JP6589034B2 - トータルピッチ安定性が改善されているガラス - Google Patents
トータルピッチ安定性が改善されているガラス Download PDFInfo
- Publication number
- JP6589034B2 JP6589034B2 JP2018201543A JP2018201543A JP6589034B2 JP 6589034 B2 JP6589034 B2 JP 6589034B2 JP 2018201543 A JP2018201543 A JP 2018201543A JP 2018201543 A JP2018201543 A JP 2018201543A JP 6589034 B2 JP6589034 B2 JP 6589034B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- temperature
- less
- consolidation
- cao
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
- C03C3/093—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium containing zinc or zirconium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
- C03C3/087—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal containing calcium oxide, e.g. common sheet or container glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
- C03B17/06—Forming glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
- C03B17/06—Forming glass sheets
- C03B17/064—Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B25/00—Annealing glass products
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
(1)40ppmより小さい高温試験サイクル(HTTC)における圧密、
(2)5.5ppmより小さい低温試験サイクル(LTTC)における圧密、及び
(3)応力緩和試験サイクルにおける50%未満の緩和に調和する応力緩和率、
で測定されるような、トータルピッチ変動(TPV)が特に優れたガラス基板である。単一のガラス製品で3つの規準の全てを満たすことにより、最高解像度TFTサイクルに対して基板が受け入れられることが保証される。ガラス緩和の基礎的物理の最近の理解により、出願人等が3つの規準の全てを満たすガラスを開示することが可能になった。
SiO2 50〜85
Al2O3 0〜20
B2O3 0〜10
MgO 0〜20
CaO 0〜20
SrO 0〜20
BaO 0〜20
を含み、
0.9≦(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≦3
である。ここで、Al2O3,MgO,CaO,SrO,BaOはそれぞれの酸化物成分のモル%を表す。
SiO2 68〜74
Al2O3 10〜13
B2O3 0〜5
MgO 0〜6
CaO 4〜9
SrO 1〜8
BaO 0〜5
を含み、
1.05≦(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≦1.2
である。ここで、Al2O3,はMgO,CaO,SrO,BaOはそれぞれの酸化物成分のモル%を表す。
最小T35k−Tliq=0.25T35k−225
と表すことができる。ここで温度は全て℃単位である。したがって、開示されるガラスの別の態様はT35k−Tliq>0.25T35k−225℃であることである。
SO4 2―→SO2+O2+2e−
のような半反応を用いて書くことができる。ここで、e−は電子を表す。この半反応についての「平衡定数」は:
Keq=[SO2][O2][e−]2/[SO4 2―]
である。ここで、括弧は化学活量を表す。理想的には、SO2,O2及び2e−から硫酸塩を生成するように反応を進めさせたいであろう。硝酸塩、過酸化物またはその他の酸素に富む原材料の添加が役立ち得るが、溶融の早期段階においては硫酸塩低減に不利にはたらき得るし、これがまず第一にこれらの添加の効力を妨害し得る。SO2はほとんどのガラスにおいて溶解度が非常に低く、よってガラス溶融プロセスへの添加は実用的ではない。電子は還元された多価イオンによって「添加」することができる。例えば、第1鉄イオン(Fe2+)についての適切な電子供与半反応は:
2Fe2+→2Fe3++2e−
と表される。
(1)40ppmより小さい高温試験サイクル(HTTC)における圧密、
(2)5.5ppmより小さい低温試験サイクル(LTTC)における圧密、及び
(3)応力緩和試験サイクル(SRTC)における50%より小さい緩和と調和する応力緩和率、
で測定されるような、トータルピッチ変動(TPV)が特に優れたガラス基板である。3つの規準の全てを満たすことにより、基板は高解像度TFTサイクルに受容され得ることが保証される。これらの試験サイクルの簡単な説明は以下の通りである。
試料を箱形炉内で図1に示される温度プロファイルにしたがって熱処理した。初めに、炉を590℃よりやや高い温度に予備加熱した。次いで、重ねた5つの試料を炉の前面の小さなスリットを通して入炉させた。30分後、試料を出炉させて大気中で急冷した。試料が590℃のピーク温度にあった総時間は約18分であった。本開示の目的に対して、この試験の規準は高温試験サイクルまたはHTTCと定義されることになる。一実施形態において、HTTC圧密は40ppm以下である。別の実施形態において、HTTC圧密は38ppm以下である。別の実施形態において、HTTC圧密は36ppm以下である。別の実施形態において、HTTC圧密は30ppm以下である。別の実施形態において、HTTC圧密は25ppm以下である。別の実施形態において、HTTC圧密は20ppm以下である。
一般的なTFTアレイまたはCF基板温度サイクルで生じる熱圧密の大きさは、信頼できる品質保証測定を行うには不十分である。性能の実変化の識別を可能にする、より大きな圧密信号を達成するため、450℃/1時間の温度サイクルが用いられる。重ねた5つの試料(4つが実験試料で、1つは対照試料)を入炉させる前に、炉は450℃の直上の温度に保持される。炉が目標保持温度まで回復するにはほぼ7分が必要である。試料は450℃で1時間保持され、次いで出炉されて室温におかれる。一例の温度トレースが図2に示される。本開示の目的に対し、この試験の規準は低温試験サイクルまたはLTTCと定義されることになる。一実施形態において、LTTC圧密は5.5ppm以下である。別の実施形態において、LTTC圧密は5ppm以下である。別の実施形態において、LTTC圧密は4.6ppm以下である。
ガラス板を切断して10.00mm幅の角材にした。ガラスの厚さは成形されたままの厚さ(0.5mmと0.7mmの間)に維持した。抵抗加熱電気炉内部におかれた2つの支持剛体上にガラス試料を載せ、角材の中心のごく近くにSタイプ熱電対を配置し、プッシュロッド位置を調節することで、応力緩和実験を開始した。2つの支持剛体の支間は88.90mmであった。室温においてプッシュロッドの下端をガラスの表面の上方約5mmにおいた。炉の温度を650℃の最終実験温度まで急速に上げ、炉の内部におかれた全てのパーツの熱平衡を達成するために約5分間そのままにしておいた。プッシュロッドを2.54mm/分の速度で下降させ、ロードセル(LC)の信号をモニタすることで実験を続けた。これはガラス角材とのプッシュロッドの接触を見いだすために行った。LC信号が0.1ポンド(45.4g)に達すると、LC信号は荷重速度を10.16mm/分に増速をさせた。角柱の中心撓みが最終目標値(例えば、2.54mm)に達したときに荷重印加を停止し、プログラムを応力制御モードから歪制御モードに切り換えた。実験の残りの間、歪を一定に保ち、応力は可変とした。プッシュロッドのガラスへの最初の接触から2.54mmの最大歪に達する時点までの総時間は約12秒であった。数時間のデータが集まった後に実験を終了した。炉コントローラの比例−積分−微分パラメータの慎重な最適化により、等温保持の開始時に有意な温度オーバーシュートは見られなかったことは注目すべきである。
上記の3つの測定は、高温及び低温における構造緩和(すなわち圧密)並びに応力緩和の、熱プロセス下におけるトータルピッチ変動に対する主駆動機構を取り込んでいるから、ガラス基板のトータルピッチ変動性能を表すことができる。歴史的に、トータルピッチ変動への圧密の寄与は、顧客のTFTプロセスにおいて目合わせマークは後からおかれるから、高温挙動によって支配され、これらのプロセスにおける早期の低温プロセスの多くは無関係とされていた。高温圧密はHTTC圧密によって表され、製造中のガラスリボンの冷却速度を低める、ガラスシートをオフラインでアニールする、及び/または(T(ann)によって捕捉されるような)ガラスの粘度を高めることで低減される。図3はT(ann)が高くなるにともなう圧密の全体的な減少を示し、主な例外はガラスが(フュージョンドロープロセスの代わりにフロートプロセスによるような)かなり異なる熱履歴をもってつくられていることである。これはガラス製造業者が以前はトータルピッチをどのように扱っていたかを示す。ガラス製造業者は問題の温度領域(すなわち、高温領域)における圧密を抑えるため、冷却速度を低め、及び/またはアニール点を高めていた。
1.ガラスにおいて、以下の性能規準、
A:LTTCにおける圧密が5.5ppm以下、
B:HTTCにおける圧密が40ppm以下、
C:SRTCにおける誘起応力の緩和が50%より小さい、
を示すガラス。
2.酸化物基準のモル%で、SiO2 50〜85,Al2O3 0〜20,B2O3 0〜10,MgO 0〜20,CaO 0〜20,SrO 0〜20,BaO 0〜20を含む実施態様1記載のガラス。
3.酸化物基準のモル%で、SiO2 68〜74,Al2O3 10〜13,B2O3 0〜5,MgO 0〜6,CaO 4〜9,SrO 1〜8,BaO 0〜5を含む実施態様1記載のガラス。
4.As2O3及びSb2O3の含有量が約0.005モル%より少ない実施態様1記載のガラス。
5.前記ガラスの内、Li2O,Na2O,K2Oまたはこれらの組合せの含有量が約0.1モル%より少ない実施態様1記載のガラス。
6.1.05≦(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≦1.2である(ここでAl2O3,MgO,CaO,SrO及びBaOは酸化物成分のモル%を表す)実施態様1記載のガラス。
7.1.05≦(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≦1.4である(ここでAl2O3,MgO,CaO,SrO及びBaOは酸化物成分のモル%を表す)実施態様1記載のガラス。
8.765℃より高いアニール点を有する実施態様1記載のガラス。
9.T35k−Tliq>0.25T35k−225℃である実施態様1記載のガラス。
10.T35k<1310℃である実施態様1記載のガラス。
11.28〜42×10−7/℃の間のCTEを有する実施態様1記載のガラス。
12.0.5mm厚で、50%より高い300nmでの透過率を有する実施態様1記載のガラス。
13.2.3g/cm3〜2.6g/cm3の間の密度を有する実施態様1記載のガラス。
14.75GPa〜85GPaの間のヤング率を有する実施態様1記載のガラス。
15.LTTCにおける圧密が5ppm、または5ppm未満である実施態様1記載のガラス。
16.LTTCにおける圧密が4.6ppm、または4.6ppm未満である実施態様1記載のガラス。
17.HTTCにおける圧密が38ppm、または38ppm未満である実施態様1記載のガラス。
18.HTTCにおける圧密が36ppm、または36ppm未満である実施態様1記載のガラス。
19.SRTCにおける誘起応力の緩和が45%より小さい実施態様1記載のガラス。
20.SRTCにおける誘起応力の緩和が40%より小さい実施態様1記載のガラス。
Claims (19)
- 薄膜トランジスタ製造プロセスの間におけるガラス基板のトータルピッチ変動を低減する方法において、
酸化物基準のモル%で、
SiO2 68〜74、
Al2O3 10〜13、
B2O3 0〜5、
MgO 0〜6、
CaO 4〜9、
SrO 1〜8、
BaO 0〜5
を含み、775℃以上のアニール点を有するガラスを作成する工程、および
以下の性能規準、
(i)5.5ppm以下のLTTCにおける圧密、
(ii)40ppm以下のHTTCにおける圧密、および
(iii)50%より小さいSRTCにおける誘起応力の緩和、
を満たすかについて前記ガラスを試験して、前記(i)〜(iii)の性能基準の全てを満たすガラスを選択する工程を含む、方法。 - 前記ガラスが、5ppm以下のLTTCにおける圧密を有する、請求項1記載の方法。
- 前記ガラスが、4.6ppm以下のLTTCにおける圧密を有する、請求項1記載の方法。
- 前記ガラスが、38ppm以下のHTTCにおける圧密を有する、請求項1から3いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、36ppm以下のHTTCにおける圧密を有する、請求項1から3いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、45%より小さいSRTCにおける誘起応力の緩和を有する、請求項1から5いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、40%より小さいSRTCにおける誘起応力の緩和を有する、請求項1から5いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスにおけるAs2O3及びSb2O3の含有量が0.005モル%より少ない、請求項1から7いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスにおけるLi2O、Na2O、K2Oまたはこれらの組合せの含有量が0.1モル%より少ない、請求項1から8いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、1.05≦(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≦1.6を満たし、ここでAl2O3,MgO,CaO,SrO及びBaOは酸化物成分のモル%を表す、請求項1から9いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、1.05≦(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≦1.4を満たし、ここでAl2O3,MgO,CaO,SrO及びBaOは酸化物成分のモル%を表す、請求項1から9いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、1.05≦(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≦1.2を満たし、ここでAl2O3,MgO,CaO,SrO及びBaOは酸化物成分のモル%を表す、請求項1から9いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、785℃より高いアニール点を有する、請求項1から12いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、T35k−Tliq>0.25T35k−225℃を満たす、請求項1から13いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、T35k<1310℃を有する、請求項1から14いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、0〜300℃の温度範囲に亘り28〜42×10−7/℃のCTEを有する、請求項1から15いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、0.5mmの厚さで50%より高い300nmでの透過率を示す、請求項1から16いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、2.3g/cm3〜2.6g/cm3の間の密度を有する、請求項1から17いずれか1項記載の方法。
- 前記ガラスが、75GPa〜85GPaの間のヤング率を有する、請求項1から18いずれか1項記載の方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201261740790P | 2012-12-21 | 2012-12-21 | |
US61/740,790 | 2012-12-21 | ||
US201361909612P | 2013-11-27 | 2013-11-27 | |
US61/909,612 | 2013-11-27 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016077912A Division JP2016155753A (ja) | 2012-12-21 | 2016-04-08 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019048767A JP2019048767A (ja) | 2019-03-28 |
JP6589034B2 true JP6589034B2 (ja) | 2019-10-09 |
Family
ID=49917775
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015549720A Active JP6134997B2 (ja) | 2012-12-21 | 2013-12-19 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
JP2015198514A Pending JP2016011255A (ja) | 2012-12-21 | 2015-10-06 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
JP2015198516A Active JP6152576B2 (ja) | 2012-12-21 | 2015-10-06 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
JP2016077912A Pending JP2016155753A (ja) | 2012-12-21 | 2016-04-08 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
JP2018201543A Active JP6589034B2 (ja) | 2012-12-21 | 2018-10-26 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
Family Applications Before (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015549720A Active JP6134997B2 (ja) | 2012-12-21 | 2013-12-19 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
JP2015198514A Pending JP2016011255A (ja) | 2012-12-21 | 2015-10-06 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
JP2015198516A Active JP6152576B2 (ja) | 2012-12-21 | 2015-10-06 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
JP2016077912A Pending JP2016155753A (ja) | 2012-12-21 | 2016-04-08 | トータルピッチ安定性が改善されているガラス |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US9051206B2 (ja) |
EP (3) | EP2935134B1 (ja) |
JP (5) | JP6134997B2 (ja) |
KR (4) | KR101632546B1 (ja) |
CN (4) | CN105399326A (ja) |
TW (3) | TWI574930B (ja) |
WO (1) | WO2014100432A1 (ja) |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9162919B2 (en) * | 2012-02-28 | 2015-10-20 | Corning Incorporated | High strain point aluminosilicate glasses |
US9359251B2 (en) | 2012-02-29 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Ion exchanged glasses via non-error function compressive stress profiles |
CN105008297A (zh) * | 2013-01-31 | 2015-10-28 | 康宁股份有限公司 | 假想化的玻璃及其制备方法 |
US9150448B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-10-06 | Corning Incorporated | Dimensionally-stable, damage-resistant, glass sheets |
DE102013102848B3 (de) * | 2013-03-20 | 2014-02-06 | Schott Ag | Hochbrechende Dünngläser, Verfahren zu deren Herstellung, Schichtverbund und Verwendung |
JP6365826B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2018-08-01 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
KR102249898B1 (ko) * | 2013-11-28 | 2021-05-11 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 기판, 및 무알칼리 유리 기판의 박판화 방법 |
TWI697403B (zh) | 2014-06-19 | 2020-07-01 | 美商康寧公司 | 無易碎應力分布曲線的玻璃 |
CN106573450B (zh) * | 2014-08-13 | 2019-08-02 | 康宁公司 | 中间cte玻璃和包括这种玻璃的玻璃制品 |
JP6575223B2 (ja) * | 2014-08-27 | 2019-09-18 | Agc株式会社 | 無アルカリガラス |
CN107001114A (zh) * | 2014-09-30 | 2017-08-01 | 康宁股份有限公司 | 用于影响玻璃片中的压缩的方法和玻璃制造系统 |
EP3204338B1 (en) | 2014-10-08 | 2021-11-17 | Corning Incorporated | Glasses and glass ceramics including a metal oxide concentration gradient |
WO2016069821A1 (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-06 | Corning Incorporated | Dimensionally stable fast etching glasses |
JPWO2016084952A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2017-10-05 | 旭硝子株式会社 | 液晶ディスプレイパネル |
US10562272B2 (en) * | 2014-12-08 | 2020-02-18 | Corning Incorporated | Laminated glass article with low compaction and method for forming the same |
JP7060915B2 (ja) * | 2014-12-12 | 2022-04-27 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
KR101632614B1 (ko) * | 2014-12-24 | 2016-06-22 | 코닝정밀소재 주식회사 | 유기발광소자용 광추출 기판 제조방법, 유기발광소자용 광추출 기판 및 이를 포함하는 유기발광소자 |
JP7182871B2 (ja) * | 2015-04-03 | 2022-12-05 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
CN107531539A (zh) * | 2015-05-15 | 2018-01-02 | 日本电气硝子株式会社 | 强化玻璃板的制造方法、强化用玻璃板及强化玻璃板 |
JP6673354B2 (ja) * | 2015-07-03 | 2020-03-25 | Agc株式会社 | キャリア基板、積層体、電子デバイスの製造方法 |
US11613103B2 (en) | 2015-07-21 | 2023-03-28 | Corning Incorporated | Glass articles exhibiting improved fracture performance |
US9701569B2 (en) | 2015-07-21 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Glass articles exhibiting improved fracture performance |
US20180319700A1 (en) * | 2015-12-01 | 2018-11-08 | Kornerstone Materials Technology Company, Ltd. | Low-boron, barium-free, alkaline earth aluminosilicate glass and its applications |
EP3909927A1 (en) | 2015-12-11 | 2021-11-17 | Corning Incorporated | Fusion-formable glass-based articles including a metal oxide concentration gradient |
CN105601105B (zh) * | 2015-12-30 | 2018-09-07 | 芜湖东旭光电装备技术有限公司 | 一种玻璃用组合物、低脆性无碱玻璃及其制备方法和应用 |
TWI774655B (zh) * | 2016-02-22 | 2022-08-21 | 美商康寧公司 | 無鹼硼鋁矽酸鹽玻璃 |
CN105753329B (zh) * | 2016-03-15 | 2018-07-31 | 巨石集团有限公司 | 一种高性能玻璃纤维组合物及其玻璃纤维和复合材料 |
DE202017007024U1 (de) | 2016-04-08 | 2019-03-25 | Corning Incorporated | Glasbasierte Artikel einschließlich eines Spannungsprofils, das zwei Gebiete umfasst |
EP3429972A1 (en) | 2016-04-08 | 2019-01-23 | Corning Incorporated | Glass-based articles including a metal oxide concentration gradient |
CN109641782B (zh) * | 2016-08-23 | 2022-10-28 | Agc株式会社 | 无碱玻璃 |
JP7145147B2 (ja) * | 2016-09-16 | 2022-09-30 | コーニング インコーポレイテッド | アルカリ土類酸化物を改質剤として含む高透過性ガラス |
KR102106613B1 (ko) * | 2016-10-13 | 2020-05-04 | 주식회사 엘지화학 | 열적 안정성을 나타내는 무알칼리 유리 조성물 및 그로부터 제조된 고변형점 무알칼리 유리 |
CN109843817B (zh) | 2016-12-20 | 2021-11-02 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃 |
RU2642732C1 (ru) * | 2016-12-23 | 2018-01-25 | Юлия Алексеевна Щепочкина | Стекло |
KR20230165865A (ko) * | 2016-12-28 | 2023-12-05 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리 |
JP7113827B2 (ja) * | 2016-12-29 | 2022-08-05 | コーニング インコーポレイテッド | 耐ソラリゼーション性の希土類ドープガラス |
JP6972598B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2021-11-24 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板及びその製造方法 |
CN107032604A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-08-11 | 东旭科技集团有限公司 | 玻璃用组合物、碱土铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用 |
TWI766041B (zh) * | 2017-06-14 | 2022-06-01 | 美商康寧公司 | 控制壓實的方法 |
TW201912597A (zh) | 2017-08-24 | 2019-04-01 | 美商康寧公司 | 用於選擇性地改變玻璃基製品的虛擬溫度之方法及設備 |
CN109809687A (zh) * | 2017-11-21 | 2019-05-28 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种用于高分辨率显示器的基板玻璃 |
JP6787872B2 (ja) * | 2017-11-28 | 2020-11-18 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス板 |
US10829408B2 (en) * | 2017-12-13 | 2020-11-10 | Corning Incorporated | Glass-ceramics and methods of making the same |
TWI809029B (zh) | 2018-01-15 | 2023-07-21 | 美商康寧公司 | 尺度上穩定快速地蝕刻玻璃 |
CN112384484A (zh) * | 2018-06-19 | 2021-02-19 | 康宁公司 | 高应变点且高杨氏模量玻璃 |
EP3856695A4 (en) * | 2018-09-25 | 2022-06-29 | Corning Incorporated | Dimensionally stable glasses |
JP7478340B2 (ja) * | 2018-10-17 | 2024-05-07 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス板 |
WO2021019654A1 (ja) * | 2019-07-29 | 2021-02-04 | Agc株式会社 | 支持ガラス基板 |
CN110746111A (zh) * | 2019-09-29 | 2020-02-04 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种玻璃基板及其作为玻璃衬底的应用 |
CN116529211A (zh) * | 2020-09-25 | 2023-08-01 | 康宁股份有限公司 | 具有改善的掉落性能的玻璃基制品的应力分布曲线 |
CN112881196A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-06-01 | 清华大学深圳国际研究生院 | 一种玻璃材料高温粘弹性参数检测方法 |
KR20240089604A (ko) * | 2021-11-10 | 2024-06-20 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리판 |
WO2024142807A1 (ja) * | 2022-12-26 | 2024-07-04 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス基板 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL206950A (ja) * | 1956-04-23 | 1900-01-01 | ||
US3338696A (en) | 1964-05-06 | 1967-08-29 | Corning Glass Works | Sheet forming apparatus |
BE757057A (fr) | 1969-10-06 | 1971-04-05 | Corning Glass Works | Procede et appareil de controle d'epaisseur d'une feuille de verre nouvellement etiree |
JP3901757B2 (ja) * | 1994-11-30 | 2007-04-04 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス、液晶ディスプレイパネルおよびガラス板 |
US6169047B1 (en) | 1994-11-30 | 2001-01-02 | Asahi Glass Company Ltd. | Alkali-free glass and flat panel display |
JP3800657B2 (ja) * | 1996-03-28 | 2006-07-26 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびフラットディスプレイパネル |
JP3988209B2 (ja) * | 1996-06-03 | 2007-10-10 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび液晶ディスプレイパネル |
JP3804112B2 (ja) * | 1996-07-29 | 2006-08-02 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス、無アルカリガラスの製造方法およびフラットディスプレイパネル |
JP2000044278A (ja) * | 1998-05-20 | 2000-02-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板 |
US6753279B2 (en) * | 2001-10-30 | 2004-06-22 | Corning Incorporated | Glass composition for display panels |
JP4305817B2 (ja) | 2002-12-11 | 2009-07-29 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
DE112004000553T5 (de) * | 2003-03-31 | 2006-03-02 | Asahi Glass Co., Ltd. | Alkalifreies Glas |
US7207193B2 (en) * | 2003-12-08 | 2007-04-24 | Corning Incorporated | Method of fabricating low-warp flat glass |
EP1746076A1 (en) * | 2005-07-21 | 2007-01-24 | Corning Incorporated | Method of making a glass sheet using rapid cooling |
CN101400614B (zh) * | 2006-02-10 | 2013-03-27 | 康宁股份有限公司 | 具有高的热稳定性和化学稳定性的玻璃组合物及其制备方法 |
US8007913B2 (en) * | 2006-02-10 | 2011-08-30 | Corning Incorporated | Laminated glass articles and methods of making thereof |
TWI388520B (zh) * | 2006-11-01 | 2013-03-11 | Corning Inc | 硼鋁酸矽酸鹽玻璃澄清 |
CN101092280B (zh) * | 2007-06-07 | 2012-01-18 | 河南安彩高科股份有限公司 | 铝硼硅酸盐玻璃组合物及其应用 |
US7709406B2 (en) * | 2007-07-31 | 2010-05-04 | Corning Incorporation | Glass compositions compatible with downdraw processing and methods of making and using thereof |
JP5233998B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2013-07-10 | 旭硝子株式会社 | ガラス板およびその製造方法ならびにtftパネルの製造方法 |
JP5327702B2 (ja) | 2008-01-21 | 2013-10-30 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス基板の製造方法 |
US8187715B2 (en) * | 2008-05-13 | 2012-05-29 | Corning Incorporated | Rare-earth-containing glass material and substrate and device comprising such substrate |
RU2010154445A (ru) * | 2008-05-30 | 2012-07-10 | Фостер Вилер Энергия Ой (Fi) | Способ и система для генерации энергии путем сжигания в чистом кислороде |
US8713967B2 (en) * | 2008-11-21 | 2014-05-06 | Corning Incorporated | Stable glass sheet and method for making same |
JP5712922B2 (ja) * | 2009-07-02 | 2015-05-07 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその製造方法 |
CN102574725B (zh) * | 2009-10-19 | 2014-12-17 | 旭硝子株式会社 | 基板用玻璃板、其制造方法及tft面板的制造方法 |
US20110265516A1 (en) | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Douglas Clippinger Allan | Compositional control of fast relaxation in display glasses |
US8598056B2 (en) * | 2010-10-06 | 2013-12-03 | Corning Incorporated | Alkali-free glass compositions having high thermal and chemical stability |
JP5874316B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2016-03-02 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
JP5729673B2 (ja) * | 2010-12-06 | 2015-06-03 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
KR101927555B1 (ko) | 2011-01-25 | 2018-12-10 | 코닝 인코포레이티드 | 높은 열적 및 화학적 안정성을 갖는 유리 조성물 |
US9162919B2 (en) | 2012-02-28 | 2015-10-20 | Corning Incorporated | High strain point aluminosilicate glasses |
JP6037117B2 (ja) * | 2012-12-14 | 2016-11-30 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス及びガラス基板 |
-
2013
- 2013-12-19 CN CN201510924820.4A patent/CN105399326A/zh active Pending
- 2013-12-19 US US14/134,292 patent/US9051206B2/en active Active
- 2013-12-19 EP EP13817832.2A patent/EP2935134B1/en active Active
- 2013-12-19 JP JP2015549720A patent/JP6134997B2/ja active Active
- 2013-12-19 EP EP18197641.6A patent/EP3444229A1/en active Pending
- 2013-12-19 KR KR1020157019784A patent/KR101632546B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-19 CN CN201911070874.3A patent/CN110698057A/zh active Pending
- 2013-12-19 TW TW104134221A patent/TWI574930B/zh active
- 2013-12-19 WO PCT/US2013/076608 patent/WO2014100432A1/en active Application Filing
- 2013-12-19 TW TW104134218A patent/TWI598313B/zh active
- 2013-12-19 EP EP18197636.6A patent/EP3447034A3/en active Pending
- 2013-12-19 KR KR1020167010077A patent/KR102029530B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-19 KR KR1020157026764A patent/KR101872577B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-19 TW TW102147209A patent/TWI510446B/zh active
- 2013-12-19 CN CN201510922176.7A patent/CN105314848A/zh active Pending
- 2013-12-19 KR KR1020157026763A patent/KR101872576B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-19 CN CN201380067484.5A patent/CN105164068A/zh active Pending
-
2014
- 2014-05-15 US US14/278,687 patent/US8975198B2/en active Active
-
2015
- 2015-06-02 US US14/728,635 patent/US9328013B2/en active Active
- 2015-10-06 JP JP2015198514A patent/JP2016011255A/ja active Pending
- 2015-10-06 JP JP2015198516A patent/JP6152576B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-19 US US15/048,452 patent/US9573839B2/en active Active
- 2016-04-08 JP JP2016077912A patent/JP2016155753A/ja active Pending
-
2017
- 2017-02-06 US US15/425,214 patent/US9919952B2/en active Active
-
2018
- 2018-10-26 JP JP2018201543A patent/JP6589034B2/ja active Active
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6589034B2 (ja) | トータルピッチ安定性が改善されているガラス | |
US9802857B2 (en) | Dimensionally stable fast etching glasses | |
JP6149320B2 (ja) | 寸法安定性抗損傷性ガラス板 | |
KR20170008278A (ko) | 알루미노실리케이트 유리 | |
KR20240060711A (ko) | 치수적으로 안정한 급속 에칭 유리 | |
KR102673755B1 (ko) | 고 변형점 및 고 영률 유리 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190913 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6589034 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |