JP6583755B2 - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
ΔL2=ΔYo×(1+cosθ)+ΔZo×sinθ …(2)
従って、式(1)、(2)からΔZo及びΔYoは次式(3)、(4)で求められる。
ΔYo=(ΔL1+ΔL2)/{2(1+cosθ)} …(4)
Δθy≒(ΔZoL−ΔZoR)/D …(6)
従って、主制御装置20は、上記式(3)〜式(6)を用いることで、Z干渉計43A、43Bの計測結果に基づいて、ウエハステージWSTの4自由度の変位ΔZo、ΔYo、Δθz、Δθyを算出することができる。
+2KΔZ(cosθb1+cosθb0−cosθa1−cosθa0)…(7)
ここで、KΔLは、2つの光束LB1,LB2の光路差ΔLに起因する位相差、ΔYは、反射型回折格子RGの+Y方向の変位、ΔZは、反射型回折格子RGの+Z方向の変位、pは回折格子のピッチ、nb,naは上述の各回折光の回折次数である。
その場合、式(7)の右辺第3項の括弧内は零になり、同時にnb=−na(=n)を満たすので、次式(9)が得られる。
上式(9)より、位相差φsymは光の波長に依存しないことがわかる。
Δx=g(z,θy,θz)=θy(z−c)+θz(z−d) ……(11)
上式(10)において、aは、図12のグラフの、各直線が交わる点のZ座標であり、bは、Yエンコーダの補正情報の取得のためにヨーイング量を変化させた場合の図12と同様のグラフの、各直線が交わる点のZ座標である。また、上式(11)において、cは、Xエンコーダの補正情報の取得のためにローリング量を変化させた場合の図12と同様のグラフの、各直線が交わる点のZ座標であり、dは、Xエンコーダの補正情報の取得のためにヨーイング量を変化させた場合の図12と同様のグラフの、各直線が交わる点のZ座標である。
hC=(yC1−yC0)/φ ……(13)
hD=(xD1−xD0)/φ ……(15)
上式(12)、(13)からわかるように、ウエハステージWSTのピッチング量をφxとすると、ウエハステージWSTのピッチングに伴う、Yエンコーダ70A,70Cのアッベ誤差ΔAA、ΔACは、次式(16)、(17)で表せる。
ΔAC=hC・φx ……(17)
ΔAD=hD・φy ……(19)
CY=r’・ey’ …(20b)
ここで、ex’,ey’は、ウエハステージWSTにのった相対座標系(X’,Y’,θz’)におけるX’,Y’単位ベクトルで、基準座標系(X,Y,θz)におけるX,Y単位ベクトルex,eyと、次式(21)の関係がある。
CY=−(p−X)sinθz+(q−Y)cosθz ……(22b)
C2=−(p2−X)sinθz+(q2−Y)cosθz ……(23b)
C3= (p3−X)cosθz+(q3−Y)sinθz ……(23c)
C4=X+p4・cosθz−q4・sinθz ……(24)
上式(24)において、p4、q4は、エンコーダEnc4のX座標値、Y座標値である。エンコーダEnc4のY座標値q4として前述のヘッド位置のキャリブレーションの際に取得した計測ビームの照射点の位置情報が、エンコーダEnc4のX座標値p4としては、計測ビームの照射点の設計上の位置情報が、メモリ34内からそれぞれ読み出されて用いられる。
C3= (p3−X)cosθz+(q3−Y)sinθz …(23c)
C4= (p4−X)cosθz+(q4−Y)sinθz …(23d)
なお、4つめのエンコーダがYヘッドの場合には、理論式(23d)の代わりに次の理論式(23e)を用いた連立方程式(23b)(23c)(23e)を用いれば良い。
本実施形態では、ウエハステージWSTの3自由度(X,Y,θz)方向の位置座標を計測するために、常時、エンコーダシステム70A〜70Dを構成するXエンコーダ(ヘッド)及びYエンコーダ(ヘッド)の内、少なくとも1つのXヘッドと少なくとも2つのYヘッドを含む少なくとも3つのヘッドを使用している。そのため、ウエハステージWSTの移動に伴って使用するヘッドを切り換える際には、切り換えの前後でステージ位置の計測結果を連続につなぐために、3つのヘッドの組み合わせから別の3つのヘッドの組み合わせへと切り換える方式を採用している。この方式を、第1方式と呼ぶことにする。
CY4=−(p4−X)sinθz+(q4−Y)cosθz ……(25b)
ここで、(p3,q3),(p4,q4)はYヘッド64C3,64C4のX,Y設置位置(より正確には計測点(検出点)のX,Y位置)である。簡単のため、Yヘッド64C3,64C4のY設置位置は等しい(q3=q4)と仮定する。この仮定の下、上式(25a)(25b)より、次式(26)が得られる。
従って、後に停止される第1ヘッド64C3の計測値を上式(26)の右辺のCY3に代入して、左辺のCY4を求めることにより、新たに使用する第2ヘッド64C4の計測値を予測することができる。
ここで、(pA,qA)はYヘッド64AのX,Y設置位置(より正確には計測点のX,Y位置)である。簡単のため、Yヘッド64AのY設置位置qAは、Yヘッド64C3,64C4のY設置位置q3,q4と等しい(qA=q3=q4)と仮定する。
ただし、定数c=(p3−p4)/(qA−q3)と置いた。従って、Yヘッド64C3,64Aの計測値のそれぞれを上式(27)の右辺のCY3,CYAに代入して左辺のCY4を求めることにより、新たに使用するYヘッド64C4の計測値を予測することができる。
Claims (52)
- 投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系を支持するフレーム部材と、
前記投影光学系の上方に配置され、前記照明光で照明されるマスクを保持する第1ステージと、前記第1ステージを駆動する第1モータを含む第1駆動系と、を有し、少なくとも前記投影光学系の光軸と直交する所定面内の第1方向に関して前記第1ステージを移動するマスクステージシステムと、
前記投影光学系の下方に配置され、前記基板を保持する第2ステージと、前記第2ステージを駆動する第2モータを含む第2駆動系と、を有し、少なくとも前記所定面内で互いに直交する前記第1方向および第2方向に関して前記第2ステージを移動する基板ステージシステムと、
前記第1、第2ステージの位置情報をそれぞれ計測する第1、第2計測装置と、前記第2計測装置は、前記第2ステージに格子部とヘッドとの一方が設けられ、前記格子部と前記ヘッドとの他方が前記第2ステージと対向するように前記フレーム部材に設けられ、前記格子部と対向する複数の前記ヘッドによって、前記第2ステージの位置情報を計測するエンコーダシステムを有し、
前記第1、第2駆動系および前記第1、第2計測装置と接続され、前記基板の露光動作において、前記第1方向を走査方向として前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動する走査露光が行われるとともに、前記所定面と直交する第3方向に関する、前記第2ステージの位置制御又は位置合わせのための基準面あるいは前記露光動作において前記基板が一致する基準面の位置と、前記格子部の格子面の位置との差に起因して生じる、前記基準面と平行な前記所定面に対する前記第2ステージの傾斜角に応じたアッベ誤差を含む前記エンコーダシステムの計測誤差が補償されるように、前記計測誤差を補償するための補正情報と、前記第1、第2計測装置の計測情報と、に基づいて前記第1、第2駆動系を制御するコントローラと、を備える露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記露光動作において、前記格子部と対向する少なくとも3つの前記ヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測され、
前記所定面と平行な方向に関する前記第2ステージの移動によって、前記少なくとも3つのヘッドの1つが別のヘッドに切り換えられ、
前記切換後、前記少なくとも3つのヘッドのうち前記1つのヘッドを除く残りのヘッドと、前記別のヘッドと、を含む少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される露光装置。 - 請求項2に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記切換前に用いられる少なくとも3つのヘッドから得られる位置情報に基づいて、前記別のヘッドから得られる位置情報の補正情報を取得し、
前記補正情報は、前記別のヘッドを含む前記少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される前記露光動作の一部において用いられる露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記切換前に用いられる少なくとも3つのヘッド、および前記別のヘッドがそれぞれ前記格子部と対向している間に取得される露光装置。 - 請求項2〜4のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記切換は、前記切換前に用いられる少なくとも3つのヘッド、および前記別のヘッドがそれぞれ前記格子部と対向している間に行われる露光装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部と対向する4つ又は3つの前記ヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測されるとともに、前記第2ステージの移動によって、前記格子部と対向するヘッドが前記4つのヘッドと前記3つのヘッドとの一方から他方に変更される露光装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記所定面と平行な方向に関して周期的な反射型格子がそれぞれ設けられる4つのスケール部材を有し、
前記露光動作において、前記4つのスケール部材の少なくとも3つとそれぞれ対向する前記少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される露光装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記所定面と平行な方向に関して周期的な反射型格子が設けられるとともに、前記所定面と実質的に平行となるように配置される4つのスケール部材を有し、
前記格子部と前記ヘッドとの他方は、前記フレーム部材から支持部材を介して吊り下げ支持される露光装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記所定面と平行な方向に関して周期的な反射型格子が設けられるとともに、前記所定面と実質的に平行となるように配置される4つのスケール部材を有し、
前記第2ステージは、前記ヘッドが設けられるとともに、前記格子部の下方で移動される露光装置。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記基準面は、前記投影光学系の像面である露光装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1計測装置は、前記エンコーダシステムと異なるエンコーダシステムを有し、前記露光動作において前記異なるエンコーダシステムによって前記第1ステージの位置情報を計測する露光装置。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記所定面と平行な方向に関する前記第2ステージの移動によって、前記複数のヘッドのうち1つのヘッドの代わりに前記格子部と対向する、前記複数のヘッドと異なる別のヘッドと、前記複数のヘッドのうち前記1つのヘッドを除く残りのヘッドと、を含む複数のヘッドが前記格子部と対向し、
前記コントローラは、前記露光動作において、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報に基づいて前記第2駆動系を制御するとともに、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報の代わりに前記別のヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報に基づいて前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項12に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報に基づいて、前記別のヘッドから得られる位置情報の補正情報を取得し、
前記補正情報は、前記別のヘッドを含む前記複数のヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される前記露光動作の一部において用いられる露光装置。 - 請求項13に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッド、および前記別のヘッドがそれぞれ前記格子部と対向している間に取得される露光装置。 - 請求項12〜14のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記所定面と平行な方向に関して周期的な反射型格子がそれぞれ設けられる4つのスケール部材を有し、
前記露光動作において、前記4つのスケール部材の少なくとも3つとそれぞれ対向する少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測され、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッド、および前記別のヘッドは、前記4つのスケール部材とそれぞれ対向する4つのヘッドである露光装置。 - 請求項15に記載の露光装置において、
前記露光動作において、前記4つのスケール部材の4つ又は3つとそれぞれ対向する4つ又は3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測され、前記所定面と平行な方向に関する前記第2ステージの移動によって、前記4つのスケール部材と前記4つのヘッドがそれぞれ対向する第1状態と、前記3つのスケール部材と前記3つのヘッドがそれぞれ対向する第2状態との一方から他方に変化する露光装置。 - 請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影光学系の複数の光学素子のうち最も像面側に配置されるレンズを囲むように設けられるとともに、前記基板が対向して配置される下面を有し、前記レンズの下に液体で局所的に液浸領域を形成するノズル部材を、さらに備え、
前記露光動作において、前記第2ステージによって前記基板が前記ノズル部材の下面と対向して配置されるとともに、前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して前記照明光で前記基板が露光される露光装置。 - 請求項17に記載の露光装置において、
前記格子部と前記ヘッドとの他方は、前記投影光学系に対して前記ノズル部材の外側に配置されるように前記フレーム部材に吊り下げ支持される露光装置。 - 請求項17又は18に記載の露光装置において、
前記ノズル部材は、前記下面が前記レンズの射出面より低く配置されるように、前記フレーム部材、あるいは前記フレーム部材と別のフレーム部材に設けられる露光装置。 - 請求項17〜19のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第2ステージは、前記基板を保持するホルダを有し、前記ホルダが配置される、前記第2ステージの上面の凹部内で、前記基板の表面と前記第2ステージの上面とがほぼ同一面となるように前記基板を保持するとともに、前記上面によって、前記凹部内で保持される基板から外れる前記液浸領域の少なくとも一部を維持する露光装置。 - 請求項17〜20のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ノズル部材の下方で前記第2ステージが配置されるベース部材を、さらに備え、
前記基板ステージシステムは、前記ベース部材上に配置される第3ステージを有し、前記第3ステージは、前記エンコーダシステムによって位置情報が計測されるとともに、前記第2駆動系によって移動され、
前記コントローラは、前記投影光学系と対向して配置される前記第2ステージに対して前記第3ステージを接近させるために、前記第3ステージが前記第1方向の一側から他側に移動されるとともに、前記レンズの下に前記液浸領域を実質的に維持しつつ前記第2ステージの代わりに前記第3ステージを前記投影光学系と対向して配置するために、前記接近した第2、第3ステージが前記第1方向の一側から他側に移動されるように前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項21に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記露光動作において前記第2ステージに保持される前記基板の複数の領域のうち前記第1方向の他側に位置する領域から、前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して前記走査露光が行われるように前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項22に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記露光動作において、前記基板の複数の領域のうち前記第2方向に並んで配置される領域に対して前記走査露光と前記第2方向への前記基板の移動を繰り返すステップ・アンド・スキャン方式の露光が行われるとともに、前記第2ステージが前記第1方向の一側から他側に移動されるように前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項23に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記露光動作において、前記第1方向の一側から他側に移動される前記第2ステージに対して前記第1方向の一側から前記第3ステージが接近するとともに、前記第2ステージの移動と並行して前記第3ステージが前記第1方向の一側から他側に移動されるように前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項21〜24のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第3ステージは基板を保持し、
前記コントローラは、前記第2、第3ステージに保持される基板の露光動作が交互に行われるとともに、前記露光動作に続いて前記接近した第2、第3ステージの移動が行われるように前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項21〜24のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第3ステージは、前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して前記照明光を検出する少なくとも1つの計測部材を有し、前記少なくとも1つの計測部材によって照度計測、空間像計測、および波面収差計測の少なくとも1つが行われる露光装置。 - 請求項21〜26のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して投影される前記マスク又は前記第1ステージのマーク像を、前記第2ステージの上面に配置されるスリットパターンを介して検出する空間像計測装置を、さらに備え、
前記マーク像の検出動作において前記エンコーダシステムによって前記第2ステージの位置情報が計測され、
前記コントローラは、前記接近した第2、第3ステージの移動に続いて前記マーク像が前記スリットパターン上に投影されるとともに、前記マーク像の検出に続いて前記走査露光が行われるように前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項27に記載の露光装置において、
前記スリットパターンは、前記第2ステージの上面において前記第1方向の一側に配置され、
前記コントローラは、前記マーク像の検出に続いて前記走査露光を行うために、前記第2ステージが前記第1方向の他側から一側に移動されるように前記第2駆動系を制御する露光装置。 - 請求項27又は28に記載の露光装置において、
前記第1方向に関して前記投影光学系から離れて配置される第1検出系を、さらに備え、
前記コントローラは、前記第1検出系によって前記基板のマーク、および前記第2ステージの上面に配置される基準マークが検出されるように前記第2駆動系を制御し、
前記マークの検出動作において、前記エンコーダシステムによって前記第2ステージの位置情報が計測され、前記露光動作において、前記第1検出系および前記空間像計測装置の検出情報に基づいて、前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して投影される前記マスクのパターン像と前記基板とのアライメントが行われる露光装置。 - 請求項29に記載の露光装置において、
前記第1方向に関して前記投影光学系から離れて配置されるとともに、前記所定面と直交する第3方向に関する前記基板の位置情報を検出する、前記第1検出系と異なる第2検出系を、さらに備え、
前記基板の検出動作において、前記エンコーダシステムによって前記第2ステージの位置情報が計測され、前記露光動作において、前記第2検出系および前記空間像計測装置の検出情報に基づいて前記マスクのパターン像と前記基板とのフォーカス・レベリング制御が行われる露光装置。 - 投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の上方に配置され、少なくとも前記投影光学系の光軸と直交する所定面内の第1方向に関して移動可能な第1ステージによってマスクを保持することと、
前記投影光学系の下方に配置され、少なくとも前記所定面内で互いに直交する前記第1方向および第2方向に関して移動可能な第2ステージによって前記基板を保持することと、
第1、第2計測装置によって前記第1、第2ステージの位置情報を計測することと、前記第2計測装置は、前記第2ステージに格子部とヘッドとの一方が設けられ、前記格子部と前記ヘッドとの他方が前記第2ステージと対向するようにフレーム部材に設けられ、前記格子部と対向する複数の前記ヘッドによって、前記第2ステージの位置情報を計測するエンコーダシステムを有し、
前記基板の露光動作において、前記第1方向を走査方向として前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動する走査露光が行われるとともに、前記所定面と直交する第3方向に関する、前記第2ステージの位置制御又は位置合わせのための基準面あるいは前記露光動作において前記基板が一致する基準面の位置と、前記格子部の格子面の位置との差に起因して生じる、前記基準面と平行な前記所定面に対する前記第2ステージの傾斜角に応じたアッベ誤差を含む前記エンコーダシステムの計測誤差が補償されるように、前記計測誤差を補償するための補正情報と、前記第1、第2計測装置の計測情報と、に基づいて前記第1、第2ステージの移動を制御することと、を含む露光方法。 - 請求項31に記載の露光方法において、
前記露光動作において、前記格子部と対向する少なくとも3つの前記ヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測され、
前記所定面と平行な方向に関する前記第2ステージの移動によって、前記少なくとも3つのヘッドの1つが別のヘッドに切り換えられ、
前記切換後、前記少なくとも3つのヘッドのうち前記1つのヘッドを除く残りのヘッドと、前記別のヘッドと、を含む少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項32に記載の露光方法において、
前記切換前に用いられる少なくとも3つのヘッドから得られる位置情報に基づいて、前記別のヘッドから得られる位置情報の補正情報が取得され、
前記補正情報は、前記別のヘッドを含む前記少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される前記露光動作の一部において用いられる露光方法。 - 請求項33に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記切換前に用いられる少なくとも3つのヘッド、および前記別のヘッドがそれぞれ前記格子部と対向している間に取得される露光方法。 - 請求項32〜34のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記切換は、前記切換前に用いられる少なくとも3つのヘッド、および前記別のヘッドがそれぞれ前記格子部と対向している間に行われる露光方法。 - 請求項31〜35のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部は、前記所定面と平行な方向に関して周期的な反射型格子がそれぞれ設けられる4つのスケール部材を有し、
前記露光動作において、前記4つのスケール部材の少なくとも3つとそれぞれ対向する前記少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項31〜36のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1計測装置は、前記エンコーダシステムと異なるエンコーダシステムを有し、
前記露光動作において、前記異なるエンコーダシステムによって前記第1ステージの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項31〜37のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記所定面と平行な方向に関する前記第2ステージの移動によって、前記複数のヘッドのうち1つのヘッドの代わりに前記格子部と対向する、前記複数のヘッドと異なる別のヘッドと、前記複数のヘッドのうち前記1つのヘッドを除く残りのヘッドと、を含む複数のヘッドが前記格子部と対向し、
前記露光動作において、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報に基づいて前記第2ステージが移動されるとともに、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報の代わりに前記別のヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報に基づいて前記第2ステージが移動される露光方法。 - 請求項38に記載の露光方法において、
前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッドから得られる位置情報に基づいて、前記別のヘッドから得られる位置情報の補正情報が取得され、
前記補正情報は、前記別のヘッドを含む前記複数のヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測される前記露光動作の一部において用いられる露光方法。 - 請求項39に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッド、および前記別のヘッドがそれぞれ前記格子部と対向している間に取得される露光方法。 - 請求項38〜40のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部は、前記所定面と平行な方向に関して周期的な反射型格子がそれぞれ設けられる4つのスケール部材を有し、
前記露光動作において、前記4つのスケール部材の少なくとも3つとそれぞれ対向する少なくとも3つのヘッドによって前記第2ステージの位置情報が計測され、前記1つのヘッドを含む前記複数のヘッド、および前記別のヘッドは、前記4つのスケール部材とそれぞれ対向する4つのヘッドである露光方法。 - 請求項31〜41のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記投影光学系の複数の光学素子のうち最も像面側に配置されるレンズを囲むように設けられるとともに、前記基板が対向して配置される下面を有するノズル部材によって、前記レンズの下に液体で局所的に液浸領域が形成され、
前記露光動作において、前記第2ステージによって前記基板が前記ノズル部材の下面と対向して配置されるとともに、前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して前記照明光で前記基板が露光される露光方法。 - 請求項42に記載の露光方法において、
前記基板は、前記第2ステージの上面の凹部内で、前記基板の表面と前記第2ステージの上面とがほぼ同一面となるように保持され、
前記第2ステージの上面によって、前記凹部内で保持される基板から外れる前記液浸領域の少なくとも一部が維持される露光方法。 - 請求項42又は43に記載の露光方法において、
前記ノズル部材の下方に配置されるベース部材上で前記第2ステージと第3ステージとが移動され、前記エンコーダシステムによって前記第3ステージの位置情報が計測され、
前記投影光学系と対向して配置される前記第2ステージに対して前記第3ステージが接近するように、前記第3ステージを前記第1方向の一側から他側に移動するとともに、前記レンズの下に前記液浸領域を実質的に維持しつつ前記第2ステージの代わりに前記第3ステージが前記投影光学系と対向して配置されるように、前記接近した第2、第3ステージを前記第1方向の一側から他側に移動する露光方法。 - 請求項44に記載の露光方法において、
前記露光動作において、前記第2ステージに保持される前記基板の複数の領域のうち前記第1方向の他側に位置する領域から、前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して前記走査露光が行われるように前記第2ステージが移動される露光方法。 - 請求項44又は45に記載の露光方法において、
前記露光動作において、前記基板の複数の領域のうち前記第2方向に並んで配置される領域に対して前記走査露光と前記第2方向への前記基板の移動を繰り返すステップ・アンド・スキャン方式の露光が行われるとともに、前記第2ステージが前記第1方向の一側から他側に移動される露光方法。 - 請求項46に記載の露光方法において、
前記露光動作において、前記第1方向の一側から他側に移動される前記第2ステージに対して前記第1方向の一側から前記第3ステージが接近するとともに、前記第2ステージの移動と並行して前記第3ステージが前記第1方向の一側から他側に移動される露光方法。 - 請求項44〜47のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して投影される前記マスク又は前記第1ステージのマーク像が、前記第2ステージの上面に配置されるスリットパターンを介して空間像計測装置で検出され、前記マーク像の検出動作において前記エンコーダシステムによって前記第2ステージの位置情報が計測され、
前記接近した第2、第3ステージの移動に続いて前記マーク像が前記スリットパターン上に投影されるとともに、前記マーク像の検出に続いて前記走査露光が行われる露光方法。 - 請求項48に記載の露光方法において、
前記第1方向に関して前記投影光学系から離れて配置される第1検出系によって、前記基板のマーク、および前記第2ステージの上面に配置される基準マークが検出され、前記マークの検出動作において、前記エンコーダシステムによって前記第2ステージの位置情報が計測され、
前記露光動作において、前記第1検出系および前記空間像計測装置の検出情報に基づいて、前記投影光学系および前記液浸領域の液体を介して投影される前記マスクのパターン像と前記基板とのアライメントが行われる露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1方向に関して前記投影光学系から離れて配置される、前記第1検出系と異なる第2検出系によって、前記所定面と直交する第3方向に関する前記基板の位置情報が検出され、前記基板の検出動作において、前記エンコーダシステムによって前記第2ステージの位置情報が計測され、
前記露光動作において、前記第2検出系および前記空間像計測装置の検出情報に基づいて前記マスクのパターン像と前記基板とのフォーカス・レベリング制御が行われる露光方法。 - デバイス製造方法であって、
請求項1〜30のいずれか一項に記載の露光装置を用いてウエハを露光することと、
前記露光されたウエハを現像することと、を含むデバイス製造方法。 - デバイス製造方法であって、
請求項31〜50のいずれか一項に記載の露光方法を用いてウエハを露光することと、
前記露光されたウエハを現像することと、を含むデバイス製造方法。
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