JP6437978B2 - Method for generating a spray nozzle and a non-circular spray cone - Google Patents

Method for generating a spray nozzle and a non-circular spray cone Download PDF

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Description

本発明は、ノズルハウジング、ノズルハウジング内に配置されている少なくとも1つのスワールチャンバ及び少なくとも1つの流出開口部を有するスプレイノズルに関するものであって、その場合に流出開口部が流出通路の端部に配置されており、その流出通路がスワールチャンバから出て、流出開口部の方向へ向かって拡幅しており、その場合にスワールチャンバが流出通路へ移行する移行部に狭隘部がもうけられてり、かつ流出通路の壁の角度は狭隘部から流出通路の方向へ連続的に増大し、あるいは部分的に同じままである。
本発明は、また、非円形の、従って円形状とは異なる断面を有するスプレイ円錐を発生させる方法に関する。
The present invention relates to a nozzle housing, a spray nozzle having at least one swirl chamber arranged in the nozzle housing and at least one outflow opening, in which case the outflow opening is at the end of the outflow passage. The outlet passage exits the swirl chamber and widens in the direction of the outlet opening, in which case a narrow portion is provided at the transition where the swirl chamber transitions to the outlet passage, And the angle of the wall of the outflow passage increases continuously from the narrow part towards the outflow passage or remains partly the same.
The invention also relates to a method for generating a spray cone having a non-circular and thus a cross-section different from a circular shape.

特許文献1からは、ダブルスワールスプレイノズルが知られており、それは2つのスワールチャンバを有し、それらからそれぞれ流出通路が出ており、その流出通路が流出開口部の方向へ向かって拡幅している。流出通路の中心長手軸に対する流出通路の壁の角度は、流出通路の方向へ向かって幾つかの部分においてだんだんと増大し、他の部分においては変わらない。図示されるダブルスワールスプレイノズルは、ノズルハウジングの同じ側へ向かって2つの流出開口部を有している。2つの流出開口部は、互いに対して角度をもって配置されている。記述されるダブルスワールスプレイノズルは、たとえば煙道ガスクリーニング設備、特にガススクラバーにおいて使用される。   From patent document 1, a double swirl spray nozzle is known, which has two swirl chambers, each of which has an outflow passage extending out toward the outflow opening. Yes. The angle of the wall of the outflow passage with respect to the central longitudinal axis of the outflow passage gradually increases in some parts towards the outflow passage and does not change in other parts. The illustrated double swirl spray nozzle has two outflow openings towards the same side of the nozzle housing. The two outflow openings are arranged at an angle with respect to each other. The described double swirl spray nozzle is used, for example, in flue gas cleaning equipment, in particular gas scrubbers.

特許文献2には、ダブルスワールスプレイノズルが記述されており、それは、2つのスワールチャンバと、それぞれスワールチャンバから出て、流出開口部へ向かって延びる流出通路とを有している。流出開口部は、ハウジングの互いに逆となる側へ向かって方向付けされている。   U.S. Patent No. 6,057,031 describes a double swirl spray nozzle that has two swirl chambers and an outflow passage that each exits the swirl chamber and extends toward the outflow opening. The outflow openings are directed toward opposite sides of the housing.

欧州特許第1491260(B1)号明細書European Patent No. 1491260 (B1) specification 独国特許第10033781(C1)号明細書German patent No. 10073381 (C1) specification

本発明は、スプレイノズルを、柔軟に適用できるように改良しようとしている。   The present invention seeks to improve the spray nozzle so that it can be flexibly applied.

そのために、本発明によれば、ノズルハウジング、ノズルハウジング内に配置されている少なくとも1つのスワールチャンバ及び少なくとも1つの流出開口部を有するスプレイノズルが設けられており、その場合に流出開口部が流出通路の端部に配置されており、その流出通路がスワールチャンバから出て、流出開口部の方向へ拡幅し、その場合にスワールチャンバが流出通路へ移行する移行部に狭隘部が配置されており、かつその場合に流出通路の壁の角度が狭隘部から流出開口部の方向へだんだんと増大し、あるいは部分的に同一のままであって、そのスプレイノズルにおいて、流出開口部の形状が円形とは異なり、かつ流出開口部における流出通路の壁の角度が、流出開口部の周方向に見て一定ではない。   To that end, according to the present invention, there is provided a spray nozzle having a nozzle housing, at least one swirl chamber disposed in the nozzle housing and at least one outflow opening, in which case the outflow opening is outflowed. It is arranged at the end of the passage, its outflow passage exits from the swirl chamber and widens in the direction of the outflow opening, in which case the narrow part is arranged at the transition part where the swirl chamber moves to the outflow passage In that case, the angle of the wall of the outflow passage gradually increases from the narrow portion toward the outflow opening, or remains partially the same, and the shape of the outflow opening is circular in the spray nozzle. And the angle of the wall of the outflow passage in the outflow opening is not constant when viewed in the circumferential direction of the outflow opening.

流出開口部の形状が円形とは異なり、かつ流出開口部における流出通路の壁の角度が流出開口部の周方向に見て一定ではないことによって、放出されるスプレイ円錐の断面形状が円形とは異なることができる。これは特に、スプレイ円錐によってできるだけ良好にカバーするために、空間的条件によって非円形のスプレイ円錐が理想的であると思われる場合に、効果的である。これは特に、たとえばガススクラバーにおいて、スプレイノズルが円筒形状のガススクラバーの壁の領域内に配置されている場合が考えられる。その場合には、通常、ガススクラバー内へスプレイされた液体がスプレイノズルから直接ガススクラバーの壁へ当接することを、回避しなければならない。本発明に係るノズルによって、スプレイ円錐の円形とは異なる断面形状を調節することができるので、スプレイノズルから放出されるスプレイ円錐はガススクラバーの室内へ広がり、壁の方向へは広がらない。スワールチャンバと流出通路の間の狭隘部は、一周するエッジ及び/又は流出通路の始端部分によって形成することができ、その場合にこの始端部分において流出通路の壁は、流出通路の中心長手軸線に対して実質的に平行に延びている。本発明は、スワールチャンバを有するすべての種類のノズルに、たとえばタンジェンシャルノズル、アキシャルノズル及びたとえば還流ノズルにも、適用することができる。アキシャルノズルと還流ノズルにおいては、スワールチャンバの流着は、通常軸方向に行われるので、場合によってはスワール挿入片が設けられている。   The shape of the outflow opening is different from a circle, and the angle of the wall of the outflow passage in the outflow opening is not constant when viewed in the circumferential direction of the outflow opening, so that the cross-sectional shape of the discharged spray cone is circular. Can be different. This is particularly effective when non-circular spray cones appear to be ideal due to spatial conditions in order to be covered as well as possible by the spray cone. In particular, for example, in a gas scrubber, the case where the spray nozzle is arranged in the region of the wall of the cylindrical gas scrubber can be considered. In that case, it must usually be avoided that the liquid sprayed into the gas scrubber abuts against the gas scrubber wall directly from the spray nozzle. The nozzle according to the invention makes it possible to adjust the cross-sectional shape different from the circular shape of the spray cone, so that the spray cone emitted from the spray nozzle extends into the gas scrubber chamber and does not extend in the direction of the wall. The constriction between the swirl chamber and the outflow passage can be formed by a rounding edge and / or the start portion of the outflow passage, in which case the wall of the outflow passage is at the central longitudinal axis of the outflow passage. It extends substantially parallel to it. The invention can also be applied to all kinds of nozzles having a swirl chamber, for example tangential nozzles, axial nozzles and for example reflux nozzles. In the axial nozzle and the reflux nozzle, the swirl chamber is usually attached in the axial direction, so that a swirl insertion piece is provided in some cases.

本発明の展開において、流出通路は、スワールチャンバから流出通路への移行部においては、円形の断面を有している。   In the development of the invention, the outflow passage has a circular cross section at the transition from the swirl chamber to the outflow passage.

スワールチャンバから流出通路への移行部における流出通路のこのような円形の断面は、放出されるスプレイ円錐内でスプレイすべき液体を良好に分配するために効果的である。たとえば、中空円錐スプレイが放出される。その場合に、スワールチャンバから流出通路への移行部における流出通路の円形の断面は、放出される中空円錐スプレイ内の液体の均一な分配をもたらす。   Such a circular cross section of the outflow passage at the transition from the swirl chamber to the outflow passage is effective for good distribution of the liquid to be sprayed in the discharged spray cone. For example, a hollow conical spray is released. In that case, the circular cross section of the outflow passage at the transition from the swirl chamber to the outflow passage provides a uniform distribution of the liquid in the discharged hollow cone spray.

本発明の展開において、流出開口部における流出通路の中心長手軸に対する流出通路の壁の角度は、0°と90°の間の領域内にある。
驚くべきことに、流出開口部における流出通路の壁の角度は、極めて大きい範囲内で、すなわち流出通路の中心長手軸線に対して0°と90°の間で、変動することができ、それにもかかわらず、スプレイノズルのスプレイ挙動は常になお良好であることが、明らかにされた。特に、中心長手軸線に対して流出開口部野の壁の角度がとることのできる、大きい角度にもかかわらず、まだ常に、放出されるスプレイ円錐内で液体の均一な分配が得られる。
In the development of the invention, the angle of the wall of the outflow passage with respect to the central longitudinal axis of the outflow passage at the outflow opening is in the region between 0 ° and 90 °.
Surprisingly, the angle of the wall of the outflow passage at the outflow opening can vary within a very large range, ie between 0 ° and 90 ° with respect to the central longitudinal axis of the outflow passage, Regardless, it has been shown that the spray behavior of the spray nozzle is always still good. In particular, a uniform distribution of the liquid in the discharged spray cone is always obtained despite the large angle that the angle of the wall of the outlet opening field can take with respect to the central longitudinal axis.

本発明の展開において、流出開口部における流出通路の壁の角度は、流出通路の周面にわたって見て、流出通路の中心長手軸線に対して32.5°と65°の間で変化する。
壁の角度変化のこのような寸法設計は、スプレイビーム内部の極めて良好な液体分配を有する長円形状のスプレイビームの形成をもたらす。流出通路の壁の互いに対向する点の間の角度が流出通路において測定される場合に、壁の角度は75°と130°の間で変化する。
In the development of the invention, the angle of the wall of the outflow passage at the outflow opening varies between 32.5 ° and 65 ° with respect to the central longitudinal axis of the outflow passage as seen across the peripheral surface of the outflow passage.
Such dimensional design of the wall angle change results in the formation of an oval shaped spray beam with very good liquid distribution inside the spray beam. The wall angle varies between 75 ° and 130 ° when the angle between opposite points of the wall of the outflow passage is measured in the outflow passage.

本発明の展開において、流出開口部は長円又は楕円の形状を有している。
このようにして、個々のスプレイ円錐に長円形又は楕円形の断面形状を与えることができる。スプレイノズルの本発明に係る形成によって、これは、スプレイ円錐の内部の良好な液体分配において、可能である。
In the development of the present invention, the outflow opening has an oval or elliptical shape.
In this way, individual spray cones can be given an oval or elliptical cross-sectional shape. With the inventive formation of the spray nozzle, this is possible with good liquid distribution inside the spray cone.

本発明の展開において、2つのスワールチャンバと2つの流出開口部が設けられており、その場合に流出開口部は、スプレイビームが2つの流出開口部を通ってハウジングの同一の側へ流出するように、配置されている。   In the development of the invention, two swirl chambers and two outflow openings are provided, in which case the outflow openings are such that the spray beam flows out through the two outflow openings to the same side of the housing. Is arranged.

本発明の展開において、2つのスワールチャンバと2つの流出開口部が設けられており、その場合に流出開口部は、スプレイビームが2つの流出開口部を通ってハウジングの互いに逆となる側へ流出するように、配置されている。   In the development of the invention, two swirl chambers and two outflow openings are provided, in which case the outflow openings flow out to the opposite sides of the housing through the two outflow openings. To be arranged.

本発明の展開において、ノズルハウジングは鋳造又は射出成形され、次に焼成又は焼結される。
このようにして、流出通路の壁の変化する角度及び流出開口部の円形とは異なる形状を極めて精確であると同時に経済的に実現することができる。
In the development of the present invention, the nozzle housing is cast or injection molded and then fired or sintered.
In this way, a changing angle of the wall of the outflow passage and a shape different from the circular shape of the outflow opening can be realized very precisely and at the same time economically.

本発明の基礎となる課題は、請求項9の特徴を有する方法によっても、解決される。   The problem underlying the present invention is also solved by a method having the features of claim 9.

本発明の他の利点と特徴が、請求項から、そして図面に関連する本発明の好ましい実施例についての以下の説明から、明らかにされる。   Other advantages and features of the invention will become apparent from the claims and from the following description of preferred embodiments of the invention in connection with the drawings.

本発明に係るスプレイノズルを斜め上から示す斜視図である。It is a perspective view which shows the spray nozzle which concerns on this invention from diagonally upward. 図1のスプレイノズルを下から示している。The spray nozzle of FIG. 1 is shown from below. 図2の切断平面III−IIIを部分的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows partially cutting plane III-III of FIG. 図2の切断平面IV−IVを部分的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows partially cutting plane IV-IV of FIG. 本発明の他の実施形態に基づく、本発明に係るスプレイノズルの上面図である。It is a top view of the spray nozzle concerning the present invention based on other embodiments of the present invention. 従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning which has the conventional spray nozzle. 図6の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、本発明に係るスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning which has a spray nozzle based on this invention based on other embodiment. 図8の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 2つの従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two conventional spray nozzles. 図10の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the present invention, according to another embodiment. 図12の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明にかかるスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the invention, according to another embodiment. 図14の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 2つの従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two conventional spray nozzles. 図16の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 2つの従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two conventional spray nozzles. 図18の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the present invention, according to another embodiment. 図20の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the present invention, according to another embodiment. 図22の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 2つの従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two conventional spray nozzles. 図24の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 2つの従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two conventional spray nozzles. 図26の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the present invention, according to another embodiment. 図28の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the present invention, according to another embodiment. 図30の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 2つの従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two conventional spray nozzles. 図32の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 2つの従来のスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two conventional spray nozzles. 図34の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明にかかるスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the invention, according to another embodiment. 図36の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG. 他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るスプレイノズルを有する配置を示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing an arrangement with two spray nozzles according to the present invention, according to another embodiment. 図38の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of FIG.

図1と図2は、本発明に係るスプレイノズル10を示しており、そのスプレイノズルは、2つのスワールチャンバ14、16と2つの流出開口部18、29とを備えたノズルハウジング12を有している。
図2において、図を見る者の視線は2つの流出通路22、24内を覗くものであって、流出通路はそれぞれスワールチャンバ14、16の1つへ移行している。2つのスワールチャンバ14、16は、共通の接続端26と接続されている。
接続端26を介してスプレイすべき液体が供給され、2つのスワールチャンバ14、16内へ達し、スワールチャンバ14、16へ接線状に供給されて、そこからそれぞれ狭隘部28、30を通ってそれぞれの流出通路22、24内へ達して、その後それぞれ中空円錐スプレイの形状でハウジング12を去る。
1 and 2 show a spray nozzle 10 according to the present invention, which has a nozzle housing 12 with two swirl chambers 14, 16 and two outflow openings 18, 29. ing.
In FIG. 2, the viewer's line of sight looks into the two outflow passages 22, 24, and the outflow passages transition to one of the swirl chambers 14, 16, respectively. The two swirl chambers 14 and 16 are connected to a common connection end 26.
The liquid to be sprayed is supplied via the connecting end 26, reaches into the two swirl chambers 14, 16 and is tangentially supplied to the swirl chambers 14, 16 and from there through the narrowed portions 28, 30 respectively. Into the outflow passages 22, 24, and then leave the housing 12 in the form of a hollow conical spray.

図1からすでに認識されるように、2つの流出開口部18、20の形状はそれぞれ円形とは異なる。流出開口部18、20は、それぞれ楕円の形状を有し、その場合に流出開口部18、20において終了する、2つの流出通路22、24の中心長手軸が、図2の図面平面に対して垂直に配置されていないことに考慮を要する。
むしろ流出通路22、24の中心長手軸は、互いに離れるように延びて配置されている。それによって発生される2つのスプレイビームは、互いから離れるように延びる。
ダブルスワールスプレイノズルのこのような形成が、特許文献1から知られており、これに関してそれを参照することができる。
As already recognized from FIG. 1, the shape of the two outlet openings 18, 20 is different from a circle, respectively. The outflow openings 18 and 20 each have an elliptical shape, in which case the central longitudinal axis of the two outflow passages 22 and 24 ending in the outflow openings 18 and 20 is relative to the drawing plane of FIG. Consider that they are not vertically arranged.
Rather, the central longitudinal axes of the outflow passages 22 and 24 are arranged to extend away from each other. The two spray beams generated thereby extend away from each other.
Such a formation of a double swirl spray nozzle is known from US Pat.

図2が、斜めに配置されることによってやや歪んでいるにもかかわらず、この図からは、流出通路22、24の断面が箇所28または30において、したがってそれぞれスワールチャンバ14、16と流出通路22、24との間の移行部において、円形であることが読み取れる。
それぞれのスワールチャンバ14、16と流出通路22、24の間の移行部における断面が円形であることによって、流出するスプレイビームの内部で液体の均一な分配が得られる。
Although FIG. 2 is somewhat distorted due to the diagonal arrangement, it can be seen from this figure that the cross-section of the outflow passages 22, 24 is at points 28 or 30, and thus the swirl chambers 14, 16 and the outflow passage 22 respectively. , 24, it can be seen that it is circular.
The circular cross section at the transition between each swirl chamber 14, 16 and the outflow passages 22, 24 provides a uniform distribution of liquid within the outflowing spray beam.

流出開口部20が、円形とは異なることによって、放出される2つのスプレイ円錐にそれぞれ円形とは異なる断面形状を与えることができる。
図1に示すノズルにおいて、流出開口部18、20からはそれぞれ楕円形の断面を有する中空円錐スプレイが流出する。その場合にこれら2つの楕円形状のスプレイビームの移行部内では、ほぼ長円のスプレイ円錐が生じる。図8を参照。
The outflow opening 20 is different from a circle, so that the two spray cones to be discharged can have a different cross-sectional shape from the circle.
In the nozzle shown in FIG. 1, hollow conical sprays each having an elliptical cross section flow out from the outflow openings 18 and 20. In that case, a substantially elliptic spray cone is formed in the transition between these two elliptical spray beams. See FIG.

図3は、図2の切断平面III−IIIの部分的かつ図式的な断面図を示している。図3の主旨と目的は、切断平面III−IIIにおける流出開口部18、20と流出通路22、24の形状を明らかにすることである。
この理由から、図3においては流出開口部20と流出通路24のみが断面で示されており、流出開口部18と流出通路22は、等しく形成されている。同じことが、図4についても言える。
本発明の範囲内において、異なるように形成された流出通路を有するダブル又はマルチのスプレイノズルも可能である。
図3において、スプレイノズル10の流出通路24の中心長手軸32が記入されている。図3の上方の端部には、さらに、スワールチャンバ16の一部が認識される。やや面取りされたエッジ34において、スワールチャンバ16が終了し、流出通路24が始まっている。
図に認められるように、流出通路24の始端において、したがって面取りされたエッジ34のすぐ後ろで、流出通路24の壁は、中心長手軸32に対して実質的に平行に配置されている。
実際には、この領域内で流出通路24の壁は、中心長手軸32に対して約3°の角度を有しているので、流出通路24はその始端から流れ方向に開いている。それによってスプレイノズルを形成する場合に、好ましい離型斜面が形成されている。
流出通路24の移行の推移において、したがって矢印36で示す流れ方向に、中心長手軸32と流出通路24の壁との間の角度は、だんだんと増大して、ついには65°の角度に達し、その後この一定の角度で流出開口部20までさらに延びている。
それによって流出開口部20の上流においては、図3に示すように、切断平面III−III内に130°の開口角度を有する直線的な境界が配置されている。
したがって流出通路24の壁の角度は、中心長手軸に対してほぼ0°、図示の実施形態においては3°、の値から、したがって流出通路の始端における中心長手軸と流出通路24の壁の実質的な平行な配置から始まって、常に一定であり、あるいは部分的に一定である。
FIG. 3 shows a partial schematic sectional view of the cutting plane III-III of FIG. The purpose and purpose of FIG. 3 is to clarify the shapes of the outflow openings 18 and 20 and the outflow passages 22 and 24 in the cutting plane III-III.
For this reason, only the outflow opening 20 and the outflow passage 24 are shown in cross section in FIG. 3, and the outflow opening 18 and the outflow passage 22 are equally formed. The same is true for FIG.
Within the scope of the present invention, double or multi spray nozzles with differently shaped outflow passages are also possible.
In FIG. 3, the central longitudinal axis 32 of the outflow passage 24 of the spray nozzle 10 is shown. Further, a part of the swirl chamber 16 is recognized at the upper end of FIG. At the slightly chamfered edge 34, the swirl chamber 16 ends and the outflow passage 24 begins.
As can be seen, at the beginning of the outflow passage 24, and thus just behind the chamfered edge 34, the wall of the outflow passage 24 is arranged substantially parallel to the central longitudinal axis 32.
In practice, the wall of the outflow passage 24 in this region has an angle of about 3 ° with respect to the central longitudinal axis 32, so that the outflow passage 24 opens in the flow direction from its starting end. Thereby, when forming a spray nozzle, a desirable release slope is formed.
In the course of the transition of the outflow passage 24, therefore, in the flow direction indicated by the arrow 36, the angle between the central longitudinal axis 32 and the wall of the outflow passage 24 increases gradually and finally reaches an angle of 65 °, Thereafter, it further extends to the outflow opening 20 at this fixed angle.
Thereby, upstream of the outflow opening 20, as shown in FIG. 3, a linear boundary having an opening angle of 130 ° is arranged in the cutting plane III-III.
Thus, the angle of the wall of the outflow passage 24 is from a value of approximately 0 ° with respect to the central longitudinal axis, and in the illustrated embodiment 3 °, and thus the substantial length of the central longitudinal axis and the wall of the outflow passage 24 at the beginning of the outflow passage. Starting from a general parallel arrangement, it is always constant or partly constant.

流れ方向36に流出する、個別の液滴に分解されるスプレイは、狭隘部30を通過するとすぐに、流出通路24を通り抜ける際に拡幅され、その狭隘部は、流出通路24の壁がそれを許す場合に、実質的に一周するエッジ34によって形成されている。したがって切断平面III−III内で、スプレイ円錐は130°よりやや小さいスプレイ角度で流出開口部を出て行く。   As soon as it passes through the narrow part 30, the spray flowing into the flow direction 36, broken down into individual droplets, is widened as it passes through the outflow passage 24, which is narrowed by the wall of the outflow passage 24. If allowed, it is formed by a substantially rounded edge 34. Thus, in the cutting plane III-III, the spray cone exits the outflow opening with a spray angle slightly less than 130 °.

図4は、図2の切断平面IV−IVの図式的、部分的な断面図を示している。流出通路24はその始端において、したがってスワールチャンバ16と面取りされたエッジ34との間の移行部において、まず、中心長手軸32に対して実質的に平行に配置された壁を有しており、その壁は、実際には中心長手軸32に対して3°の角度を有している。
その後、矢印36で示す流れ方向において、中心長手軸32に対する流出通路24の壁の角度は、だんだんと増大し、ついには32.5°の値に達する。その後流出通路24の壁は、この一定の角度をもって流出開口部20まで延びる。
したがって流出開口部20のすぐ上流の領域は、平面IV−IVの断面内で直線的に延びている。したがって流出開口部20の上流では、切断平面IV−IV内で75°の開口角度を有する直線的な境界が配置されている。
しかし、流出通路24の壁の角度は、流出開口部20の周面に沿って変化し、図2のIII−III切断平面内では(図3を参照)、中心長手軸32に対して65°の角度をとることが思い出される。したがって流出開口部20のすぐ上流の領域は円錐形状ではなく、不規則な形状を有しており、その不規則な形状は、流出通路24の壁の角度が流出開口部20の長さの半分にわたって、中心長手軸に対する32.5°の値から、中心長手軸に対して65°の値へ変化し、かつ再び戻ることによって定められる。
FIG. 4 shows a schematic partial sectional view of the cutting plane IV-IV of FIG. Outflow passage 24 first has a wall disposed substantially parallel to central longitudinal axis 32 at the beginning, and therefore at the transition between swirl chamber 16 and chamfered edge 34, The wall actually has an angle of 3 ° with respect to the central longitudinal axis 32.
Thereafter, in the flow direction indicated by the arrow 36, the angle of the wall of the outflow passage 24 with respect to the central longitudinal axis 32 increases gradually and finally reaches a value of 32.5 °. Thereafter, the wall of the outflow passage 24 extends to the outflow opening 20 at this constant angle.
Accordingly, the region immediately upstream of the outflow opening 20 extends linearly within the cross section of the plane IV-IV. Thus, upstream of the outflow opening 20, a linear boundary having an opening angle of 75 ° is arranged in the cutting plane IV-IV.
However, the wall angle of the outflow passage 24 varies along the peripheral surface of the outflow opening 20 and is 65 ° with respect to the central longitudinal axis 32 in the III-III cutting plane of FIG. 2 (see FIG. 3). It seems to take the angle of. Therefore, the region immediately upstream of the outflow opening 20 is not conical but has an irregular shape, which is because the wall angle of the outflow passage 24 is half the length of the outflow opening 20. Over time, from a value of 32.5 ° relative to the central longitudinal axis to a value of 65 ° relative to the central longitudinal axis and back again.

流出通路24から流出する液滴スプレイは、エッジ34によって形成される狭隘部を通過するとすぐに、かつ流出通路24の壁がそれを許す限り、流出開口部20へ向かって拡幅されるので、その液滴スプレイは平面IV−IV内の流出開口部において75°よりもやや少ないスプレイ角度で流出する。   The droplet spray flowing out of the outflow passage 24 is widened towards the outflow opening 20 as soon as it passes through the constriction formed by the edge 34 and as long as the wall of the outflow passage 24 allows it. The droplet spray flows out at a spray angle slightly less than 75 ° at the outflow opening in the plane IV-IV.

したがって結果においては、流出通路24から流出するスプレイ円錐は、非円形の、図示の実施形態においては楕円形状の断面を備えた幾何学配置を有している。切断平面III−III(図2と図3を参照)において、スプレイ角度は130°よりやや小さい。切断平面IV−IV(図2と図4を参照)においては、スプレイ角度は75°よりもやや小さい。   Thus, in the result, the spray cone flowing out of the outflow passage 24 has a geometry with a non-circular, in the illustrated embodiment an elliptical cross section. In the cutting plane III-III (see FIGS. 2 and 3), the spray angle is slightly smaller than 130 °. In the cutting plane IV-IV (see FIGS. 2 and 4), the spray angle is slightly smaller than 75 °.

その場合に、本発明に係るノズルの著しい利点は、流出するスプレイノズルの、一般的に円形とは異なるこのような断面が、壁の形態及び特に中心長手軸32に対する流出通路24の壁の角度のみによって得られることである。ノズルのスワールチャンバ16及びハウジングの構造を、それに合わせて変更する必要はない。それぞれ必要とされる適用場合及び流出するスプレイ円錐の所望の断面形状に応じて、流出通路24を適合させることができる。
非円形の、または円形とは異なる断面を有するスプレイ円錐を発生させるために、スワールチャンバ14、16内に、貫流する液体へ遠心力を発生させ、それを回転させるために、スワールが発生される。実質的に一周するエッジ34によって形成され、かつスワールチャンバ14、16と流出通路22、24との間に位置する狭隘部28、30によって、ノズルを通る体積流が絞られて、調節される。
その場合にエッジ34と後続の流出通路22、24の始端とによって形成される狭まりは、貫流する液体がこの狭隘部の周面に均一に分配されるように、形成されている。ここでは、スワールチャンバ内に発生されるスワールと、それに伴ってスワールチャンバ内で回転する液体とが、重要な役割を果たす。
その後、流出通路22、24内で、非円形のスプレイ円錐が流出通路の回転非対称に構成された壁によって成形される。
異なる勾配または異なる角度によって、流出開口部18、20へ至るまでに液滴の流出角度が個々に定められる。
それぞれ液滴がどの壁部分内にあり、かつこの壁部分の中心軸に対してどのような角度をとるかに従って、液滴の流出角度が定められて、それによって結果として非円形の断面を有するスプレイ円錐が成形される。
In that case, the significant advantage of the nozzle according to the invention is that such a cross-section of the splaying nozzle, which is different from the generally circular shape, has a wall configuration and in particular the angle of the wall of the outlet passage 24 with respect to the central longitudinal axis 32 Can only be obtained. The nozzle swirl chamber 16 and housing structure need not be modified accordingly. Depending on the respective required application and the desired cross-sectional shape of the splaying cone, the spill passage 24 can be adapted.
In order to generate a spray cone having a non-circular or different cross-section, a swirl is generated in the swirl chamber 14, 16 to generate a centrifugal force on the flowing liquid and to rotate it. . Volume flow through the nozzle is squeezed and regulated by narrow portions 28, 30 formed by edges 34 that substantially circle and positioned between the swirl chambers 14, 16 and the outflow passages 22, 24.
In this case, the narrowing formed by the edge 34 and the starting ends of the subsequent outflow passages 22 and 24 is formed so that the flowing liquid is evenly distributed on the peripheral surface of the narrowed portion. Here, the swirl generated in the swirl chamber and the accompanying liquid rotating in the swirl chamber play an important role.
Thereafter, in the outflow passages 22, 24, non-circular spray cones are formed by the rotationally asymmetrically configured walls of the outflow passages.
With different gradients or different angles, the drop outflow angles are individually determined by the way to the outflow openings 18,20.
According to which wall part each droplet is in and what angle is taken with respect to the central axis of this wall part, the droplet outlet angle is determined, thereby having a non-circular cross section A spray cone is formed.

セラミック材料又は焼結材料からなるノズルにおいては、これは、極めてフレキシブルな形成方法を可能にする。2つのスワールチャンバと接続端26とを有するノズルハウジング12は、常に同一の型で形成することができる。
ノズル連通部、したがって流出通路22、24のみが、それぞれ所望の適用場合に応じて変更される。そのために、変更した型を使用することができる。セラミック材料が所望の形状にされて、次に焼成される。このようにして、放出されるスプレイビームの様々な断面形状を有するノズルが、比較的簡単かつコストパフォーマンスよく形成される。
同様にして、焼結材料から形成されるノズルにおいても、同様に行うことができる。ここでは、たとえば金属粉末がプラスチック結合剤を混合され、型内へ噴射されて、次に焼結され、それによってその後、金属の焼結材料からなるノズルが得られる。
しかし、本発明に係るスプレイノズルは、プラスチック又は金属から鋳造し、層構造で形成し、あるいは切削加工を用いて機械的に製造することもできる。
In nozzles made of ceramic material or sintered material, this allows a very flexible forming method. The nozzle housing 12 with two swirl chambers and the connecting end 26 can always be formed in the same mold.
Only the nozzle communication, and thus the outflow passages 22, 24, are each changed depending on the desired application. For this purpose, a modified mold can be used. The ceramic material is shaped to the desired shape and then fired. In this way, nozzles having various cross-sectional shapes of the emitted spray beam are formed relatively easily and with good cost performance.
Similarly, a nozzle formed from a sintered material can be similarly used. Here, for example, a metal powder is mixed with a plastic binder, injected into a mold and then sintered, whereby a nozzle made of a sintered metal material is then obtained.
However, the spray nozzle according to the present invention can be cast from plastic or metal, formed in a layered structure, or mechanically manufactured using cutting.

本発明に係るノズルの著しい利点は、スワールチャンバの形状と流出通路22、24の始端における流出通路の円形も維持することによって、流出するスプレイビーム内の液体の均一な分配を保証できることである。スプレイビームの断面形状のみが、流出通路の形態と流出開口部18、20の形状とによって変化される。   A significant advantage of the nozzle according to the invention is that by maintaining the shape of the swirl chamber and the circular shape of the outflow passage at the beginning of the outflow passages 22, 24, a uniform distribution of the liquid in the outflowing spray beam can be ensured. Only the cross-sectional shape of the spray beam is changed by the shape of the outflow passage and the shape of the outflow openings 18 and 20.

図5は、本発明の他の実施形態に従って、本発明に係るスプレイノズル50を上面で示している。スプレイノズル50は、スワールスプレイノズルとしても形成されており、スワールチャンバ52と流出通路54とを備えたハウジングを有し、その流出通路がスワールチャンバ52と流出通路54の間の移行部から流出開口部56まで延びている。図を見る者の視線は、図5においてスプレイノズル50のスプレイ方向とは逆に流出通路54及びスワールチャンバ52内へ向いている。   FIG. 5 shows a spray nozzle 50 according to the invention in top view according to another embodiment of the invention. The spray nozzle 50 is also formed as a swirl spray nozzle and has a housing with a swirl chamber 52 and an outflow passage 54, the outflow passage opening from the transition between the swirl chamber 52 and the outflow passage 54. It extends to the part 56. The viewer's line of sight is directed into the outflow passage 54 and the swirl chamber 52 in the direction opposite to the spray direction of the spray nozzle 50 in FIG.

流出通路が、スワールチャンバ52と流出通路54の間の移行部において円形の断面を有していることが、認識される。流出通路54が流出開口部56へ向かってさらに延びると、流出通路54の断面が変化し、この断面はこの方向に拡幅もしている。
流出通路54は、流出開口部56の方向に、大体において片側が平坦になった円に相当する断面形状をとる。流出通路54のこの形状付与によって、駆動中にスプレイノズル50から放出されるスプレイ円錐も成形される。
スワールチャンバ52の中心軸58に対して垂直となる平坦な面上でスプレイノズル50は、ほぼ流出開口部56の形状を有し、あるいはそれより大きい面を有するスプレイ供給を行う。このようなスプレイ供給は、たとえば、スプレイノズルがプロセス室の壁の近傍に配置され、かつプロセス室の壁にもスプレイがかかることが望ましくない場合に、効果的である。
It will be appreciated that the outflow passage has a circular cross section at the transition between the swirl chamber 52 and the outflow passage. As the outflow passage 54 further extends toward the outflow opening 56, the cross section of the outflow passage 54 changes, and this cross section also widens in this direction.
The outflow passage 54 has a cross-sectional shape corresponding to a circle whose one side is generally flat in the direction of the outflow opening 56. By providing this shape of the outflow passage 54, a spray cone discharged from the spray nozzle 50 during driving is also formed.
On a flat surface perpendicular to the central axis 58 of the swirl chamber 52, the spray nozzle 50 provides a spray supply having a surface that is substantially in the shape of the outflow opening 56 or larger. Such a spray supply is effective, for example, when the spray nozzle is disposed in the vicinity of the wall of the process chamber and it is not desirable that the process chamber wall is sprayed.

図6は、従来のダブルスワールスプレイノズル60を有する配置を示しており、そのダブルスワールスプレイノズルは2つ並べて配置された流出開口部を有し、その流出開口部のそれぞれが、断面において円形のスプレイ円錐を放出する。その場合にスプレイ円錐は、互いに対して平行ではなく、互いに離れるように方向付けされて、スプレイノズル60の2つのスワールチャンバの中心軸が、スプレイ方向に見て流出開口部からだんだんと間隔を増大させて互いに離れるように延びている。   FIG. 6 shows an arrangement with a conventional double swirl spray nozzle 60, the double swirl spray nozzle having two outflow openings arranged side by side, each of the outflow openings being circular in cross section. Release spray cone. In that case the spray cones are oriented away from each other, rather than parallel to each other, so that the central axes of the two swirl chambers of the spray nozzle 60 gradually increase from the outflow opening as viewed in the spray direction. And extend away from each other.

それによって、2つのスプレイ円錐の重なりにおいて、中央でくくられた形状を有するスプレイ62が生じる。しかし、特に好ましくないことに、スプレイの、図6にハッチングで示す部分64は、実際には効果を発揮しない。むしろスプレイのこの部分64は、プロセス室の壁66で跳ね返る。   This results in a spray 62 having a centered shape in the overlap of the two spray cones. However, it is particularly unfavorable that the portion 64 of the spray shown by hatching in FIG. Rather, this portion 64 of the spray rebounds at the process chamber wall 66.

これは、図7の側面図でも認識される。図7の側面図においてそれ自体円錐形状のスプレイが、プロセス室の壁66へ当接するので、スプレイ62のハッチングで示された部分64は、実際に壁に当接し、もはや利用することはできない。   This is also recognized in the side view of FIG. Since the cone-shaped spray itself abuts the process chamber wall 66 in the side view of FIG. 7, the hatched portion 64 of the spray 62 actually abuts the wall and is no longer available.

図8は、図1〜4の本発明に係るスプレイノズル10を、特に一部を図式的に示すガススクラバー40内に、組み込んだ状態で図式的に示しており、そのガススクラバーの壁66の一部のみが示されている。図を見る者の視線は、図8において上から円筒形状のガススクラバー40内へ向けられている。
スプレイノズル10は、ガススクラバー40の端縁領域内に配置されており、その場合に固定は示されていない。スプレイノズル10は2つのスプレイ円錐を放出し、その場合に生じる、重なったスプレイ72のみが示されている。
説明したように、流出開口部18、20の各々から、ほぼ楕円形状を有するスプレイ円錐が流出する。その場合に重なりにおいては、長円の断面を有するスプレイ72が生じる。
スプレイノズル10がガススクラバー40の端縁領域内に配置されることに基づいて、スプレイビーム72のこのような長円の断面形状が望ましいことが、よく認識される。
というのは、それによって、円形の断面を有するスプレイ円錐に比較して見て、定められた間隔内で、ガススクラバー40の壁にはスプレイされた液体が極めてわずかしか達しないことを、保証することができるからである。
FIG. 8 schematically shows the spray nozzle 10 according to the present invention of FIGS. 1 to 4 in a state where it is incorporated, in particular, in a gas scrubber 40 schematically showing part of the wall 66 of the gas scrubber. Only a portion is shown. The line of sight of the person viewing the figure is directed into the cylindrical gas scrubber 40 from above in FIG.
The spray nozzle 10 is arranged in the edge region of the gas scrubber 40, in which case fixing is not shown. The spray nozzle 10 emits two spray cones, and only the overlapping spray 72 that results is shown.
As described, a spray cone having a substantially elliptical shape flows out of each of the outflow openings 18 and 20. In that case, in the overlap, a spray 72 having an oval cross section is generated.
It is well recognized that such an oval cross-sectional shape of the spray beam 72 is desirable based on the spray nozzle 10 being positioned within the edge region of the gas scrubber 40.
This ensures that very little of the sprayed liquid reaches the walls of the gas scrubber 40 within a defined interval, as compared to a spray cone with a circular cross section. Because it can.

本発明に係るスプレイノズルによって、放出されるスプレイの断面形状は、個々に放出されるスプレイ円錐であろうと、2つ以上の重なり合ったスプレイ円錐の断面形状であろうと、広い限界内で調節することができる。それによって、それぞれ与えられる適用場合と具体的な適用場合において望まれる断面形状にしたがって、最適なスプレイ結果を得ることができる。   With the spray nozzle according to the invention, the cross-sectional shape of the ejected spray can be adjusted within wide limits, whether it is a spray cone that is ejected individually or two or more overlapping spray cones. Can do. Thereby, an optimal spray result can be obtained according to the desired cross-sectional shape in each given application case and specific application case.

図示される実施形態は、スプレイビームを同一の方向へ放出する2つの流出開口部を有するダブルスワールスプレイノズルを示している。
しかし、本発明は、他の種類のスプレイノズルにも、特に1つの流出開口部のみを有するスワールスプレイノズルにも、あるいはダブルスワールスプレイノズルであって、2つの流出開口部を有し、それらからスプレイビームが逆方向に流出するものにも、適用できることは、明らかである。
本発明は、2つより多くの流出開口部を有するマルチスプレイノズルにも、適用することができる。
The illustrated embodiment shows a double swirl spray nozzle having two outflow openings that emit the spray beam in the same direction.
However, the present invention can be applied to other types of spray nozzles, in particular to swirl spray nozzles having only one outflow opening, or to double swirl spray nozzles having two outflow openings and from them It is clear that the present invention can be applied to the case where the spray beam flows out in the opposite direction.
The present invention can also be applied to multi-spray nozzles having more than two outflow openings.

本発明に係るダブルスワールスプレイノズル10は、図8に示すように、プロセス室の壁66に対して、図6のスプレイノズル60と同一の箇所に配置されている。
しかし図8においては、本発明に係るダブルスワールスプレイノズル10によって、長円形の断面形状を有するスプレイ72を形成できることが、認識される。これは、ダブルスワールスプレイノズル10によって発生される2つのスプレイ円錐の重畳によって達成される。
図8においてすでに認識されるように、発生されるスプレイ72の極めてわずかな部分74のみが壁66へ当接して、そこで失われる。
As shown in FIG. 8, the double swirl spray nozzle 10 according to the present invention is disposed at the same location as the spray nozzle 60 of FIG. 6 with respect to the wall 66 of the process chamber.
However, in FIG. 8, it is recognized that the spray 72 having an oval cross-sectional shape can be formed by the double swirl spray nozzle 10 according to the present invention. This is achieved by the superposition of two spray cones generated by the double swirl spray nozzle 10.
As already recognized in FIG. 8, only a very small portion 74 of the generated spray 72 abuts against the wall 66 and is lost there.

これが、図9の側面図においても認識される。長円形の断面形状を有するスプレイ72は、ずっと少ない壁損失を有する。というのは、スプレイ72のもっとも外側の端縁部分のみが、壁66に当接するからである。それによって、図6と図7の従来のダブルスワールスプレイノズル60を有する配置と比較して、ずっと少ない壁損失を達成することができ、それにもかかわらず本発明に係るダブルスワールスプレイノズル10によって、プロセス室の大きな面積をカバーすることができる。   This is also recognized in the side view of FIG. A spray 72 having an oval cross-sectional shape has much less wall loss. This is because only the outermost edge portion of the spray 72 abuts against the wall 66. Thereby, much less wall loss can be achieved compared to the arrangement with the conventional double swirl spray nozzle 60 of FIGS. 6 and 7, nevertheless by the double swirl spray nozzle 10 according to the invention, A large area of the process chamber can be covered.

したがって、本発明に係るダブルスワールスプレイノズル10は、放出されるスプレイ72を成形し、それによって大きいスプレイ角度を利用することを可能にし、壁66にスプレイされる媒体が無使用のまま失われることがない。   Thus, the double-swirl spray nozzle 10 according to the present invention allows the spray 72 to be ejected to be shaped, thereby making it possible to utilize a large spray angle, so that the medium sprayed on the wall 66 is lost unused. There is no.

図10は、2つの従来のダブルスワールスプレイノズル60を有する配置を上面で示している。ダブルスワールスプレイノズル60は、それぞれ円形の断面形状を有する2つのスプレイ円錐を発生させる。それらが重なるとスプレイ76が生じ、それは上面で見て、略2か所で狭められたバルーンの形状を有している。
ダブルスワールスプレイノズル60から放出される4つのスプレイ円錐の重なりにより、大きなスプレイ角度と組み合わせて、スプレイ76による大面積のカバーを達成できることが、認識される。もちろんスプレイ76の大きな部分がプロセス室の壁66へ当接し、それが、スプレイ76のハッチングで示される部分78によって示唆されている。
FIG. 10 shows a top view of an arrangement with two conventional double swirl spray nozzles 60. The double swirl spray nozzle 60 generates two spray cones each having a circular cross-sectional shape. When they overlap, a spray 76 is created, which has the shape of a balloon narrowed in approximately two places when viewed from above.
It will be appreciated that the overlap of the four spray cones emitted from the double swirl spray nozzle 60 can achieve large area coverage with the spray 76 in combination with a large spray angle. Of course, a large portion of the spray 76 abuts the process chamber wall 66, which is suggested by the portion 78 indicated by the hatching of the spray 76.

図11の側面図は、放出されるスプレイ76をはっきりと示しており、そのスプレイは部分的に壁66へ当接するので、スプレイ76の部分78が失われ、この部分78からスプレイされた媒体は、もはやプロセス室内で、たとえばガス浄化に、利用することはできない。   The side view of FIG. 11 clearly shows the spray 76 that is ejected, and since that spray partially abuts the wall 66, a portion 78 of the spray 76 is lost and the media sprayed from this portion 78 is It can no longer be used in the process chamber, for example for gas purification.

図12は、本発明の他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るダブルスワールスプレイノズル80を有する配置を示している。本発明に係るダブルスワールスプレイノズル80のそれぞれの流出通路とそれぞれの流出開口部は次のように、すなわち、重なりにおいて、図12の上面図において面取りされた角を備えた矩形の形状を有するスプレイ82が生じるように、形成されている。図10の配置におけるように、スプレイ82によって大面積のカバーを達成することができるが、図12にハッチングで示される部分84は、図10の配置の部分78よりもずっと小さいことが、よく認識される。本発明に係るダブルスワールスプレイノズル80内でスプレイ円錐を非円形の断面形状に成形することによって、壁損失が著しく減少し、それは、スプレイ82のハッチングで示される部分84が、図10の配置における部分78よりもずっと小さいことによって、認識される。したがって2つの本発明に係るダブルスワールノズル80を有する配置によって、スプレイされる媒体をずっと良好に利用することができる。   FIG. 12 shows an arrangement with two inventive double swirl spray nozzles 80 according to another embodiment of the invention. Each outflow passage and each outflow opening of the double swirl spray nozzle 80 according to the present invention has a rectangular shape with chamfered corners in the top view of FIG. 82 is formed. As in the arrangement of FIG. 10, a large area cover can be achieved by the spray 82, but it is well recognized that the portion 84 shown hatched in FIG. 12 is much smaller than the portion 78 of the arrangement of FIG. Is done. By forming the spray cone into a non-circular cross-sectional shape within the double-swirl spray nozzle 80 according to the present invention, the wall loss is significantly reduced, since the portion 84 shown by the hatching of the spray 82 is in the arrangement of FIG. Recognized by being much smaller than portion 78. Thus, the arrangement having two double swirl nozzles 80 according to the present invention allows much better utilization of the sprayed media.

図13の側面図は、図12の配置を側面で示している。スプレイ82の極めてわずかな割合のみが、プロセス室の壁66へ当接することが、認識される。   The side view of FIG. 13 shows the arrangement of FIG. It will be appreciated that only a very small percentage of the spray 82 abuts against the process chamber wall 66.

図14は、本発明の他の実施形態に基づく、2つの本発明に係るダブルスワールスプレイノズル81を有する配置を示している。本発明に係るダブルスワールスプレイノズル81のそれぞれの流出通路とそれぞれの流出開口部は、重なりにおいてスプレイ83が生じるように形成されている。スプレイ83は、非対称であって、スプレイノズル81から出て、壁66に対するよりも、円形の壁66の内部空間へむかって延びている。   FIG. 14 shows an arrangement with two double swirl spray nozzles 81 according to the invention, according to another embodiment of the invention. The respective outflow passages and the respective outflow openings of the double swirl spray nozzle 81 according to the present invention are formed so that a spray 83 is generated in the overlap. The spray 83 is asymmetric and extends out of the spray nozzle 81 toward the interior space of the circular wall 66 rather than to the wall 66.

図15は、図14の配置を側面図で示している。非対称のスプレイ83によって、発生される液滴スプレイの極めてわずかな割合が壁66へ当接し、かつ壁66から形方向内側へ向かって、したがって図15において右へ向かって、プロセス室の大きい面をカバーできることが、認識される。   FIG. 15 shows the arrangement of FIG. 14 in a side view. Due to the asymmetric spray 83, a very small proportion of the generated droplet spray abuts the wall 66 and moves inward from the wall 66 in the direction of the shape and thus to the right in FIG. It is recognized that it can be covered.

図16は、2つの従来のスワールスプレイノズル86を有する配置を上面で示している。2つのスワールスプレイノズル86は、それぞれ円形の断面形状を有するスプレイ円錐を発生させる。スワールスプレイノズル86は、共通の集合配管88からスプレイすべき媒体を供給される。スワールスプレイノズル86は、大きいスプレイ角度を有し、それによってプロセス室のできるだけ大きい割合に放出されるスプレイ円錐を供給することができるように、選択される。   FIG. 16 shows a top view of an arrangement with two conventional swirl spray nozzles 86. The two swirl spray nozzles 86 each generate a spray cone having a circular cross-sectional shape. The swirl spray nozzle 86 is supplied with a medium to be sprayed from a common collecting pipe 88. The swirl spray nozzle 86 is selected such that it has a large spray angle, thereby providing a spray cone that is discharged in as large a proportion of the process chamber as possible.

しかし結果として、それぞれ放出されるスプレイ円錐92の、図16のハッチングで示す割合94が集合配管88へ当接する。それによって、スプレイされた媒体が失われ、たとえばガス浄化のために使用することができず、さらに、長い目で見ると、放出されたスプレイ円錐92が集合配管88を損傷させる危険がある。   However, as a result, the ratio 94 shown by hatching in FIG. Thereby, the sprayed medium is lost and cannot be used for gas purification, for example, and in the long run there is a risk that the discharged spray cone 92 will damage the collecting pipe 88.

図17は、図16の配置を側面図で示している。放出されたスプレイ円錐92の割合94が集合配管88へ当接することが、よく認識される。   FIG. 17 shows the arrangement of FIG. 16 in a side view. It is well recognized that the proportion 94 of the discharged spray cone 92 abuts the collecting pipe 88.

図18は、2つの従来のスワールスプレイノズル96を有する他の配置を上面で示している。2つのスワールスプレイノズル96のスプレイ角度は、図16と図17のスワールスプレイノズル86におけるよりも小さく選択されている。それによって(図19の側面図も参照)、放出されるスプレイ円錐98が集合配管88へ当接することは、回避される。しかし同時に、放出されるスプレイ円錐98による供給が、図16と図17のスワールスプレイノズル86におけるよりもずっと小さくなることも、容認しなければならない。   FIG. 18 shows another arrangement with two conventional swirl spray nozzles 96 on the top surface. The splay angles of the two swirl spray nozzles 96 are selected to be smaller than in the swirl spray nozzle 86 of FIGS. Thereby (see also the side view of FIG. 19), it is avoided that the spray cone 98 to be released abuts the collecting pipe 88. At the same time, however, it must be accepted that the delivery by the ejected spray cone 98 is much smaller than in the swirl spray nozzle 86 of FIGS.

図20は、2つの本発明に係るスワールスプレイノズル90を有する配置を上面で示している。2つのスワールスプレイノズル90は、それぞれ断面が長円形のスプレイ円錐102を放出する。図20によって明らかなように、2つのスプレイ円錐102の重なりによってプロセス室に大面積で供給することができる。図21の側面図からは、同時に、放出されたスプレイ円錐102の、集合配管88への当接が回避されることが、認識される。   FIG. 20 shows a top view of an arrangement with two swirl spray nozzles 90 according to the present invention. The two swirl spray nozzles 90 each emit a spray cone 102 having an oval cross section. As can be seen from FIG. 20, the process chamber can be supplied in a large area by the overlap of the two spray cones 102. It can be recognized from the side view of FIG. 21 that, at the same time, the contact of the discharged spray cone 102 with the collecting pipe 88 is avoided.

図22は、2つの本発明に係るスワールスプレイノズル91を有する配置を上面で示している。2つのスワールスプレイノズル91は、それぞれ断面が不規則に成形されたスプレイ円錐103を放出する。スプレイ円錐103は、集合配管88の方向におけるよりも、集合配管88から離れる方向に、さらにプロセス室内へ延びている。それによってまず、プロセス室の大面積の供給を得ることができ、さらに(図23の側面図を参照)、放出されたスプレイ円錐103が集合配管88へ当接することが、回避される。   FIG. 22 shows a top view of an arrangement with two swirl spray nozzles 91 according to the present invention. The two swirl spray nozzles 91 each emit a spray cone 103 whose section is irregularly shaped. The spray cone 103 extends further into the process chamber in a direction away from the collective pipe 88 than in the direction of the collective pipe 88. Thereby, a large area supply of the process chamber can be obtained first (see also the side view of FIG. 23), and the discharged spray cone 103 is prevented from coming into contact with the collecting pipe 88.

図24は、2つの従来のダブルスワールスプレイノズル104を有する配置を示しており、その場合に(図25の側面図も参照)、ダブルスワールスプレイノズル104の各々は、上方へ向けられたスプレイ円錐106と下方へ向けられたスプレイ円錐108を放出する。   FIG. 24 shows an arrangement with two conventional double swirl spray nozzles 104 (see also the side view of FIG. 25), where each of the double swirl spray nozzles 104 is directed upwardly with a spray cone. 106 and a spray cone 108 directed downwards are discharged.

2つのダブルスワールスプレイノズル104は、共通の集合配管88から供給される。スプレイ円錐106、108による大面積の供給を達成するために、大きいスプレイ角度が選択される。
しかし、図25の側面図において認識されるように、上方へ流出するスプレイ円錐106は部分的に集合配管88へ当接する。それによってまず、スプレイされた媒体が失われ、さらに、集合配管88の損傷の危険が存在する。
The two double swirl spray nozzles 104 are supplied from a common collecting pipe 88. In order to achieve a large area of supply by the spray cones 106, 108, a large spray angle is selected.
However, as will be recognized in the side view of FIG. 25, the spray cone 106 that flows upward partially contacts the collecting pipe 88. As a result, the sprayed medium is lost first, and there is a risk of damage to the collecting pipe 88.

図26は、2つの従来のダブルスワールスプレイノズル110を有する配置を上面で示している。
ダブルスワールスプレイノズル110はそれぞれ(図27の側面図も参照)、上方へ向かう、小さいスプレイ角度を有するスプレイ円錐112と、下方へ向かう、大きいスプレイ角度を有するスプレイ円錐114とを放出する。
それによって(図27の側面図も参照)、上方へ放出されたスプレイ円錐112が集合配管88にスプレイすることは、回避することができる。もちろん、上方へ放出されたスプレイ円錐112のプロセス室への供給は、比較的少なく、満足のゆくものではない。
FIG. 26 shows an arrangement with two conventional double swirl spray nozzles 110 on the top surface.
Each of the double swirl spray nozzles 110 (see also the side view of FIG. 27) emits a spray cone 112 with a small spray angle going upward and a spray cone 114 with a large spray angle going downward.
As a result (see also the side view of FIG. 27), the spray cone 112 released upward can be prevented from spraying on the collecting pipe 88. Of course, the supply of spray cone 112 released upwards into the process chamber is relatively small and unsatisfactory.

図28は、2つの本発明に係るダブルスワールスプレイノズル100を有する配置を示している。ダブルスワールスプレイノズル100は(図29の側面図も参照)、下方へ向かってそれぞれ、円形の断面を有するスプレイ円錐114を放出し、上方へ向かってはそれぞれ、長円の断面を有するスプレイ円錐11を放出する。
それによって、スプレイ方向に上方へ向かっても、断面が長円形の2つのスプレイ円錐116の重なりによって、プロセス室の大面積の供給が達成されるが、同時に、上方へ放出されるスプレイ円錐116が集合配管88へスプレイしないことも、保証することができる。
FIG. 28 shows an arrangement having two double swirl spray nozzles 100 according to the present invention. The double swirl spray nozzle 100 (see also the side view of FIG. 29) discharges a spray cone 114 having a circular cross-section downward, respectively, and a spray cone 11 having an oval cross-section upward. Release.
Thereby, even when moving upward in the spray direction, a large area supply of the process chamber is achieved by the overlap of the two spray cones 116 having an oval cross section, but at the same time the spray cone 116 discharged upwards It can also be ensured that no spray is applied to the collecting pipe 88.

図30は、2つの本発明に係るダブルスワールスプレイノズル101を有する配置を示している。ダブルスワールスプレイノズル101の各々は、下方へ向かっては、円形の断面を有するスプレイ円錐105を、そして上方へ向かっては、不規則に成形された断面を有するスプレイ円錐107を放出する。
図31の側面図において認識されるように、不規則に成形されたスプレイ円錐107によって、プロセス室は大面積で供給されるが、集合配管88には上方へ向かって放出されたスプレイビーム107がかからない。
そのために、ダブルスワールスプレイノズル101の上方へ向けられた流出開口部は次のように、すなわちスプレイビーム107が集合配管88へ向かう方向におけるよりも、集合配管88から離れてずっとプロセス室内へ延びるように、形成されている。
これは、説明したように、流出開口部の壁が、集合配管88へ向いた側において、集合配管88とは逆の側におけるよりも急峻な角度を有していることによって、達成される。
FIG. 30 shows an arrangement having two double swirl spray nozzles 101 according to the present invention. Each of the double swirl spray nozzles 101 emits a spray cone 105 having a circular cross section downward and a spray cone 107 having an irregularly shaped cross section upward.
As can be seen in the side view of FIG. 31, the irregularly shaped spray cone 107 provides the process chamber with a large area, but the collective pipe 88 has a spray beam 107 emitted upward. It does not take.
For this purpose, the outflow opening directed upwards of the double swirl spray nozzle 101 extends in the process chamber farther away from the collecting pipe 88 than in the direction in which the spray beam 107 is directed to the collecting pipe 88 as follows. Is formed.
This is achieved, as explained, by having a steeper angle on the side facing the collecting pipe 88 than on the side opposite the collecting pipe 88, as described.

図32は、2つの従来のダブルスワールスプレイノズル118を有する配置を示している。ダブルスワールスプレイノズル118の各々は、それぞれ円形の断面を有する2つのスプレイ円錐を放出し、その場合に、図33の側面図において認識されるように、各ダブルスワールスプレイノズル118のスワールチャンバの中心軸線は、スプレイ方向に見て互いにやや離れるように延びている。放出されたスプレイ120は、大面積のカバーを保証するが、部分的に集合配管88にスプレイしている(図33も参照)。   FIG. 32 shows an arrangement with two conventional double swirl spray nozzles 118. Each of the double swirl spray nozzles 118 emits two spray cones, each having a circular cross-section, in which case the center of the swirl chamber of each double swirl spray nozzle 118 as recognized in the side view of FIG. The axes extend slightly away from each other when viewed in the spray direction. The discharged spray 120 guarantees a large area cover, but is partially sprayed into the collecting pipe 88 (see also FIG. 33).

図34は、2つの従来のダブルスワールスプレイノズル122を有する他の配置を示しており、その場合に図32と33のダブルスワールスプレイノズル118に比較して、より小さいスプレイ角度が選択されている。
図35において認識されるように、集合配管88にスプレイすることは回避できるが、もちろん、図32と34または33と35を比較することによって容易に確認することができるように、スプレイされた媒体が供給されるのは、プロセス室のずっと小さい面のみである。
FIG. 34 shows another arrangement with two conventional double swirl spray nozzles 122, where a smaller spray angle is selected compared to the double swirl spray nozzle 118 of FIGS. .
As can be seen in FIG. 35, spraying into the collective piping 88 can be avoided, but of course the sprayed media so that it can be easily ascertained by comparing FIGS. 32 and 34 or 33 and 35. Is supplied only on a much smaller side of the process chamber.

図36は、2つの本発明に係るダブルスワールスプレイノズル130を有する配置を上面で示している。ダブルスワールスプレイノズル130の各々が、2つのスプレイ円錐を放出し、その場合に第1の放出されるスプレイ円錐132は円形の断面を有し、第2の放出されるスプレイ円錐134は長円の断面を有している。   FIG. 36 shows an arrangement with two double swirl spray nozzles 130 according to the present invention on the top side. Each of the double swirl spray nozzles 130 emits two spray cones, in which case the first ejected spray cone 132 has a circular cross section and the second ejected spray cone 134 has an oval shape. It has a cross section.

ダブルスワールスプレイノズル130の2つのスワールチャンバは、互いに対して角度をもって配置されているので、スプレイ方向に見て2つのスワールチャンバの中心軸線の間の間隔が増大する。   Since the two swirl chambers of the double swirl spray nozzle 130 are arranged at an angle with respect to each other, the spacing between the central axes of the two swirl chambers is increased when viewed in the spray direction.

スプレイビーム132、134の重なりから生じるスプレイビーム全体は、不規則な形状を有している。
しかし重なることによって(図37も参照)、プロセス室の大面積の供給が得られ、同時に集合配管88にスプレイされることは回避することができる。
図37において認識されるように、スプレイ円錐132、134が貫通しあって、それによって生じる重なったスプレイは、集合配管88の領域に触れない。
The entire spray beam resulting from the overlap of the spray beams 132, 134 has an irregular shape.
However, by overlapping (see also FIG. 37), it is possible to obtain a large area supply of the process chamber and at the same time avoid spraying to the collecting pipe 88.
As can be seen in FIG. 37, the spray cones 132, 134 penetrate and the resulting overlapping spray does not touch the area of the collective piping 88.

図38は、2つの本発明に係るダブルスワールスプレイノズル136を有する配置を示している。ダブルスワールスプレイノズルの各々は、ほぼ等しい方向に下方へ向かって2つのスプレイ円錐を放出し、その場合に第1のスプレイ円錐138は円形の断面を有し、第2のスプレイ円錐140は不規則に成形された断面を有している。
その場合に不規則に成形された断面は次のように、すなわちスプレイ円錐140が、集合配管88へ向かう方向におけるよりも、ずっと深くプロセス室内へ、したがって集合配管から離れて、延びるように、形成されている。
2つのスプレイビーム138と2つのスプレイビーム140の重なりの中に、図39の側面図に示すスプレイが生じる。プロセス室は大面積でカバーされるが、集合配管88には供給されないことが、認識される。
FIG. 38 shows an arrangement with two double swirl spray nozzles 136 according to the present invention. Each of the double swirl spray nozzles emits two spray cones downward in approximately equal directions, in which case the first spray cone 138 has a circular cross section and the second spray cone 140 is irregular. It has a cross section molded into
In that case, the irregularly shaped cross-section is formed as follows: the spray cone 140 extends much deeper into the process chamber and thus away from the collecting pipe than in the direction towards the collecting pipe 88. Has been.
In the overlap of the two spray beams 138 and the two spray beams 140, the spray shown in the side view of FIG. 39 occurs. It will be appreciated that the process chamber is covered by a large area but is not supplied to the collecting pipe 88.

したがって本発明の他の視点は、少なくとも2つのスプレイ円錐を重ねることによってスプレイ供給の所望の形状を発生させることにあり、その場合に2つのスプレイ円錐の少なくとも1つが非円形の断面形状を有している。   Accordingly, another aspect of the present invention is to generate the desired shape of the spray supply by overlapping at least two spray cones, where at least one of the two spray cones has a non-circular cross-sectional shape. ing.

Claims (10)

ノズルハウジング(12)、ノズルハウジング(12)内に配置されている、少なくとも1つのスワールチャンバ(14、16)及び少なくとも1つの流出開口部(18、20)を有するスプレイノズルであって、
流出開口部(18、20)が流出通路(22、24)の端部に配置されており、
前記流出通路がスワールチャンバ(14、16)から出て、流出開口部(18、20)の方向へ拡幅し、
スワールチャンバ(14、16)から流出通路(22、24)内へ移行する移行部に狭隘部が配置されており、かつ、
流出通路の壁の角度が狭隘部から流出開口部(18、20)へ向かう方向にだんだんと増大し、あるいは部分的に等しいままである、ものにおいて、
流出開口部(18、20)の形状が、円形とは異なり、
流出開口部(18、20)における流出通路(22、24)の壁の角度が、流出開口部(18、20)の周方向に見て、一定ではなく、かつ、
スプレイすべき液体が、前記少なくとも1つのスワールチャンバ(14、16)へ該スワールチャンバの内壁の円周方向に供給される、
ことを特徴とするスプレイノズル。
A spray nozzle having at least one swirl chamber (14, 16) and at least one outflow opening (18, 20) disposed in the nozzle housing (12), the nozzle housing (12),
The outflow opening (18, 20) is located at the end of the outflow passageway (22, 24);
The outflow passage exits the swirl chamber (14, 16) and widens in the direction of the outflow opening (18, 20);
A narrow portion is disposed at the transition portion transitioning from the swirl chamber (14, 16) into the outflow passageway (22, 24), and
In which the angle of the wall of the outflow passage gradually increases in the direction from the narrow part to the outflow opening (18, 20) or remains partially equal,
The shape of the outflow opening (18, 20) is different from a circle,
The angle of the wall of the outflow passageway (22, 24) in the outflow opening (18, 20) is not constant when viewed in the circumferential direction of the outflow opening (18, 20), and
Liquid to be sprayed is fed to the at least one swirl chamber (14, 16) in the circumferential direction of the inner wall of the swirl chamber ;
A spray nozzle characterized by that.
流出通路(22、24)が、スワールチャンバ(14、16)から流出通路(22、24)内へ移行する移行部において円形の断面を有している、
ことを特徴とする請求項1に記載のスプレイノズル。
The outflow passageway (22, 24) has a circular cross-section at the transition from the swirl chamber (14, 16) to the outflow passageway (22, 24);
The spray nozzle according to claim 1.
流出開口部(18、20)における流出通路(22、24)の中心長手軸(32)に対する流出通路(22、24)の壁の角度が、0度〜90度の範囲にある、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のスプレイノズル。
The angle of the wall of the outflow passage (22, 24) with respect to the central longitudinal axis (32) of the outflow passage (22, 24) in the outflow opening (18, 20) is in the range of 0 to 90 degrees;
The spray nozzle according to claim 1 or 2, characterized in that.
流出開口部(18、20)における流出通路(22、24)の壁の角度が、流出開口部(18、20)の周にわたって見て、25°〜70°の範囲、特に32.5°〜65°の範囲で変化する、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のスプレイノズル。
The angle of the wall of the outflow passageway (22, 24) in the outflow opening (18, 20) ranges from 25 ° to 70 °, in particular from 32.5 ° to the circumference of the outflow opening (18, 20). Changes in the range of 65 °,
The spray nozzle according to any one of claims 1 to 3, wherein:
流出開口部(18、20)が、長円又は楕円の形状を有している、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のスプレイノズル。
The outflow opening (18, 20) has an oval or elliptical shape;
The spray nozzle according to any one of claims 1 to 4, wherein the spray nozzle is provided.
2つのスワールチャンバ(14、16)と2つの流出開口部(18、20)が設けられており、
流出開口部(18、20)は、スプレイビームが2つの流出開口部(18、20)を通ってハウジング(12)の同じ側へ向かって流出するように、配置されている、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のスプレイノズル。
Two swirl chambers (14, 16) and two outflow openings (18, 20) are provided;
The outflow openings (18, 20) are arranged so that the spray beam flows out through the two outflow openings (18, 20) towards the same side of the housing (12),
The spray nozzle according to any one of claims 1 to 5, wherein:
2つのスワールチャンバと2つの流出開口部が設けられており、
流出開口部は、スプレイビームが2つの流出開口部を通ってハウジングの互いに逆となる側へ向かって流出するように、配置されている、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のスプレイノズル。
Two swirl chambers and two outflow openings are provided,
The outflow opening is arranged so that the spray beam flows out through the two outflow openings toward opposite sides of the housing,
The spray nozzle according to any one of claims 1 to 5, wherein:
ノズルハウジング(12)が、鋳造あるいは射出成形されて、次に焼成あるいは焼結されて成る、
ことを特徴とする請求項1から7の少なくとも1項に記載のスプレイノズル。
The nozzle housing (12) is cast or injection molded and then fired or sintered;
The spray nozzle according to at least one of claims 1 to 7.
スプレイノズルを用いて非円形の断面を有するスプレイ円錐を発生させる方法であって、以下のステップ:
−スプレイすべき液体をスワールチャンバ内へ該スワールチャンバの内壁の円周方向に導入するステップと、
−スワールチャンバを通って流れる液体へ遠心力を発生させるためにスワールを発生させるステップと、
−スワールチャンバとスプレイノズルの流出開口部において終了している流出通路の間の狭隘部を用いてスワールチャンバから流出する液体の量を絞り、かつ調節するステップとであって、狭隘部によってスプレイされる液体が均一に狭隘部の周面上へ分配される、ステップと、
−流出通路の壁を用いて流出通路内の液滴の流出角度を予め定めることによって、流出通路内で非円形の断面を有するスプレイ円錐を成形ステップであって、前記流出通路が狭隘部から始まって流出開口部まで、その周面にわたって見て、少なくとも部分的に、流出開口部まで流出通路の中心軸に対して異なる角度で拡幅している、ステップと、
を含む、
ことを特徴とする非円形のスプレイ円錐を発生させる方法。
A method of generating a spray cone having a non-circular cross-section using a spray nozzle, comprising the following steps:
Introducing the liquid to be sprayed into the swirl chamber in the circumferential direction of the inner wall of the swirl chamber ;
-Generating a swirl to generate a centrifugal force on the liquid flowing through the swirl chamber;
Squeezing and adjusting the amount of liquid flowing out of the swirl chamber using a constriction between the swirl chamber and the outflow passage ending at the outflow opening of the spray nozzle, which is sprayed by the constriction The liquid to be uniformly distributed on the circumferential surface of the narrow part; and
-Forming a spray cone having a non-circular cross-section in the outflow passage by pre-determining the outflow angle of the droplet in the outflow passage using the wall of the outflow passage, said outflow passage starting from a constriction; Widening at different angles with respect to the central axis of the outflow passage to the outflow opening, at least partially, as viewed across its peripheral surface,
including,
A method of generating a non-circular spray cone characterized by:
少なくとも2つのスプレイ円錐が重なり、スプレイ円錐の少なくとも1つが流出開口部に対して平行な平面内で見て、円形とは異なる断面形状を有している、
ことを特徴とする請求項9に記載の方法。
At least two spray cones overlap, and at least one of the spray cones has a cross-sectional shape different from a circle when viewed in a plane parallel to the outflow opening,
The method of claim 9.
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