JP6420847B2 - 部品供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、マガジンが有する複数段のスロットに収容されたパレットを引き出して該パレットに載せられた部品を供給する部品供給装置に関する。

従来、この種の部品供給装置としては、チップ部品が配列されたトレーを収容するトレー収容部（スロット）を有するラック（マガジン）を、上下にそれぞれ設けたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この部品供給装置では、上段のラックに対応する上部ドアと、下段のラックに対応する下部ドアとを備え、上部ドアを開くことで上段のラックのトレー収容部からトレーの交換作業を行うことができ、下部ドアを開くことで下段のラックのトレー収容部からトレーの交換作業を行うことができる。これにより、両ラックのうち一方に属するトレーの交換が行われている間にも、他方のラックのトレーを対象として自動運転による部品供給を行うことができるとしている。
特開平６−２１６５７４号公報

しかしながら、上述した部品供給装置では、２つのラック（マガジン）を搭載するから、これらの設置スペースを必要とする結果、装置全体が大型化してしまう。また、ラックからトレーを引き出すための機構やトレー（パレット）に載せられた部品を供給するための機構も２つのラックに対応しなければならず、装置が複雑化する場合がある。

本発明は、装置の小型化や簡素化を図りつつ、部品の供給を行っている間のパレット交換作業を可能とすることを主目的とする。

本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

本発明は、
マガジンが有する複数段のスロットに収容されたパレットを引き出して該パレットに載せられた部品を供給する部品供給装置であって、
前記マガジンを保持可能な保持部と、
開閉可能に構成され、開放状態で前記保持部への前記マガジンの載置と該保持部からの該マガジンの取り出しとが可能な大扉と、
開閉可能に構成され、開放状態で前記複数段のスロットのうち第１スロット群に対して前記パレットの取り出しと収容とが可能な第１小扉と、
前記第１小扉と独立して開閉可能に構成され、開放状態で前記複数段のスロットのうち前記第１スロット群とは異なる第２スロット群に対して前記パレットの取り出しと収容とが可能な第２小扉と、
を備えることを要旨とする。

この本発明の部品供給装置では、開放状態で保持部へのマガジンの載置と保持部からのマガジンの取り出しとが可能な大扉と、開放状態でマガジンが有する複数段のスロットのうち第１スロット群に対してパレットの取り出しと収容とが可能な第１小扉と、開放状態で複数段のスロットのうち第２スロット群に対してパレットの取り出しと収容とが可能な第２小扉とを設ける。第１小扉と第２小扉とは、互いに独立して開閉可能に構成する。これにより、１つのマガジンにおいて、複数段のスロットのうち一部のスロットに収容されているパレットにより部品を供給している間、他のスロットに対してパレットの交換作業を行うことが可能となる。これにより、装置の小型化や簡素化を図りつつ、部品の供給を行っている間のパレット交換作業を可能とすることができる。

こうした本発明の部品供給装置において、前記第１小扉と前記第２小扉は、前記大扉に設けられているものとすることもできる。こうすれば、第１小扉と第２小扉とを設けるためのスペースを別途必要としないから、装置をより小型化することができる。

また、本発明の部品供給装置において、前記マガジンは、前記第１スロット群と前記第２スロット群との間に空きスロットを有し、前記空きスロットに収容される仕切り板を備えるものとすることもできる。こうすれば、パレットの交換作業時の安全性を確保することができる。

さらに、本発明の部品供給装置において、閉鎖状態で前記第１小扉をロックする第１ロック手段と、閉鎖状態で前記第２小扉をロックする第２ロック手段と、前記第１スロット群および前記第２スロット群のうち部品を供給しているスロット群に対応する小扉をロックすると共に部品を供給していないスロット群に対応する小扉のロックを解除するロック制御手段と、を備えるものとすることもできる。こうすれば、パレットの交換作業時の安全性をより高めることができる。

部品実装システム１０の構成の概略を示す構成図である。 部品供給装置２０の外観を示す外観図である。 部品供給装置２０の制御装置４０と部品実装装置５０の制御装置６０との電気的な接続関係を示す説明図である。 大扉２２の開放の様子を示す説明図である。 小扉２３の開放の様子を示す説明図である。 マガジン３０とパレット３４の外観を示す外観図である。 マガジン３０の各スロット３２とウエハ補給位置との関係を説明する説明図である。 上段の小扉２３および下段の小扉２４とウエハ補給位置との関係を説明する説明図である。 制御装置４０のＣＰＵ４１により実行される部品供給処理の一例を示すフローチャートである。

次に、本発明を実施するための形態について実施例を用いて説明する。

図１は、部品実装システム１０の構成の概略を示す構成図であり、図２は、本発明の一実施例としての部品供給装置２０の外観を示す外観図であり、図３は、部品供給装置２０の制御装置４０と部品実装装置５０の制御装置６０との電気的な接続関係を示す説明図であり、図４は、大扉２２の開放の様子を示す説明図であり、図５は、上段の小扉２３の開放の様子を示す説明図である。

部品実装システム１０は、図１に示すように、電子部品（以下、「部品」という）Ｐを回路基板（以下、「基板」という）Ｓ上に実装する部品実装装置５０と、部品実装装置５０に部品Ｐを供給する本発明の一実施例としての部品供給装置２０とを備える。

部品実装装置５０は、図１に示すように、基板Ｓを搬送する基板搬送装置５２と、搬送された基板Ｓをバックアップするバックアップ装置５４と、部品供給装置２０から供給された部品Ｐを吸着ノズル５７でピックアップして基板Ｓ上に装着するヘッドユニット５６と、ヘッドユニット５６をＸＹ方向に移動させるＸＹロボット５８と、装置全体を制御する制御装置６０（図３参照）とを備える。また、部品実装装置５０は、この他に、吸着ノズル５７に吸着された部品Ｐの吸着姿勢を下方から撮像するためのパーツカメラ５９も備えており、パーツカメラ５９の撮像により得られた画像に基づいて吸着ノズル５７に部品Ｐが正常に吸着されているか否かの判定を行う。

実施例の部品供給装置２０は、部品Ｐとしてウエハを部品実装装置５０に供給するウエハ供給装置として構成されており、図１に示すように、部品実装装置５０の前方側に装着される。この部品供給装置２０は、格子状にダイシングされた多数のチップからなる円形状のウエハを収容可能な複数段のスロット３２を有するマガジン３０（図４，図５参照）と、マガジン３０を保持するマガジン保持部２６（図４参照）と、部品実装装置５０から指定されたウエハを複数段のスロット３２のいずれかから引き出して部品実装装置５０に供給する部品供給ロボット２８（図２，図３参照）と、上述の構成部材を収容する筐体２１と、を備える。

また、部品供給装置２０は、筐体２１の上部に、大扉２２と、２つの小扉２３，２４が設けられている。大扉２２は、図４に示すように、前面を上方へ引き上げることで開放可能に構成されている。作業者は、大扉２２を開放することで、マガジン３０をマガジン保持部２６に載置したり、マガジン保持部２６に載置されているマガジン３０を取り出したりすることができる。大扉２２の前面には、上段の小扉２３と、下段の小扉２４とが設けられている。小扉２３，２４は、図５に示すように、何れも、取っ手を手前に引くことで開放可能な片開き戸である。これにより、作業者は、大扉２２が閉鎖状態であっても、上段の小扉２３を開放することで、マガジン３０の複数段のスロット３２のうち上段のスロット群にウエハを補給することができ、下段の小扉２４を開放することで、複数段のスロット３２のうち下段のスロット群にウエハを補給することができる。

また、図５に示すように、マガジン保持部２６には、大扉２２を閉鎖状態でロックするための大扉ロック用ソレノイド２２ａが設けられている。また、大扉２２には、上段の小扉２３を閉鎖状態でロックするための上段小扉ロック用ソレノイド２３ａと、下段の小扉２４を閉鎖状態でロックするための下段小扉ロック用ソレノイド２４ａとが設けられている。

図６は、マガジン３０とパレット３４の外観を示す外観図であり、図７は、マガジン３０の各スロット３２とウエハ補給位置との関係を説明する説明図であり、図８は、上段の小扉２３および下段の小扉２４とウエハ補給位置との関係を説明する説明図である。マガジン３０は、図６または図７に示すように、本実施例では、ウエハ３６が載せられたパレット３４を収容可能な２５段のスロット３２を有している。また、図８に示すように、２５段のスロット３２のうち上から１段目から１２段目までは、上段の小扉２３を開放することによりウエハ３６を補給可能な上段ウエハ補給位置であり、１４段目から２５段目までは、下段の小扉２４を開放することによりウエハ３６を補給可能な下段ウエハ補給位置である。また、１３段目は、ウエハ補給に使用できない不使用スロットであり（図７参照）、上段ウエハ補給位置と下段ウエハ補給位置とを仕切るための仕切り板３８（図６参照）が収容される。なお、仕切り板３８は、図６に示すように、マガジン３０のスロット３２に収容可能に、パレット３４と同一の外形を有する平板である。不使用スロットに仕切り板３８が挿入されると、作業者は、上段の小扉２３から下段ウエハ補給位置に手をのばしたり、下段の小扉２４から上段ウエハ補給位置に手をのばしたりすることができない。

部品供給装置２０の制御装置４０は、図３に示すように、ＣＰＵ４１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵ４１の他に、ＲＯＭ４２やＲＡＭ４４，入出力インタフェース４５を備える。これらは、バス４６を介して電気的に接続されている。制御装置４０は、供給が指示されているウエハ３６が載せられたパレット３４をマガジン３０から引き出して部品実装装置５０に供給したり使用済みのパレット３４をマガジン３０の元のスロット３２或いは他の空きスロット３２に収容したりするための部品供給ロボット２８への駆動信号や、大扉ロック用ソレノイド２２ａへの駆動信号、上段小扉ロック用ソレノイド２３ａへの駆動信号、下段小扉ロック用ソレノイド２４ａへの駆動信号などが入出力インタフェース４５を介して出力されている。制御装置４０は、部品実装装置５０の制御装置６０と通信可能に接続されており、各種制御信号やデータのやり取りを行う。

部品実装装置５０の制御装置６０は、図３に示すように、ＣＰＵ６１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵ６１の他に、ＲＯＭ６２やＨＤＤ６３，ＲＡＭ６４，入出力インタフェース６５を備える。これらは、バス６６を介して電気的に接続されている。制御装置６０には、パーツカメラ５９からの画像信号などが入出力インタフェース６５を介して入力されている。また、制御装置６０からは、基板搬送装置５２やバックアップ装置５４、ヘッドユニット５６、ＸＹロボット５８へ駆動信号などが入出力インタフェース６５を介して出力されている。制御装置６０は、図示しない管理装置と通信可能に接続されており、管理装置から基板Ｓの生産に関する生産データ（生産ジョブ）を受信し、受信した生産データに従って基板Ｓへの部品Ｐの実装処理を行う。ここで、生産データは、部品実装装置５０においてどの部品Ｐ（ウエハ）をどの順番で基板Ｓへ実装するか、また、そのように部品Ｐを実装した基板Ｓを何枚作製するかなどを定めたデータである。また、生産データは、実装に必要な部品Ｐ（ウエハ）がマガジン３０のどのウエハ補給位置（スロット３２）にどれだけあるのかを定めた部品データも含まれている。生産データ（部品データ）は、作業者によって作成される。作業者は、生産に先立って、マガジン３０の部品Ｐの供給態様を予め選択し、選択した供給態様に応じた部品データを作成する。ここで、部品Ｐの供給態様としては、１つのマガジン３０の上段（上段ウエハ補給位置）と下段（下段ウエハ補給位置）とにそれぞれ同じ部品を補給しておき、通常時には一方のみを使用して部品Ｐの供給を行い部品切れやエラーが発生したときに他方の使用に切り替えて部品Ｐの供給を行う態様Ａや、１つのマガジン３０の上段（上段ウエハ補給位置）と下段（下段ウエハ補給位置）との一方を使用して部品Ｐを供給し次の生産に必要な部品Ｐを他方のウエハ補給位置に補給する態様Ｂ、マガジン３０の上段（上段ウエハ補給位置）と下段（下段ウエハ補給位置）の両方を使用して部品Ｐの供給を行う態様Ｃなどがある。

部品実装装置５０の制御装置６０は、前述したように、部品供給装置２０の制御装置４０と通信可能に接続されており、生産データに従って生産を開始する際に、生産データに含まれる部品データに基づいて必要な部品Ｐ（ウエハ）の供給を指示する制御信号を部品供給装置２０の制御装置４０に送信する。

部品実装装置５０の制御装置６０は、部品供給装置２０により部品Ｐ（ウエハ）が供給される位置（部品供給位置）まで吸着ノズル５７を移動させて部品Ｐを吸着し、吸着した部品Ｐを基板Ｓ上の実装位置に実装するようヘッドユニット５６とＸＹロボット５８とを制御する。制御装置６０は、部品Ｐの実装に先立って、吸着した部品Ｐの吸着姿勢をパーツカメラ５９で撮像し、得られた画像に基づいて部品Ｐが正常に吸着されいているか否かの判定を行う。制御装置６０は、部品Ｐが正常に吸着されていると判定すると、吸着した部品Ｐの実装動作を行い、部品Ｐが正常に吸着されていないと判定すると、部品Ｐが正常に吸着されていると判定するまで、新たな部品Ｐを吸着し直すリカバリ動作を行う。なお、リカバリ動作の実行回数が所定回数に達すると、エラーを出力する。制御装置６０は、部品供給装置２０の部品Ｐの供給態様として態様Ａが選択されている場合、部品供給装置２０の制御装置４０にエラー信号を送信することで、使用するウエハ補給位置の切り替えを指示する。

次に、実施例の部品供給装置２０の動作について説明する。図９は、制御装置４０のＣＰＵ４１により実行される部品供給処理の一例を示すフローチャートである。

部品供給処理が実行されると、制御装置４０のＣＰＵ４１は、まず、生産中（部品Ｐを実装した基板Ｓを作製中）であるか否かを判定し（Ｓ１００）、生産中でないと判定すると、大扉２２と上段の小扉２３と下段の小扉２４の全てのロックが解除されるよう大扉ロック用ソレノイド２２ａと上段小扉ロック用ソレノイド２３ａと下段小扉ロック用ソレノイド２４ａとを駆動制御して（Ｓ１１０〜Ｓ１３０）、部品供給処理を終了する。これにより、大扉２２を開放してマガジン３０を取り替えたり、次の生産に必要な部品Ｐ（ウエハ）をマガジン３０に収容する段取り替えを行うことができる。

ＣＰＵ４１は、生産中であると判定すると、閉鎖状態で大扉２２がロックされるよう大扉ロック用ソレノイド２４ａを駆動制御する（Ｓ１４０）。これにより、作業者は、大扉２２を開放できないため、マガジン３０を取り出すことはできない。そして、ＣＰＵ４１は、作業者により選択された部品供給態様がマガジン３０の上下段のウエハ補給位置のうち片方のみを使用する態様Ａまたは態様Ｂのいずれかであるか否かを判定する（Ｓ１５０）。ＣＰＵ４１は、部品供給態様が態様Ａおよび態様Ｂのいずれかであると判定すると、マガジン３０の上段（上段ウエハ補給位置）を使用中であるか否かを判定する（Ｓ１６０）。Ｓ１５０，Ｓ１６０の判定は、部品実装装置５０の制御装置６０から送信される部品供給指示に基づいて行うことができる。ＣＰＵ４１は、部品供給態様が態様Ａおよび態様Ｂのいずれかであり、マガジン３０の上段を使用中であると判定すると、上段の小扉２３がロックされるよう上段小扉ロック用ソレノイド２３ａを駆動制御すると共に（Ｓ１７０）、下段の小扉２４のロックが解除されるよう下段小扉ロック用ソレノイド２４ａを駆動制御する（Ｓ１８０）。これにより、作業者は、生産中であっても、下段の小扉２４を開くことで、マガジン３０の下段ウエハ補給位置にウエハ３６を補給することができる。そして、ＣＰＵ４１は、マガジン３０の上段（上段ウエハ補給位置）から必要なウエハ３６が載せられたパレット３４を引き出して部品実装装置５０に供給されるよう部品供給ロボット２８を駆動制御して（Ｓ１９０）、部品供給処理を終了する。

一方、ＣＰＵ４１は、部品供給態様が態様Ａおよび態様Ｂのいずれかであり、マガジン３０の上段（上段ウエハ補給位置）を使用中でないと判定、即ち下段（下段ウエハ補給位置）を使用中であると判定すると、上段の小扉２３のロックが解除されるよう上段小扉ロック用ソレノイド２３ａを駆動制御すると共に（Ｓ２００）、下段の小扉２４がロックされるよう下段小扉ロック用ソレノイド２４ａを駆動制御する（Ｓ２１０）。これにより、作業者は、生産中であっても、上段の小扉２３を開くことで、マガジン３０の上段ウエハ補給位置にウエハ３６を補給することができる。そして、ＣＰＵ４１は、マガジン３０の下段（下段ウエハ補給位置）から必要なウエハ３６が載せられたパレット３４を引き出して部品実装装置５０に供給されるよう部品供給ロボット２８を駆動制御して（Ｓ２２０）、部品供給処理を終了する。

また、ＣＰＵ４１は、部品供給態様が態様Ａおよび態様Ｂのいずれでもないと判定、即ち、部品供給態様がマガジン３０の上下段のウエハ補給位置のうち両方を使用する態様Ｃであると判定すると、上段の小扉２３および下段の小扉２４が共にロックされるよう上段小扉ロック用ソレノイド２３ａおよび下段小扉ロック用ソレノイド２４ａを駆動制御する（Ｓ２３０，Ｓ２４０）。これにより、作業者は、生産中にウエハ３６を補給することができない。そして、ＣＰＵ４１は、マガジン３０の上下段の両方（上段ウエハ補給位置および下段ウエハ補給位置）から必要なウエハ３６が載せられたパレット３４を引き出して部品実装装置５０に供給されるよう部品供給ロボット２８を駆動制御して（Ｓ２５０）、部品供給処理を終了する。

以上説明した実施例の部品供給装置２０によれば、マガジン３０をマガジン保持部２６に載置したりマガジン保持部２６から取り出したりするための大扉２２に加えて、マガジン３０の上段のスロット群（上段ウエハ補給位置）にウエハを補給可能な上段の小扉２３と、マガジン３０の下段のスロット群（下段ウエハ補給位置）にウエハを補給可能な下段の小扉２４とを設ける。これにより、１つのマガジン３０の一部のスロット３２に収容されているパレット３６により部品Ｐ（ウエハ）を供給している間、他のスロット３２に対して部品Ｐの補給を行うことができる。また、マガジン３０の上段を使用中の場合には上段の小扉２３をロックすると共に下段の小扉２４のロックを解除し、マガジン３０の下段を使用中の場合には上段の小扉２３のロックを解除すると共に下段の小扉２４をロックするから、生産中にウエハ３６を補給する際の安全性を確保することができる。さらに、マガジン３０の上段のスロット群と下段のスロット群との間のスロットを不使用スロットとし、そこに仕切り板３２を収容する。これにより、作業者は、上段の小扉２３から下段のスロット群に手をのばすことができず、下段の小扉２４から上段のスロット群に手をのばすことができないため、生産中にウエハ３６を補給する際の安全性をより高めることができる。また、小扉２３，２４は、大扉２２の前面に設けたから、大扉２２と小扉２３，２４とを別々の位置に設けるものに比して、スペースを有効利用して、装置をより小型化することができる。

実施例の部品供給装置２０では、小扉２３，２４を大扉２２の前面に設けるものとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、大扉を筐体２１の上面に設け、小扉を筐体２１の前面に設ける構成とする等、大扉２２と小扉２３，２４とをそれぞれ異なる位置に設けるものとしてもよい。

実施例の部品供給装置２０では、マガジン３０の上段スロット群（上段ウエハ補給位置）と下段スロット群（下段ウエハ補給位置）との間の中間スロットをウエハ（部品）の供給に使用できない不使用スロットとしたが、これに限定されるものではなく、部品供給態様がマガジン３０の上下段のウエハ補給位置のうち両方を使用する態様Ｃである場合には、中間スロットをウエハ（部品）の供給に使用するものとしてもよい。

実施例の部品供給装置２０では、部品供給態様がマガジン３０の上下段のウエハ補給位置のうち片方のみを使用する態様Ａまたは態様Ｂの場合には、使用していない方のウエハ補給位置に対応する小扉（上段のウエハ補給位置を使用中の場合には下段の小扉２４であり下段のウエハ補給位置を使用中の場合には上段の小扉２３）のロックを解除するものとしたが、マガジン３０の不使用スロットに仕切り板３８が設置されていることを条件に小扉のロックを解除するものとしてもよい。この場合、マガジン３０の不使用スロットに仕切り板３８が設置されているか否かを検知するセンサを設けるものとすればよい。

実施例の部品供給装置２０では、マガジン３０の上段スロット群と下段スロット群とにそれぞれウエハ３６を補給可能な２つの小扉２３，２４を備えるものとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、マガジン３０のスロット群を上段と中段と下段とに区画し、上段のスロット群と中段のスロット群と下段のスロット群とにそれぞれウエハを補給可能な３つの小扉を備える等、備える小扉の数は２つ以上であれば、幾つであっても構わない。

実施例の部品供給装置２０では、パレット３４に載せられたウエハ３６を部品実装装置５０に供給するウエハ供給装置として構成するものとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、マガジン３０の複数段のスロットにそれぞれ複数のチップ部品を並べたトレーを収容し、指定されたチップ部品が載せられたトレーをいずれかのスロットから引き出して供給する等、他の如何なる部品の供給に用いるものとしてもよい。

ここで、本実施例の主要な要素と発明の開示の欄に記載した発明の主要な要素との対応関係について説明する。即ち、マガジン保持部２６が「保持部」に相当し、大扉２２が「大扉」に相当し、上段の小扉２３が「第１小扉」に相当し、下段の小扉２４が「第２小扉」に相当する。また、上段小扉ロック用ソレノイド２３ａが「第１ロック手段」に相当し、下段小扉ロック用ソレノイド２４ａが「第２ロック手段」に相当し、図９の部品供給処理のＳ１００〜Ｓ１８０，Ｓ２００，Ｓ２１０，Ｓ２３０，Ｓ２４０の処理を実行する制御装置４０のＣＰＵ４１が「ロック制御手段」に相当する。

なお、本発明は上述した実施例に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

本発明は、部品供給装置の製造産業などに利用可能である。

１０ 部品実装システム、２０ 部品供給装置、２１ 筐体、２２ 大扉、２２ａ 大扉ロック用ソレノイド、２３，２４ 小扉、２３ａ 上段小扉ロック用ソレノイド、２４ａ 下段小扉ロック用ソレノイド、２６ マガジン保持部、２８ 部品供給ロボット、３０ マガジン、３２ スロット、３４ パレット、３６ ウエハ、３８ 仕切り板、４０ 制御装置、４１ ＣＰＵ、４２ ＲＯＭ、４４ ＲＡＭ、４５ 入出力インタフェース、４６ バス、５０ 部品実装装置、５２ 基板搬送装置、５４ バックアップ装置、５６ ヘッドユニット、５７ 吸着ノズル、５８ ＸＹロボット、６０ 制御装置、６１ ＣＰＵ、６２ ＲＯＭ、６３ ＨＤＤ、６４ ＲＡＭ、６５ 入出力インタフェース、６６ バス。

Claims (4)

1. マガジンが有する複数段のスロットに収容されたパレットを引き出して該パレットに載せられた部品を供給する部品供給装置であって、
   前記マガジンを保持可能な保持部と、
   開閉可能に構成され、開放状態で前記保持部への前記マガジンの載置と該保持部からの該マガジンの取り出しとが可能な大扉と、
   開閉可能に構成され、開放状態で前記複数段のスロットのうち第１スロット群に対して前記パレットの取り出しと収容とが可能な第１小扉と、
   前記第１小扉と独立して開閉可能に構成され、開放状態で前記複数段のスロットのうち前記第１スロット群とは異なる第２スロット群に対して前記パレットの取り出しと収容とが可能な第２小扉と、
   を備えることを特徴とする部品供給装置。
2. 請求項１記載の部品供給装置であって、
   前記第１小扉と前記第２小扉は、前記大扉に設けられている
   ことを特徴とする部品供給装置。
3. 請求項１または２記載の部品供給装置であって、
   前記マガジンは、前記第１スロット群と前記第２スロット群との間に空きスロットを有し、
   前記空きスロットに収容される仕切り板を備える
   ことを特徴とする部品供給装置。
4. 請求項１ないし３いずれか１項に記載の部品供給装置であって、
   閉鎖状態で前記第１小扉をロックする第１ロック手段と、
   閉鎖状態で前記第２小扉をロックする第２ロック手段と、
   前記第１スロット群および前記第２スロット群のうち部品を供給しているスロット群に対応する小扉をロックすると共に部品を供給していないスロット群に対応する小扉のロックを解除するロック制御手段と、
   を備えることを特徴とする部品供給装置。