JP6519960B2 - 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図13を用いて説明する。
次に、第2の実施形態について、図19(A)及び図19(B)を用いて説明する。本第2の実施形態に係るマスクローダ190は、上記第1の実施形態と比べ、複数の支持駒98の配置が異なる。以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、第3の実施形態について、図20を用いて説明する。本第3の実施形態に係るマスクステージ装置214は、上記第1の実施形態と比べ、複数の押圧部材62を有している点が異なる。以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、第4の実施形態について、図21を用いて説明する。本第4の実施形態に係るマスクステージ装置314は、上記第3の実施形態(図20参照)と比べ、マスキングブレード装置70を有している点が異なる。以下、相違点についてのみ説明し、上記第3の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第3の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (18)
- 所定のパターンを有するマスクをエネルギビームに対して走査方向に沿って移動させる移動体装置であって、
前記マスクの前記走査方向に直交する方向に関する一側の端部を複数の第1保持部により保持する第1保持部材と、
前記第1保持部材を非接触支持する第1ガイド部材と、
前記第1保持部材を、前記第1ガイド部材に沿って前記走査方向へ移動させる第1移動体と、
前記マスクの前記走査方向に直交する方向に関する他側の端部を複数の第2保持部により保持する第2保持部材と、
前記第2保持部材を非接触支持する第2ガイド部材と、
前記第2保持部材を、前記第2ガイド部材に沿って前記走査方向へ移動させる第2移動体と、を備える移動体装置。 - 前記第1及び第2保持部材の少なくとも一方は、前記走査方向に直交する方向、及び上下方向に平行な軸回りに微小駆動される請求項1に記載の移動体装置。
- 前記複数の第1保持部を駆動するためのアクチュエータと、前記複数の第2保持部を駆動するためのアクチュエータとが、互いに独立して制御される請求項1又は2に記載の移動体装置。
- 前記第1及び第2保持部材は、互いに独立した位置計測系により求められる位置情報に基づいて前記走査方向の位置が制御される請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体は、前記走査方向に沿って所定の長ストロークで移動可能な第1粗動部材と、前記第1粗動部材に対して前記第1保持部材を少なくとも走査方向に微小駆動可能な第1駆動部材と、を含み、
前記第2移動体は、前記走査方向に沿って所定の長ストロークで移動可能な第2粗動部材と、前記第2粗動部材に対して前記第2保持部材を少なくとも走査方向に微小駆動可能な第2駆動部材と、を含み、
前記第1保持部材は、前記第1駆動部材を介して前記第1粗動部材に誘導されることにより前記走査方向に移動し、前記第2保持部材は、前記第2駆動部材を介して前記第2粗動部材に誘導されることにより前記走査方向に移動する請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第1移動体は、前記第1粗動部材と前記第1保持部材との相対移動を制限する制限状態と、前記相対移動を許容する許容状態との間を遷移可能な第1制限装置を更に備える請求項5に記載の移動体装置。
- 前記第2移動体は、前記第2粗動部材と前記第2保持部材との相対移動を制限する制限状態と、前記相対移動を許容する許容状態との間を遷移可能な第2制限装置と、を更に備える請求項6に記載の移動体装置。
- 前記第1粗動部材は、前記走査方向へ移動する際に前記第1保持部材を押圧可能な第1押圧部材を備え、
前記第2粗動部材は、前記走査方向へ移動する際に前記第2保持部材を押圧可能な第2押圧部材を備える請求項5〜7のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第1及び第2粗動部材間に架設され、前記エネルギビームの一部を遮光することにより、前記マスクに対する前記エネルギビームの照射範囲を制限する遮光部材を更に備える請求項5〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の移動体装置と、
物体を保持し、前記物体を前記エネルギビームに対して前記走査方向に前記マスクと同期して駆動する物体駆動装置と、を備え、
前記エネルギビームを用いて前記マスクが有する前記パターンを前記物体に転写する露光装置。 - 前記マスクを下方から支持可能な支持部材を含み、該支持部材を用いて前記移動体装置に保持される前記マスクの交換を行う交換装置を更に備え、
前記支持部材は、前記第1保持部材と前記第2保持部材との間に挿入可能、且つ前記第1保持部材と前記第2保持部材との間に挿入された状態で上下方向に移動可能である請求項10に記載の露光装置。 - 前記第1保持部材と前記第2保持部材との間で前記支持部材が上下方向に移動する際、前記第1及び第2保持部材を予め互いに離間する方向に相対移動させる請求項11に記載の露光装置。
- 前記支持部材は、複数の前記マスクを支持可能に設けられ、前記移動体装置から一の前記マスクを受け取る際に、他の前記マスクを予め支持する請求項11又は12に記載の露光装置。
- 前記支持部材は、上下方向に平行な軸回りに回転して前記一のマスクと前記別のマスクとの位置を入れ替える請求項13に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項10〜14のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項15に記載の露光装置。
- 請求項15又は16に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項10〜14のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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