that is relatively opposite to the first direction 81 with respect to the branch point P <b> 2. The first sheet 2 is moved from the base material 1 under the conveyance by the steady conveyance control unit 41 by increasing the conveyance speed of the base material 1 as viewed from the branch point P2 to the first speed or more while displacing it. And a restart control unit 44 that restarts the state of peeling. Although several types of control units have been mentioned here, these control units are not necessarily physically separate from each other. For example, one device may also serve as a plurality of types of control units.

搬送装置４０は巻出しロール１１を備える。巻出しロール１１が矢印９２の向きに回転することによって、基材１と第１シート２とが重なって一体となったもの、すなわち、基材付き第１シートが分岐進行装置１３に向けて供給される。分岐進行装置１３は、剥離ロール２１，２２と巻取りロール２３とを備える。巻取りロール２３は剥離した基材１を回収するためのものである。巻取りロール２３が矢印９１ａの向きに回転することにより、基材１は第１の向き８１に搬送される。このとき、巻取りロール１２が矢印９１ｂの向きに回転することにより、分岐点Ｐ２で剥離した第１シート２は引き続き搬送され、巻取りロール１２によって回収される。   The conveying device 40 includes an unwinding roll 11. When the unwinding roll 11 rotates in the direction of the arrow 92, the base material 1 and the first sheet 2 are overlapped and integrated, that is, the first sheet with the base material is supplied to the branching progression device 13. Is done. The branching progression device 13 includes peeling rolls 21 and 22 and a winding roll 23. The take-up roll 23 is for collecting the peeled substrate 1. As the take-up roll 23 rotates in the direction of the arrow 91 a, the substrate 1 is conveyed in the first direction 81. At this time, when the winding roll 12 rotates in the direction of the arrow 91b, the first sheet 2 peeled at the branch point P2 is continuously conveyed and collected by the winding roll 12.

巻出しロール１１は、たとえば逆搬送制御部４２の制御によって矢印９３の向きに回転することも可能である。巻出しロール１１がこのように回転することによって、基材付き第１シートは第２の向き８２に搬送される。こうすることによって、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させることができる。   The unwinding roll 11 can also be rotated in the direction of the arrow 93 under the control of the reverse conveyance control unit 42, for example. As the unwinding roll 11 rotates in this way, the first sheet with the base material is conveyed in the second direction 82. By so doing, the branch point P2 can be displaced relative to the substrate 1 in the first direction 81.

シート剥離装置１０１は、分岐進行装置１３を挟むように配置された剥離前加工機５１および剥離後加工機５２を備える。剥離前加工機５１および剥離後加工機５２のうち少なくとも一方が間欠動作を行なう。シート剥離装置１０１は、剥離前加工機５１および剥離後加工機５２の両方を備えているとは限らず、これらのうちいずれか一方のみを備えていてもよい。シート剥離装置１０１は、間欠動作を行なう剥離前加工機５１を備えていてもよい。シート剥離装置１０１は、間欠動作を行なう剥離後加工機５２を備えていてもよい。   The sheet peeling apparatus 101 includes a pre-peeling processing machine 51 and a post-peeling processing machine 52 that are arranged so as to sandwich the branching progression apparatus 13. At least one of the pre-peeling processing machine 51 and the post-peeling processing machine 52 performs an intermittent operation. The sheet peeling apparatus 101 does not necessarily include both the pre-peeling processing machine 51 and the post-peeling processing machine 52, and may include only one of them. The sheet peeling apparatus 101 may include a pre-peeling processing machine 51 that performs an intermittent operation. The sheet peeling apparatus 101 may include a post-peeling machine 52 that performs an intermittent operation.

本実施の形態では、基材１、第１シート２または基材付き第１シートの搬送は、ロールの回転によって行なわれていた。他に、搬送のための機構としては、図８に示すような機構も採用可能である。図８に示した例では、クリップ３１によって対象物を搬送している。このような搬送のための機構は、ロールと併用して付加的に用いられてもよいし、一部のロールを置き換えるように用いられてもよい。以下、図９〜図１１に示す機構についても同様である。   In this Embodiment, conveyance of the base material 1, the 1st sheet | seat 2, or the 1st sheet | seat with a base material was performed by rotation of the roll. In addition, a mechanism as shown in FIG. 8 can be adopted as a mechanism for conveyance. In the example shown in FIG. 8, the object is conveyed by the clip 31. Such a mechanism for conveyance may be additionally used in combination with a roll, or may be used so as to replace some of the rolls. The same applies to the mechanisms shown in FIGS.

搬送のための機構は、図９に示すように２つのロール２４，２５を用いた機構であってもよい。図９では、ロール２４，２５によって対象物を挟み込んだ状態で、ロール２４，２５を回転させることによって対象物を搬送している。   The mechanism for conveyance may be a mechanism using two rolls 24 and 25 as shown in FIG. In FIG. 9, the object is conveyed by rotating the rolls 24 and 25 in a state where the object is sandwiched between the rolls 24 and 25.

搬送のための機構は、図１０に示すようにサクションロール２６による機構であってもよい。図１０に示した例では、サクションロール２６によって対象物を吸引した状態でサクションロール２６を回転させることによって、対象物を搬送している。サクションロール２６の外周面には、対象物を吸引することができる機構が設けられている。   The mechanism for conveyance may be a mechanism using a suction roll 26 as shown in FIG. In the example shown in FIG. 10, the object is conveyed by rotating the suction roll 26 while the object is sucked by the suction roll 26. A mechanism capable of sucking an object is provided on the outer peripheral surface of the suction roll 26.

搬送のための機構は、図１１に示すように吸着ステージ３２による機構であってもよい。図１１に示した例では、吸着ステージ３２によって対象物を吸引した状態で、吸着ステージ３２を平行移動することによって、対象物を搬送している。   The mechanism for transport may be a mechanism using the suction stage 32 as shown in FIG. In the example shown in FIG. 11, the object is transported by moving the suction stage 32 in a state where the object is sucked by the suction stage 32.

（作用・効果）
本実施の形態におけるシート剥離装置によれば、実施の形態１で説明したシート剥離方法を容易に行なうことができる。したがって、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。 (Action / Effect)
According to the sheet peeling apparatus in the present embodiment, the sheet peeling method described in the first embodiment can be easily performed. Therefore, it is possible to reduce the number of areas that become defective areas as much as possible.

（実施の形態３）
（シート剥離方法）
図１２〜図１６を参照して、本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法について説明する。 (Embodiment 3)
(Sheet peeling method)
With reference to FIGS. 12-16, the sheet | seat peeling method in Embodiment 3 based on this invention is demonstrated.

本実施の形態におけるシート剥離方法は、長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに第１速度以上で移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第Ａ１工程と、前記第Ａ１工程が行なわれる状態から、前記基材から見た前記治具が、相対的な移動速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第Ａ２工程と、前記治具を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させることによって、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させる第Ａ３工程と、前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する第Ａ４工程と、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第２の向きに移動を開始して相対的に前記第２の向きに第１速度以上となるように加速することによって、前記第Ａ１工程を再開する、第Ａ５工程とを含む。   In the sheet peeling method in the present embodiment, the first sheet with the base material in which the long first sheet is attached to the surface of the long and sheet-like base material, the first direction is downstream. With the jig placed on one of the first sheet and the base material and being bent along the jig, the jig is removed from the base material. A branch in which the first sheet and the base material are divided and proceed in different directions by moving at a first speed or higher in a second direction that is relatively opposite to the first direction as seen. From the point where the first sheet continues to peel from the substrate at the point A1 and the state where the first A1 step is performed, the jig viewed from the substrate has a relative moving speed of the first speed. Step A2 to decelerate or stop to be less than, and the jig A first step A3 for displacing the branch point in the first direction relative to the base material by displacing the base material in the first direction relative to the base material; Step A4 for transporting in the first direction, and the jig starts to move in the second direction relative to the base material, and is relatively higher than the first speed in the second direction. And the A5 step, wherein the A1 step is restarted by accelerating to

本実施の形態におけるシート剥離方法では、図１２に示すように、基材１に治具１６を当接させて基材１を折り曲げた状態を用意する。この状態で、基材１はステージ１５に対して相対的に停止している。実際、この時点では、基材１は搬送されることなく停止していてよい。これにより、基材１の搬送は間欠動作となっている。このように停止した状態では、たとえばステージ１５の上面に何らかの吸着機能を設けておいてステージ１５が基材１を固定することとしてもよい。図１２では、説明の便宜のために基準点Ｐ０が示されている。図１２では、剥離が始まる直前の状態を示しており、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とは別々の位置にある。このように別々の位置にある理由は、後述する説明により明らかとなる。分岐点Ｐ２はステージ１５の図中右端付近に位置している。次に、治具１６を第２の向き８２に移動させる。分岐点Ｐ２を境に基材１と第１シート２とで異なる向きに張力がかかっており、治具１６が移動することにより、剥離が進行し、剥離済の基材１は図中左上に向かって進行する。治具１６はたとえば紙面奥手前方向に延在する三角柱であってもよい。治具１６は加速され、基材１から見たときの治具１６の第２の向き８２に向かう速度は、途中で第１速度以上となる。治具１６が第２の向き８２に移動することにより、分岐点Ｐ２は第２の向き８２に変位し、いずれ剥離点Ｐ１に到達する。こうして、図１３に示す状態に至る。図１３では、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とは一致している。   In the sheet peeling method according to the present embodiment, as shown in FIG. 12, a state is prepared in which the base material 1 is bent by bringing the jig 16 into contact with the base material 1. In this state, the base material 1 is stopped relative to the stage 15. In fact, at this point, the substrate 1 may be stopped without being conveyed. Thereby, conveyance of the substrate 1 is an intermittent operation. In such a stopped state, for example, a certain suction function may be provided on the upper surface of the stage 15 and the stage 15 may fix the base material 1. In FIG. 12, the reference point P0 is shown for convenience of explanation. FIG. 12 shows a state immediately before separation starts, and the separation point P1 and the branch point P2 are at different positions. The reason for these separate positions will become clear from the description given later. The branch point P2 is located near the right end of the stage 15 in the drawing. Next, the jig 16 is moved in the second direction 82. Tension is applied in different directions between the base material 1 and the first sheet 2 at the branch point P2, and the jig 16 moves, so that the peeling progresses, and the peeled base material 1 is in the upper left in the figure. Proceed toward. The jig 16 may be, for example, a triangular prism extending in the front direction of the paper. The jig 16 is accelerated, and the speed toward the second direction 82 of the jig 16 when viewed from the base material 1 becomes equal to or higher than the first speed on the way. As the jig 16 moves in the second direction 82, the branch point P2 is displaced in the second direction 82 and eventually reaches the separation point P1. Thus, the state shown in FIG. 13 is reached. In FIG. 13, the peeling point P1 and the branch point P2 coincide.

図１３の状態からさらに治具１６が第１速度以上の速度で第２の向き８２に移動することにより、剥離点Ｐ１および分岐点Ｐ２は、互いに一致した状態のまま第２の向き８２に変位する。このとき第１シート２からの基材１の剥離が進行する。こうして第１速度以上で剥離が進行する工程が第Ａ１工程に相当する。その後、治具１６は速度を落とし、ステージ１５の図中左端付近で停止する。このように減速して停止する過程が第Ａ２工程に相当する。こうして、図１４に示す状態になる。   When the jig 16 further moves in the second direction 82 from the state shown in FIG. 13 at a speed equal to or higher than the first speed, the peeling point P1 and the branch point P2 are displaced in the second direction 82 while being in a state of being coincident with each other. To do. At this time, the peeling of the substrate 1 from the first sheet 2 proceeds. Thus, the process in which peeling proceeds at the first speed or higher corresponds to the A1 process. Thereafter, the jig 16 is slowed down and stops near the left end of the stage 15 in the drawing. The process of decelerating and stopping in this way corresponds to the A2 step. Thus, the state shown in FIG. 14 is obtained.

図１３〜図１４に示す状態では剥離点Ｐ１は分岐点Ｐ２と一致している。第１シート２はステージ１５の上面に当接している。基材１および第１シート２には、それぞれ矢印で示す向きに張力がかけられている。図１４では１回分の剥離が既に終わった時点の状態を示している。   In the state shown in FIGS. 13 to 14, the peeling point P1 coincides with the branch point P2. The first sheet 2 is in contact with the upper surface of the stage 15. Tension is applied to the base material 1 and the first sheet 2 in directions indicated by arrows, respectively. FIG. 14 shows a state at the time when one peeling has already been completed.

図１５のグラフにおいては、基材１の搬送の様子を破線で示し、治具１６の移動の様子を実線で示している。図１２〜図１４における治具１６の動きは、図１５における折れ線５０３に相当する。図１５に示した例では、折れ線５０３が終わってから折れ線５０２が始まるまでに、しばらく間があいているが、ここは間をあけずに連続して動作させてもよい。   In the graph of FIG. 15, the state of conveyance of the base material 1 is indicated by a broken line, and the state of movement of the jig 16 is indicated by a solid line. The movement of the jig 16 in FIGS. 12 to 14 corresponds to the broken line 503 in FIG. In the example shown in FIG. 15, there is a period of time between the end of the broken line 503 and the start of the broken line 502, but this may be continuously performed without a gap.

図１５において折れ線５０１に示すように、基材１は停止している状態から加速して一定速度に至り、そのまま一定時間だけ前進し、その後、減速して停止する。この際、折れ線５０２に示すように、治具１６は基材１を常に上回る速度となるように、加速し、基材１の速度より速い速度で一定時間だけ前進する。したがって、基材１の進行を追い越すような状態で第１の向き８１に移動する。この様子を図１６に示す。基材１は第１の向き８１に搬送されるが、治具１６はこれを追い越す速度で矢印９６に示すように第１の向き８１に進行する。これにより、分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１から離れる。ここで、基材１が第１の向き８１に搬送されることは、第Ａ４工程に相当する。図１４から図１６に移行する際に、基材１は第１の向き８１に搬送されるので、基準点Ｐ０と剥離点Ｐ１との距離が一定に保たれたまま基準点Ｐ０および剥離点Ｐ１は、ステージ１５の上面に沿って第１の向き８１に移動している。ほぼ同時に治具１６がより速い速度で進行したことにより、基材１から見て相対的に、分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１よりも第１の向き８１に移動している。このように分岐点Ｐ２を剥離点Ｐ１よりも第１の向き８１に移動させることは、第Ａ３工程に相当する。第Ａ３工程が行なわれる時期と第Ａ４工程が行なわれる時期とは、一部または全部が重なっていてもよい。   As shown by a broken line 501 in FIG. 15, the base material 1 is accelerated from a stopped state to reach a constant speed, advances as it is for a predetermined time, and then decelerates and stops. At this time, as indicated by the broken line 502, the jig 16 is accelerated so as to always exceed the base material 1, and moves forward at a speed higher than the speed of the base material 1 for a predetermined time. Therefore, it moves in the first direction 81 in such a state as to overtake the progress of the substrate 1. This is shown in FIG. The substrate 1 is transported in the first direction 81, but the jig 16 proceeds in the first direction 81 as indicated by an arrow 96 at a speed to pass this. Thereby, the branch point P2 leaves | separates from the peeling point P1. Here, the conveyance of the substrate 1 in the first direction 81 corresponds to the A4 step. When shifting from FIG. 14 to FIG. 16, the base material 1 is conveyed in the first direction 81, so that the distance between the reference point P0 and the peeling point P1 is kept constant, and the reference point P0 and the peeling point P1. Has moved in the first direction 81 along the upper surface of the stage 15. As the jig 16 travels at a higher speed almost simultaneously, the branch point P2 moves in the first direction 81 relative to the peeling point P1 relative to the base material 1. Moving the branch point P2 in the first direction 81 with respect to the peeling point P1 in this way corresponds to the A3 step. The time when the A3 step is performed and the time when the A4 step is performed may be partially or entirely overlapped.

ここでは、治具１６が基材１を追い越すために、治具１６の速度が基材１の搬送速度より速いものとして説明したが、治具１６が基材１の搬送速度より速い速度で進行することは必須ではない。治具１６の進行速度が基材１の搬送速度より速くなくても、たとえば治具１６が基材１より早い時期から進行を開始すること、あるいは、たとえば治具１６が基材１より遅い時期まで進行を続けること、あるいはこれらの両方によっても、分岐点Ｐ２を剥離点Ｐ１よりも第１の向き８１に移動させることができる。   Here, since the jig 16 overtakes the base material 1, the speed of the jig 16 is described as being faster than the transport speed of the base material 1, but the jig 16 proceeds at a speed faster than the transport speed of the base material 1. It is not essential to do. Even if the traveling speed of the jig 16 is not faster than the conveying speed of the base material 1, for example, the jig 16 starts to advance from the time earlier than the base material 1, or the time when the jig 16 is later than the base material 1, for example. The branch point P2 can be moved in the first direction 81 with respect to the peeling point P1 by continuing the process up to the point or both of them.

こうして、図１２に示した状態へと戻る。ただし、図１２に比べて、剥離点Ｐ１および分岐点Ｐ２はステージ１５から見て相対的に元の位置に戻っているが、基準点Ｐ０はステージ１５から見て相対的に第１の向き８１に既に一定距離だけ変位した位置にあり、基準点Ｐ０は当初の位置には戻らない。基準点Ｐ０の位置が異なる点を除けば図１２に示されたとおりの状態に戻る。元々、図１２において、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とが別々の位置にあったのは、図１２より以前に第Ａ３工程が行なわれた結果である。図１２に示した状態で、治具１６が基材１から見て相対的に第２の向き８２に移動を開始して相対的に第２の向き８２に第１速度以上となるように加速することによって、第Ａ１工程が再開する。このように第Ａ１工程の再開に至らしめる工程が、第Ａ５工程に相当する。このようにサイクルを繰り返すことにより、基材１は一定の長さずつ第１の向き８１に送られ、治具１６が第２の向き８１に移動する度に剥離は一定の長さ分ずつ進行する。   Thus, the state returns to the state shown in FIG. However, as compared with FIG. 12, the separation point P1 and the branch point P2 are relatively returned to their original positions when viewed from the stage 15, but the reference point P0 is relatively in the first direction 81 when viewed from the stage 15. And the reference point P0 does not return to the original position. Except for the point where the position of the reference point P0 is different, the state returns to the state shown in FIG. Originally, in FIG. 12, the separation point P1 and the branch point P2 were at different positions as a result of the A3 step being performed before FIG. In the state shown in FIG. 12, the jig 16 starts to move in the second direction 82 relative to the base material 1 and accelerates in the second direction 82 so as to be equal to or higher than the first speed. By doing so, the step A1 is resumed. Thus, the process of reaching the restart of the A1 process corresponds to the A5 process. By repeating the cycle in this manner, the base material 1 is fed in the first direction 81 by a certain length, and peeling progresses by a certain length each time the jig 16 moves in the second direction 81. To do.

（作用・効果）
本実施の形態では、基材１自体を逆向きに搬送させなくても治具１６の移動によって、分岐点Ｐ２から見た相対的な基材１の搬送速度を第１速度以上まで上げることができ、第１速度以上での剥離を行なうことができる。剥離の速度が減速しつつあった区間については、第１速度未満での剥離が行なわれたこととなるが、ステージ１５に沿った治具１６の往復移動によって、次回の加速の際の助走区間として利用されるので不良領域を少なくすることができる。 (Action / Effect)
In the present embodiment, even if the base material 1 itself is not transported in the reverse direction, the relative transport speed of the base material 1 viewed from the branch point P2 can be increased to the first speed or higher by the movement of the jig 16. It is possible to perform peeling at the first speed or higher. In the section where the peeling speed was decelerating, the peeling was performed at a speed lower than the first speed. However, the run-up section during the next acceleration was performed by the reciprocating movement of the jig 16 along the stage 15. Therefore, it is possible to reduce the defective area.

（実施の形態４）
（シート剥離装置）
図１７を参照して、本発明に基づく実施の形態４におけるシート剥離装置について説明する。 (Embodiment 4)
(Sheet peeling device)
With reference to FIG. 17, the sheet peeling apparatus in Embodiment 4 based on this invention is demonstrated.

本実施の形態におけるシート剥離装置１０２は、図１７に示すように、治具制御装置２０と搬送装置４０とを備える。治具制御装置２０は、長尺状かつシート状の基材１の表面に長尺状の第１シート２が付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で保持し、第１シート２および基材１のうちの一方に治具１６を当接させて前記一方が治具１６に沿って折り曲げられた状態で、治具１６が基材１から見て相対的に第１の向き８１とは反対の向きである第２の向き８２に移動することによって、第１シート２と基材１とが異なる向きに分かれて進行する分岐点Ｐ２において第１シート２が基材１から剥離する。搬送装置４０は、前記基材付き第１シートを第１の向き８１に搬送する。治具制御装置２０は、分岐点Ｐ２を決定する治具１６と、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させるように治具１６を変位させる治具前進制御部４５と、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第２の向き８２に第１速度以上で変位させることができる治具後退制御部４６とを備える。   The sheet peeling apparatus 102 in this Embodiment is provided with the jig | tool control apparatus 20 and the conveying apparatus 40 as shown in FIG. The jig control device 20 is configured so that the first sheet with the base material in which the long first sheet 2 is adhered to the surface of the long and sheet-like base material 1 is the first direction downstream. The jig 16 is held in a state where the jig 16 is brought into contact with one of the first sheet 2 and the base material 1 and the one is bent along the jig 16. The branch point P2 in which the first sheet 2 and the base material 1 travel in different directions by moving in a second direction 82 that is a direction opposite to the first direction 81 when viewed from 1. The first sheet 2 is peeled off from the substrate 1. The conveyance device 40 conveys the first sheet with the base material in a first direction 81. The jig control device 20 includes a jig 16 that determines the branch point P2, and a jig advance control unit that displaces the jig 16 so as to displace the branch point P2 in the first direction 81 relative to the base material 1. 45 and a jig retraction control unit 46 that can displace the branch point P2 relative to the base material 1 in the second direction 82 at the first speed or higher.

巻出しロール１１は矢印９２の向きに回転することによって、基材付き第１シートを供給する。搬送装置４０は、基材１を第１の向き８１に搬送する搬送制御部４１ａと、基材１の搬送を停止させる停止制御部４３ａとを備える。治具１６は矢印９５に沿って往復移動することができる。巻取りロール１４は、矢印９４の向きに回転することにより、基材１を回収する。   The unwinding roll 11 rotates in the direction of the arrow 92 to supply the first sheet with the base material. The transport apparatus 40 includes a transport control unit 41 a that transports the base material 1 in the first direction 81, and a stop control unit 43 a that stops the transport of the base material 1. The jig 16 can reciprocate along the arrow 95. The winding roll 14 collects the base material 1 by rotating in the direction of the arrow 94.

第１シート２は、ロール２４，２５によって第１の向き８１に搬送され、切断刃１７によって所望の長さごとに切断される。個別サイズに切断された後の第１シート２ｒは、吸着装置１８によって吸着保持され、トレイ１９内へと移送される。トレイ１９内には、第１シート２ｒが積み重ねられている。   The first sheet 2 is conveyed in the first direction 81 by the rolls 24 and 25, and is cut for each desired length by the cutting blade 17. The first sheet 2 r after being cut into individual sizes is sucked and held by the sucking device 18 and transferred into the tray 19. In the tray 19, the first sheets 2r are stacked.

（作用・効果）
本実施の形態におけるシート剥離装置によれば、実施の形態３で説明したシート剥離方法を容易に行なうことができる。したがって、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。 (Action / Effect)
According to the sheet peeling apparatus in the present embodiment, the sheet peeling method described in the third embodiment can be easily performed. Therefore, it is possible to reduce the number of areas that become defective areas as much as possible.

（実施の形態５）
（シート剥離方法）
本発明に基づく実施の形態５におけるシート剥離方法について説明する。本実施の形態におけるシート剥離方法は、実施の形態１などで説明したシート剥離方法と同様の工程を含むが、以下の点で異なる。本発明に基づく実施の形態５におけるシート剥離方法では、第１工程Ｓ１を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、基材１および第１シート２のうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第５工程を行なう第１設備が存在し、第２工程Ｓ２を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第５工程を並行して行なう。図７および図１７に示した各例では、第１工程Ｓ１を行なう場所より上流側に剥離前加工機５１が配置され、下流側に剥離後加工機５２が配置されていたが、剥離前加工機５１および剥離後加工機５２のうち少なくとも一方が第１設備に該当してもよい。 (Embodiment 5)
(Sheet peeling method)
The sheet peeling method in Embodiment 5 based on this invention is demonstrated. The sheet peeling method in the present embodiment includes the same steps as the sheet peeling method described in the first embodiment, but differs in the following points. In the sheet peeling method according to the fifth embodiment of the present invention, intermittent operation is performed on at least one of the base material 1 and the first sheet 2 on at least one of the upstream side and the downstream side from the place where the first step S1 is performed. There is a first facility for performing the fifth step to be processed in step S2. At the timing of performing the second step S2, the fifth step is performed in parallel in the first facility. In each example shown in FIG. 7 and FIG. 17, the pre-peeling processing machine 51 is arranged on the upstream side from the place where the first step S <b> 1 is performed, and the post-peeling processing machine 52 is arranged on the downstream side. At least one of the machine 51 and the post-peeling machine 52 may correspond to the first facility.

（作用・効果）
本実施の形態では、第１設備において、間欠動作で処理すべき第５工程を行ないながらその間欠動作に同期するように、第２工程Ｓ２を行なうこととなる。第５工程と同期するように第２工程Ｓ２を行なった後には、第３工程Ｓ３、第４工程Ｓ４が行なわれるので、実施の形態１で説明したように、既に剥離して逆搬送により戻された部分を用いて搬送速度を上げることができる。その結果、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。 (Action / Effect)
In the present embodiment, in the first equipment, the second step S2 is performed so as to synchronize with the intermittent operation while performing the fifth step to be processed by the intermittent operation. After performing the second step S2 so as to be synchronized with the fifth step, the third step S3 and the fourth step S4 are performed. Therefore, as described in the first embodiment, they are already separated and returned by reverse conveyance. The conveyance speed can be increased by using the formed portion. As a result, the area that becomes a defective area can be reduced as much as possible.

実施の形態３などで説明したシート剥離方法についても、同様のことがいえる。すなわち、前記第Ａ１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第Ａ６工程を行なう第１設備が存在し、前記第Ａ２工程を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第Ａ６工程を並行して行なうこととしてもよい。   The same can be said for the sheet peeling method described in the third embodiment. That is, the first equipment that performs the A6 step to be processed in an intermittent operation on at least one of the base material and the first sheet on at least one of the upstream side and the downstream side from the place where the first A1 step is performed. When the step A2 is performed, the step A6 may be performed in parallel in the first facility.

（実施の形態６）
（シート剥離方法）
本発明に基づく実施の形態６におけるシート剥離方法について説明する。本実施の形態におけるシート剥離方法は、実施の形態１などで説明したシート剥離方法と同様の工程を含むが、以下の点で異なる。本実施の形態におけるシート剥離方法では、第１工程Ｓ１を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、基材１および第１シート２のうち少なくとも一方に対して、第１工程Ｓ１から第４工程Ｓ４とは異なるタイミングの間欠動作または連続動作で処理される第６工程Ｓ６を行なう第２設備が存在する。前記第２設備が所在する場所と、第１工程Ｓ１、第２工程Ｓ２、第３工程Ｓ３および第４工程Ｓ４が行なわれる場所との間には、前記基材の流れを一時的に動作を止めることができるバッファ機構が配置されている。前記バッファ機構を介して基材１および第１シート２のうち少なくとも一方の受渡しが行なわれる。バッファ機構は、たとえばコンペンセータロール、ダンサロールなどのうちのいずれかを含む機構であってもよい。バッファ機構は、たとえば基材１のうち第２設備による第６工程Ｓ６を終えた領域を一時的に蓄積し、その後、第１工程Ｓ１を行なう場所に向けて供給する機構であってよい。 (Embodiment 6)
(Sheet peeling method)
The sheet peeling method in Embodiment 6 based on this invention is demonstrated. The sheet peeling method in the present embodiment includes the same steps as the sheet peeling method described in the first embodiment, but differs in the following points. In the sheet peeling method in the present embodiment, from the first step S1 to at least one of the base material 1 and the first sheet 2 on the upstream side and the downstream side from the place where the first step S1 is performed. There is a second facility for performing a sixth step S6 that is processed by an intermittent operation or a continuous operation at a timing different from the fourth step S4. Between the place where the second equipment is located and the place where the first step S1, the second step S2, the third step S3 and the fourth step S4 are performed, the flow of the base material is temporarily operated. A buffer mechanism that can be stopped is arranged. At least one of the base material 1 and the first sheet 2 is delivered via the buffer mechanism. The buffer mechanism may be a mechanism including any of a compensator roll, a dancer roll, and the like. For example, the buffer mechanism may be a mechanism that temporarily accumulates the region of the base material 1 that has finished the sixth step S6 by the second equipment, and then supplies the region toward the place where the first step S1 is performed.

（作用・効果）
本実施の形態では、異なるタイミングの間欠動作または連続動作で処理すべき第６工程Ｓ６を行なう第２設備が存在するが、バッファ機構が配置されているので、第１工程Ｓ１、第２工程Ｓ２、第３工程Ｓ３および第４工程Ｓ４は、第２設備における第６工程Ｓ６の動作のタイミングから独立して所望のタイミングの間欠動作で行なうことができる。その結果、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。 (Action / Effect)
In the present embodiment, there is a second facility for performing the sixth step S6 to be processed by intermittent operation or continuous operation at different timings. However, since the buffer mechanism is arranged, the first step S1 and the second step S2 are performed. The third step S3 and the fourth step S4 can be performed by an intermittent operation at a desired timing independent of the operation timing of the sixth step S6 in the second facility. As a result, the area that becomes a defective area can be reduced as much as possible.

なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。 In addition, you may employ | adopt combining suitably two or more among the said embodiment.
In addition, the said embodiment disclosed this time is an illustration in all the points, Comprising: It is not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and includes all modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

１ 基材、２ 第１シート、２ｒ （個別サイズに切断した後の）対象物、１１ 巻出しロール、１２ 巻取りロール、１３ 分岐進行装置、１４ （剥離した基材のための）巻取りロール、１５ ステージ、１６ 治具、１７ 切断刃、１８ 吸着装置、１９ トレイ、２０ 治具制御装置、２１，２２ 剥離ロール、２３ （剥離した基材のための）巻取りロール、２４，２５ ロール、２６ サクションロール、３１ クリップ、３２ 吸着ステージ、４１ 定常搬送制御部、４１ａ 搬送制御部、４２ 逆送制御部、４３ 間欠動作制御部、４３ａ 停止制御部、４４ 再開制御部、４５ 治具前進制御部、４６ 治具後退制御部、５１ 剥離前加工機、５２ 剥離後加工機、８１ 第１の向き、８２ 第２の向き、９１ａ，９１ｂ，９２，９３，９４，９５，９６，９７ 矢印、１０１，１０２ シート剥離装置、３０１，３０２，３０３，３０４，３０５，３０６，３０７，３０８ 区間、５０１，５０２，５０３ 折れ線、Ｐ０ 基準点、Ｐ１ 剥離点、Ｐ２ 分岐点。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate, 2 1st sheet, 2r Object (after being cut into individual sizes), 11 Unwinding roll, 12 Winding roll, 13 Branch traveling device, 14 Winding roll (for peeled substrate) , 15 stages, 16 jigs, 17 cutting blades, 18 suction devices, 19 trays, 20 jig control devices, 21, 22 peeling rolls, 23 take-up rolls (for peeled substrates), 24, 25 rolls, 26 Suction rolls, 31 clips, 32 suction stages, 41 steady transport control unit, 41a transport control unit, 42 reverse feed control unit, 43 intermittent operation control unit, 43a stop control unit, 44 restart control unit, 45 jig advance control unit 46, jig retraction control unit, 51 processing machine before peeling, 52 processing machine after peeling, 81 first direction, 82 second direction, 91a, 91b, 92, 93, 94, 5,96,97 arrows, 101, 102 sheet peeling apparatus, 301,302,303,304,305,306,307,308 section, 501, 502, 503 fold line, P0 reference point, P1 separation point, P2 branching point.

Claims (11)

長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを第１の向きに第１速度以上の速度で搬送しつつ、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第１工程と、
前記第１工程が行なわれる状態から、前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程と、
前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに逆搬送することによって、前記分岐点を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させる第３工程と、
前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第２の向きに変位させつつ、前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、前記第１工程を再開する第４工程とからなる間欠動作を繰り返す、シート剥離方法であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記第３工程においては、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記基材を前記逆搬送し、
前記第４工程においては、前記第３工程において前記逆搬送により戻された部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記搬送速度が前記第１速度以上となるように、前記基材を再加速する、シート剥離方法。 The first sheet and the substrate while conveying the first sheet having the elongated shape on the surface of the elongated and sheet-like substrate in the first direction at a speed equal to or higher than the first speed. A first step in which the first sheet continues to peel from the base material at a branch point where the first sheet is divided into different directions and proceeds;
From the state in which the first step is performed, a second step of decelerating or stopping so that the conveyance speed of the base material is less than the first speed;
A third step of displacing the branch point relative to the first direction when viewed from the peeling point by reversely conveying the base material in a second direction that is opposite to the first direction. When,
By increasing the relative conveyance speed of the base material viewed from the branch point to the first speed or higher while displacing the branch point relative to the second direction as viewed from the peeling point, A sheet peeling method that repeats an intermittent operation including the fourth step for resuming the first step,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
The peeling point is a point between the base material and the first sheet that becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
In the third step, the substrate is reversely conveyed so that the branch point moves away from the peeling point,
In the fourth step, the portion returned by the reverse conveyance in the third step is used as a run-up section, and the conveyance speed is changed until the branch point again coincides with the separation point. A sheet peeling method in which the substrate is re-accelerated so that the speed is 1 speed or more. 長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに第１速度以上で移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第Ａ１工程と、
前記第Ａ１工程が行なわれる状態から、前記基材から見た前記治具が、相対的な移動速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第Ａ２工程と、
前記治具を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させることによって、前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させる第Ａ３工程と、
前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する第Ａ４工程と、
前記治具が前記基材から見て相対的に前記第２の向きに移動を開始して相対的に前記第２の向きに第１速度以上となるように加速することによって、前記第Ａ１工程を再開する、第Ａ５工程とからなる間欠動作を繰り返す、シート剥離方法であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記第Ａ３工程においては、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記治具を前記剥離点から見て相対的に移動させ、
前記第Ａ５工程においては、前記第Ａ３工程において移動させた部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記基材から見た前記治具の相対的な移動速度が前記第１速度以上となるように、前記治具を加速する、シート剥離方法。 In a state where the first sheet with the base material in which the long first sheet is attached to the surface of the long and sheet-like base material is arranged in a direction in which the first direction is downstream, the first A jig is brought into contact with one of the sheet and the base material, and the one is bent along the jig, and the jig is relatively in the first direction as viewed from the base material. When the first sheet moves in a second direction, which is opposite to the first direction, at a speed equal to or higher than the first speed, the first sheet is moved to the base material at a branch point where the first sheet and the base material are divided into different directions. Step A1 that continues to peel from,
From the state where the first A1 step is performed, the jig viewed from the base material is decelerated or stopped so that the relative moving speed is less than the first speed, and the second A2 step,
A3 step of displacing the bifurcation point relatively in the first direction as seen from the peeling point by displacing the jig relative to the first direction as seen from the peeling point;
A4 step of conveying the first sheet with the base material in the first direction;
The jig starts to move in the second direction relative to the base material and accelerates in the second direction so as to be equal to or higher than the first speed. Resuming, repeating the intermittent operation consisting of step A5, a sheet peeling method,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
The peeling point is a point between the base material and the first sheet that becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
In the step A3, the jig is relatively moved as viewed from the peeling point so that the branch point moves away from the peeling point,
In the step A5, the portion moved in the step A3 is used as a run-up section, and the jig viewed from the base material until the branch point coincides with the peeling point again. A sheet peeling method in which the jig is accelerated so that a relative moving speed is equal to or higher than the first speed. 前記第１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第５工程を行なう第１設備が存在し、前記第２工程を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第５工程を並行して行なう、請求項１に記載のシート剥離方法。   At least one of the upstream side and the downstream side from the place where the first step is performed has a first facility for performing a fifth step to be processed in an intermittent operation on at least one of the base material and the first sheet. And in the timing which performs the said 2nd process, the said 5th process is performed in parallel in the said 1st installation, The sheet | seat peeling method of Claim 1. 前記第Ａ１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第Ａ６工程を行なう第１設備が存在し、前記第Ａ２工程を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第Ａ６工程を並行して行なう、請求項２に記載のシート剥離方法。   At least one of the upstream side and the downstream side from the place where the first A1 step is performed has a first facility for performing the A6 step that should be processed intermittently with respect to at least one of the base material and the first sheet. And in the timing which performs the said A2 process, the said A6 process is performed in parallel with the said 1st installation, The sheet | seat peeling method of Claim 2. 前記第１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して、前記第１から第４工程とは異なるタイミングの間欠動作または連続動作で処理される第６工程を行なう第２設備が存在し、前記第２設備が所在する場所と、前記第１工程、前記第２工程、前記第３工程および前記第４工程が行なわれる場所との間には、前記基材の流れを一時的に動作を止めることができるバッファ機構が配置されており、前記バッファ機構を介して前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方の受渡しが行なわれる、請求項１に記載のシート剥離方法。   An intermittent operation at a timing different from the first to fourth steps on at least one of the base material and the first sheet on at least one of the upstream side and the downstream side from the place where the first step is performed or There is a second facility for performing the sixth step, which is processed in a continuous operation, and the location where the second facility is located, the first step, the second step, the third step, and the fourth step are performed. A buffer mechanism capable of temporarily stopping the flow of the base material is disposed between the base material and at least one of the base material and the first sheet via the buffer mechanism. The sheet peeling method according to claim 1, wherein: 長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを搬送する搬送装置と、
前記第１シートと前記基材とを異なる向きに分かれて進行させることによって分岐点において前記第１シートを前記基材から剥離させる分岐進行装置とを備え、
前記搬送装置は、
前記基材を第１の向きに第１速度以上の速度で搬送する定常搬送制御部と、
前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止するように搬送状況を制御する間欠動作制御部と、
前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに逆搬送することによって、前記分岐点を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させるように搬送状況を制御する逆搬送制御部と、
前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第２の向きに変位させつつ前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、前記定常搬送制御部による搬送のもとで前記第１シートを前記基材から剥離させ続ける状態を再開する再開制御部とによって制御されて間欠動作を繰り返す、シート剥離装置であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記逆搬送制御部によって、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記基材を逆搬送し、
前記再開制御部によって、前記逆搬送制御部による逆搬送によって戻された部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記搬送速度が前記第１速度以上となるように、前記基材を再加速する、シート剥離装置。 A transport device for transporting a long and sheet-like base material to which a long first sheet is attached;
A branch advancing device for separating the first sheet and the base material in different directions to separate the first sheet from the base material at a branch point;
The transfer device
A steady conveyance control unit that conveys the base material in a first direction at a speed equal to or higher than a first speed;
An intermittent operation control unit that controls the conveyance state so as to decelerate or stop the conveyance speed of the base material to be less than the first speed;
By conveying the base material in the second direction opposite to the first direction, the substrate is transported so that the branch point is relatively displaced in the first direction when viewed from the peeling point. A reverse transfer control unit for controlling the situation;
By increasing the relative conveyance speed of the substrate viewed from the branch point to the first speed or higher while displacing the branch point in the second direction relative to the separation point, the steady state A sheet peeling apparatus that is controlled by a restart control unit that resumes a state in which the first sheet is continuously peeled from the base material under conveyance by a conveyance control unit, and repeats intermittent operation,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
The peeling point is a point between the base material and the first sheet, which becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
The reverse conveyance control unit reversely conveys the base material so that the branch point moves away from the peeling point,
The resumption control unit uses the portion returned by the reverse conveyance by the reverse conveyance control unit as a run-up section, and the conveyance speed is set to the first time until the branch point coincides with the separation point again. A sheet peeling apparatus that re-accelerates the base material so as to be equal to or higher than the speed. 長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で保持し、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離する治具制御装置と、
前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する搬送装置とを備え、
前記治具制御装置は、
前記分岐点を決定する治具と、
前記分岐点を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させるように前記治具を変位させる治具前進制御部と、
前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第２の向きに第１速度以上で変位させることができる治具後退制御部とによって制御されて間欠動作を繰り返す、シート剥離装置であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記治具前進制御部によって、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記治具を前記剥離点から見て相対的に移動させ、
前記治具後退制御部によって、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように移動させた部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記基材から見た前記治具の相対的な移動速度が前記第１速度以上となるように、前記治具を加速する、シート剥離装置。 Holding the first sheet with the base material to which the long first sheet is attached to the surface of the long and sheet-like base material in a state where the first direction is arranged in the downstream direction, A jig is brought into contact with one of the first sheet and the base material, and the jig is relatively bent when viewed from the base material in a state where the one is bent along the jig. The first sheet peels from the base material at a branching point where the first sheet and the base material travel in different directions by moving in a second direction that is opposite to the direction of A jig control device;
A conveying device that conveys the first sheet with the substrate in the first direction;
The jig control device
A jig for determining the branch point;
A jig advance control unit that displaces the jig so that the branch point is relatively displaced in the first direction when viewed from the separation point;
A sheet peeling apparatus that is controlled by a jig retraction control unit that can displace the branch point relative to the peeling point in the second direction at a speed equal to or higher than the first speed and repeats an intermittent operation. ,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
The peeling point is a point between the base material and the first sheet that becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
The jig is moved relative to the peeling point so that the branch point moves away from the peeling point by the jig advance control unit,
Using the portion moved by the jig retraction control unit so that the branch point moves away from the separation point as a run-up section, until the branch point again coincides with the separation point, A sheet peeling apparatus that accelerates the jig so that a relative moving speed of the jig viewed from the base material is equal to or higher than the first speed. 長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを第１の向きに第１速度以上の速度で搬送しつつ、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第１工程と、
前記第１工程が行なわれる状態から、前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程と、
前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに逆搬送することによって、前記分岐点を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させる第３工程と、
前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第２の向きに変位させつつ、前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、前記第１工程を再開する第４工程とからなる間欠動作を繰り返す、シート剥離方法であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記第２工程および前記第４工程において剥離される、前記第１シートのうち、前記第１速度を下回る速度で剥離が行なわれている領域が、不良領域となるものであり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記第３工程においては、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記基材を逆搬送し、
前記第４工程においては、前記第３工程において逆搬送により戻された部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記搬送速度が前記第１速度以上となるように、前記基材を再加速することにより、間欠動作によって剥離される前記第１シートにおける、不良領域の比率を小さくする、シート剥離方法。 The first sheet and the substrate while conveying the first sheet having the elongated shape on the surface of the elongated and sheet-like substrate in the first direction at a speed equal to or higher than the first speed. A first step in which the first sheet continues to peel from the base material at a branch point where the first sheet is divided into different directions and proceeds;
From the state in which the first step is performed, a second step of decelerating or stopping so that the conveyance speed of the base material is less than the first speed;
A third step of displacing the branch point relative to the first direction when viewed from the peeling point by reversely conveying the base material in a second direction that is opposite to the first direction. When,
By increasing the relative conveyance speed of the base material viewed from the branch point to the first speed or higher while displacing the branch point relative to the second direction as viewed from the peeling point, A sheet peeling method that repeats an intermittent operation including the fourth step for resuming the first step,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
Of the first sheet that is peeled off in the second step and the fourth step, a region where peeling is performed at a speed lower than the first speed is a defective region.
The peeling point is a point between the base material and the first sheet that becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
In the third step, the substrate is reversely conveyed so that the branch point moves away from the peeling point,
In the fourth step, the portion returned by the reverse conveyance in the third step is used as a run-up section, and the conveyance speed is set to the first time until the branch point coincides with the separation point again. A sheet peeling method that reduces the ratio of defective areas in the first sheet that is peeled by intermittent operation by reacceleration of the base material so as to be equal to or higher than the speed. 長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに第１速度以上で移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第Ａ１工程と、
前記第Ａ１工程が行なわれる状態から、前記基材から見た前記治具が、相対的な移動速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第Ａ２工程と、
前記治具を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させることによって、前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させる第Ａ３工程と、
前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する第Ａ４工程と、
前記治具が前記剥離点から見て相対的に前記第２の向きに移動を開始して相対的に前記第２の向きに第１速度以上となるように加速することによって、前記第Ａ１工程を再開する、第Ａ５工程とからなる間欠動作を繰り返す、シート剥離方法であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記第Ａ２工程および前記第Ａ５工程において剥離される、前記第１シートのうち、前記第１速度を下回る速度で剥離が行なわれている領域が、不良領域となるものであり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記第Ａ３工程においては、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記治具を前記剥離点から見て相対的に移動させ、
前記第Ａ５工程においては、前記第Ａ３工程において移動させた部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記基材から見た前記治具の相対的な移動速度が前記第１速度以上となるように、前記治具を加速することにより、間欠動作によって剥離される前記第１シートにおける、不良領域の比率を小さくする、シート剥離方法。 In a state where the first sheet with the base material in which the long first sheet is attached to the surface of the long and sheet-like base material is arranged in a direction in which the first direction is downstream, the first A jig is brought into contact with one of the sheet and the base material, and the one is bent along the jig, and the jig is relatively in the first direction as viewed from the base material. When the first sheet moves in a second direction, which is opposite to the first direction, at a speed equal to or higher than the first speed, the first sheet is moved to the base material at a branch point where the first sheet and the base material are divided into different directions. Step A1 that continues to peel from,
From the state where the first A1 step is performed, the jig viewed from the base material is decelerated or stopped so that the relative moving speed is less than the first speed, and the second A2 step,
By displacing relatively said first orientation to look at the jig from exfoliation point, and the A3 step of displacing relatively said first orientation to look at the branch point from the separation point,
A4 step of conveying the first sheet with the base material in the first direction;
The jig A starts to move relatively in the second direction as viewed from the peeling point and relatively accelerates in the second direction so as to be equal to or higher than the first speed. Resuming, repeating the intermittent operation consisting of step A5, a sheet peeling method,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
Of the first sheet that is peeled off in the A2 step and the A5 step, a region where peeling is performed at a speed lower than the first speed is a defective region.
The peeling point is a point between the base material and the first sheet that becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
In the step A3, the jig is relatively moved as viewed from the peeling point so that the branch point moves away from the peeling point,
In the step A5, the portion moved in the step A3 is used as a run-up section, and the jig viewed from the base material until the branch point coincides with the peeling point again. A sheet peeling method that reduces the ratio of defective areas in the first sheet that is peeled by an intermittent operation by accelerating the jig so that a relative moving speed is equal to or higher than the first speed. 長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを搬送する搬送装置と、
前記第１シートと前記基材とを異なる向きに分かれて進行させることによって分岐点において前記第１シートを前記基材から剥離させる分岐進行装置とを備え、
前記搬送装置は、
前記基材を第１の向きに第１速度以上の速度で搬送する定常搬送制御部と、
前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止するように搬送状況を制御する間欠動作制御部と、
前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに逆搬送することによって、前記分岐点を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させるように搬送状況を制御する逆搬送制御部と、
前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第２の向きに変位させつつ前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、前記定常搬送制御部による搬送のもとで前記第１シートを前記基材から剥離させ続ける状態を再開する再開制御部とによって制御されて間欠動作を繰り返す、シート剥離装置であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記間欠動作制御部および前記再開制御部に制御されて剥離される、前記第１シートのうち、前記第１速度を下回る速度で剥離が行なわれている領域が、不良領域となるものであり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記逆搬送制御部によって、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記基材を逆搬送し、
前記再開制御部によって、前記逆搬送制御部による逆搬送によって戻された部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記搬送速度が前記第１速度以上となるように、前記基材を再加速することにより、間欠動作によって剥離される前記第１シートにおける、不良領域の比率を小さくする、シート剥離装置。 A transport device for transporting a long and sheet-like base material to which a long first sheet is attached;
A branch advancing device for separating the first sheet and the base material in different directions to separate the first sheet from the base material at a branch point;
The transfer device
A steady conveyance control unit that conveys the base material in a first direction at a speed equal to or higher than a first speed;
An intermittent operation control unit that controls the conveyance state so as to decelerate or stop the conveyance speed of the base material to be less than the first speed;
By conveying the base material in the second direction opposite to the first direction, the substrate is transported so that the branch point is relatively displaced in the first direction when viewed from the peeling point. A reverse transfer control unit for controlling the situation;
By increasing the relative conveyance speed of the substrate viewed from the branch point to the first speed or higher while displacing the branch point in the second direction relative to the separation point, the steady state A sheet peeling apparatus that is controlled by a restart control unit that resumes a state in which the first sheet is continuously peeled from the base material under conveyance by a conveyance control unit and repeats an intermittent operation,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
Of the first sheet, which is peeled off under the intermittent operation control unit and the restart control unit, a region where peeling is performed at a speed lower than the first speed is a defective region.
The peeling point is a point between the base material and the first sheet, which becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
The reverse conveyance control unit reversely conveys the base material so that the branch point moves away from the peeling point,
The resumption control unit uses the portion returned by the reverse conveyance by the reverse conveyance control unit as a run-up section, and the conveyance speed is set to the first time until the branch point coincides with the separation point again. A sheet peeling apparatus that reduces the ratio of defective areas in the first sheet that is peeled by an intermittent operation by reacceleration of the base material so as to be equal to or higher than the speed. 長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で保持し、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離する治具制御装置と、
前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する搬送装置とを備え、
前記治具制御装置は、
前記分岐点を決定する治具と、
前記分岐点を剥離点から見て相対的に前記第１の向きに変位させるように前記治具を変位させる治具前進制御部と、
前記分岐点を前記剥離点から見て相対的に前記第２の向きに第１速度以上で変位させることができる治具後退制御部とによって制御されて間欠動作を繰り返す、シート剥離装置であって、
前記第１速度は、正常に剥離を行なえるために必要な最低限の速度であり、
前記治具前進制御部に制御されて剥離される、前記第１シートのうち、前記第１速度を下回る速度で剥離が行なわれている領域が、不良領域となるものであり、
前記剥離点は、前記基材と前記第１シートとの間の、剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点であり、
前記治具前進制御部によって、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように、前記治具を前記剥離点から見て相対的に移動させ、
前記治具後退制御部によって、前記分岐点が前記剥離点から離れていくように移動させた部分を助走区間として利用して、前記分岐点が再び前記剥離点と一致するまでの間に、前記基材から見た前記治具の相対的な移動速度が前記第１速度以上となるように、前記治具を加速することにより、間欠動作によって剥離される前記第１シートにおける、不良領域の比率を小さくする、シート剥離装置。 Holding the first sheet with the base material to which the long first sheet is attached to the surface of the long and sheet-like base material in a state where the first direction is arranged in the downstream direction, A jig is brought into contact with one of the first sheet and the base material, and the jig is relatively bent when viewed from the base material in a state where the one is bent along the jig. The first sheet peels from the base material at a branching point where the first sheet and the base material travel in different directions by moving in a second direction that is opposite to the direction of A jig control device;
A conveying device that conveys the first sheet with the substrate in the first direction;
The jig control device
A jig for determining the branch point;
And the jig forward control unit for displacing the jig to displace relative said first orientation to look at the branch point from peeling away point,
A sheet peeling apparatus that is controlled by a jig retraction control unit that can displace the branch point relative to the peeling point in the second direction at a speed equal to or higher than the first speed and repeats an intermittent operation. ,
The first speed is a minimum speed necessary for normal peeling,
Of the first sheet, which is peeled off under the control of the jig advance control unit, the region where peeling is performed at a speed lower than the first speed is a defective region.
The peeling point is a point between the base material and the first sheet that becomes a boundary between a section where peeling has already been performed and a section where peeling has not yet been performed,
The jig is moved relative to the peeling point so that the branch point moves away from the peeling point by the jig advance control unit,
Using the portion moved by the jig retraction control unit so that the branch point moves away from the separation point as a run-up section, until the branch point again coincides with the separation point, The ratio of the defective area in the first sheet peeled off by intermittent operation by accelerating the jig so that the relative moving speed of the jig seen from the base material is equal to or higher than the first speed. Sheet peeling device.
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