JP6519073B2 - 薄膜トランジスタ及びその製造方法、並びに、表示装置 - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る薄膜トランジスタは、チャネル領域、並びに、当該チャネル領域より抵抗率が低いソース領域及びドレイン領域を有する酸化物半導体層と、前記酸化物半導体層の上方に設けられたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層の上方で、かつ、前記チャネル領域に対向する位置に設けられたゲート電極と、前記酸化物半導体層上に設けられ、かつ、前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接触する金属酸化物層とを備え、前記金属酸化物層は、前記酸化物半導体層に含まれる第1金属より、酸素との結合解離エネルギーが高い第2金属の酸化物を主成分として含み、前記金属酸化物層と前記酸化物半導体層との界面層における前記第2金属に対する酸素の第1濃度比は、前記金属酸化物層のバルク層における前記第2金属に対する酸素の第2濃度比より大きい。
[1.有機EL表示装置]
まず、本実施の形態に係る有機EL表示装置の概要について、図1〜図3を用いて説明する。なお、図1は、本実施の形態に係る薄膜半導体アレイ基板1の構成を示す図である。図2は、本実施の形態に係る有機EL表示装置10の一部切り欠き斜視図である。図3は、本実施の形態に係る有機EL表示装置10における画素回路31の回路構成を示す図である。
以下では、本実施の形態に係るTFT基板20に形成される薄膜トランジスタについて、図4A及び図4Bを用いて説明する。なお、図4Aは、本実施の形態に係る薄膜トランジスタ100の概略断面図である。図4Bは、本実施の形態に係る薄膜トランジスタ100の酸化物半導体層120と金属酸化物層150との界面層160を示す概略断面図である。
支持基板105は、例えば、電気絶縁性を有する材料から構成される基板である。例えば、支持基板105は、無アルカリガラス、石英ガラス、高耐熱性ガラスなどのガラス材料、又は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミドなどの樹脂材料から構成される基板である。
フレキシブル基板110は、例えば、シート状又はフィルム状の可撓性を有する基板である。フレキシブル基板110は、例えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのフィルム材料の単層又は積層で構成された基板である。
アンダーコート層115は、フレキシブル基板110上に設けられた無機層の一例である。アンダーコート層115は、フレキシブル基板110の表面(酸化物半導体層120が形成される側の面)に形成されている。アンダーコート層115が設けられることにより、支持基板105(ガラス基板)又はフレキシブル基板110に含まれる不純物(例えば、ナトリウム及びリンなど)、又は、大気中の水分などが酸化物半導体層120に浸入するのを抑制することができる。これにより、酸化物半導体層120の膜質を安定化させて、TFT特性を安定化させることができる。
酸化物半導体層120は、チャネル層として用いられる。具体的には、図4Aに示すように、酸化物半導体層120は、チャネル領域121、ソース領域122及びドレイン領域123を有する。チャネル領域121は、ゲート絶縁層130を挟んでゲート電極140と対向する領域である。ソース領域122及びドレイン領域123は、チャネル領域121より抵抗率が低い低抵抗化領域(オフセット領域)である。ソース領域122及びドレイン領域123は、例えば、成膜した酸化物半導体の所定の領域に対して酸素欠損を引き起こすことで形成される。酸化物半導体層120の詳細な膜物性については、後で説明する。
ゲート絶縁層130は、酸化物半導体層120の上方に設けられている。具体的には、ゲート絶縁層130は、酸化物半導体層120とゲート電極140との間で、例えば、酸化物半導体層120上に設けられている。
ゲート電極140は、ゲート絶縁層130の上方で、かつ、チャネル領域121に対向する位置に設けられている。例えば、ゲート電極140は、ゲート絶縁層130上に所定形状で形成される。具体的には、ゲート電極140の側面は、ゲート絶縁層130の側面と面一であり、上面視において、ゲート電極140の輪郭線とゲート絶縁層130の輪郭線とは略一致している。
金属酸化物層150は、酸化物半導体層120上に設けられ、かつ、ソース領域122及びドレイン領域123に接触している。本実施の形態では、金属酸化物層150は、酸化物半導体層120の上面のうち、ゲート絶縁層130によって覆われていない部分に設けられている。具体的には、金属酸化物層150は、ソース領域122上及びドレイン領域123上に設けられている。
界面層160は、酸化物半導体層120と金属酸化物層150との界面に形成される層である。具体的には、界面層160は、金属酸化物層150が酸化物半導体層120上に積層されることによって形成される。より具体的には、界面層160は、金属酸化物層150が酸化物半導体層120に接触して、酸化物半導体層120の酸素が金属酸化物層150に引き抜かれることによって形成される。
層間絶縁層170は、金属酸化物層150を覆うように設けられている。具体的には、層間絶縁層170は、薄膜トランジスタ100が形成されている素子領域の全面を覆うように形成されている。
ソース電極180s及びドレイン電極180dは、層間絶縁層170上に所定形状で形成されている。ソース電極180s及びドレイン電極180dの各々は、酸化物半導体層120と電気的に接続されている。
続いて、本実施の形態に係る薄膜トランジスタ100の界面層160及びその近傍の膜物性について説明する。
次に、本実施の形態に係る薄膜トランジスタ100の製造方法について、図7A〜図7Eを用いて説明する。図7A〜図7Eは、本実施の形態に係る薄膜トランジスタ100の製造工程を示す概略断面図である。
ここで、低抵抗化能力が高い金属酸化物層150を形成するのに用いる反応性スパッタリングについて、図8A及び図8Bを用いて説明する。
ここでは、上述した製造方法に基づいて、実際に作製した薄膜トランジスタ100のTFT特性について、図9を用いて説明する。図9は、本実施の形態に係る薄膜トランジスタ100の電流−電圧特性を示す図である。
以上、1つ又は複数の態様に係る薄膜トランジスタ及びその製造方法、並びに、表示装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本発明の主旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。
10 有機EL表示装置
20 TFT基板
30 画素
31 画素回路
32、33、100 薄膜トランジスタ
32d、33d、180d ドレイン電極
32g、33g、140 ゲート電極
32s、33s、180s ソース電極
34 キャパシタ
40 有機EL素子
41 陽極
42 EL層
43 陰極
50 ゲート配線
60 ソース配線
70 電源配線
105 支持基板
110 フレキシブル基板
115 アンダーコート層
120、120a 酸化物半導体層
121 チャネル領域
122 ソース領域
123 ドレイン領域
125、155 バルク層
130 ゲート絶縁層
130a ゲート絶縁膜
140a ゲート金属膜
150 金属酸化物層
160 界面層
170 層間絶縁層
181s、181d コンタクトホール
201 基板
202 ターゲット
203 プラズマ
Claims (9)
- チャネル領域、並びに、当該チャネル領域より抵抗率が低いソース領域及びドレイン領域を有する酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層の上方に設けられたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層の上方で、かつ、前記チャネル領域に対向する位置に設けられたゲート電極と、
前記酸化物半導体層上に設けられ、かつ、前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接触する金属酸化物層とを備え、
前記金属酸化物層は、前記酸化物半導体層に含まれる第1金属より、酸素との結合解離エネルギーが高い第2金属の酸化物を主成分として含み、
前記金属酸化物層と前記酸化物半導体層との界面層における前記第2金属に対する酸素の第1濃度比は、前記金属酸化物層のバルク層における前記第2金属に対する酸素の第2濃度比より大きく、かつ、前記バルク層から前記酸化物半導体層に向かう方向に進行するにつれて上昇しており、
前記第2金属は、アルミニウムであり、
前記金属酸化物層の膜密度は、2.7g/cm 3 以下である
薄膜トランジスタ。 - 前記第1濃度比は、0.6以下である
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記金属酸化物層の膜厚は、10nm以上である
請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記第1金属は、インジウム、ガリウム又は亜鉛である
請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート電極、前記ゲート絶縁層及び前記チャネル領域の各々の側面は、面一である
請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタを備える表示装置。
- 基板の上方に酸化物半導体層を形成する工程と、
前記酸化物半導体層の上方にゲート絶縁層を形成する工程と、
前記ゲート絶縁層の上方にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極を形成した後、加熱処理を行う工程と、
前記加熱処理の後、反応性スパッタリングによって、前記酸化物半導体層上に金属酸化物層を形成することで、前記酸化物半導体層の、前記金属酸化物層に接触する領域を低抵抗化する工程とを含む
薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記低抵抗化する工程では、前記酸化物半導体層に含まれる第1金属より、酸素との結合解離エネルギーが高い第2金属をターゲットとして用いた反応性スパッタリングを行うことで、前記金属酸化物層を形成し、
前記金属酸化物層と前記酸化物半導体層との界面層における前記第2金属に対する酸素の第1濃度比は、前記金属酸化物層のバルク層における前記第2金属に対する酸素の第2濃度比より大きい
請求項7に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記低抵抗化する工程では、前記基板と前記ターゲットとがオフセット配置された状態で反応性スパッタリングを行う
請求項8に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
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